KR20120036772A - 가스 방출 파이프 및 관련 방법 - Google Patents

가스 방출 파이프 및 관련 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예는 제1 진공 펌프에, 그리고 한편으로는 적어도 제2 진공 펌프에 다른 한편으로는 반응기 출구에 각각 연결되도록 설계되는 제1 방출 채널 및 적어도 하나의 제2 방출 채널을 포함하고, 제1 방출 채널 및 적어도 제2 방출 채널은 주입 방향이 진공 펌프의 흡입 방향과 반대로 각각 지향되는 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 수단 및 적어도 제2 수단을 포함하는 가스 방출 파이프를 기술한다.

Description

가스 방출 파이프 및 관련 방법 {GAS DISCHARGE PIPE AND ASSOCIATED METHOD}
본 발명은 반응기로부터의 가스 방출에 관한 것이고, 더 구체적으로 원자 층 증착 장비의 아이템의 반응기와 같은 화학 반응기로부터의 방출되는 반응 가스 잔여물의 방출에 관한 것이다.
종래 기술에 따른 원자 층 증착 장비의 아이템의 일반적인 작동이 아래에 기술된다. 2개의 반응 가스(G1 및 G2)는 웨이퍼 상의 원자 층의 증착을 허용하기 위해 기판("웨이퍼")이 내부에 있는 반응기 내로 연이어 삽입된다. 가열 요소에 의해 반응기 내에 고온이 유지된다. 반응 가스(G1 또는 G2)의 잔여물은 반응기의 출구에 위치된 방출 파이프를 통하여 진공 펌프로 방출된다.
이러한 방법으로 인한 문제점으로는 2개의 반응 가스(G1 및 G2)가 진공 펌프에서 혼합될 수 있다는 것이 있다. 이러한 혼합은 가스(G1 및 G2)를 방출하는데 사용되는 진공 펌프에서 고체 입자 및 파우더의 형성을 가져오는 화학 반응을 생성할 수 있다. 진공 펌프 내에 축적되는 고체 입자 및 파우더는 진공 펌프의 고장 및/또는 너무 이른 마모를 야기하고 이에 의해 웨이퍼의 전체 제조 비용에 영향을 미친다.
이 문제를 극복하기 위해, 종래 기술의 해결책으로는, 각각의 진공 펌프가 하나의 반응 가스에 대해 전용화되는, 2개의 별개의 진공 펌프를 사용하는 것이 있다. 진공 펌프들 중 하나의 진공 펌프 또는 다른 진공 펌프로의 전달은, 진공 펌프들이 연결되는 파이프의 방출 채널들 중 하나의 방출 채널 또는 다른 방출 채널로 반응 가스를 유도하는 방출 파이프의 입구에 있는 기계 밸브들의 시스템에 의해 수행된다.
그럼에도 불구하고, 이러한 해결책에 의해서는, 반응 가스의 혼합이 기계 밸브에서 발생할 수 있어서, 밸브에서의 부산물(sub-product) 층의 적층을 야기하여, 작동을 중단시키고 고장을 일으킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 작동 실패를 야기할 수 있는 부산물의 형성을 방지하기 위해 작동 중인 기계 요소에서 반응 가스의 혼합을 방지하는 것을 가능하게 하고, 또한 더 신속하고 따라서 원자 층 증착 방법과 같은 펄스형 방법에 적합한 방법으로, 반응 가스가 하나의 방출 채널로부터 또 다른 방출 채널로 유도되게 하는 장치를 제안하는 것이다.
따라서, 본 발명에 따른 장치는 한편으로는 제1 진공 펌프에, 그리고 적어도 제2 진공 펌프에 각각 연결되고 다른 한편으로는 반응기 출구에 연결되도록 설계되는 제1 방출 채널 및 적어도 하나의 제2 방출 채널을 포함하고, 제1 방출 채널 및 적어도 하나의 제2 방출 채널은 주입 방향이 진공 펌프의 흡입 방향과 반대로 각각 지향되는 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 수단 및 적어도 제2 수단을 포함하는 가스 방출 파이프이다.
"비활성 가스"는 단일의 비활성 가스 또는 비활성 가스들의 혼합물이라고 이해된다. 비활성 가스는 예컨대 질소(N2), 아르곤(Ar) 및/또는 헬륨(He)일 수 있다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 파이프는 한편으로는 반응기의 출구와 연통하고 다른 한편으로는 제1 방출 채널 및 적어도 제2 방출 채널과 연통하게 배치되는 중앙 트렁크를 포함하고, 제1 방출 채널 및 적어도 제2 방출 채널은 대략 동일한 크기의 컨덕턴스를 갖는다.
본 발명의 추가 양태에 따르면, 방출 채널은 개수가 2개이고, 중앙 트렁크는 한편으로는 제1 방출 채널과 연통하는 내부 부분을, 그리고 다른 한편으로는 벽에 의해 내부 부분과 분리되고 제2 방출 채널과 연통하는 주연 부분을 포함한다.
본 발명의 보충 양태에 따르면, 중앙 트렁크의 내부 부분의, 그리고 주연 부분의 각각의 컨덕턴스는 대략 동일한 크기를 갖는다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 주입 수단은 중앙 트렁크의 내부 부분의 축에 위치되고 반응기의 출구를 향하여 지향되고, 반면에 비활성 가스를 주입하기 위한 제2 주입 수단은 중앙 트렁크의 주연 부분의 주연부에 위치되고 실질적으로 중앙 트렁크의 섹션의 중앙을 향하여 지향된다.
본 발명의 추가적 대상은 반응기로부터 발생되는 제1 반응 가스 및 적어도 하나의 제2 반응 가스를 방출 파이프를 통하여 방출하기 위한 방법이고, 제1 반응 가스 및 적어도 하나의 제2 반응 가스는 제1 진공 펌프에, 그리고 적어도 하나의 제2 진공 펌프에 연결되는 제1 방출 채널 및 적어도 하나의 제2 방출 채널을 통하여 연이어 방출되고, 각각의 진공 펌프의 흡입 방향에 반대인 방향으로 실질적으로 비활성 가스를 주입함으로써, 방출 채널들 중 하나를 향하는 반응 가스의 유동의 지향이 제어된다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 비활성 가스의 주입은 제1 및 제2 방출 채널 중 적어도 하나의 입구에서 수행된다.
본 발명의 추가 양태에 따르면, 반응기로부터 발생되는 제1 반응 가스 및 적어도 제2 반응 가스는 연이어 수용되고, 제1 진공 펌프 및 적어도 제2 진공 펌프는, 방출될 반응 가스가 제2 진공 펌프로 보내질 때 비활성 가스가 제1 방출 채널에서 주입되고, 방출될 반응 가스가 제1 진공 펌프로 보내질 때 비활성 가스가 제2 방출 채널에서 주입되도록, 제1 반응 가스 및 적어도 제2 반응 가스에 대해 각각 전용화되어 있다.
본 발명의 보충 양태에 따르면, 반응기로부터 발생되는 제1 반응 가스 및 적어도 제2 반응 가스는 방출 채널들에서의 비활성 가스의 주입이 또한 교대로 수행되도록, 교대로 수용된다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 주입되는 비활성 가스의 양은 2회의 교대 시퀀스 동안에 동일하고, 진공 펌프에서 가스 혼합물 내의 20% 반응 가스의 농도를 얻도록 계산되고, 진공 펌프에서의 가스 혼합물은 반응 가스 및 주입된 비활성 가스로 구성된다.
본 발명의 다른 특징 및 장점은 비제한적인 표시로서 한가지 가능한 실시예를 나타내는 첨부된 도면과 관련하여 이제 이루어질 설명에서 나타날 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 방출 파이프의 제1 실시예의 다이어그램을 도시한다.
도 2는 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 수단이 활성화될 때 본 발명에 따른 방출 파이프의 제1 실시예의 다이어그램을 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 방출 파이프의 제2 실시예의 다이어그램을 도시한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 위한 파이프의 입구에서의 파이프의 단면도의 다이어그램을 도시한다.
도 5는 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 수단이 활성화될 때 본 발명에 따른 방출 파이프의 제2 실시예의 제1 작동 단계의 다이어그램을 도시한다.
도 6은 비활성 가스를 주입하기 위한 제2 수단이 활성화될 때 본 발명에 따른 방출 파이프의 제2 실시예의 제2 작동 단계의 다이어그램을 도시한다.
도 7은 제2 주입 수단이 활성화될 때 비활성 가스의 방향과 파이프의 입구에서의 파이프의 단면도의 다이어그램을 도시한다.
본 발명의 내용에서, 파이프의 "컨덕턴스(conductance)"는 파이프의 상류와 하류의 압력차에 의해 분할된 유동의 지수(quotient)이고, 파이프 내의 유체의 유동의 용이성에 대응한다.
본 발명의 실시예는 반응 가스가 방출 채널들 중 하나로 방출되도록 유도하기 위해, 적어도 2개의 방출 채널을 포함하는 반응기로부터, 예컨대 원자 층 증착 반응기로부터 발생되는 반응 가스를 위한 방출 파이프에서 비활성 가스를 사용하는 것과 관련이 있다.
도 1은 방출 파이프의 제1 실시예를 도시한다.
파이프는 반응기로부터 발생되는 2개의 반응 가스들의 잔여물, 또는 반응 가스의 2개의 다양한 혼합물의 잔여물을 수용하기 위해 반응기의 출구에 연결되도록 설계되는 입구(1)와, 진공 펌프(7 및 9)에 각각 연결되는 2개의 방출 채널(3 및 5)과, 파이프의 입구(1)를 2개의 방출 채널(3 및 5)에 연결하는 중앙 트렁크(11)를 포함한다. 방출 채널은 예컨대 유사한 치수 및 대략 동일한 크기를 갖는 유사한 펌핑 용량을 가짐으로써 컨덕턴스를 획득하도록 만들어진다.
또한, 각각의 방출 채널은 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 및 제2 수단(13 및 15)을 각각 포함한다. 이러한 주입 수단(13 및 15)은 예컨대 비활성 가스의 통과를 허용하거나 방지하기 위해 제1 밸브(17) 및 제2 밸브(18)를 포함할 수 있고, 펌핑 방향에 대해 반대인 방향으로(즉 방출 채널에서의 반응 가스의 전파 방향에 대항하여) 선택된 방향으로 비활성 가스를 확산시키기 위해 제1 분사 노즐(19) 및 제2 분사 노즐(20)을 포함할 수 있다.
따라서, 방출 채널들 중 하나에서 비활성 가스(21)의 반대 방향으로의 주입은 도 2에 도시된 바와 같이 반응 가스가 다른 방출 채널을 향하게 하는 것을 가능하게 한다. 제2 가스(G2)가 파이프의 입구(1)에서 수용될 때, 제1 방출 채널(3)의 비활성 가스(21)를 주입하기 위한 제1 수단(13)은, 반응 가스(G2)의 잔여물이 제2 진공 펌프(9)로 전달되기 위해 제2 방출 채널(5)을 향해 이동하게 하도록 [제1 밸브(17)의 개구에 의해] 활성화되고, 제2 진공 펌프(9)는 반응 가스(G2)의 펌핑에 대해 전용화되어 있다. 제2 방출 채널(5)의 비활성 가스(21)를 주입하기 위한 제2 수단(15)은 비활성화인 채로 있다[제2 밸브(18)가 폐쇄됨]. 비활성 가스는 예컨대 질소(N2), 아르곤(Ar) 또는 헬륨(He)일 수 있다.
가스(G1)가 파이프의 입구(1)에서 수용될 때, 제2 방출 채널(5)의 비활성 가스(21)를 주입하기 위한 제2 수단(15)은 활성화되고, 반면에 제1 방출 채널(3)의 비활성 가스(21)를 주입하기 위한 수단(13)은 비활성화된다. 따라서, 가스(G1)는 가스(G1)의 펌핑에 대해 전용화되는 제1 진공 펌프(7)로 향한다.
실제로, 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 및 제2 수단(13 및 15)의 활성화가 반응기에 존재하는 반응 가스(G1 또는 G2)에 따라서 교대로 발생하도록, 2개의 가스(G1 및 G2)는 반응기 내로 교대로 주입된다.
또한, 주입되는 비활성 가스(21)의 양은 진공 펌프(7 또는 9)에서 요구되는 반응 가스(G1 또는 G2)의 농도에 따라, 그리고 방출될 반응 가스(G1 또는 G2)의 양에 따라 조절될 수 있다. 유리하게는, 비활성 가스(21)의 양은 반응기 및 파이프 내측의 압력을 변경하지 않도록 2회의 교대 주입 시퀀스 동안에 동일하다. 주입되는 비활성 가스의 양은 진공 펌프에서의 가스 혼합물 중 20% 반응 가스(G1 또는 G2)의 농도를 얻도록 계산되고, 진공 펌프에서의 가스 혼합물은 반응 가스(G1, G2)와 주입된 비활성 가스(21)로 구성된다. 반응 가스(G1 또는 G2)의 반응기의 출구에서의 농도는 100%인 것이 고려된다.
필요하다면, 펌핑 시스템에 따라, 진공 펌프에서의 반응 가스(G1 또는 G2)의 이러한 농도는 1%로 감소할 수 있다.
더욱이, 일 실시예에 따르면, 제1 및 제2 주입 수단(13 및 15)은 이들이 비활성 상태일 때 비활성 가스(21)의 통과를 완전히 막지 않으며, 비활성 가스의 분사 노즐(19 및 20) 상에 침전물 형성을 방지하여 분사 노즐(19 및 20)을 보호하기 위해 적은 양의 비활성 가스(21)가 계속하여 주입되는 대기 모드로 위치된다.
더욱이, 밸브(23 및 25)는 방출 채널(3 및 5)의 출구에서 그리고 진공 펌프(7 및 9)의 입구에서 위치된다. 이러한 밸브(23 및 25)는, 정상 작동에서 영구적으로 개방된 상태로 있고 파이프로부터 결함 있는 진공 펌프를 격리하기 위해 대응하는 진공 펌프의 고장의 경우에 폐쇄되는 자동밸브이다.
더욱이, 단지 2개의 방출 채널만이 도 1 및 도 2에 도시되지만, (더 많은 개수의 반응 가스를 방출하기 위해) 더 많은 개수의 방출 채널을 포함하는 파이프가 제조될 수도 있다. 이런 경우에, 당해의 반응 가스에 전용화되는 진공 펌프에 연결되는 채널을 제외한, 다양한 방출 채널의 비활성 가스를 주입하기 위한 수단은 활성화될 것이고, 따라서 반응 가스가 전용의 진공 펌프를 향해 유도되게 할 것이다.
도 3은 방출 채널의 개수가 2개인 경우의 본 발명의 제2 실시예를 도시한다. 이 제2 실시예에서, 상기에 설명된 파이프의 차이는 중앙 트렁크(27)의 구성과 관련이 있다. 이 구성은 파이프의 입구(1)의 섹션보다 섹션이 작은 제2 방출 채널(5)에 연결되고 중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29)을 형성하는 제1 튜브와, 섹션이 파이프의 입구(1)의 섹션에 대응하는 제1 방출 채널(3에 연결되고 중앙 트렁크(27)의 주연 부분(31)을 형성하는 제2 튜브에 상응한다. 내부 부분(29)의 그리고 주연 부분의 섹션들은 각각의 방출 채널(3 및 5)과 파이프의 입구(1) 사이에 대략 동일한 크기를 갖는 컨덕턴스를 획득하기 위해 계산된다.
도 4는 중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29) 및 주연 부분(31)이 원형 섹션을 갖는 파이프의 입구(1)에서의 파이프의 단면도를 도시한다.
그럼에도 불구하고, 본 발명은 예컨대 타원형 섹션 또는 심지어 장방형 또는 정방형 섹션과 같은 다양한 형상의 섹션에 또한 적용될 수 있다.
이전 실시예에 대해서, 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 및 제2 수단(33 및 35)은, 전용의 진공 펌프(7 또는 9)로 전달되도록 반응기로부터 발생되는 반응 가스(G1 또는 G2)의 잔여물을 방출 채널들 중 하나 또는 다른 하나로 유도하기 위해 사용된다.
주연 부분(31)의 비활성 가스를 주입하기 위한 제1 수단(33)은 파이프의 입구(1)에서 [예컨대 밸브(24)에 의해 제어되는 비활성 가스의 입구에 연결되는 일 세트의 분사 노즐(32)을 이용함으로써] 주연 부분(31)의 주연부 위에 균일하게 분포되어 있다. 비활성 가스를 주입하기 위한 수단(33)은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 환형이고 약간 원추형인 제트를 생성하기 위해 파이프의 입구(1)의 중앙을 향해 지향된다. 도 7은 도 4에 도시된 입구(1)에서의 비활성 가스의 주입 방향을 도시한다.
따라서, 중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29)에 연결되는 제2 방출 채널(5)에 연결되는 진공 펌프(9)로 보내지는 제2 반응 가스(G2)가 파이프의 입구(1)에서 수용될 때, 주연 부분(31)의 비활성 가스를 주입하기 위한 수단(33)은, 제2 반응 가스(G2)를 중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29)을 향하여 그리고 결과적으로 대응 진공 펌프(9)를 향하여 유도하기 위해, 활성화된다[내부 부분(29)의 비활성 가스를 주입하기 위한 수단(35)은 비활성화된 상태로 있다].
중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29)의 비활성 가스를 주입하기 위한 제2 수단(35)은 내부 부분(29)의 축에, 그리고 채널의 입구(1)에 대향하는 단부에 위치되고, 도 5에 도시된 바와 같이 입구(1)를 향해 유도된다.
따라서, 중앙 트렁크(27)의 주연 부분(31)에 연결되는 제1 방출 채널(3)에 연결되는 진공 펌프(7)로 보내지는 제1 반응 가스(G1)가 파이프의 입구(1)에서 수용될 때, 비활성 가스를 주입하기 위한 수단(35)은, 반응 가스(G1)가 내부 부분(29)으로 진입하는 것을 방지하고 중앙 트렁크(27)의 주연 부분(31)에 연결되는 방출 채널(3)에 들어가게 하기 위해, 밸브(22)의 개방에 의해 활성화된다[주연 부분(31)의 비활성 가스를 주입하기 위한 수단(33)은 밸브(24)의 폐쇄에 의해 비활성인 상태로 있다].
따라서, 주입된 비활성 가스(21)의 사용은, 반응 가스가 선택된 방출 채널로 진입하는 것을 방지하고 결과적으로 반응 가스와의 상호작용에 의해 마모되게 되는 밸브 또는 다른 기계 요소를 필요로 하지 않으면서 반응 가스에 대해 전용화되는 방출 채널 내로 반응 가스를 유도하는 것을 가능하게 하는 가스 스크린을 구성한다. 따라서, 본 발명의 실시예는 고정되게 되거나 차단될 수 있는 기계 부품의 사용을 회피하여 파이프의 수명을 향상시키면서 그의 유지보수를 감소시키는 것을 가능하게 한다. 더욱이, 하나의 방출 채널로부터 또 다른 방출 채널로의 반응 가스의 방향 변경은 종래 기술의 해결책보다 더 신속하게 수행될 수 있다. 결국, 본 발명의 실시예는 펌핑 시스템의 상류에 반응 가스의 일정한 희석을 허용하여 그의 처리를 더 용이하게 만든다.

Claims (10)

  1. 가스 방출 파이프이며,
    한편으로는 제1 진공 펌프(7) 및 적어도 제2 진공 펌프(9)에 각각 연결되고, 다른 한편으로는 반응기 출구에 연결되도록 설계되는 제1 방출 채널(3) 및 적어도 하나의 제2 방출 채널(5)을 포함하고,
    제1 방출 채널(3) 및 적어도 하나의 제2 방출 채널(5)은 주입 방향이 진공 펌프(7, 9)의 흡입 방향과 반대로 각각 지향되는 비활성 가스(21)를 주입하기 위한, 제1 수단(13; 33) 및 적어도 제2 수단(15; 35)을 포함하는
    가스 방출 파이프.
  2. 제1항에 있어서,
    한편으로는 반응기의 출구에, 그리고 다른 한편으로는 제1 방출 채널(3) 및 적어도 제2 방출 채널(5)에 연통하여 배치되는 중앙 트렁크(11; 27)를 포함하고,
    제1 방출 채널(3) 및 적어도 제2 방출 채널(5)은 대략 동일한 크기의 컨덕턴스를 갖는
    가스 방출 파이프.
  3. 제2항에 있어서,
    방출 채널(3, 5)은 개수가 2개이고,
    중앙 트렁크(27)는 한편으로는 제2 방출 채널(5)과 연통하는 내부 부분(29)을, 그리고 다른 한편으로는 벽에 의해 내부 부분(29)과 분리되고 제1 방출 채널(3)과 연통하는 주연 부분(31)을 포함하는
    가스 방출 파이프.
  4. 제3항에 있어서,
    중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29)의, 그리고 주연 부분(31)의 각각의 컨덕턴스는 대략 동일한 크기를 갖는
    가스 방출 파이프.
  5. 제4항에 있어서,
    비활성 가스(21)를 주입하기 위한 제1 주입 수단(33)은 중앙 트렁크(27)의 내부 부분(29)의 축에 위치되고 반응기의 출구를 향하여 지향되며,
    비활성 가스(21)를 주입하기 위한 제2 주입 수단(35)은 중앙 트렁크(27)의 주연 부분(31)의 주연부에 위치되고 실질적으로 중앙 트렁크(27)의 섹션의 중앙을 향하여 지향되는
    가스 방출 파이프.
  6. 반응기로부터 발생되는 제1 반응 가스(G1) 및 적어도 하나의 제2 반응 가스(G2)를, 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 가스 방출 파이프를 통하여 방출하기 위한 방법이며,
    제1 반응 가스(G1) 및 적어도 하나의 제2 반응 가스(G2)는, 제1 진공 펌프(7)에, 그리고 적어도 하나의 제2 진공 펌프(9)에 각각 연결되는 제1 방출 채널(3) 및 적어도 하나의 제2 방출 채널(5)을 통하여 연이어 방출되고,
    각각의 진공 펌프(7, 9)의 흡입 방향에 반대인 방향으로 실질적으로 비활성 가스(21)를 주입함으로써, 방출 채널들(3, 5) 중 하나를 향하는 반응 가스(G1, G2)의 유동의 지향이 제어되는
    방출 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    비활성 가스(21)의 주입은 제1 방출 채널(3) 및 적어도 제2 방출 채널(5) 중 적어도 하나의 입구에서 수행되는
    방출 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    반응기로부터 발생되는 제1 반응 가스(G1) 및 적어도 제2 반응 가스(G2)는 연이어 수용되고,
    제1 진공 펌프(7) 및 적어도 제2 진공 펌프(9)는, 방출될 반응 가스(G2)가 제2 진공 펌프(9)로 보내질 때 비활성 가스(21)가 제1 방출 채널(3)에서 주입되고, 방출될 반응 가스(G1)가 제1 진공 펌프(7)로 보내질 때 비활성 가스(21)가 제2 방출 채널(5)에서 주입되도록, 제1 반응 가스(G1) 및 적어도 제2 반응 가스(G2)에 대해 각각 전용화되는
    방출 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    반응기로부터 발생되는 제1 반응 가스(G1) 및 적어도 제2 반응 가스(G2)는, 방출 채널(3, 5)에서의 비활성 가스(21)의 주입이 또한 교대로 수행되도록, 파이프에서 교대로 수용되는
    방출 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    주입되는 비활성 가스(21)의 양은 2회의 교대 시퀀스 동안에 동일하고, 진공 펌프에서 가스 혼합물 내의 20% 반응 가스(G1, G2)의 농도를 얻도록 계산되고, 진공 펌프에서의 가스 혼합물은 반응 가스(G1, G2) 및 주입된 비활성 가스(21)로 구성되는
    방출 방법.
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