KR20120026455A - 연마 장치 - Google Patents

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KR20120026455A
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가츠히데 와타나베
마사카즈 이하라
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

연마 장치는, 연마 테이블을 회전시키는 테이블 회전 모터와, 톱링을 회전시키는 톱링 회전 모터와, 연마 패드를 드레싱하는 드레서와, 연마 패드의 높이를 측정하는 패드 높이 측정기와, 연마 패드의 높이로부터 연마 패드의 감모량을 산출하고, 연마 패드의 감모량과, 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류와, 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류에 기초하여 연마 패드(22)의 수명을 결정하는 진단부를 구비한다.

Description

연마 장치{POLISHING APPARATUS}
본 발명은, 웨이퍼 등의 기판을 연마하는 연마 장치에 관한 것으로서, 특히 연마 패드 또는 드레서의 상태를 진단하여, 그 수명을 결정하는 기능을 구비한 연마 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 공정에서, 기판 표면의 평탄화는 매우 중요한 공정으로 여겨진다. 표면의 평탄화에 이용되는 대표적인 기술은, 화학적 기계적 연마(CMP, Chemical Mechanical Polishing)이다. 이 화학적 기계적 연마에서는, 실리카(SiO2) 등의 지립(砥粒)을 포함한 연마액을 연마 패드의 연마면 상에 공급하면서 기판을 연마면에 슬라이딩 접촉시켜 기판의 표면을 연마한다.
이 화학적 기계적 연마는 CMP 장치를 사용하여 행해진다. CMP 장치는, 상면에 연마 패드를 첩부한 연마 테이블과, 기판을 유지하는 톱링을 구비하고 있다. 기판의 연마 중에는, 연마 테이블 및 톱링을 그 축심 둘레로 각각 회전시키면서, 톱링으로 기판을 연마 패드의 연마면에 가압하여, 기판과 연마 패드를 슬라이딩 접촉시킨다. 연마 패드의 연마면에는 연마액이 공급되어, 기판과 연마 패드 사이에 연마액이 존재한 상태에서 기판이 연마된다. 기판의 표면은, 알칼리에 의한 화학적 연마 작용과, 지립에 의한 기계적 연마 작용의 복합 작용에 의해 평탄화된다.
기판의 연마를 행하면, 연마 패드의 연마면에는 지립이나 연마 부스러기가 부착되어, 연마 성능이 저하되어 간다. 그래서, 연마 패드의 연마면을 재생하기 위해, 드레서에 의한 패드 드레싱이 행해진다. 드레서는, 그 하면에 고정된 다이아몬드 입자 등의 경질(硬質)의 지립을 가지고 있어, 이 드레서로 연마 패드의 연마면을 깎아냄으로써, 연마 패드의 연마면을 재생한다.
연마 패드는, 패드 드레싱에 의해 서서히 감모되어 간다. 연마 패드가 감모되면, 의도한 연마 성능이 발휘되지 않게 되기 때문에, 연마 패드를 정기적으로 교환할 필요가 있게 된다. 종래에, 연마 패드의 교환은, 연마된 기판의 장수에 기초하여 결정되는 것이 일반적이다. 그러나, 연마된 기판의 장수는, 반드시 연마 패드의 수명을 정확하게 반영하고 있지는 않다. 그 때문에, 연마 성능을 유지하기 위해, 본래의 패드 수명보다 빠른 시기에 연마 패드를 교환해야 하였다. 또한, 이러한 빈번한 연마 패드의 교환은, CMP 장치의 가동률을 저하시킨다.
그래서, 연마 패드의 빈번한 교환을 회피하기 위해, 연마 패드의 표면의 위치(패드 높이)를 측정하고, 그 측정값에 기초하여 연마 패드의 감모를 감시하는 연마 장치가 개발되어 있다(예를 들어, 일본 공개특허공보 2002-355748호 참조). 이러한 연마 장치에 의하면, 측정된 연마 패드의 표면의 위치, 즉 연마 패드의 감모량에 기초하여 연마 패드의 수명을 판단하는 것이 가능하다.
그러나, 연마 패드의 두께나, 연마 패드의 표면에 형성되어 있는 홈의 깊이는, 연마 패드마다 다른 경우가 있다. 이 때문에, 연마 패드의 표면의 위치로부터 연마 패드의 수명을 정확하게 결정하기가 곤란하였다.
또한, 드레서의 지립도 패드 드레싱에 의해 서서히 감모된다. 드레서의 드레싱 성능의 저하는, 연마 패드의 연마 성능의 저하로 연결되기 때문에, 연마 패드와 마찬가지로, 드레서를 정기적으로 교환할 필요가 있다. 이와 같이, 연마 패드 및 드레서는, 연마 장치의 소모품으로서, 최근에는 이들 소모품의 비용을 가능한 한 삭감하는 요청이 높아지고 있다. 소모품의 비용 삭감을 실현하기 위해, 연마 패드 및 드레서의 교환 시기, 즉 그것들의 수명을 정확하게 결정하는 것이 요구되고 있다.
본 발명은, 상기 서술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 연마 패드의 수명을 정확하게 결정할 수 있어, 연마 패드의 교환 빈도를 적게 할 수 있는 연마 장치를 제공하는 것을 제1 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 드레서의 수명을 정확하게 결정할 수 있어, 드레서의 교환 빈도를 적게 할 수 있는 연마 장치를 제공하는 것을 제2 목적으로 한다.
상기 서술한 제1 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 양태는, 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과, 기판을 상기 연마 패드의 연마면에 가압하는 톱링과, 상기 연마 테이블을 그 축심 둘레로 회전시키는 테이블 회전 모터와, 상기 톱링을 그 축심 둘레로 회전시키는 톱링 회전 모터와, 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는 드레서와, 상기 연마 패드의 높이를 측정하는 패드 높이 측정기와, 상기 연마 패드의 높이, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류, 및 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류를 감시하는 진단부를 구비하고, 상기 진단부는, 상기 연마 패드의 높이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 산출하고, 상기 연마 패드의 감모량과, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류와, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류에 기초하여 상기 연마 패드의 상기 연마면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치이다.
상기 서술한 제2 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제2 양태는, 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과, 기판을 상기 연마 패드의 연마면에 가압하는 톱링과, 상기 연마 테이블을 그 축심 둘레로 회전시키는 테이블 회전 모터와, 상기 톱링을 그 축심 둘레로 회전시키는 톱링 회전 모터와, 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는 드레서와, 상기 연마 패드의 높이를 측정하는 패드 높이 측정기와, 상기 연마 패드의 높이, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류, 및 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류를 감시하는 진단부를 구비하고, 상기 진단부는, 상기 연마 패드의 높이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 산출하고, 상기 연마 패드의 감모량 및 소정의 연마 기판 장수당의 총 드레싱 시간으로부터 상기 연마 패드의 커트 레이트를 산출하고, 또한 상기 연마 패드의 커트 레이트와, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류와, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류에 기초하여 상기 드레서의 드레싱면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치이다.
연마 패드가 감모되어 그 연마 성능이 저하되면, 후술하는 바와 같이, 기판의 연마 중, 연마 테이블을 회전시키는 모터 전류(토크) 및 톱링을 회전시키는 모터 전류(토크)에 특징적인 변화가 나타난다. 상기 서술한 본 발명의 제1 양태에 의하면, 연마 패드의 감모량에 더하여, 연마 테이블을 회전시키는 모터 전류 및 톱링을 회전시키는 모터 전류로부터 연마 패드의 연마면의 상태를 진단할 수 있고, 그 진단 결과로부터 연마 패드의 수명을 정확하게 결정할 수 있다.
또한, 드레서의 드레싱 성능이 저하되면, 연마 패드가 감모되었을 때와 마찬가지로, 기판의 연마 중에 연마 테이블을 회전시키는 모터 전류(토크) 및 톱링을 회전시키는 모터 전류(토크)에 특징적인 변화가 나타난다. 상기 서술한 본 발명의 제2 양태에 의하면, 연마 패드의 커트 레이트(드레서에 의해 깎아내어지는 연마 패드의 단위 시간당의 양)에 더하여, 연마 테이블을 회전시키는 모터 전류 및 톱링을 회전시키는 모터 전류로부터 드레서의 드레싱면의 상태를 진단할 수 있고, 그 진단 결과로부터 드레서의 수명을 정확하게 결정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 있어서의 연마 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 변위 센서에 의해 측정된 연마 패드의 높이를 나타내는 그래프이다.
도 3은 연마 패드의 감모량과 연마된 기판 장수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 4는 연마 패드의 감모량과 연마 패드의 교환 주기를 나타내는 그래프이다.
도 5는 톱링 및 연마 테이블을 회전시키는 모터의 전류를 검출하는 구조를 나타내는 모식도이다.
도 6A는, 연마 패드의 감모량이 허용 범위 내에 있을 때의, 톱링 회전 모터 및 테이블 회전 모터의 전류를 나타내는 그래프이다.
도 6B는, 연마 패드의 감모량이 허용 범위를 넘었을 때의, 톱링 회전 모터 및 테이블 회전 모터의 전류를 나타내는 그래프이다.
도 7A는, 연마 패드의 감모량이 허용 범위 내에 있을 때의, 연마된 기판의 실제 막두께와 미리 설정된 목표 막두께의 차이를 나타내는 그래프이다.
도 7B는, 연마 패드의 감모량이 허용 범위를 넘었을 때의, 연마된 기판의 실제 막두께와 미리 설정된 목표 막두께의 차이를 나타내는 그래프이다.
도 8은 연마 패드의 수명을 결정하는 방법을 나타내는 플로우차트이다.
도 9는 연마 패드의 높이 및 연마 패드의 높이의 이동 평균값의 변화를 나타내는 그래프이다.
도 10은 연마 레이트의 평가를 설명하는 플로우차트이다.
도 11은 연마 레이트의 평가의 다른 예를 나타내는 플로우차트이다.
도 12는 연마 레이트의 평가의 또 다른 예를 나타내는 플로우차트이다.
도 13은 도 8에 나타내는 연마 패드의 수명을 결정하는 방법의 변형예를 나타내는 플로우차트이다.
도 14는 도 8에 나타내는 연마 패드의 수명을 결정하는 방법의 다른 변형예를 나타내는 플로우차트이다.
도 15는 도 10에 나타내는 연마 레이트의 평가를 설명하는 플로우차트의 변형예를 나타내는 플로우차트이다.
도 16은 드레서의 수명을 결정하는 방법을 나타내는 플로우차트이다.
도 17은 연마 패드의 높이 및 커트 레이트의 변화를 나타내는 그래프이다.
도 18은 도 16에 나타내는 드레서의 수명을 결정하는 방법의 변형예를 나타내는 플로우차트이다.
도 19는 기판의 복수의 영역을 독립적으로 가압하는 복수의 에어백을 구비한 톱링의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 있어서의 연마 장치를 나타내는 모식도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 연마 장치는, 연마 테이블(12)과, 지지축(14)의 상단에 연결된 톱링 요동 아암(16)과, 톱링 요동 아암(16)의 자유단에 장착된 톱링 샤프트(18)와, 톱링 샤프트(18)의 하단에 연결된 대략 원반 형상의 톱링(20)과, 각종 데이터를 처리하는 진단부(47)를 구비하고 있다. 진단부(47)는, 도시하지 않았으나, 데이터를 기억하는 기억부와, 당해 데이터를 처리하는 연산 처리부를 가지고 있다. 도 1에서는 도시하지 않았으나, 톱링 샤프트(18)는, 타이밍 벨트 등의 연결 수단을 통해 톱링 회전 모터에 연결되어 회전 구동되도록 되어 있다. 이 톱링 샤프트(18)의 회전에 의해, 톱링(20)이 화살표로 나타내는 방향으로 톱링 샤프트(18) 둘레로 회전하도록 되어 있다.
연마 테이블(12)은, 테이블 축(12a)을 통해 그 하방에 배치되는 테이블 회전 모터(70)에 연결되어 있고, 이 테이블 회전 모터(70)에 의해 연마 테이블(12)이 테이블 축(12a) 둘레로 화살표로 나타내는 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다. 이 연마 테이블(12)의 상면에는 연마 패드(22)가 첩부되어 있고, 연마 패드(22)의 상면(22a)이 반도체 웨이퍼 등의 기판을 연마하는 연마면을 구성하고 있다.
톱링 샤프트(18)는, 상하동 기구(24)에 의해 톱링 요동 아암(16)에 대하여 상하동하도록 되어 있고, 이 톱링 샤프트(18)의 상하동에 의해 톱링(20)이 톱링 요동 아암(16)에 대하여 상하동하도록 되어 있다. 또한, 톱링 샤프트(18)의 상단에는 로터리 조인트(25)가 장착되어 있다.
톱링(20)은, 그 하면에 반도체 웨이퍼 등의 기판을 유지할 수 있게 구성되어 있다. 톱링 요동 아암(16)은 지지축(14)을 중심으로 하여 선회 가능하게 구성되어 있고, 하면에 기판을 유지한 톱링(20)은, 톱링 요동 아암(16)의 선회에 의해 기판의 수취 위치로부터 연마 테이블(12)의 상방으로 이동된다. 그리고, 톱링(20)을 하강시켜 기판을 연마 패드(22)의 상면(연마면)(22a)에 가압한다. 기판의 연마 중에는, 톱링(20) 및 연마 테이블(12)을 각각 회전시켜, 연마 테이블(12)의 상방에 설치된 연마액 공급 노즐(도시 생략)로부터 연마 패드(22) 상에 연마액을 공급한다. 이와 같이, 기판을 연마 패드(22)의 연마면(22a)에 슬라이딩 접촉시켜 기판의 표면을 연마한다.
톱링 샤프트(18) 및 톱링(20)을 승강시키는 승강 기구(24)는, 베어링(26)을 통해 톱링 샤프트(18)를 회전 가능하게 지지하는 브리지(28)와, 브리지(28)에 장착된 볼 나사(32)와, 지주(30)에 의해 지지된 지지대(29)와, 지지대(29) 상에 설치된 AC 서보모터(38)를 구비하고 있다. 서보모터(38)를 지지하는 지지대(29)는, 지주(30)를 통해 톱링 요동 아암(16)에 연결되어 있다.
볼 나사(32)는, 서보모터(38)에 연결된 나사 축(32a)과, 이 나사 축(32a)이 나선 결합되는 너트(32b)를 구비하고 있다. 톱링 샤프트(18)는, 브리지(28)와 일체가 되어 승강(상하동)하도록 되어 있다. 따라서, 서보모터(38)를 구동시키면, 볼 나사(32)를 통해 브리지(28)가 상하동하고, 이로써 톱링 샤프트(18) 및 톱링(20)이 상하동한다.
이 연마 장치는, 연마 테이블(12)의 연마면(22a)을 드레싱하는 드레싱 유닛(40)을 구비하고 있다. 이 드레싱 유닛(40)은, 연마면(22a)에 슬라이딩 접촉되는 드레서(50)와, 드레서(50)가 연결되는 드레서 샤프트(51)와, 드레서 샤프트(51)의 상단에 설치된 에어 실린더(53)와, 드레서 샤프트(51)를 자유롭게 회전할 수 있도록 지지하는 드레서 요동 아암(55)을 구비하고 있다. 드레서(50)의 하면은 드레싱면(50a)을 구성하고, 이 드레싱면(50a)은 지립(예를 들어, 다이아몬드 입자)으로 구성되어 있다. 에어 실린더(53)는, 지주(56)에 의해 지지된 지지대(57) 상에 배치되어 있고, 이들의 지주(56)는 드레서 요동 아암(55)에 고정되어 있다.
드레서 요동 아암(55)은 도시하지 않은 모터에 구동되어, 지지축(58)을 중심으로 하여 선회하도록 구성되어 있다. 드레서 샤프트(51)는, 도시하지 않은 모터의 구동에 의해 회전하고, 이 드레서 샤프트(51)의 회전에 의해, 드레서(50)가 드레서 샤프트(51) 둘레로 화살표로 나타내는 방향으로 회전하도록 되어 있다. 에어 실린더(53)는, 드레서 샤프트(51)를 통해 드레서(50)를 상하동시켜, 드레서(50)를 소정의 가압력으로 연마 패드(22)의 연마면(22a)에 가압한다.
연마 패드(22)의 연마면(22a)의 드레싱은 다음과 같이 하여 행해진다. 드레서(50)는 에어 실린더(53)에 의해 연마면(22a)에 가압되고, 이와 동시에 도시하지 않은 순수 공급 노즐로부터 순수가 연마면(22a)에 공급된다. 이 상태에서, 드레서(50)가 드레서 샤프트(51) 둘레로 회전하고, 드레싱면(50a)을 연마면(22a)에 슬라이딩 접촉시킨다. 또한, 드레서 요동 아암(55)을 지지축(58)을 중심으로 하여 선회시켜 드레서(50)를 연마면(22a)의 반경 방향으로 이동시킨다. 이와 같이 하여, 드레서(50)에 의해 연마 패드(22)가 깎아내어져, 연마면(22a)이 드레싱(재생)된다.
이 연마 장치에서는, 이 드레서(50)의 세로 방향의 위치를 이용하여 연마 패드(22)의 감모량을 측정한다. 즉, 드레싱 유닛(40)은 드레서(50)의 세로 방향의 변위를 측정하는 변위 센서(60)를 구비하고 있다. 이 변위 센서(60)는, 연마 패드(22)의 높이[즉 연마면(22a)의 높이]를 측정하는 패드 높이 측정기이다. 연마 패드(22)의 높이란, 연마 패드(22)의 상면[즉 연마면(22a)]의 높이로서, 변위 센서(60)는, 그 값의 변화(변위)를 측정한다. 그리고, 이 변화(변위)가 연마 패드(22)의 감모량이다. 변위의 기준은 장치 내에는 없으며, 최초로 측정한 연마 패드(22)의 연마면(22a)의 높이가 기준이 된다. 즉, 기준은 연마 패드마다의 고유의 값으로서, 연마 패드마다 기준을 측정한다.
드레서 샤프트(51)에는 플레이트(61)가 고정되어 있고, 드레서(50)의 상하동에 수반하여, 플레이트(61)가 상하동하도록 되어 있다. 변위 센서(60)는 플레이트(61)에 고정되어 있고, 플레이트(61)의 변위를 측정함으로써 드레서(50)의 변위를 측정한다. 즉, 변위 센서(60)는, 당해 변위 센서(60)의 하단과 드레서 요동 아암(55)의 상면과의 상대 변위를 측정할 수 있게 구성되어 있다.
에어 실린더(53)를 구동시키면, 드레서(50), 드레서 샤프트(51), 플레이트(61), 및 변위 센서(60)가 일체로 상하동하도록 되어 있다. 한편, 드레서 요동 아암(55)의 상하 방향의 위치는 고정이다. 변위 센서(60)는, 드레서 요동 아암(55)의 상면에 대한 드레서(50)의 세로 방향의 변위를 측정함으로써, 연마 패드(22)의 연마면(22a)의 높이를 간접적으로 측정한다. 또한, 이 예에서는, 변위 센서(60)로서 접촉식 변위 센서가 사용되고 있으나, 비접촉식 변위 센서를 사용해도 된다. 구체적으로는, 리니어 스케일, 레이저식 센서, 초음파 센서, 또는 와전류식 센서 등을 변위 센서(60)로서 사용할 수 있다. 또한, 변위 센서 대신에, 2점 사이의 거리를 측정하는 거리 센서를 사용해도 된다.
연마 패드(22)의 감모량은, 다음과 같이 하여 구해진다. 먼저, 에어 실린더(53)를 구동시켜 드레서(50)를, 초기 드레싱이 완료된 연마 패드(22)의 연마면(22a)에 맞닿게 한다. 이 상태에서, 변위 센서(60)는 드레서(50)의 초기 위치(초기 높이)를 측정하고, 그 초기 위치(초기 높이)를 진단부(47)에 기억한다. 그리고, 1개의, 또는 복수의 기판의 연마 처리가 종료된 후, 다시 드레서(50)를 연마면(22a)에 맞닿게 하고, 이 상태에서 드레서(50)의 위치를 측정한다. 드레서(50)의 위치는 연마 패드(22)의 감모량에 따라 하방으로 변위되기 때문에, 진단부(47)는, 상기 초기 위치와 연마 후의 드레서(50)의 위치의 차이를 구함으로써, 연마 패드(22)의 감모량을 구할 수 있다.
드레싱 유닛(40)은, 기판을 연마할 때마다 연마 패드(22)의 드레싱을 행한다. 또한, 통상적으로는, 1장의 기판을 연마할 때마다 연마 패드(22)의 드레싱을 행한다. 드레싱은, 기판 연마 전 또는 후, 혹은 기판의 연마 중에 실시된다. 또한, 기판 연마 전 또는 후, 및 기판의 연마 중에 드레싱이 실시되는 경우도 있다. 연마 패드(22)의 감모량의 산출에는, 어느 드레싱시에 취득된 변위 센서(60)의 측정값이 사용된다.
드레서(50)는, 드레서 요동 아암(55)의 요동에 의해, 드레싱 중 연마 패드(22) 상을 그 반경 방향으로 요동(스캔)한다. 연마 패드(22)의 높이의 측정값은, 변위 센서(60)로부터 진단부(47)로 보내지고, 여기서 드레싱 중의 연마 패드(22)의 높이 측정값의 평균이 구해진다. 또한, 1회의 드레싱 동작에 대해, 드레서(50)는, 1회 또는 복수회 연마 패드(22) 상을 왕복(스캔)한다.
도 2는, 변위 센서(60)에 의해 측정된 연마 패드(22)의 높이를 나타내는 그래프이다. 도 2의 그래프에 있어서, 세로축은 연마 패드(22)의 연마면(22a)의 높이를 나타내고, 가로축은 시간을 나타내고 있다. 시간 t1은, 드레서(50)가 연마 패드(22)를 향해 하강하기 시작한 시점을 나타내고, 시간 t2'는, 드레서(50)가 연마 패드(22)로부터의 상승을 완료한 시점을 나타내고 있다. 따라서, 도 2의 그래프는, 연마 패드(22)의 드레싱이 시간 t1부터 시간 t2'까지의 사이에 행해진 것을 나타내고 있다. 변위 센서(60)는, 드레서(50)가 드레서 요동 아암(55)의 요동에 의해 연마면(22a) 상을 이동하고 있는 사이에 연마 패드(22)의 높이를 측정하여 복수의 측정값을 취득하고, 진단부(47)는, 얻어진 측정값에 기초하여 연마 패드(22)의 높이를 결정한다.
그러나, 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 드레서(50)가 연마 패드(22)에 접촉하기 시작한 드레싱 초기 단계, 및 드레서(50)가 연마 패드(22)로부터 이간되기 시작한 드레싱 최종 단계에서 취득된 측정값은, 연마 패드(22)의 높이를 정확하게 반영하고 있지는 않다. 그래서, 진단부(47)는, 드레서(50)가 연마 패드(22)에 접촉하고 나서 이간될 때까지 취득된 연마 패드(22)의 높이의 측정값으로부터, 미리 정해진 드레싱 초기 기간(Δt1)과 드레싱 최종 기간(Δt2)에 취득된 측정값을 제거하고, 연마 패드(22)의 높이를 반영한 패드 높이 측정값을 취득하여, 이 패드 높이 측정값의 평균값을 구한다. 이와 같이, 드레싱의 초기 기간(Δt1) 및 최종 기간(Δt2)을 제외한 드레싱 기간(Δｔ) 중에 취득된 측정값만이 사용되어 연마 패드(22)의 높이가 구해진다.
드레싱 시간 내에 있어서의 드레싱 초기 기간(Δt1) 및 드레싱 최종 기간(Δt2)은, 다음과 같이 하여 특정할 수 있다. 도 2에 나타내는 1점 쇄선은, 드레서(50)의 드레싱 위치 신호를 나타내고 있다. 이 드레서(50)의 드레싱 위치 신호는, 드레서(50)의 드레싱 위치를 결정하는 신호로서, 도 2에 나타내는 드레싱 위치 신호는, 시간 t1부터 시간 t2까지의 소정 기간에 있어서, 드레서(50)가 연마 패드(22)를 드레싱하는 것을 나타내고 있다. 드레서(50)는, 이 드레싱 위치 신호에 기초하여 상하동 및 스캔 동작을 행한다. 드레싱 초기 기간(Δt1)은, 드레서(50)의 하강 개시점을 나타내는 드레싱 위치 신호의 시간 t1을 기준으로 하여 결정할 수 있다. 즉, 드레싱 초기 기간(Δt1)은, 드레싱 개시점을 나타내는 드레싱 위치 신호의 시간 t1부터 시작되는 소정의 고정 시간이다. 마찬가지로, 드레싱 최종 기간(Δt2)은, 드레서(50)의 상승 개시점을 나타내는 드레싱 위치 신호의 시간 t2를 기준으로 하여 결정할 수 있다. 즉, 드레싱 최종 기간(Δt2)은, 드레싱 종료점을 나타내는 드레싱 위치 신호의 시간 t2부터 시작되는 소정의 고정 시간이다.
진단부(47)는, 1회의 드레싱 동작 중에 취득된 복수의 측정값의 평균값을 구하고, 얻어진 평균값을 연마 패드(22)의 높이로서 결정한다. 또한, 진단부(47)는, 얻어진 연마 패드(22)의 높이와 미리 구해진 연마 패드(22)의 초기 높이 사이의 차이를 산출함으로써, 연마 패드(22)의 감모량을 취득한다.
도 3은, 연마 패드(22)의 감모량과 연마된 기판 장수의 관계를 나타내는 그래프이다. 도 3의 그래프에 있어서, 세로축은, 변위 센서(60)의 측정값으로부터 얻어진 연마 패드(22)의 감모량을 나타내고, 가로축은, 연마된 기판의 장수를 나타내고 있다. 가로축의 기판의 장수는, 시간으로서도 나타낼 수 있다. 따라서, 도 3의 그래프의 기울기는, 단위 시간당의 연마 패드(22)의 감모량을 나타내고 있다.
도 4는, 연마 패드의 감모량과 연마 패드의 교환 주기를 나타내는 그래프이다. 도 4의 그래프의 세로축은 연마 패드의 감모량을 나타내고, 가로축은 연마된 기판의 장수를 나타내고 있다. 종래에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 연마 패드(22)의 감모량이 그 한계 레벨에 도달하기 전에 연마 패드(22)가 교환되어 있었다. 따라서, 연마 패드(22)의 감모량의 한계 레벨을 정확하게 파악할 수 있으면, 연마 패드(22)의 수명을 약 10％ 이상 연장시킬 수 있을 것이 기대된다.
본 실시형태에서는, 변위 센서(패드 높이 센서)(60)에 의해 측정되는 연마 패드(22)의 감모량에 더하여, 연마 패드(22)의 감모에서 기인하여 변화하는 몇 가지 파라미터에 기초하여, 연마 패드(22)의 수명을 결정한다. 구체적으로는, 감시해야 할 파라미터로서, 톱링(20) 및 연마 테이블(12)의 회전에 필요한 모터 전류(토크)가 사용된다.
도 5는, 톱링(20) 및 연마 테이블(12)을 회전시키는 모터의 전류를 검출하는 구조를 나타내는 모식도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 연마 테이블(12)은 테이블 회전 모터(70)에 의해 회전 구동되고, 톱링(20)은 톱링 회전 모터(71)에 의해 회전 구동된다. 테이블 회전 모터(70) 및 톱링 회전 모터(71)에는, 모터 전류를 검출하는 테이블 모터 전류 검출부(75) 및 톱링 모터 전류 검출부(76)가 각각 접속되어 있다. 또한, 이들 전류 검출부(75, 76)를 설치하지 않고, 모터(70, 71)에 각각 접속된 모터 드라이버(도시 생략)로부터 출력되는 전류를 진단부(47)가 감시할 수도 있다.
기판(W)의 연마 중에는, 기판(W)의 표면과 연마 패드(22)의 연마면(22a)이 슬라이딩 접촉하기 때문에, 기판(W)과 연마 패드(22) 사이에는 마찰력이 발생한다. 일반적으로, 기판(W)의 연마 레이트(단위 시간당의 기판의 막 제거량, 제거 레이트라고도 한다)는, 이 마찰력에 의존한다. 즉, 기판(W)과 연마 패드(22) 사이의 마찰력이 작아지면, 기판(W)의 연마 레이트가 저하된다. 이 마찰력은 저항 토크로서 테이블 회전 모터(70) 및 톱링 회전 모터(71)에 작용한다. 따라서, 기판(W)과 연마 패드(22) 사이의 마찰력의 변화는 테이블 회전 모터(70) 및 톱링 회전 모터(71)에 가해지는 토크 변화로서 검출할 수 있다. 또한, 이 토크 변화는, 테이블 회전 모터(70) 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 변화로서 검출할 수 있다. 본 실시형태에서는, 기판(W)의 연마 중에 연마 테이블(12) 및 톱링(20)의 회전 속도를 유지시키기 위해 필요한 모터(70, 71)의 전류(즉, 토크 전류)는, 테이블 모터 전류 검출부(75) 및 톱링 모터 전류 검출부(76)에 의해 검출된다. 또한, 상기 서술한 바와 같이, 기판(W)의 연마 중에 연마 테이블(12) 및 톱링(20)의 회전 속도를 유지시키기 위해 필요한 모터(70, 71)의 전류(즉, 토크 전류)는, 모터(70, 71)에 접속된 모터 드라이버로부터 검출할 수도 있다. 또한, 이들의 예에 한정되지 않고, 모터(70, 71)의 전류(토크 전류)는, 어떠한 공지된 기술을 사용하여 검출해도 된다. 이하의 설명에서는, 모터 전류를 이용하여 기재하지만, 모터 전류를 모터 토크로 치환해도 된다. 모터의 토크는 모터 전류로부터 구해도 되고, 또는 모터 구동용의 드라이버로부터 출력(모니터)되는 토크값, 전류값을 이용해도 된다.
도 6A는, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위 내에 있을 때의, 톱링 회전 모터(71) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류를 나타내는 그래프이고, 도 6B는, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위를 넘었을 때의, 톱링 회전 모터(71) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류를 나타내는 그래프이다. 또한, 도 6A 및 도 6B에 나타내는 모터 전류는, 1장의 기판을 연마할 때마다 얻어지는 모터 전류의 측정값의 평균값을 플롯함으로써 그려져 있다.
본 실시형태에서는, 1장의 기판이 연마될 때마다, 연마 중에 있어서의 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값이 진단부(47)에 의해 구해진다. 정확한 전류의 평균값을 구하기 위해, 연마 테이블(12) 및 톱링(20)이, 실질적으로 일정한 회전 속도로 각각 회전하고 있을 때에 취득된 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값을 산출하는 것이 바람직하다. 여기서, 실질적으로 일정한 회전 속도란, 예를 들어, 설정 속도의 ±10％ 범위 내의 회전 속도이다.
도 6A와 도 6B의 대비로부터 알 수 있는 바와 같이, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위를 넘으면, 테이블 회전 모터(70)의 전류는 크게 감소하고, 톱링 회전 모터(71)의 전류는 크게 상승한다. 이것은 다음의 이유에 의한 것으로 생각된다. 통상, 기판의 연마 중, 연마 테이블(12)과 톱링(20)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 동일한 방향으로 회전하고, 각각의 회전 속도도 대략 동일하다. 이 때문에, 톱링(20)에는 연마 테이블(12)의 동반 회전 토크가 작용하여, 톱링(20)은 연마 테이블(12)의 회전에 의해 어느 정도 회전된다. 연마면(22a)에 의한 기판의 연마가 불가능해질 때까지 연마 패드(22)의 감모가 진행되면, 연마 테이블(12)의 부하가 저하되고, 그 결과, 테이블 회전 모터(70)의 전류가 저하된다[즉, 연마 테이블(12)의 회전 속도 유지를 위해 필요한 토크가 저하된다]. 한편, 톱링(20)에는, 연마 테이블(12)의 동반 회전 토크가 작용하지 않게 되므로, 톱링(20)의 회전 속도 유지를 위해 톱링 회전 모터(71)의 전류가 증가한다[즉, 톱링(20)의 회전 속도 유지를 위해 필요한 토크가 증가한다].
도 7A는, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위 내에 있을 때의, 연마된 기판의 실제 막두께와 미리 설정된 목표 막두께의 차이를 나타내는 그래프이고, 도 7B는, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위를 넘었을 때의, 연마된 기판의 실제 막두께와 미리 설정된 목표 막두께의 차이를 나타내는 그래프이다. 도 7A의 그래프는 도 6A의 그래프에 대응하고, 도 7B의 그래프는 도 6B의 그래프에 대응하고 있다. 또한, 도 7B 중의 A점은, 도 6B 중의 A점에 대응하고 있다. 도 7A로부터 알 수 있는 바와 같이, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위 내에 있을 때에는, 연마된 기판의 막두께와 목표 막두께의 차이는 작다. 한편, 도 7B에 나타내는 바와 같이, 연마 패드(22)의 감모량이 허용 범위를 넘으면, 연마된 기판의 막두께와 목표 막두께의 차이가 커진다. 따라서, 연마 패드(22)의 연마 성능이 유지되는 한에서, 연마 패드(22)의 교환 시기를 가능한 한 연장시키는 것이 바람직하다.
상기 서술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 연마 패드(22)의 수명을 결정하는 파라미터로서, 연마 패드(22)의 감모량에 더하여, 연마 테이블(12)의 모터(70)의 전류, 및 톱링(20)의 모터(71)의 전류가 사용된다. 연마 패드(22)가 감모되어 연마 레이트가 크게 저하되면, 도 6B에 나타내는 바와 같이, 모터(70, 71)의 전류가 특징적인 변화를 나타낸다. 따라서, 모터(70, 71)의 전류는, 연마 레이트의 저하를 나타내는 파라미터라고 할 수도 있다.
진단부(47)는, 연마 패드(22)의 감모량과, 모터(70, 71)의 전류에 의해 나타나는 연마 레이트의 변화에 기초하여, 연마 패드(22)의 연마면(22a)의 상태를 진단하고, 그 진단 결과로부터, 연마 패드(22)의 수명, 즉 교환 시기를 결정한다. 즉, 진단부(47)는, 변위 센서(60)의 측정값으로부터 산출되는 연마 패드(22)의 감모량과, 테이블 모터 전류 검출부(75)[또는 테이블 회전 모터(70)의 모터 드라이버]로부터 얻어진 테이블 회전 모터(70)의 전류와, 톱링 모터 전류 검출부(76)[또는 톱링 회전 모터(71)의 모터 드라이버]로부터 얻어진 톱링 회전 모터(71)의 전류를 감시하고, 이들의 파라미터에 기초하여 연마 패드(22)의 수명, 즉 감모 한계값을 결정한다.
연마 패드(22)의 수명은, 구체적으로는, 다음과 같이 하여 결정된다. 1장의 기판이 연마될 때마다, 변위 센서(60)는 연마 패드(22)의 연마면(22a)의 높이를 측정하고, 진단부(47)는 연마 패드(22)의 높이의 측정값 및 초기 높이로부터 패드 감모량을 산출한다. 또한, 진단부(47)는, 1장의 기판이 연마될 때마다, 그 기판의 연마 중에 취득된 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값을 산출한다. 진단부(47)는, 또한 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값의 이동 평균값과, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값의 이동 평균값을 산출한다.
진단부(47)는, 얻어진 패드 감모량과 소정의 관리값을 비교하여, 이 패드 감모량이 소정의 관리값을 넘었는지의 여부를 판단한다. 이 관리값은, 연마 패드(22)의 특성 등에 기초하여 미리 결정된다. 패드 감모량이 상기 관리값을 넘은 경우에는, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값이 소정의 제1 설정값을 상회하고, 또한 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값이 소정의 제2 설정값을 하회하였는지의 여부를 판단한다. 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값이 소정의 제1 설정값을 상회하고, 또한 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값이 소정의 제2 설정값을 하회하였을 때, 진단부(47)는, 연마 패드(22)가 그 수명에 달하였다고 판단한다.
톱링 회전 모터(71)의 전류 및 테이블 회전 모터(70)의 전류를 이용한 연마 패드(22)의 수명 판단은, 다음과 같이 행해도 된다. 패드 감모량이 상기 관리값에 도달하면, 진단부(47)는, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값과 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값의 차이가, 소정의 설정값 이하인지의 여부를 판단하고, 상기 차이가 소정의 설정값 이하일 때, 진단부(47)는, 연마 패드(22)가 그 수명에 달하였다고 판단한다.
또 다른 예에서는, 패드 감모량이 상기 관리값에 도달하면, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값의 변화율과 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값의 변화율의 차이가 소정의 설정값보다 큰지의 여부를 판단한다. 상기 차이가 소정의 설정값을 상회하였을 때, 진단부(47)는, 연마 패드(22)가 그 수명에 달하였다고 판단한다.
또한, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값과 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값의 변동이 작은 경우도 있을 수 있다. 따라서, 상기 이동 평균값을 구하지 않고, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값을 사용하여, 상기 서술한 방법에 따라 연마 패드(22)의 수명을 판단해도 된다.
이하, 연마 패드(22)의 수명을 결정하는 방법에 대해 도 8을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 도 8은, 연마 패드(22)의 수명을 결정하는 방법을 나타내는 플로우차트이다. 단계 1에서는, n장째의 기판이 연마된 후, 드레서(50)의 요동 중에 변위 센서(60)에 의해 연마 패드(22)의 높이를 복수의 계측점에서 계측하고, 진단부(47)는 연마 패드(22)의 높이의 측정값의 평균값을 산출하여, n장째의 기판 연마 후의 연마 패드(22)의 높이(H(n))를 결정한다. 연마 패드(22)의 높이(H)는, 연마 패드(22)가 드레싱될 때마다 취득된다.
단계 2에서는, 현재의 기판의 장수(n)가 소정의 수보다 큰지의 여부가 진단부(47)에 의해 결정된다. 본 실시형태에서는, 이 소정의 수는 30으로 설정되어 있다. 기판의 장수(n)가 30 이하인 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 기판의 장수(n)가 30보다 큰 경우에는, 연마 패드(22)의 높이(H(n))의 이동 평균이 진단부(47)에 의해 구해진다(단계 3). 구체적으로는, 소정 장수분의 기판에 대응하는 연마 패드(22)의 높이(H)의 복수의 값으로부터 이동 평균값이 구해진다. 본 실시형태에서는, n장째의 기판(현재의 기판)부터 n-30장째의 기판(선행하여 연마된 기판)까지의 가장 가까운 복수의 기판에 대응하는 연마 패드(22)의 높이(H(n), …, H(n-30))가 시계열 데이터로서 정의되고, 이 시계열 데이터의 평균값, 즉 이동 평균값(Hma(n))이 진단부(47)에 의해 산출된다. 즉, 진단부(47)는, 현재의 기판(n장째의 기판)에 대응하는 연마 패드(22)의 높이(H(n))가 얻어질 때마다, 가장 가까운 31장의 기판에 대응하는 연마 패드(22)의 높이(H(n), …, H(n-30))의 이동 평균값(Hma(n))을 산출한다.
도 9는, 연마 패드(22)의 높이(H) 및 연마 패드(22)의 높이의 이동 평균값(Hma)의 변화를 나타내는 그래프이다. 도 9의 그래프의 가로축은, 드레싱 누적 시간을 나타내고 있다. 이동 평균값(Hma)은, 상기 서술한 바와 같이, 가장 가까운 31장의 기판에 대응한 패드 높이의 값으로 이루어지는 시계열 데이터의 평균값을 나타내고 있다. 도 9로부터 알 수 있는 바와 같이, 연마 패드(22)의 높이(H)는 편차가 크고, 그 편차의 크기는 100㎛를 넘고 있다. 한편, 연마 패드(22)의 높이의 이동 평균값(Hma)은 편차가 작아, 연마 패드(22)의 높이(H)의 값이 평활화되어 있는 것을 알 수 있다. 연마 패드(22)의 높이(H) 및 그 이동 평균값(Hma)은, 연마 패드(22)가 드레싱될 때마다 취득된다. 또한, 1개의 이동 평균값(Hma)의 산출에 사용되는 시계열 데이터의 수는 31에 한정되지 않고, 적절히 결정할 수 있다. 또한, 연마 패드(22)의 높이(H)의 편차가 작은 경우에는, 이동 평균값(Hma)을 산출하는 것은 불필요하다. 이 경우에는, 연마 패드(22)의 감모량은, 연마 패드(22)의 높이(H) 및 초기 높이로부터 구해진다.
도 8로 되돌아가, 단계 4에서는, n장째의 기판(현재의 기판)에 대응하는 이동 평균값(Hma(n))과, n-30장째의 기판에 대응하는 이동 평균값(Hma(n-30))의 차이의 절대값 |Hma(n)-Hma(n-30)|이, 진단부(47)에 의해 구해진다. 그리고, 진단부(47)는, 얻어진 차이의 절대값이 소정의 문턱값 이하인지의 여부를 결정한다. 이 예에서는, 문턱값으로서 100㎛가 설정되어 있다. 단계 5에서는, 차이 |Hma(n)-Hma(n-30)|이 100㎛ 이하인 경우에는, 연마 패드(22)의 감모량의 산출에, 연마 패드(22)의 초기 높이(H0)가 그대로 사용된다(H0=H0). 한편, 차이 |Hma(n)-Hma(n-30)|이 100㎛보다 큰 경우에는, 연마 패드(22)의 초기 높이(H0)의 값으로서, 이동 평균값(Hma(n))이 이용된다(H0=Hma(n)). 또한, 단계 4 및 단계 5는, 연마 패드(22)가 교환되었는지의 여부를 판단하기 위한 단계이다. 연마 패드(22)의 교환 시간이 장치 정보로부터 얻어지는 경우에는, 이들 단계를 생략하고, 초기 높이(H0)를 갱신해도 된다.
단계 6에서는, 진단부(47)는, 현재의 이동 평균값(Hma(n))과 연마 패드(22)의 초기 높이(H0) 사이의 차이를 산출함으로써 현재의 연마 패드(22)의 감모량을 구하고, 얻어진 감모량이 소정의 관리값보다 큰지의 여부를 결정한다. 본 실시형태에서는, 관리값은 600㎛로 설정되어 있고, 이 관리값은 연마 패드(22)의 특성 등에 기초하여 미리 결정된다.
연마 패드(22)의 감모량이 소정의 관리값 이하인 경우, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 동일한 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 연마 패드(22)의 감모량이 소정의 관리값을 상회한 경우, 진단부(47)는, 테이블 회전 모터(70)의 전류 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 변화에 기초하여, 연마 레이트를 평가한다(단계 7). 이 연마 레이트의 평가 방법에 대해, 도 10을 참조하여 설명한다. 진단부(47)는, n장째의 기판의 연마 중에 측정된 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n)) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n))을 구한다. 여기서, T1(n), T2(n)은, 과거의 데이터의 대표값 등(최대값, 최소값)으로 스케일링화해도 된다. 또한, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n))의 이동 평균값(T1ma(n)) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n))의 이동 평균값(T2ma(n))을 구한다.
모터(71, 70)의 전류의 이동 평균값(T1ma(n), T2ma(n))은, 상기 서술한 연마 패드(22)의 높이의 이동 평균값(Hma(n))과 동일하게 하여 구해진다. 즉, 소정의 장수분의 기판에 대응하는 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n), T1(n-1), …, T1(n-N))으로부터 이동 평균값(T1ma(n))이 구해지고, 마찬가지로, 소정의 장수분의 기판에 대응하는 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n), T2(n-1), …, T2(n-N))으로부터 이동 평균값(T2ma(n))이 구해진다. N은 적절히 결정할 수 있다.
다음으로, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값(T1ma(n))이 소정의 제1 설정값(P1)을 상회하였는지의 여부를 결정한다. 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값(T1ma(n))이 제1 설정값(P1) 이하인 경우(T1ma(n)≤P1)에는, 연마 레이트가 양호하다고 판단된다. 한편, 이동 평균값(T1ma(n))이 제1 설정값(P1)을 상회한 경우(T1ma(n)>P1)에는, 진단부(47)는, 또한, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값(T2ma(n))이 소정의 제2 설정값(P2)을 하회하였는지의 여부를 판단한다.
테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값(T2ma(n))이 제2 설정값(P2) 이상인 경우에는(T2ma(n)≥P2), 연마 레이트가 양호하다고 판단된다. 한편, 이동 평균값(T2ma(n))이 제2 설정값(P2)을 하회한 경우에는(T2ma(n)<P2), 연마 레이트가 저하되었다고 판단된다. 도 8로 되돌아가, 연마 레이트가 저하되었다고 판단되면, 진단부(47)는, 연마 패드(22)가 그 수명에 달하였다고 판단하여, 도시하지 않은 경보 장치에 연마 패드(22)의 교환 통지를 발신하고, 이 경보 장치에 알람을 발생시킨다.
연마 패드(22)의 교환 통지를 발신한 후, 진단부(47)는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 상기 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다.
도 11은, 연마 레이트의 평가의 다른 예를 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 진단부(47)는, n장째의 기판의 연마 중에 측정된 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n)) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n))을 구한다. 또한, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n))의 이동 평균값(T1ma(n)) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n))의 이동 평균값(T2ma(n))을 구한다.
다음으로, 진단부(47)는, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값(T2ma(n))과 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값(T1ma(n))의 차이가, 소정의 설정값(P3) 이하인지의 여부를 판단한다. 상기 차이가 소정의 설정값 이하일 때(T2ma(n)-T1ma(n)≤P3), 진단부(47)는, 연마 레이트가 저하되었다고, 즉 연마 패드(22)가 수명에 달하였다고 판단하고, 도시하지 않은 경보 장치에 알람을 발생시킨다. 한편, 상기 차이가 소정의 설정값보다 클 때에는(T2ma(n)-T1ma(n)>P3), 진단부(47)는 연마 레이트가 양호하다고 판단하고, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 상기 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다.
도 12는, 연마 레이트의 평가의 또 다른 예를 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 진단부(47)는, n장째의 기판(현재의 기판)의 연마 중에 측정된 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n)) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n))을 구한다. 또한, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 평균값(T1(n))의 이동 평균값(T1ma(n)) 및 테이블 회전 모터(70)의 전류의 평균값(T2(n))의 이동 평균값(T2ma(n))을 구한다.
다음으로, 진단부(47)는, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값(T1ma(n))과, n-Δn장째의 기판(선행하는 기판)의 연마 후에 산출된 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값(T1ma(n-Δn))의 차이(T1ma(n)-T1ma(n-Δn))를 구하고, n장째의 기판과 n-Δn장째의 기판 사이의 기판의 장수차(Δn)로 상기 차이(T1ma(n)-T1ma(n-Δn))를 나눔으로써, n장째의 기판에 관한 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값의 변화율(T1'ma(n))을 구한다. 즉, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값의 변화율(T1'ma(n))은, 다음 식으로 나타낸다.
T1'ma(n)={T1ma(n)-T1ma(n-Δn)}/Δn (1)
또한, T1'ma(n)은, 함수 y=f(x)(단, y는 T1ma, x는 기판수)에 있어서의 n점에서의 미분값이어도 된다.
마찬가지로, 진단부(47)는, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값(T2ma(n))과, n-Δn장째의 기판(선행하는 기판)의 연마 후에 산출된 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값(T2ma(n-Δn))의 차이(T2ma(n)-T2ma(n-Δn))를 구하고, n장째의 기판과 n-Δn장째의 기판 사이의 기판의 장수차(Δn)로 상기 차이(T2ma(n)-T2ma(n-Δn))를 나눔으로써, n장째의 기판에 관한 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값의 변화율(T2'ma(n))을 구한다. 즉, 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값의 변화율(T2'ma(n))은, 다음 식으로 나타낸다.
T2'ma(n)={T2ma(n)-T2ma(n-Δn)}/Δn (2)
또한, T2'ma(n)은, 함수 y=f(x)(단, y는 T2ma, x는 기판수)에 있어서의 n점에서의 미분값이어도 된다.
또한, 본 명세서에 있어서, 전류의 이동 평균값의 변화율이란, 소정의 기판 장수(Δn)당의 전류의 이동 평균값의 변화량을 말한다. Δn은 자연수이며, 적절히 설정된다. 이 전류의 이동 평균값의 변화율은, 1장의 기판이 연마될 때마다 진단부(47)에 의해 산출된다.
진단부(47)는, 다음으로, 톱링 회전 모터(71)의 전류의 이동 평균값의 변화율(T1'ma(n))과 테이블 회전 모터(70)의 전류의 이동 평균값의 변화율(T2'ma(n))의 차이(T1'ma(n)-T2'ma(n))를 구하고, 얻어진 차이가 소정의 설정값(P4)보다 큰지의 여부를 결정한다. 얻어진 차이가 소정의 설정값(P4)보다 큰 경우에는(T1'ma(n)-T2'ma(n)>P4), 진단부(47)는, 연마 레이트가 저하되었다고, 즉 연마 패드(22)가 수명에 달하였다고 판단하고, 도시하지 않은 경보 장치에 알람을 발생시킨다. 한편, 상기 차이가 소정의 설정값 이하일 때에는(T1'ma(n)-T2'ma(n)≤P4), 진단부(47)는 연마 레이트가 양호하다고 판단하고, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 상기 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다.
연마 레이트를 평가하기 위한 또 다른 예로서, 막두께 측정기를 사용하여 연마 전후의 막두께를 측정하고, 그 막두께의 값과 연마 시간으로부터 연마 레이트를 산출하고, 미리 정한 설정값과 구한 연마 레이트를 비교하여, 연마 레이트의 저하를 판정해도 된다.
도 8에 나타낸 예에서는, 모터 전류를 이용한 연마 레이트의 평가에 기초하여 연마 패드(22)의 수명이 결정되고 있는데, 연마 레이트의 평가에 더하여, 면내 균일성의 평가에 기초하여 연마 패드(22)의 수명을 결정해도 된다. 도 13은, 도 8에 나타내는 연마 패드의 수명을 결정하는 방법의 변형예를 나타내는 플로우차트이다. 이 예에서는, 연마 레이트의 평가 후, 면내 균일성이 평가된다(단계 8). 연마 레이트의 평가 및 면내 균일성의 평가의 결과가 모두 양호한 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 연마 레이트의 평가 및 면내 균일성의 평가 중 어느 일방의 결과가 나쁜 경우에는, 진단부(47)는, 연마 패드(22)가 수명에 달하였다고 판단하고, 도시하지 않은 경보 장치에 알람을 발생시킨다. 또한, 연마 레이트와 면내 균일성 사이에 상관이 있는 경우에는, 도 13의 점선으로 그려진 화살표에 나타내는 바와 같이, 단계 8의 면내 균일성의 평가를 생략해도 된다.
여기서, 면내 균일성이란, 기판의 표면에 형성되어 있는 막이 균일하게 연마되어 있는지의 여부를 나타내는 지표이다. 이 면내 균일성은, 기판을 연마한 후에, 인라인 타입 또는 오프라인 타입의 막두께 측정기(도시 생략)에 의해 실제로 막두께를 측정함으로써 평가된다.
도 8 및 도 13에 나타내는 예에서는, 연마 패드(22)의 높이(H(n))로부터 추가로 이동 평균값(Hma(n))이 구해지고, 이 이동 평균값(Hma(n))과 초기 높이(H0)로부터 연마 패드(22)의 감모량이 구해진다. 그러나, 연마 패드(22)의 높이(H(n))의 변동이 작은 경우에는, 이동 평균값(Hma(n))을 구하지 않아도 된다. 이 경우, 도 8의 플로우차트는, 도 14에 나타내는 바와 같이 변경된다. 또한, 도 10?도 12에 나타내는 예에 있어서도, 전류의 이동 평균값(T1ma(n), T2ma(n))을 구하지 않고, 전류의 평균값(T1(n), T2(n))을 이용하여 연마 레이트를 평가해도 된다. 예를 들어, 도 10에 나타내는 플로우차트는 도 15에 나타내는 바와 같이 변경된다.
연마 레이트의 저하는, 연마 패드(22)의 감모뿐만 아니라, 드레서(50)의 드레싱 성능의 저하에 의해서도 일어날 수 있다. 드레서(50)의 드레싱 성능은, 일반적으로 커트 레이트로서 나타낸다. 커트 레이트란, 단위 시간당 드레서(50)가 연마 패드를 깎아내는 양이다. 커트 레이트가 저하되면, 연마 패드(22)의 연마면(22a)이 드레싱(재생)되지 않아, 결과적으로 연마 레이트가 저하된다. 이 때문에, 연마 패드(22)가 감모된 경우와 마찬가지로, 모터(70, 71)의 전류는, 도 6B에 나타내는 바와 같이, 특징적인 변화를 나타낸다. 따라서, 모터(70, 71)의 전류에 기초하여, 드레서(50)의 드레싱면(50a)의 상태를 진단하고, 그 진단 결과로부터 드레서(50)의 수명, 즉 교환 시기를 결정할 수 있다.
이하, 드레서(50)의 수명(교환 시기)을 결정하는 일 실시형태에 대해 도 16을 참조하여 설명한다. 도 16은, 드레서(50)의 수명을 결정하는 방법을 나타내는 플로우차트이다. 단계 1에서는, 연마 패드(22)의 높이(H(n))가 진단부(47)에 의해 구해지고, 단계 2에서는, 연마 패드(22)의 높이(H(n))의 이동 평균값(Hma(n))이 구해진다. 연마 패드(22)의 높이(H) 및 그 이동 평균값(Hma)은, 기판이 연마될 때마다 취득된다.
단계 3에서는, 현재의 기판의 장수(n)가 소정의 수보다 큰지의 여부가 진단부(47)에 의해 결정된다. 본 실시형태에서는, 이 소정의 수는 50으로 설정되어 있다. 기판의 장수(n)가 50 이하인 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 기판의 장수(n)가 50보다 큰 경우에는, n장째의 기판(현재의 기판)에 대응하는 이동 평균값(Hma(n))과, n-50장째의 기판에 대응하는 이동 평균값(Hma(n-50))의 차이의 절대값 |ΔHma(n)|=|Hma(n)-Hma(n-50)|이, 진단부(47)에 의해 구해진다. 단계 4에서는, 진단부(47)는, 얻어진 차이의 절대값 |ΔHma(n)|이 소정의 문턱값 이하인지의 여부를 결정한다. 이 예에서는, 소정의 문턱값으로서 100㎛가 설정되어 있다.
차이의 절대값 |ΔHma(n)|이 100㎛보다 큰 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 차이의 절대값 |ΔHma(n)|이 100㎛ 이하인 경우에는, 연마 패드(22)의 커트 레이트가 소정의 관리값보다 작은지의 여부가 진단부(47)에 의해 결정된다(단계 5). 연마 패드(22)의 커트 레이트는, 상기 서술한 차이의 절대값 |ΔHma(n)|을, 연마된 기판 50장당의 총 드레싱 시간(드레싱 시간의 누적값) ΣΔt로 나눔으로써 얻어진다. 즉, 연마 패드(22)의 커트 레이트는, 다음 식에 의해 구해진다.
|Hma(n)-Hma(n-50)|/ΣΔt (3)
도 17은, 연마 패드(22)의 높이(H) 및 커트 레이트 |ΔHma|/ΣΔt의 변화를 나타내는 그래프이다.
얻어진 커트 레이트가 상기 관리값 이상인 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 커트 레이트가 상기 관리값보다 작은 경우에는, 진단부(47)는, 테이블 회전 모터(70)의 전류 및 톱링 회전 모터(71)의 전류의 변화에 기초하여, 연마 레이트를 평가한다(단계 6). 이 연마 레이트의 평가는, 도 8에 나타내는 플로우차트에서의 연마 레이트의 평가와 동일하게 행해지므로, 그 상세한 설명을 생략한다.
연마 레이트가 양호하다고 평가된 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 상기 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 연마 레이트가 저하되었다고 평가된 경우에는, 진단부(47)는, 드레서(50)가 그 수명에 달하였다고 판단하여, 도시하지 않은 경보 장치에 드레서(50)의 교환 통지를 발신하고, 이 경보 장치에 알람을 발생시킨다. 드레서(50)의 교환 통지를 발신한 후, 진단부(47)는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 상기 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 이와 같이 하여, 드레서(50)의 교환 시기를, 연마 패드(22)의 커트 레이트, 테이블 회전 모터(70)의 전류, 및 톱링 회전 모터(71)의 전류에 기초하여 결정할 수 있다.
또한, 이 실시형태에 있어서도, 연마 패드(22)의 높이의 이동 평균값(Hma(n))을 구하지 않고, 연마 패드(22)의 높이(H(n))로부터 커트 레이트를 결정해도 된다. 마찬가지로, 전류의 이동 평균값(T1ma(n), T2ma(n))을 구하지 않고, 전류의 평균값(T1(n), T2(n))을 이용하여 연마 레이트를 평가해도 된다. 또한, 도 16의 점선으로 그려진 화살표로 나타내는 바와 같이, 커트 레이트가 상기 관리값보다 작은 경우에는, 진단부(47)는, 도시하지 않은 경보 장치에 알람을 발생시켜도 된다.
도 13에 나타내는 예와 마찬가지로, 연마 레이트의 평가에 더하여, 면내 균일성의 평가에 기초하여 드레서(50)의 수명을 결정해도 된다. 도 18은, 도 16에 나타내는 드레서의 수명을 결정하는 방법의 변형예를 나타내는 플로우차트이다. 이 예에서는, 연마 레이트의 평가 및 면내 균일성의 평가의 결과가 모두 양호한 경우에는, 다음 기판(n+1장째의 기판)에 대해 처리 시퀀스를 단계 1부터 반복한다. 한편, 연마 레이트의 평가 및 면내 균일성의 평가 중 어느 일방의 결과가 나쁜 경우에는, 진단부(47)는, 연마 레이트가 저하되었다고, 즉 드레서(50)가 수명에 달하였다고 판단하고, 도시하지 않은 경보 장치에 알람을 발생시킨다.
이상에서 서술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 연마 패드 및 드레서의 교환 시기를, 연마 레이트의 저하를 나타내는 톱링 회전 모터 및 테이블 회전 모터의 전류의 변화에 기초하여 정확하게 결정할 수 있다. 따라서, 소모품인 연마 패드 및 드레서의 교환 빈도를 적게 하여, 연마 장치의 러닝 코스트를 낮출 수 있다. 나아가서는, 연마 패드 및 드레서의 교환 빈도가 적어지므로, 연마 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다. 또한, 연마 패드 및 드레서의 수명이란, 이들 소모품에서 기인하여 제품의 수율 저하로 연결되는 연마 레이트의 저하, 면내 균일성의 저하, 또는 결함(디펙트)의 증가가 발생한 상태를 말한다.
에어백을 구비한 톱링은, 톱링(20)의 하나의 구성예이다. 이 타입의 톱링은, 톱링의 하면(기판 유지면)을 구성하는 1개 또는 복수의 에어백 내에 가압 공기 등의 기체를 공급하고, 그 기체의 압력으로 기판을 연마 패드(22)에 대하여 가압한다. 이러한 톱링을 사용하는 경우에는, 모터의 전류 또는 토크 대신에, 톱링의 기판 유지면을 구성하는 에어백에 공급하는 기체의 유량을 측정하여, 그 측정값으로부터 연마 패드의 상태를 감시할 수도 있다. 구체적으로는, 1장마다의 기판의 연마 중에 얻어지는 유량의 최대 레인지(진동 등으로 흔들리는 유량의 파형의 피크와 피크 사이의 크기)를 측정하고, 그 소정 기판 장수(N)의 (이동)평균값과 소정의 관리값의 비교를 행하여 연마 패드의 상태를 진단한다. 예를 들어, 얻어진 유량 레인지의 (이동)평균값이 관리값에 도달하였을 때에, 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단할 수 있다. 다른 방법으로는, 유량의 평균값을 감시하는 것이 아니라, 유량의 주파수 분석(FFT)을 행하여, 그 결과로부터 연마 패드의 상태를 판단할 수도 있다. 통상, 기체의 유량은, 연마 테이블(12)의 회전 주기에 따라 변동한다. 따라서, 에어백에 공급되는 기체의 유량의 주파수 분석(FFT)을 실시하여, 연마 테이블(12)의 회전 주기와 동일 주기의 파워 스펙트럼(유량 진폭)을 선택적으로 감시하고, 그 파워 스펙트럼과 소정의 관리값을 비교하여 연마 패드의 상태를 진단할 수 있다. 또한, 선택한 주파수 이외의 주파수에서 파워 스펙트럼이 큰 값이 발생한 경우에는, 연마 패드의 수명 이외의 문제가 발생하였다고 판단할 수 있다. 즉, 이상(異常)의 분류 구분이 가능하게 된다.
도 19는, 기판의 복수의 영역을 독립적으로 가압하는 복수의 에어백을 구비한 톱링의 일례를 나타내는 단면도이다. 톱링(20)은, 톱링 샤프트(18)에 자유 이음매(80)를 통해 연결되는 톱링 본체(81)와, 톱링 본체(81)의 하부에 배치된 리테이너 링(82)을 구비하고 있다. 톱링 본체(81)의 하방에는, 기판(W)에 맞닿는 원형의 멤브레인(86)과, 멤브레인(86)을 유지하는 척킹 플레이트(87)가 배치되어 있다. 멤브레인(86)과 척킹 플레이트(87) 사이에는, 4개의 에어백(압력실)(C1, C2, C3, C4)이 설치되어 있다. 에어백(C1, C2, C3, C4)은 멤브레인(86)과 척킹 플레이트(87)에 의해 형성되어 있다. 중앙의 에어백(C1)은 원형이고, 다른 에어백(C2, C3, C4)은 고리형이다. 이들 에어백(C1, C2, C3, C4)은, 동심 상에 배열되어 있다.
에어백(C1, C2, C3, C4)에는 각각 유체로(91, 92, 93, 94)를 통하여 압력 조정부(100)에 의해 가압 공기 등의 가압 유체가 공급되거나, 혹은 에어퍼지가 되도록 되어 있다. 에어백(C1, C2, C3, C4)의 내부 압력은 서로 독립적으로 변화시키는 것이 가능하고, 이에 따라, 기판(W)의 4개의 영역, 즉, 중앙부, 내측 중간부, 외측 중간부 및 주연부에 대한 가압력을 독립적으로 조정할 수 있다. 또한, 톱링(20) 전체를 승강시킴으로써, 리테이너 링(82)을 소정의 가압력으로 연마 패드(22)에 가압할 수 있게 되어 있다.
척킹 플레이트(87)와 톱링 본체(81) 사이에는 에어백(C5)이 형성되고, 이 에어백(C5)에는 유체로(95)를 통하여 상기 압력 조정부(100)에 의해 가압 유체가 공급되거나, 혹은 에어퍼지가 되도록 되어 있다. 이에 따라, 척킹 플레이트(87) 및 멤브레인(86) 전체가 상하 방향으로 움직일 수 있다. 유체로(91, 92, 93, 94, 95)에는, 가압 유체의 유량을 측정하는 유량 검출기(F1, F2, F3, F4, F5)가 각각 설치되어 있다. 이들 유량 검출기(F1, F2, F3, F4, F5)의 출력 신호(즉 유량의 측정값)는 진단부(47)(도 1 참조)에 보내지도록 되어 있다.
기판(W)의 둘레 단부는 리테이너 링(82)에 둘러싸여 있어, 연마 중에 기판(W)이 톱링(20)으로부터 튀어나오지 않도록 되어 있다. 에어백(C3)을 구성하는, 멤브레인(86)의 부위에는 개구가 형성되어 있고, 에어백(C3)에 진공을 형성함으로써 기판(W)이 톱링(20)에 흡착 유지되도록 되어 있다. 또한, 이 에어백(C3)에 질소 가스나 클린에어 등을 공급함으로써, 기판(W)이 톱링(20)으로부터 릴리스되도록 되어 있다.
연마 장치의 제어부(도시 생략)는, 각 에어백(C1, C2, C3, C4)에 대응하는 위치에 있는 계측점에서의 연마의 진척에 기초하여, 각 에어백(C1, C2, C3, C4)의 내부 압력의 목표값을 결정한다. 제어부는 상기 압력 조정부(100)에 지령 신호를 보내고, 에어백(C1, C2, C3, C4)의 내부 압력이 상기 목표값에 일치하도록 압력 조정부(100)를 제어한다. 복수의 에어백을 가지는 톱링(20)은, 연마의 진척에 따라 기판의 표면 상의 각 영역을 독립적으로 연마 패드(22)에 가압할 수 있으므로, 막을 균일하게 연마할 수 있다.
상기 서술한 실시형태는, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서의 통상적인 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있는 것을 목적으로 하여 기재된 것이다. 상기 실시형태의 다양한 변형예는, 당업자라면 당연히 행할 수 있는 것이며, 본 발명의 기술적 사상은 다른 실시형태에도 적용할 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명은, 기재된 실시형태에 한정되는 일은 없으며, 특허청구의 범위에 의해 정의되는 기술적 사상에 따른 가장 넓은 범위로 해석되는 것이다.

Claims (28)

  1. 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과,
    기판을 상기 연마 패드의 연마면에 가압하는 톱링과,
    상기 연마 테이블을 그 축심 둘레로 회전시키는 테이블 회전 모터와,
    상기 톱링을 그 축심 둘레로 회전시키는 톱링 회전 모터와,
    상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는 드레서와,
    상기 연마 패드의 높이를 측정하는 패드 높이 측정기와,
    상기 연마 패드의 높이, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류, 및 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류를 감시하는 진단부를 구비하고,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 높이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 산출하고, 상기 연마 패드의 감모량과, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류와, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류에 기초하여 상기 연마 패드의 상기 연마면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진단부는, 기판의 연마 중에 있어서의 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값과, 상기 기판의 연마 중에 있어서의 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값을 산출하고, 상기 연마 패드의 감모량과, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값과, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값에 기초하여 상기 연마 패드의 상기 연마면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 감모량이 소정의 관리값을 상회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값이 소정의 제1 설정값을 상회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값이 소정의 제2 설정값을 하회하였을 때에, 상기 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 감모량이 소정의 관리값을 상회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값과 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 차이가 소정의 설정값 이하가 되었을 때에, 상기 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 감모량이 소정의 관리값을 상회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 변화율과 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 변화율의 차이가 소정의 설정값을 상회하였을 때에, 상기 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 기판의 연마 중에 상기 연마 테이블이 실질적으로 일정한 회전 속도로 회전하고 있을 때의 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값과, 상기 기판의 연마 중에 상기 톱링이 실질적으로 일정한 회전 속도로 회전하고 있을 때의 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값을 구하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 이동 평균값과, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 이동 평균값을 더 산출하고, 상기 연마 패드의 감모량과, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값과, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값에 기초하여 상기 연마 패드의 상기 연마면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 감모량이 소정의 관리값을 상회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값이 소정의 제1 설정값을 상회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값이 소정의 제2 설정값을 하회하였을 때에, 상기 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 감모량이 소정의 관리값을 상회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값과 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값의 차이가 소정의 설정값 이하가 되었을 때에, 상기 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 감모량이 소정의 관리값을 상회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값의 변화율과 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값의 변화율의 차이가 소정의 설정값을 상회하였을 때에, 상기 연마 패드가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 패드 높이 측정기는, 상기 드레서가 상기 연마 패드를 드레싱할 때마다, 상기 연마 패드의 높이의 복수의 측정값을 취득하고,
    상기 진단부는, 상기 복수의 측정값의 평균값을 상기 연마 패드의 높이로서 결정하고, 당해 결정된 상기 연마 패드의 높이와 상기 연마 패드의 초기 높이 사이의 차이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 결정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 결정된 상기 연마 패드의 높이의 이동 평균값을 산출하고, 상기 연마 패드의 높이의 상기 이동 평균값과 상기 연마 패드의 초기 높이 사이의 차이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 결정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 패드 높이 측정기는, 상기 드레서의 세로 방향의 위치로부터 상기 연마 패드의 높이를 간접적으로 측정하도록 구성되어 있고,
    상기 패드 높이 측정기는, 상기 드레서가 상기 연마 패드를 드레싱하고 있는 사이에 상기 연마 패드의 높이를 측정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 드레싱 중에 취득된 상기 복수의 측정값으로부터, 소정의 드레싱 초기 기간 및 소정의 드레싱 최종 기간에 취득된 측정값을 제거하고, 상기 연마 패드의 높이를 반영한 패드 높이 측정값을 취득하여, 당해 패드 높이 측정값의 평균값으로부터 상기 연마 패드의 높이를 결정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  15. 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과,
    기판을 상기 연마 패드의 연마면에 가압하는 톱링과,
    상기 연마 테이블을 그 축심 둘레로 회전시키는 테이블 회전 모터와,
    상기 톱링을 그 축심 둘레로 회전시키는 톱링 회전 모터와,
    상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는 드레서와,
    상기 연마 패드의 높이를 측정하는 패드 높이 측정기와,
    상기 연마 패드의 높이, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류, 및 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류를 감시하는 진단부를 구비하고,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 높이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 산출하고, 상기 연마 패드의 감모량 및 소정의 연마 기판 장수당의 총 드레싱 시간으로부터 상기 연마 패드의 커트 레이트를 산출하고, 또한 상기 연마 패드의 커트 레이트와, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류와, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류에 기초하여 상기 드레서의 드레싱면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 진단부는, 기판의 연마 중에 있어서의 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값과, 상기 기판의 연마 중에 있어서의 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값을 산출하고, 상기 연마 패드의 커트 레이트와, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값과, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값에 기초하여 상기 드레서의 드레싱면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 커트 레이트가 소정의 관리값을 하회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값이 소정의 제1 설정값을 상회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값이 소정의 제2 설정값을 하회하였을 때에, 상기 드레서가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 커트 레이트가 소정의 관리값을 하회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값과 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 차이가 소정의 설정값 이하가 되었을 때에, 상기 드레서가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 커트 레이트가 소정의 관리값을 하회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 변화율과 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 변화율의 차이가 소정의 설정값을 상회하였을 때에, 상기 드레서가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  20. 제16항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 기판의 연마 중에 상기 연마 테이블이 실질적으로 일정한 회전 속도로 회전하고 있을 때의 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값과, 상기 기판의 연마 중에 상기 톱링이 실질적으로 일정한 회전 속도로 회전하고 있을 때의 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 평균값을 구하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  21. 제16항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 이동 평균값과, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 평균값의 이동 평균값을 더 산출하고, 상기 연마 패드의 커트 레이트와, 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값과, 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값에 기초하여 상기 드레서의 드레싱면의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 커트 레이트가 소정의 관리값을 하회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값이 소정의 제1 설정값을 상회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값이 소정의 제2 설정값을 하회하였을 때에, 상기 드레서가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 커트 레이트가 소정의 관리값을 하회하고, 또한 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값과 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값의 차이가 소정의 설정값 이하가 되었을 때에, 상기 드레서가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  24. 제21항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 커트 레이트가 소정의 관리값을 하회하고, 또한 상기 톱링 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값의 변화율과 상기 테이블 회전 모터의 토크 또는 전류의 상기 이동 평균값의 변화율의 차이가 소정의 설정값을 상회하였을 때에, 상기 드레서가 그 수명에 달하였다고 판단하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  25. 제15항에 있어서,
    상기 패드 높이 측정기는, 상기 드레서가 상기 연마 패드를 드레싱할 때마다, 상기 연마 패드의 높이의 복수의 측정값을 취득하고,
    상기 진단부는, 상기 복수의 측정값의 평균값을 상기 연마 패드의 높이로서 결정하고, 당해 결정된 상기 연마 패드의 높이와 상기 연마 패드의 초기 높이 사이의 차이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 결정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 결정된 상기 연마 패드의 높이의 이동 평균값을 산출하고, 상기 연마 패드의 높이의 상기 이동 평균값과 상기 연마 패드의 초기 높이 사이의 차이로부터 상기 연마 패드의 감모량을 결정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  27. 제25항에 있어서,
    상기 패드 높이 측정기는, 상기 드레서의 세로 방향의 위치로부터 상기 연마 패드의 높이를 간접적으로 측정하도록 구성되어 있고,
    상기 패드 높이 측정기는, 상기 드레서가 상기 연마 패드를 드레싱하고 있는 사이에 상기 연마 패드의 높이를 측정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 진단부는, 상기 연마 패드의 드레싱 중에 취득된 상기 복수의 측정값으로부터, 소정의 드레싱 초기 기간 및 소정의 드레싱 최종 기간에 취득된 측정값을 제거하고, 상기 연마 패드의 높이를 반영한 패드 높이 측정값을 취득하여, 당해 패드 높이 측정값의 평균값으로부터 상기 연마 패드의 높이를 결정하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
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