KR20120024568A - 웨이퍼를 다루기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼들을 다루는 시스템에 있어서, 적어도 하나의 언로딩 스테이션; 웨이퍼를 비스듬하게 파지하도록 설계된 적어도 하나의 중간 스테이션; 가공 스테이션; 및 상기 스테이션들 사이에서 상기 웨이퍼들을 이동시키도록 구성된 이송 장치를 포함한다. 중간 스테이션은 등을 서로 맞대는 배치로 웨이퍼들을 수용하도록 구성된다. 웨이퍼들을 다루기 위한 장치는 일측에 개별적인 웨이퍼들을 파지하도록 구성된 진공 파지부와, 타측에 웨이퍼 아래에 위치하여 들어 올려졌을 때 하나 이상의 웨이퍼들을 지지하도록 구성된 중력 파지부를 포함한다. 웨이퍼를 다루기 위한 방법은 웨이퍼를 언로딩하는 단계, 웨이퍼를 중간 스테이션으로 이송하는 단계, 상기 중간 스테이션으로부터 가공스테이션으로 상기 웨이퍼들을 이송하는 단계, 상기 웨이퍼들을 처리하는 단계, 상기 가공 스테이션으로부터 상기 웨이퍼들을 언로딩하는 단계, 캐리어에 상기 웨이퍼들을 리로딩하는 단계를 포함하고, 상기 웨이퍼들은 이송 장치에 의해 언로딩, 이송 및 리로딩된다.

Description

웨이퍼를 다루기 위한 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHODS FOR HANDLING WAFERS}
본 출원서는 일반적으로 제조 환경에서 얇은 웨이퍼들을 다루는 것에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 확산 퍼니스(diffusion furnace) 처리에서 로딩 및 언로딩을 위해 태양전지 웨이퍼를 다루는 것에 관한 것이다.
제조에 있어서, 얇고 깨지기 쉬운 재료들(여기서는 "웨이퍼")을 다루는 것은 제조 과정 동안 웨이퍼가 파손되는 경우 발생할 재료와 시간 모두의 낭비로 인하여 매우 어려울 수 있다. 웨이퍼들은 매우 다양한 재료일 수 있는데, 웨이퍼의 특정한 일례는 전자 장치, 태양 및 다른 응용들에 이용되는 것과 같은 실리콘 웨이퍼이다.
태양 전지 웨이퍼는 실리콘, GaAS, 등과 같은 반도체 재료로부터 보통 만들어지는 깨지기 쉬운 얇고 평면인 웨이퍼이다. 효율을 높이고 재료비를 줄이기 위하여, 태양 전지 웨이퍼는 점점 더 얇게 만들어지고 있어서, 다루는 과정에서 태양 전지 웨이퍼들의 파손 및 낭비로 인한 제조 과정에서의 많은 어려움을 초래한다.
태양 전지 웨이퍼를 제조하는 데 있어서 한 특정 과정은 웨이퍼가 처리를 위한 확산 퍼니스에 로딩 및 언로딩 되는 것을 수반한다. 이러한 과정에서, 태양 전지 웨이퍼의 오직 한 면만 확산 퍼니스에서 처리되는 것이 바람직하다. 이와 같이, 태양 전지 웨이퍼는 각 웨이퍼의 오직 한 면만 확산 퍼니스의 환경에 놓이게 되도록 일반적으로 서로 등을 맞대고("BTB") 배치된다.
확산 퍼니스에 들어가고 나옴에 따른 웨이퍼를 다루기 위한 종래의 시스템은 웨이퍼를 서로 등을 맞댄 방식으로 정확하게 위치시키기 위한 복잡한 시스템들과 함께매우 복잡하고 부피가 큰 경향이 있어 건평을 효율적으로 이용하지 못한다. 예를 들어, 일부 종래의 시스템들은 BTB 웨이퍼들을 정확히 위치시키려는 시도로 캐리어에 복잡한 빗살 구조를 이용한다. 이러한 방법으로 웨이퍼를 다루는 것은 다루는데 요구되는 시간으로 인하여 처리량을 줄어들게 하여 여전히 웨이퍼 등의 정렬 불량으로 인한 비교적 많은 양의 재료의 파손 또는 낭비를 가져온다.
따라서, 웨이퍼를 다루는, 특히 태양 전지 웨이퍼를 다루기 위한 개선된 시스템, 장치 및 방법이 필요하다.
상기 시스템, 장치 및/또는 방법은 상기 단점들 중 적어도 하나를 극복하도록 의도되었다.
일 측면에 따르면, 적어도 하나의 언로딩 스테이션; 웨이퍼를 비스듬하게 파지하도록 설계된 적어도 하나의 중간 스테이션; 가공 스테이션; 및 상기 스테이션들 사이에서 상기 웨이퍼들을 이동시키도록 구성된 이송 장치를 포함하는 웨이퍼를 다루기 위한 시스템이 제공된다.
어느 경우에, 상기 이송 장치는 진공 파지부와 중력 파지부를 포함할 수 있다.
다른 경우에, 상기 중간 스테이션은 등을 서로 맞대는(BTB) 배치로 웨이퍼들을 수용하도록 구성되는 데, 웨이퍼들의 한 그룹은 중간 스테이션에 놓이고, 웨이퍼들의 제2그룹은 웨이퍼들이 서로 등을 맞대도록 제1그룹의 상부에서 중간 스테이션에 놓일 수 있다.
다른 측면에 따르면, 일측에 개별적인 웨이퍼들을 파지하도록 구성된 진공 파지부와, 타측에 웨이퍼 아래에 위치하여 들어 올려졌을 때 하나 이상의 웨이퍼들을 지지하도록 구성된 중력 파지부를 포함하는 웨이퍼들을 다루기 위한 장치가 제공된다.
또 다른 측면에 따르면, 웨이퍼를 다루기 위한 방법은 웨이퍼를 언로딩하고, 웨이퍼를 중간 스테이션으로 이송하고, 상기 중간 스테이션으로부터 가공스테이션으로 상기 웨이퍼들을 이송하고, 상기 웨이퍼들을 처리하며, 상기 가공 스테이션으로부터 상기 웨이퍼들을 언로딩하고, 캐리어에 상기 웨이퍼들을 리로딩하는 것을 포함하고, 상기 웨이퍼들은 이송 장치에 의해 언로딩, 이송 및 리로딩된다.
어느 경우에, 상기 웨이퍼들은 처리된 이후 단일 웨이퍼로 분리될 수 있다.
일 측면에 따르면, 전반적으로 평면인 상부면과 전반적으로 평면인 하부면을 갖는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템에 있어서, 적어도 하나의 언로딩 스테이션; 전단과 후단을 가지며, 상기 웨이퍼들의 면이 수평면에 대해 비스듬한 각도로 위치하도록 상기 웨이퍼들을 파지하도록 구성된 적어도 하나의 중간 스테이션; 및 상기 언로딩 스테이션과 상기 중간 스테이션 사이에서 상기 웨이퍼들을 이송하도록 구성된 이송 장치를 포함한다.
어느 경우에, 상기 이송 장치는 진공 파지부 및 중력 파지부를 포함한다.
다른 경우에, 상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 웨이퍼를 지지하도록 구성된 후방 멈춤부를 각각 포함하는 복수의 슬롯들을 포함한다.
다른 경우에, 상기 비스듬한 각도는 전단으로부터 후단까지 아래를 향한다.
다른 경우에, 상기 비스듬한 각도는 30도와 60도 사이이다.
다른 경우에, 상기 비스듬한 각도는 45도이다.
다른 경우에, 상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 복수의 웨이퍼들 중 제1웨이퍼와 상기 복수의 웨이퍼들 중 제2웨이퍼를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 슬롯을 포함하여, 상기 제1웨이퍼는 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입되고, 상기 제2웨이퍼는 상기 제1 및 제2웨이퍼들 각각의 상부면들이 접촉한 상태로 상기 제1웨이퍼의 상부에서 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입된다.
다른 경우에, 상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 상기 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 제2웨이퍼를 들어올리도록 설계된 진공 구성요소를 포함한다.
다른 경우에, 상기 이송 장치는 서로 등을 맞대도록 배치된 웨이퍼들을 상기 적어도 하나의 중간 스테이션으로부터 제거하여 상기 웨이퍼들을 가공 캐리어로 로딩하기 위한 가장자리 파지 장치에 놓도록 구성된다.
다른 경우에, 상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 복수의 웨이퍼들 중 제1웨이퍼와 상기 복수의 웨이퍼들 중 제2웨이퍼를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 슬롯을 포함하여, 상기 제1웨이퍼는 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입되고, 상기 제2웨이퍼는 상기 제1 및 제2웨이퍼들 각각의 하부면들이 접촉한 상태로 상기 제1웨이퍼의 상부에서 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입된다.
다른 경우에, 상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 상기 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 제2웨이퍼를 들어올리도록 설계된 진공 구성요소를 포함한다.
다른 경우에, 상기 이송 장치는 서로 등을 맞대도록 배치된 웨이퍼들을 상기 적어도 하나의 중간 스테이션으로부터 제거하여 상기 웨이퍼들을 가공 캐리어로 로딩하기 위한 가장자리 파지 장치에 놓도록 구성된다.
다른 경우에, 가공 스테이션을 더 포함하고, 상기 가공 스테이션은 상기 복수의 웨이퍼들이 로딩된 가공 캐리어를 받아들이도록 구성되며, 상기 캐리어는 가공을 위한 퍼니스로 이동된다.
또 다른 측면에 따르면, 적어도 하나의 핑거를 포함하는, 웨이퍼를 다루기 위한 장치가 제공되는 데, 상기 적어도 하나의 핑거는 진공 흡입력에 의해 제1선택 웨이퍼를 파지하도록 구성된 진공 파지부를 포함하는 제1면; 및 제2선택 웨이퍼 아래에 위치하여 들어 올려졌을 때 상기 선택된 웨이퍼를 지지하도록 구성된 중력 파지부를 포함하는 제2면을 포함하고, 상기 적어도 하나의 핑거는 상기 제1면 또는 상기 제2면이 상기 제1선택 웨이퍼 또는 상기 제2선택 웨이퍼에 대해 선택적으로 위치할 수 있도록 회전가능하다.
어느 경우에, 상기 진공 파지부는 진공 공급 시스템, 및 상기 진공 공급 시스템과 연통하는 복수의 기공들을 포함한다.
다른 경우에, 상기 진공 공급 시스템은 진공 호스를 수용하도록 구성된다.
다른 경우에, 상기 중력 파지부는 편평한 면과 적어도 하나의 융기부를 포함하여, 웨이퍼가 상기 편평한 부분에 놓이고 상기 적어도 하나의 융기부에 의해 지지된다.
다른 경우에, 상기 중력 파지부는 두 개의 융기부를 포함하며, 상기 두 개의 융기부는 중력 파지부의 양측에 위치하고 말단에 대해 비스듬한 방향으로 있어, 상기 웨이퍼가 상기 두 개의 융기부들 사이에 상기 웨이퍼의 모서리가 놓이도록 위치한다.
다른 경우에, 상기 중력 파지부는 편평한 면과 적어도 두 개의 융기부를 포함하여, 웨이퍼가 상기 편평한 부분에 놓이고 상기 적어도 두 개의 융기부에 의해 지지된다.
또 다른 측면에 따르면, 웨이퍼를 다루는 방법에 있어서, 언로딩 스테이션으로부터 웨이퍼를 언로딩하는 단계; 상기 언로딩 스테이션으로부터 중간 스테이션으로 상기 웨이퍼를 이송하는 단계; 상기 중간 스테이션으로부터 가공 스테이션으로 상기 웨이퍼를 이송하는 단계; 상기 웨이퍼들을 처리하는 단계; 상기 가공 스테이션으로부터 상기 웨이퍼를 언로딩하는 단계; 상기 웨이퍼를 캐리어에 리로딩하는 단계를 포함하고, 상기 웨이퍼들은 이송 장치에 의해 언로딩되고, 이송되고 리로딩된다.
어느 경우에, 웨이퍼의 쌍들이 각각의 상부면이 접촉 위치하도록 상기 웨이퍼들을 서로 등을 맞대는 배치로 상기 중간 스테이션에 위치시키는 단계를 더 포함한다.
다른 경우에, 웨이퍼의 쌍들이 각각의 하부면이 접촉 위치하도록 상기 웨이퍼들을 서로 등을 맞대는 배치로 상기 중간 스테이션에 위치시키는 단계를 더 포함한다.
다른 경우에, 상기 웨이퍼들이 그 상부면들이 위로 향하게 정렬되도록 개별적인 각각의 슬롯들의 캐리어에 웨이퍼들을 위치시키는 단계를 더 포함한다.
그 밖의 측면들 및 특징들은 첨부된 도면들과 결합하여 특정 실시예들의 이하의 설명에 의해 당업자에게 명백해질 것이다.
따라서, 본 발명은 상기 목적에 따라, 웨이퍼를 다루는, 특히 태양 전지 웨이퍼를 다루기 위한 개선된 시스템, 장치 및 방법이 제공된다.
여기에 설명된 실시예들의 더 나은 이해와 이들이 어떻게 실시되는지 더욱 명확하게 보여주기 위해, 모범적인 실시예들을 보여주는 다음의 첨부 도면들을 오직 예로써 참조 될 것이다.
도 1은 웨이퍼를 다루기 위한 실시예에 따른 시스템의 블록도이다.
도 2A와 2B는 웨이퍼를 다루기 위한 로봇의 말단 장치에 대한 사시도이다.
도 3A와 3B는 웨이퍼를 다루기 위한 로봇의 말단 장치에 대한 사시도이다.
도 4A, 4 및 4C는 말단 장치로 웨이퍼를 이동시키기 위한 푸셔(pusher)를 나타낸 도면이다.
도 5A와 5B는 중간 로딩 스테이션을 나타낸 도면이다.
도 6A와 6B는 중간 로딩 스테이션에 웨이퍼를 배치하는 말단 장치를 나타낸 도면이다.
도 7A, 7B, 7C 및 7D는 중간 로딩 스테이션으로부터 BTB 웨이퍼들을 제거하는 말단 장치를 나타낸 도면이다.
도 8A와 8B는 엣지 홀딩 장치(edge holding device)에 웨이퍼들을 배치하는 말단 장치를 나타낸 도면이다.
도 9A, 9B, 9C, 9D 및 9E는 퍼니스 보트(furnace boat)에 BTB 웨이퍼를 배치하는 엣지 홀딩 장치의 도면이다.
도 10A, 10B, 10C 및 10D는 퍼니스 보트에 있는 BTB 웨이퍼의 도면이다.
도 11A, 11B, 11C 및 11D는 중간 언로딩 스테이션과 중간 언로딩 스테이션으로부터 웨이퍼들을 제거하는 말단 장치의 도면이다.
도 12는 웨이퍼를 다루기 위한 예시 방법의 흐름도이다.
설명의 단순함과 명확함을 위하여, 적절히 고려되는 경우, 대응 또는 유사한 구성요소 또는 단계를 가리키는 참조번호들은 도면들 사이에서 반복될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 덧붙여, 여기에 서술된 모범적인 실시예들의 완전한 이해를 제공하기 위하여 다수의 구체적인 상세한 설명이 제시될 것이다. 그러나, 여기에 설명된 실시예들이 이러한 구체적인 상세한 설명 없이도 당업자에 의해 실행될 수 있음을 알 수 있을 것이다. 다른 경우에는, 여기에 설명된 실시예들을 모호하게 하지 않도록 잘 알려진 방법들, 과정들 및 구성들은 상세하게 설명하지 않았다.나아가, 이 설명은 어떠한 방식으로든 여기에 서술된 실시예들의 범위를 한정하기보다는, 여기에 서술된 다양한 실시예들의 이행을 단순히 설명한 것으로 간주되어야 한다.
도 1은 실시예에 따른 웨이퍼를 다루기 위한 시스템(100)의 블록도이다. 이 특정 실시예에서, 웨이퍼들은 대략 160 마이크로미터의 두께를 갖는 태양 전지들이다. 도 1의 시스템은 웨이퍼를 캐리어로부터 확산 퍼니스 보트로 그리고 다시 캐리어로 이동시키는 처리 과정의 개요이다. 그러나, 이 실시예에서 이용된 시스템들 및 방법들은 다른 웨이퍼 처리 상황들에도 적용될 수 있음을 알 수 있을 것이다.
제조 환경 내에서 이동을 위하여, 웨이퍼들은 보통 캐리어(미도시)에 적재된다. 캐리어는 이동 중 웨이퍼들이 파손되는 것으로부터 보호하기 위하여 웨이퍼들이 삽입되는 복수의 슬롯들을 포함한다.
도 1의 시스템에서, 다양한 스테이션들 간에 웨이퍼들을 운반하도록 제공된 장치는 로봇(105)일 수 있다. 초기에, 캐리어는 오버헤드 컨베이어 등과 같은 컨베이어 시스템(미도시)을 보통 거쳐, 웨이퍼 언로딩 스테이션(110)에 도착한다. 웨이퍼 언로딩 스테이션(110)에서, 웨이퍼들은 퍼니스 캐리어(때로는 '퍼니스 보트'라고 함)로의 운반에 대비하여 캐리어로부터 제거된다. 상기 언급한 바와 같이, 처리량 효율을 높이고 태양 전지 웨이퍼들의 오직 한 면만 가공하는 것을 감안하여, 태양 전지 웨이퍼들은 보통 확산 퍼니스에서 처리되기 전에 일반적으로 서로 등을 맞대고(BTB) 배치된다. 제조 속도에 있어 퍼니스 보트에서의 이러한 BTB 배치에서 웨이퍼들을 정확히 위치시키는 것은 약간의 어렵다.
본 실시예에서, 로봇(105)은 BTB 배열로 놓여지도록 웨이퍼를 캐리어로부터 중간 로딩 스테이션(115)으로 우선 운송한다. 이하에서 더 설명될 바와 같이, 중간 로딩 스테이션(115)은 웨이퍼의 정확하고 민감한 BTB 배치를 감안한다.
중간 로딩 스테이션(115)으로부터, 로봇(105)은 퍼니스 보트에서의 배치를 위해 BTB 웨이퍼들을 보트 로딩 스테이션(120)으로 이동시킨다. BTB 웨이퍼들이 퍼니스 보트에 적재되자마자, 퍼니스 보트는 처리를 위한, 확산 퍼니스(125)일 수 있는, 공정 스테이션으로 이동된다. 확산 퍼니스(125)로의 이동은 컨베이어(미도시), 서보 축, 다른 로봇, 등을 거쳐 이루어질 수 있다.
환산 퍼니스(125)에서 처리 및 공정에 따라, 퍼니스 보트는 보트 언로딩 스테이션(130)으로 이동한다. 로봇(105)은 웨이퍼들이 캐리어에 교체되는 리로딩 스테이션(140)으로의 로봇(105)에 의한 운송을 위해 BTB 웨이퍼들이 단일의 웨이퍼들로 분리되는 중간 언로딩 스테이션(135)으로 BTB 웨이퍼들을 상기 보트로부터 운송한다.
처리량 목표에 대한 필요에 따라 로봇들 또는 스테이션들이 추가될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 하나의 로봇이 확산 이전에 웨이퍼들을 언로딩하도록 제공될 수 있고, 반면 다른 로봇은 다음의 확산 웨이퍼들을 로딩하도록 제공될 수 있다. 마찬가지로, 낮은 처리량 상황에서, 중간 로딩 스테이션은 중간 언로딩 스테이션으로도 이용될 수 있다. 나아가, 퍼니스 보트 로딩 및 언로딩 스테이션들은 동일한 스테이션일 수 있고, 일부 경우에 있어 로딩과 언로딩은 동시에 같은 보트로 이루어질 수 있다. 다양한 스테이션들의 이러한 모듈 방식의 이용은 필요에 따라 높은 또는 낮은 처리량을 제공하도록 제조라인이 빠르게 수정되게 하는 제조 유연성을 제공한다.
다음의 단락들은 로봇과 각 스테이션 및 각 스테이션들에서 일어나는 공정들에 대한 상세한 설명의 개요이다. 여기서 구체적인 실시예들은 오직 참조로서이고, 다른 실시예도 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
본 실시예에서 로봇은 말단 장치(200, 때로는 '아암의 말단(EOAT)'이라고도 함 )를 갖춘 다축아암(미도시)을 포함한다. 도 2A, 2B, 3A 및 3B는 로봇(105)의 말단 장치(200)에 대한 사시도를 나타낸다. 말단 장치는 복수의 플레이트들(205, 때로는 '핑거(finger)'라고도 함)을 포함한다. 도 2 및 3에서는, 플레이트들이 오직 3개만 도시되었지만, 말단 장치(200)는 보통 캐리어로부터 소정 량의 웨이퍼들을 운반하는 데 요구되는 만큼 많은 플레이트를 갖는다. 플레이트의 일측에는 진공파지 시스템(210, 도 2A 및 2B 참조, 때로는 '진공 파지부'라고도 함)이 마련되는 반면, 타측에는 BTB 배치일 때 웨이퍼들을 지지하기 위해 이용되는 그 끝단의 기계적 멈춤부들(220)을 갖는 일반적으로 편평한 표면으로 이루어진 중력파지 시스템(215, 도 3A 및 3B 참조, 때로는 '중력 파지부'라고도 함)이 마련된다.
도 2A와 2B에 도시한 바와 같이, 진공 파지부는 각 플레이트의 말단에 마련되어, 진공 공급 시스템 및 이 진공 공급 시스템과 연통하는 복수의 기공들을 포함한다. 진공 공급 시스템은 진공 호스(미도시)가 말단 장치에 장착되어 웨이퍼들을 끌어당겨 편평한 플레이트에 대해 잡아두는 복수의 기공들에 진공을 형성할 수 있도록 구성된다. 도 2B는 웨이퍼들(230)을 파지한 진공 파지부를 도시한다.
도 3A에 도시한 바와 같이, 중력 파지부(215)는 플레이트의 편평한 표면(217)과, 각 플레이트의 말단에 마련되는 두 개의 융기된 돌출부(기계적 멈춤부 220)를 포함한다. 상기 플레이트는 웨이퍼들 사이에 삽입되어 편평한 면이 웨이퍼에 대해 배치되도록 이동되고, 상기 융기된 부분들은 플레이트가 이동할 때 웨이퍼들이 편평한 부분에 받쳐져 도 3B에 도시한 바와 같이 융기된 부분에 의해 지지되도록(예를 들어, 웨이퍼가 수직으로 위치하면 수직으로, 웨이퍼가 45도 각도이면 45도로, 웨이퍼가 수평이면, 수평으로, 등) 웨이퍼의 가장자리 바깥쪽(예를 들어, 웨이퍼가 수직으로 있다면 아래쪽)에 있다. 본 실시예에서, 융기된 부분들은 플레이트의 말단에 대하여 비스듬하고, 상기 융기될 부분들 사이에 웨이퍼의 모서리가 끼워지도록 기울어진 방향으로 웨이퍼들을 지지하도록 구성된다. 도 3A는 두 개의 융기된 부분들을 이용하는 것을 도시하였지만, 두 개 이상의 융기된 부분들 또는 기계적 멈춤부가 적용되어 웨이퍼들을 지지하도록 이용될 수 있음은 물론이다.
본 출원의 실시예들의 범위를 벗어나지 않는 한 진공 파지부 및 중력 파지부의 다른 배치들이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이 특정 실시예에서, 진공 파지부 및 중력 파지부는 동일한 물리적인 말단 장치의 양면이지만, 반드시 이러한 경우만은 아니다.
상기에 간략히 서술한 바와 같이, 웨이퍼 언로딩 스테이션에서, 웨이퍼들로 채워진 캐리어들은 컨베이어 시스템으로부터 제거된다. 본 실시예에서, 웨이퍼들이 수평으로 배열되도록 캐리어는 수직으로 위치한다. 웨이퍼들을 처리면(때로는 '태양면'이라고도 함)이 모두 한 방향에 있도록 향하게 한 채로, 캐리어들은 보통 캐리어마다 100개의 웨이퍼들을 운반한다. 특정 일 실시예에 따르면, 웨이퍼들이 그 "태양면을 아래로" 향하게 하도록, 즉 태양면이 아래를 보도록 캐리어는 위치할 수 있다.
도시하지는 않았지만, 웨이퍼 언로딩 스테이션은 웨이퍼 언로딩 스테이션에서 몇몇 캐리어들이 자리 잡고 있는 것을 감안하여 필요에 따라 버퍼링 시스템을 포함할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 비슷하게, 웨이퍼 언로딩 스테이션은 캐리어가 도착시 다른 위치에 있다면 캐리어를 적당한 위치로 회전시키기 위한 매커니즘을 포함할 수도 있다. 더 나아가, RFID 태그, 바코드 등과 같은 종래의 제조 정보 수집은 캐리어를 추적하는데 이용될 수 있다. 예를 들어, RFID 태그 또는 다른 식별 정보는 이러한 위치에서 캐리어로부터 읽혀질 수 있다. 여기서, 캐리어들은 컨베이어와 같은 수단 외에 작업자에 의해 수동으로 또는 다른 이송 시스템 등에 의해 도착할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
웨이퍼들이 종종 서로 간에 작은 거리("피치")를 두고 캐리어에 배치됨에 따라, 웨이퍼 언로딩 스테이션은 도 4에 도시된 것과 같은 푸셔부(235)를 포함하여, 도 4B에 도시한 바와 같이 로봇이 쉽게 접근할 수 있도록 복수의 웨이퍼들을 캐리어로부터 앞쪽으로 밀 수 있다. 특히, 푸셔부는 로봇(105)의 말단 장치(200)의 진공 파지부(210)가 쉽게 접근할 수 있도록 캐리어(240)에 있는 각 제2웨이퍼를 앞으로 밀 수 있다.
도 4C에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(230)를 캐리어(240)로부터 제거하는 데 있어서, 각 진공 파지부(210)가 개별 웨이퍼와 맞물리도록 로봇(105)은 앞쪽으로 밀린 웨이퍼들(230) 사이에 말단 장치(200)의 플레이트들을 삽입한다. 플레이트(205)는 진공 파지부와 맞물리도록 충분히 삽입되기만 할 뿐, 캐리어에 남아 있는 웨이퍼들과 충돌하지 않는다. 웨이퍼(230)가 진공 파지부(210)에 의해 파지되자 마자, 로봇(105)은 웨이퍼를 캐리어 바깥으로 미끄러지도록 하여 이를 중간 로딩 스테이션으로 이동시킨다.
도 5A는 복수의 웨이퍼들(230)을 파지하고 있는 중간 로딩 스테이션(115)의 사시도이다. 중간 로딩 스테이션은 웨이퍼들을 수납하기 위한 복수의 슬롯들을 포함한다. 각 슬롯은 웨이퍼가 삽입됨에 따라 웨이퍼가 슬롯에 있는 기계적 멈춤부에 중력에 의해 정렬되도록 기울어져 있다. 특정 예로써, 기울어진 각도는 대략 45도이다. 다른 실시예로, 기울어진 각도는 30도와 60도 사이에 있을 수 있고, 웨이퍼를 적당히 정렬할 수 있는 적정 각도일 수 있다. 도 5B는 슬롯에 있는 웨이퍼를 보여주는 중간 로딩 스테이션의 위에서 본 단면도이다. 본 실시예에서, 각 슬롯은 삽입된 웨이퍼들을 지지하기 위해 각 측면에 멈춤부가 마련된다. 일부 실시예들에서는, 웨이퍼가 직사각형일 수 있고, 중간 스테이션도 웨이퍼의 모서리를 수용할 수 있도록 구성될 수 있다.
동작시, 로봇은 도 6A에 도시한 바와 같이 웨이퍼들의 절반 (태양면이 아래로 된 웨이퍼)을 캐리어로부터 중간 로딩 스테이션으로 이동시키기 위해 진공 파지부를 이용한다. 그 후, 로봇은 남아 있는 웨이퍼들을 되돌려 진공 파지부로 파지하고, 태양면이 위를 향하게 하는 위치로 웨이퍼를 돌려, 도 6B에 도시한 바와 같이 태양면이 위를 향하는 웨이퍼를 태양면이 아래로 향하는 웨어퍼의 상부에 배치하여 중간 로딩 스테이션에서 BTB 배열을 만든다. 도 6A와 6B에 도시한 바와 같이, 말단 장치는 들어가고 나옴을 쉽게하고 더 나은 BTB 배열을 감안하여 중간 캐리어에서의 웨이퍼들을 45도 각도로 배치한다.
기울어진 중간 로딩 스테이션을 이용하는 것은 웨이퍼를 퍼니스 보트 등에 수직 방향으로 직접 배치하는 데 수반되는 힘에 의해 일어나는 손해를 줄일 것으로 생각된다. 나아가, BTB 형태의 제2웨이퍼가 중간 스테이션에 추가됨에 따라, 정렬을 강제로 시도하기 위한 복잡한 빗모양의 구조 등의 필요없이, 웨이퍼 상에 작용하는 중력에 의해 원래 위치한 웨이퍼들과 관련하여 정확하게 위치할 수 있다.
미처리된 웨이퍼들이 캐리어로부터 언로딩 된 후, 캐리어는 리로딩 스테이션으로 나아가거나, 리로딩을 기다리며 버퍼 컨베이어 영역에 잡혀있을 수 있다. 캐리어 상의 RF 태그는 캐리어가 지금 비어 있음을 알리기 위하여 새로운 정보로 재작성될 수 있다.
도 7A는 보트 로딩 스테이션(120)으로 BTB 웨이퍼들을 이동시키기 위해 준비 하는 말단 장치와 중간 로딩 스테이션의 사시도를 나타낸다. 도 7A는 BTB 웨이퍼들을 집어 올리기 위하여 중간 로딩 스테이션에 들어갈 때 말단 장치의 방향을 나타낸다.
도 7A에 도시한 바와 같이, 웨이퍼를 중간 로딩 스테이션으로부터 이동시킬 때, 기계적 멈춤부(220)가 위로 향하도록 말단 장치는 회전하고, 말단 장치가 웨이퍼의 중심라인(모서리에서 모서리로)을 따라 중간 로딩 스테이션에 들어간다. 말단 장치는 각 BTB 웨이퍼 쌍들 사이에서 미끄러져, 도 7B, 7C 및 7D에 도시한 바와 같이 BTB 웨이퍼들이 중력 파지부에 의해 지지되도록, 즉, 플레이트의 편평한 면 위에서 지지되고 기계적 멈춤부(220)가 BTB 웨이퍼의 하부 가장자리를 지지하도록 맞물린다. 기계적 멈춤부와 웨이퍼의 기울어진 성질이 두 개의 BTB 웨이퍼들의 정력을 돕는다.
도 8A와 8B는 확산 퍼니스 보트 로딩 스테이션에서 미리 설치된 가장자리 파지 장치(255)로 BTB 웨이퍼를 배치하는 말단 장치의 간소화시킨 사시도이다. 도 8A에서, 말단 장치가 수직에 대해 미끄러짐 각도로 유지됨으로써, BTB 웨이퍼들은 중력 파지부(215, 즉, 플레이트와 플레이트 상의 기계적 멈춤부)에 의해 지지 되고 있다. 도 8B에서, 웨이퍼들은 BTB 웨이퍼들을 지지하기 위한 각 측면 상에 복수의 슬롯들을 갖는, 가장자리 파지 장치에서 말단 장치에 의해 배치된다. 도 8A와 8B에 도시한 바와 같이, 가장자리 파지 장치(255)는 퍼니스 보트 상부에 위치하여 용도에 따라 BTB 웨이퍼들의 부분 집합을 올리고 내릴 수 있도록 동작하도록 구성된다. 예를 들어, 가장자리 파지 장치는 퍼니스 보트에 대해 올려지고 내려지는 선택된 BTB 웨이퍼들을 지지하기 위한 선택된 슬롯들과 맞물리는 기계적 시스템을 포함할 수 있다.
도 9A 내지 9E는 퍼니스 보트를 로딩하기 위한 보트 로딩 스테이션 및 그 과정을 나타낸다. 가장자리 파지 장치(255)는 퍼니스 보트 위에 위치하여, BTB 웨이퍼들을 수신한 이후(도 9A 참조)에 퍼니스 보트(265)로 BTB 웨이퍼들을 내린다 (도 9B 내지 9D 참조). 도 9E에 도시한 바와 같이, 가장자리 파지 장치는 퍼니스 보트로 BTB 웨이퍼들을 내리고 풀어 놓기를 계속할 수 있다. 퍼니스 보트에 대해 정확하게 위치한 가장자리 파지 장치의 이용은, 말단 장치가 웨이퍼들을 퍼니스 보트에 직접 배치하는 데 이용되었을 경우보다 파손 등의 위험이 낮게하여 보트에 BTB 웨이퍼들을 정확히 위치시키는 것을 허용한다.
도 10A 내지 10D에 도시한 바와 같이, BTB 웨이퍼들은 퍼니스 보트(265)의 레일(270) 상에서 지지 된다. 각 레일(270)에는 BTB 웨이퍼들의 집합을 수용하기 위한 단순한 슬롯들이 마련된다. 도 10D는 BTB 웨이퍼들의 집합들이 정렬을 유지하는 것을 돕도록 가볍게 기울어져 있음을 도시한 것이다.
로딩에 이어, 퍼니스 보트는 웨이퍼들이 처리되는 확산 퍼니스로 이송된다.
처리에 이어, 퍼니스 보트는 가장자리 파지 장치가 일반적으로 도 9A 내지 9E에 도시한 것에 대한 역동작을 수행하는 보트 언로딩 스테이션으로 이동한다. 특히, 가장자리 파지 장치(255)는 퍼니스 보트 아래로부터 올라가, 처리된 BTB 웨이퍼들(230)과 맞물리며, 퍼니스 보트 밖으로 BTB 웨이퍼들을 올린다. 그 후, 로봇의 말단 장치는 중력 파지부(편평한 플레이트와 기계적 멈춤부)를 이용하여 처리된 BTB 웨이퍼들과 맞물려, 도 8A와 8B에 도시한 것과 유사한 방식으로 가장자리 파지 장치 밖으로 BTB 웨이퍼들을 끌어올리고, 도 7A 내지 7D에 도시된 것과 유사한 방식으로 중간 언로딩 스테이션에 이들을 이동시킨다.
중간 언로딩 스테이션은 도 11A에 도시되어 있고, 중간 로딩 스테이션과 유사하지만 BTB 웨이퍼들을 분리하기 위해 이용되는 웨이퍼 분리 메커니즘을 포함한다. 도 11B는 중간 언로딩 스테이션의 슬롯들(275)을 더욱 상세하게 도시한다. 각 슬롯은 중간 언로딩 스테이션에 처음 배치될 때 BTB 웨이퍼들을 지지하기 위한 슬롯 플레이트를 포함한다. 또한, 각 슬롯은 웨이퍼들이 분리될 수 있도록 BTB 웨이퍼들 중 상부 웨이퍼를 하부 웨이퍼로부터 멀리 들어올리도록 구성되는 진공 구성요소(280)를 포함한다. 이러한 실시예에서, 진공 구성요소(280)는 도 11B에 도시한 바와 같이 진공 개구부가 상부 웨이퍼를 흡입하여 들어올릴 수 있도록 상부 웨이퍼 위로 연장되고 상부 웨이퍼와 접촉하게 이동가능한 아암(285) 상에 마련된다.
웨이퍼들이 분리되자 마자, 말단 장치는 회전하여 진공 파지부가 하부 웨이퍼들 인접하게 삽입되도록 한다. 말단 장치(200)는 진공 파지부(210)를 이용하여 도 11C와 11D에 도시한 바와 같이 하부 웨이퍼들(웨이퍼의 제1그룹)과 맞물려 파지도니 웨이퍼들(230)을 리로딩 스테이션에 위치한 캐리어로 이동시키도록 한다. 이러한 실시예에서, 캐리어는 수평으로 위치하여 웨이퍼들이 수직으로 삽입되도록 한다. 진공 파지부는 남아 있는 웨이퍼들과 맞물리고 캐리어 안으로의 삽입을 위해 이들을 회전시켜 모든 웨이퍼들이 같은 방향에 있도록, 예를 들어, "태양 면"이 위를 향하도록 한다.
그러면, 캐리어는 리로딩 스테이션으로부터 컨베이어 등의 위로 이동하여 추가 처리를 위해 이동한다.
도 12는 본 실시예에 따른 웨이퍼를 다루기 위한 예시적 방법(300)의 흐름도이다. 본 실시예에서, 웨이퍼들은 우선 언로딩 스테이션에서 캐리어로부터 언로딩된다 (305). 캐리어는 컨베이어 시스템 또는 다른 이송 시스템에 의해 언로딩 스테이션에 도착할 수 있다. 이송 장치 또는 로봇은 상기 서술한 바와 같이 웨이퍼들을 언로딩할 수 있다. 케리어로부터 언로딩 되자마자, 웨이퍼들은 제거되어 중간 스테이션으로 이송되는 데(310), 이들은 BTB 배열로 배치될 수 있다. 이러한 BTB 배열은 위에 자세히 설명하였다.
그리고, 웨이퍼들은 이송 장치에 의해 중간 스테이션으로부터 가공 스테이션으로 또 이송된다 (315). 가공 스테이션에서, BTB 웨이퍼들은 확산 퍼니스로 이동하도록 설계된 퍼니스 보트 또는 다른 캐리어들에 적재될 수 있다. 가장자리 파지 장치는 퍼니스 보트의 로딩을 완료할 수 있다. 그 후, 확산 퍼니스는 웨이퍼들을 처리한다 (320).
처리되자마자 (320), 웨이퍼들은 가공 스테이션의 퍼니스 보트로부터 제2중간 스테이션으로 언로딩될 수 있다 (325). 이러한 제2중간 스테이션은 처리량이 작거나 오직 하나의 중간 스테이션만 필요한 경우, 실제로 중간 스테이션과 동일한 것임을 알 수 있을 것이다.
이제 BTB 웨이퍼들은 단일 웨이퍼들로 분리되어 캐리어 또는 별도의 캐리어에 리로딩된다 (330).
상기 실시예의 설명에 기초한 다른 배열 및 실시예들도 당업자에게 명백함을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 여기에 설명한 로봇은 다축 로봇이지만 보다 소수의 축들을 가진 복수의 로봇들로 대체될 수 있다.
또한, 태양 웨이펴들이 설명되었지만, 본 방법, 시스템 및 장치는 다른 웨이퍼들을 다룰 수 있고 태양 전지 웨이퍼 또는 실리콘 웨이퍼 어느 쪽에도 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
첨부된 청구항의 전반적인 범위로부터 벗어나지 않는 한, 여기에 설명되고 도시된 모범적인 실시예들에 대해 다양한 수정이 이루어질 수 있음을 알 수 있을 것이다. 특히, 본 실시예들이 태양 전지 웨이퍼에 대해 서술되었지만, 본 실시예들은 웨이퍼 핸들링에 전반적으로 적용될 수 있음을 알아야 한다.
본 개시는 발명의 특정 실시예들을 설명하고 도시하였지만, 서술된 시스템, 장치 및 방법은 이러한 특정 실시예들에 한정되지 않음을 이해하여야 한다. 오히려, 서술되고 도시된 특정 실시예들 및 특징들의 기능적 또는 기계적 균등물일 수 있는 모든 실시예들이 포함됨을 알 수 있다.
다양한 특징들이 본 발명의 하나 또는 다른 실시예들에 대해 서술되었지만, 이러한 다양한 특징들과 실시예들이 서로 결합하거나 또는 여기에 서술되고 도시된 것과 다른 특징 및 실시예들과 결합하여 이용될 수 있음을 이해하여야 할 것이다.
105 : 로봇 110 : 언로딩 스테이션 115 : 중간 로딩 스테이션
120 : 보트 로딩 스테이션 125 : 확산 퍼니스
130 : 보트 언로딩 스테이션 135 : 중간 언로딩 스테이션
140 : 리로딩 스테이션

Claims (24)

  1. 전반적으로 평면인 상부면과 전반적으로 평면인 하부면을 갖는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템에 있어서,
    적어도 하나의 언로딩 스테이션;
    전단과 후단을 가지며, 상기 웨이퍼들의 면이 수평면에 대해 비스듬한 각도로 위치하도록 상기 웨이퍼들을 파지하도록 구성된 적어도 하나의 중간 스테이션; 및
    상기 언로딩 스테이션과 상기 중간 스테이션 사이에서 상기 웨이퍼들을 이송하도록 구성된 이송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송 장치는 진공 파지부 및 중력 파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 웨이퍼를 지지하도록 구성된 후방 멈춤부를 각각 포함하는 복수의 슬롯들을 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 비스듬한 각도는 전단으로부터 후단까지 아래를 향하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 비스듬한 각도는 30도와 60도 사이인 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 비스듬한 각도는 45도인것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 복수의 웨이퍼들 중 제1웨이퍼와 상기 복수의 웨이퍼들 중 제2웨이퍼를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 슬롯을 포함하여, 상기 제1웨이퍼는 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입되고, 상기 제2웨이퍼는 상기 제1 및 제2웨이퍼들 각각의 상부면들이 접촉한 상태로 상기 제1웨이퍼의 상부에서 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입되는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 상기 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 제2웨이퍼를 들어올리도록 설계된 진공 구성요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 이송 장치는 서로 등을 맞대도록 배치된 웨이퍼들을 상기 적어도 하나의 중간 스테이션으로부터 제거하여 상기 웨이퍼들을 가공 캐리어로 로딩하기 위한 가장자리 파지 장치에 놓도록 구성되는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 복수의 웨이퍼들 중 제1웨이퍼와 상기 복수의 웨이퍼들 중 제2웨이퍼를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 슬롯을 포함하여, 상기 제1웨이퍼는 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입되고, 상기 제2웨이퍼는 상기 제1 및 제2웨이퍼들 각각의 하부면들이 접촉한 상태로 상기 제1웨이퍼의 상부에서 상기 적어도 하나의 슬롯에 삽입되는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 중간 스테이션은 상기 서로 등을 맞대는 배치에서 상기 제2웨이퍼를 들어올리도록 설계된 진공 구성요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 이송 장치는 서로 등을 맞대도록 배치된 웨이퍼들을 상기 적어도 하나의 중간 스테이션으로부터 제거하여 상기 웨이퍼들을 가공 캐리어로 로딩하기 위한 가장자리 파지 장치에 놓도록 구성되는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  13. 제1항에 있어서,
    가공 스테이션을 더 포함하고, 상기 가공 스테이션은 상기 복수의 웨이퍼들이 로딩된 가공 캐리어를 받아들이도록 구성되며, 상기 캐리어는 가공을 위한 퍼니스로 이동되는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼들을 다루는 시스템.
  14. 적어도 하나의 핑거를 포함하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치에 있어서,
    상기 적어도 하나의 핑거는
    진공 흡입력에 의해 제1선택 웨이퍼를 파지하도록 구성된 진공 파지부를 포함하는 제1면; 및
    제2선택 웨이퍼 아래에 위치하여 들어올려졌을 때 상기 선택된 웨이퍼를 지지하도록 구성된 중력 파지부를 포함하는 제2면을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 핑거는 상기 제1면 또는 상기 제2면이 상기 제1선택 웨이퍼 또는 상기 제2선택 웨이퍼에 대해 선택적으로 위치할 수 있도록 회전가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 진공 파지부는 진공 공급 시스템, 및 상기 진공 공급 시스템과 연통하는 복수의 기공들을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 진공 공급 시스템은 진공 호스를 수용하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 중력 파지부는 편평한 면과 적어도 하나의 융기부를 포함하여, 웨이퍼가 상기 편평한 부분에 놓이고 상기 적어도 하나의 융기부에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치.
  18. 제18항에 있어서,
    상기 중력 파지부는 두 개의 융기부를 포함하며, 상기 두 개의 융기부는 중력 파지부의 양측에 위치하고 말단에 대해 비스듬한 방향으로 있어, 상기 웨이퍼가 상기 두 개의 융기부들 사이에 상기 웨이퍼의 모서리가 놓이도록 위치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치.
  19. 제14항에 있어서,
    상기 중력 파지부는 편평한 면과 적어도 두 개의 융기부를 포함하여, 웨이퍼가 상기 편평한 부분에 놓이고 상기 적어도 두 개의 융기부에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루기 위한 장치.
  20. 웨이퍼를 다루는 방법에 있어서,
    언로딩 스테이션으로부터 웨이퍼를 언로딩 하는 단계;
    상기 언로딩 스테이션으로부터 중간 스테이션으로 상기 웨이퍼를 이송하는 단계;
    상기 중간 스테이션으로부터 가공 스테이션으로 상기 웨이퍼를 이송하는 단계;
    상기 웨이퍼들을 처리하는 단계;
    상기 가공 스테이션으로부터 상기 웨이퍼를 언로딩하는 단계;
    상기 웨이퍼를 캐리어에 리로딩하는 단계;를 포함하며,
    상기 웨이퍼들은 이송 장치에 의해 언로딩되고, 이송되고 리로딩되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루는 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    웨이퍼의 쌍들이 각각의 상부면이 접촉 위치하도록 상기 웨이퍼들을 서로 등을 맞대는 배치로 상기 중간 스테이션에 위치시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루는 방법.
  22. 제20항에 있어서,
    웨이퍼의 쌍들이 각각의 하부면이 접촉 위치하도록 상기 웨이퍼들을 서로 등을 맞대는 배치로 상기 중간 스테이션에 위치시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루는 방법.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 웨이퍼들이 그 상부면들이 위로 향하게 정렬되도록 개별적인 각각의 슬롯들의 캐리어에 웨이퍼들을 위치시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루는 방법.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 웨이퍼들이 그 상부면들이 위로 향하게 정렬되도록 개별적인 각각의 슬롯들의 캐리어에 웨이퍼들을 위치시키 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 다루는 방법.
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