KR20120018712A

KR20120018712A - 헤드 구동 장치 및 부품 실장 장치

Info

Publication number: KR20120018712A
Application number: KR1020110070589A
Authority: KR
Inventors: 마사시 와다
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2010-07-21
Filing date: 2011-07-15
Publication date: 2012-03-05
Also published as: CN102371591A; JP5149942B2; CN102371591B; JP2012028464A; KR101228908B1

Abstract

편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성을 높여서 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하면서 수평 방향의 배치 공간이 커지는 것을 억제하는 것을 과제로 한다. 헤드 구동 장치는 헤드 지지 부재와 헤드부와 편평 형상 케이블을 구비하고 있다. 편평 형상 케이블의 제 1 위치는 지지 부재측 케이블 장착부에 장착되고, 타단부는 헤드부측 케이블 장착부에 장착된다. 제 1 위치로부터 선재가 연장되는 방향으로 이간된 상기 편평 형상 케이블의 제 2 위치는 상기 헤드부측 케이블 장착부가 상기 헤드부의 이동에 추종해서 상기 소정의 방향으로 이동 가능하게 상기 지지 부재측 케이블 장착부 및 상기 헤드부측 케이블 장착부 사이의 부분에서 상기 편평 형상 케이블이 연장되는 방향을 따라 대략 U자 형상으로 만곡되어 있음과 아울러 상기 지지 부재측 케이블 장착부 및 상기 헤드부측 케이블 장착부 사이의 부분에 있어서 상기 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 배치되어 있다.

Description

헤드 구동 장치 및 부품 실장 장치{HEAD DRIVING APPARATUS AND COMPONENT MOUNTING APPARATUS}

본 발명은 헤드 구동 장치 및 부품 실장 장치에 관한 것으로서, 특히 복수의 선부재로 이루어지는 편평 형상의 횡단면(Cross section)을 갖는 편평 형상 케이블을 구비한 헤드 구동 장치 및 그러한 헤드 구동 장치를 구비한 부품 실장 장치에 관한 것이다.

종래, 전력 공급용이나 신호 송신용의 케이블, 또는 에어 튜브 등의 선부재 중 어느 복수의 선부재로 이루어지는 편평 형상의 횡단면을 갖는 편평 형상 케이블을 구비한 헤드 구동 장치가 알려져 있다(예를 들면 특허 문헌 1 참조)

상기 특허 문헌 1에는 소정의 방향으로 연장되는 빔과, 빔에 지지되어 빔을 따라 소정의 방향으로 직선 이동 가능한 헤드 장착체와, 편평 형상의 횡단면을 갖는 플랫 케이블(편평 형상 케이블)과, 플랫 케이블의 빔측 고정 부재와, 플랫 케이블의 헤드측 고정 부재를 구비한 헤드 구동 장치가 개시되어 있다. 이 플랫 케이블은 빔측 고정 부재 및 헤드측 고정 부재 사이 부분에 있어서 플랫 케이블이 연장되는 방향을 따라 U자 형상으로 만곡되어 있음과 아울러 플랫 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평해지도록 배치되어 있다.

그러나, 상기 특허 문헌 1의 헤드 구동 장치에서는 플랫 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평이 되도록 플랫 케이블이 배치되어 있으므로 플랫 케이블의 자체 중량에 대한 강성이 낮아 플랫 케이블이 하방으로 늘어지기 쉽다고 생각된다. 이 때문에, 상기 특허 문헌 1의 헤드 구동 장치에서는 만곡된 플랫 케이블의 하방측 부분의 대략 전역을 케이블 지지 부재에 의해 지지해서 플랫 케이블이 아래로 늘어지는 것을 규제하고 있다.

또한, 종래 복수의 선부재로 이루어지는 편평 형상의 횡단면을 갖는 편평 형상 케이블을 구비한 구성에 있어서 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하는 것이 가능한 로봇 구동 장치가 알려져 있다(예를 들면 특허 문헌 2 참조).

상기 특허 문헌 2에는 소정의 방향으로 연장되는 주행 레일과, 주행 레일에 지지되어 주행 레일을 따라 소정의 방향으로 이동 가능한 로봇 본체와, 로봇 본체에 접속되어 편평 형상의 횡단면을 갖는 플랫 케이블(편평 형상 케이블)을 구비한 로봇 구동 장치가 개시되어 있다. 이 플랫 케이블은 플랫 케이블이 연장되는 방향을 따라 U자 형상으로 만곡되어 있음과 아울러 플랫 케이블의 횡단면의 길이 방향이 연직이 되도록 배치되어 있다. 이에 따라, 플랫 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평으로 배치될 경우에 비해서 플랫 케이블의 자체 중량에 대한 강성이 높아지게 되므로 플랫 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하는 것이 가능하다.

일본 공개 특허 제 2002-185191 호 공보 일본 공개 특허 제 2009-119566 호 공보

그러나, 상기 특허 문헌 2의 로봇 구동 장치에서는 플랫 케이블의 자체 중량에 대한 강성을 높여서 플랫 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하는 것이 가능한 한편, 플랫 케이블의 횡단면의 길이 방향이 연직으로 배치되므로 플랫 케이블의 U자 형상의 만곡 부분을 사이에 두고 주행 레일측의 부분 및 로봇 본체측의 부분이 서로 수평 방향으로 대향하도록 배치된다. 이 때문에, 플랫 케이블의 만곡 부분의 굽힘 반경이 클 경우에는 플랫 케이블의 수평 방향의 배치 공간이 커지므로 로봇 구동 장치의 수평 방향의 배치 공간이 커진다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로서, 본 발명의 하나의 목적은 편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성을 높여서 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하면서 수평 방향의 배치 공간이 커지는 것을 억제 가능한 헤드 구동 장치, 및 그러한 헤드 구동 장치를 구비한 부품 실장 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 제 1 국면(aspect)에 있어서의 헤드 구동 장치는 헤드 지지 부재와, 헤드 지지 부재에 지지되고 헤드 지지 부재를 따라 소정의 방향으로 직선 이동 가능한 헤드부와, 헤드부에 접속되는 복수의 선부재가 묶여짐으로써 복수의 선부재가 연장되는 방향에 직교하는 방향을 따라 편평 형상의 횡단면을 갖도록 형성된 편평 형상 케이블과, 헤드 지지 부재측에 설치되고 편평 형상 케이블의 제 1 위치가 장착되는 지지 부재측 케이블 장착부와, 헤드부측에 설치되고 제 1 위치로부터 선재가 연장되는 방향으로 이간된 상기 편평 형상 케이블의 제 2 위치가 장착되는 헤드부측 케이블 장착부를 구비하고, 상기 헤드부측 케이블 장착부와 상기 지지 부재측 케이블 장착부는 양 케이블 장착부 사이에 장착된 편평 형상 케이블이 상기 헤드부와 상기 헤드 지지 부재의 상대 변위에 추종하도록 U자 형상으로 만곡되고 또한 상기 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 설치되어 있다. 또한, 본 발명의 편평 형상 케이블은 표면이 평탄한 편평 형상을 갖는 것뿐만 아니라 표면에 요철이 있지만 전체로서 편평 형상을 갖고 있는 것도 포함하는 넓은 개념이다. 예를 들면 원형 단면 형상을 갖는 복수의 선부재가 묶여진 케이블에서 표면에 요철이 있는 경우에도 전체로서 편평 형상을 갖고 있으면 본 발명의 편평 형상 케이블에 해당한다. 또한, 「선부재」는 전기선뿐만 아니라 공기 튜브를 포함하고 있어도 좋다. 또한, 「경사」란 수평면과 평행이 아니고 수직도 아닌 모든 각도를 포함하는 개념이다.

본 발명의 제 1 국면에 의한 헤드 구동 장치에서는 상기한 바와 같이 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분에 있어서 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 편평 형상 케이블을 배치함으로써 횡단면의 길이 방향이 수평으로 배치될 경우에 비해서 편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성이 높아지게 되므로 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제할 수 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분에 있어서 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 편평 형상 케이블을 배치함으로써 편평 형상 케이블의 만곡 부분을 사이에 두고 헤드 지지 부재측의 부분 및 헤드부측의 부분이 서로 수평면에 대해서 경사진 위치에 배치되게 되므로 편평 형상 케이블의 만곡 부분의 굽힘 반경이 큰 경우에도 헤드 지지 부재측의 부분 및 헤드부측의 부분이 서로 수평 방향으로 배치될 경우에 비해서 편평 형상 케이블의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이 헤드 구동 장치에서는 편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성을 높여서 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하면서 수평 방향의 배치 공간이 커지는 것을 억제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 헤드 구동 장치에 있어서 바람직하게는 지지 부재측 케이블 장착부는 편평 형상 케이블의 제 1 위치가 고정적으로 장착되는 제 1 장착 부분을 포함하고, 헤드부측 케이블 장착부는 편평 형상 케이블의 제 2 위치가 고정적으로 장착되는 제 2 장착 부분을 포함하고, 지지 부재측 케이블 장착부의 제 1 장착 부분 및 헤드부측 케이블 장착부의 제 2 장착 부분은 소정의 방향으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 같은 각도로 경사져서 대향하도록 배치되어 있다. 이와 같이 구성하면 편평 형상 케이블의 헤드 지지 부재측 및 헤드부측을 각각 지지 부재측 케이블 장착부의 제 1 장착 부분 및 헤드부측 케이블 장착부의 제 2 장착 부분에 장착하는 것만으로 용이하게 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분에 있어서 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 편평 형상 케이블을 배치할 수 있다. 또한, 제 1 장착 부분 및 제 2 장착 부분을 대향하도록 배치함으로써 편평 형상 케이블이 비틀어지는 것을 억제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 헤드 구동 장치에 있어서 바람직하게는 헤드 지지 부재는 소정의 방향과 직교하는 수평 방향의 일단측에서 헤드부를 지지하고 있고, 편평 형상 케이블의 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분은 수평 방향의 타단측으로서 헤드부와 수평 방향으로 겹치는 높이에 배치되어 있다. 이와 같이 구성하면 편평 형상 케이블의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지게 되는 것을 억제하면서 헤드부 및 편평 형상 케이블의 높이 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있다. 그 결과, 수평 방향 및 높이 방향의 양쪽에 있어서 헤드 구동 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

이 경우 바람직하게는 헤드 지지 부재 및 지지 부재측 케이블 장착부는 소정의 구조체에 의해 상방으로부터 지지됨으로써 매달려 있는 것이며, 헤드부측 케이블 장착부는 구조체에 의해 상방으로부터 지지된 헤드 지지 부재의 하방에 있어서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재에 겹치도록 배치되어 있다. 이와 같이 구성하면 부품 실장 장치를 비롯한 소정 장치의 구조체에 의해 높이 방향의 배치 공간에 제한이 있는 매달림형의 헤드 구동 장치에 있어서 편평 형상 케이블의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지는 것을 억제하면서 헤드부 및 편평 형상 케이블의 높이 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있다. 따라서, 수평 방향 및 높이 방향의 양쪽에 있어서 소형화를 도모할 수 있고, 또한 평면적으로 보아서 헤드부측 케이블 장착부 및 헤드 지지 부재가 서로 다른 위치에 배치될 경우에 비해서 헤드부측 케이블 장착부 및 헤드 지지 부재의 수평 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있으므로 수평 방향에 있어서 보다 소형화를 도모하는 것이 가능한 매달림형의 헤드 구동 장치를 제공할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 헤드 구동 장치에 있어서 바람직하게는 편평 형상 케이블의 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분은 헤드 지지 부재의 상방에 있어서 연직 방향으로 겹치는 위치에 배치되어 있다. 이와 같이 구성하면 평면적으로 보아서 편평 형상 케이블 및 헤드 지지 부재가 서로 다른 위치에 배치될 경우에 비해서 편평 형상 케이블 및 헤드 지지 부재의 수평 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있다. 이것에 의해서도 수평 방향에 있어서 헤드 구동 장치를 소형화할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 헤드 구동 장치에 있어서 바람직하게는 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 중 보다 상방에 배치되는 한쪽 근방에서 편평 형상 케이블이 하방으로 늘어지는 것을 규제하는 늘어짐 규제부를 더 구비한다. 이와 같이 구성하면 경시적인 열화에 의해 편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성이 저하된 경우에도 늘어짐 규제부에 의해 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 확실히 억제할 수 있다.

본 발명의 제 2 국면에 있어서의 부품 실장 장치는 기판을 반송하는 반송 장치와 헤드 구동 장치를 구비하고, 헤드 구동 장치는 헤드 지지 부재와, 반송 장치에 의해 반송되는 기판에 부품을 실장함과 아울러 헤드 지지 부재에 지지되고 헤드 지지 부재를 따라 소정의 방향으로 직선 이동 가능한 헤드부와, 헤드부에 접속되는 복수의 선부재가 묶여짐으로써 복수의 선부재가 연장되는 방향에 직교하는 방향을 따라 편평 형상의 횡단면을 갖도록 형성된 편평 형상 케이블과, 헤드 지지 부재측에 설치되고 편평 형상 케이블의 제 1 위치가 장착되는 지지 부재측 케이블 장착부와, 헤드부측에 설치되고 제 1 위치로부터 선재가 연장되는 방향으로 이간된 상기 편평 형상 케이블의 제 2 위치가 장착되는 헤드부측 케이블 장착부를 포함하고, 상기 헤드부측 케이블 장착부와 상기 지지 부재측 케이블 장착부는 양 케이블 장착부 사이에 장착된 편평 형상 케이블이 상기 헤드부와 상기 헤드 지지 부재의 상대 변위에 추종하도록 U자 형상으로 만곡되고 또한 상기 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 설치되어 있다. 또한, 본 발명의 편평 형상 케이블은 표면이 평탄한 편평 형상을 갖는 것뿐만 아니라 표면에 요철이 있지만 전체로서 편평 형상을 갖고 있는 것도 포함하는 넓은 개념이다. 예를 들면, 원형 단면 형상을 갖는 복수의 선부재가 묶여진 케이블에서 표면에 요철이 있는 경우에도 전체로서 편평 형상을 갖고 있으면 본 발명의 편평 형상 케이블에 해당한다. 또한, 「선부재」는 전기선뿐만 아니라 공기 튜브를 포함하고 있어도 좋다. 또한, 「경사」란 수평면과 평행이 아니고 수직도 아닌 모든 각도를 포함하는 개념이다.

본 발명의 제 2 국면에 의한 부품 실장 장치에서는 상기한 바와 같이 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분에 있어서 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 편평 형상 케이블을 배치함으로써 횡단면의 길이 방향이 수평으로 배치될 경우에 비해서 편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성이 높아지게 되므로 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제할 수 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부 및 헤드부측 케이블 장착부 사이 부분에 있어서 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 편평 형상 케이블을 배치함으로써 편평 형상 케이블의 만곡 부분을 사이에 두고 헤드 지지 부재측의 부분 및 헤드부측의 부분이 서로 수평 방향에 대해서 경사진 위치에 배치되므로 편평 형상 케이블의 만곡 부분의 굽힘 반경이 큰 경우에도 헤드 지지 부재측의 부분 및 헤드부측의 부분이 서로 수평 방향으로 배치될 경우에 비해서 편평 형상 케이블의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이 부품 실장 장치에서는 편평 형상 케이블의 자체 중량에 대한 강성을 높여서 편평 형상 케이블의 아래로 늘어짐을 억제하면서 헤드 구동 장치의 수평 방향의 배치 공간이 커지는 것을 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 적용한 부품 실장 장치의 전체 구성을 도시하는 개략 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 적용한 부품 실장 장치의 전체 구성을 도시하는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 적용한 부품 실장 장치의 천판부를 도시하는 저면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 측면도이다.
도 5는 도 4의 화살표(V) 방향으로 바라본 헤드 구동 장치를 도시하는 도면이다.
도 6은 도 4의 화살표(Y2) 방향으로 바라본 헤드 구동 장치를 도시하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 측면도이다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 측면도이다.
도 10은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 측면도이다.
도 11은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 측면도이다.
도 12는 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 헤드 구동 장치를 도시하는 측면도이다.
도 13은 본 발명의 제 1 실시형태～제 6 실시형태의 헤드 구동 장치의 변형예를 설명하기 위한 사시도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

(제 1 실시형태)

도 1～도 6을 참조해서 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(60)를 부품 실장 장치(100)에 적용한 예에 대해서 설명한다. 상세하게는 후술하는 바와 같이 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(60)는 부품 실장 장치(100)의 헤드부(6), 헤드 지지 부재(61), 지지 플레이트(62), 리니어 모터(613), 플랫 케이블(63), 지지 부재측 케이블 장착부(64), 및 헤드부측 케이블 장착부(65)에 의해 주로 구성되어 있다. 또한, 이하에 설명하는 도면에서는 각 도면의 방향 관계를 명확히 하기 위해서 XYZ 직교 좌표가 도시되어 있다. 이 XYZ 직교 좌표에 있어서는 기판의 반송 방향을 X방향으로 하고, 반송 방향 하류측을 X1, 상류측을 X2로 도시한다. 또한, X방향과 직교하는 평면 상의 방향을 Y방향으로 하고, 전방을 Y2, 후방을 Y1로 도시한다. 또한, 상하 방향을 Z방향으로 하고, 상방을 Z1, 하방을 Z2로 도시한다.

제 1 실시형태의 부품 실장 장치(100)는 다이싱(dicing)된 웨이퍼(101)로부터 베어 칩(도시 생략)을 인출해서 기판(102) 상에 실장(장착)함과 아울러 제 1 부품 공급부(4)에 의해 공급되는 패키지 부품을 기판(102) 상에 실장하는 것이 가능한 부품 실장 장치(100)이다.

이 부품 실장 장치(100)는 도 1에 도시하는 바와 같이 기대(1)와, 소정의 실장 작업 위치에 기판(102)을 반송하고 유지하는 반송 장치(2)와, 제 1 부품 공급부(4) 및 제 2 부품 공급부(5)와, 기판(102) 상에 부품을 실장하기 위한 2개의 헤드부(6)와, 다이싱된 웨이퍼(101)가 수납되는 웨이퍼 수납부(7)와, 이 웨이퍼 수납부(7)로부터 웨이퍼(101)를 인출해서 지지하는 웨이퍼 지지 장치(8)를 구비하고 있다.

도 2를 참조해서 기대(1)의 상면 X방향 양단에는 각각 중공의 기립 설치벽(100A)이 설치되고, X방향 양측의 기립 설치벽(100A) 상단면에 판 형상의 천판부(10)가 장착되어 있다. 이 천판부(10)의 상측에 XY 양방향으로 확대되는 지붕 형상 부재(100B)가 설치되어 있다. 또한, 각 기립 설치벽(100A)의 Y방향 중간 하부에는 개구가 형성되고, 반송 장치(2)가 개구를 통해서 X방향으로 관통되도록 배치된다.

반송 장치(2)는 한 쌍의 컨베이어를 포함하고 기판(102)을 X방향으로 반송하도록 구성되어 있다. 또한, 반송 장치(2)는 도시되지 않은 위치 결정 기구에 의해 기판(102)을 소정의 실장 작업 위치에 위치 결정해서 고정하는 기능을 갖고 있다.

제 1 부품 공급부(4)는 반송 장치(2)보다 전방측(Y2방향측)에 2개 배치되어 있다. 또한, 제 1 부품 공급부(4)는 X방향으로 병렬해서 배치된 테이프 피더(4a)를 포함하고, 테이프 피더(4a)에 의해 부품을 선단의 부품 공급 위치에 공급하도록 구성되어 있다. 그리고, 부품 공급 위치의 부품은 헤드부(6)에 의해 취득된다.

제 2 부품 공급부(5)는 반송 장치(2)보다 후방측(Y1방향측)에 배치되어 있다. 또한, 제 2 부품 공급부(5)는 베어 칩을 공급하는 것이다. 구체적으로는 제 2 부품 공급부(5)는 다이싱된 웨이퍼(101)가 웨이퍼 지지 장치(8)에 지지되고, 인출 대상 부품에 대응해서 위치 부여된 상태에서 후술하는 칩 인출용 헤드 유닛(9)에 의해 웨이퍼(101)로부터 베어 칩을 인출해서 헤드부(6)에 공급하도록 구성되어 있다.

헤드부(6)는 반송 장치(2)의 상방에 있어서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 헤드부(6)는 각 부품 공급부(4, 5)에 있어서 공급되는 베어 칩 및 부품을 기판(102) 상에 실장하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 헤드부(6)는 테이프 피더(4a)에 의해 공급되는 부품을 흡착 노즐(6a)에 의해 흡착해서 기판(102) 상에 실장하도록 구성되어 있다. 또한, 헤드부(6)는 칩 인출용 헤드 유닛(9)에 의해 웨이퍼(101)로부터 인출되는 베어 칩을 흡착 노즐(6a)에 의해 흡착해서 기판(102) 상에 실장하도록 구성되어 있다. 또한, 헤드부(6)는 부압을 이용하여 부품을 흡착하도록 구성되어 있다. 또한, 헤드부(6)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.

웨이퍼 수납부(7)는 다이싱된 복수매의 웨이퍼(101)를 수용하도록 구성되어 있다.

웨이퍼 지지 장치(8)는 웨이퍼 수납부(7)에 수납되어 있는 웨이퍼(101)를 제 2 부품 공급부(5)에 인출해서 칩 인출용 헤드 유닛(9)에 의한 베어 칩의 인출이 가능하게 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 웨이퍼 지지 장치(8)는 웨이퍼 스테이지(81) 상에서 웨이퍼(101)를 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 웨이퍼 지지 장치(8)의 웨이퍼 스테이지(81)는 반송 장치(2)에 지지되는 기판(102)의 하방 위치를 통과해서 제 2 부품 공급부(5)의 소정의 부품 인출 작업 위치와 웨이퍼 수납부(7) 근방의 웨이퍼 수취 위치(도 1에 2점 쇄선으로 도시한 위치) 사이를 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 웨이퍼 스테이지(81)에는 웨이퍼 스테이지(81)가 웨이퍼 수취 위치에 배치된 상태에서 웨이퍼(101)를 웨이퍼 수납부(7)로부터 인출해서 웨이퍼 스테이지(81) 상으로 이동하는 기구가 설치되어 있다.

칩 인출용 헤드 유닛(9)은 웨이퍼 지지 장치(8)의 상방에 있어서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, Y방향으로 이동 가능한 프레임 부재(9a)에 칩 인출용 헤드 유닛(9)이 X방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. 또한, 칩 인출용 헤드 유닛(9)의 가동 영역과 헤드부(6)의 가동 영역은 평면적으로 보아서 일부 중복되어 있다. 또한, 칩 인출용 헤드 유닛(9)은 도 2에 도시하는 바와 같이 헤드부(6)보다 하방에 위치되어 있다. 이에 따라, 칩 인출용 헤드 유닛(9)은 헤드부(6)에 대해서 베어 칩의 수수(受授)가 가능하게 되어 있다.

이어서, 도 1～도 6을 참조해서 2개의 헤드부(6)의 상세한 구성에 대해서 설명한다. 또한, 2개의 헤드부(6)는 서로 같은 구성을 갖고 있다.

2개의 헤드부(6)는 도 1～도 4에 도시하는 바와 같이 각각 X방향으로 연장되는 2개의 헤드 지지 부재(61)에 의해 지지되어 있다. 또한, 각 헤드부(6)는 대응하는 헤드 지지 부재(61)의 전방측(Y2방향측) 측면을 따라 X방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는 도 2 및 도 4에 도시하는 바와 같이 각 헤드 지지 부재(61)의 전방면에는 X방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(611)이 설치되어 있다. 또한, 각 헤드부(6)에는 대응하는 헤드 지지 부재(61)의 한 쌍의 레일(611)에 X방향으로 이동 가능하게 맞물리는 한 쌍의 슬라이더(612)(도 4 참조)가 설치되어 있다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이 헤드부(6)와 헤드 지지 부재(61) 사이에는 헤드부(6)를 헤드 지지 부재(61)에 대해서 X방향으로 이동시키기 위한 구동원으로서의 리니어 모터(613)가 설치되어 있다. 이에 따라, 헤드부(6)는 헤드 지지 부재(61)에 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이 헤드 지지 부재(61)의 배면(61a)은 그 법선이 후방의 경사 하방(Y1 및 Z2 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다.

또한, 2개의 헤드부(6)는 서로 독립하여 Y방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는 도 2～도 4에 도시하는 바와 같이 각 헤드 지지 부재(61)는 상방에 배치된 지지 플레이트(62)에 고정적으로 장착되어 있다. 또한, 도 2 및 도 3에 도시되는 바와 같이 천판부(10)의 하면(Z2방향측의 표면)에는 2세트의 Y방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(622)이 장착되어 있다. 그리고, 각 지지 플레이트(62)는 한 쌍의 레일(622)에 Y방향으로 이동 가능하게 맞물리는 한 쌍의 슬라이더(621)에 의해 천판부(10)에 매달려 있다. 이 결과, 각 헤드 지지 부재(61)는 천판부(10), 지붕 형상 부재(100B) 및 기립 설치벽(100A) 등의 부품 실장 장치(100)의 구조체에 의해 강고하게 매달려 지지되고 있다. 또한, 도 3에 도시되는 바와 같이 천판부(10) 하면의 한 쌍의 레일(622) 사이에는 Y방향으로 연장되는 리니어 모터의 고정자(623)가 장착되어 있다. 또한, 지지 플레이트(62)의 상면(Z1방향측의 표면)에는 고정자(623)에 대향하는 위치에 도시되지 않은 가동자가 장착되어 있다. 이에 따라, 각 지지 플레이트(62)는 서로 독립하여 Y방향으로 이동 가능하다. 또한, 각 헤드부(6)는 대응하는 지지 플레이트(62)가 Y방향으로 이동함으로써 헤드 지지 부재(61)와 함께 Y방향으로 이동되도록 구성되어 있다.

또한, 헤드부(6)에는 동력선, 신호선, 및 부압 공급용, 정압 공급용 공기 튜브 등의 복수의 선부재가 접속되어 있다. 구체적으로는 이들 복수의 선부재 중 적 어도 동력선 및 신호선은 각각 절연 부재에 의해 덮여져 있고, 공기 튜브를 포함해서 서로 융착됨으로써 복수의 선부재가 연장되는 방향에 직교하는 방향을 따라 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)을 갖는 플랫 케이블(63)을 구성하고 있다. 플랫 케이블(63)은 도 4～도 6에 도시하는 바와 같이 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65)에 장착되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(64)는 도 4에 도시하는 바와 같이 헤드부측 케이블 장착부(65)보다 상방(Z1방향)에 배치되어 있다. 또한, 플랫 케이블(63)은 본 발명의 「편평 형상 케이블」의 일례이다.

상세하게는 지지 부재측 케이블 장착부(64)는 도 4에 도시하는 바와 같이 헤드 지지 부재(61)의 후방측(Y1방향측)에서 지지 플레이트(62)의 하면에 장착되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(64)는 헤드 지지 부재(61)와 높이 위치(Z방향의 위치)가 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(64)는 플랫 케이블(63)의 소정의 제 1 위치를 고정적으로 장착하는 케이블 장착면(641)을 갖고 있다. 케이블 장착면(641)은 플랫 케이블(63)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641)은 그 법선이 전방의 경사 하방(Y2 및 Z2 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 플랫 케이블(63)은 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이 편평 형상의 횡단면의 길이 부분이 케이블 장착면(641)에 접촉하도록 배치되어서 지지 부재측 케이블 장착부(64)에 고정적으로 장착되어 있다. 구체적으로는, 플랫 케이블(63)은 도 3～도 5에 도시하는 바와 같이 편평 형상의 횡단면의 길이 방향으로 연장되는 2개의 누름 축(642)에 의해 케이블 장착면(641)으로부터 이간되는 것을 규제하고 있다. 또한, 케이블 장착면(641)은 플랫 케이블(63)의 제 1 위치가 장착된 본 발명의 「제 1 장착 부분」의 일례이다.

또한, 지지 부재측 케이블 장착부(64)의 근방에는 경년열화에 의해 플랫 케이블(63)의 자체 중량에 대한 강성이 저하되었을 경우에 플랫 케이블(63)이 하방으로 늘어지는 것을 규제하는 금속제의 늘어짐 규제부(643)가 설치되어 있다. 늘어짐 규제부(643)는 도 5에 도시하는 바와 같이 플랫 케이블(63)의 경년열화가 그다지 진행되어 있지 않은 경우에는 플랫 케이블(63)에 접촉되어 있지 않다. 또한, 늘어짐 규제부(643)는 플랫 케이블(63)이 연장되는 방향을 따라 만곡되어 있다.

또한, 헤드부측 케이블 장착부(65)는 도 4에 도시하는 바와 같이 헤드 지지 부재(61)의 하방에 있어서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재(61)에 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(65)는 헤드부(6)에 고정적으로 장착되어 있다. 이에 따라, 헤드부측 케이블 장착부(65)는 헤드부(6)에 추종해서 이동하도록 구성되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(65)는 헤드부(6)와 높이 위치(Z방향의 위치)가 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(65)는 플랫 케이블(63)의 제 2 위치를 고정적으로 장착하는 케이블 장착면(651)을 갖고 있다. 케이블 장착면(651)은 플랫 케이블(63)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이 케이블 장착면(651)은 그 법선이 후방의 경사 상방(Y1 및 Z1 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(651)은 수평면에 대해서 케이블 장착면(641)과 평행하게 경사져 있고 케이블 장착면(641)에 대향하는 위치에 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(651)은 플랫 케이블(63)의 제 2 위치가 장착된 본 발명의 「제 2 장착 부분」의 일례이다.

또한, 플랫 케이블(63)은 도 4～도 6에 도시하는 바와 같이 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)의 길이 부분이 케이블 장착면(651)에 접촉하도록 배치되어서 헤드부측 케이블 장착부(65)에 고정적으로 장착되어 있다. 구체적으로는, 플랫 케이블(63)은 편평 형상의 횡단면의 길이 방향으로 연장되는 3개의 누름 축(652)에 의해 케이블 장착면(651)으로부터 이간되는 것을 규제하고 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(65)에는 빈 공간을 이용해서 전자 부품을 배치하기 위한 장착 브래킷(653)이 고정되어 있다.

또한, 플랫 케이블(63)은 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분에서 케이블이 연장되는 방향을 따라 대략 U자 형상으로 만곡되어 있다. 이에 따라, 헤드부측 케이블 장착부(65)는 헤드부(6)의 이동에 추종해서 용이하게 X방향으로 이동하는 것이 가능해진다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이 플랫 케이블(63)의 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분은 상기한 바와 같이 수평면에 대해서 경사지는 케이블 장착면(641 및 651)에 장착됨으로써 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)의 길이 방향이 케이블 장착면(641 및 651)의 경사 각도와 대략 같은 경사 각도로 수평면에 대해서 경사져서 배치된다. 또한, 플랫 케이블(63)의 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분은 헤드 지지 부재(61)에 대해서 헤드부(6)의 반대측(Y1방향측)에서 헤드부(6)와 높이 위치(Z방향의 위치)가 겹치도록 배치되어 있다.

또한, 상기한 바와 같이 헤드 구동 장치(60)[의 지지 플레이트(62)]는 천판부(10) 등의 구조체에 의해 상방으로부터 매달려 있다. 또한, 헤드부(6)에 의해 칩 인출용 헤드 유닛(9)으로부터 베어 칩을 흡착할 때에는 칩 인출용 헤드 유닛(9)이 도 1에 도시하는 반송 장치(2)의 직근까지 Y2방향으로 이동하는 한편, 도 4에 도시하는 바와 같이 헤드 구동 장치(60)가 Y1방향으로 이동하여 평면적으로 보아서 헤드부(6)와 칩 인출용 헤드 유닛(9)이 상하에 겹치도록 배치된다. 이 때, X방향으로부터 보아서 플랫 케이블(63)이 수평면에 대해서 경사짐으로써 공간[플랫 케이블(63) 후방의 대략 삼각형상의 공간]이 생긴다. 이 공간은 기대(1) 상에 설치된 다른 유닛과의 간섭 방지에 기여한다. 보다 상세하게 설명하면, 예를 들면 칩 인출용 헤드 유닛(9)을 X방향으로 이동 가능하게 지지하는 프레임 부재(9a)는 기대(1)의 X방향 양측에 배치된 한 쌍의 레일(9b)을 따라 전후(Y방향)로 이동 가능하게 되어 있고, 각 레일(9b, 9b)의 내측에 평행하게 배치된 한 쌍의 볼 나사 기구(9c)에 의해 전후로 구동되게 되어 있다. 이 프레임 부재(9a)의 X2측의 단부 부재(9a1)(도 1 참조)에는 케이블(91)이 접속되어 있다. 이 케이블(91)은 도 4에 도시하는 바와 같이 긴 부분이 평면으로부터 바라보아 Y방향을 따라 상하로 절첩되어 있다. 이 Y1 방향으로 연장되는 X2측의 케이블(91)이 도 1의 Y1측에 배치된 헤드 구동 장치(60)의 상기 공간에 면하므로 케이블(91)은 헤드 구동 장치(60)와 간섭을 일으키지 않고 위치하게 된다. 이와 같이, 플랫 케이블(63)이 수평면에 대해서 경사짐으로써 생기는 공간을 유효하게 활용하는 것이 가능하다.

제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분에 있어서 편평 형상의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 플랫 케이블(63)을 배치함으로써 플랫 케이블(63)의 횡단면의 길이 방향이 수평으로 배치될 경우에 비해서 플랫 케이블(63)의 자체 중량에 대한 강성이 높아지게 되므로 플랫 케이블(63)의 아래로 늘어짐을 억제할 수 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분에 있어서 편평 형상의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 플랫 케이블(63)을 배치함으로써 플랫 케이블(63)의 만곡 부분을 사이에 두고 헤드 지지 부재(61)측의 부분 및 헤드부(6)측의 부분이 서로 수평 방향에 대해서 경사진 위치에 배치되므로 플랫 케이블(63)의 만곡 부분의 굽힘 반경이 클 경우에도 헤드 지지 부재(61)측의 부분 및 헤드부(6)측의 부분이 서로 수평 방향으로 배치될 경우에 비해서 플랫 케이블(63)의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이 헤드 구동 장치(60)에서는 플랫 케이블(63)의 자체 중량에 대한 강성을 높여서 플랫 케이블(63)의 아래로 늘어짐을 억제하면서 수평 방향의 배치 공간이 커지는 것을 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 지지 부재측 케이블 장착부(64)에 플랫 케이블(63)의 제 1 위치가 고정적으로 장착되는 케이블 장착면(641)을 설치하고, 헤드부측 케이블 장착부(65)에 제 1 위치로부터 선재가 연장되는 방향으로 이간된 상기 플랫 케이블(63)의 제 2 위치가 고정적으로 장착되는 케이블 장착면(651)을 설치함과 아울러 지지 부재측 케이블 장착부(64)의 케이블 장착면(641) 및 헤드부측 케이블 장착부(65)의 케이블 장착면(651)을 소정의 방향(X방향)으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 대략 같은 각도로 경사져서 대향하도록 배치한다. 이것에 의해 플랫 케이블(63)의 헤드 지지 부재(61)측 및 헤드부(6)측을 각각 지지 부재측 케이블 장착부(64)의 케이블 장착면(641) 및 헤드부측 케이블 장착부(65)의 케이블 장착면(651)에 장착하는 것만으로 용이하게 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분에 있어서 플랫 케이블(63)의 편평 형상의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 플랫 케이블(63)을 배치할 수 있다. 또한, 케이블 장착면(641) 및 케이블 장착면(651)을 대향하도록 배치함으로써 플랫 케이블(63)이 비틀어지는 것을 억제할 수 있다. 또한, X방향은 헤드부(6)가 헤드 지지 부재(61)를 따라 이동하는 헤드 이동 방향이며 본 발명의 「소정의 방향」의 일례이다.

또한, 제 1 실시형태에서는 플랫 케이블(63)의 지지 부재측 케이블 장착부(64) 및 헤드부측 케이블 장착부(65) 사이 부분을 소정의 방향(X방향)으로부터 보아서 헤드 지지 부재(61)에 대해서 헤드부(6)가 배치되는 측과는 반대측(Y1방향측)에서 헤드부(6)와 높이 위치가 겹치도록 수평면에 대해서 경사져서 배치한다. 이것에 의해 플랫 케이블(63)의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지는 것을 억제하면서 헤드부(6) 및 플랫 케이블(63)의 높이 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있다. 그 결과, 수평 방향 및 높이 방향의 양쪽에 있어서 헤드 구동 장치(60)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 헤드 지지 부재(61) 및 지지 부재측 케이블 장착부(64)를 천판부(10) 등의 구조체에 의해 상방으로부터 지지함과 아울러 헤드부측 케이블 장착부(65)를 구조체에 의해 상방으로부터 지지된 헤드 지지 부재(61)의 하방에 있어서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재(61)에 겹치도록 배치한다. 이것에 의해 구조체에 의해 높이 방향의 배치 공간에 제한이 있는 매달림형의 헤드 구동 장치(60)에 있어서 플랫 케이블(63)의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지게 되는 것을 억제하면서 헤드부(6) 및 플랫 케이블(63)의 높이 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있다. 따라서, 수평 방향 및 높이 방향의 양쪽에 있어서 소형화를 도모할 수 있고, 또한 평면적으로 보아서 헤드부측 케이블 장착부(65) 및 헤드 지지 부재(61)가 서로 다른 위치에 배치될 경우에 비해서 헤드부측 케이블 장착부(65) 및 헤드 지지 부재(61)의 수평 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있으므로 수평 방향에 있어서 보다 소형화를 도모하는 것이 가능한 매달림형의 헤드 구동 장치(60)를 제공할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 헤드부측 케이블 장착부(65)보다 상방에 배치된 지지 부재측 케이블 장착부(64)의 근방에서 플랫 케이블(63)이 하방으로 늘어지는 것을 규제하는 늘어짐 규제부(643)를 설치함으로써 경년열화에 의해 플랫 케이블(63)의 자체 중량에 대한 강성이 저하된 경우에도 늘어짐 규제부(643)에 의해 플랫 케이블(63)의 아래로 늘어짐을 확실히 억제할 수 있다.

(제 2 실시형태)

이어서, 도 7을 참조해서 제 2 실시형태에 대해서 설명한다. 이 제 2 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태와 달리 헤드 지지 부재(261)의 하면에 한 쌍의 레일(611a)이 장착된 구성의 헤드 구동 장치(260)에 대해서 설명한다.

제 2 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(260)는 도 7에 도시하는 바와 같이 헤드 지지 부재(261)의 하면(Z2방향의 표면)에는 X방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(611a)이 장착되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(265)의 상면(Z1방향의 표면)에는 한 쌍의 레일(611a)에 X방향으로 이동 가능하게 맞물리는 한 쌍의 슬라이더(612a)가 설치되어 있다. 또한, 헤드 지지 부재(261)와 헤드부측 케이블 장착부(265) 사이에는 헤드부측 케이블 장착부(265)를 헤드 지지 부재(261)에 대해서 X방향으로 이동시키기 위한 구동원으로서 리니어 모터(613a)가 설치되어 있다. 이에 따라, 헤드부측 케이블 장착부(265)는 헤드 지지 부재(261)에 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.

또한, 헤드부(206)는 헤드 지지 부재(261)의 전방측(Y2방향측)에 배치되어 있다. 또한, 헤드부(206)의 배면에는 헤드부측 케이블 장착부(265)가 고정적으로 장착되어 있다. 이에 따라, 헤드부(206)는 헤드부측 케이블 장착부(265)가 이동함으로써 헤드 지지 부재(261)를 따라 X방향으로 이동된다. 또한, 헤드부(206)는 헤드부측 케이블 장착부(265)를 통해서 헤드 지지 부재(261)에 지지되어 있다.

또한, 제 2 실시형태의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태와 같다.

또한, 제 2 실시형태의 효과는 상기 제 1 실시형태와 같다.

(제 3 실시형태)

이어서, 도 8 및 도 9를 참조해서 제 3 실시형태에 대해서 설명한다. 이 제 3 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태와 달리 지지대(362)에 의해 하방으로부터 지지된 구성의 헤드 구동 장치(360)에 대해서 설명한다.

제 3 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(360)는 도 8에 도시하는 바와 같이 기대(1) 상에 설치된 한 쌍의 지지대(362)에 의해 하방으로부터 지지되어 있다. 구체적으로는 한 쌍의 지지대(362)의 상면 상에 Y방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(622a)이 설치되어 있다. 또한, 헤드 지지 부재(361)는 한 쌍의 레일(622a)에 Y방향으로 이동 가능하게 맞물리는 한 쌍의 슬라이더(621a)를 통해서 지지대(362)에 하방으로부터 지지되어 있다. 또한, 헤드 지지 부재(361)에는 모터(361a)에 의해 회전되는 Y방향으로 연장되는 도시되지 않은 볼 나사축에 나사 결합하는 너트(도시 생략)가 장착되어 있다. 이에 따라, 헤드 지지 부재(361)는 모터(361a)에 의해 볼 나사축이 회전됨으로써 레일(622a)을 따라 Y방향으로 이동하도록 구성되어 있다.

또한, 도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이 헤드 지지 부재(361)의 전방면(Y2방향측의 표면)에는 X방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(611b)이 장착되어 있다. 또한, 헤드부(306)의 배면(Y1방향측의 표면)에는 장착 플레이트(306a)를 통해서 헤드 지지 부재(361)의 한 쌍의 레일(611b)에 X방향으로 이동 가능하게 맞물리는 한 쌍의 슬라이더(612b)(도 9 참조)가 장착되어 있다. 또한, 한 쌍의 레일(611b) 사이에는 모터(361b)에 의해 회전되는 볼 나사축(361c)이 설치되어 있다. 또한, 장착 플레이트(306a)의 중앙부에는 돌출부(306a1)가 형성되어 있고, 볼 나사축(361c)에 나사 결합되는 도시되지 않은 너트가 돌출부(306a1)에 고정적으로 장착되어 있다. 이에 따라, 헤드부(306)는 모터(361b)에 의해 볼 나사축(361c)이 회전됨으로써 헤드 지지 부재(361)를 따라 X방향으로 이동 가능하다.

또한, 제 3 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(360)에서는 도 9에 도시하는 바와 같이 플랫 케이블(363)은 헤드 지지 부재(361)의 상방에서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재(361)에 겹치도록 수평면에 대해서 경사져서 배치되어 있다. 또한, 플랫 케이블(363)은 본 발명의 「편평 형상 케이블」의 일례이다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(364)는 헤드 지지 부재(361)에 일체적으로 설치되어 있고, 후방의 경사 상방(Y1 및 Z1 사이 방향)을 향해서 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(364)의 케이블 장착면(641a)은 그 법선이 전방의 경사 상방(Y2 및 Z1 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(641a)은 플랫 케이블(363)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641a)은 플랫 케이블(363)의 제 1 위치가 장착된 본 발명의 「제 1 장착 부분」의 일례이다.

또한, 헤드부측 케이블 장착부(365)는 장착 플레이트(306a)를 통해서 헤드부(306)에 고정적으로 장착되어 있고 후방의 경사 상방(Y1 및 Z1 사이 방향)을 향해서 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(365)는 헤드 지지 부재(361)의 상방에서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재(361)에 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(365)의 케이블 장착면(651a)은 그 법선이 후방의 경사 하방(Y1 및 Z2 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(651a)은 플랫 케이블(363)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641a) 및 케이블 장착면(651a)은 X방향으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 대략 같은 각도로 경사져서 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(641a) 및 케이블 장착면(651a)은 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(651a)은 플랫 케이블(363)의 제 2 위치가 장착된 본 발명의 「제 2 장착 부분」의 일례이다.

또한, 플랫 케이블(363)의 지지 부재측 케이블 장착부(364) 및 헤드부측 케이블 장착부(365) 사이 부분은 상기한 바와 같이 수평면에 대해서 경사지는 케이블 장착면(64la 및 651a)에 장착됨으로써 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)의 길이 방향이 케이블 장착면(641a 및 651a)의 경사 각도와 대략 같은 경사 각도로 수평면에 대해서 경사져서 배치된다.

또한, 제 3 실시형태의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태와 같다.

제 3 실시형태에서는 상기한 바와 같이 플랫 케이블(363)의 지지 부재측 케이블 장착부(364) 및 헤드부측 케이블 장착부(365) 사이 부분은 헤드 지지 부재(361)의 상방에 있어서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재(361)에 겹치도록 수평면에 대해서 경사져서 배치된다. 이것에 의해 평면적으로 보아서 플랫 케이블(363) 및 헤드 지지 부재(361)가 서로 다른 위치에 배치될 경우에 비해서 플랫 케이블(363) 및 헤드 지지 부재(361)의 수평 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있으므로 수평 방향에 있어서 헤드 구동 장치(360)를 소형화할 수 있다.

또한, 제 3 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 1 실시형태와 같다.

(제 4 실시형태)

이어서, 도 10을 참조해서 제 4 실시형태에 대해서 설명한다. 이 제 4 실시형태에서는 상기 제 3 실시형태와 달리 헤드부측 케이블 장착부(465)가 헤드부(306)의 상방에서 평면적으로 보아서 헤드부(306)에 겹치도록 배치된 구성의 헤드 구동 장치(460)에 대해서 설명한다.

제 4 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(460)에서는 도 10에 도시하는 바와 같이 지지 부재측 케이블 장착부(464)는 헤드 지지 부재(361)에 일체적으로 설치되어 있고, 전방의 경사 상방(Y2 및 Z1 사이 방향)을 향해서 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(464)의 케이블 장착면(641b)은 그 법선이 전방의 경사 하방(Y2 및 Z2 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(641b)은 플랫 케이블(463)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641b)은 플랫 케이블(463)의 제 1 위치가 장착된 본 발명의 「제 1 장착 부분」의 일례이다.

또한, 헤드부측 케이블 장착부(465)는 장착 플레이트(306a)를 통해서 헤드부(306)에 고정적으로 장착되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(465)는 헤드부(306)의 상방에서 평면적으로 보아서 헤드부(306)에 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(465)의 케이블 장착면(651b)은 그 법선이 후방의 경사 상방(Y1 및 Z1 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(651b)은 플랫 케이블(463)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641b) 및 케이블 장착면(651b)은 X방향으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 대략 같은 각도로 경사져서 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(641b) 및 케이블 장착면(651b)은 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(651b)은 플랫 케이블(463)의 제 2 위치가 장착된 본 발명의 「제 2 장착 부분」의 일례이다.

또한, 플랫 케이블(463)의 지지 부재측 케이블 장착부(464) 및 헤드부측 케이블 장착부(465) 사이 부분은 상기한 바와 같이 수평면에 대해서 경사지는 케이블 장착면(641b 및 651b)에 장착됨으로써 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)의 길이 방향이 케이블 장착면(641b 및 651b)의 경사 각도와 대략 같은 경사 각도로 수평면에 대해서 경사져서 배치된다. 또한, 플랫 케이블(463)은 본 발명의 「편평 형상 케이블」의 일례이다.

또한, 제 4 실시형태의 그 밖의 구성은 상기 제 3 실시형태와 같다.

또한, 제 4 실시형태의 효과는 상기 제 3 실시형태와 같다.

(제 5 실시형태)

이어서, 도 11을 참조해서 제 5 실시형태에 대해서 설명한다. 이 제 5 실시형태에서는 상기 제 3 실시형태와 달리 헤드부측 케이블 장착부(565)가 헤드부(306)의 상방에서 평면적으로 보아서 헤드부(306)에 겹치도록 배치된 구성의 헤드 구동 장치(560)에 대해서 설명한다.

제 5 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(560)에서는 도 11에 도시하는 바와 같이 지지 부재측 케이블 장착부(564)는 헤드 지지 부재(361)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(564)는 X방향으로부터 보아서 대략 삼각형상으로 형성되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(564)의 케이블 장착면(641c)은 그 법선이 전방의 경사 상방(Y2 및 Z1 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(641c)은 플랫 케이블(563)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641c)은 플랫 케이블(563)의 제 1 위치가 장착된 본 발명의 「제 1 장착 부분」의 일례이다.

또한, 헤드부측 케이블 장착부(565)는 장착 플레이트(306a)를 통해서 헤드부(306)에 고정적으로 장착되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(565)는 헤드부(306)의 상방에서 평면적으로 보아서 헤드부(306)에 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(565)의 케이블 장착면(651c)은 그 법선이 후방의 경사 하방(Y1 및 Z2 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(651c)은 플랫 케이블(563)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641c) 및 케이블 장착면(651c)은 X방향으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 대략 같은 각도로 경사져서 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(641c) 및 케이블 장착면(651c)은 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(651c)은 플랫 케이블(563)의 제 2 위치가 장착된 본 발명의 「제 2 장착 부분」의 일례이다.

또한, 플랫 케이블(563)의 지지 부재측 케이블 장착부(564) 및 헤드부측 케이블 장착부(565) 사이 부분은 상기한 바와 같이 수평면에 대해서 경사지는 케이블 장착면(641c 및 651c)에 장착됨으로써 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)의 길이 방향이 케이블 장착면(641c 및 651c)의 경사 각도와 대략 같은 경사 각도로 수평면에 대해서 경사져서 배치된다. 또한, 플랫 케이블(563)은 본 발명의 「편평 형상 케이블」의 일례이다.

또한, 제 5 실시형태의 그 밖의 구성은 상기 제 3 실시형태와 같다.

또한, 제 5 실시형태의 효과는 상기 제 3 실시형태와 같다.

(제 6 실시형태)

이어서, 도 12를 참조해서 제 6 실시형태에 대해서 설명한다. 이 제 6 실시형태에서는 상기 제 3 실시형태와 달리 헤드 지지 부재(661)의 상면(Z1방향의 표면)에 X방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(611c)이 설치된 구성의 헤드 구동 장치(660)에 대해서 설명한다.

제 6 실시형태에 의한 헤드 구동 장치(660)에서는 도 12에 도시하는 바와 같이 헤드 지지 부재(661)의 상면(Z1방향의 표면)에 X방향으로 연장되는 한 쌍의 레일(611c)이 설치되어 있다. 또한, 헤드부(306)의 배면(Y1방향측의 표면)에는 X방향으로부터 보아서 후방(Y1방향)으로 연장되는 장착 플레이트(306b)가 고정적으로 장착되어 있다. 또한, 장착 플레이트(306b)의 하면(Z2방향의 표면)에는 헤드 지지 부재(661)의 한 쌍의 레일(611c)에 X방향으로 이동 가능하게 맞물리는 한 쌍의 슬라이더(612c)가 장착되어 있다. 또한, 장착 플레이트(306b)의 상면 상(Z1방향의 표면 상)에는 헤드부측 케이블 장착부(665)가 설치되어 있다. 헤드부측 케이블 장착부(665)는 장착 플레이트(306b)를 통해서 헤드부(306)에 고정적으로 장착되어 있다. 또한, 한 쌍의 레일(611c) 사이에는 볼 나사축(361c)을 회전시키는 모터(361b)가 설치되어 있다. 또한, 장착 플레이트(306b)의 중앙부에는 돌출부(306b1)가 형성되어 있고, 볼 나사축(361c)에 나사 결합되는 도시되지 않은 너트가 돌출부(306b1)에 고정적으로 장착되어 있다. 이에 따라, 헤드부측 케이블 장착부(665)는 모터(361b)에 의해 볼 나사축(361c)이 회전됨으로써 헤드 지지 부재(661)에 대해서 X방향으로 이동된다. 이 때 헤드부(306)는 헤드부측 케이블 장착부(665)의 이동에 추종해서 헤드 지지 부재(661)를 따라 X방향으로 이동된다. 또한, 헤드부측 케이블 장착부(665)는 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재(661)에 겹치도록 배치되어 있다.

지지 부재측 케이블 장착부(664)는 헤드 지지 부재(661)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(664)는 후방의 경사 상방(Y1 및 Z1 사이 방향)으로 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 지지 부재측 케이블 장착부(664)의 케이블 장착면(641d)은 그 법선이 전방의 경사 상방(Y2 및 Z1 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(641d)은 플랫 케이블(663)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641d)은 플랫 케이블(663)의 제 1 위치가 장착된 본 발명의 「제 1 장착 부분」의 일례이다.

또한, 헤드부측 케이블 장착부(665)의 케이블 장착면(651d)은 그 법선이 후방의 경사 하방(Y1 및 Z2 사이 방향)을 향하도록 수평면에 대해서 경사져 있다. 또한, 케이블 장착면(651d)은 플랫 케이블(663)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상을 갖고 있다. 또한, 케이블 장착면(641d) 및 케이블 장착면(651d)은 X방향으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 대략 같은 각도로 경사져서 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(641d) 및 케이블 장착면(651d)은 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 케이블 장착면(651d)은 플랫 케이블(663)의 제 2 위치가 장착된 본 발명의 「제 2 장착 부분」의 일례이다.

또한, 플랫 케이블(663)의 지지 부재측 케이블 장착부(664) 및 헤드부측 케이블 장착부(665) 사이 부분은 헤드 지지 부재(661)에 대해서 헤드부(306)가 배치되는 측과는 반대측(Y1방향측)에서 헤드부(306)와 높이 위치가 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 플랫 케이블(663)의 지지 부재측 케이블 장착부(664) 및 헤드부측 케이블 장착부(665) 사이 부분은 상기한 바와 같이 수평면에 대해서 경사지는 케이블 장착면(641d 및 651d)에 장착됨으로써 편평 형상의 횡단면(편평 단면 형상)의 길이 방향이 케이블 장착면(64ld 및 651d)의 경사 각도와 대략 같은 경사 각도로 수평면에 대해서 경사져서 배치된다. 또한, 플랫 케이블(663)은 본 발명의 「편평 형상 케이블」의 일례이다.

또한, 제 6 실시형태의 그 밖의 구성은 상기 제 3 실시형태와 같다.

제 6 실시형태에서는 상기한 바와 같이 플랫 케이블(663)의 지지 부재측 케이블 장착부(664) 및 헤드부측 케이블 장착부(665) 사이 부분을 소정의 방향(X방향)으로부터 보아서 헤드 지지 부재(661)에 대해서 헤드부(306)가 배치되는 측과는 반대측(Y1방향측)에서 헤드부(306)와 높이 위치가 겹치도록 수평면에 대해서 경사져서 배치한다. 이것에 의해 플랫 케이블(663)의 수평 방향에 있어서의 배치 공간이 커지는 것을 억제하면서 헤드부(306) 및 플랫 케이블(663)의 높이 방향의 배치 공간을 작게 할 수 있다. 그 결과, 수평 방향 및 높이 방향의 양쪽에 있어서 헤드 구동 장치(660)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 제 6 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 3 실시형태와 같다.

또한, 이번 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아닌 것으로 생각해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시형태의 설명이 아니라 특허 청구 범위에 의해 나타내어지고, 또한 특허 청구 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

예를 들면 상기 제 1～제 6 실시형태에서는 본 발명의 헤드 구동 장치를 부품 실장 장치에 적용하는 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명의 헤드 구동 장치를, 예를 들면 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 되는 헤드부에 땜납 페이스트가 충전된 시린지(syringe)가 상하 구동 가능하게 장착되고, 시린지 하단부의 노즐에 의해 땜납 페이스트를 도포하는 디스펜서나, X방향, 또는 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 되는 헤드부에 기판 촬상용 카메라를 탑재한 기판 검사 장치 등 부품 실장 장치 이외의 장치에 적용해도 좋다.

또한, 상기 제 1～제 6 실시형태에서는 복수의 선부재로서의 동력선 및 신호선 등을 서로 융착해서 플랫 케이블(편평 형상 케이블)을 구성하는 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 도 13에 도시되는 바와 같이 결속 밴드를 사용해서 복수의 선부재를 묶음으로써 편평 형상의 횡단면을 갖는 편평 형상 케이블을 구성해도 좋다.

또한, 상기 제 1～제 6 실시형태에서는 편평 형상 케이블의 제 1, 제 2 위치를 장착하기 위한 제 1 장착 부분 및 제 2 장착 부분의 일예로서 플랫 케이블(편평 형상 케이블)의 전체 폭을 면 형상으로 지지하는 평탄면 형상의 케이블 장착면을 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 가늘고 길게 돌출하여 플랫 케이블(편평 형상 케이블)의 전체 폭을 지지하는 보스를 제 1 장착 부분 및 제 2 장착 부분에 플랫 케이블(편평 형상 케이블)이 연장되는 방향으로 복수 설치하는 것이어도 좋다.

또한, 제 1, 제 2 위치는 대략, 플랫 케이블(편평 형상 케이블)의 일단측, 타단측이라는 취지이지만 이들은 반드시 단부에 한정되지 않고 플랫 케이블(편평 형상 케이블)의 도중 부분이어도 좋다.

또한, 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 경사지는 각도는 소정의 방향(X방향) 둘레로 45°가 바람직하다. 그 경우에는 전후 방향의 돌출 길이와 상하 방향의 돌출 길이를 균등히 짧게 설정하여 보다 콤팩트한 구성으로 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 「경사」라는 개념은 수평면에 대해서 평행 또는 직각인 형태 이외의 모든 형태를 포함하는 개념이다. 따라서, 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사져 있으면, 예를 들면 각 실시형태와 같이 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 YZ평면을 따르고 있어도 좋다. 또한, 구체적으로는 도시하지 않지만 XZ평면을 따라 YZ평면에 대해서 경사져도 좋다. 그러한 형태는 Y방향으로부터 보아서 케이블 장착부의 장착면을 각각 평행하게 배치하고 연직선에 대해서 경사지게 함으로써 실현 가능하다.

기타, 본 발명의 특허 청구 범위 내에서 여러 가지의 변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다.

Claims

헤드 지지 부재와,
상기 헤드 지지 부재에 지지되고 상기 헤드 지지 부재를 따라 소정의 방향으로 직선 이동 가능한 헤드부와,
상기 헤드부에 접속되는 복수의 선부재가 묶여짐으로써 상기 복수의 선부재가 연장되는 방향에 직교하는 방향을 따라 편평 형상의 횡단면을 갖도록 형성된 편평 형상 케이블과,
상기 헤드 지지 부재측에 설치되고 상기 편평 형상 케이블의 제 1 위치가 장착되는 지지 부재측 케이블 장착부와,
상기 헤드부측에 설치되고 상기 제 1 위치로부터 선재가 연장되는 방향으로 이간된 상기 편평 형상 케이블의 제 2 위치가 장착되는 헤드부측 케이블 장착부를 구비하고:
상기 헤드부측 케이블 장착부와 상기 지지 부재측 케이블 장착부는 양 케이블 장착부 사이에 장착된 편평 형상 케이블이 상기 헤드부와 상기 헤드 지지 부재의 상대 변위에 추종하도록 U자 형상으로 만곡되고 또한 상기 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 지지 부재측 케이블 장착부는 상기 편평 형상 케이블의 상기 제 1 위치가 고정적으로 장착되는 제 1 장착 부분을 포함하고,
상기 헤드부측 케이블 장착부는 상기 편평 형상 케이블의 상기 제 2 위치가 고정적으로 장착되는 제 2 장착 부분을 포함하고,
상기 지지 부재측 케이블 장착부의 제 1 장착 부분 및 상기 헤드부측 케이블 장착부의 제 2 장착 부분은 상기 소정의 방향으로부터 보아서 수평면에 대해서 서로 같은 각도로 경사져서 대향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 헤드 지지 부재는 상기 소정의 방향과 직교하는 수평 방향의 일단측에서 상기 헤드부를 지지하고 있고,
상기 편평 형상 케이블의 상기 지지 부재측 케이블 장착부 및 상기 헤드부측 케이블 장착부 사이의 부분은 상기 수평 방향의 타단측으로서 상기 헤드부와 수평 방향으로 겹치는 높이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 구동 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 헤드 지지 부재 및 상기 지지 부재측 케이블 장착부는 소정의 구조체에 의해 상방으로부터 지지됨으로써 매달려 있는 것이며,
상기 헤드부측 케이블 장착부는 상기 구조체에 의해 상방으로부터 지지된 헤드 지지 부재의 하방에 있어서 평면적으로 보아서 헤드 지지 부재에 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 편평 형상 케이블의 상기 지지 부재측 케이블 장착부 및 상기 헤드부측 케이블 장착부 사이의 부분은 상기 헤드 지지 부재의 상방에 있어서 연직 방향으로 겹치는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 구동 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재측 케이블 장착부 및 상기 헤드부측 케이블 장착부 중 보다 상방에 배치되는 한쪽의 근방에서 상기 편평 형상 케이블이 하방으로 늘어짐을 규제하는 늘어짐 규제부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 구동 장치.
기판을 반송하는 반송 장치와,
헤드 구동 장치를 구비하고:
상기 헤드 구동 장치는 헤드 지지부와, 상기 반송 장치에 의해 반송되는 기판에 부품을 실장함과 아울러 상기 헤드 지지 부재에 지지되고 상기 헤드 지지 부재를 따라 소정의 방향으로 직선 이동 가능한 헤드부와, 상기 헤드부에 접속되는 복수의 선부재가 묶여짐으로써 상기 복수의 선부재가 연장되는 방향에 직교하는 방향을 따라 편평 형상의 횡단면을 갖도록 형성된 편평 형상 케이블과, 상기 편평 형상 케이블의 제 l 위치가 장착되는 지지 부재측 케이블 장착부와, 상기 헤드부측에 설치되고 상기 제 1 위치로부터 선재가 연장되는 방향으로 이간된 상기 편평 형상 케이블의 제 2 위치가 장착되는 헤드부측 케이블 장착부를 포함하고;
상기 헤드부측 케이블 장착부와 상기 지지 부재측 케이블 장착부는 양 케이블 장착부 사이에 장착된 편평 형상 케이블이 상기 헤드부와 상기 헤드 지지 부재의 상대 변위에 추종하도록 U자 형상으로 만곡되고 또한 상기 편평 형상 케이블의 횡단면의 길이 방향이 수평면에 대해서 경사지도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.