CN102371591A - 头驱动装置及元件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明的提供一种头驱动装置及元件安装装置，提高扁平状线缆的相对于自重的刚性从而抑制扁平状线缆的下垂，并且抑制水平方向的配置空间变大。包括：头支承部件；头部，被头支承部件支承，能够沿着头支承部件在指定的方向上直线移动；扁平状线缆，在沿着与多个线部件延伸的方向垂直的方向呈现扁平形状的横剖面；支承部件侧线缆安装部，设置于头支承部件侧，安装有扁平状线缆的第一位置；以及头部侧线缆安装部，设置于头部侧，安装有该扁平状线缆的第二位置，头部侧线缆安装部和支承部件侧线缆安装部，以安装于它们之间的扁平状线缆以追随它们的相对位移的方式弯曲成U字形状，并且该扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式设置。

Description

头驱动装置及元件安装装置

技术领域

本发明涉及头驱动装置及元件安装装置，特别涉及具备由多个线部件构成的具有扁平形状横剖面(Cross section)的扁平状线缆的头驱动装置及具备这种头驱动装置的元件安装装置。

背景技术

以往，具备由多个线部件构成的具有扁平形状横剖面的扁平状线缆的头驱动装置为人们所知，该线部件是指，电力供应用或信号发送用线缆或者风管(air tube)等线部件中的任意线部件(例如，参照专利文献1)。

在上述专利文献1中，公开了一种头驱动装置，该头驱动装置包括：臂部，在指定的方向上延伸；头部安装体，被臂部支承，且能够沿着臂部在指定的方向上直线移动；扁平线缆(扁平状线缆)，具有扁平形状的横剖面；扁平线缆的臂部侧固定部件；以及扁平线缆的头部侧固定部件。该扁平线缆以在臂部侧固定部件与头部侧固定部件之间的部分沿着扁平线缆延伸的方向弯曲成U字形状，并且扁平线缆的横剖面的长度方向为水平的方式配置。

但是，在上述专利文献1的头驱动装置中，因为扁平线缆被配置成扁平线缆的横剖面的长度方向为水平，所以认为扁平线缆的相对于自重的刚性低，扁平线缆容易下垂到下方。为此，在上述专利文献1的头驱动装置中，通过线缆支承部件来支承弯曲的扁平线缆的下方侧部分的大致整个区域，从而限制扁平线缆下垂。

另外，以往，在具备由多个线部件构成的具有扁平形状横剖面的扁平状线缆的结构中，已知有能够抑制扁平状线缆的下垂的机器人驱动装置(例如，参照专利文献2)。

在上述专利文献2中，公开了一种机器人驱动装置，该机器人驱动装置包括：移动导轨，在指定的方向上延伸；机器人主体，被移动导轨支承，且能够沿着移动导轨在指定的方向上移动；以及扁平线缆(扁平状线缆)，连接于机器人主体，且具有扁平形状的横剖面。该扁平线缆以沿着扁平线缆延伸的方向弯曲成U字形状，并且扁平线缆的横剖面的长度方向为铅直的方式配置。由此，与扁平线缆的横剖面的长度方向被配置成水平的情况相比，扁平线缆的相对于自重的刚性变高，所以能够抑制扁平线缆的下垂。

专利文献1：日本特开2002-185191号公报

专利文献2：日本特开2009-119566号公报

在上述专利文献2的机器人驱动装置中，能够提高扁平线缆的相对于自重的刚性从而能够抑制扁平线缆的下垂，但是，另一方面，扁平线缆的横剖面的长度方向铅直地配置，所以移动导轨侧的部分和机器人主体侧的部分以夹着扁平线缆的U字形状的弯曲部分在水平方向上彼此对置的方式配置。为此，在扁平线缆的弯曲部分的曲率半径较大的情况下，扁平线缆的水平方向的配置空间变大，所以存在机器人驱动装置的水平方向的配置空间变大这一问题点。

发明内容

本发明为了解决如上所述的问题而作出的，本发明的一个目的在于提供能够提高扁平状线缆的相对于自重的刚性从而能够抑制扁平状线缆的下垂，并且能够抑制水平方向的配置空间变大的头驱动装置及具备这种头驱动装置的元件安装装置。

为了达成上述目的，本发明所涉及的头驱动装置包括：头支承部件；头部，被所述头支承部件支承，能够沿着所述头支承部件在指定的方向上直线移动；扁平状线缆，通过将连接于所述头部的多个线部件集束而形成，从而在沿着与所述多个线部件延伸的方向垂直的方向呈现扁平形状的横剖面；支承部件侧线缆安装部，设置于所述头支承部件侧，安装有所述扁平状线缆的第一位置；以及头部侧线缆安装部，设置于所述头部侧，安装有该扁平状线缆的第二位置，该第二位置在线材延伸的方向上与所述第一位置分离，其中，所述头部侧线缆安装部和所述支承部件侧线缆安装部，以安装于两线缆安装部之间的扁平状线缆以追随所述头部和所述头支承部件的相对位移的方式弯曲成U字形状，并且该扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式设置。另外，本发明的扁平状线缆是不仅包括表面呈平坦的扁平形状的线缆，也包括虽然表面有凹凸但整体呈扁平形状的线缆的广义概念。例如，即使对于集束有呈圆形剖面形状的多个线部件的线缆而在表面具有凹凸的情况下，只要作为整体呈扁平形状，就属于本发明的扁平状线缆。另外，“线部件”不仅包括电线，也可以包括风管。并且，所谓的“倾斜”，是包括不与水平面平行也不垂直于水平面的全部角度的概念。

如上所述，在本发明所涉及的头驱动装置中，将扁平状线缆配置成，在支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部之间的部分，扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜，从而与横剖面的长度方向被配置成水平的情况相比，扁平状线缆的相对于自重的刚性变高，所以能够抑制扁平状线缆的下垂。另外，通过以在支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部之间的部分、扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置扁平状线缆，从而头支承部件侧的部分及头部侧的部分被配置于夹着扁平状线缆的弯曲部分彼此相对于水平面倾斜的位置，所以即使扁平状线缆的弯曲部分的曲率半径较大的情况下，与头支承部件侧的部分及头部侧的部分彼此沿水平方向配置的情况相比，也能够抑制扁平状线缆的水平方向的配置空间变大。因此，在该头驱动装置中，能够提高扁平状线缆的相对于自重的刚性从而抑制扁平状线缆的下垂，并且能够抑制水平方向的配置空间变大。

在上述头驱动装置中，优选的是，支承部件侧线缆安装部包括第一安装部，该第一安装部固定安装有扁平状线缆的第一位置，头部侧线缆安装部包括第二安装部，该第二安装部固定安装有扁平状线缆的第二位置，支承部件侧线缆安装部的第一安装部及头部侧线缆安装部的第二安装部以从指定的方向观察时，相对于水平面以相同的角度倾斜着彼此对置的方式配置。若这样构成，只要将扁平状线缆的头支承部件侧及头部侧分别安装于支承部件侧线缆安装部的第一安装部及头部侧线缆安装部的第二安装部，就能够容易地将扁平状线缆配置成，在支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部之间的部分，扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜。另外，通过将第一安装部及第二安装部配置成对置，能够抑制扁平状线缆发生扭曲。

在上述头驱动装置中，优选的是，所述头支承部件在与所述指定的方向垂直的水平方向的一端侧支承所述头部，所述扁平状线缆的所述支承部件侧线缆安装部及所述头部侧线缆安装部之间的部分，被配置在所述水平方向的另一端侧且该部分的至少一部分在所述头部的水平方向上的高度范围内。若这样构成，能够抑制扁平状线缆的水平方向的配置空间变大，并且能够使头部及扁平状线缆的高度方向的配置空间减小。其结果，能够在水平方向及高度方向这两个方向上谋求头驱动装置的小型化。

此时，优选的是，头支承部件及支承部件侧线缆安装部通过由指定的构造体从上方支承而被悬吊，头部侧线缆安装部在由构造体从上方支承的头支承部件的下方，以在俯视观察时与至少一部分与头支承部件重合的方式配置。若这样构成，在因以元件安装装置为首的指定的装置的构造体而高度方向的配置空间受限的悬吊型的头驱动装置中，能够抑制扁平状线缆的水平方向的配置空间变大，并且能够使头部及扁平状线缆的高度方向的配置空间变小。因此，能够在水平方向及高度方向这两个方向上谋求小型化，进而，俯视观察时，与头部侧线缆安装部及头支承部件被配置在互不相同的位置的情况相比，能够使头部侧线缆安装部及头支承部件的水平方向的配置空间减小，所以能够提供可在水平方向进一步谋求小型化的悬吊型的头驱动装置。

在上述头驱动装置中，优选的是，扁平状线缆的支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部之间的部分，在头支承部件的上方，被配置在在铅直方向上至少一部分与头支承部件重合的位置。若这样构成，在俯视观察时，与扁平状线缆及头支承部件被配置在互不相同的位置的情况相比，能够使扁平状线缆及头支承部件的水平方向的配置空间减小。由此，也能够在水平方向上使头驱动装置小型化。

在上述头驱动装置中，优选的是，还包括：下垂限制部，在支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部中的位于更上方的一个安装部附近限制扁平状线缆下垂到下方。若这样构成，即使在扁平状线缆的相对于自重的刚性因随时间老化而降低的情况下，也能够通过下垂限制部可靠地抑制扁平状线缆的下垂。

本发明的第二方式所涉及的元件安装装置包括：搬送装置，搬送基板；以及头驱动装置，其中所述头驱动装置包括：头支承部件；将元件安装到由所述搬送装置搬送的基板上，并且被所述头支承部件支承，能够沿着所述头支承部件在指定的方向上直线移动的头部；通过将连接于所述头部的多个线部件集束而形成，从而在与所述多个线部件延伸的方向垂直的方向呈现扁平形状的横剖面的扁平状线缆；安装有所述扁平状线缆的第一位置的支承部件侧线缆安装部；以及设置于所述头部侧，安装有该扁平状线缆的第二位置的头部侧线缆安装部，该第二位置在线材延伸的方向上与所述第一位置分离；其中，所述头部侧线缆安装部和所述支承部件侧线缆安装部，以安装于两线缆安装部之间的扁平状线缆以追随所述头部和所述头支承部件的相对位移的方式弯曲成U字形状，并且该扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置。另外，本发明的扁平状线缆是不仅包括表面呈平坦的扁平形状的线缆，也包括虽然表面有凹凸但整体呈扁平形状的线缆的广义概念。例如，即使对于集束有呈圆形剖面形状的多个线部件的线缆而在表面具有凹凸的情况下，只要作为整体呈扁平形状，就属于本发明的扁平状线缆。另外，“线部件”不仅包括电线，也可以包括风管。并且，所谓的“倾斜”，是包括不与水平面平行也不垂直于水平面的全部角度的概念。

如上所述，在本发明所涉及的元件安装装置中，通过以在支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部之间的部分，扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置扁平状线缆，从而与横剖面的长度方向被配置成水平的情况相比，扁平状线缆的相对于自重的刚性变高，所以能够抑制扁平状线缆的下垂。另外，通过以在支承部件侧线缆安装部及头部侧线缆安装部之间的部分、扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置扁平状线缆，从而头支承部件侧的部分及头部侧的部分被配置于夹着扁平状线缆的弯曲部分彼此相对于水平方向倾斜的位置，所以即使扁平状线缆的弯曲部分的曲率半径较大的情况下，与头支承部件侧的部分及头部侧的部分彼此沿水平方向配置的情况相比，也能够抑制扁平状线缆的水平方向的配置空间变大。因此，在该元件安装装置中，能够提高扁平状线缆的相对于自重的刚性从而抑制扁平状线缆的下垂，并且能够抑制头驱动装置的水平方向的配置空间变大。

附图说明

图1是表示使用了本发明第一实施方式所涉及的头驱动装置的元件安装装置的整体结构的概略俯视图。

图2是表示使用了本发明第一实施方式所涉及的头驱动装置的元件安装装置的整体结构的正视图。

图3是表示使用了本发明第一实施方式所涉及的头驱动装置的元件安装装置的顶板部的仰视图。

图4是表示本发明第一实施方式所涉及的头驱动装置的侧视图。

图5是表示从图4的箭头V方向观察到的头驱动装置的图。

图6是表示从图4的箭头Y2方向观察到的头驱动装置的图。

图7是表示本发明第二实施方式所涉及的头驱动装置的侧视图。

图8是表示本发明第三实施方式所涉及的头驱动装置的正视图。

图9是表示本发明第三实施方式所涉及的头驱动装置的侧视图。

图10是表示本发明第四实施方式所涉及的头驱动装置的侧视图。

图11是表示本发明第五实施方式所涉及的头驱动装置的侧视图。

图12是表示本发明第六实施方式所涉及的头驱动装置的侧视图。

图13是用于说明本发明第一至第六实施方式的头驱动装置的变形例的立体图。

具体实施方式

下面，基于附图说明本发明的实施方式。

(第一实施方式)

参照图1至图6，对在元件安装装置100中使用了本发明第一实施方式所涉及的头驱动装置60的例子进行说明。详细情况如后所述，本发明第一实施方式所涉及的头驱动装置60主要包括元件安装装置100的头部6、头支承部件61、支承板62、线性电动机613、扁平线缆63、支承部件侧线缆安装部64以及头部侧线缆安装部65。另外，在以下说明的附图中，为了明确各图的方向关系，示出了XYZ直角坐标。在该XYZ直角坐标中，以基板的搬送方向为X方向，用X1表示搬送方向下游侧，用X2表示上游侧。另外，以平面上的与X方向垂直的方向为Y方向，用Y2表示前方，用Y1表示后方。并且，以上下方向为Z方向，用Z1表示上方，用Z2表示下方。

第一实施方式的元件安装装置100是能够从经晶粒切割的晶圆101中取出裸芯片(未图示)并安装(装配)在基板102上，并且将由第一元件供应部4供应的封装元件安装到基板102上的元件安装装置100。

如图1所示，该元件安装装置100包括：基台1；搬送装置2，将基板102搬送到指定的安装作业位置并进行保持；第一元件供应部4及第二元件供应部5；两个头部6，用于将元件安装到基板102上；晶圆收纳部7，收纳经晶粒切割的晶圆101；以及晶圆支承装置8，从该晶圆收纳部7抽出晶圆101并进行支承。

参照图2，在基台1的上面X方向两端分别设置有中空的立设壁100A，在X方向两侧的立设壁100A的上端面上安装有板状的顶板部10。在该顶板部10的上侧设置有向XY两方向延展的屋顶状部件100B。另外，在各立设壁100A的Y方向中间下部设置有开口，搬送装置2被配置成穿过开口在X方向上贯通。

搬送装置2包括一对传送带，在X方向上搬送基板102。另外，搬送装置2具有通过未图示的定位机构将基板102定位在指定的安装作业位置并进行固定的功能。

在搬送装置2的前侧(Y2方向一侧)配置有两个第一元件供应部4。另外，第一元件供应部4包括并列配置于X方向的带式送料器4a，通过带式送料器4a将元件供应到前端的元件供应位置。并且，元件供应位置的元件由头部6取得。

第二元件供应部5被配置在搬送装置2的后侧(Y1方向一侧)。另外，第二元件供应部5供应裸芯片。具体而言，第二元件供应部5构成为：在经晶粒切割的晶圆101由晶圆支承装置8来支承并与取出对象元件相对应而定位的状态下，通过后述的芯片取出用头部单元9从晶圆101中取出裸芯片并供应给头部6。

头部6在搬送装置2的上方可在X方向及Y方向上移动。另外，头部6将各元件供应部4、5所供应的裸芯片及元件安装到基板102上。具体而言，头部6通过吸嘴6a来吸附由带式送料器4a供应的元件并安装到基板102上。并且，头部6通过吸嘴6a来吸附由芯片取出用头部单元9从晶圆101中取出的裸芯片并安装到基板102上。另外，头部6采用利用负压吸附元件的结构。头部6的详细结构将在后阐述。

晶圆收纳部7收容经晶粒切割的多枚晶圆101。

晶圆支承装置8将收纳于晶圆收纳部7的晶圆101抽出到第二元件供应部5中并进行支承，以便芯片取出用头部单元9能够取出裸芯片。另外，晶圆支承装置8将晶圆101支承在晶圆台81上。另外，晶圆支承装置8的晶圆台81穿过被搬送装置2支承的基板102的下方位置，能够在第二元件供应部5的指定的元件取出作业位置与晶圆收纳部7附近的晶圆接收位置(在图1中用双点划线表示的位置)之间移动。另外，在晶圆台81中设置有在晶圆台81被配置于晶圆接收位置的状态下从晶圆收纳部7抽出晶圆101并将晶圆101移动到晶圆台81上的机构。

芯片取出用头部单元9能够在晶圆支承装置8的上方在X方向及Y方向上移动。芯片取出用头部单元9能够在X方向上移动地安装于能够在Y方向上移动的框架部件9a上。另外，芯片取出用头部单元9的可动区域和头部6的可动区域在俯视观察时局部重叠。另外，如图2所示，芯片取出用头部单元9位于头部6的下方。由此，芯片取出用头部单元9能够对头部6交付裸芯片。

接着，参照图1至图6，说明两个头部6的详细结构。另外，两个头部6具有彼此相同的结构。

如图1至图4所示，两个头部6分别由在X方向上延伸的两个头支承部件61支承。另外，各头部6能够沿着对应的头支承部件61的前侧(Y2方向一侧)的侧面在X方向上移动。具体而言，如图2及图4所示，在各头支承部件61的前面设置有在X方向上延伸的一对导轨611。另外，在各头部6上设置有一对滑块612，该一对滑块612能够在X方向上移动地与对应的头支承部件61的一对导轨611相卡合(参照图4)。另外，如图4所示，在头部6与头支承部件61之间设置有线性电动机613，该线性电动机613作为用于使头部6相对于头支承部件61在X方向上移动的驱动源。由此，头部6能够在X方向上移动地被头支承部件61支承。另外，如图4所示，头支承部件61的背面61a以其法线指向斜后下方(Y1及Z2之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。

另外，两个头部6能够彼此独立地在Y方向上移动。具体而言，如图2至图4所示，各头支承部件61固定安装于配置在上方的支承板62上。另外，如图2及图3所示，在顶板部10的下面(Z2方向一侧的表面)，安装有两组在Y方向上延伸的成对导轨622。并且，各支承板62通过一对滑块621悬吊在顶板部10上，该一对滑块621能够在Y方向上移动地与一对导轨622相卡合。其结果，各头支承部件61由顶板部10、屋顶状部件100B及立设壁100A等元件安装装置100的构造体牢固地吊持(悬吊支承)。另外，如图3所示，在顶板部10的下面的一对导轨622之间，安装有在Y方向上延伸的线性电动机的定子623。另外，在支承板62的上面(Z1方向一侧的表面)，在与定子623对置的位置上安装有未图示的动子。由此，各支承板62能够彼此独立地在Y方向上移动。另外，各头部6构成为，通过对应的支承板62在Y方向上移动，而与头支承部件61一起在Y方向上移动。

另外，头部6上连接有动力线、信号线及负压供应用、正圧供应用风管等多个线部件。具体而言，这些多个线部件中至少动力线及信号线分别被绝缘部件覆盖，并包含风管而彼此熔接，由此构成沿着与多个线部件延伸的方向相垂直的方向具有扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的扁平线缆63。如图4至图6所示，扁平线缆63安装于支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65。另外，如图4所示，支承部件侧线缆安装部64配置于头部侧线缆安装部65的上方(Z1方向)。另外，扁平线缆63是本发明的“扁平状线缆”的一个例子。

具体而言，如图4所示，支承部件侧线缆安装部64在头支承部件61的后侧(Y1方向一侧)被安装于支承板62的下面。另外，支承部件侧线缆安装部64以高度位置(Z方向的位置)与头支承部件61重合的方式配置。另外，支承部件侧线缆安装部64具有用于固定安装扁平线缆63的指定的第一位置的线缆安装面641。线缆安装面641呈面状支承扁平线缆63的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641以其法线指向斜前下方(Y2及Z2之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，如图4及图5所示，扁平线缆63被配置成扁平形状的横剖面的长度部分与线缆安装面641抵接，并被固定安装于支承部件侧线缆安装部64。具体而言，如图3至图5所示，扁平线缆63通过沿扁平形状的横剖面的长度方向延伸的两根按压轴642而被限制与线缆安装面641分离。另外，线缆安装面641是安装有扁平线缆63的第一位置的本发明的“第一安装部”的一个例子。

另外，在支承部件侧线缆安装部64的附近设置有金属制的下垂限制部643，该下垂限制部643在扁平线缆63的相对于自重的刚性由于随时间的老化而降低的情况下，限制扁平线缆63下垂到下方。如图5所示，在扁平线缆63的随时间的老化不太严重的情况下，下垂限制部643未与扁平线缆63抵接。另外，下垂限制部643沿着扁平线缆63延伸的方向弯曲。

另外，如图4所示，头部侧线缆安装部65以在头支承部件61的下方、俯视观察时与头支承部件61重合的方式配置。另外，头部侧线缆安装部65固定安装于头部6。由此，头部侧线缆安装部65追随头部6而移动。另外，头部侧线缆安装部65以高度位置(Z方向的位置)与头部6重合的方式配置。另外，头部侧线缆安装部65具有用于固定安装扁平线缆63的第二位置的线缆安装面651。线缆安装面651呈面状支承扁平线缆63的整个宽度的平坦面形状。另外，如图4所示，线缆安装面651以其法线指向斜后上方(Y1及Z1之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面651与线缆安装面641平行地相对于水平面倾斜，并配置于与线缆安装面641对置的位置。另外，线缆安装面651是安装有扁平线缆63的第二位置的本发明的“第二安装部”的一个例子。

另外，如图4至图6所示，扁平线缆63以扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的长度部分与线缆安装面651抵接的方式配置，并被固定安装于头部侧线缆安装部65。具体而言，扁平线缆63通过沿扁平形状的横剖面的长度方向延伸的三根按压轴652而被限制与线缆安装面651分离。另外，在头部侧线缆安装部65上利用空余空间固定有用于配置电子元件的安装支架653。

另外，扁平线缆63的在支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分沿着线缆延伸的方向弯曲成大致U字形状。由此，头部侧线缆安装部65能够追随头部6的移动而容易地在X方向上移动。另外，如图4所示，扁平线缆63的在支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分如上所述，安装于相对于水平面倾斜的线缆安装面641及651，由此扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的长度方向以与线缆安装面641及651的倾斜角度大致相同的倾斜角度相对于水平面倾斜配置。另外，扁平线缆63的在支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分以相对于头支承部件61在头部6的相反侧(Y1方向一侧)以高度位置(Z方向的位置)与头部6重合的方式配置。

另外，如上所述，头驱动装置60(的支承板62)由顶板部10等构造体从上方悬吊。另外，在通过头部6从芯片取出用头部单元9吸附裸芯片时，芯片取出用头部单元9向Y2方向移动到图1所示的搬送装置2附近，另一方面，如图4所示，头驱动装置60向Y1方向移动，配置为在俯视观察时头部6与芯片取出用头部单元9上下重合。此时，从X方向观察，因扁平线缆63相对于水平面倾斜而产生空间(扁平线缆63后方的大致三角形状的空间)。该空间有益于防止与设置在基台1上的其他单元之间的干涉。更具体地说明，例如，能够在X方向上移动地支承芯片取出用头部单元9的框架部件9a能够沿着设置于基台1的X方向两侧的一对导轨9b前后(Y方向)移动，并被平行设置于各导轨9b、9b内侧的一对滚珠丝杠机构9c前后驱动。在该框架部件9a的X2侧的端部部件9a1(参照图1)上连接有线缆91。如图4所示，该线缆91的长度部分在俯视时沿着Y方向而上下弯折。向该Y1方向延伸的X2侧的线缆91面对配置于图1的Y1侧的头驱动装置60的所述空间，所以线缆91位于不会引起与头驱动装置60的干涉的位置。这样，能够有效地利用因扁平线缆63相对于水平面倾斜而产生的空间。

如上所述，在第一实施方式中，在支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分，以扁平形状的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置扁平线缆63，从而与扁平线缆63的横剖面的长度方向配置为水平的情况相比，扁平线缆63的相对于自重的刚性变大，因此能够抑制扁平线缆63的下垂。另外，在支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分，以扁平形状的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置扁平线缆63，从而头支承部件61侧的部分及头部6侧的部分夹着扁平线缆63的弯曲部分被配置于彼此相对于水平方向而倾斜的位置，由此即使在扁平线缆63的弯曲部分的曲率半径较大的情况下，与头支承部件61侧的部分及头部6侧的部分彼此被配置于水平方向的情况相比，也能够抑制扁平线缆63的水平方向的配置空间变大。因此，在该头驱动装置60中，能够提高扁平线缆63的相对于自重的刚性从而能够抑制扁平线缆63的下垂，并且能够抑制水平方向的配置空间变大。

另外，在第一实施方式中，在支承部件侧线缆安装部64上设置用于固定安装扁平线缆63的第一位置的线缆安装面641，在头部侧线缆安装部65上设置用于固定安装在线材延伸的方向上与第一位置分离的该扁平线缆63的第二位置的线缆安装面651，并且将支承部件侧线缆安装部64的线缆安装面641及头部侧线缆安装部65的线缆安装面651配置成从指定的方向(X方向)观察时，相对于水平面以大致相同的角度倾斜地彼此对置。由此，只要将扁平线缆63的头支承部件61侧及头部6侧分别安装在支承部件侧线缆安装部64的线缆安装面641及头部侧线缆安装部65的线缆安装面651上，就能够容易地在支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分，以扁平线缆63的扁平形状的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置扁平线缆63。另外，通过将线缆安装面641及线缆安装面651配置成对置，能够抑制扁平线缆63发生扭曲。另外，X方向是头部6沿着头支承部件61移动的头部移动方向，是本发明的“指定的方向”的一个例子。

另外，在第一实施方式中，将扁平线缆63的支承部件侧线缆安装部64及头部侧线缆安装部65之间的部分，以从指定的方向(X方向)观察，在相对于头支承部件61与配置有头部6一侧的相反侧(Y1方向一侧)，高度位置与头部6重合的方式，相对于水平面倾斜地配置。由此，能够抑制扁平线缆63的水平方向的配置空间变大，并且能够使头部6及扁平线缆63的高度方向的配置空间减小。其结果，能够在水平方向及高度方向这两个方向上谋求头驱动装置60的小型化。

另外，在第一实施方式中，将头支承部件61及支承部件侧线缆安装部64配置成由顶板部10等构造体从上方支承，并且以在被构造体从上方支承的头支承部件61的下方、俯视观察时与头支承部件61重合的方式配置头部侧线缆安装部65。由此，在因构造体使得高度方向的配置空间受限的悬吊型的头驱动装置60中，能够抑制扁平线缆63的水平方向的配置空间变大，并且能够使头部6及扁平线缆63的高度方向的配置空间减小。因此，能够在水平方向及高度方向这两个方向上谋求小型化，进而，俯视观察时，与头部侧线缆安装部65及头支承部件61配置于彼此不同的位置的情况相比，能够使头部侧线缆安装部65及头支承部件61的水平方向的配置空间减小，所以能够提供可在水平方向上谋求更小型化的悬吊型的头驱动装置60。

另外，在第一实施方式中，通过在配置于头部侧线缆安装部65的上方的支承部件侧线缆安装部64的附近设置用于限制扁平线缆63向下方下垂的下垂限制部643，即使在扁平线缆63的相对于自重的刚性因随时间的老化而降低的情况下，也能够通过下垂限制部643可靠地抑制扁平线缆63的下垂。

(第二实施方式)

接着，参照图7说明第二实施方式。对于该第二实施方式中不同于上述第一实施方式的、在头支承部件261的下面安装有一对导轨611a的结构的头驱动装置260进行说明。

如图7所示，第二实施方式所涉及的头驱动装置260在头支承部件261的下面(Z2方向的表面)上，安装有在X方向上延伸的一对导轨611a。另外，在头部侧线缆安装部265的上面(Z1方向的表面)上，设置有一对滑块612a，该一对滑块612a能够在X方向上移动地与一对导轨611a相卡合。另外，在头支承部件261与头部侧线缆安装部265之间设置有线性电动机613a，该线性电动机613a作为用于使头部侧线缆安装部265相对于头支承部件261在X方向上移动的驱动源。由此，头部侧线缆安装部265能够在X方向上移动地被头支承部件261支承。

另外，头部206配置于头支承部件261的前侧(Y2方向一侧)。另外，在头部206的背面固定安装有头部侧线缆安装部265。由此，头部侧线缆安装部265移动，从而头部206沿着头支承部件261在X方向上移动。另外，头部206通过头部侧线缆安装部265被头支承部件261支承。

另外，第二实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。

另外，第二实施方式的效果与上述第一实施方式相同。

(第三实施方式)

接着，参照图8及图9说明第三实施方式。对于该第三实施方式中不同于上述第一实施方式的、由支承台362从下方支承的结构的头驱动装置360进行说明。

如图8所示，第三实施方式所涉及的头驱动装置360被设置在基台1上的一对支承台362从下方支承。具体而言，在一对支承台362的上面上设置有在Y方向上延伸的一对导轨622a。另外，头支承部件361通过一对滑块621a被支承台362从下方支承，该一对滑块621a能够在Y方向上移动地与一对导轨622a相卡合。另外，在头支承部件361上安装有螺母(未图示)，该螺母与由电动机361a转动驱动的在Y方向上延伸的未图示的滚珠丝杠相螺合。由此，头支承部件361构成为，通过由电动机361a转动驱动滚珠丝杠，从而沿着导轨622a在Y方向上移动。

另外，如图8及图9所示，在头支承部件361的前面(Y2方向一侧的表面)上，安装有在X方向上延伸的一对导轨611b。另外，在头部306的背面(Y1方向一侧的表面)上经由安装板306a安装有一对滑块612b(参照图9)，该一对滑块612b可在X方向上移动地与头支承部件361的一对导轨611b相卡合。另外，在一对导轨611b之间，设置有由电动机361b转动驱动的滚珠丝杠361c。另外，在安装板306a的中央部形成有突出部306a1，与滚珠丝杠361c相螺合的未图示的螺母固定安装于突出部306a1。由此，通过滚珠丝杠361c由电动机361b转动驱动，头部306能够沿着头支承部件361在X方向上移动。

另外，如图9所示，在第三实施方式所涉及的头驱动装置360中，扁平线缆363以在头支承部件361的上方俯视观察时与头支承部件361重合的方式，相对于水平面倾斜地配置。另外，扁平线缆363是本发明的“扁平状线缆”的一个例子。另外，支承部件侧线缆安装部364一体设置于头支承部件361，并形成为向斜后上方(Y1及Z1之间的方向)延伸。另外，支承部件侧线缆安装部364的线缆安装面641a以其法线指向斜前上方(Y2及Z1之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面641a呈面状支承扁平线缆363的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641a是安装有扁平线缆363的第一位置的本发明的“第一安装部”的一个例子。

另外，头部侧线缆安装部365经由安装板306a固定安装于头部306，并形成为向斜后上方(Y1及Z1之间的方向)延伸。另外，头部侧线缆安装部365以在头支承部件361的上方俯视观察时与头支承部件361重合的方式配置。另外，头部侧线缆安装部365的线缆安装面651a以其法线指向斜后下方(Y1及Z2之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面651a呈面状支承扁平线缆363的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641a及线缆安装面651a被配置成从X方向观察时，相对于水平面以彼此大致相同的角度倾斜。另外，线缆安装面641a及线缆安装面651a配置成彼此对置。另外，线缆安装面651a是安装有扁平线缆363的第二位置的本发明的“第二安装部”的一个例子。

另外，如上所述，扁平线缆363的支承部件侧线缆安装部364及头部侧线缆安装部365之间的部分被安装于相对于水平面倾斜的线缆安装面641a及651a，由此扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的长度方向以与线缆安装面641a及651a的倾斜角度大致相同的倾斜角度相对于水平面倾斜。

另外，第三实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。

在第三实施方式中，如上所述，扁平线缆363的支承部件侧线缆安装部364及头部侧线缆安装部365之间的部分以在头支承部件361的上方俯视观察时与头支承部件361重合的方式，相对于水平面倾斜地配置。由此，与在俯视时扁平线缆363及头支承部件361被配置在互不相同的位置的情况相比，能够使扁平线缆363及头支承部件361的水平方向的配置空间减小，所以能够在水平方向使头驱动装置360小型化。

另外，第三实施方式的其他效果与上述第一实施方式相同。

(第四实施方式)

接着，参照图10说明第四实施方式。对于该第四实施方式中不同于上述第三实施方式的、以在头部306的上方俯视观察时，头部侧线缆安装部465与头部306重合的方式配置的结构的头驱动装置460进行说明。

如图10所示，在第四实施方式所涉及的头驱动装置460中，支承部件侧线缆安装部464一体设置于头支承部件361，并形成为向斜前上方(Y2及Z1之间的方向)延伸。另外，支承部件侧线缆安装部464的线缆安装面641b以其法线指向斜前下方(Y2及Z2之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面641b呈面状支承扁平线缆463的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641b是安装有扁平线缆463的第一位置的本发明的“第一安装部”的一个例子。

另外，头部侧线缆安装部465经由安装板306a固定安装于头部306。另外，头部侧线缆安装部465以在头部306的上方俯视观察时与头部306重合的方式配置。另外，头部侧线缆安装部465的线缆安装面651b以其法线指向斜后上方(Y1及Z1之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面651b呈面状支承扁平线缆463的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641b及线缆安装面651b被配置成在从X方向观察时，相对于水平面以彼此大致相同的角度倾斜。另外，线缆安装面641b及线缆安装面651b配置成彼此对置。另外，线缆安装面651b是安装有扁平线缆463的第二位置的本发明的“第二安装部”的一个例子。

另外，如上所述，扁平线缆463的支承部件侧线缆安装部464及头部侧线缆安装部465之间的部分被安装于相对于水平面倾斜的线缆安装面641b及651b，从而扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的长度方向以与线缆安装面641b及651b的倾斜角度大致相同的倾斜角度相对于水平面倾斜。另外，扁平线缆463是本发明的“扁平状线缆”的一个例子。

另外，第四实施方式的其他的结构与上述第三实施方式相同。

另外，第四实施方式的效果与上述第三实施方式相同。

(第五实施方式)

接着，参照图11说明第五实施方式。对于该第五实施方式中不同于上述第三实施方式的、以在头部306的上方俯视观察时，头部侧线缆安装部565与头部306重合的方式配置的结构的头驱动装置560进行说明。

如图11所示，在第五实施方式所涉及的头驱动装置560中，支承部件侧线缆安装部564一体设置于头支承部件361。另外，从X方向观察时，支承部件侧线缆安装部564形成为大致三角形状。另外，支承部件侧线缆安装部564的线缆安装面641c以其法线指向斜前上方(Y2及Z1之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面641c呈面状支承扁平线缆563的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641c是安装有扁平线缆563的第一位置的本发明的“第一安装部”的一个例子。

另外，头部侧线缆安装部565经由安装板306a固定安装于头部306。另外，头部侧线缆安装部565以在头部306的上方俯视观察时与头部306重合的方式配置。另外，头部侧线缆安装部565的线缆安装面651c以其法线指向斜后下方(Y1及Z2之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面651c呈面状支承扁平线缆563的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641c及线缆安装面651c被配置成从X方向观察时相对于水平面以大致相同的角度倾斜。另外，线缆安装面641c及线缆安装面651c被配置成彼此对置。另外，线缆安装面651c是安装有扁平线缆563的第二位置的本发明的“第二安装部”的一个例子。

另外，如上所述，扁平线缆563的支承部件侧线缆安装部564及头部侧线缆安装部565之间的部分被安装于相对于水平面倾斜的线缆安装面641c及651c，由此扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的长度方向以与线缆安装面641c及651c的倾斜角度大致相同的倾斜角度相对于水平面倾斜。另外，扁平线缆563是本发明的“扁平状线缆”的一个例子。

另外，第五实施方式的其他的结构与上述第三实施方式相同。

另外，第五实施方式的效果与上述第三实施方式相同。

(第六实施方式)

接着，参照图12说明第六实施方式。对于该第六实施方式中不同于上述第三实施方式的、在头支承部件661的上面(Z1方向的表面)设置有在X方向上延伸的一对导轨611c的结构的头驱动装置660进行说明。

如图12所示，在第六实施方式所涉及的头驱动装置660中，在头支承部件661的上面(Z1方向的表面)设置有在X方向上延伸的一对导轨611c。另外，在头部306的背面(Y1方向一侧的表面)，固定安装有从X方向观察时，向后方向(Y1方向)延伸的安装板306b。另外，在安装板306b的下面(Z2方向的表面)上安装有一对滑块612c，该一对滑块612c可在X方向上移动地与头支承部件661的一对导轨611c相卡合。另外，在安装板306b的上面(Z1方向的表面上)，设置有头部侧线缆安装部665。头部侧线缆安装部665经由安装板306b固定安装于头部306。另外，在一对导轨611c之间，设置有使滚珠丝杠361c转动的电动机361b。另外，在安装板306b的中央部形成有突出部306b1，与滚珠丝杠361c相螺合的未图示的螺母固定安装于突出部306b1。由此，通过滚珠丝杠361c由电动机361b转动驱动，头部侧线缆安装部665相对于头支承部件661在X方向上移动。此时，头部306追随头部侧线缆安装部665的移动沿着头支承部件661在X方向上移动。另外，头部侧线缆安装部665以俯视时与头支承部件661重合的方式配置。

支承部件侧线缆安装部664一体设置于头支承部件661。另外，支承部件侧线缆安装部664形成为向斜后上方(Y1及Z1之间的方向)延伸。另外，支承部件侧线缆安装部664的线缆安装面641d以其法线指向斜前上方(Y2及Z1之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面641d  面状支承扁平线缆663的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641d是安装有扁平线缆663的第一位置的本发明的“第一安装部”的一个例子。

另外，头部侧线缆安装部665的线缆安装面651d以其法线指向斜后下方(Y1及Z2之间的方向)的方式相对于水平面倾斜。另外，线缆安装面651d呈面状支承扁平线缆663的整个宽度的平坦面形状。另外，线缆安装面641d及线缆安装面651d被配置成从X方向观察时相对于水平面以大致相同的角度倾斜。另外，线缆安装面641d及线缆安装面651d被配置成彼此对置。另外，线缆安装面651d是安装有扁平线缆663的第二位置的本发明的“第二安装部”的一个例子。

另外，扁平线缆663的支承部件侧线缆安装部664及头部侧线缆安装部665之间的部分以相对于头支承部件661在配置有头部306一侧的相反侧(Y1方向一侧)、高度位置与头部306重合的方式配置。另外，如上所述，扁平线缆663的支承部件侧线缆安装部664及头部侧线缆安装部665之间的部分被安装于相对于水平面倾斜的线缆安装面641d及651d，由此扁平形状的横剖面(扁平剖面形状)的长度方向以与线缆安装面641d及651d的倾斜角度大致相同的倾斜角度相对于水平面倾斜。另外，扁平线缆663是本发明的“扁平状线缆”的一个例子。

另外，第六实施方式的其他的结构与上述第三实施方式相同。

在第六实施方式中，如上所述，将扁平线缆663的支承部件侧线缆安装部664及头部侧线缆安装部665之间的部分，以从指定的方向(X方向)观察时，相对于头支承部件661在配置有头部306一侧的相反侧(Y1方向一侧)，高度位置与头部306重合的方式相对于水平面倾斜地配置。由此，能够抑制扁平线缆663的水平方向的配置空间变大，并且能够使头部306及扁平线缆663的高度方向的配置空间减小。其结果，能够在水平方向及高度方向这两个方向上谋求头驱动装置660的小型化。

另外，第六实施方式的其他效果与上述第三实施方式相同。

另外，本次披露的实施方式应被认为所有的点都只是例举，而非限制。本发明的范围不由上述的实施方式的说明、而由权利要求的范围所示，还含有与权利要求的范围均等的意义及范围内的所有的变更。

例如，上述各实施方式中所述的重合也包括部分重合的情况，也就是说至少一部分重合就可以。

例外，在上述第一至第六实施方式中，示出了将本发明的头驱动装置使用于元件安装装置的例子，但本发明不限于此。也可以将本发明的头驱动装置使用于例如涂料器、基板检查装置等元件安装装置以外的装置，其中，该涂料器(syringe)是指，在可在X方向及Y方向上移动的头部可上下驱动地安装填充有焊料糊剂的注射器，并通过注射器下端部的喷嘴来涂敷焊料糊剂的涂料器，该基板检查装置是指，在可在X方向或者X方向及Y方向上移动的头部搭载有基板拍摄用照相机的基板检查装置。

另外，上述第一至在第六实施方式中，示出了将多个作为线部件的动力线及信号线等相互熔接而构成扁平线缆(扁平状线缆)的例子，但本发明不限于此。也可以如图13所示那样，利用束线带来集束多个线部件，由此构成具有扁平形状横剖面的扁平状线缆。

另外，上述第一至在第六实施方式中，作为用于安装扁平状线缆的第一位置、第二位置的第一安装部及第二安装部的一个例子，示出了面状支承扁平线缆(扁平状线缆)的整个宽度的平坦面形状的线缆安装面，但本发明不限于此。也可以在第一安装部及第二安装部，在扁平线缆(扁平状线缆)延伸的方向上设置多个细长且突出地支承扁平线缆(扁平状线缆)的整个宽度的支持器(boss)。

另外，第一位置、第二位置大致是扁平线缆(扁平状线缆)的一端侧、另一端侧的意思，但它们未必为端部，也可以是扁平线缆(扁平状线缆)的中途部分。

另外，优选的是，扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的角度为以指定的方向(X方向)为轴的45°。在这种情况下，能够将前后方向的突出长度和上下方向的突出长度均等地设定得较短，能够实现更紧凑的结构。进而，“倾斜”这一概念是包括相对于水平面平行或为直角的形态以外的全部形态的概念。因此，只要扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜即可，例如可以如各实施方式那样，扁平状线缆的横剖面的长度方向沿着YZ平面。另外，具体情况未图示，但也可以沿着XZ平面相对于YZ平面倾斜。将线缆安装部的安装面配置成从Y方向观察时分别平行，并使之相对于铅直线倾斜，由此能够实现这种形态。

此外，当然能够在本发明的技术方案的范围内进行各种变形。

Claims (7)

1.一种头驱动装置，其特征在于包括：

头支承部件；

头部，被所述头支承部件支承，能够沿着所述头支承部件在指定的方向上直线移动；

扁平状线缆，通过将连接于所述头部的多个线部件集束而形成，从而在沿着与所述多个线部件延伸的方向垂直的方向呈现扁平形状的横剖面；

支承部件侧线缆安装部，设置于所述头支承部件侧，安装有所述扁平状线缆的第一位置；以及

头部侧线缆安装部，设置于所述头部侧，安装有该扁平状线缆的第二位置，该第二位置在线材延伸的方向上与所述第一位置分离，其中，

所述头部侧线缆安装部和所述支承部件侧线缆安装部，以安装于两线缆安装部之间的扁平状线缆以追随所述头部和所述头支承部件的相对位移的方式弯曲成U字形状，并且该扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式设置。

2.根据权利要求1所述的头驱动装置，其特征在于：

所述支承部件侧线缆安装部包括第一安装部，该第一安装部固定安装有所述扁平状线缆的所述第一位置，

所述头部侧线缆安装部包括第二安装部，该第二安装部固定安装有所述扁平状线缆的所述第二位置，

所述支承部件侧线缆安装部的第一安装部及所述头部侧线缆安装部的第二安装部，以从所述指定的方向观察时相对于水平面以相同的角度倾斜地彼此对置的方式配置。

3.根据权利要求1所述的头驱动装置，其特征在于：

所述头支承部件在与所述指定的方向垂直的水平方向的一端侧支承所述头部，

所述扁平状线缆的所述支承部件侧线缆安装部及所述头部侧线缆安装部之间的部分，位于所述水平方向的另一端侧且以与所述头部在水平方向上至少一部分重合的方式设置。

4.根据权利要求3所述的头驱动装置，其特征在于：

所述头支承部件及所述支承部件侧线缆安装部通过由指定的构造体从上方支承而被悬吊，

所述头部侧线缆安装部在由所述构造体从上方支承的所述头支承部件的下方，以在俯视观察时至少一部分与所述头支承部件重合的方式配置。

5.根据权利要求1所述的头驱动装置，其特征在于：

所述扁平状线缆的所述支承部件侧线缆安装部及所述头部侧线缆安装部之间的部分，被配置于所述头支承部件的上方在铅直方向上至少一部分与所述头支承部件重合的位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的头驱动装置，其特征在于，还包括：

下垂限制部，在所述支承部件侧线缆安装部及所述头部侧线缆安装部中更位于上方的一个安装部附近，限制所述扁平状线缆下垂到下方。

7.一种元件安装装置，其特征在于包括：

搬送装置，搬送基板；以及

头驱动装置，其中

所述头驱动装置包括：头支承部件；将元件安装到由所述搬送装置搬送的基板上，并且被所述头支承部件支承，能够沿着所述头支承部件在指定的方向上直线移动的头部；通过将连接于所述头部的多个线部件集束而形成，从而在与所述多个线部件延伸的方向垂直的方向呈现扁平形状的横剖面的扁平状线缆；安装有所述扁平状线缆的第一位置的支承部件侧线缆安装部；以及设置于所述头部侧，安装有该扁平状线缆的第二位置的头部侧线缆安装部，该第二位置在线材延伸的方向上与所述第一位置分离；其中，

所述头部侧线缆安装部和所述支承部件侧线缆安装部，以安装于两线缆安装部之间的扁平状线缆以追随所述头部和所述头支承部件的相对位移的方式弯曲成U字形状，并且该扁平状线缆的横剖面的长度方向相对于水平面倾斜的方式配置。

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