KR20110036021A - 본딩 장치용 전자 디바이스 핸들러 - Google Patents

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제임스 송 켕 유
케니 콴 카 싱
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에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
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Abstract

전자 디바이스를 핸들링하기 위한 디바이스 핸들러를 포함하는 본딩 장치가 제공되며, 상기 본딩 장치는 본딩하기 위한 전자 디바이스가 배치가능한 본딩 공구를 포함한다. 다중 전자 디바이스를 저장하기 위한 저장조립체가 제공되고, 본딩공구에 대해 접근 및 후퇴하도록 전자 디바이스를 운반하기 위한 운반 트랙이 부가로 제공된다. 디바이스 핸들러는 전자 디바이스를 홀딩하기 위한 회전 플랫폼을 포함하며, 상기 회전 플랫폼은, 상기 회전 플랫폼과 상기 운반 트랙 사이에 상기 전자 디바이스를 전달하기 위해 상기 회전 플랫폼이 상기 운반 트랙과 정렬되는 방향과, 상기 회전 플랫폼과 상기 저장조립체 사이에 상기 전자 디바이스를 전달하기 위해 상기 회전 플랫폼이 상기 저장조립체와 정렬되는 다른 방향 사이에서 작동될 수 있다.

Description

본딩 장치용 전자 디바이스 핸들러{ELECTRONIC DEVICE HANDLER FOR A BONDING APPARATUS}
본 발명은 전자 디바이스들을 위한 본딩(bonding) 장치에 관한 것이고, 특히 와이어 본딩 또는 다이(die) 본딩과 같은 본딩을 하기 전후에 전자 디바이스들의 임시 저장 및/또는 조작을 위한 핸들러 스테이션(handler station)에 관한 것이다.
반도체 집적회로 패키지를 성형하는 공정에 있어서, 다수의 부품들을 조립하여 완성된 패키지를 형성하도록 다이 본딩 및 와이어 본딩과 같은 일련의 단계들이 취해진다. 다이 본딩은 리드프레임과 같은 캐리어에 대한 반도체 다이의 부착을 지칭한다. 와이어 본딩은 예를 들어 구리 또는 금 와이어와 같은 와이어들이 부품들을 전기적으로 접속하기 위하여 반도체 다이와 대응하는 캐리어 상의 전기 접촉부에 결합되는 공정이다. 그 후, 반도체 다이는 반도체 패키지를 성형하도록 몰딩 복합체로 캡슐화되고, 각각의 패키지는 이를 분리하도록 단품화(singulate)된다.
전형적으로, 와이어 본더(bonder)들은 실행의 단순성으로 인하여 단일 본드 헤드들을 사용하였다. 그러나, "복수 헤드 와이어 본딩 시스템"이라는 명칭의 미국 특허 제6,749,100호는 복수 개의 본드 헤드를 구비한 본딩 장치를 개시한다. 이러한 와이어 본딩 장치는 별개의 기계들을 가지는 것과 비교하여 보다 작은 풋프린트(footprint)를 가지는 와이어 본딩 기계 상에서 복수 개의 전자 디바이스들의 본딩을 가능하게 한다. 동시에, 이는 보다 큰 생산성을 제공한다. 그러나, 이러한 기계는 하나의 플랫폼 상으로의 복수 개의 본드 헤드들의 합체로 인한 보다 큰 노력을 요하는 취급 필요성을 발생시킨다.
하나의 예는 본딩을 위한 본딩 장치로의 전자 디바이스들의 로딩(loadign) 및 본딩 후에 전자 디바이스들의 언로딩(unloading)이다. 통상적으로, 입력 매거진(magazine)은 본딩되지 않은 전자 디바이스들을 공급하기 위하여 본딩 장치의 로더 (loader)측에 장착되고, 출력 매거진은 본딩 후에 본딩된 전자 디바이스들의 저장을 위하여 본딩 장치의 언로더(unloader) 측에 장착된다. 이러한 것은 "리드 프레임 공급 방법 및 장치"라는 명칭의 미국 특허 제6,045,318호에 개시되어 있다. 전자 디바이스들은 본딩 장치의 일측으로부터 본딩 공구로 도입되고, 본딩 후에, 언로딩되도록 본딩 장치의 다른 측으로 이동된다. 비록 이러한 셋업(set-up)이 단일 본드 헤드를 구비한 본딩 장치에 비해 수월하고 편리할지라도, 전자 디바이스들이 본딩 기계의 다른 측으로 취하도록 다른 본드 헤드를 통과하여야만 하여, 다른 본드 헤드에서 본딩을 중단하거나, 또는 다른 본드 헤드를 바이패스하도록 보다 긴 루트를 취하여 복잡성 및 주행 시간을 크게 증가시키기 때문에, 복수 개의 본드 헤드들을 구비한 본딩 기계에 대해서는 유용하지 않다.
그러므로, 상술한 문제점을 피하도록, 본딩 장치의 일측에 위치되는 별개의 입력 및 출력 매거진들을 가질 필요가 있다. 그러나, 본딩 장치의 운반 트랙과 평행하게 매거진들의 저장 슬롯들 또는 공급 통로들을 배향시키는 종래의 방식은 2개의 매거진들이 운반 트랙(conveying track)의 단부에 나란하게 배치될 때 상당한 공간을 취한다. 또한, 운반 트랙이 대체로 정지하여 있기 때문에, 언로딩된 전자 디바이스들을 각각 공급하거나 또는 본딩된 전자 디바이스들을 수용하도록 운반 트랙에 대하여 비스듬하게 2개의 매거진들을 이동시키도록 부가의 공간이 요구된다. 매거진들이 복수 개의 전자 디바이스들을 저장하기 위하여 아주 크기 때문에, 이 매거진들은 비스듬한 운동으로 인하여 본딩 기계의 다른 부품들에 의해 이미 점유된 공간으로 침입하게 된다. 매거진들이 본딩 기계의 다른 부품들에 의해 장애가 되는 것을 피하는 다른 배향으로 2개의 매거진들이 배열되면 유익하게 될 것이다.
또한, 특정 전자 디바이스들이 종래의 전자 디바이스와 비교하여 큰 본딩 영역을 가지는 반도체 집적회로 패키징을 위하여 도입된다. 이러한 전자 디바이스들은, 전자 디바이스들이 운반 트랙을 따라서 이동되는 방향에 평행한 x-축에서 일정 길이와, 또한 상기 방향에 수직인 y-축에서의 폭을 가진다. 전자 디바이스들의 y-축이 전형적인 전자 디바이스들보다 길면 어려움이 발생한다. y-축에서의 전체 전자 디바이스를 본딩할 수 있게 되도록, 본딩을 위하여 전자 디바이스의 전체 x-축을 인덱싱하도록 운반 트랙이 작동 가능하기 때문에, x-축에서의 그 길이들을 취급하는데 대체로 문제가 없지만, 보다 긴 y-축 테이블 범위를 구비한 포지셔닝(positioning) 테이블이 요구될 것이다. 보다 긴 y-축 테이블 범위를 가진 포지셔닝 테이블을 설계하는 것은 포지셔닝 테이블의 이동량을 증가시키고 생산성을 감소시키게 된다. 또한 증가된 운동 범위에 대한 요구를 채우는 것은 본딩 기계의 풋프린트를 증가시킬 수 있다. 포지셔닝 테이블의 y-축 테이블 범위를 증가시킬 필요성 없이 보다 큰 전자 디바이스의 필요한 표면적을 자동으로 본딩하도록 본딩 기계가 설계될 수 있으면 유익하다.
그러므로, 본 발명의 목적은 본딩 장치의 일측에 별개의 입력 및 출력 매거진들을 제공하는 한편, 본딩 장치의 풋프린트(footprint)에서의 임의의 증가를 최소화하는 것을 추구하는 데 있다. 본 발명의 또 다른 목적은 본딩 동안 본딩 공구 아래에서 전자 디바이스를 위치시키기 위하여 포지셔닝 테이블의 y-축 테이블 범위를 증가시킬 필요성없이 큰 본딩 영역을 구비한 전자 디바이스를 자동으로 본딩하기 위한 시스템을 제공하도록 추구하는 데 있다.
본 발명의 첫번째 양태에 따르면, 본딩하기 위한 전자 디바이스들이 배치될 수 있는 본딩 공구; 복수 개의 전자 디바이스들을 저장하기 위한 저장조립체; 상기 본딩 공구에 대해 접근 및 후퇴하도록 전자 디바이스들을 운반하기 위한 운반 트랙; 및 전자 디바이스를 홀딩하기 위한 회전 플랫폼을 포함하고, 상기 회전 플랫폼은, 상기 회전 플랫폼과 상기 운반 트랙 사이에 상기 전자 디바이스를 전달하기 위해 상기 회전 플랫폼이 상기 운반 트랙과 정렬되는 방향과, 상기 회전 플랫폼과 상기 저장조립체 사이에 상기 전자 디바이스를 전달하기 위해 상기 회전 플랫폼이 상기 저장조립체와 정렬되는 다른 방향 사이에서 작동될 수 있는 전자 디바이스용 본딩 장치가 제공된다.
본 발명의 두번째 양태에 따르면, 본딩하기 위한 전자 디바이스들이 배치될 수 있는 제 1 및 제 2 본딩 공구들과; 복수 개의 전자 디바이스들을 저장하기 위한 저장조립체와; 상기 제 1 및 제 2 본딩 공구들에 대해 접근 및 후퇴하도록 전자 디바이스들을 운반하기 위한 제 1 및 제 2 운반 트랙들; 및 전자 디바이스들을 홀딩하기 위한 제 1 및 제 2 회전 플랫폼들을 포함하고, 상기 각각의 회전 플랫폼은, 회전 플랫폼과 운반 트랙 사이에 전자 디바이스를 전달하기 위해 회전 플랫폼이 운반 트랙과 정렬되는 방향과, 회전 플랫폼과 저장조립체 사이에 전자 디바이스를 전달하기 위해 회전 플랫폼이 저장조립체와 정렬되는 다른 방향 사이에서 작동될 수 있는 전자 디바이스용 본딩 장치가 제공된다.
본 발명의 세번째 양태에 따르면, 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하는 한 측면상에 본딩 영역을 갖는 대형 전자 디바이스의 본딩 방법이 제공되며, 상기 방법은, 본딩 공구에 의하여 본딩하기 위해 전자 디바이스의 제 2 부분이 아닌 제 1 부분을 배치하는 단계와; 전자 디바이스의 제 1 부분을 본딩하는 단계와; 실질적으로 수평면을 따라 회전할 수 있는 회전 플랫폼으로 전자 디바이스를 운반하는 단계와; 전자 디바이스의 본딩된 제 1 부분과 본딩되지 않은 제 2 부분의 각각의 위치를 변경하기 위해 회전 플랫폼상에서 전자 디바이스를 회전시키는 단계와; 전자 디바이스의 제 2 부분이 본딩 공구에 의하여 본딩되는 위치에 있도록 본딩 공구로 전자 디바이스를 운반하는 단계와; 이 후에 전자 디바이스의 제 2 부분을 본딩하는 단계를 포함한다.
선택적으로, 상기 방법은, 제 1 부분이 제 1 본딩 공구에 의해 부착되고 제 2 부분이 제 2 본딩 공구에 의해 부착되는, 2개의 본딩 공구들을 사용할 수 있다.
본 발명의 네번째 양태에 따르면, 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하는 한 측면상에 본딩영역을 갖는 대형 전자 디바이스의 본딩 장치로서, 상기 전자 디바이스가 상기 본딩 공구에 배치될 때, 상기 전자 디바이스의 상기 제 1 부분 또는 제 2 부분만을 본딩하도록 구성되고 배치되는 본딩 공구와; 상기 전자 디바이스의 일 부분이 상기 본딩 공구에 의해 본딩된 후에, 상기 전자 디바이스를 수용하도록 구성되는 회전 플랫폼을 포함하고, 상기 회전 플랫폼은, 이 후에 상기 본딩 공구에 의한 본딩을 위해 상기 전자 디바이스의 다른 부분을 배향시키도록 실질적으로 수평면을 따라서 상기 전자 디바이스를 회전시키는 작동을 하는 전자 디바이스의 본딩 장치가 제공된다. 선택적으로, 상기 장치는, 제 1 부분이 제 1 본딩 공구에 의해 부착되고 제 2 부분이 제 2 본딩 공구에 의해 부착되는, 2개의 본딩 공구들을 사용할 수 있다.
이 후 편리함을 위해 첨부 도면을 참고로 하여 한 실시예를 통해 본 발명을 더욱 상세히 설명한다. 특히, 청구범위들에 의해 한정되는 바와 같은 본 발명의 폭넓은 범위들은 도면들 및 그와 관련된 설명에 의해 제한될 수 없다.
본 발명에 따른 전자 디바이스의 적합한 실시예들에 대한 실예들은 이하의 첨부 도면을 참조하여 설명된다.
본원에서는 본딩 장치의 일측에 별개의 입력 및 출력 매거진들을 제공하는 한편, 본딩 장치의 풋프린트에서의 임의의 증가를 최소화하고, 본딩 동안 본딩 공구 아래에서 전자 디바이스를 위치시키기 위하여 포지셔닝 테이블의 y-축 테이블 범위를 증가시킬 필요성 없이 큰 본딩 영역을 구비한 전자 디바이스를 자동으로 본딩하기 위한 시스템을 제공한다.
도 1a 내지 도 1d는, 본 발명의 적합한 실시예에 따른, 본딩 장치의 한 측부상에 장착된 2개의 매거진들 및 그들 사이로 전자 디바이스들을 전달하기 위한 회전 플랫폼에 대한 등각도.
도 2a 내지 도 2e는, 본 발명의 제 1 적합한 실시예에 따른, 큰 본딩 영역을 갖는 전자 디바이스를 부착하는 공정을 설명하는 개략도.
도 3a 내지 도 3e는, 본 발명의 제 2 적합한 실시예에 따른, 큰 본딩 영역을 갖는 전자 디바이스를 부착하는 공정을 설명하는 개략도.
도 4a 내지 도 4e는 복수 개의 본딩 헤드들을 갖는 본딩 장치를 사용하여 큰 본딩 영역을 갖는 전자 디바이스를 동시에 부착하는 공정을 설명하는 개략도.
도 5는 본 발명의 다른 적합한 실시예에 따른 복수 개의 본딩 헤드들 사이에 위치하는 회전 플랫폼을 설명하는 개략도.
도 1a 내지 도 1d는 저장조립체(storage assembly)의 등각도를 도시하며, 본 발명의 적합한 실시예에 따르면, 상기 조립체는 본딩 장치(10)의 한 측면상에 장착된 매거진들(16, 18) 형태의 2개의 컨테이너들과, 그들 사이로 리드 프레임과 같은 전자 디바이스들을 전달하기 위한 회전 버퍼(buffer ; 14)와 같은 회전 플랫폼을 포함할 수 있다. 상기 본딩 장치(10)는 일반적으로, 전자 디바이스들이 본딩을 위해 위치될 수 있는 본딩 공구에 대해 접근 및 후퇴하도록 전자 디바이스들을 운반하기 위한 운반 트랙(12)과, 본딩되지 않은 전자 디바이스들을 저장하기 위한 입력 매거진(16)과, 본딩된 전자 디바이스들을 저장하기 위한 출력 매거진(18), 및 상기 매거진들(16, 18)과 상기 운반 트랙(12) 사이로 전자 디바이스들을 전달하기 위한 회전 버퍼(14)를 포함한다. 상기 본딩 공구는 와이어 본딩 공구일 수 있다.
매거진들(16, 18)은 서로 인접하게 위치되고, 이들의 공급 통로들은 적합하게는 운반 트랙(12)의 운반 방향에 일정한 각도로 배향되고, 가장 적합하게는 운반 트랙(12)의 운반 방향과 수직하게 배향된다.
회전 버퍼(14)는 적어도 하나의 전자 디바이스를 유지하기 위해 형성되어 있다. 일반적으로, 적어도 회전 버퍼(14)와 운반 트랙(12) 사이에서 전자 디바이스를 이송하기 위해 회전 버퍼(14)가 운반 트랙(12)과 정렬되는 일 방향과, 회전 버퍼(14)와 매거진들(16, 18) 사이에서 전자 디바이스를 이송하기 위해 회전 버퍼(14)가 매거진들(16, 18)과 정렬되는 다른 방향 사이에서 회전 버퍼(14)가 작동가능하다. 회전 버퍼(14)는 더 일반적으로는 다른 방향으로 위치 설정가능하게 또한 형성될 수 있다. 회전 버퍼(14)는 실질적으로 수평면을 따라 회전하도록 적합하게 형성된다.
도 1a에서 회전 버퍼(14)는 본딩되지 않은 전자 디바이스를 회전 버퍼(14) 상에서 수용하도록 입력 매거진(16)의 공급 통로와 정렬되어 있다. 도 1b에서 회전 버퍼(14)는 운반 트랙(12)과 정렬되게 회전된다. 도시된 실시예에서, 매거진들(16, 18)의 공급 통로들은 운반 트랙에 대해 90°각도로 정렬되고, 따라서 회전 버퍼(14)는 90°만큼 회전된다. 다른 배향 각도들도 가능하다. 회전 버퍼(14)의 회전 동안, 회전 버퍼(14)가 매거진들(16, 18)에 근접하게 위치되면, 그 회전이 매거진들(16, 18)에 의해 방해되지 않도록 상기 회전 버퍼(14)를 상기 매거진들보다 위의 높이까지 상승시킬 필요가 있다. 회전 후, 회전 버퍼(14)는 다시 하강할 것이다. 회전 버퍼(14)가 운반 트랙(12)과 정렬되자 마자, 전자 디바이스는 운반 트랙(12) 상에 공급된다. 그런 다음 전자 디바이스는 운반 트랙(12)에 의해 본딩을 위해 본딩 장치(10)의 본딩 공구까지 보내진다.
도 1c에서, 본딩 공구는 전자 디바이스를 최종 본딩하고, 그런 다음 운반 트랙(12)에 의해 회전 버퍼(14)로 다시 보내진다. 도 1d에서, 회전 버퍼(14)는 90°만큼 반대 방향으로 회전되고, 출력 매거진(18)의 공급 통로와 정렬된다. 회전 버퍼(14)와 출력 매거진(18)을 정렬하기 위하여, 회전 버퍼(14)가 입력 매거진(16)의 공급 통로에 미리 인접할 때에, 매거진들의 폭들과 평행한 방향으로 매거진들(16, 18)에 대해 회전 버퍼(14)를 상대 이동시킬 필요가 있다. 매거진들(16, 18) 또는 회전 버퍼(14) 중 어느 하나는 이에 따라 이동할 것이다. 회전 버퍼(14)와 출력 매거진(18)이 정렬되자 마자, 본딩된 전자 디바이스는 저장을 위해 출력 매거진(18)에 의해 수용된다. 그런 후, 회전 버퍼(14)는 본딩을 위한 다른 전자 디바이스를 수용하기 위해 입력 매거진(16)과 정렬된다. 다른 방법으로, 회전 버퍼(14)가 본딩된 전자 디바이스를 수용하기 위해 형성되는 한편, 본딩되지 않은 전자 디바이스를 유지하도록 복수 개의 유지 슬롯들과 함께 적합하게 구성된다면, 본딩되지 않은 전자 디바이스는 회전 버퍼(14) 상으로 이송되는 한편, 다른 전자 디바이스는 본딩되므로 효율이 향상된다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 제 1 실시예에 따라 커다란 본딩 영역을 갖는 전자 디바이스(22)를 본딩하기 위한 공정을 개략적으로 도시한다. 본딩 장치(10)는 상술한 바와 같이 운반 트랙(12)의 일 측면에서 독립된 입력 및 출력 매거진들(16, 18)을 포함한다. 전자 디바이스(22)는 도 2a에서 입력 매거진(16)으로부터 회전 버퍼(14)상으로 이송되고, 그런 다음 회전 버퍼(14)는 회전되어 운반 트랙(12)과 정렬된다. 그런 다음 전자 디바이스(22)는 본딩을 위해 본딩 공구(20)의 위치까지 운반 트랙에 의해 운반된다. 상술한 바와 같이 포지션닝 테이블의 이동 질량을 증가시키는 단점을 회피하기 위해, 본딩 공구(20)는 전자 디바이스(22)의 일 측면상에서 전체 표면적의 일 부분만을 억세스하도록 구성되어 있다.
도 2b에서, 전자 디바이스(22)의 제 1 부분(24)이 본딩된다. 이것은 y-축선에서 전자 디바이스(22)의 표면적의 절반에 대응할 것이다. 그런 다음 부분적으로 본딩된 전자 디바이스(22)는 회전 버퍼(14)의 방향으로 본딩 공구(20)로부터 멀리 운반된다.
도 2c에서, 회전 버퍼(114)는 전자 디바이스(22)를 수용하여 수평면을 따라 180°만큼 전자 디바이스(22)를 회전시킨다. 따라서, 전자 디바이스(22)의 본딩되지 않은 부분(26)은 본딩 공구(20)에 의해 접근가능하게 위치 결정된다. 그런 후, 전자 디바이스(22)는 이 디바이스의 본딩되지 않은 제 2 부분(26)이 도 2d에 도시된 바와 같이 본딩 공구(20) 아래에 위치되도록 운반 트랙(12)으로 돌아간다. 그런 다음 전자 디바이스(22)의 제 2 부분(26)이 본딩된다.
도 2e에서, 제 2 부분(26)은 전체 전자 디바이스(22)의 와이어 본딩이 완료되도록 또한 본딩되었다. 그런 다음, 본딩된 전자 디바이스(22)는 회전 버퍼(14) 상으로 보내져서, 상술한 바와 같이 출력 매거진(18)으로 이송된다. 커다란 본딩 영역을 갖는 전자 디바이스(22)를 본딩하기 위한 상술한 공정을 사용하여, 커다란 y-축선 이동 범위를 갖는 포지션닝 테이블을 위한 필요성이 회피될 수 있음을 이해할 것이다. 사실, 전체 전자 디바이스(22)의 완전한 본딩은, 포지션닝 테이블이 전자 디바이스(22)의 y-축선 폭의 적어도 절반의 y-축선 이동 범위를 갖는 한 달성된다.
또한, 가공스테이션(28)은 회전 버퍼(14)상으로 이송되는 전자 디바이스들(22)을 처리하기 위해 회전 버퍼(14)의 위치에 또한 배치된다. 가공스테이션은 운반 트랙(12)의 길이를 증가, 또는 본딩 장치(10)의 측방향 공간 또는 풋프린트를 증가시킬 필요성 없이 하나 이상의 기능들과 유용하게 합체될 것이다. 예를 들면, 가공스테이션(28)은 본딩 속도에 영향을 미치지 않고 사전 본딩 및 사후 본딩 검사를 실행하기 위하여 이미지 스캐너를 포함할 수 있다. 시각적 유도 배치(visual lead location) 장치는 전자 디바이스(22)를 본딩하기 직전에 유도 배치 동작을 실행하기 위하여 부가될 수 있다. 가공스테이션(28)은 본딩을 위하여 전자 디바이스(22)를 운반 트랙(12) 상으로 전달하기 전에 유기 오염물 또는 이물질을 제거하도록, 플라즈마 세정 키트와 같은 세정 장치를 포함할 수 있다. 다른 보기로서, 가공스테이션(28)은 본딩 전에 전자 디바이스를 가열하도록 작동하는 사전 경화 장치를 포함할 수 있다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 양호한 제 2 실시예에 따라서 큰 본딩 면적으로 전자 디바이스(22)를 본딩하기 위한 공정을 개략적으로 도시한다. 이 공정의 제 1 실시예와 제 2 실시예 사이의 차이점은 입력 매거진(16)과 출력 매거진(18)이 운반 트랙(12)의 대향 측면들 상에 배치된다는 것이다. 따라서, 상기 매거진들의 적어도 하나는 운반 트랙(12)의 운송 방향으로 정렬될 수 있고 다른 매거진은 그 공급 통로와 함께 운반 트랙(12)의 운송 방향에 대해 일정한 각도, 양호하게는 운반 방향에 수직으로 배향될 수 있다.
따라서, 도 3a에서, 전자 디바이스(22)는 입력 매거진(16)에서 회전 버퍼(14) 상으로 공급될 수 있다. 회전 버퍼(14)는 그때 본딩 공구(20)에서 본딩하기 위한 전자 디바이스(22)를 운반하기 위하여 전자 디바이스(22)를 운반 트랙(12) 상으로 운반한다. 본딩 공구(20)에 의해서 전자 디바이스(22)의 제 1 부분(24)을 본딩한 후에, 전자 디바이스(22)는 도 3b에 도시된 바와 같이, 회전 버퍼(14)로 돌아간다.
도 3c에서, 회전 버퍼(14)는 전자 디바이스(22)의 제 2 부분(26)이 본딩을 위해 (도 3d 참조) 본딩 공구(20)에 의해서 접근가능하게 배치되도록, 전자 디바이스(22)를 180도 만큼 회전시킨다. 도 3e에서, 전자 디바이스(22)의 전체는 본딩되고 저장을 위하여 출력 매거진(18)을 향하여 보내질 수 있다.
도 4a 내지 도 4e는 복수 개의 본딩 헤드들을 갖는 본딩 장치(10')를 사용하여 동시에 큰 본딩 영역들을 갖는 전자 디바이스들(22)을 본딩하기 위한 공정을 개략적으로 도시한다. 입력 매거진(16) 및 출력 매거진(18)은 도 2a 내지 도 2e에서 기재된 바와 같이, 운반 트랙(12)에 대해서 배치되지만, 그 차이점은 본딩 장치(10') 상에 다른 본딩 헤드가 있고, 제 2 본딩 공구(20')에 대해서, 제 2 세트의 운반 트랙(12'), 회전 버퍼(14'), 입력 매거진(16') 및 출력 매거진(18')이 있다는 것이다. 그 설비는 제 1 세트의 요소들과 흡사하다. 여러 요소들이 본질적으로 도 2a 내지 도 2e와 동일한 방식으로 작용하지만, 그 기능들을 반복할 필요는 없다. 주요 차이점은 큰 본딩 면적들을 갖는 전자 디바이스(22')가 동시에 상기 공정을 실행하는 두 본딩 공구들(20,20')에 의해 동시에 본딩될 수 있음으로써, 본딩 장치의 생산성을 크게 개선한다는 것이다.
도 5에 도시된 다른 양호한 실시예에서, 다른 회전 버퍼(30)는 두 인접 세트의 운반 트랙들(12,12') 사이에서 본딩 공구들(20,20') 사이에 위치할 수 있으므로, 제 1 본딩 공구(20)에 의해서 전자 디바이스(22)의 제 1 부분이 본딩된 이후에, 전자 디바이스(22)는, 이 전자 디바이스(22)의 제 2 부분을 본딩할 목적으로, 제 2 본딩 공구(20')로 운반된 후, 그 배향을 변경하기 위해서, 회전 버퍼로 운반될 수 있다.
본 발명의 양호한 실시예에 따른 전자 디바이스 핸들러들은 기계의 풋프린트의 임의의 증가를 최소화하면서, 개별적인 입력 매거진 및 출력 매거진이 본딩 장치의 동일측 상에 설치될 수 있게 한다는 것을 이해해야 한다. 또한, 리드프레임들을 운반하는 회전 버퍼는 전자 디바이스의 전체 y축을 만족시키기에 충분한 y축 범위를 갖는 포지션닝 테이블을 도입할 필요가 없이, 전체 전자 디바이스를 본딩할 수 있게 하기 위하여, 큰 본딩 면적을 갖는 전자 디바이스의 배향을 변경하는 추가 기능을 실행할 수 있다.
본원에 기술된 발명은 상세하게 기술된 것과 다르게 변형, 수정 및 추가할 수 있으며, 본 발명은 상술한 정신 및 범주 내에서 이러한, 변형, 수정 및 추가 사항을 포함한다는 것을 이해해야 한다.
10 ; 본딩 장치 12 ; 운반 트랙
14 ; 회전 버퍼 16, 18 ; 매거진
20 ; 본딩 공구 22 ; 전자 디바이스

Claims (10)

  1. 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하는 한 측면상에 본딩영역을 갖는 대형 전자 디바이스의 본딩방법으로서,
    본딩 공구에 의하여 본딩하기 위해 상기 전자 디바이스의 제 2 부분이 아닌 상기 제 1 부분을 배치하는 단계와;
    상기 전자 디바이스의 상기 제 1 부분을 본딩하는 단계와;
    실질적으로 수평면을 따라 회전할 수 있는 회전 플랫폼으로 상기 전자 디바이스를 운반하는 단계와;
    상기 전자 디바이스의 본딩된 제 1 부분과 본딩되지 않은 제 2 부분 각각의 위치를 변경하기 위해 상기 회전 플랫폼상에서 상기 전자 디바이스를 회전시키는 단계와;
    상기 전자 디바이스의 상기 제 2 부분이 상기 본딩 공구에 의하여 본딩되는 위치에 있도록 상기 본딩 공구로 상기 전자 디바이스를 운반하는 단계와;
    이 후에 상기 전자 디바이스의 상기 제 2 부분을 본딩하는 단계를 포함하는 전자 디바이스의 본딩방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 디바이스는 상기 수평면을 따라 180˚회전되는 전자 디바이스의 본딩방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 본딩 공구와 상기 회전 플랫폼 사이로 상기 전자 디바이스를 전달하기 위해서, 상기 전자 디바이스를 운반 트랙으로 전달하는 단계를 부가로 포함하는 전자 디바이스의 본딩방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 디바이스의 상기 제 1 및 제 2 부분들 각각은 상기 전자 디바이스의 표면적의 절반을 포함하는 전자 디바이스의 본딩방법.
  5. 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하는 한 측면상에 본딩영역을 갖는 대형 전자 디바이스의 본딩방법으로서,
    제 1 본딩 공구에 의하여 본딩하기 위해 상기 전자 디바이스의 상기 제 2 부분이 아닌 상기 제 1 부분을 배치하는 단계와;
    상기 전자 디바이스의 상기 제 1부분을 본딩하는 단계와;
    실질적으로 수평면을 따라 회전할 수 있는 회전 플랫폼으로 상기 전자 디바이스를 운반하는 단계와;
    상기 전자 디바이스의 본딩된 제 1 부분과 본딩되지 않은 제 2 부분의 각각의 위치들을 변경하기 위해 상기 회전 플랫폼상에서 상기 전자 디바이스를 회전시키는 단계와;
    상기 전자 디바이스의 상기 제 2 부분이 제 2 본딩 공구에 의하여 본딩되는 위치에 있도록 상기 제 2 본딩 공구로 상기 전자 디바이스를 운반하는 단계와;
    이 후에 상기 전자 디바이스의 상기 제 2 부분을 본딩하는 단계를 포함하는 대형 전자 디바이스의 본딩방법.
  6. 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하는 한 측면상에 본딩영역을 갖는 대형 전자 디바이스의 본딩 장치로서,
    상기 전자 디바이스가 상기 본딩 공구에 배치될 때, 상기 전자 디바이스의 상기 제 1 부분만 또는 상기 제 2 부분만을 본딩하도록 구성되고 배치되는 본딩 공구와;
    상기 전자 디바이스의 일 부분이 상기 본딩 공구에 의해 본딩된 후에, 상기 전자 디바이스를 수용하도록 구성되는 회전 플랫폼을 포함하고,
    상기 회전 플랫폼은, 이 후에 상기 본딩 공구에 의한 본딩을 위해 상기 전자 디바이스의 다른 부분을 배향시키도록 실질적으로 수평면을 따라서 상기 전자 디바이스를 회전시키는 작동을 하는, 전자 디바이스의 본딩 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 회전 플랫폼은 상기 수평면을 따라서 상기 전자 디바이스를 180˚회전시키는 작동을 하는, 전자 디바이스의 본딩 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 전자 디바이스를 상기 본딩 공구와 상기 회전 플랫폼 사이로 운반하기 위한 운반 트랙을 부가로 포함하는 전자 디바이스의 본딩 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 전자 디바이스의 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 각각은 상기 전자 디바이스의 표면적의 절반을 포함하는 전자 디바이스의 본딩 장치.
  10. 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하는 한 측면상에 본딩영역을 갖는 대형 전자 디바이스의 본딩 장치로서,
    상기 전자 디바이스가 제 1 및 제 2 본딩 공구 각각에 배치될 때, 상기 전자 디바이스의 상기 제 1 부분만 또는 상기 제 2 부분만을 각각 본딩하도록 구성되고 배치되는 상기 제 1 및 제 2 본딩 공구들과;
    상기 전자 디바이스의 일 부분이 상기 제 1 본딩 공구에 의해 본딩된 후에, 상기 전자 디바이스를 수용하도록 구성되는 회전 플랫폼을 포함하고,
    상기 회전 플랫폼은, 이 후에 상기 제 2 본딩 공구에 의한 본딩을 위해 상기 전자 디바이스의 다른 부분을 배향시키도록 실질적으로 수평면을 따라서 상기 전자 디바이스를 회전시키는 작동을 하는, 전자 디바이스의 본딩 장치.
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