JP2970525B2 - 中空パッケージの製造方法および中空パッケージ用製造装置 - Google Patents
中空パッケージの製造方法および中空パッケージ用製造装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、中空パッケージ用
キャップをケースに接着するための接着剤をキャップに
付着させる中空パッケージの製造方法および中空パッケ
ージ用製造装置に関するものである。
キャップをケースに接着するための接着剤をキャップに
付着させる中空パッケージの製造方法および中空パッケ
ージ用製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超高周波用デバイスには、トランジス
タ、ＩＣ、光素子、表面弾性波素子、あるいは共振子な
どがある。従来、これらのデバイスは商用の通信機器や
衛星などに使われていたので、多少高価であっても信頼
性が高く、寿命が長いことが必要不可欠な条件であっ
た。最近では、衛星放送の受信機や携帯電話などのよう
に、一般家庭で使う民生機器にも超高周波用デバイスが
数多く使われるようになった。民生機器に使うデバイス
は商用通信機器ほど高信頼性や長寿命はいらないもの
の、いかに安く作るかが大きな課題である。その一つの
動きとして、セラミック・パッケージで封止していた超
高周波用チップを合成樹脂製の中空パッケージに組み込
み、コストダウンを図っている。
タ、ＩＣ、光素子、表面弾性波素子、あるいは共振子な
どがある。従来、これらのデバイスは商用の通信機器や
衛星などに使われていたので、多少高価であっても信頼
性が高く、寿命が長いことが必要不可欠な条件であっ
た。最近では、衛星放送の受信機や携帯電話などのよう
に、一般家庭で使う民生機器にも超高周波用デバイスが
数多く使われるようになった。民生機器に使うデバイス
は商用通信機器ほど高信頼性や長寿命はいらないもの
の、いかに安く作るかが大きな課題である。その一つの
動きとして、セラミック・パッケージで封止していた超
高周波用チップを合成樹脂製の中空パッケージに組み込
み、コストダウンを図っている。
【０００３】この種の樹脂モールドパッケージは、半導
体チップなどを実装したケースにキャップを接着するこ
とによって形成している。ケースにキャップを接着する
接着剤は、シート状のものや液状のものを使用してい
る。液状の接着剤を用いて中空パッケージを形成する従
来の方法を図１０によって説明する。
体チップなどを実装したケースにキャップを接着するこ
とによって形成している。ケースにキャップを接着する
接着剤は、シート状のものや液状のものを使用してい
る。液状の接着剤を用いて中空パッケージを形成する従
来の方法を図１０によって説明する。
【０００４】図１０は従来の中空パッケージの製造方法
を説明するための図で、同図（ａ）は接着剤塗布工程で
の平面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面
図、同図（ｃ）は接着剤塗布後の状態を示す断面図、同
図（ｄ）はキャップをケースの上方に搬送した状態を示
す断面図、同図（ｅ）は接着工程での状態を示す断面図
である。
を説明するための図で、同図（ａ）は接着剤塗布工程で
の平面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面
図、同図（ｃ）は接着剤塗布後の状態を示す断面図、同
図（ｄ）はキャップをケースの上方に搬送した状態を示
す断面図、同図（ｅ）は接着工程での状態を示す断面図
である。
【０００５】図１０（ａ），（ｂ）中に符号１で示すも
のは接着剤塗布装置で、この接着剤塗布装置１は、粘性
を有する液状の接着剤２をマスク３の上面にスキージ４
によって塗り広げるように構成している。前記マスク３
は、接着面に相当するマスク開口部３ａを複数開口さ
せ、後述する中空パッケージ用キャップ５の上方に位置
づけられている。
のは接着剤塗布装置で、この接着剤塗布装置１は、粘性
を有する液状の接着剤２をマスク３の上面にスキージ４
によって塗り広げるように構成している。前記マスク３
は、接着面に相当するマスク開口部３ａを複数開口さ
せ、後述する中空パッケージ用キャップ５の上方に位置
づけられている。
【０００６】中空パッケージ用キャップ５は、合成樹脂
によって凹陥部５ａを有する有底円筒形に形成し、凹陥
部５ａが開口する端面を上側にしてトレー６に保持させ
ている。このトレー６は前記マスク３のマスク開口部３
ａと対応する位置にキャップ５を保持するような構造で
ある。なお、前記マスク開口部３ａは、穴径がキャップ
５の外径と略同じ寸法になるように形成している。
によって凹陥部５ａを有する有底円筒形に形成し、凹陥
部５ａが開口する端面を上側にしてトレー６に保持させ
ている。このトレー６は前記マスク３のマスク開口部３
ａと対応する位置にキャップ５を保持するような構造で
ある。なお、前記マスク開口部３ａは、穴径がキャップ
５の外径と略同じ寸法になるように形成している。
【０００７】図１０（ｃ）において符号７は加熱炉を示
し、図１０（ｄ）において符号８はキャップ５を搬送す
るための真空式吸着ノズルを示す。また、同図中に符号
９で示すものは中空パッケージ用ケースで、このケース
９は、リードフレーム９ａに合成樹脂をモールド成形す
ることによって形成し、超高周波用半導体チップ９ｂを
搭載しかつワイヤボンディングを実施してある。図１０
（ｃ），（ｄ）において符号１０で示すものはヒーター
プレートである。
し、図１０（ｄ）において符号８はキャップ５を搬送す
るための真空式吸着ノズルを示す。また、同図中に符号
９で示すものは中空パッケージ用ケースで、このケース
９は、リードフレーム９ａに合成樹脂をモールド成形す
ることによって形成し、超高周波用半導体チップ９ｂを
搭載しかつワイヤボンディングを実施してある。図１０
（ｃ），（ｄ）において符号１０で示すものはヒーター
プレートである。
【０００８】なお、前記キャップ５およびケース９を形
成する合成樹脂はエポキシ樹脂を採用し、接着剤２はエ
ポキシ樹脂を主成分とするものを使用している。
成する合成樹脂はエポキシ樹脂を採用し、接着剤２はエ
ポキシ樹脂を主成分とするものを使用している。
【０００９】上述したケース９にキャップ５を接着する
には、先ず、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すようにキャッ
プ５に接着剤２を付着させる。すなわち、キャップ５を
トレー６に保持させて接着剤塗布装置１の下方に位置づ
け、スキージ４で接着剤２をマスク３上に塗り広げる。
このよう接着剤２を塗り広げると、接着剤２はマスク３
のマスク開口部３ａに埋め込まれてキャップ５の凹陥部
側端面５ｂに接触する。
には、先ず、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すようにキャッ
プ５に接着剤２を付着させる。すなわち、キャップ５を
トレー６に保持させて接着剤塗布装置１の下方に位置づ
け、スキージ４で接着剤２をマスク３上に塗り広げる。
このよう接着剤２を塗り広げると、接着剤２はマスク３
のマスク開口部３ａに埋め込まれてキャップ５の凹陥部
側端面５ｂに接触する。
【００１０】その後、トレー６を接着剤塗布装置１から
下方に離間させる。このとき、キャップ５の凹陥部側端
面５ｂに接触している接着剤２は、マスク３側の接着剤
２から分離してキャップ５に残る。ここで、凹陥部側端
面５ｂに塗布された接着剤２の厚さはマスク３の厚さに
相当する。したがって、マスクの厚さを変えれば、所望
の厚さの接着剤２を容易に塗布することができる。
下方に離間させる。このとき、キャップ５の凹陥部側端
面５ｂに接触している接着剤２は、マスク３側の接着剤
２から分離してキャップ５に残る。ここで、凹陥部側端
面５ｂに塗布された接着剤２の厚さはマスク３の厚さに
相当する。したがって、マスクの厚さを変えれば、所望
の厚さの接着剤２を容易に塗布することができる。
【００１１】次に、図１０（ｃ）に示すようにキャップ
５をトレー６とともに加熱炉７内に供給し加熱すること
によって、接着剤２を半硬化状態にする。これは、キャ
ップ５を後工程に移送するとき、キャップどうしが接着
したり、キャップ５が図示してない移送容器に接着する
のを防止するためである。加熱炉７からキャップ５を取
り出した後、前記移送容器に入れ、図１０（ｄ）に示す
キャップ接着装置へ移送する。そして、図示していない
ハンドリング装置によって前記移送容器から取り出し、
キャップ５を整列させ、上下や左右を判別し、このキャ
ップ５の底面（接着剤２が付着している凹陥部側端面５
ｂとは反対側の面）を吸着ノズル８に吸着させる。
５をトレー６とともに加熱炉７内に供給し加熱すること
によって、接着剤２を半硬化状態にする。これは、キャ
ップ５を後工程に移送するとき、キャップどうしが接着
したり、キャップ５が図示してない移送容器に接着する
のを防止するためである。加熱炉７からキャップ５を取
り出した後、前記移送容器に入れ、図１０（ｄ）に示す
キャップ接着装置へ移送する。そして、図示していない
ハンドリング装置によって前記移送容器から取り出し、
キャップ５を整列させ、上下や左右を判別し、このキャ
ップ５の底面（接着剤２が付着している凹陥部側端面５
ｂとは反対側の面）を吸着ノズル８に吸着させる。
【００１２】しかる後、図１０（ｄ）に示すように、こ
のキャップ５を吸着ノズル８によってケース９の上方に
搬送し、図１０（ｅ）に示すように、ヒータープレート
１０上に載置して加熱されたケース９の上面に押し付け
る。そして、ケース９の熱で接着剤２が加熱されて溶融
した後に硬化することによって、ケース９にキャップ５
が接着剤２を介して接着される。
のキャップ５を吸着ノズル８によってケース９の上方に
搬送し、図１０（ｅ）に示すように、ヒータープレート
１０上に載置して加熱されたケース９の上面に押し付け
る。そして、ケース９の熱で接着剤２が加熱されて溶融
した後に硬化することによって、ケース９にキャップ５
が接着剤２を介して接着される。
【００１３】なお、接着剤２としてシート状のものを使
用する場合には、キャップ５の凹陥部側端面５ｂと同じ
形状（円環状）に切断した接着剤シートを前記凹陥部側
端面５ｂに貼着し、その後、このキャップ５をケース９
に接着する手法を採っている。
用する場合には、キャップ５の凹陥部側端面５ｂと同じ
形状（円環状）に切断した接着剤シートを前記凹陥部側
端面５ｂに貼着し、その後、このキャップ５をケース９
に接着する手法を採っている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】接着剤塗布工程におい
て、最も重要な要素は、接着剤の厚さをいかに所望の厚
さに塗布するかである。例えば、キャップ５に付着する
接着剤２が規定量より少ないと、キャップ５をケース９
に強固に接着することができないばかりか、接着部での
気密性が低下してしまう。逆に、規定量より多くなる
と、余分な接着剤２がパッケージの内外に流出して外観
不良になったり、チップやワイヤに付着して電気的特性
を劣化させたりする原因となる。したがって、従来は、
マスクの厚さやシート状の接着膜の厚さで、接着剤２の
厚さを２０〜５０μｍの範囲内に収まるよう厳重に管理
していた。
て、最も重要な要素は、接着剤の厚さをいかに所望の厚
さに塗布するかである。例えば、キャップ５に付着する
接着剤２が規定量より少ないと、キャップ５をケース９
に強固に接着することができないばかりか、接着部での
気密性が低下してしまう。逆に、規定量より多くなる
と、余分な接着剤２がパッケージの内外に流出して外観
不良になったり、チップやワイヤに付着して電気的特性
を劣化させたりする原因となる。したがって、従来は、
マスクの厚さやシート状の接着膜の厚さで、接着剤２の
厚さを２０〜５０μｍの範囲内に収まるよう厳重に管理
していた。
【００１５】しかしながら、図１０に示した方法を採る
に当たっては、マスク開口部３ａおよびキャップ５の凹
陥部側端面５ｂを高い精度をもって位置合わせしなけれ
ばならない。従来のキャップ５は比較的サイズが大きい
ので位置合わせも容易であったが、超高周波用デバイス
のパッケージは直径が２ｍｍ、凹陥部側端面５ｂの幅が
０．２５ｍｍしかないため、０．０２ｍｍ以内の誤差で
位置合わせする必要がある。もし、位置合わせがずれる
と、この隙間から液状の接着剤２がキャップ５の外周部
へ漏れて出たり、接着剤２が塗布されない領域ができ、
外観不良や信頼性の低下を招く。このため、位置合わせ
に多大の時間を要したり、高精度で高価な位置合わせ装
置が不可欠となり、結果的にデバイスの製造コストを高
くしてしまうことになっていた。
に当たっては、マスク開口部３ａおよびキャップ５の凹
陥部側端面５ｂを高い精度をもって位置合わせしなけれ
ばならない。従来のキャップ５は比較的サイズが大きい
ので位置合わせも容易であったが、超高周波用デバイス
のパッケージは直径が２ｍｍ、凹陥部側端面５ｂの幅が
０．２５ｍｍしかないため、０．０２ｍｍ以内の誤差で
位置合わせする必要がある。もし、位置合わせがずれる
と、この隙間から液状の接着剤２がキャップ５の外周部
へ漏れて出たり、接着剤２が塗布されない領域ができ、
外観不良や信頼性の低下を招く。このため、位置合わせ
に多大の時間を要したり、高精度で高価な位置合わせ装
置が不可欠となり、結果的にデバイスの製造コストを高
くしてしまうことになっていた。
【００１６】このように、マスクを用いた接着剤塗布装
置１はその構成が複雑となるため、必然的にキャップ接
着装置とは分離せざるを得なかった。このため、キャッ
プ５を接着剤塗布装置１からキャップ接着装置に移し替
えるとき、キャップどうしが接着したり、移送容器に接
着しないようにする対策が必要であった。従来は接着剤
塗布装置１で塗布した接着剤２を一旦加熱炉に入れ、半
硬化状態にして、粘着性を低下させてから移送してい
た。
置１はその構成が複雑となるため、必然的にキャップ接
着装置とは分離せざるを得なかった。このため、キャッ
プ５を接着剤塗布装置１からキャップ接着装置に移し替
えるとき、キャップどうしが接着したり、移送容器に接
着しないようにする対策が必要であった。従来は接着剤
塗布装置１で塗布した接着剤２を一旦加熱炉に入れ、半
硬化状態にして、粘着性を低下させてから移送してい
た。
【００１７】このため、半硬化状態にするための加熱装
置や、工程間の移送容器、キャップ接着装置にキャップ
を渡すハンドリング装置などが必要であり、また、ハン
ドリング時にキャップを整列し直して上下方向や基準方
向を判定することも必要になる。さらに、キャップ接着
時に接着剤２を予熱し、半硬化状態から溶融状態に戻す
という処理も必要になる。このように、マスクを使った
方法では、接着剤の厚さは比較的容易に均一化できるも
のの、位置合わせやハンドリングに高価な装置と多大な
工数が必要であった。
置や、工程間の移送容器、キャップ接着装置にキャップ
を渡すハンドリング装置などが必要であり、また、ハン
ドリング時にキャップを整列し直して上下方向や基準方
向を判定することも必要になる。さらに、キャップ接着
時に接着剤２を予熱し、半硬化状態から溶融状態に戻す
という処理も必要になる。このように、マスクを使った
方法では、接着剤の厚さは比較的容易に均一化できるも
のの、位置合わせやハンドリングに高価な装置と多大な
工数が必要であった。
【００１８】シート状の接着剤を使用する場合には、半
硬化するための加熱炉は不要になるものの、位置合わせ
については、マスクと同じように高精度が要求される。
さらに、シート状の接着剤は、取り扱いがし易いように
片面に離型紙などを付着させなければならないので、そ
れ自体が高価になってしまう。また、超高周波用デバイ
スの中空パッケージでは、シートの直径が２ｍｍ、幅が
０．２５ｍｍと小径なため、金型で円形に切断してもシ
ートをキャップに貼り付けるときに形が歪んで接着位置
がずれてしまうことがあった。このため、接着強度が低
下したり、気密性が低下することがあった。
硬化するための加熱炉は不要になるものの、位置合わせ
については、マスクと同じように高精度が要求される。
さらに、シート状の接着剤は、取り扱いがし易いように
片面に離型紙などを付着させなければならないので、そ
れ自体が高価になってしまう。また、超高周波用デバイ
スの中空パッケージでは、シートの直径が２ｍｍ、幅が
０．２５ｍｍと小径なため、金型で円形に切断してもシ
ートをキャップに貼り付けるときに形が歪んで接着位置
がずれてしまうことがあった。このため、接着強度が低
下したり、気密性が低下することがあった。
【００１９】本発明はこのような問題点を解消するため
になされたもので、キャップに付着する接着剤の量を一
定にすることを第１の目的とし、キャップに接着剤から
なる膜が形成されないようにすることを第２の目的と
し、上述した二つの目的を達成できるとともに小型の中
空パッケージを安価に製造できる中空パッケージ用製造
装置を得ることを第３の目的とする。
になされたもので、キャップに付着する接着剤の量を一
定にすることを第１の目的とし、キャップに接着剤から
なる膜が形成されないようにすることを第２の目的と
し、上述した二つの目的を達成できるとともに小型の中
空パッケージを安価に製造できる中空パッケージ用製造
装置を得ることを第３の目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】 第１の発明に係る中空
パッケージの製造方法は、スキージを固定し、接着剤用
受け部材を回転させることにより接着剤用受け部材上に
接着剤を一様な厚さに塗り広げ、接着剤用受け部材にキ
ャップの凹陥部端面を押、しかる後に当該キャップを前
記接着剤用受け部材から離間させることにより前記キャ
ップの凹陥部端面に一様な厚さの接着剤を付けるように
したものである。
パッケージの製造方法は、スキージを固定し、接着剤用
受け部材を回転させることにより接着剤用受け部材上に
接着剤を一様な厚さに塗り広げ、接着剤用受け部材にキ
ャップの凹陥部端面を押、しかる後に当該キャップを前
記接着剤用受け部材から離間させることにより前記キャ
ップの凹陥部端面に一様な厚さの接着剤を付けるように
したものである。
【００２１】この方法によれば、接着剤は接着剤用受け
部材に塗り広げられた部分の厚みをもってキャップに付
着する。
部材に塗り広げられた部分の厚みをもってキャップに付
着する。
【００２２】 第２の発明に係る中空パッケージの製造
方法は、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャ
ップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを
用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤
を塗り広げることにより凹溝内に接着剤を埋め込ませ、
しかる後、キャップを凹溝内の接着剤に押し付け付けて
離間させることにより接着剤を付けるようにしたもので
ある。この方法によれば、簡単な装置で正確な厚みに接
着剤を塗り広げることができる。
方法は、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャ
ップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを
用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤
を塗り広げることにより凹溝内に接着剤を埋め込ませ、
しかる後、キャップを凹溝内の接着剤に押し付け付けて
離間させることにより接着剤を付けるようにしたもので
ある。この方法によれば、簡単な装置で正確な厚みに接
着剤を塗り広げることができる。
【００２３】
【００２４】したがって、キャップに接着剤を付着させ
るときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が
存在しないので、接着剤からなる膜がキャップに形成さ
れることがない。
るときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が
存在しないので、接着剤からなる膜がキャップに形成さ
れることがない。
【００２５】 第３の発明に係る中空パッケージの製造
方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケース
に接着する中空パッケージの製造方法において、キャッ
プ保持手段で前記キャップを保持し、前記キャップを接
着剤に付ける工程と前記キャップを前記ケースに接着す
る工程とを同一のキャップ保持手段で行うようにしたも
のである。この方法によれば、同一ハンドリング装置で
キャップに接着剤を付けてケースに接着できる。
方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケース
に接着する中空パッケージの製造方法において、キャッ
プ保持手段で前記キャップを保持し、前記キャップを接
着剤に付ける工程と前記キャップを前記ケースに接着す
る工程とを同一のキャップ保持手段で行うようにしたも
のである。この方法によれば、同一ハンドリング装置で
キャップに接着剤を付けてケースに接着できる。
【００２６】 第４の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部側端部に接着
剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤
を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材
に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前
記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部
材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたもの
である。
装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部側端部に接着
剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤
を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材
に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前
記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部
材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたもの
である。
【００２７】したがって、第１の発明に係る中空パッケ
ージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ること
ができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、キ
ャップに接着剤を付着させるに当たってキャップの形状
・寸法に依存する部材を使用しなくてよい。
ージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ること
ができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、キ
ャップに接着剤を付着させるに当たってキャップの形状
・寸法に依存する部材を使用しなくてよい。
【００２８】 第５の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、接着剤用受け部材を前記スキージに対し
て回転する構成とするとともに、前記スキージに前記接
着剤受け部材の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚
み調整機構を設けたものである。
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、接着剤用受け部材を前記スキージに対し
て回転する構成とするとともに、前記スキージに前記接
着剤受け部材の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚
み調整機構を設けたものである。
【００２９】したがって、接着剤を塗り広げるための駆
動系と、接着剤の厚みを調整するための接着剤厚み調整
機構とを分けて構成することができる。
動系と、接着剤の厚みを調整するための接着剤厚み調整
機構とを分けて構成することができる。
【００３０】 第６の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの
凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、キャップ保持
手段を、前記凹溝内の接着剤にキャップを押し付ける構
成としたものである。
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの
凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、キャップ保持
手段を、前記凹溝内の接着剤にキャップを押し付ける構
成としたものである。
【００３１】 したがって、第２の発明に係る中空パッ
ケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図るこ
とができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、
接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交
換することによって、キャップに付着する接着剤の量を
変えることができる。
ケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図るこ
とができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、
接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交
換することによって、キャップに付着する接着剤の量を
変えることができる。
【００３２】 第７の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、前記スキージに凸部を少なくとも２カ所
設け、凸部の先端が接着剤用受け部材と接触し、その隙
間を一定に保つものである。したがって、簡単な構成で
接着剤を均一な厚さに塗り広げることができる。
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、前記スキージに凸部を少なくとも２カ所
設け、凸部の先端が接着剤用受け部材と接触し、その隙
間を一定に保つものである。したがって、簡単な構成で
接着剤を均一な厚さに塗り広げることができる。
【００３３】 第８の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４ないし第７の発明のうち何れか一つの中空
パッケージ用製造装置において、キャップ保持手段を、
キャップを吸着保持する構成とし、このキャップ保持手
段のキャップ吸着部を、ばねによってキャップ押付け側
へ付勢する構成としたものである。したがって、キャッ
プは、ばねの弾発力に相当する押圧力をもって接着剤に
押し付けられる。
装置は、第４ないし第７の発明のうち何れか一つの中空
パッケージ用製造装置において、キャップ保持手段を、
キャップを吸着保持する構成とし、このキャップ保持手
段のキャップ吸着部を、ばねによってキャップ押付け側
へ付勢する構成としたものである。したがって、キャッ
プは、ばねの弾発力に相当する押圧力をもって接着剤に
押し付けられる。
【００３４】 第９の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保
持手段によって前記キャップの凹陥部側端部をケースに
接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャ
ップ保持手段で保持した前記キャップを接着剤に押付け
て離間する手段と、前記キャップ保持手段で保持した前
記キャップを前記ケースに接着する手段を備えたもので
ある。したがって、同一ハンドリング装置でキャップに
接着剤を付けてケースに接着できる。
装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保
持手段によって前記キャップの凹陥部側端部をケースに
接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャ
ップ保持手段で保持した前記キャップを接着剤に押付け
て離間する手段と、前記キャップ保持手段で保持した前
記キャップを前記ケースに接着する手段を備えたもので
ある。したがって、同一ハンドリング装置でキャップに
接着剤を付けてケースに接着できる。
【００３５】
第１の実施の形態 以下、本発明の一実施の形態を図１ないし図７によって
詳細に説明する。ここでは、第１ないし第３の発明およ
び第５の発明に係る中空パッケージの製造方法と、第
６、第７、第１０および第１１の発明に係る中空パッケ
ージ用製造装置について説明する。
詳細に説明する。ここでは、第１ないし第３の発明およ
び第５の発明に係る中空パッケージの製造方法と、第
６、第７、第１０および第１１の発明に係る中空パッケ
ージ用製造装置について説明する。
【００３６】図１は本発明に係る中空パッケージの製造
方法を実施するに当たり使用する中空パッケージ用製造
装置の概略構成を示す平面図、図２は中空パッケージ用
製造装置の要部の構成を示す斜視図、図３はスキージを
示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図で
ある。
方法を実施するに当たり使用する中空パッケージ用製造
装置の概略構成を示す平面図、図２は中空パッケージ用
製造装置の要部の構成を示す斜視図、図３はスキージを
示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図で
ある。
【００３７】図４はキャップ移載装置のキャップ吸着部
を示す側面図で、同図はキャップを搬送している状態で
描いてある。図５はキャップをケースに押し付けている
状態でのキャップ移載装置のキャップ吸着部の側面図で
ある。図６は中空パッケージ用製造装置の要部の構成を
示す側面図、図７は本発明に係る中空パッケージの製造
方法を説明するための図で、同図（ａ）はキャップを接
着剤に押し付けている状態を示す断面図、同図（ｂ）は
キャップを搬送している状態を示す断面図、同図（ｃ）
はキャップをケースに接着している状態を示す断面図で
ある。これらの図において前記図１０で説明したものと
同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細
な説明は省略する。
を示す側面図で、同図はキャップを搬送している状態で
描いてある。図５はキャップをケースに押し付けている
状態でのキャップ移載装置のキャップ吸着部の側面図で
ある。図６は中空パッケージ用製造装置の要部の構成を
示す側面図、図７は本発明に係る中空パッケージの製造
方法を説明するための図で、同図（ａ）はキャップを接
着剤に押し付けている状態を示す断面図、同図（ｂ）は
キャップを搬送している状態を示す断面図、同図（ｃ）
はキャップをケースに接着している状態を示す断面図で
ある。これらの図において前記図１０で説明したものと
同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細
な説明は省略する。
【００３８】図１において、符号１１はこの実施の形態
による中空パッケージ用製造装置を示す。この中空パッ
ケージ用製造装置１１は、本発明に係る中空パッケージ
の製造方法を実施するためのもので、図１において一側
方に配設したキャップ供給装置１２と、他側方に配設し
たケース搬送装置１３と、これら両装置の間に配設した
接着剤塗布装置１４およびキャップ移載装置１５などか
ら構成している。
による中空パッケージ用製造装置を示す。この中空パッ
ケージ用製造装置１１は、本発明に係る中空パッケージ
の製造方法を実施するためのもので、図１において一側
方に配設したキャップ供給装置１２と、他側方に配設し
たケース搬送装置１３と、これら両装置の間に配設した
接着剤塗布装置１４およびキャップ移載装置１５などか
ら構成している。
【００３９】前記キャップ供給装置１２は、キャップ５
を多数モールド成形した金属製薄板からなるキャップ用
フレーム１６を、搬送レール１７によって図１において
右方へ間欠的に送るように構成している。前記フレーム
１６は、丸穴１６ａを多数穿設し、この丸穴１６ａ内に
一部を臨ませるようにしてキャップ５をモールド成形し
ている。なお、フレーム１６は、キャップ５の底面｛凹
陥部５ａ（図１０参照）が開口する面とは反対側の面｝
が上側になるように搬送レール１７に供給する。
を多数モールド成形した金属製薄板からなるキャップ用
フレーム１６を、搬送レール１７によって図１において
右方へ間欠的に送るように構成している。前記フレーム
１６は、丸穴１６ａを多数穿設し、この丸穴１６ａ内に
一部を臨ませるようにしてキャップ５をモールド成形し
ている。なお、フレーム１６は、キャップ５の底面｛凹
陥部５ａ（図１０参照）が開口する面とは反対側の面｝
が上側になるように搬送レール１７に供給する。
【００４０】前記搬送レール１７の上流側端部（図１に
おいて左側の端部）の近傍に設けた符号１８で示すもの
は、前記フレーム１６を図示してないストッカから搬送
レール１７に移載するためのローダであり、搬送レール
１７の下流側端部に設けた符号１９で示すものはアンロ
ーダである。また、搬送レール１７の中央部に配設した
符号２０で示すものは、フレーム１６からキャップ５を
打ち抜くための打ち抜き装置である。
おいて左側の端部）の近傍に設けた符号１８で示すもの
は、前記フレーム１６を図示してないストッカから搬送
レール１７に移載するためのローダであり、搬送レール
１７の下流側端部に設けた符号１９で示すものはアンロ
ーダである。また、搬送レール１７の中央部に配設した
符号２０で示すものは、フレーム１６からキャップ５を
打ち抜くための打ち抜き装置である。
【００４１】この打ち抜き装置２０は、キャップ５をフ
レーム１６の下方へ打ち抜き、フレーム１６の下方に位
置づけたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａに載
置させるように構成している。このキャップ受け渡し装
置２１は、フレーム１６から打ち抜かれたキャップ５を
後述するキャップ移載装置１５の吸着位置へ送るための
もので、前記アーム２１ａを４本備えてこれらのアーム
２１ａを鉛直方向の軸線回りに回転させるように構成し
ている。前記吸着位置は、アーム２１ａを図１において
下側に移動させた位置である。この吸着位置を図１中に
符号Ａで示す。
レーム１６の下方へ打ち抜き、フレーム１６の下方に位
置づけたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａに載
置させるように構成している。このキャップ受け渡し装
置２１は、フレーム１６から打ち抜かれたキャップ５を
後述するキャップ移載装置１５の吸着位置へ送るための
もので、前記アーム２１ａを４本備えてこれらのアーム
２１ａを鉛直方向の軸線回りに回転させるように構成し
ている。前記吸着位置は、アーム２１ａを図１において
下側に移動させた位置である。この吸着位置を図１中に
符号Ａで示す。
【００４２】前記ケース搬送装置１３は、ケース９をモ
ールド成形したリードフレーム９ａを搬送レール２２に
よって図１において右方へ間欠的に送るように構成して
いる。なお、リードフレーム９ａは、ケース９における
キャップ接着面が上側になるように搬送レール２２に供
給する。この中空パッケージ用製造装置１１は、リード
フレーム９ａをこのように搬送する途中でキャップ５を
後述するキャップ移載装置１５によってケース９に接着
する。接着位置を図１中に符号Ｂで示す。なお、このリ
ードフレーム９ａは、前記図１０（ｄ）で示したよう
に、半導体チップ９ｂを実装してワイヤボンディングを
行った状態のものである。
ールド成形したリードフレーム９ａを搬送レール２２に
よって図１において右方へ間欠的に送るように構成して
いる。なお、リードフレーム９ａは、ケース９における
キャップ接着面が上側になるように搬送レール２２に供
給する。この中空パッケージ用製造装置１１は、リード
フレーム９ａをこのように搬送する途中でキャップ５を
後述するキャップ移載装置１５によってケース９に接着
する。接着位置を図１中に符号Ｂで示す。なお、このリ
ードフレーム９ａは、前記図１０（ｄ）で示したよう
に、半導体チップ９ｂを実装してワイヤボンディングを
行った状態のものである。
【００４３】前記搬送レール２２の上流側端部にはリー
ドフレーム９ａを搬送レール２２に供給するためのロー
ダ２２ａを連結している。また、搬送レール２２の下流
側端部の近傍にはキュア装置２２ｂと、リードフレーム
用ストッカ２３とをこの順に並べて配設している。リー
ドフレーム９ａをキュア装置２２ｂやストッカ２３に移
載するに当たっては、図示してない爪送り式あるいは吸
着式の移載装置を用いている。また、前記搬送レール２
２の中途部であって前記接着位置Ｂとなる部位にヒータ
ープレート１０を配設している。
ドフレーム９ａを搬送レール２２に供給するためのロー
ダ２２ａを連結している。また、搬送レール２２の下流
側端部の近傍にはキュア装置２２ｂと、リードフレーム
用ストッカ２３とをこの順に並べて配設している。リー
ドフレーム９ａをキュア装置２２ｂやストッカ２３に移
載するに当たっては、図示してない爪送り式あるいは吸
着式の移載装置を用いている。また、前記搬送レール２
２の中途部であって前記接着位置Ｂとなる部位にヒータ
ープレート１０を配設している。
【００４４】前記接着剤塗布装置１４は、図２に示すよ
うに、円形テーブル２４上に粘性を有する液状の接着剤
２をスキージ２５によって塗り広げる構造を採ってい
る。前記円形テーブル２４が本発明に係る接着剤用受け
部材を構成している。なお、接着剤２は、熱硬化型エポ
キシ樹脂、熱可塑性エポキシ樹脂、フェノール系樹脂ま
たはシーラ材などが使用でき、図示してない接着剤供給
装置によって円形テーブル２４上に供給する。前記円形
テーブル２４は、円盤状に形成してこれを回転させる駆
動モータ２４ａに支持させている。
うに、円形テーブル２４上に粘性を有する液状の接着剤
２をスキージ２５によって塗り広げる構造を採ってい
る。前記円形テーブル２４が本発明に係る接着剤用受け
部材を構成している。なお、接着剤２は、熱硬化型エポ
キシ樹脂、熱可塑性エポキシ樹脂、フェノール系樹脂ま
たはシーラ材などが使用でき、図示してない接着剤供給
装置によって円形テーブル２４上に供給する。前記円形
テーブル２４は、円盤状に形成してこれを回転させる駆
動モータ２４ａに支持させている。
【００４５】この駆動モータ２４ａは、この実施の形態
ではステッピング・モータを使用し、接着剤２を塗り広
げるときには円形テーブル２４を図２中に矢印で示す方
向に回転させ、接着剤２に後述するキャップ移載装置１
５によってキャップ５を押し付けるときには円形テーブ
ル２４を停止させるように構成している。なお、この実
施の形態では、キャップ５を接着剤２に押し付けた後に
円形テーブル２４を予め定めた角度だけ回転させ、円形
テーブル２４が１回転した後に接着剤２の塗り広げ動作
を行うように構成している。キャップ５を押付ける動作
を連続的に行う場合には、スキージ２５から常に一定厚
の接着剤２が供給されているので、テーブル２４を改め
て１回転させなくてもよい。すなわち、接着剤の塗り広
げとキャップを接着剤に付ける動作が連続的に処理でき
る。
ではステッピング・モータを使用し、接着剤２を塗り広
げるときには円形テーブル２４を図２中に矢印で示す方
向に回転させ、接着剤２に後述するキャップ移載装置１
５によってキャップ５を押し付けるときには円形テーブ
ル２４を停止させるように構成している。なお、この実
施の形態では、キャップ５を接着剤２に押し付けた後に
円形テーブル２４を予め定めた角度だけ回転させ、円形
テーブル２４が１回転した後に接着剤２の塗り広げ動作
を行うように構成している。キャップ５を押付ける動作
を連続的に行う場合には、スキージ２５から常に一定厚
の接着剤２が供給されているので、テーブル２４を改め
て１回転させなくてもよい。すなわち、接着剤の塗り広
げとキャップを接着剤に付ける動作が連続的に処理でき
る。
【００４６】前記スキージ２５は、この中空パッケージ
用製造装置１１の基台１１ａ（図１参照）に固定したホ
ルダー２６に、図３（ｂ）に示すようにスライドガイド
２７を介して上下方向に移動自在に支持させ、両側の下
端部に回転自在に取付けたローラ２８を前記円形テーブ
ル２４に支承させている。また、このスキージ２５と前
記ホルダー２６との間には、スキージ２５の全体を円形
テーブル２４側へ付勢するための引張りコイルばね２９
を弾装している。キャップ５を接着剤２に押付ける力は
２００ｇ、押付けている時間は０．５秒とした。
用製造装置１１の基台１１ａ（図１参照）に固定したホ
ルダー２６に、図３（ｂ）に示すようにスライドガイド
２７を介して上下方向に移動自在に支持させ、両側の下
端部に回転自在に取付けたローラ２８を前記円形テーブ
ル２４に支承させている。また、このスキージ２５と前
記ホルダー２６との間には、スキージ２５の全体を円形
テーブル２４側へ付勢するための引張りコイルばね２９
を弾装している。キャップ５を接着剤２に押付ける力は
２００ｇ、押付けている時間は０．５秒とした。
【００４７】さらに、このスキージ２５は、円形テーブ
ル２４上に塗り広げられる接着剤２の厚みを調整するた
めの接着剤厚み調整機構が設けてある。この接着剤厚み
調整機構は、接着剤２に触れるへら３０を有するスライ
ダ３１と、マイクロメータ３２とから構成している。前
記スライダ３１は、前記ローラ２８を支持するスキージ
本体３３に図３（ｂ）に示すようにスライドガイド３４
を介して上下方向に移動自在に連結している。また、こ
のスライダ３１とスキージ本体３３の上部のマイクロメ
ータ支持プレート３５との間には、図３（ａ）に示すよ
うに、このスライダ３１を上方へ付勢して後述するマイ
クロメータ３２に押し付けるための引張りコイルばね３
６を弾装している。
ル２４上に塗り広げられる接着剤２の厚みを調整するた
めの接着剤厚み調整機構が設けてある。この接着剤厚み
調整機構は、接着剤２に触れるへら３０を有するスライ
ダ３１と、マイクロメータ３２とから構成している。前
記スライダ３１は、前記ローラ２８を支持するスキージ
本体３３に図３（ｂ）に示すようにスライドガイド３４
を介して上下方向に移動自在に連結している。また、こ
のスライダ３１とスキージ本体３３の上部のマイクロメ
ータ支持プレート３５との間には、図３（ａ）に示すよ
うに、このスライダ３１を上方へ付勢して後述するマイ
クロメータ３２に押し付けるための引張りコイルばね３
６を弾装している。
【００４８】前記スライダ３１のへら３０は、正面から
見て長方形の金属板からなり、位置決めピン３０ａおよ
び偏心ピン３０ｂによってスライダ３１に固定してい
る。すなわち、偏心ピン３ｂを回転させることによっ
て、へら３０が位置決めピン３０ａを中心として回り、
下端縁を前記円形テーブル２４の接着剤塗布面と平行に
することができる。前記偏心ピン３ｂは、へら３０に設
けた長穴３０ｃに嵌合させている。なお、図３（ａ）に
おいて円形テーブル２４上のへら３０の両側に設けた符
号２４ｂで示すものは、円形テーブル２４上で接着剤２
が前記ローラ２８側へ流れるのを阻止する凸壁である。
この凸壁２４ｂは、円形テーブル２４の周方向に全周に
わたって途切れることなく一連に設けている。
見て長方形の金属板からなり、位置決めピン３０ａおよ
び偏心ピン３０ｂによってスライダ３１に固定してい
る。すなわち、偏心ピン３ｂを回転させることによっ
て、へら３０が位置決めピン３０ａを中心として回り、
下端縁を前記円形テーブル２４の接着剤塗布面と平行に
することができる。前記偏心ピン３ｂは、へら３０に設
けた長穴３０ｃに嵌合させている。なお、図３（ａ）に
おいて円形テーブル２４上のへら３０の両側に設けた符
号２４ｂで示すものは、円形テーブル２４上で接着剤２
が前記ローラ２８側へ流れるのを阻止する凸壁である。
この凸壁２４ｂは、円形テーブル２４の周方向に全周に
わたって途切れることなく一連に設けている。
【００４９】前記マイクロメータ３２は、マイクロメー
タ支持プレート３５にスピンドル３２ａを貫通させた状
態で支持させてあり、スピンドル３２ａの下端を前記ス
ライダ３１の上面に対接させている。すなわち、このス
ピンドル３２ａの下端にはスライダ３１が前記引張りコ
イルばね３６の弾発力によって押し付けられるので、こ
のマイクロメータ３２を操作してスピンドル３２ａの突
出量を増減させることによって、へら３０の下端縁と円
形テーブル２４の上面との隙間ｔを調整することができ
る。このスキージ２５によって塗り広げられた接着剤２
は、前記隙間ｔに相当する厚みになる。なお、この実施
の形態では、スキージ２５で円形テーブル２４上に塗り
広げられる接着剤２の厚さが２０〜５０μｍになるよう
に設定している。
タ支持プレート３５にスピンドル３２ａを貫通させた状
態で支持させてあり、スピンドル３２ａの下端を前記ス
ライダ３１の上面に対接させている。すなわち、このス
ピンドル３２ａの下端にはスライダ３１が前記引張りコ
イルばね３６の弾発力によって押し付けられるので、こ
のマイクロメータ３２を操作してスピンドル３２ａの突
出量を増減させることによって、へら３０の下端縁と円
形テーブル２４の上面との隙間ｔを調整することができ
る。このスキージ２５によって塗り広げられた接着剤２
は、前記隙間ｔに相当する厚みになる。なお、この実施
の形態では、スキージ２５で円形テーブル２４上に塗り
広げられる接着剤２の厚さが２０〜５０μｍになるよう
に設定している。
【００５０】前記キャップ移載装置１５は、その概略構
成を図２に示すように、モータ３７が駆動して間欠的に
回転するアーム付きインデックステーブル３８と、この
インデックステーブル３８のアーム３８ａの先端に上下
方向へ移動自在に連結した吸着ヘッド３９と、この吸着
ヘッド３９を駆動するプッシャ４０とから構成してい
る。なお、このキャップ移載装置１５が本発明に係るキ
ャップ保持手段を構成している。前記インデックステー
ブル３８のアーム３８ａは、図１に示すように、インデ
ックステーブル３８の径方向に放射状に複数設けてい
る。このアーム３８ａは、この実施の形態ではインデッ
クステーブル３８の回転方向に同じ間隔を隔てて８本設
けている。
成を図２に示すように、モータ３７が駆動して間欠的に
回転するアーム付きインデックステーブル３８と、この
インデックステーブル３８のアーム３８ａの先端に上下
方向へ移動自在に連結した吸着ヘッド３９と、この吸着
ヘッド３９を駆動するプッシャ４０とから構成してい
る。なお、このキャップ移載装置１５が本発明に係るキ
ャップ保持手段を構成している。前記インデックステー
ブル３８のアーム３８ａは、図１に示すように、インデ
ックステーブル３８の径方向に放射状に複数設けてい
る。このアーム３８ａは、この実施の形態ではインデッ
クステーブル３８の回転方向に同じ間隔を隔てて８本設
けている。
【００５１】前記吸着ヘッド３９は、図４および図５に
示すように、キャップ５を真空吸着により吸着して保持
する吸着ノズル４１を備え、前記アーム３８ａの先端に
設けたスライドガイド３８ｂに上下方向へ移動自在に連
結している。なお、前記吸着ノズル４１が第６の発明に
係るキャップ吸着部を構成している。また、吸着ヘッド
３９とスライドガイド３８ｂとの間には、吸着ヘッド３
９を上方へ付勢して図４に示す初期位置に止めておくた
めの復帰ばね（図示せず）を弾装している。
示すように、キャップ５を真空吸着により吸着して保持
する吸着ノズル４１を備え、前記アーム３８ａの先端に
設けたスライドガイド３８ｂに上下方向へ移動自在に連
結している。なお、前記吸着ノズル４１が第６の発明に
係るキャップ吸着部を構成している。また、吸着ヘッド
３９とスライドガイド３８ｂとの間には、吸着ヘッド３
９を上方へ付勢して図４に示す初期位置に止めておくた
めの復帰ばね（図示せず）を弾装している。
【００５２】前記吸着ノズル４１は、吸着ヘッド３９に
上下方向へ移動自在に貫通支持させた円筒からなるノズ
ル本体４１ａと、このノズル本体４１ａの上端に設けた
ガイドロッド４１ｂとから構成している。前記ノズル本
体４１ａは、中空部を吸着ヘッド３９の真空室３９ａに
連通させ、この真空室３９ａにホース４２を介して接続
した真空ポンプ（図示せず）が空気を吸引することによ
って、下端にキャップ５を真空吸着する構造を採ってい
る。なお、この吸引系は、途中に開閉弁（図示せず）が
介装してあり、選択的にキャップ５を吸着できるように
構成している。
上下方向へ移動自在に貫通支持させた円筒からなるノズ
ル本体４１ａと、このノズル本体４１ａの上端に設けた
ガイドロッド４１ｂとから構成している。前記ノズル本
体４１ａは、中空部を吸着ヘッド３９の真空室３９ａに
連通させ、この真空室３９ａにホース４２を介して接続
した真空ポンプ（図示せず）が空気を吸引することによ
って、下端にキャップ５を真空吸着する構造を採ってい
る。なお、この吸引系は、途中に開閉弁（図示せず）が
介装してあり、選択的にキャップ５を吸着できるように
構成している。
【００５３】この吸着ノズル４１の前記ガイドロッド４
１ｂは、ノズル本体４１ａとの接続部に吸着ヘッド３９
の上面と対接する鍔４１ｃが設けてあり、上部を吸着ヘ
ッド３９のスプリングストッパ３９ｂに上下方向へ移動
自在に貫通させている。また、このスプリングストッパ
３９ｂと前記鍔４１ｃとの間に、吸着ノズル４１を下方
へ付勢する圧縮コイルばね４３を弾装している。
１ｂは、ノズル本体４１ａとの接続部に吸着ヘッド３９
の上面と対接する鍔４１ｃが設けてあり、上部を吸着ヘ
ッド３９のスプリングストッパ３９ｂに上下方向へ移動
自在に貫通させている。また、このスプリングストッパ
３９ｂと前記鍔４１ｃとの間に、吸着ノズル４１を下方
へ付勢する圧縮コイルばね４３を弾装している。
【００５４】そして、この中空パッケージ用製造装置１
１は、図１に示すように、インデックステーブル３８が
回転することによって、吸着ヘッド３９の吸着ノズル４
１が、前記キャップ受け渡し装置２１における吸着位置
Ａに移動したアーム２１ａの上方と、前記接着剤塗布装
置１４の円形テーブル２４の上方と、前記搬送レール２
２上で接着位置Ｂに位置づけられたキャップ９の上方を
通るように構成している。また、吸着ヘッド３９を円形
テーブル２４の上方に位置づけたとき（このときの吸着
ヘッド３９の位置を以下において接着剤付着位置Ｃとい
う）には、前記吸着位置Ａに位置づけられたアーム２１
ａの上方と、接着位置Ｂに位置づけられたケース９の上
方とに別の吸着ヘッド３９がそれぞれ位置づけられるよ
うな構造を採っている。
１は、図１に示すように、インデックステーブル３８が
回転することによって、吸着ヘッド３９の吸着ノズル４
１が、前記キャップ受け渡し装置２１における吸着位置
Ａに移動したアーム２１ａの上方と、前記接着剤塗布装
置１４の円形テーブル２４の上方と、前記搬送レール２
２上で接着位置Ｂに位置づけられたキャップ９の上方を
通るように構成している。また、吸着ヘッド３９を円形
テーブル２４の上方に位置づけたとき（このときの吸着
ヘッド３９の位置を以下において接着剤付着位置Ｃとい
う）には、前記吸着位置Ａに位置づけられたアーム２１
ａの上方と、接着位置Ｂに位置づけられたケース９の上
方とに別の吸着ヘッド３９がそれぞれ位置づけられるよ
うな構造を採っている。
【００５５】なお、吸着ヘッド３９がアーム３８ａに対
して上下方向へ移動できる距離は、吸着ノズル４１に吸
着させたキャップ５と、前記吸着位置Ａに位置づけられ
たキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａ、円形テー
ブル２４および接着位置Ｂに位置づけられたケース９と
の間隔より大きくなるように設定している。
して上下方向へ移動できる距離は、吸着ノズル４１に吸
着させたキャップ５と、前記吸着位置Ａに位置づけられ
たキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａ、円形テー
ブル２４および接着位置Ｂに位置づけられたケース９と
の間隔より大きくなるように設定している。
【００５６】前記プッシャ４０は、図２に示すように、
プッシュロッド４０ａをサーボモータ４０ｂによって上
下方向に移動させる構造を採り、フレーム４０ｃを図示
してないブラケットを介して前記インデックステーブル
３８のアーム３８ａに取付けている。そして、このプッ
シャ４０は、プッシュロッド４０ａを下方へ移動させる
ことによって、このプッシュロッド４０ａが前記吸着ヘ
ッド３９を図示してない復帰ばねおよび吸着ノズル４１
側の圧縮コイルばね４３の弾発力に抗して下方へ押し下
げるように構成している。
プッシュロッド４０ａをサーボモータ４０ｂによって上
下方向に移動させる構造を採り、フレーム４０ｃを図示
してないブラケットを介して前記インデックステーブル
３８のアーム３８ａに取付けている。そして、このプッ
シャ４０は、プッシュロッド４０ａを下方へ移動させる
ことによって、このプッシュロッド４０ａが前記吸着ヘ
ッド３９を図示してない復帰ばねおよび吸着ノズル４１
側の圧縮コイルばね４３の弾発力に抗して下方へ押し下
げるように構成している。
【００５７】すなわち、吸着ヘッド３９は、プッシュロ
ッド４０ａが押さない状態では、図４に示すように、前
記復帰ばねによって上方へ付勢されて初期位置に位置づ
けられ、プッシュロッド４０ａが下方へ移動することに
よって、前記復帰ばねの弾発力に抗して図５に示すよう
に下方へ移動する。このとき、吸着ノズル４１の下方へ
の移動が規制されると、吸着ノズル４１はこれを下方へ
付勢する圧縮コイルばね４３の弾発力に抗して吸着ヘッ
ド３９に対して上側へ移動する。
ッド４０ａが押さない状態では、図４に示すように、前
記復帰ばねによって上方へ付勢されて初期位置に位置づ
けられ、プッシュロッド４０ａが下方へ移動することに
よって、前記復帰ばねの弾発力に抗して図５に示すよう
に下方へ移動する。このとき、吸着ノズル４１の下方へ
の移動が規制されると、吸着ノズル４１はこれを下方へ
付勢する圧縮コイルばね４３の弾発力に抗して吸着ヘッ
ド３９に対して上側へ移動する。
【００５８】なお、このプッシャ４０は、この実施の形
態では８本のアーム３８ａの全てに設けているが、この
中空パッケージ用製造装置１１の基台１１ａに固定して
もよい。この構成を採る場合には、プッシャ４０を前記
吸着位置Ａ、接着位置Ｂおよび接着剤付着位置Ｃのそれ
ぞれに配設する。
態では８本のアーム３８ａの全てに設けているが、この
中空パッケージ用製造装置１１の基台１１ａに固定して
もよい。この構成を採る場合には、プッシャ４０を前記
吸着位置Ａ、接着位置Ｂおよび接着剤付着位置Ｃのそれ
ぞれに配設する。
【００５９】次に、第１の発明に係る中空パッケージの
製造方法を上述した中空パッケージ用製造装置１１の動
作説明と合わせて詳細に説明する。先ず、図１に示すキ
ャップ供給装置１２の搬送レール１７にフレーム１６を
供給し、キャップ５を打ち抜き装置２０の下方へ搬送す
る。次に、キャップ５をこのフレーム１６から打ち抜き
装置２０によって打ち抜き、フレーム１６の下方に位置
づけたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａに載置
させる。このとき、キャップ５は、底面（凹陥部５ａが
開口する面とは反対側の面）が上方を指向するようにア
ーム２１ａに載置する。
製造方法を上述した中空パッケージ用製造装置１１の動
作説明と合わせて詳細に説明する。先ず、図１に示すキ
ャップ供給装置１２の搬送レール１７にフレーム１６を
供給し、キャップ５を打ち抜き装置２０の下方へ搬送す
る。次に、キャップ５をこのフレーム１６から打ち抜き
装置２０によって打ち抜き、フレーム１６の下方に位置
づけたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａに載置
させる。このとき、キャップ５は、底面（凹陥部５ａが
開口する面とは反対側の面）が上方を指向するようにア
ーム２１ａに載置する。
【００６０】しかる後、このアーム２１ａを前記吸着位
置Ａに移動させ、ここでキャップ移載装置１５にキャッ
プ５を吸着させる。なお、キャップ移載装置１５の吸着
ノズル４１に接続した真空ポンプは、この中空パッケー
ジ用製造装置が稼働しているときには常に運転状態にし
ておき、吸着ノズル４１からキャップ５を外すときのみ
に吸気系の開閉弁を閉動作させる。
置Ａに移動させ、ここでキャップ移載装置１５にキャッ
プ５を吸着させる。なお、キャップ移載装置１５の吸着
ノズル４１に接続した真空ポンプは、この中空パッケー
ジ用製造装置が稼働しているときには常に運転状態にし
ておき、吸着ノズル４１からキャップ５を外すときのみ
に吸気系の開閉弁を閉動作させる。
【００６１】キャップ移載装置１５にキャップ５を吸着
させるには、吸着ヘッド３９を吸着位置Ａに位置決め
し、プッシャ４０で下方へ移動させて吸着ノズル４１の
ノズル本体４１ａをキャップ５の底面（上面）に上方か
ら押し付けることによって行う。ノズル本体４１ａがキ
ャップ５に当たると、吸着ノズル４１は、吸着ヘッド３
９が継続して下方へ移動しても圧縮コイルばね４３が圧
縮されることによってその位置に止まる。すなわち、吸
着ノズル４１は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当す
る押圧力をもってキャップ５に押し付けられる。
させるには、吸着ヘッド３９を吸着位置Ａに位置決め
し、プッシャ４０で下方へ移動させて吸着ノズル４１の
ノズル本体４１ａをキャップ５の底面（上面）に上方か
ら押し付けることによって行う。ノズル本体４１ａがキ
ャップ５に当たると、吸着ノズル４１は、吸着ヘッド３
９が継続して下方へ移動しても圧縮コイルばね４３が圧
縮されることによってその位置に止まる。すなわち、吸
着ノズル４１は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当す
る押圧力をもってキャップ５に押し付けられる。
【００６２】このように吸着ノズル４１にキャップ５を
吸着させた後、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを
上昇させる。このようにすると、吸着ヘッド３９が復帰
ばねの弾発力によって初期位置に復帰する。次いで、イ
ンデックステーブル３８を図１において反時計方向へ回
転させ、図２および図６に示すように、接着剤塗布装置
１４の円形テーブル２４の上方（接着剤付着位置Ｃ）に
前記吸着ヘッド３９を位置決めする。
吸着させた後、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを
上昇させる。このようにすると、吸着ヘッド３９が復帰
ばねの弾発力によって初期位置に復帰する。次いで、イ
ンデックステーブル３８を図１において反時計方向へ回
転させ、図２および図６に示すように、接着剤塗布装置
１４の円形テーブル２４の上方（接着剤付着位置Ｃ）に
前記吸着ヘッド３９を位置決めする。
【００６３】接着剤塗布装置１４は、接着剤２を供給し
た円形テーブル２４を回転させることによって、予め接
着剤２を円形テーブル２４上に塗り広げておく。接着剤
２を塗り広げるときには、前記マイクロメータ３２によ
って前記隙間ｔを予め定めた値に調整した状態で行う。
このようにすることによって、円形テーブル２４上に接
着剤２が前記隙間ｔに相当する均一な厚みに塗り広げら
れる。
た円形テーブル２４を回転させることによって、予め接
着剤２を円形テーブル２４上に塗り広げておく。接着剤
２を塗り広げるときには、前記マイクロメータ３２によ
って前記隙間ｔを予め定めた値に調整した状態で行う。
このようにすることによって、円形テーブル２４上に接
着剤２が前記隙間ｔに相当する均一な厚みに塗り広げら
れる。
【００６４】吸着ヘッド３９を前記接着剤付着位置Ｃに
位置決めした後、プッシャ４０によって吸着ヘッド３９
を下方へ押し下げ、キャップ５の凹陥部側端面５ｂを接
着剤２に押し付ける。このとき、キャップ５が接着剤２
に押し付けられて吸着ノズル４１の下方への移動が規制
されると圧縮コイルばね４３が圧縮されるので、キャッ
プ５は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力
をもって接着剤２に押し付けられる。キャップ５を接着
剤２に押し付けている状態を図７（ａ）に示す。なお、
図７は、各工程での状態を理解し易いように、インデッ
クステーブル３８の構成を簡素化して描いてある。
位置決めした後、プッシャ４０によって吸着ヘッド３９
を下方へ押し下げ、キャップ５の凹陥部側端面５ｂを接
着剤２に押し付ける。このとき、キャップ５が接着剤２
に押し付けられて吸着ノズル４１の下方への移動が規制
されると圧縮コイルばね４３が圧縮されるので、キャッ
プ５は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力
をもって接着剤２に押し付けられる。キャップ５を接着
剤２に押し付けている状態を図７（ａ）に示す。なお、
図７は、各工程での状態を理解し易いように、インデッ
クステーブル３８の構成を簡素化して描いてある。
【００６５】キャップ５を接着剤２に一定時間押し付け
た後、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを上昇させ
て図４および図７（ｂ）に示すように吸着ヘッド３９を
初期位置に復帰させる。このとき、吸着ヘッド３９とと
もにキャップ５も上昇し、これに接触していた接着剤２
が円形テーブル２４側の接着剤２から分離してキャップ
５に付着する。
た後、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを上昇させ
て図４および図７（ｂ）に示すように吸着ヘッド３９を
初期位置に復帰させる。このとき、吸着ヘッド３９とと
もにキャップ５も上昇し、これに接触していた接着剤２
が円形テーブル２４側の接着剤２から分離してキャップ
５に付着する。
【００６６】次に、インデックステーブル３８を回転さ
せて前記吸着ヘッド３９を前記接着位置Ｂに位置決めす
る。なお、ここまでの工程が終了する以前に、ケース搬
送装置１３によってケース９を前記接着位置Ｂに搬送し
ておく。そして、ヒータープレート１０によりケース９
を加熱しておき、プッシャ４０により吸着ヘッド３９を
押し下げることによって、図５および図７（ｃ）に示す
ように、キャップ５が接着剤２を介してケース９に接着
する。このときにも、キャップ５は圧縮コイルばね４３
の弾発力に相当する押圧力をもってキャップ９に押し付
けられる。この実施の形態では、押圧力は２００ｇ、押
圧時間は０．６秒、加熱温度は２５０℃で行ったが、接
着剤２の種類でこれらの条件は異なってくる。ヒーター
プレート１０でケース９を加熱することにより、接着剤
２を硬化させる。
せて前記吸着ヘッド３９を前記接着位置Ｂに位置決めす
る。なお、ここまでの工程が終了する以前に、ケース搬
送装置１３によってケース９を前記接着位置Ｂに搬送し
ておく。そして、ヒータープレート１０によりケース９
を加熱しておき、プッシャ４０により吸着ヘッド３９を
押し下げることによって、図５および図７（ｃ）に示す
ように、キャップ５が接着剤２を介してケース９に接着
する。このときにも、キャップ５は圧縮コイルばね４３
の弾発力に相当する押圧力をもってキャップ９に押し付
けられる。この実施の形態では、押圧力は２００ｇ、押
圧時間は０．６秒、加熱温度は２５０℃で行ったが、接
着剤２の種類でこれらの条件は異なってくる。ヒーター
プレート１０でケース９を加熱することにより、接着剤
２を硬化させる。
【００６７】このようにキャップ５をケース９に接着し
た後、吸着ノズル４１での吸引を停止させ、プッシャ４
０のプッシュロッド４０ａを上昇させて吸着ヘッド３９
を初期位置に復帰させる。このとき、キャップ５は吸着
ノズル４１から離れてケース９に接着した状態に保たれ
る。
た後、吸着ノズル４１での吸引を停止させ、プッシャ４
０のプッシュロッド４０ａを上昇させて吸着ヘッド３９
を初期位置に復帰させる。このとき、キャップ５は吸着
ノズル４１から離れてケース９に接着した状態に保たれ
る。
【００６８】上述した一連のキャップ接着工程は、イン
デックステーブル３８の全ての吸着ヘッド３９で同様に
行う。このとき、接着剤塗布装置１４は、キャップ５を
接着剤２に押し付ける工程が終了した後に円形テーブル
２４を予め定めた角度だけ回転させ、円形テーブル２４
が１回転した後に接着剤２の塗り広げ動作を行う。ま
た、吸着位置Ａでキャップ５を吸着する動作、接着位置
Ｂでキャップ５をケース９に接着する動作および接着剤
付着位置Ｃでキャップ５に接着剤を付着させる動作は、
図１に示すように、それぞれの位置に位置づけられた吸
着ヘッド３９で略同時に行われる。
デックステーブル３８の全ての吸着ヘッド３９で同様に
行う。このとき、接着剤塗布装置１４は、キャップ５を
接着剤２に押し付ける工程が終了した後に円形テーブル
２４を予め定めた角度だけ回転させ、円形テーブル２４
が１回転した後に接着剤２の塗り広げ動作を行う。ま
た、吸着位置Ａでキャップ５を吸着する動作、接着位置
Ｂでキャップ５をケース９に接着する動作および接着剤
付着位置Ｃでキャップ５に接着剤を付着させる動作は、
図１に示すように、それぞれの位置に位置づけられた吸
着ヘッド３９で略同時に行われる。
【００６９】そして、接着位置Ｂにおいてリードフレー
ム９ａの全てのケース９にキャップ５を接着した後、こ
のリードフレーム９ａを図示してない爪送り式あるいは
吸着式の移載装置によってキュア装置２２ｂに移載し、
ケース９をヒータープレート１０よりも低い温度、例え
ば１６５℃で加熱することによってキュアし、エポキシ
樹脂を完全に硬化させる。このように接着剤２を硬化さ
せた後、このリードフレーム９ａをストッカ２３に移載
する。このようにリードフレーム９ａをストッカ２３に
移載することによって、この中空パッケージ用製造装置
１１での全工程が終了する。
ム９ａの全てのケース９にキャップ５を接着した後、こ
のリードフレーム９ａを図示してない爪送り式あるいは
吸着式の移載装置によってキュア装置２２ｂに移載し、
ケース９をヒータープレート１０よりも低い温度、例え
ば１６５℃で加熱することによってキュアし、エポキシ
樹脂を完全に硬化させる。このように接着剤２を硬化さ
せた後、このリードフレーム９ａをストッカ２３に移載
する。このようにリードフレーム９ａをストッカ２３に
移載することによって、この中空パッケージ用製造装置
１１での全工程が終了する。
【００７０】したがって、この中空パッケージ用製造装
置１１を使用した中空パッケージの製造方法は、円形テ
ーブル２４に接着剤２をスキージ２５によって厚みが均
一になるように塗り広げ、次に、前記接着剤２にキャッ
プ５の凹陥部側端面５ｂを押付け、このキャップ５を円
形テーブル２４から離間させた後にケース９に接着する
から、接着剤２は円形テーブル２４に塗り広げられた部
分の厚みをもってキャップ５に付着する。
置１１を使用した中空パッケージの製造方法は、円形テ
ーブル２４に接着剤２をスキージ２５によって厚みが均
一になるように塗り広げ、次に、前記接着剤２にキャッ
プ５の凹陥部側端面５ｂを押付け、このキャップ５を円
形テーブル２４から離間させた後にケース９に接着する
から、接着剤２は円形テーブル２４に塗り広げられた部
分の厚みをもってキャップ５に付着する。
【００７１】また、この中空パッケージ用製造装置１１
は、接着剤２を塗布する円形テーブル２４と、この円形
テーブル２４に接着剤２を厚みが均一になるように塗り
広げるスキージ２５と、キャップ５を吸着保持し、その
凹陥部側端面５ｂを円形テーブル２４上の接着剤２に押
し付けた後にケース９へ搬送するキャップ移載装置１５
とを備えたため、接着剤２をキャップ５に付着させてか
らこのキャップ５をケース９に接着するまでの全工程
を、従来より小規模な装置で、短時間に、かつ少ない工
程数で実現できる。また、この中空パッケージ用製造装
置１１は、キャップ５に接着剤２を付着させるに当たっ
てキャップ５の形状・寸法に依存する部材を使用しなく
てよい。
は、接着剤２を塗布する円形テーブル２４と、この円形
テーブル２４に接着剤２を厚みが均一になるように塗り
広げるスキージ２５と、キャップ５を吸着保持し、その
凹陥部側端面５ｂを円形テーブル２４上の接着剤２に押
し付けた後にケース９へ搬送するキャップ移載装置１５
とを備えたため、接着剤２をキャップ５に付着させてか
らこのキャップ５をケース９に接着するまでの全工程
を、従来より小規模な装置で、短時間に、かつ少ない工
程数で実現できる。また、この中空パッケージ用製造装
置１１は、キャップ５に接着剤２を付着させるに当たっ
てキャップ５の形状・寸法に依存する部材を使用しなく
てよい。
【００７２】さらに、この中空パッケージ用製造装置１
１は、円形テーブル２４をスキージ２５に対して回転す
る構成とするとともに、前記スキージ２５に円形テーブ
ル２４の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚み調整
機構を設けたため、接着剤２を塗り広げるための駆動系
と、接着剤２の厚みを調整するための接着剤厚み調整機
構とを分けて構成することができる。このため、円形テ
ーブル２４を回転させる駆動モータ２４およびスキージ
２５は、それぞれ単純な構成でよい。
１は、円形テーブル２４をスキージ２５に対して回転す
る構成とするとともに、前記スキージ２５に円形テーブ
ル２４の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚み調整
機構を設けたため、接着剤２を塗り広げるための駆動系
と、接着剤２の厚みを調整するための接着剤厚み調整機
構とを分けて構成することができる。このため、円形テ
ーブル２４を回転させる駆動モータ２４およびスキージ
２５は、それぞれ単純な構成でよい。
【００７３】さらにまた、キャップ移載装置１５の吸着
ノズル４１を、圧縮コイルばね４３によってキャップ押
付け側へ付勢する構成を採っているから、キャップ５
は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力をも
って接着剤２に押し付けられる。このため、簡単な構成
であっても接着剤付着時の荷重を最適な値に設定でき
る。しかも、この構成を採ると、吸着ノズル４１にキャ
ップ５を吸着させるときや、キャップ５をケース９に接
着させるときに、圧縮コイルばね４３が緩衝体になって
過大な荷重が加えられることがない。
ノズル４１を、圧縮コイルばね４３によってキャップ押
付け側へ付勢する構成を採っているから、キャップ５
は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力をも
って接着剤２に押し付けられる。このため、簡単な構成
であっても接着剤付着時の荷重を最適な値に設定でき
る。しかも、この構成を採ると、吸着ノズル４１にキャ
ップ５を吸着させるときや、キャップ５をケース９に接
着させるときに、圧縮コイルばね４３が緩衝体になって
過大な荷重が加えられることがない。
【００７４】第２の実施の形態 スキージは図８に示すように構成することもできる。図
８はスキージの他の実施の形態を示す図で、同図（ａ）
は正面図、同図（ｂ）は側面図である。図８において前
記図１ないし図７で説明したものと同一もしくは同等部
材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
なお、図８に示すスキージが第９の発明に係る中空パッ
ケージ用製造装置のスキージを構成している。
８はスキージの他の実施の形態を示す図で、同図（ａ）
は正面図、同図（ｂ）は側面図である。図８において前
記図１ないし図７で説明したものと同一もしくは同等部
材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
なお、図８に示すスキージが第９の発明に係る中空パッ
ケージ用製造装置のスキージを構成している。
【００７５】図８中に符号５１で示すスキージは、金属
製ブロックによって形成し、下端に幅Ｗ、深さｔの凹溝
５１ａを形成している。凹溝５１ａの代わりに、高さｔ
の凸部を下端に少なくとも２箇所設けてもよい。前記深
さｔ、あるいは高さｔは２０μｍ〜５０μｍとした。ま
た、このスキージ５１は、図１〜図７で示した中空パッ
ケージ用製造装置のスキージ２５と同様に基台（図示せ
ず）に固定している。
製ブロックによって形成し、下端に幅Ｗ、深さｔの凹溝
５１ａを形成している。凹溝５１ａの代わりに、高さｔ
の凸部を下端に少なくとも２箇所設けてもよい。前記深
さｔ、あるいは高さｔは２０μｍ〜５０μｍとした。ま
た、このスキージ５１は、図１〜図７で示した中空パッ
ケージ用製造装置のスキージ２５と同様に基台（図示せ
ず）に固定している。
【００７６】このスキージ５１を円形テーブル２４の接
着剤塗布面に接触させた状態で接着剤２を円形テーブル
２４上に供給し、この円形テーブル２４を回転させるこ
とによって、凹溝５１ａの深さｔに相当する厚みをもっ
て接着剤２が円形テーブル２４上に塗り広げられる。こ
のスキージ５１を図１〜図７で示す中空パッケージ用製
造装置に採用すると、前記実施の形態より簡単な機構で
同等の効果が得られる。
着剤塗布面に接触させた状態で接着剤２を円形テーブル
２４上に供給し、この円形テーブル２４を回転させるこ
とによって、凹溝５１ａの深さｔに相当する厚みをもっ
て接着剤２が円形テーブル２４上に塗り広げられる。こ
のスキージ５１を図１〜図７で示す中空パッケージ用製
造装置に採用すると、前記実施の形態より簡単な機構で
同等の効果が得られる。
【００７７】第３の実施の形態 第４の発明に係る中空パッケージの製造方法および第８
の発明に係る中空パッケージ用製造装置の一実施の形態
を図９によって詳細に説明する。図９は凹溝に埋め込ん
だ接着剤をキャップに付着させる製造方法を説明するた
めの図で、同図（ａ）は凹溝を形成した回転テーブルに
接着剤をスキージによって塗り広げている状態を示す平
面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図、
同図（ｃ）はキャップを凹溝内の接着剤に接触させた状
態を示す断面図、同図（ｄ）はキャップを凹溝内の接着
剤に押し付けた状態を示す断面図である。図９において
前記図１ないし図７で説明したものと同一もしくは同等
部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略す
る。
の発明に係る中空パッケージ用製造装置の一実施の形態
を図９によって詳細に説明する。図９は凹溝に埋め込ん
だ接着剤をキャップに付着させる製造方法を説明するた
めの図で、同図（ａ）は凹溝を形成した回転テーブルに
接着剤をスキージによって塗り広げている状態を示す平
面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図、
同図（ｃ）はキャップを凹溝内の接着剤に接触させた状
態を示す断面図、同図（ｄ）はキャップを凹溝内の接着
剤に押し付けた状態を示す断面図である。図９において
前記図１ないし図７で説明したものと同一もしくは同等
部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略す
る。
【００７８】図９に示す円形テーブル２４は、接着剤２
が塗布される上面の３箇所に環状の凹溝５２を形成して
いる。この凹溝５２は、キャップ５の凹陥部側端面５ｂ
と略同じ形状に形成し、円形テーブル２４を周方向に３
等分する位置に形成している。このように円形テーブル
２４に形成した凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに正確に位
置決めするために、この実施の形態では、円形テーブル
２４の外周部の基準位置に設けた遮光板５３を受・発光
素子式位置センサ５４によって検出する構成を採るとと
もに、この円形テーブル２４をステッピング・モータ５
５によって前記基準位置から１／３回転ずつ回転させる
構成を採っている。
が塗布される上面の３箇所に環状の凹溝５２を形成して
いる。この凹溝５２は、キャップ５の凹陥部側端面５ｂ
と略同じ形状に形成し、円形テーブル２４を周方向に３
等分する位置に形成している。このように円形テーブル
２４に形成した凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに正確に位
置決めするために、この実施の形態では、円形テーブル
２４の外周部の基準位置に設けた遮光板５３を受・発光
素子式位置センサ５４によって検出する構成を採るとと
もに、この円形テーブル２４をステッピング・モータ５
５によって前記基準位置から１／３回転ずつ回転させる
構成を採っている。
【００７９】図９中に符号５６で示すスキージは、下端
を平坦に形成し、円形テーブル２４の接着剤塗布面に下
端の全域を接触させている。なお、このスキージ５６
も、図１〜図７で示した中空パッケージ用製造装置のス
キージ２５と同様に基台（図示せず）に固定している。
を平坦に形成し、円形テーブル２４の接着剤塗布面に下
端の全域を接触させている。なお、このスキージ５６
も、図１〜図７で示した中空パッケージ用製造装置のス
キージ２５と同様に基台（図示せず）に固定している。
【００８０】次に、上述したように凹溝５２を形成した
円形テーブル２４を使用してキャップに接着剤２を付着
させる手順を説明する。先ず、円形テーブル２４に接着
剤２を図示してない接着剤供給装置によって供給し、図
９（ａ），（ｂ）に示すように、この円形テーブル２４
をステッピング・モータ５５によって時計方向へ回転さ
せる。このようにすると、スキージ５６の下方を凹溝５
２が通るときに接着剤２が凹溝５２内に埋め込まれる。
円形テーブル２４を使用してキャップに接着剤２を付着
させる手順を説明する。先ず、円形テーブル２４に接着
剤２を図示してない接着剤供給装置によって供給し、図
９（ａ），（ｂ）に示すように、この円形テーブル２４
をステッピング・モータ５５によって時計方向へ回転さ
せる。このようにすると、スキージ５６の下方を凹溝５
２が通るときに接着剤２が凹溝５２内に埋め込まれる。
【００８１】全ての凹溝５２に接着剤２が埋め込まれた
後、凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに位置決めし、次い
で、キャップ５を図９（ｃ）に示すように上方から凹溝
５２内の接着剤２に当て、図９（ｄ）に示すように、こ
の接着剤２に押し付ける。このとき、キャップ５には前
記図４に示した圧縮コイルばね４３の弾発力からなる押
圧力が加えられる。これにより、凹部の深さｔに相当す
る厚さの接着剤２がキャップ５に付着する。また、凹部
の深さｔを所望の接着剤２の厚さより深くしておき、キ
ャップ５の沈み込み量を制御することにより、接着剤２
への付着厚さを調整することもできる。
後、凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに位置決めし、次い
で、キャップ５を図９（ｃ）に示すように上方から凹溝
５２内の接着剤２に当て、図９（ｄ）に示すように、こ
の接着剤２に押し付ける。このとき、キャップ５には前
記図４に示した圧縮コイルばね４３の弾発力からなる押
圧力が加えられる。これにより、凹部の深さｔに相当す
る厚さの接着剤２がキャップ５に付着する。また、凹部
の深さｔを所望の接着剤２の厚さより深くしておき、キ
ャップ５の沈み込み量を制御することにより、接着剤２
への付着厚さを調整することもできる。
【００８２】このようにキャップ５を接着剤２に押し付
けた後、円形テーブル２４から上方へ離間させ、第１の
実施の形態を採るときと同じ手順によってケース９に接
着する。なお、接着剤塗り広げ動作の初期は、接着剤２
を充填して円形テーブル２４を１回転ないしそれ以上回
転させ、凹溝５２内に接着剤２を均一に埋め込む。前記
キャップ５の押し付け工程が終了した後、接着剤２を埋
め込みながら円形テーブル２４を１／３回転だけ回転さ
せて隣の凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに位置決めし、こ
の凹溝５２内の接着剤２に次のキャップ５を押し付け
る。以降、この動作を連続的に繰り返す。また、全ての
凹溝５２に対してキャップ５を押し付け終わるたびに、
接着剤２を充填して円形テーブル２４を１回転ないしそ
れ以上に回転させ、再び凹溝内に接着剤２を埋め込むよ
うにしてもよい。
けた後、円形テーブル２４から上方へ離間させ、第１の
実施の形態を採るときと同じ手順によってケース９に接
着する。なお、接着剤塗り広げ動作の初期は、接着剤２
を充填して円形テーブル２４を１回転ないしそれ以上回
転させ、凹溝５２内に接着剤２を均一に埋め込む。前記
キャップ５の押し付け工程が終了した後、接着剤２を埋
め込みながら円形テーブル２４を１／３回転だけ回転さ
せて隣の凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに位置決めし、こ
の凹溝５２内の接着剤２に次のキャップ５を押し付け
る。以降、この動作を連続的に繰り返す。また、全ての
凹溝５２に対してキャップ５を押し付け終わるたびに、
接着剤２を充填して円形テーブル２４を１回転ないしそ
れ以上に回転させ、再び凹溝内に接着剤２を埋め込むよ
うにしてもよい。
【００８３】第１、第２の実施の形態では、キャップ５
の外形が小さくなると、接着剤２の表面張力で凹陥部側
端面５ｂに膜ができることがある。上述の実施の形態で
は、凹溝に埋め込ませた接着剤２にキャップ５を押し付
けたり、あるいは沈み込ませる方法を採っているので、
上述したように凹溝５２に埋め込ませた接着剤２にキャ
ップ５を押し付ける手法を採っているので、キャップ５
に接着剤２を付着させるときにキャップ５の凹陥部５ａ
と対応する部位には接着剤２が存在しないから、接着剤
２からなる膜がキャップ５の開口を塞ぐように形成され
ることがない。
の外形が小さくなると、接着剤２の表面張力で凹陥部側
端面５ｂに膜ができることがある。上述の実施の形態で
は、凹溝に埋め込ませた接着剤２にキャップ５を押し付
けたり、あるいは沈み込ませる方法を採っているので、
上述したように凹溝５２に埋め込ませた接着剤２にキャ
ップ５を押し付ける手法を採っているので、キャップ５
に接着剤２を付着させるときにキャップ５の凹陥部５ａ
と対応する部位には接着剤２が存在しないから、接着剤
２からなる膜がキャップ５の開口を塞ぐように形成され
ることがない。
【００８４】また、キャップ５に付着する接着剤２は凹
溝５２の形状と対応する形状になるから、回転テーブル
２４を凹溝５２の溝幅、深さが異なるものに交換するこ
とによって、キャップ５に付着する接着剤２の量を変え
ることができる。また、キャップ５の沈み込み量を制御
することによって、接着剤２の量を変えることもでき
る。
溝５２の形状と対応する形状になるから、回転テーブル
２４を凹溝５２の溝幅、深さが異なるものに交換するこ
とによって、キャップ５に付着する接着剤２の量を変え
ることができる。また、キャップ５の沈み込み量を制御
することによって、接着剤２の量を変えることもでき
る。
【００８５】なお、上述した各実施形態では、円形テー
ブル２４に接着剤２を塗り広げるに当たって円形テーブ
ル２４を回転させる構成を採っているが、円形テーブル
２４を固定としてスキージ２４，５１，５６を回転させ
る構成を採ることもできる。この構成を採る場合には、
接着剤を塗り広げるテーブルを直線状に形成し、スキー
ジをこのテーブル上で往復移動させてもよい。さらに、
上述した各実施形態では、合成樹脂製のキャップを例に
説明したが、セラミック製キャップ、メタル製キャップ
あるいはガラス製透明キャップなどにも幅広く応用でき
る。
ブル２４に接着剤２を塗り広げるに当たって円形テーブ
ル２４を回転させる構成を採っているが、円形テーブル
２４を固定としてスキージ２４，５１，５６を回転させ
る構成を採ることもできる。この構成を採る場合には、
接着剤を塗り広げるテーブルを直線状に形成し、スキー
ジをこのテーブル上で往復移動させてもよい。さらに、
上述した各実施形態では、合成樹脂製のキャップを例に
説明したが、セラミック製キャップ、メタル製キャップ
あるいはガラス製透明キャップなどにも幅広く応用でき
る。
【００８６】
【発明の効果】以上説明したように第１の発明に係る中
空パッケージの製造方法は、接着剤用受け部材に接着剤
を一様な厚さに塗り広げ、接着剤用受け部材にキャップ
の凹陥部側端面を押付けて離間させることにより接着剤
を前記凹陥部側端面の全面に塗布するようにしたため、
接着剤は接着剤用受け部材に塗り広げられた部分の厚み
をもってキャップに付着するから、マスクを使わなくて
もキャップに接着剤を一定量だけ付着させることができ
る。
空パッケージの製造方法は、接着剤用受け部材に接着剤
を一様な厚さに塗り広げ、接着剤用受け部材にキャップ
の凹陥部側端面を押付けて離間させることにより接着剤
を前記凹陥部側端面の全面に塗布するようにしたため、
接着剤は接着剤用受け部材に塗り広げられた部分の厚み
をもってキャップに付着するから、マスクを使わなくて
もキャップに接着剤を一定量だけ付着させることができ
る。
【００８７】したがって、接着剤の量が規定量より少な
くなったり、接着剤の付着位置がずれることがないか
ら、キャップがケースに強固に接着しかつ接着部の気密
性が高い中空パッケージを製造することができる。ま
た、接着剤がマスクからはみ出して外観不良となった
り、チップに付着して電気的特性を劣化させることもな
い。従来のマスク式接着剤塗布方式では、高精度のマス
ク位置合わせ装置、接着剤を半硬化状態にするための加
熱炉、キャップ接着工程へ移送するための容器および搬
送手段、接着工程で再度キャップをハンドリングするた
めのキャップ方向識別装置などが必要であったが、これ
らの装置や工程を削減でき、中空パッケージの製造原価
を大幅に低減できる。
くなったり、接着剤の付着位置がずれることがないか
ら、キャップがケースに強固に接着しかつ接着部の気密
性が高い中空パッケージを製造することができる。ま
た、接着剤がマスクからはみ出して外観不良となった
り、チップに付着して電気的特性を劣化させることもな
い。従来のマスク式接着剤塗布方式では、高精度のマス
ク位置合わせ装置、接着剤を半硬化状態にするための加
熱炉、キャップ接着工程へ移送するための容器および搬
送手段、接着工程で再度キャップをハンドリングするた
めのキャップ方向識別装置などが必要であったが、これ
らの装置や工程を削減でき、中空パッケージの製造原価
を大幅に低減できる。
【００８８】 また、第１の発明に係る中空パッケージ
の製造方法は、前述の中空パッケージの製造方法におい
て、スキージによって接着剤用受け部材上に接着剤を均
一な厚さに塗り広げるものであり、また、スキージを固
定し、接着剤用受け部材を回転させることにより接着剤
を均一な厚さに塗り広げるようにしたため、この方法に
よれば、簡単な装置で正確な厚みに接着剤を塗り広げる
ことができる。したがって、接着剤の厚さを正確に制御
するに当たってコストアップになることがない。
の製造方法は、前述の中空パッケージの製造方法におい
て、スキージによって接着剤用受け部材上に接着剤を均
一な厚さに塗り広げるものであり、また、スキージを固
定し、接着剤用受け部材を回転させることにより接着剤
を均一な厚さに塗り広げるようにしたため、この方法に
よれば、簡単な装置で正確な厚みに接着剤を塗り広げる
ことができる。したがって、接着剤の厚さを正確に制御
するに当たってコストアップになることがない。
【００８９】 第２の発明に係る中空パッケージの製造
方法は、中空パッケージの製造方法において、接着剤塗
布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成
した接着剤用受け部材を用い、この接着剤用受け部材に
スキージによって接着剤を塗り広げることにより前記凹
溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを前記
凹溝内の接着剤に押し付けるため、キャップに接着剤を
付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には
接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップ
の開口側に形成されることがない。
方法は、中空パッケージの製造方法において、接着剤塗
布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成
した接着剤用受け部材を用い、この接着剤用受け部材に
スキージによって接着剤を塗り広げることにより前記凹
溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを前記
凹溝内の接着剤に押し付けるため、キャップに接着剤を
付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には
接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップ
の開口側に形成されることがない。
【００９０】したがって、接着剤からなる膜を除去する
工程を省くことができるから、製造時間の短縮を図るこ
とができる。また、前記膜が形成されないことから、キ
ャップをケースに接着するときに接着剤の余剰分がパッ
ケージ内に流れ込むことがなく、高品質な中空パッケー
ジを製造できる。
工程を省くことができるから、製造時間の短縮を図るこ
とができる。また、前記膜が形成されないことから、キ
ャップをケースに接着するときに接着剤の余剰分がパッ
ケージ内に流れ込むことがなく、高品質な中空パッケー
ジを製造できる。
【００９１】 第３の発明に係る中空パッケージの製造
方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケース
に接着する中空パッケージの製造方法において、キャッ
プ保持手段で前記キャップを保持し、前記キャップを接
着剤に付ける工程と前記キャップを前記ケースに接着す
る工程とを同一のキャップ保持手段で行うようにしたた
め、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けて
ケースに接着できる。したがって、従来の方法を採る場
合に較べて製造工程を大幅に短縮できる。
方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケース
に接着する中空パッケージの製造方法において、キャッ
プ保持手段で前記キャップを保持し、前記キャップを接
着剤に付ける工程と前記キャップを前記ケースに接着す
る工程とを同一のキャップ保持手段で行うようにしたた
め、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けて
ケースに接着できる。したがって、従来の方法を採る場
合に較べて製造工程を大幅に短縮できる。
【００９２】 第４の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部側端部に接着
剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤
を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材
に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前
記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部
材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたた
め、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施
するに当たって自動化を図ることができるから、接着剤
を一定量だけキャップに付着させることができることと
相俟って、高品質な中空パッケージを安価に製造でき
る。
装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部側端部に接着
剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤
を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材
に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前
記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部
材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたた
め、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施
するに当たって自動化を図ることができるから、接着剤
を一定量だけキャップに付着させることができることと
相俟って、高品質な中空パッケージを安価に製造でき
る。
【００９３】また、この中空パッケージ用製造装置は、
キャップに接着剤を付着させるに当たってマスクのよう
なキャップの形状・寸法に依存する部材を使用しなくて
よいから、高密度実装化を達成できる中空パッケージを
製造するために相対的に小径なキャップを使用してもコ
ストが高くなることはない。
キャップに接着剤を付着させるに当たってマスクのよう
なキャップの形状・寸法に依存する部材を使用しなくて
よいから、高密度実装化を達成できる中空パッケージを
製造するために相対的に小径なキャップを使用してもコ
ストが高くなることはない。
【００９４】 第５の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、接着剤用受け部材を前記スキージに対し
て回転する構成とするとともに、前記スキージに前記接
着剤受け部材の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚
み調整機構を設けたため、接着剤を塗り広げるための駆
動系と、接着剤の厚みを調整するための接着剤厚み調整
機構とを分けて構成することができる。
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、接着剤用受け部材を前記スキージに対し
て回転する構成とするとともに、前記スキージに前記接
着剤受け部材の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚
み調整機構を設けたため、接着剤を塗り広げるための駆
動系と、接着剤の厚みを調整するための接着剤厚み調整
機構とを分けて構成することができる。
【００９５】したがって、接着剤を均一な厚みとなるよ
うに接着剤用受け部材に塗り広げる中空パッケージ用製
造装置を、単純な装置を組合わせることによって安価に
製作できる。
うに接着剤用受け部材に塗り広げる中空パッケージ用製
造装置を、単純な装置を組合わせることによって安価に
製作できる。
【００９６】 第６の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの
凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、キャップ保持
手段を、前記凹溝内の接着剤にキャップを押し付ける構
成としたため、第２の発明に係る中空パッケージの製造
方法を実施するに当たって自動化を図ることができるか
ら、接着剤からなる膜がキャップに形成されるのを阻止
して工程数削減を図ることができることと相俟って、高
品質な中空パッケージを安価に製造できる。
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの
凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、キャップ保持
手段を、前記凹溝内の接着剤にキャップを押し付ける構
成としたため、第２の発明に係る中空パッケージの製造
方法を実施するに当たって自動化を図ることができるか
ら、接着剤からなる膜がキャップに形成されるのを阻止
して工程数削減を図ることができることと相俟って、高
品質な中空パッケージを安価に製造できる。
【００９７】また、この中空パッケージ用製造装置は、
接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交
換することによって、キャップに付着する接着剤の量を
キャップの形状・寸法に応じて変えることができるか
ら、製造するパッケージの形状・寸法を変えてもキャッ
プをケースに強固にかつ気密性よく接着できるという効
果もある。
接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交
換することによって、キャップに付着する接着剤の量を
キャップの形状・寸法に応じて変えることができるか
ら、製造するパッケージの形状・寸法を変えてもキャッ
プをケースに強固にかつ気密性よく接着できるという効
果もある。
【００９８】 第７の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、前記スキージに凸部を少なくとも２カ所
設け、凸部の先端が接着剤用受け部材と接触し、その隙
間を一定に保つものであるため、簡単な構成で接着剤を
均一な厚さに塗り広げることができる。 したがって、
接着剤を均一な厚さに制御するに当たってコストアップ
になることがない。
装置は、第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置に
おいて、接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてス
キージを用い、前記スキージに凸部を少なくとも２カ所
設け、凸部の先端が接着剤用受け部材と接触し、その隙
間を一定に保つものであるため、簡単な構成で接着剤を
均一な厚さに塗り広げることができる。 したがって、
接着剤を均一な厚さに制御するに当たってコストアップ
になることがない。
【００９９】 第８の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、第４ないし第７の発明のうち何れか一つの中空
パッケージ用製造装置において、キャップ保持手段を、
キャップを吸着保持する構成とし、このキャップ保持手
段のキャップ吸着部を、ばねによってキャップ押付け側
へ付勢する構成としたため、キャップは、ばねの弾発力
に相当する押圧力をもって接着剤に押し付けられるか
ら、接着剤付着時の荷重を最適な値に設定するに当たっ
て構成が簡単でよい。この点からも本発明に係る中空パ
ッケージ用製造装置を安価に製作することができる。
装置は、第４ないし第７の発明のうち何れか一つの中空
パッケージ用製造装置において、キャップ保持手段を、
キャップを吸着保持する構成とし、このキャップ保持手
段のキャップ吸着部を、ばねによってキャップ押付け側
へ付勢する構成としたため、キャップは、ばねの弾発力
に相当する押圧力をもって接着剤に押し付けられるか
ら、接着剤付着時の荷重を最適な値に設定するに当たっ
て構成が簡単でよい。この点からも本発明に係る中空パ
ッケージ用製造装置を安価に製作することができる。
【０１００】 第９の発明に係る中空パッケージ用製造
装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保
持手段によって前記キャップの凹陥部側端部をケースに
接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャ
ップ保持手段で保持した前記キャップを接着剤に押付け
て離間する手段と、前記キャップ保持手段で保持した前
記キャップを前記ケースに接着する手段を備えたため、
同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケー
スに接着できる。したがって、従来に較べて製造装置を
大幅に削減できる。
装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保
持手段によって前記キャップの凹陥部側端部をケースに
接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャ
ップ保持手段で保持した前記キャップを接着剤に押付け
て離間する手段と、前記キャップ保持手段で保持した前
記キャップを前記ケースに接着する手段を備えたため、
同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケー
スに接着できる。したがって、従来に較べて製造装置を
大幅に削減できる。
【図１】 本発明に係る中空パッケージの製造方法を実
施するに当たり使用する中空パッケージ用製造装置の概
略構成を示す平面図である。
施するに当たり使用する中空パッケージ用製造装置の概
略構成を示す平面図である。
【図２】 中空パッケージ用製造装置の要部の構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】 スキージを示す図である。
【図４】 キャップ移載装置のキャップ吸着部を示す側
面図である。
面図である。
【図５】 キャップをケースに押し付けている状態での
キャップ移載装置のキャップ吸着部の側面図である。
キャップ移載装置のキャップ吸着部の側面図である。
【図６】 中空パッケージ用製造装置の要部の構成を示
す側面図である。
す側面図である。
【図７】 本発明に係る中空パッケージの製造方法を説
明するための図である。
明するための図である。
【図８】 スキージの他の実施の形態を示す図である。
【図９】 凹溝に埋め込んだ接着剤をキャップに付着さ
せる製造方法を説明するための図である。
せる製造方法を説明するための図である。
【図１０】 従来の中空パッケージの製造方法を説明す
るための図である。
るための図である。
２…接着剤、５…キャップ、５ａ…凹陥部、９…ケー
ス、１１…中空パッケージ用製造装置、１４…接着剤塗
布装置、１５…キャップ移載装置、２４…円形テーブ
ル、２５…スキージ、４１…吸着ノズル、５１，５６…
スキージ、５２…凹溝。
ス、１１…中空パッケージ用製造装置、１４…接着剤塗
布装置、１５…キャップ移載装置、２４…円形テーブ
ル、２５…スキージ、４１…吸着ノズル、５１，５６…
スキージ、５２…凹溝。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 建次 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 窪田 勧 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 市川 清治 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 廣川 友明 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 木村 伴昭 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 佐藤 卓 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 田中 潤一 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−48378（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−205344（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 23/02
Claims (9)
- 【請求項１】 凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に
接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、 スキージを固定し、接着剤用受け部材を回転させること
により接着剤用受け部材上に接着剤を一様な厚さに塗り
広げ、 前記接着剤用受け部材に前記キャップの凹陥部端面を押
付け、しかる後に当該キャップを前記接着剤用受け部材
から離間させることにより前記キャップの凹陥部端面に
一様な厚さの接着剤を付けるようにしたことを特徴とす
る中空パッケージの製造方法。 - 【請求項２】 凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に
接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、 接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹
陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、こ
の接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広
げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込ませ、 しかる後、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付け付
けて離間させることにより接着剤を付けるようにしたこ
とを特徴とする中空パッケージの製造方法。 - 【請求項３】 凹陥部を有するキャップの凹陥部端面を
ケースに接着する中空パッケージの製造方法において、 キャップ保持手段で前記キャップを保持し、前記キャッ
プを接着剤に付ける工程と前記キャップを前記ケースに
接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うように
したことを特徴とする中空パッケージの製造方法。 - 【請求項４】 凹陥部を有するキャップの凹陥部側端部
に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、 接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受
け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段
と、 前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け
部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたこ
とを特徴とする中空パッケージ用製造装置。 - 【請求項５】 請求項４記載の中空パッケージ用製造装
置において、 接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてスキージを
用い、接着剤用受け部材を前記スキージに対して回転す
る構成とするとともに、前記スキージに前記接着剤受け
部材の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚み調整機
構を設けたことを特徴とする中空パッケージ用製造装
置。 - 【請求項６】 請求項４記載の中空パッケージ用製造装
置において、 接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端
面と略同じ形状の凹溝を形成し、 キャップ保持手段を、前記凹溝内の接着剤にキャップを
押し付ける構成としたことを特徴とする中空パッケージ
用製造装置。 - 【請求項７】 請求項４記載の中空パッケージ用製造装
置において、 接着剤を均一な厚さに塗り広げる手段としてスキージを
用い、前記スキージに凸部を少なくとも２カ所設け、凸
部の先端が接着剤用受け部材と接触し、その隙間を一定
に保つことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。 - 【請求項８】 請求項４ないし請求項７のうち何れか一
つの中空パッケージ用製造装置において、 キャップ保持手段を、キャップを吸着保持する構成と
し、 このキャップ保持手段のキャップ吸着部を、ばねによっ
てキャップ押付け側へ付勢する構成としたことを特徴と
する中空パッケージ用製造装置。 - 【請求項９】 凹陥部を有するキャップを保持するキャ
ップ保持手段によって前記キャップの凹陥部側端部をケ
ースに接着する中空パッケージ用製造装置において、 前記キャップ保持手段で保持した前記キャップを接着剤
に押付けて離間する手段と、 前記キャップ保持手段で保持した前記キャップを前記ケ
ースに接着する手段を備えたことを特徴とする中空パッ
ケージ用製造装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8073930A JP2970525B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 中空パッケージの製造方法および中空パッケージ用製造装置 |
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