KR20110014118A - 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템 - Google Patents

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KR20110014118A
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데츠야 모치즈키
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
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    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

본 발명은 밸브체의 사이즈가 커져도 기밀성이 잘 저하하지 않는 게이트 밸브를 제공한다. 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부(61a)의 주위에 가압되는 밸브체(62)와, 밸브체(62)의 면내에 개구부(61a를 따라 마련된 가압부(69)와, 개구부(61a)의 개구면(64)에 대해 평행한 방향으로 슬라이드하는 메인 슬라이더(66)와, 메인 슬라이더(66)에 마련되고, 가압부(69)를 가압하는 가압 기구(63)를 구비하고, 가압 기구(63)는 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 가압하는 돌기부(67)와, 돌기부(67)로부터 아래방향으로 경사지는 경사부(68)를 포함한 캠으로 구성되고, 가압 기구(63)가, 밸브체(62)를 개구부(61a)에 정면으로 마주보게 한 상태에서, 개구부(61a)의 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A로 압출하고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 가압한다.

Description

게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템 {GATE VALVE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM USING SAME}
본 발명은 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템에 관한 것이다．
태양 전지나 액정 디스플레이(LCD)로 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등의 제조 과정에 있어서는 대형의 유리 기판에 에칭 혹은 성막 등의 소정의 처리를 실시한다. 이와 같은 처리를 실시하는 기판 처리 시스템으로서는 복수의 처리실을 구비한 멀티 챔버 타입의 기판 처리 시스템이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1).
이와 같은 멀티 챔버 타입의 기판 처리 시스템은 기판(피처리체)을 반송하는 반송 장치가 마련된 공통 반송실을 갖고, 이 공통 반송실의 주위에, 처리실이나, 공통 반송실과 대기압 분위기의 사이에서 미처리의 기판과 처리후의 기판을 교환하는 로드록실 등을 구비하고 있다. 이들 공통 반송실, 처리실 및 로드록실은 진공 장치이며, 이들 진공 장치는 배기 기구를 이용해서 배기함으로써 내부가 소정의 감압 상태하로 된다.
진공 장치는 기밀하게 구성된 용기 본체를 구비하고, 이 용기 본체에는 피처리체를 반입 및 반출하기 위한 개구부가 마련되어 있다. 개구부는 게이트 밸브를 이용해서 개폐된다. 개구부를 게이트 밸브에 의해 닫으면, 용기 본체의 내부는 기밀하게 밀폐(seal)되고, 용기 본체의 내부의 압력을 소정의 프로세스 압력까지 감압하거나, 대기 상태와 감압 상태의 상호간에서 변환하는 것이 가능하게 되어 있다. 게이트 밸브의 구조 예는 상기 특허문헌 1에 기재되어 있다.
상기 특허문헌 1에 기재되는 게이트 밸브에서는 유압 실린더에 의해서 승강하는 판형상의 게이트 베이스를 마련하고, 게이트 베이스와 밸브체의 양 측면을 링크에 의해 회전운동 자유롭게 연결하여, 밸브체의 지지 및 가압을 실행하고 있다. 이와 같은 링크기구를 이용한 게이트 밸브는 링크가 밸브체에 대해 비스듬한 상태일 때, 밸브체를 개구부 주위로부터 떼어놓고, 링크가 밸브체에 대해 수평인 상태일 때, 밸브체를 압출해서 밸브체를 개구부 주위에 밀착시킨다.
일본국 특허공개공보 평성 5-196150호
근래, 피처리체의 대형화 혹은 피처리체를 동시에 복수개 처리하는 일괄 처리가 진행되고 있고, 용기 본체에 마련된 피처리체를 반입 및 반출하기 위한 개구부의 사이즈가 커지고 있다. 개구부의 사이즈가 커짐에 따라 밸브체의 사이즈도 커지고, 그것에 수반하여 밸브체의 중량도 증가하는 경향에 있다.
특허문헌 1에 기재된 링크 기구를 이용하는 게이트 밸브에 있어서는 밸브체의 중량이 증가하면 링크에 의해 밸브체를 유지하는 것이 곤란하게 된다. 또한, 밸브체를 양 측면으로부터 가압하게 되기 때문에, 개구부의 사이즈가 커지는 것에 의해, 밸브체의 상부 및 하부에 대한 가압이 부족하다는 염려가 있다. 또한, 가압방향에 대해 반대측의 압력이 높은 상태(역압 상태)에 있어서는 링크 기구가 수평상태에서 약간이라도 어긋나 버리면, 밸브체와 개구부 주위의 사이에서 누설이 발생하여, 게이트 밸브의 기밀성이 저하하기 쉽다고 하는 문제가 있다.
이러한 문제점들은 개구부가 클수록, 즉 밸브체가 클수록 현저해지고 있다. 밸브체가 클수록, 역압 상태에서 받는 압력이 크고, 밸브체를 되누르려고 하는 힘이 강하고, 또한 밸브체의 휘어지는 정도도 커지기 때문이다.
본 발명은 밸브체의 사이즈가 커져도 기밀성이 저하되기 어려운 게이트 밸브, 및 이 게이트 밸브를 이용한 기판 처리 시스템을 제공한다.
본 발명의 제 1 형태에 따른 게이트 밸브는 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부의 주위에 가압되는 밸브체와, 상기 밸브체의 면내에 상기 개구부를 따라 마련된 가압부와, 상기 개구부의 개구면에 대해 평행한 방향으로 슬라이드하는 메인 슬라이더와, 상기 메인 슬라이더에 마련되고 상기 가압부를 가압하는 가압 기구를 구비하고, 상기 가압 기구는 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위에 가압하는 돌기부와, 상기 돌기부로부터 아래방향으로 경사지는 경사부를 포함한 캠으로 구성되고, 상기 가압 기구가 상기 밸브체를, 상기 개구부에 정면으로 마주보게 한 상태에서, 상기 개구부의 개구면에 대해 수직인 방향으로 압출하고, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위에 가압한다.
본 발명의 제 2 형태에 따른 기판 처리 시스템은, 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 갖고, 진공 상태 하에서 상기 피처리체에 처리를 실시하는 처리실과, 상기 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 갖고, 대기 상태 하 및 진공 상태 하에서, 처리전 및 처리후의 피처리체를 교환하는 로드록실과, 상기 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 갖고, 진공 상태 하에서 상기 로드록실과 상기 처리실의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송실을 구비한 기판 처리 시스템으로서, 상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실중 적어도 어느 하나의, 상기 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에, 상기 제 1 형태에 따른 게이트 밸브가 이용된다.
본 발명에 따르면, 밸브체의 사이즈가 커져도 기밀성이 잘 저하하지 않는 게이트 밸브 및 이 게이트 밸브를 이용한 기판 처리 시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 일실시형태에 따른 게이트 밸브가 이용된 기판 처리 시스템의 일예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2 및 도 3은 제 1 실시형태에 따른 게이트 밸브의 가압 기구의 일예를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 4 및 도 5는 제 2 실시형태에 따른 게이트 밸브의 이탈 기구의 일예를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 6 및 도 8은 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브의 일예를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 9a 내지 도 9c는 가압부의 배치예를 나타내는 도면이다.
도 10은 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브의 일예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 10 중의 화살표 11의 방향에서 본 정면도이다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 게이트 밸브의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조해서 설명한다. 참조하는 도면 전체에 걸쳐, 동일 부분에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙인다.
본 설명에 있어서는 피처리체의 일예로서 태양 전지나 FPD의 제조에 이용되는 대형 유리 기판을 들고, 이 유리 기판에 대해 소정의 처리, 예를 들면, 에칭 혹은 성막 등을 실시하는 기판 처리 시스템을 예시하면서 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 게이트 밸브가 이용된 기판 처리 시스템을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 기판 처리 시스템(1)은 기판 G에 처리를 실시하는 처리실, 본 예에 있어서는 복수의 처리실(10a, 10b)과, 처리전 및 처리후의 기판 G를 교환하는 로드록실(20)과, 로드록실(20)과 처리실(10a, 10b), 및 처리실(10a)과 처리실(10b)의 사이에서 기판 G를 반송하는 공통 반송실(30)과, 공통 반송실(30)에 마련되고 기판 G를 반송하는 반송 장치(40)를 구비하고 있다.
본 예에 있어서는 처리실(10a, 10b), 로드록실(20) 및 공통 반송실(30)은 진공 장치이며, 각각 기판 G를 소정의 감압 상태 하에 두는 것이 가능한, 기밀하게 구성된 용기 본체(50a, 50b, 50d, 50c)를 구비하고 있다. 용기 본체(50a, 50b, 50c, 50d)에는 기판 G가 반입 및 반출되는 개구부(51a, 51b, 51c, 51d)가 마련되어 있다.
처리실(10a, 10b)의 용기 본체(50a, 50b)에 마련된 개구부(51a, 51b)는 게이트 밸브실(60)을 거쳐서 공통 반송실(30)의 용기 본체(50c)에 마련된 개구부(51c)에 접속된다. 마찬가지로, 로드록실(20)의 용기 본체(50d)에 마련된 개구부(51d)는 게이트 밸브실(60)을 거쳐서 공통 반송실(30)의 용기 본체(50c)에 마련된 개구부(51c)에 접속되어 있다.
본 예의 게이트 밸브실(60)은 개구부(51a, 51b, 51c, 51d)와 연통되고, 기판 G를 통과시키는 개구부(61a, 61b, 61c, 61d)를 가지며, 게이트 밸브실(60)의 내부에는 게이트 밸브의 밸브체(62)가 수용되어 있다. 개구부(61a, 61b, 61d)는 밸브체(62)에 의해 개폐된다. 본 예에서는 밸브체(62)는 게이트 밸브실(60)에 마련된 처리실측 또는 로드록실측의 개구부(61a, 61b, 61d)의 주위에 밀착하고, 용기 본체(50a, 50b, 50c, 50d)를 기밀하게 밀봉하도록 구성되어 있다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니며, 밸브체(62)가, 공통 반송실(30)측에 마련된 개구부(61c)의 주위에 밀착함으로써, 용기 본체(50a, 50b, 50c, 50d)를 기밀하게 밀봉하도록 해도 좋다.
또한, 로드록실(20)은 대기측, 즉 기판 처리 시스템(1)의 외부로 개방되는 개구부(51e)를 갖고 있다. 외부로 개방되는 개구부(51e)는 처리전의 기판 G의 로드(load), 처리후의 기판 G의 반출(unload)에 사용되며, 대기 상태 하에 개방된 밸브체(62)에 의해 개폐된다.
다음에, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 게이트 밸브를, 개개의 요소에 대해서 구체적으로 설명한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 게이트 밸브의 밸브체 가압 기구의 일예를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 이 측면은 도 1 중의 화살표 Ⅱ로 나타내는 방향에서 본 것이며, 처리실(10a)과 공통 반송실(30)의 사이에 마련한 게이트 밸브를 예로 들어 상세하게 기술한다. 또한, 도 2는 밸브체를 개구면에 정면으로 마주보게 한 상태(밸브체가 가압으로부터 해방된 상태), 도 3은 게이트 밸브가 닫힌 상태(밸브체가 가압된 상태)를 나타낸다.
도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 제 1 실시형태에 따른 게이트 밸브(6A)는 기판 G가 반입 및 반출되는 처리실(10a)측의 개구부(61a)의 주위에 가압되는 밸브체(62)와, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 대해 가압하는 가압 기구(63)를 구비하고 있다.
가압 기구(63)는 밸브체(62)를 개구부(61a)에 정면으로 마주보게 한 상태(도 2 참조)에서, 개구부(61a)의 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A로 압출하고(도 3 참조), 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 가압한다.
게이트 밸브(6A)는 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B로 슬라이드(slide), 본 예에서는 상하방향으로 가동하는 메인 슬라이더(66)를 구비하고, 이 메인 슬라이더(66)에 가압 기구(63)가 마련되어 있다. 가압 기구(63)는 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 가압하는 돌기부(67)와, 돌기부(67)로부터 아래방향으로 경사지는 경사부(68)를 포함한 캠(cam)으로 구성되어 있다.
밸브체(62)에는 가압 기구(63)에 의해 가압되는 가압부(69)가 마련되어 있다. 가압부(69)는 가압 기구(63)에 접촉하는 롤러(roller)(70)를 갖고 있다. 롤러(70)는 가압 기구(63)의 슬라이드, 본 예에서는 상하방향으로의 가동에 따라, 돌기부(67)와 경사부(68)의 사이를 돌기부(67)의 표면 및 경사부(68)의 표면을 따라 구른다.
롤러(70)가 경사부(68)와 접촉하고 있을 때에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 밸브체(62)는 개구부(61a)의 주위로부터 떨어진 상태에 있고, 롤러(70)가 돌기부(67)와 접촉하고 있을 때에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 돌기부(67)가 롤러(70)를 방향 A를 따라 가압하고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 가압한 상태에 있다. 또, 개구부(61a)의 주위에는 도시하지 않은 밀봉(seal) 부재, 예를 들면, O링이 마련되어 있어, 기밀성을 높이고 있다.
가압부(69)는 도 9a에 나타내는 바와 같이, 개구부(61a)의 주위를 따라 밸브체(62)의 면내에 배치된다. 이것에 의해, 밸브체(62)를 그 측부 뿐만 아니라, 상부 및 하부도 가압할 수 있다.
다음에, 밸브체(62)의 이탈 기구(밸브체 되돌림 기구) 및 수직 누름 기구(유지 가이드 기구)에 관해 설명한다.
링크기구를 이용한 게이트 밸브는 밸브체의 이탈 기구 즉, 밸브체가 닫힌 상태(가압된 상태)에서 열린 상태(가압에서 해방된 상태)로 되돌리는 기구로서 인장 스프링을 이용하고 있다. 즉, 게이트 밸브가 닫힌 상태에 있을 때에는 인장 스프링을 신장시켜 인장력을 걸어 두고, 밸브체를 기대(base)로 되돌릴 수 있는 상태로 하고 있다. 게이트 밸브를 열 때에는 인장 스프링이 축퇴(縮退) 함으로써 밸브체를 기대로 되돌린다.
이와 같이, 밸브체의 이탈 기구에는 인장 스프링이 이용되고 있고, 게이트 밸브를 닫은 상태에 있어서는 항상 인장 스프링에 인장력을 작용시켜 둔다. 이 때문에, 인장 스프링이 열화해서 끊어져 버릴 가능성이 있다.
따라서, 제 2 실시형태에 따른 게이트 밸브에 있어서는 이하에 설명하는 바와 같이 고안하였다.
도 4 및 도 5는 제 2 실시형태에 따른 게이트 밸브의 밸브체 되돌림 기구의 일예를 발췌해서 개략적으로 나타내는 측면도이다. 이 측면은 도 2 및 도 3과 마찬가지로, 도 1 중의 화살표 Ⅱ로 나타내는 방향에서 본 것이다. 또한, 도 4는 게이트 밸브가 닫힌 상태, 도 5는 밸브체를 개구면에 정면으로 마주보게 한 상태(밸브체가 가압에서 해방된 상태)를 나타낸다.
도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 게이트 밸브(6B)는 도 2 및 도 3에 나타낸 게이트 밸브(6A)에 비해, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위로부터 이탈시키는 이탈 기구(80)를 더 구비하고 있다. 이탈 기구(80)는 밸브체(62)가 닫힌 상태에서 축퇴 상태로 되는 신축 가능한 신축체(81), 구체적인 일예는 압축 스프링을 갖고 있다.
신축체(81)는 밸브체(62)가 개구부(61a)의 주위에 가압되어 있을 때에는 도 4에 나타내는 바와 같이 축퇴하고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위로부터 이탈시킬 때에는 도 5에 나타내는 바와 같이 신장해서 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위로부터 이탈시킨다.
구체적인 일예로서는 게이트 밸브(6B)는 밸브체(62)와 메인 슬라이더(66)의 사이에 배치되고, 개구부(61a)의 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B로 슬라이드하는 서브 슬라이더(82)를 구비하고, 이 서브 슬라이더(82)에 이탈 기구(80)가 마련되어 있다.
또한, 서브 슬라이더(82)에는 밸브체(62)를 유지하는 동시에, 밸브체(62)의 가압방향 및 밸브체(62)의 이탈방향을 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A로 규정하는 유지 가이드 기구(83)가 마련되어 있다. 유지 가이드 기구(83)의 일예로서는 서브 슬라이더(82)에 마련되고, 방향 A를 따라 개구된 안내 개구(84)와, 이 안내 개구(84)를 관통하고, 밸브체(62)에 부착되는 샤프트(shaft)(85)를 포함해서 구성할 수 있다. 샤프트(85)는 안내 개구(84)를 따라 전후로 움직이므로, 밸브체(62)가 이동하는 방향을 방향 A로 규정할 수 있다.
또한, 샤프트(85)의 밸브체(62)와 반대측의 선단에는 플랜지(flange)부(86)가 마련되어 있다. 본 예에서는 신축체(81)가, 서브 슬라이더(82)의 메인 슬라이더(66)에 대향하는 상대면(87)과 이 상대면(87)과 평행하게 마련된 플랜지부(86)의 사이에 배치되어 있다.
플랜지부(86)는 밸브체(62)가 개구부(61a)의 주위에 가압되었을 때에는 도 4에 나타내는 바와 같이 신축체(81)를 압축하고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위로부터 이탈시킬 때에는 도 5에 나타내는 바와 같이 압축된 신축체(81)로부터 신장력을 받고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위로부터 이탈시킨다.
또, 이탈 기구(80)는 신축체(81)가 신장 상태로 되었을 때에, 플랜지부(86)가 메인 슬라이더(66)에 접촉하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에 있어서는 메인 슬라이더(66)에 도시하지 않은 개구부를 마련하고, 이탈 기구(80)의 신축체(81)가 신장 상태로 되었을 때에, 플랜지부(86)가 메인 슬라이더(66)에 접촉하지 않도록 하고 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 유지 가이드 기구(83)에 이탈 기구(80)를 부착하는 예를 나타냈지만, 유지 가이드 기구(83)와 이탈 기구(80)를 따로따로 마련하도록 해도 좋다.
다음에, 밸브체(62)의 후퇴 기구를 포함시킨 전체적인 구성 및 동작을 상세하게 기술한다.
밸브체(62)가 개구부(61a)의 주위로부터 이탈한 후, 밸브체(62)는 기판 G를 반입 및 반출할 수 있도록, 개구부(61a)의 정면으로부터 후퇴된다. 예를 들면, 밸브체(62)는 개구부(61a)에 대해, 상 또는 하, 또는 우 또는 좌로 후퇴된다. 본 실시형태에 있어서는 밸브체(62)는 개구부(61a)에 대해 위로 후퇴된다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브의 일예를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 이 측면은 도 2 및 도 3과 마찬가지로, 예를 들면, 도 1 중의 화살표 Ⅱ로 나타내는 방향에서 본 것이다. 또한, 도 6은 게이트 밸브가 닫힌 상태, 도 7은 밸브체를 개구면에 정면으로 마주보게 한 상태(밸브체가 가압에서 해방된 상태), 도 8은 게이트 밸브가 열린 상태(밸브체가 후퇴한 상태)를 나타낸다. 또한, 도 10은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브의 일예를 개략적으로 나타내는 평면도, 도 11은 도 10 중의 화살표 11로 나타내는 방향(공통 반송실(30)측에서 처리실(10a)을 향하는 방향)에서 본 정면도이다. 단, 도 10에 있어서는 밸브체(62)의 상부(및 하부)의 중앙부에 배치되는 가압부(69) 및 그것에 대응하는 가압 기구(63)의 도시는 생략하고 있다.
도 6 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브(6C)는 개구부(61a)의 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B로의 서브 슬라이더(82)의 슬라이드를 정지시키는 멈춤부(stopper)(90)를 구비하고 있다. 멈춤부(90)는, 예를 들면, 게이트 밸브실(60)의 바닥벽(91)에 마련된다.
또한, 도 6 내지 도 8에 나타내는 게이트 밸브(6C)에서는 메인 슬라이더(66)가, 서브 슬라이더(82)를 거는 걸기부(92)를 갖고 있다. 걸기부(92)는, 예를 들면, 돌기부이며, 이 돌기부는 서브 슬라이더(82)에 마련된 개구(93)의 내부에 위치된다.
또한, 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 메인 슬라이더(66)는 서브 슬라이더(82)와 대향하는 상대면(107)측에, 메인 슬라이더(66)를 서브 슬라이더(82)에 대해 슬라이드, 본 예에서는 상하 가동시키는 수직 가이드 기구(101)를 구비하고, 이 수직 가이드 기구(101)를 거쳐서, 서브 슬라이더(82)와 메인 슬라이더(66)가 연결되어 있다. 또, 수직 가이드 기구(101)는 도 6 내지 도 8에 있어서는 도시를 생략하고 있다. 수직 가이드 기구(101)의 일예로서는 서브 슬라이더(82)의 메인 슬라이더(66)와 대향하는 상대면(87)에 마련되고, 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B에 마련된 가이드 레일(guide rail)(102)과, 메인 슬라이더(66)의 서브 슬라이더(82)와 대향하는 상대면(107)에 부착된 연결 부재(103)를 포함해서 구성할 수 있다. 가이드 레일(102)과 연결 부재(103)에 의해, 메인 슬라이더(66)는 서브 슬라이더(82)와 연결된 채, 서브 슬라이더(82)에 대해 슬라이드할 수 있다.
또한, 게이트 밸브(6C)는 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 메인 슬라이더(66)를 슬라이드, 본 예에서는 상하방향으로 가동시키는 수직 가이드 기구(110)를 구비하고 있다. 또, 수직 가이드 기구(110)는 도 6 내지 도 8에 있어서는 도시를 생략하고 있다. 수직 가이드 기구(110)는 메인 슬라이더(66)를, 개구부(61a)의 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B를 따라 상하방향으로 가동시킨다. 수직 가이드 기구(110)는 수직 가이드 기구(101)와 마찬가지로 구성할 수 있다. 즉, 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 게이트 밸브실(60)의 내벽에, 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B에 마련된 가이드 레일(104)과, 메인 슬라이더(66)에 부착된 연결 부재(105)를 포함해서 구성할 수 있다. 또한, 수직 가이드 기구(101) 및 수직 가이드 기구(110)은 제 1 및 제 2 실시형태에도 적용할 수 있다.
또한, 게이트 밸브(6C)는 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 메인 슬라이더(66)를 구동, 본 예에서는 상하방향으로 가동시키는 구동 기구(120)를 구비하고 있다. 구동 기구(120)로서는, 예를 들면, 에어(air) 실린더 혹은 유압 실린더 등으로 구성할 수 있다. 구동 기구(120)는 접속 이음매(121)를 거쳐서 메인 슬라이더(66)에 연결되어 있다. 메인 슬라이더(66)는 수직 가이드 기구(110)에 의해서 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B를 따라 안내되면서, 구동 기구(120)에 의해서 상하방향으로 가동된다. 또, 구동 기구(120) 및 접속 이음매(121)는 도 6 내지 도 8에 있어서는 도시를 생략하고 있다.
다음에, 본 발명의 상기 실시형태에 따른 게이트 밸브의 동작을 도 6 내지 도 8을 이용해서 상세하게 기술한다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 게이트 밸브(6C)가 열린 상태(밸브체(62)가 개구부(61a)의 정면으로부터 후퇴한 상태)에 있어서는 메인 슬라이더(66)에 마련한 걸기부(92)에 의해 서브 슬라이더(82)가 지지되어 있다. 또, 밸브체(62)는 상술한 바와 같이, 서브 슬라이더(82)에 마련된 유지 가이드 기구(83)에 의해 지지되어 있다. 구동 기구(120) 및 메인 슬라이더(66)에 마련된 수직 가이드 기구(110)에 의해, 메인 슬라이더(66)는 서브 슬라이더(82)를 지지한 채, 개구면(64)에 대해 평행한 방향 B를 따라 하강한다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 밸브체(62)가 개구부(61a)와 정면으로 마주보는 위치까지 메인 슬라이더(66)가 하강하면, 서브 슬라이더(82)의 하강은 멈춤부(90)에 의해 정지되고, 밸브체(62)도 정지한다. 서브 슬라이더(82)의 하강이 정지된 후, 수직 가이드 기구(101)에 의해, 메인 슬라이더(66)만이 수직 가이드 기구(110)를 따라 더욱 하강한다. 이것에 의해, 가압 기구(63)의 돌기부(67)가 경사부(68) 대신에, 가압부(69)를 거쳐서 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 가압한다. 이 때, 밸브체(62)는 유지 가이드 기구(83)에 의해, 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A를 따라 가압되고, 밸브체(62)가 개구면(64)에 대해 어긋나는 일 없이 게이트 밸브가 닫힌 상태(도 6 참조)가 된다.
다음에, 이 상태에서 게이트 밸브가 열린 상태(도 8을 참조)로 전환하기 위해서는 우선, 구동 기구(120)에 의해 메인 슬라이더(66)를 상승시킨다. 메인 슬라이더(66)가 상승하면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 롤러(70)는 돌기부(67)로부터 경사부(68)로 구르고, 신축체(81)가 밸브체(62)를 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A를 따라 잡아 당김으로써, 밸브체(62)가 서브 슬라이더(82)로 끌어 당겨지고, 개구부(61a)의 주위로부터 이탈된다.
메인 슬라이더(66)가 더욱 상승하면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 걸기부(92)가 서브 슬라이더(82)의 개구(93)의 가장자리에 맞닿는다. 또한, 메인 슬라이더(66)를 상승시키면, 걸기부(92)가 멈춤부(90)에 의해 정지되어 있던 서브 슬라이더(82)의 개구(93)를 걸어, 서브 슬라이더(82) 및 밸브체(62)를 상승시킨다. 이것에 의해, 밸브체(62)는 도 8에 나타내는 바와 같이, 개구부(61a)의 정면으로부터 후퇴, 즉 개구부(61a)의 위쪽으로 후퇴시킬 수 있고, 개구부(61a)를 거친 기판 G의 반입 및 반출이 가능하게 된다.
상기 설명으로부터도 명확한 바와 같이, 본 발명의 실시형태에 따른게이트 밸브에 의하면, 메인 슬라이더(66)에 마련된 가압 기구(63)가, 밸브체(62)를 개구부(61a)에 정면으로 마주보게 한 상태에서, 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A로 압출하고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위에 균일하게 가압할 수 있다. 또한, 메인 슬라이더(66)는 가이드 기구(110)를 거쳐서 게이트 밸브실(60)의 내벽에 연결되어 있고, 메인 슬라이더(66)는 개구면(64)에 대해 수직인 방향 A에 있어서, 게이트 밸브실(60)의 내벽에 지지되게 된다. 이 때문에, 예를 들면, 처리실(10a)에서 공통 반송실(30)의 압력보다도 높은 압력으로 처리를 실행하는 경우나, 처리실(10a)을 유지보수를 하기위해 처리실(10a)를 분리한 경우 등에 의해, 밸브체(62)에 역압이 걸린 경우에 있어서도, 가압 기구(63)는 밸브체(62)의 가압부(69)를 수직인 방향 A로 계속해서 가압한다. 또한, 가압 기구(63)는 슬라이드, 본 예에서는 상하방향으로 가동될 뿐, 비스듬히 움직이는 일은 없다. 즉, 가압 기구(63)는 역압을 받아도 비스듬히 움직이는 일은 없고, 가압부(69)를 방향 A에 균일하게 계속해서 가압할 뿐이다. 이 때문에, 밸브체(62)가 역압을 받았을 때, 특히 밸브체(62)의 사이즈가 커지고, 큰 역압을 받았을 때에도, 밸브체(62)가 개구부(61a)의 주위로부터 멀어지기 어렵게 할 수 있으며, 밸브체의 사이즈가 커져도 기밀성이 잘 저하하지 않는 게이트 밸브, 및 이 게이트 밸브를 이용한 기판 처리 시스템을 얻을 수 있다.
또한, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 게이트 밸브에 있어서는 게이트 밸브가 닫힌 상태를 유지하기 위해서는 유압 실린더를 계속해서 작동할 필요가 있다. 그러나, 본 발명의 게이트 밸브의 가압 기구(63)는 캠에 의해 밸브체(62)를 가압하는 구성으로 하고 있으므로, 게이트 밸브가 닫힌 상태를 유지하는데 별도의 구동력을 필요로 하지 않는다. 따라서, 유지보수등에 의해, 구동용의 에어나 전력이 정지한 상태에서도, 게이트 밸브가 닫힌 상태를 유지할 수 있다.
또한, 링크 기구를 이용하는 게이트 밸브에 있어서는 밸브체의 양 측면에 마련한 링크(link)에 의해 밸브체를 지지하기 때문에, 밸브체의 중량이 증가하면, 밸브체의 중량을 견딜 수 없어 링크가 변형되어 버리는 것이 염려된다. 그러나, 본 발명의 실시형태에 따른 게이트 밸브에 의하면, 밸브체(62)는 서브 슬라이더(82)에 마련된 유지 가이드 기구(83)에 의해 지지되어 있고, 유지 가이드 기구(83)는 서브 슬라이더(82)의 어느 개소에도 마련할 수 있다. 예를 들면, 서브 슬라이더(82)의 중앙부에도 마련할 수 있고, 다수의 유지 가이드 기구(83)를 마련할 수 있다. 또한, 서브 슬라이더(82)를 유지하고, 메인 슬라이더(66)에 마련된 걸기부(92)도 마찬가지로, 서브 슬라이더(82)의 개구(93)에 대응한 개소이면, 메인 슬라이더(66)의 어떠한 개소에도 마련할 수 있다. 따라서, 밸브체(62)의 사이즈가 커져 중량이 증가해도, 밸브체(62)를 지지할 수 있으며, 밸브체(62)의 사이즈의 대형화에 대응할 수 있다.
또한, 서브 슬라이더(82)에 유지 가이드 기구(83)를 마련하는 것에 의해, 정확하게 밸브체(62)를 개구면(64)에 대해 수직으로 꽉 누를 수 있다. 또한, 서브 슬라이더(82)는 수직 가이드 기구(101)를 거쳐서 메인 슬라이더(66)와 연결되어 있기 때문에, 서브 슬라이더(82)가 개구면(64)에 대해 비스듬히 어긋나는 일은 없다. 상기 구성으로부터, 기밀성이 더욱 저하하기 어려운 게이트 밸브, 및 이 게이트 밸브를 이용한 기판 처리 시스템을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 실시형태에 따른 게이트 밸브에 의하면, 이탈 기구(80)에 신장 상태가 안정하게 되는 신축체(81)를 이용하고, 게이트 밸브를 닫은 상태에 있어서, 신축체(81)에 압축력을 작용시켜 둘 수 있다. 이것에 의해, 게이트 밸브를 닫은 상태에 있어서 항상 신축체에 인장력을 작용시켜 두는 경우에 비해, 신축체가 끊어져 버리는 사정을 해소할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 기판의 처리 중에 신축체가 끊기고, 밸브체(62)를 개구부(61a)의 주위로부터 이탈시킬 수 없게 되는 바와 같은 불합리를 해소할 수 있는 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템을 얻을 수 있다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 게이트 밸브의 단면도이다. 도 12a에 나타내는 단면은 도 12b 중의 12A-12A선을 따른 종단면을 나타내고 있고, 도 12b에 나타내는 단면은 도 12a 중의 12B-12B선을 따른 횡단면을 나타내고 있다. 또한, 도 12a 및 도 12b에 나타내는 제 4 실시형태에 있어서는 서브 슬라이더(82)를 생략하여 예시하고 있지만, 서브 슬라이더(82)를 구비하고 있는 경우에 있어서도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
도 12a 및 도 12b에 나타내는 바와 같이, 가압 기구(63)에 의해서 개구면(64)에 가압되는 밸브체(62)의 주위에는 밀봉부재(130)가 부착되는 것이 일반적이다. 밀봉부재(130)가 개구면(64)에 가압됨으로써, 개구(61a)는 밀봉된다. 밀봉부재(130)의 예는 O링이다. 처리 중에는 개구부(61a)로부터 밸브체(62)에 대해 역압이 걸리는 경우가 있다. 이와 같은 역압은 밸브체(62) 자체의 강성과 메인 슬라이더(66)로부터의 가압 기구(63)에 의한 가압력으로 되누르고, 밀봉부재(130)를 개구면(64)에 밀착시킴으로써, 기밀성을 유지할 수 있다.
또한, 제 1 내지 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브에 있어서는 메인 슬라이더(66)의 후측에, 예를 들면, 가이드 레일(104)이 배치되고, 이 가이드 레일(104)에 메인 슬라이더(66)에 부착된 연결 부재(105)가 슬라이드 가능한 상태로 연결된다. 이와 같은 가이드 레일(104)은 개구부(61a)의 측부를 따라 배치되어 있다. 이 때문에, 밸브체(62)로부터 메인 슬라이더(66)에 역압이 걸렸을 때, 메인 슬라이더(66)로부터의 역압을 받는 부분으로서 기능하고, 개구(61a)의 측부를 따른 메인 슬라이더(66)의 탄성 변형을 규제하는 역할을 한다.
한편, 상술한 게이트 밸브는 대형화에 유리한 구성을 갖추고 있다. 따라서, 예를 들면, 개구(61a)의 1변이 미터 수치, 예를 들면, 수 미터×수 미터의 크기를 갖고 있어도 대응 가능한 구성이다. 개구(61a)의 1변이 미터 수치인 경우에는 밸브체(62)의 1변의 크기도 미터 수치로 된다.
이와 같이, 큰 밸브체(62)로 되면, 받는 역압도 훨씬 큰 것으로 된다. 큰 역압을 받은 밸브체(62)는 메인 슬라이더(66)에, 개구부(61a)의 상부, 하부를 따라 변형시키는 힘을 가한다. 그 결과, 메인 슬라이더(66)는 탄성 변형을 일으킨다.
역압을 받은 밸브체(62)의 변형이 가령 약간이었다고 해도, 밸브체(62)의 1변이, 예를 들면, 미터 수치의 크기를 갖는 경우에는 개구(61a) 상부의 중앙 부분 및 개구(61a) 하부의 중앙 부분에 있어서의 변형은 매우 큰 것으로 된다.
그러나, 제 1 내지 제 3 실시형태에 따른 게이트 밸브에 있어서는 개구(61a)의 상부, 하부를 따른 부분에, 가이드 레일(104)과 같은 메인 슬라이더(66)로부터의 역압을 받는 부분이 없다.
만약, 밸브체(62)의, 개구(61a) 상부의 중앙 부분 및 개구(61a) 하부의 중앙 부분이, 밀봉부재(130)의 압착값(밀봉유지값)을 초과해서 변형되어 버리면, 밀봉부재(130)가 개구면(64)으로부터 멀어지고, 기밀성이 저하한다.
따라서, 제 4 실시형태에 있어서는 메인 슬라이더(66)의 밸브체(62)와 마주하는 측의 반대측에서, 개구(61a) 상부의 중앙부분에 대응한 위치, 및 개구(61a) 하부의 중앙부분에 대응한 위치에, 메인 슬라이더(66)의 탄성 변형량을 규제하는 규제부(screen member)(131)를 마련한다. 본 예에서는 규제부(131)를 공통 반송실(30)측의 개구(51c, 61c) 각각의 상부 중앙 부분, 하부 중앙 부분에 마련하고 있다. 규제부(131)는 본 예에서는 공통 반송실(30)의 벽면에 고정해서 부착되고, 분리는 가능하지만, 부착시에는 예를 들면, 볼트 조임등으로 움직임이 용이하지 않게 되어 있다.
이와 같이, 개구(61a) 상부의 중앙 부분에 대응한 위치 및 개구(61a) 하부의 중앙 부분에 대응한 위치에 규제부(131)를 마련함으로써, 밸브체(62)로부터의 역압이 메인 슬라이더(66)에 걸렸다고 해도, 메인 슬라이더(66)의 탄성 변형은 규제부(131)에서 규제된다. 메인 슬라이더(66)의 탄성 변형이 규제됨으로써, 밸브체(62)의, 개구(61a) 상부의 중앙 부분, 및 개구(61a) 하부의 중앙부분의 변형을 중지시킬 수 있다. 예를 들면, 메인 슬라이더(66)와 규제부(131)의 선단 부분(132)의 이간 거리를, 밀봉부재(130)의 압착값 미만으로 설정하면, 밸브체(62)의, 개구(61a) 상부의 중앙 부분 및 개구(61a) 하부의 중앙 부분이, 밀봉부재(130)의 압착값을 초과해서 변형되는 것을 억제할 수 있다. 구체적인 수치의 예로서는 밸브체(62)의 크기나, 상정되는 역압의 크기에 따라 변하지만, 일예를 들면 다음과 같다.
(밸브체(62)가 처리실(10a, 10b)의 용기 본체(50a, 50b)를 막는 경우)
하단의 규제부(131L)의 선단 부분(132)과 메인 슬라이더(66)의 이간 거리 DL은 0.3㎜ 이상 0.35㎜ 이하
상단의 규제부(131U)의 선단 부분(132)과 메인 슬라이더(66)의 이간 거리 DU는 0.5㎜ 이상 0.55㎜ 이하
(밸브체(62)가 로드록실(20)의 용기 본체(50d)를 막는 경우)
하단의 규제부(131L)의 선단 부분(132)과 메인 슬라이더(66)의 이간 거리 DL은 0.4㎜ 이상 0.45㎜ 이하
상단의 규제부(131U)의 선단 부분(132)과 메인 슬라이더(66)의 이간 거리 DU는 0.6㎜ 이상 0.65㎜ 이하
이들 수치범위는 밸브의 구성부재의 가동시의 접촉 등의 위험(risk)으로부터 하한값이 정해지고, 역압시에 기밀성을 유지할 수 있는 허용 한계로부터 상한값이 정해진다.
상기와 같은 제 4 실시형태는, 예를 들면, 밸브체(62)가 1변의 사이즈가 미터 수치로 되는 경우, 혹은 상정되는 역압이 큰 경우에 특히 유효하다.
상기 실시형태에 관한 설명은 본 발명의 일실시형태이며, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 각종 변형이 가능하다..
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 가압 기구(63)에 의해 가압되는 가압부(69)를 밸브체(62)의 어느 개소에도 마련하는 것이 가능하다. 예를 들면, 링크기구를 이용한 경우에는, 밸브체의 양 측면에 마련한 링크에 의해 가압하게 된다. 이에 대해, 가압부(69)는 밸브체(62)의 상부 및 하부에도 배치할 수 있다. 이 때문에, 도 9a에 나타내는 바와 같이, 밸브체의 측부 뿐만 아니라, 밸브체의 상부 및 하부도 가압하는 것이 가능하다.
또한, 가압부(69)는 밸브체(62)의 면내에 배치할 수 있다. 이 때문에, 예를 들면, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 밸브체(62)가 가장 큰 압력을 받는 개구부(61a)의 내측을 따라 배치하는 것이 가능하다.
또한, 도 9c에 나타내는 바와 같이, 개구부(61a)의 중앙부분에 대응해서, 더 배치하는 것도 가능하다.
이와 같이 가압부(69)를 밸브체(62)의 개구부(61a)의 내측에 대응하는 위치에 배치함으로써, 밸브체(62)가 받는 역압에 대해, 밸브체(62)의 변형을 저지하도록, 밸브체(62)를 가압할 수 있다. 이것에 의해, 밸브체의 사이즈가 커져도, 더욱 기밀성이 잘 저하하지 않는 게이트 밸브를 얻을 수 있다.
특히, 가압부를 개구부(61a)의 내측을 따라 배치, 더 나아가서는 밸브체의 중앙 부분에 개구부(61a)의 중앙 부분에 대응해서 배치함으로써, 더욱 양호하게 얻을 수 있다.
도 9a 내지 도 9c에 있어서는 가압부(69)를 밸브체(62)의 각 변에 3개씩, 개구부(61a)의 주위에 합계 8개 또는 중앙에 1개 더해서 9개 마련한 예를 나타냈지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 가압부(69)를 밸브체(62)의 각 변에 4개씩 합계 12개, 또는 중앙에 1개 더해서 13개 마련한 구성으로 해도 상관없고, 그 이상이라도 상관없다. 단, 밸브체(62)의 각 변에 마련하는 가압부(69)는 거리가 균등하게 되도록 배치하고, 밸브체(62)를 균일하게 가압할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는 밸브체, 서브 슬라이더 및 메인 슬라이더를 상하로 움직이는 예를 나타냈지만, 좌우로 움직이는 형식으로 해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 가압 기구(63)를 돌기부(67)와 경사부(68)를 포함한 캠으로 구성하고, 가압부(69)를 캠에 접촉하는 롤러(70)로 구성했지만, 가압 기구를 롤러로 구성하고, 가압부를 돌기부와 경사부를 포함한 캠으로 구성할 수도 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 피처리체로서 태양 전지나 FPD의 제조에 이용되는 유리 기판을 나타냈지만, 피처리체는 유리 기판에 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼 등의 다른 기판이여도 좋다.
6A, 6B, 6C: 게이트 밸브 10a, 10b: 처리실
20: 로드록실 30: 반송실
60: 게이트 밸브실 61a, 61b, 61c, 61d: 개구부
62: 밸브체 63: 가압 기구
64: 개구면 66: 메인 슬라이더
67: 돌기부 68: 경사부
69: 가압부 70: 롤러
80: 이탈 기구 81: 신축체
82: 서브 슬라이더 83: 유지 가이드 기구
84: 안내 개구 85: 샤프트
86: 플랜지부 87: 상대면
90: 멈춤부 91: 바닥벽
92: 걸기부 93: 개구

Claims (11)

  1. 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부의 주위에 가압되는 밸브체와,
    상기 밸브체의 면내에 상기 개구부룰 따라 마련된 가압부와,
    상기 개구부의 개구면에 대해 평행한 방향으로 슬라이드하는 메인 슬라이더와,
    상기 메인 슬라이더에 마련되고, 상기 가압부를 가압하는 가압 기구를 구비하고,
    상기 가압기구는 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위에 가압하는 돌기부와, 상기 돌기부로부터 아래방향으로 경사지는 경사부를 포함한 캠으로 구성되고,
    상기 가압기구가 상기 밸브체를, 상기 개구부에 정면으로 마주보게 한 상태에서, 상기 개구부의 개구면에 대해 수직인 방향으로 압출하고, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위에 가압하는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브체를 유지하고, 상기 밸브체와, 상기 메인 슬라이더와의 사이에 배치되고, 상기 개구부의 개구면에 대해 평행한 방향으로 슬라이드하는 서브 슬라이더를 더 구비하고,
    상기 서브 슬라이더는 상기 밸브체를 유지하는 동시에, 상기 밸브체의 가압방향 및 상기 밸브체의 이탈방향을 상기 개구부의 개구면에 대해 수직인 방향으로 규정하는 유지 가이드 기구를 구비하는 것
    을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 서브 슬라이더의 슬라이드를 정지시키는 멈춤부를 더 구비하고,
    상기 서브 슬라이더의 슬라이드가 상기 멈춤부에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하여, 상기 가압 기구의 상기 돌기부가 상기 밸브체를 가압하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 2에 기재된 게이트 밸브.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시키는 이탈 기구를 더 구비하고,
    상기 이탈 기구가 신축 가능한 신축체를 갖고,
    상기 신축체가, 상기 밸브체가 상기 개구부의 주위에 가압되어 있을 때에 축퇴하고, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시킬 때에 신장해서 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시키는 것
    을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 이탈 기구는 상기 서브 슬라이더에 마련되고,
    상기 유지 가이드 기구는 상기 서브 슬라이드를 통해서 연장하는 샤프트를 구비하고,
    상기 이탈 기구의 신축체가, 상기 서브 슬라이더의 상기 메인 슬라이더와 대향하는 상대면과, 상기 샤프트의 선단부에 마련된 플랜지부의 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 4에 기재된 게이트 밸브.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 플랜지부가, 상기 밸브체가 상기 개구부의 주위에 가압되었을 때에 상기 신축체를 압축하고,
    상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시킬 때에 상기 압축된 신축체로부터 신장력을 받아서, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시키도록 구성되어 있는 것
    을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인 슬라이더가 상기 서브 슬라이더를 거는 걸기부를 갖고,
    상기 메인 슬라이더가 슬라이드되었을 때, 상기 걸기부가, 상기 멈춤부에 의해 정지되어 있던 상기 서브 슬라이더를 걸어, 상기 서브 슬라이더 및 상기 밸브체를 슬라이드시키는 것
    을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브체의 상기 가압 기구에 의해 가압되는 가압부가 상기 개구부의 내측에 대응해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 가압부가 상기 개구부의 중앙 부분에 대응해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  10. 제 1 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인 슬라이더의 상기 밸브체와 마주하는 측의반대측에 상기 메인 슬라이더의 탄성 변형량을 규제하는 규제부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  11. 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 갖고, 진공 상태 하에서 상기 피처리체에 처리를 실시하는 처리실과,
    상기 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 갖고, 대기 상태 하 및 진공 상태 하에서, 처리전 및 처리후의 피처리체를 교환하는 로드록실과,
    상기 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 갖고, 진공 상태 하에서, 상기 로드록실과 상기 처리실의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송실을 구비한 기판 처리 시스템으로서,
    상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실중 적어도 어느 하나의, 상기 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에, 제 1 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 기재된 게이트 밸브가 이용되고 있는 것을 특징으로 하는
    기판 처리 시스템.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101326861B1 (ko) * 2012-03-15 2013-11-12 (주)선린 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치
KR101384965B1 (ko) * 2012-07-23 2014-04-14 에스엔유 프리시젼 주식회사 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브
KR102235304B1 (ko) * 2020-09-01 2021-04-01 이재헌 진공설비의 게이트밸브
KR20230032195A (ko) * 2021-08-30 2023-03-07 주식회사 엘에이티 유체 조절 슬롯 밸브

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102157574A (zh) * 2011-03-23 2011-08-17 江苏伯乐达光伏有限公司 太阳能电池的正面栅电极
CN102168763B (zh) * 2011-05-18 2012-11-14 汨罗市金成管道阀门工程有限公司 凸顶式单闸阀
JP2013011289A (ja) * 2011-06-28 2013-01-17 Tokyo Electron Ltd ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理システム
JP5847487B2 (ja) * 2011-08-19 2016-01-20 東京エレクトロン株式会社 弁体、ゲートバルブ、及び基板処理システム
CN103917811A (zh) * 2011-09-30 2014-07-09 集成设备有限公司 膨胀闸门阀组件
KR101171990B1 (ko) * 2011-10-05 2012-08-07 (주)선린 챔버간 역압 방지수단을 구비한 진공 처리장치.
DE102012010466B4 (de) * 2012-05-26 2014-01-30 Vag-Armaturen Gmbh Schieberarmatur
KR101528458B1 (ko) * 2013-01-18 2015-06-18 (주) 유앤아이솔루션 슬라이딩 역압 차단 밸브
US9638335B2 (en) 2015-01-08 2017-05-02 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Double sealing valve
KR101597818B1 (ko) * 2015-06-19 2016-02-25 주식회사 퓨젠 사각 게이트 진공밸브
EP3239567A1 (de) * 2016-04-27 2017-11-01 VAT Holding AG Torventil mit kurvenführung
CN106438386A (zh) * 2016-11-09 2017-02-22 四川农业大学 一种离心式农田自动排水装置
CN108150663B (zh) * 2018-01-11 2021-11-02 张跃 一种真空管道闸门
DE102019123563A1 (de) * 2019-09-03 2021-03-04 Vat Holding Ag Vakuumventil für das Be- und/oder Entladen einer Vakuumkammer
JP7458267B2 (ja) 2020-08-19 2024-03-29 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板搬送方法
DE102021212535A1 (de) 2021-11-08 2023-05-11 Bruker Axs Gmbh Vorrichtung zum Verschließen der Eingabeöffnung der Probenkammer bei einem Röntgen-Fluoreszenz-Spektrometer
CN115247710B (zh) * 2022-09-22 2022-12-27 杭州菲榭尔科技有限公司 一种电动低噪音套筒调节阀

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH420759A (de) * 1965-03-03 1966-09-15 Schertler Siegfried Absperrschieber, insbesondere für Gas- und Vakuumleitungen
US3554486A (en) * 1968-11-18 1971-01-12 Eugene A Thebado High vacuum valve
US3973753A (en) * 1974-03-18 1976-08-10 Varian Associates High vacuum gate valve
CH582842A5 (ko) * 1974-07-15 1976-12-15 Vat Ag
US4238111A (en) * 1978-08-04 1980-12-09 Torr Vacuum Products, Inc. Gate valve for use with vacuum equipment
US4779649A (en) * 1987-01-30 1988-10-25 Huntington Mechanical Laboratories, Inc. Gate valve with camming wedge, pressure equalizer, and replaceable bleeder valve
JPH02186173A (ja) * 1989-01-11 1990-07-20 Fujitsu Ltd 真空ゲートバルブ
JPH05196150A (ja) * 1991-09-30 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk ゲートバルブ
JPH074966U (ja) * 1993-06-28 1995-01-24 株式会社大阪真空機器製作所 ゲートバルブ装置
US5967166A (en) * 1998-01-23 1999-10-19 Daniel Industries, Inc. Sealing assembly and method
US6056267A (en) * 1998-05-19 2000-05-02 Applied Materials, Inc. Isolation valve with extended seal life
WO2000075542A1 (fr) * 1999-06-02 2000-12-14 Tokyo Electron Limited Soupape obturatrice pour systeme de traitement de semi-conducteurs
JP2002206650A (ja) 2001-01-10 2002-07-26 Anelva Corp ゲートバルブ
US6612546B2 (en) * 2001-08-01 2003-09-02 Varian, Inc. Gate valve with delayed retraction of counter plate
JP4381753B2 (ja) * 2003-09-03 2009-12-09 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ
KR100779241B1 (ko) * 2006-11-02 2007-11-23 주식회사 비츠로테크 양면 진공 게이트 밸브
JP2008116016A (ja) * 2006-11-07 2008-05-22 Horiba Ltd ゲートバルブ
JP2009109006A (ja) * 2007-10-10 2009-05-21 Tokyo Electron Ltd ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置
KR101020364B1 (ko) 2007-10-10 2011-03-08 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 장치
JP5005512B2 (ja) * 2007-11-07 2012-08-22 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置および真空処理装置およびゲートバルブ装置における弁体の開放方法。

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101326861B1 (ko) * 2012-03-15 2013-11-12 (주)선린 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치
KR101384965B1 (ko) * 2012-07-23 2014-04-14 에스엔유 프리시젼 주식회사 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브
KR102235304B1 (ko) * 2020-09-01 2021-04-01 이재헌 진공설비의 게이트밸브
KR20230032195A (ko) * 2021-08-30 2023-03-07 주식회사 엘에이티 유체 조절 슬롯 밸브

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