KR20230032195A - 유체 조절 슬롯 밸브 - Google Patents

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Abstract

일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브는, 유체의 유동 경로에 설치되어 유체가 통과하는 내부 공간과, 내부 공간으로부터 유체가 토출되는 토출 방향을 따라서 외부로 연통되는 토출구를 구비하는 하우징; 상기 내부 공간에서 상기 토출 방향에 수직한 방향을 따라서 슬라이딩 구동 가능하게 설치되고, 슬라이딩 구동 위치에 따라 상기 토출구의 배출 유량이 조절되는 슬라이딩 밸브; 및 상기 토출 방향에 수직한 슬라이딩 방향을 따라서 상기 슬라이딩 밸브에 연결되고 상기 슬라이딩 방향을 따라서 선형 구동되는 구동 링크;를 포함할 수 있다.

Description

유체 조절 슬롯 밸브{FLUID CONTROLLING SLOT VALVE}
이하의 설명은 유체 조절 슬롯 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 유체 조절용 밸브로는 앵글형 밸브가 많이 사용되고 있다. 그러나 이러한 앵글형 밸브는 관로에 이어 90도 꺾인 형태로 부착되는 형태를 가지며, 이로 인한 유체(기체)의 유동 저항(컨덕턴스)을 발생시키는 문제점을 지니고 있다.
따라서, 밸브의 개방/폐쇄 동작시 급격한 유동 저항을 방지할 수 있고, 역압이 발생하여도 견고하게 작동하는 밸브의 필요성이 증대되고 있는 실정이다.
한편, 본 발명의 개술 분야에 대한 선행 기술이 공개특허공보 제10-2006-0044720호와, 공개특허공보 제10-20060051114호에 개시되어 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예에 따른 목적은 밸브의 개방/폐쇄 동작시 급격한 유동 저항을 방지할 수 있고, 역압이 발생하여도 견고하게 지탱할 수 있는 유체 조절 슬롯 밸브를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브는, 유체의 유동 경로에 설치되어 유체가 통과하는 내부 공간과, 내부 공간으로부터 유체가 토출되는 토출 방향을 따라서 외부로 연통되는 토출구를 구비하는 하우징; 상기 내부 공간에서 상기 토출 방향에 수직한 방향을 따라서 슬라이딩 구동 가능하게 설치되고, 슬라이딩 구동 위치에 따라 상기 토출구의 배출 유량이 조절되는 슬라이딩 밸브; 및 상기 토출 방향에 수직한 슬라이딩 방향을 따라서 상기 슬라이딩 밸브에 연결되고 상기 슬라이딩 방향을 따라서 선형 구동되는 구동 링크;를 포함할 수 있다.
상기 슬라이딩 밸브는, 상기 구동 링크에 연결되어 상기 토출 방향에 수직한 슬라이딩 방향으로 이동 가능한 구동 베이스; 및 상기 구동 베이스에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 상기 토출구를 차폐할 수 있는 슬라이딩 헤드; 를 포함하고, 상기 슬라이딩 헤드는, 상기 구동 베이스에 연결된 상태로 슬라이딩 방향으로 이동할 수 있되, 슬라이딩 구동에 의해 상기 슬라이딩 방향을 따라서 상기 내부 공간의 내벽에 접촉되어 가압될 경우, 적어도 일부가 상기 구동 베이스에 대해 토출 방향으로 돌출되어 상기 내부 공간으로부터 상기 토출구를 차폐하도록 접촉할 수 있다.
상기 슬라이딩 헤드는, 상기 토출 방향을 기준으로 상기 구동 베이스에 대해 비스듬하게 경사진 각도로 슬라이딩 가능하게 설치될 수 있다.
상기 구동 베이스와 상기 슬라이딩 헤드 사이에 설치되고, 상기 슬라이딩 헤드가 상기 구동 베이스에 대해 상대적으로 토출 방향을 향해 대해 슬라이딩 할 경우 인장되어 상기 슬라이딩 헤드에 탄성력을 인가하는 탄성체를 더 포함할 수 있다.
상기 슬라이딩 헤드는, 상기 구동 베이스에 대해 슬라이딩 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되고, 상기 내부 공간의 내벽에 접촉할 수 있는 가이드 커버; 및 상기 가이드 커버에 대해 토출 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 토출구를 차폐할 수 있는 차폐 슬라이더;를 포함 할 수 있다.
상기 구동 베이스 및 차폐 슬라이더는 각각, 상기 토출 방향을 기준으로 비스듬하게 경사진 접촉 단부를 구비하고, 상기 경사진 접촉 단부는, 상기 토출 방향으로 갈수록 상기 슬라이딩 헤드가 접촉하는 상기 내부 공간의 내벽으로부터 멀어지는 방향으로 경사진 각도를 가질 수 있다.
상기 가이드 커버는, 상기 구동 베이스에 대해 상기 슬라이딩 방향을 따라서 슬라이딩 가능하게 설치되는 가이드 플레이트; 및 상기 가이드 플레이트의 부분 중 상기 슬라이딩 방향을 따라서 관통 형성되고, 상기 토출 방향을 따라서 연장된 슬롯 형상을 갖는 가이드 슬롯;을 포함하고, 상기 차폐 슬라이더는, 상기 토출구를 차폐하도록 접촉하는 차폐 부재; 및 상기 슬라이딩 방향을 따라서 상기 가이드 슬롯을 통과하여 상기 차폐 부재에 고정되는 체결 핀;을 포함할 수 있다.
상기 구동 베이스는, 상기 구동 베이스의 부분 중 상기 토출 방향을 마주하는 전방 부분에 설치되어 상기 토출 방향을 기준으로 비스듬한 각도를 갖는 접촉 단부를 구비하는 제 1 경사 슬라이드부;를 포함하고, 상기 차폐 슬라이더는, 상기 차폐 슬라이더의 부분 중 후방 부분에 설치되어 상기 제 1 경사 슬라이드부와 동일한 각도를 갖는 접촉 단부를 구비하는 제 2 경사 슬라이드부를 포함하고, 상기 1 경사 슬라이드부 및 상기 제 2 경사 슬라이드부는 서로 맞물린 상태로 상호 슬라이딩 가능하게 연결될 수 있다.
상기 토출 방향을 기준으로, 상기 슬라이딩 밸브가 상기 토출구와 오버랩되지 않는 개방 상태에서, 상기 슬라이딩 헤드는 상기 토출구가 형성된 상기 내부 공간의 내벽으로부터 이격되어 있고, 상기 토출 방향을 기준으로, 상기 슬라이딩 밸브가 상기 토출구와 오버랩된 상태로 상기 토출구를 완전히 차폐한 폐쇄 상태에서, 상기 슬라이딩 헤드는 상기 슬라이딩 방향을 따라서 마주하는 상기 내부 공간의 내벽에 접촉되어 가압될 경우, 상기 차폐 슬라이더가 상기 토출 방향으로 슬라이딩 하여 상기 토출구가 형성된 상기 내부 공간의 내벽에 접촉될 수 있다.
상기 하우징은, 상기 토출 방향을 기준으로, 상기 토출구와 오버랩되는 후방 부분에 유체가 외부로부터 유입되는 유입구를 더 포함하고, 상기 슬라이딩 밸브가 상기 토출구를 차폐하지 않도록 상기 슬라이딩 방향을 따라서 완전히 후퇴한 경우, 상기 토출 방향을 기준으로 상기 슬라이딩 밸브는 상기 토출구 및 상기 유입구에 오버랩되지 않을 수 있다.
일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브에 의하면, 밸브의 개방/폐쇄 동작시 급격한 유동 저항을 방지할 수 있고, 역압이 발생하여도 견고하게 지탱할 수 있다.
도 1은 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브의 분해 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브의 측 단면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 슬라이딩 밸브의 후면 분해 사시도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 슬라이딩 결합부의 결합 구조를 나타내는 사시도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 구동부의 구동에 따른 슬라이딩 밸브의 동작 구조를 나타내는 측 단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 구동부의 구동에 따른 슬라이딩 밸브의 동작 구조를 나타내는 측 단면도이다.
이하, 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이하의 설명은 실시예들의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 실시예에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 일 실시예를 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 일 실시예에 따른 냉각 시스템의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 일 실시예에 따른 체결 장치의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 일 실시예에 따른 체결 장치의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브의 분해 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브의 측 단면도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 슬라이딩 밸브의 후면 분해 사시도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 슬라이딩 결합부의 결합 구조를 나타내는 사시도이고, 도 6 내지 도 7은 일 실시 예에 따른 구동부의 구동에 따른 슬라이딩 밸브의 동작 구조를 나타내는 측 단면도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브(1)은, 일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브(1)는 유체가 유동하는 내부 유로(111)의 개폐 기능을 수행하는 동시에, 밸브의 개방시 진공 압력을 미세하게 조절할 수 있는 스로틀 밸브(Throttle valve)로써의 기능을 동시에 수행할 수 있다.
예를 들어, 유체 조절 슬롯 밸브(1)는 유체가 이동하는 경로상에 설치되는 하우징(11)과, 하우징(11) 내부에서 슬라이딩 가능하게 설치되어 슬라이딩 구동 위치에 따라서 하우징(11) 내부의 연통을 차폐하는 슬라이딩 밸브(12)와, 슬라이딩 밸브(12)에 연결되어 슬라이딩 밸브(12)를 슬라이딩 구동시키는 구동부(13)를 포함할 수 있다.
하우징(11)은, 유체가 통과하는 내부 공간(111)과, 유체가 유동 방향을 따라서 하우징(11) 외부로부터 내부 공간(111)으로 연통되는 유입구(114)와, 내부 공간(111)으로 유입된 유체가 토출 방향을 따라서 외부로 배출되도록 연통되는 토출구(113)와, 내부 공간(111) 중 토출 방향에 수직한 방향을 대면하여 슬라이딩 밸브(12)와 접촉할 수 있는 멈춤 벽(115)을 포함할 수 있다.
내부 공간(111)은, 도 1 및 2 와 같이 유입구(114) 및 토출구(113)의 단면적보다 상대적으로 큰 단면적을 가질 수 있고, 내부에 슬라이딩 밸브(12)를 수용할 수 있다.
유입구(114)는, 유체가 내부 공간(111)으로 유입되는 통로일 수 있다. 예를 들어, 내부 공간(111)에서 유입구(114)가 연통되는 방향은, 내부 공간(111)에서 토출구(113)가 연통되는 방향과 평행할 수 있다. 즉, 유체가 내부 공간(111)으로 유입되는 유입 방향과 내부 공간(111)에 있는 유체가 토출구(113)를 향해 토출되는 토출 방향은 동일한 방향일 수 있다. 다만, 유입 방향은 토출 방향과 다른 방향을 가지더라도 무방하다는 점을 밝혀둔다.
토출구(113)는, 내부 공간(111)에 있는 유체가 외부로 토출되는 통로로서, 내부 공간(111)의 내벽 중 토출 방향으로 관통 형성된 구멍일 수 있다. 예를 들어, 토출구(113)는 도 2와 같이 단면이 상대적으로 측방향으로 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.
예를 들어, 도 3, 도 6 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 유체의 토출 방향을 따라서 유입구(114)와 토출구(113)는 서로 오버랩되는 위치에 형성될 수 있다.
멈춤 벽은, 내부 공간(111)의 내벽 중 슬라이딩 밸브(12)의 슬라이딩 방향을 대면할 수 있고, 슬라이딩 밸브(12)의 최대 슬라이딩 변위를 제한 또는 설정하는 기준 역할을 할 수 있다.
구동부(13)는, 하우징(11)에 연결되어 슬라이딩 밸브(12)를 슬라이딩 방향을 따라서 슬라이딩 구동할 수 있다. 예를 들어, 구동부(13)는 도 1 내지 도 3과 같이, 슬라이딩 방향 중 어느 하나의 방향으로부터 하우징(11)에 연결될 수 있다.
예를 들어, 구동부(13)는 슬라이딩 방향을 따라서 하우징(11) 외부로부터 내부 공간(111)으로 통과하여 슬라이딩 밸브(12)의 구동 베이스(121)에 연결되는 구동 링크(131)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 구동 링크(131)는 구동부(13)의 구동을 통해 슬라이딩 방향을 따라서 선형 이동함으로써, 단부로부터 연결된 슬라이딩 밸브(12)를 내부 공간(111) 내부에서 슬라이딩 방향으로 구동시킬 수 있다.
예를 들어, 구동부(13)에 의해 슬라이딩 밸브(12)가 슬라이딩 이동하는 "슬라이딩 방향"(도 3의 상하측 방향)은, 내부 공간(111) 공간으로부터 토출구(113)가 연통되는 방향, 즉 "토출 방향"(도 3의 좌우측 방향)과 수직할 수 있다.
슬라이딩 밸브(12)는, 내부 공간(111)에서 구동 링크(131)에 의해 슬라이딩 방향을 따라서 구동할 수 있고, 슬라이딩 구동 변위에 따라서 토출구(113)를 완전히 차폐하도록 이동할 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 밸브(12)는 차폐 방향에 수직한 슬라이딩 방향을 따라서 구동할 수 있다.
예를 들어, 구동부(13)에 구동에 의해 구동 링크(131)가 슬라이딩 방향을 따라서 최소 구동 변위로 전개될 경우, 즉 도 6에 도시되는 바와 같이 슬라이딩 밸브(12)가 토출구(113)를 차폐하지 않도록 완전히 후퇴한 경우, 유체의 유입 방향 또는 토출 방향을 따라서 슬라이딩 밸브(12)는 토출구(113)와 오버랩되는 부분이 존재하지 않도록 후퇴될 수 있다.
예를 들어, 구동부(13)의 구동에 의해 구동 링크(131)가 슬라이딩 방향을 따라서 최대 구동 변위로 전개될 경우, 즉, 도 7에 도시되는 바와 같이 슬라이딩 밸브(12)가 토출구(113)를 완전히 차폐하도록 슬라이딩 방향을 따라서 최대로 전진한 경우, 슬라이딩 밸브(12)의 슬라이딩 헤드(122)는 슬라이딩 방향을 따라서 멈춤 벽(115)에 접촉하는 동시에 토출 방향을 따라서 토출구(113)를 완전히 차폐하도록 오버랩 상태로 접촉할 수 있다.
예를 들어, 슬라이딩 밸브(12)는 구동 링크(131)에 연결되는 구동 베이스(121)와, 구동 베이스(121)에 대해 이동 가능하게 설치되어 토출구(113)를 차폐할 수 있는 슬라이딩 헤드(122)와, 구동 베이스(121)와 슬라이딩 헤드(122) 사이에 설치되는 탄성체(123)와, 구동 베이스(121)와 차폐 슬라이더(1222) 사이의 슬라이딩 이동을 가이드하는 슬라이딩 가이드(124)를 포함할 수 있다.
구동 베이스(121)는, 내부 공간(111)에 설치되어, 슬라이딩 방향을 기준으로 일측은 구동 링크(131)에 연결되고 타측은 슬라이딩 헤드(122)의 가이드 커버(1221)에 연결될 수 있다.
구동 베이스(121)는 구동부(13)의 구동에 의해 내부 공간(111)에서 슬라이딩 방향을 따라서 이동할 수 있고, 슬라이딩 헤드(122)의 차폐 슬라이더(1222)가 토출 방향으로 돌출되어 토출구(113)를 차폐하도록 차폐 슬라이더(1222)의 슬라이딩 이동을 지지하고 가이드할 수 있다.
예를 들어, 구동 베이스(121)는, 가이드 커버(1221)의 연결 샤프트(12212)를 슬라이딩 가능하게 수용하도록 슬라이딩 방향을 따라서 함몰 형성된 연결 구멍(1211)과, 슬라이딩 헤드(122)가 멈춤 벽(115)을 밀어내는 반력을 통해 슬라이딩 헤드(122)의 일부, 즉 차폐 슬라이더(1222)가 토출 방향으로 상대적으로 돌출될 수 있도록 상대적인 슬라이딩 경로를 가이드하는 제 1 경사 슬라이드부(1212)와, 구동 베이스(121)와 슬라이딩 헤드(122) 사이에 연결되는 탄성체(123)의 일측을 고정하는 제 1 고정부(1214)를 포함할 수 있다.
연결 구멍(1211)은, 구동 베이스(121)의 부분 중, 슬라이딩 방향 중 돌출되는 외측 방향(도면의 상측 방향)으로부터 함몰 형성되는 구멍으로서, 연결 샤프트(12212) 및 가이드 커버(1221)로 하여금 구동 베이스(121)에 대해 상대적으로 슬라이딩 방향을 따라서 이동할 수 있도록 슬라이딩 방향을 가이드할 수 있다.
예를 들어, 연결 구멍(1211)은 도 4에 도시되는 바와 같이 슬라이딩 방향에 수직한 측 방향을 따라서 서로 복수개로 이격되어 형성되는 구성을 가질 수 있다.
제 1 경사 슬라이드부(1212)는, 구동 베이스(121)에 대해 슬라이딩 헤드(122)의 일부, 즉 차폐 슬라이더(1222)를 지지하는 동시에 차폐 슬라이더(1222)가 상대적으로 토출 방향을 향해 비스듬한 각도로 슬라이딩 이동할 수 있도록 가이드할 수 있다.
예를 들어, 제 1 경사 슬라이드부(1212)는 구동 베이스(121)의 부분 중 토출 방향을 마주하는 방향에 위치될 수 있고, 도 6 및 도 7에 도시되는 바와 같이 토출 방향으로 갈수록 멈춤 벽(115)으로부터 멀어지는 슬라이딩 방향(도 6 및 도 7 상의 하측 방향)으로 경사진 접촉 단부를 가질 수 있다.
예를 들어, 제 1 경사 슬라이드부(1212)는 차폐 슬라이더(1222)의 제 2 경사 슬라이드부(12223)에 맞물리도록 연결될 수 있고, 이를 통해 차폐 슬라이더(1222)는 구동 베이스(121)에 대해 토출 방향을 기준으로 비스듬한 방향으로만 슬라이딩 되도록 가이드될 수 있다.
제 1 고정부(1214)는, 도 3에 도시되는 바와 같이, 차폐 슬라이더(1222)의 제 2 고정부(12225)보다 슬라이딩 방향 중 멈춤 벽(115)에 가까운 방향(도 3의 상측 방향)에 위치할 수 있다.
구체적으로, 도 1의 선 A-A를 따라 취한 단면을 도시하는 도 3을 참조하면, 제 1 고정부(1214) 및 제 2 고정부(12225) 사이에 연결되는 탄성체(123)의 구조를 확인할 수 있다.
예를 들어, 탄성체(123)는 슬라이딩 헤드(122)가 멈춤 벽(115)에 접촉하여 가압됨에 따라 구동 베이스(121)에 대해 상대적으로 토출 방향을 향해 대해 슬라이딩 할 경우 인장됨으로써, 슬라이딩 헤드(122)가 토출 방향의 반대 방향, 즉 토출구(113)가 형성된 내부 공간(111)의 내벽으로부터 멀어지는 방향으로 슬라이딩 되는 탄성력을 제공할 수 있다.
이상의 구조에 의하면, 도 6과 같이 구동 링크(131)가 내부 공간(111)으로 전개되지 않은 개방 상태에서, 탄성체(123)는 차폐 슬라이더(1222)가 구동 베이스(121)에 대해 토출 방향으로 돌출되지 않도록 지지하는 탄성력을 제공할 수 있어서, 차폐 슬라이더(1222), 즉 차폐 부재(12222) 및 차폐 링(12224)으로 하여금 토출구(113)가 형성된 내부 공간(111) 내벽으로부터 이격되도록 함으로써, 폐쇄 상태를 제외한 상태에서 구동에 의한 간섭이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 7에 도시되는 바와 같이 슬라이딩 헤드(122)가 멈춤 벽(115)에 접촉되도록 최대로 구동된 상태, 즉 토출구(113)가 폐쇄된 상태에서 토출구(113)를 다시 개방시키기 위해 슬라이딩 밸브(12)를 후퇴시킬 경우, 차폐 슬라이더(1222)는 탄성체(123)의 탄성 복원력에 의해 구동 베이스(121)에 대해 상대적으로 상측으로 이동하는 동시에, 토출구(113)로부터 간섭되지 않도록 멀어지게 되어 도 6의 초기 개방 상태로 복귀될 수 있다.
슬라이딩 헤드(122)는, 구동 베이스(121)에 연결된 상태로 슬라이딩 방향으로 이동할 수 있되, 슬라이딩 방향을 따라서 멈춤 벽(115)에 접촉되어 가압될 경우 적어도 일부가 구동 베이스(121)에 대해 토출 방향으로 돌출되어 토출구(113)를 완전히 차폐하도록 접촉될 수 있다.
예를 들어, 슬라이딩 헤드(122)는 구동 베이스(121)의 제 1 경사 슬라이드부(1212)에 연결되어 상대적으로 슬라이딩 가능하게 연결될 수 있다. 예를 들어, 도 6과 같이 구동 링크(131)가 내부 공간(111)으로 전개되지 않은 개방 상태에서 슬라이딩 헤드(122)는 토출구(113)가 형성된 내부 공간(111)의 내벽으로부터 이격된 상태를 유지할 수 있다.
이후, 도 7과 같이 슬라이딩 헤드(122)가 멈춤 벽(115)에 접촉되어 가압될 경우, 슬라이딩 헤드(122)는 멈춤 벽(115)으로부터의 반력에 의해, 구동 베이스(121)에 대해 토출 방향을 기준으로 비스듬한 방향으로 슬라이딩하여 내부 공간(111)으로부터 연통되는 토출구(113)를 차폐할 수 있다.
예를 들어, 슬라이딩 헤드(122)는 구동 베이스(121)에 대해 슬라이딩 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되는 가이드 커버(1221)와, 가이드 커버(1221)에 대해 토출 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 토출구(113)를 차폐할 수 있는 차폐 슬라이더(1222)를 포함할 수 있다.
가이드 커버(1221)는, 구동 베이스(121)의 연결 구멍(1211)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 연결 샤프트(12212)와 연결 샤프트(12212)에 의해 지지되는 가이드 플레이트(12211)와, 가이드 플레이트(12211)의 부분 중 차폐 슬라이더(1222)가 토출 방향을 따라서 슬라이딩 가능하게 수용하는 가이드 슬롯(12213)을 포함할 수 있다.
가이드 플레이트(12211)는 슬라이딩 헤드(122)의 부분 중 슬라이딩 방향을 따라서 돌출되어 멈춤 벽(115)과 접촉되는 부분일 수 있다.
예를 들어, 가이드 플레이트(12211)는 도 4에 도시되는 바와 같이 토출 방향을 기준으로 일측으로 연결 샤프트(12212)를 통해 구동 베이스(121)에 슬라이딩 가능하게 연결되고, 타측으로 가이드 슬롯(12213)을 통해 차폐 슬라이더(1222)를 슬라이딩 가능한 상태로 지지할 수 있다.
가이드 슬롯(12213)은 가이드 플레이트(12211)을 슬라이딩 방향을 따라서 관통 형성된 구멍일 수 있고, 토출 방향을 따라서 연장된 형상을 갖는 슬롯 형태의 구멍으로서, 이로부터 연결되는 차폐 슬라이더(1222)가 토출 방향을 따라서 슬라이딩 이동 가능하도록 슬라이딩 방향을 가이드할 수 있다.
가이드 커버(1221)의 구조에 의하면, 도 7에 도시되는 바와 같이 가이드 플레이트(12211)가 멈춤 벽(115)에 접촉되도록 구동되어 가압될 경우, 멈춤 벽(115)으로부터 가이드 플레이트(12211)에 인가되는 반력은, 가이드 커버(1221) 및 그로부터 연결되는 차폐 슬라이더(1222)로 하여금 슬라이딩 방향을 따라서 구동 베이스(121)로 후퇴하도록 이동시키는 동시에, 가이드 슬롯(12213)으로 연결되는 차폐 슬라이더(1222)가 구동 베이스(121)에 대해 비스듬한 각도로 슬라이딩 함에 따라 슬라이딩 방향에 수직한 토출 방향으로 이동하여 토출 방향으로 마주하는 토출구(113)를 차폐하도록 슬라이딩 할 수 있다.
차폐 슬라이더(1222)는, 토출 방향 또는 슬라이딩 방향을 기준으로 구동 베이스(121)에 대해 비스듬한 각도로 슬라이딩 가능하게 설치되는 동시에, 가이드 커버(1221)에 토출 방향을 따라서 슬라이딩 가능하게 설치될 수 있다.
예를 들어, 차폐 슬라이더(1222)는 가이드 커버(1221)의 가이드 슬롯(12213)을 따라서 슬라이딩 가능하게 결합되는 체결 핀(12221)과, 체결 핀(12221)으로부터 연결되고 토출구(113)에 접촉하여 차폐할 수 있는 차폐 부재(12222)와, 구동 베이스(121)에 대해 비스듬한 각도로 슬라이딩 가능하게 연결되는 제 2 경사 슬라이드부(12223)와, 차폐 부재(12222)의 부분 중 토출구(113)를 마주하는 부분에 설치되어 토출구(113)를 차폐할 시 토출구(113) 주변의 내벽에 접촉되어 기밀을 달성하기 위한 차폐 링(12224)과, 구동 베이스(121)로부터 연결되는 탄성체(123)의 단부가 고정된 제 2 고정부(12225)와, 차폐 부재(12222)의 부분 중 체결 핀(12221)이 삽입되어 고정되는 체결 홈(12227)과, 차폐 부재(12222)의 부분 중 가이드 플레이트(12211)를 마주하는 부분에 설치되는 가이드 베어링(12226)을 포함할 수 있다.
체결 핀(12221)은 도 4에 도시되는 바와 같이 슬라이딩 방향을 따라서 가이드 슬롯(12213)을 통과하여 차폐 부재(12222)의 체결 홈(12227)에 삽입될 수 있다.
체결 핀(12221)과 가이드 슬롯(12213)의 구조에 의하면, 토출 방향으로 연장된 가이드 슬롯(12213)을 따라서 체결 핀(12221)의 슬라이딩 경로가 설정됨에 따라서, 차폐 슬라이더(1222)로 하여금 슬라이딩 방향으로의 슬라이딩 이동을 수행할 수 있는 동시에 토출 방향으로의 슬라이딩 이동도 함께 수행할 수 있도록 가이드할 수 있다.
차폐 부재(12222)는 구동 베이스(121)에 대해 토출 방향을 기준으로 상대적으로 전방에 설치될 수 있고, 도 7에 도시되는 바와 같이 토출구(113)가 형성된 내부 공간(111)의 내벽을 오버랩하도록 접촉할 경우, 내부 공간(111)에서 유체가 토출구(113) 밖으로 토출되지 않도록 차폐할 수 있다.
제 2 경사 슬라이드부(12223)는 차폐 부재(12222)의 부분 중 대해 토출 방향을 기준으로 상대적으로 후방에 설치될 수 있고, 차폐 부재(12222)가 토출 방향을 향해 비스듬한 각도로 슬라이딩 이동할 수 있도록 경사진 접촉 단부를 가질 수 있다.
예를 들어, 제 2 경사 슬라이드부(12223)는 구동 베이스(121)의 제 1 경사 슬라이드부(1212)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 도 6 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 제 1 경사 슬라이드부(1212) 및 제 2 경사 슬라이드부(12223)는 비스듬한 각도를 갖는 상태로 서로 맞물려 상호 슬라이딩 가능하게 연결될 수 있다.
예를 들어, 제 1 경사 슬라이드부(1212) 및 제 2 경사 슬라이드부(12223)는 경사진 방향을 따라서 서로 마주보도록 접촉하는 부분에 레일이 형성되는 한 쌍의 구조를 가질 수 있고, 이 경우 도 5에 도시되는 바와 같이 한 쌍의 경사 슬라이드부(1212, 12223) 사이에 개재되어 서로의 슬라이딩 운동을 가이드 하는 슬라이딩 가이드(124)가 별도로 구비될 수 있다는 점을 밝혀둔다.
차폐 링(12224) 차폐 부재(12222)의 부분 중 토출 방향을 따라서 토출구(113)를 마주하는 부분에 설치되고, 토출구(113)의 단면적 역역보다 큰 내부 중공 영역을 갖는 링 형상의 접촉 부재일 수 있다.
예를 들어, 도 7에 도시되는 바와 같이 차폐 부재(12222)가 토출구(113)를 차폐하는 경우, 토출 방향을 기준으로 토출구(113)의 단면 영역은 차폐 링의 내부 중공 영역 내에서 완전히 오버랩될 수 있고, 이에 따라, 차폐 링(12224)은 토출구(113)가 형성된 내벽의 부분 중 토출구(113) 주변의 내벽에 접촉되어 가압됨으로써 내부 공간(111)으로부터 토출구(113)를 완전한 기밀 상태로 차폐할 수 있다.
제 2 고정부(12225)는 도 3에 도시되는 바와 같이 구동 베이스(121)의 제 1 고정부(1214)보다 상대적으로 하측에 위치할 수 있다.
가이드 베어링(12226)은 차폐 부재(12222)의 상측에 돌출되도록 설치되어 가이드 플레이트(12211)와 접촉할 수 있다. 가이드 베어링(12226)에 의하면, 차폐 슬라이더(1222)가 가이드 커버(1221)의 가이드 슬롯(12213)을 따라 토출 방향으로 슬라이딩 할 경우, 가이드 플레이트(12211)과 차폐 부재(12222) 사이에서 가이드 베어링(12226) 구름 접촉됨으로써 차폐 슬라이더(1222)의 원활한 슬라이딩 운동을 보조할 수 있다.
일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브(1)에 의하면, 토출구(113)가 폐쇄된 상태에서 토출구(113) 외부에서 역압이 발생할 경우, 토출구(113)에 가해지는 역압은 차폐 슬라이더(1222)로 하여금 구동 베이스(121)에 대해 비스듬히 슬라이딩시키는 방향으로의 힘으로 분산시킬 수 있고, 결과적으로 차폐 슬라이더(1222)에 가해지는 역압은 가이드 커버(1221)로 연결되는 멈춤 벽(115)을 통해서도 지지될 수 있는 구조를 가짐으로써 구조적으로 견고할 수 있다.
일 실시 예에 따른 유체 조절 슬롯 밸브(1)에 의하면, 차폐 슬라이더(1222)가 토출구(113)를 유체의 토출 방향과 동일한 토출 방향으로 병진 이동하는 구조를 갖기 때문에, 밸브 내외부의 압력 차이에 따라 유체가 급격하게 유입 또는 토출되어 유량을 정확하게 제어하기 어려웠던 단점을 보완할 수 있다.
이상과 같이 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 실시예가 설명되었으나 이는 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위 뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
1 밸브 11 하우징 111 내부 공간
113 배출구 114 유입구
115 멈춤벽 12 슬라이딩 밸브
121 구동 베이스 1211 연결 구멍
1212 제 1 경사 슬라이드부 1214 제 1 고정부
122 슬라이딩 헤드 1221 가이드 커버
12211 연결 샤프트 12212 가이드 플레이트
12213 가이드 슬롯 1222 차폐 슬라이더
12221 체결 핀 12222 차폐 부재
12223 제 2 경사 슬라이드부 12225 제 1 고정부
123 스프링 13 구동부
131 구동 샤프트

Claims (10)

  1. 유체의 유동 경로에 설치되어 유체가 통과하는 내부 공간과, 내부 공간으로부터 유체가 토출되는 토출 방향을 따라서 외부로 연통되는 토출구를 구비하는 하우징;
    상기 내부 공간에서 상기 토출 방향에 수직한 방향을 따라서 슬라이딩 구동 가능하게 설치되고, 슬라이딩 구동 위치에 따라 상기 토출구의 배출 유량이 조절되는 슬라이딩 밸브; 및
    상기 토출 방향에 수직한 슬라이딩 방향을 따라서 상기 슬라이딩 밸브에 연결되고 상기 슬라이딩 방향을 따라서 선형 구동되는 구동 링크;를 포함하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이딩 밸브는,
    상기 구동 링크에 연결되어 상기 토출 방향에 수직한 슬라이딩 방향으로 이동 가능한 구동 베이스; 및
    상기 구동 베이스에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 상기 토출구를 차폐할 수 있는 슬라이딩 헤드;
    를 포함하고,
    상기 슬라이딩 헤드는, 상기 구동 베이스에 연결된 상태로 슬라이딩 방향으로 이동할 수 있되, 슬라이딩 구동에 의해 상기 슬라이딩 방향을 따라서 상기 내부 공간의 내벽에 접촉되어 가압될 경우, 적어도 일부가 상기 구동 베이스에 대해 토출 방향으로 돌출되어 상기 내부 공간으로부터 상기 토출구를 차폐하도록 접촉하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 슬라이딩 헤드는,
    상기 토출 방향을 기준으로 상기 구동 베이스에 대해 비스듬하게 경사진 각도로 슬라이딩 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동 베이스와 상기 슬라이딩 헤드 사이에 설치되고, 상기 슬라이딩 헤드가 상기 구동 베이스에 대해 상대적으로 토출 방향을 향해 대해 슬라이딩 할 경우 인장되어 상기 슬라이딩 헤드에 탄성력을 인가하는 탄성체를 더 포함하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 슬라이딩 헤드는,
    상기 구동 베이스에 대해 슬라이딩 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되고, 상기 내부 공간의 내벽에 접촉할 수 있는 가이드 커버; 및
    상기 가이드 커버에 대해 토출 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 토출구를 차폐할 수 있는 차폐 슬라이더;를 포함하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 구동 베이스 및 차폐 슬라이더는 각각, 상기 토출 방향을 기준으로 비스듬하게 경사진 접촉 단부를 구비하고,
    상기 경사진 접촉 단부는, 상기 토출 방향으로 갈수록 상기 슬라이딩 헤드가 접촉하는 상기 내부 공간의 내벽으로부터 멀어지는 방향으로 경사진 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 가이드 커버는,
    상기 구동 베이스에 대해 상기 슬라이딩 방향을 따라서 슬라이딩 가능하게 설치되는 가이드 플레이트; 및
    상기 가이드 플레이트의 부분 중 상기 슬라이딩 방향을 따라서 관통 형성되고, 상기 토출 방향을 따라서 연장된 슬롯 형상을 갖는 가이드 슬롯;을 포함하고,
    상기 차폐 슬라이더는,
    상기 토출구를 차폐하도록 접촉하는 차폐 부재; 및
    상기 슬라이딩 방향을 따라서 상기 가이드 슬롯을 통과하여 상기 차폐 부재에 고정되는 체결 핀;을 포함하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동 베이스는,
    상기 구동 베이스의 부분 중 상기 토출 방향을 마주하는 전방 부분에 설치되어 상기 토출 방향을 기준으로 비스듬한 각도를 갖는 접촉 단부를 구비하는 제 1 경사 슬라이드부;를 포함하고,
    상기 차폐 슬라이더는,
    상기 차폐 슬라이더의 부분 중 후방 부분에 설치되어 상기 제 1 경사 슬라이드부와 동일한 각도를 갖는 접촉 단부를 구비하는 제 2 경사 슬라이드부를 포함하고,
    상기 1 경사 슬라이드부 및 상기 제 2 경사 슬라이드부는 서로 맞물린 상태로 상호 슬라이딩 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 토출 방향을 기준으로, 상기 슬라이딩 밸브가 상기 토출구와 오버랩되지 않는 개방 상태에서, 상기 슬라이딩 헤드는 상기 토출구가 형성된 상기 내부 공간의 내벽으로부터 이격되어 있고,
    상기 토출 방향을 기준으로, 상기 슬라이딩 밸브가 상기 토출구와 오버랩된 상태로 상기 토출구를 완전히 차폐한 폐쇄 상태에서, 상기 슬라이딩 헤드는 상기 슬라이딩 방향을 따라서 마주하는 상기 내부 공간의 내벽에 접촉되어 가압될 경우, 상기 차폐 슬라이더가 상기 토출 방향으로 슬라이딩 하여 상기 토출구가 형성된 상기 내부 공간의 내벽에 접촉되는 것을 특징으로 하는 유체 조절 슬롯 밸브.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 하우징은,
    상기 토출 방향을 기준으로, 상기 토출구와 오버랩되는 후방 부분에 유체가 외부로부터 유입되는 유입구를 더 포함하고,
    상기 슬라이딩 밸브가 상기 토출구를 차폐하지 않도록 상기 슬라이딩 방향을 따라서 완전히 후퇴한 경우, 상기 토출 방향을 기준으로 상기 슬라이딩 밸브는 상기 토출구 및 상기 유입구에 오버랩되지 않는 것을 특징으로 하는 유체 조절 슬롯 밸브.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05196150A (ja) * 1991-09-30 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk ゲートバルブ
KR20110014118A (ko) * 2009-08-04 2011-02-10 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템
KR101384965B1 (ko) * 2012-07-23 2014-04-14 에스엔유 프리시젼 주식회사 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브
KR101647580B1 (ko) * 2015-01-26 2016-08-10 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 연결 구조를 갖는 게이트 밸브

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05196150A (ja) * 1991-09-30 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk ゲートバルブ
KR20110014118A (ko) * 2009-08-04 2011-02-10 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템
KR101384965B1 (ko) * 2012-07-23 2014-04-14 에스엔유 프리시젼 주식회사 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브
KR101647580B1 (ko) * 2015-01-26 2016-08-10 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 연결 구조를 갖는 게이트 밸브

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