KR20100120420A - 하향식 노즐형 진공 증발원 장치 및 이를 이용한 하향식 노즐형 진공 증착 장치 - Google Patents
하향식 노즐형 진공 증발원 장치 및 이를 이용한 하향식 노즐형 진공 증착 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 소스 물질이 저장되며, 입구가 상방향으로 개방되어 있는 소스 도가니;상기 소스 도가니의 입구를 감싸도록 상기 소스 도가니 외부에 이격 배치되는 열복사/소스 반사판;상기 열복사/소스 반사판의 외주면을 따라 배치되어 열을 방출하여 상기 열복사/소스 반사판을 가열하는 적어도 하나 이상의 발열체;상기 소스 도가니의 하부를 지지하며, 적어도 하나 이상의 개구부를 구비한 소스 도가니 지지부; 및상기 발열체 외측에 형성되며, 상기 소스 도가니, 열복사/소스 반사판, 발열체 및 소스 도가니 지지부를 수용하는 하우징을 포함하며,상기 발열체에 의해 가열된 열복사/소스 반사판은 상기 소스 도가니 쪽으로 열복사선을 방사하여 상기 소스 도가니 및 상기 소스 도가니의 소스 물질을 가열하고, 가열된 소스 도가니로부터 분자선 형태로 방출되는 소스 물질을 재가열하여 반사 및 재증발시키며,상기 반사 및 재증발되는 소스 물질은 상기 소스 도가니 지지부에 구비된 개구부를 통해 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 하우징과 상기 발열체 사이에서 상기 하우징의 내주면을 따라 형성되어 상기 발열체로부터 방출되는 열을 상기 열복사/소스 반사판 쪽으로 반사하기 위한 반사판; 및상기 반사판과 상기 하우징 사이에서 상기 하우징의 내주면을 따라 형성되어 상기 발열체로부터 방사되는 열을 단열하기 위한 단열판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 소스 도가니 지지부는 상기 열복사/소스 반사판의 개방된 하부를 외부와 차폐하도록 형성된 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 소스 도가니 지지부에 형성된 개구부는, 상기 소스 도가니를 지지하는 부분의 외측면을 따라 일정한 패턴을 가지며 형성되며, 상기 개구부의 크기를 임의로 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 소스 도가니 지지부에 형성된 개구부는, 수직축 방향으로 경사를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 소스 도가니 지지부에 형성된 개구부를 통해 외부로 배출되는 분자선 형태로 방출되는 소스 물질을 재가열시키는 발열체를 상기 소스 도가니 지지부의 외측에 배치하는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 발열체는 각각 온도 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 열복사/소스 반사판 및 상기 하우징의 단면은 전체적으로 ∩자 형태인 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항에 있어서,상기 열복사/소스 반사판 및 상기 소스 도가니는 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 흑연(C), 카본(C), 세라믹(Al2O3, BN, PBN) 또는 금속산화물 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증발원 장치.
- 제1항 내지 제9항에 의해 형성된 하향식 노즐형 증발원 장치가 장착되는 진공 챔버를 포함하는 하향식 노즐형 진공 증착 장치에 있어서,상기 하향식 노즐형 증발원 장치는 상기 진공 챔버의 상면 하부에 적어도 하나 이상 장착되고,상기 진공 챔버 하부에는 기판이 배치되어, 상기 하향식 노즐형 증발원 장치로부터 분자선 형태의 소스 물질이 방사되어 상기 기판에 증착되는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증착 장치.
- 제10항에 있어서,상기 진공 챔버 하부 쪽에 배치되어, 상기 기판을 실어서 수평 방향으로 이 송하기 위한 롤러 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하향식 노즐형 진공 증착 장치.
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