KR20100099894A - 마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법 - Google Patents

마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법 Download PDF

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Abstract

마스크의 개구를 통하여 마스크의 불량을 용이하게 검사할 수 있도록, 본 발명은 원하는 패턴으로 증착을 하도록 소정의 개구를 갖는 마스크를 검사하기 위한 마스크 검사 장치로서, 상기 마스크의 개구의 경계선을 검출하는 표시부, 상기 마스크를 이용하여 증착할 피증착재의 정보를 저장한 저장부, 상기 저장부에 저장된 상기 피증착재의 정보를 기준으로 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 상기 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 설정부 및 상기 표시부로부터 검출한 상기 마스크의 경계선이 상기 제1 경계선 및 상기 제2 경계선과 접하지 않고 상기 안전 영역 내에 존재하는지 판단하는 제어부를 포함하는 마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법을 제공한다.

Description

마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법{Mask inspection apparatus and method of inspecting mask}
본 발명은 마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법에 관한 것으로 더 상세하게는 마스크의 개구를 통하여 마스크의 불량을 용이하게 검사할 수 있는 마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법에 관한 것이다.
원하는 패턴으로 증착 물질을 증착하기 위하여 소정의 패턴으로 형성된 개구부를 갖는 마스크를 이용한다.
특히 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층은 수분에 취약한 유기물을 포함하므로 포토 리소그래피법으로 패턴을 형성하는 것은 용이하지 않다. 그래서 유기 발광층을 형성하기 위하여 소정의 개구를 갖는 마스크를 이용하여 개구로 노출된 부분에 증착 물질이 증착되는 방법을 많이 사용한다.
통상 이러한 증착용 마스크는 금속을 포함하는 재질로 형성하는데 제조상의 문제로 복수의 개구가 모두 원하는 패턴으로 정확하게 형성되지 않는다.
마스크의 개구 중 원하는 패턴으로 형성되지 않은 개구가 있으면 마스크를 이용하여 증착 시 원하는 패턴으로 증착이 되지 않는다. 이러한 문제를 해결하고자 마스크를 미리 검사하는 방법들이 사용되고 있는데, 통상적으로 마스크의 각 개구들 중 인접한 개구들을 서로 비교하여 불량을 판단하는 방법이 사용된다.
그러나 이러한 방법으로는 마스크의 모든 개구들을 정확하게 검사하기가 용이하지 않아 마스크 검사의 정확성을 향상하는데 한계가 있다.
본 발명은 마스크의 개구를 통하여 마스크의 불량을 용이하게 검사할 수 있는 마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
본 발명은 원하는 패턴으로 증착을 하기 위하여 소정의 개구를 갖는 마스크를 검사하기 위한 마스크 검사 장치로서, 상기 마스크의 개구의 경계선을 검출하는 표시부, 상기 마스크를 이용하여 증착할 피증착재의 정보를 저장한 저장부, 상기 저장부에 저장된 상기 피증착재의 정보를 기준으로 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 상기 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 설정부 및 상기 표시부로부터 검출한 상기 마스크의 경계선이 상기 제1 경계선 및 상기 제2 경계선과 접하지 않고 상기 안전 영역 내에 존재하는지 판단하는 제어부를 포함하는 마스크 검사 장치를 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 설정부는 상기 피증착재의 정보를 이용하여 상기 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 가상의 맵의 형태로 설정할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 피증착재의 정보는 기판, 상기 기판 상의 셀, 서브 픽셀, 상기 서브 픽셀들 간의 간격을 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 표시부는 CCD카메라일 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 복수의 개구 중 그 경계선이 상기 제1 마스크 또는 제2 마스크와 접하여 상기 안전 영역 내에 존재하지 않는 개구에 관한 정보를 출력하는 출력부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면 (a) 원하는 패턴으로 증착을 하기 위하여 소정의 패턴으로 형성된 개구를 구비하는 마스크를 준비하는 단계, (b) 상기 마스크를 이용하여 증착할 피증착재의 정보를 기준으로 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 상기 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 단계 및 (c) 상기 마스크의 상기 개구의 경계선이 상기 제1 경계선 및 상기 제2 경계선과 접촉하지 않고 상기 안전 영역에 놓이는지를 판단하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법을 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 (b)단계에서 상기 피증착재의 정보를 이용하여 상기 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 가상의 맵의 형태로 설정할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 피증착재의 정보는 기판, 상기 기판 상의 셀, 서브 픽셀, 상기 서브 픽셀들 간의 간격을 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 (c)단계에서, 표시부를 이용하여 상기 개구부의 경계선을 검출할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 표시부는 CCD카메라일 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 (c)단계를 수행한 후에 상기 복수의 개구 중 그 경계선이 상기 안전 영역에 놓이지 않는 개구의 정보를 출력하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 관한 마스크 검사 장치 및 마스크 검사 방법은 마스크의 개구를 통하여 마스크의 불량을 용이하게 검사할 수 있다.
이하 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 검사 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 본 실시예의 마스크 검사 장치(100)는 표시부(111), 저장부(112), 제어부(113) 및 설정부(114)를 포함한다.
표시부(111)는 마스크의 개구의 경계선을 검출한다. 이를 위하여 표시부(111)는 카메라일 수 있고, 바람직하게는 CCD카메라일 수 있다.
저장부(112)는 마스크를 이용하여 증착할 피증착재의 정보를 저장한다. 저장부(112)는 ROM 또는 RAM등의 메모리일 수 있다.
설정부(114)는 저장부(112)에 저장된 피증착재의 정보를 이용하여 증착 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정한다. 설 정부(114)는 피증착재의 정보를 이용하여 좌표값이 적힌 테이블 형태 또는 맵의 형태로 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 설정할 수 있다.
제어부(113)는 표시부(111)로부터 검출한 마스크의 경계선이 제1 경계선 및 제2 경계선과 접하지 않고 안전 영역 내에 존재하는지 판단한다. 예를 들면 설정부(114)가 맵의 형태로 설정한 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 마스크의 경계선과 비교한다.
제어부(113)는 CPU를 포함하여 마스크 검사 장치(100)의 전체적인 동작을 통괄한다. 도 1에는 제어부(113), 저장부(112) 및 설정부(114)가 별도의 부재로 도시되어 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 제어부(113)내에 저장부(112) 또는 설정부(114)가 포함될 수 있고, 제어부(113)내에 저장부(112) 및 설정부(114)가 포함될 수도 있다.
저장부(112)는 증착할 피증착재의 정보를 저장하는데 피증착재는 다양한 형태일 수 있다. 구체적으로 피증착재는 유기 발광 표시 장치의 기판일 수 있다. 도 2는 증착이 되어야 하는 기판의 정보를 설명하기 위한 평면도이다.
기판(150)에는 서브 픽셀(151)들이 형성되어 있다. 도시하지 않았으나 기판(150)에는 복수의 셀들을 포함할 수 있고, 각 셀들은 복수의 서브 픽셀(151)들을 포함한다. 다만 기판(150)에 한 개의 셀을 형성할 수도 있다.
서브 픽셀(151)들은 동일한 폭(Sa)과 길이(Sb)를 갖도록 형성된다. 또한 각 서브 픽셀(151)들은 인접한 서브 픽셀(151)들과 일정한 수평 간격(Pa) 및 수직 간격(Pb)을 갖도록 형성된다.
이러한 서브 픽셀(151)들을 기준으로 마스크를 이용하여 증착물을 증착하게 된다. 유기 발광 표시 장치의 기판인 경우 마스크를 이용하여 서브 픽셀(151)들의 형태를 기준으로 하여 유기물을 증착하게 된다.
이를 위하여 저장부(112)는 증착하고자 하는 피증착재의 정보인 서브 픽셀(151)들에 관한 정보가 저장된다. 구체적으로 저장부(112)에는 서브 픽셀(151)의 폭(Sa)과 길이(Sb), 서브 픽셀(151)들 간의 수평 간격(Pa)과 수직 간격(Pb)이 저장된다.
그러나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 사용자의 의도에 따라 다른 크기의 서브 픽셀(151)들과 다른 간격들을 갖는 서브 픽셀(151)을 갖는 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있는데, 그 경우 각각의 서브 픽셀(151)의 폭(Sa), 길이(Sb), 수평 간격(Pa) 및 수직 간격(Pb)이 저장된다. 이때 저장부(112)는 기판(150)상에 서브 픽셀(151)이 배치된 형태를 맵(map)형태로 저장할 수 있다. 또한 이러한 정보를 좌표값이 기재된 테이블 형태로 저장할 수도 있다.
도 2의 기판(150)이 유기 발광 표시 장치의 기판인 경우 기판(150)은 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층을 형성하기 직전의 기판(150)을 도시한다. 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자를 구비하고, 유기 발광 소자는 하부 전극과 상부 전극 사이에 개재한 유기 발광층을 포함한다. 도 2는 기판(150)에 하부 전극이 형성된 형태를 도시한다. 구체적으로 도 2의 서브 픽셀(151)들은 하부 전극이 형성되고 절연막을 형성한 후에 노출된 하부 전극일 수 있다.
기판(150)에 각 서브 픽셀(151)들을 형성하면서 서브 픽셀(151)들의 정보들 은 임의의 저장 매체에 저장되므로 저장부(150)는 서브 픽셀(151)들의 정보를 용이하게 저장한다.
도 3은 도 1의 마스크 검사 장치로 마스크를 검사하는 과정을 도시한 부분 사시도이다.
도 3을 참조하면 표시부(111) 및 마스크(130)가 도시되어 있다. 마스크(130)는 복수의 개구(130)를 포함한다. 개구(130)는 증착물이 증착되는 통로가 된다. 표시부(111)는 마스크(130)상에서 마스크(130)의 개구(130)의 상태를 검출하여 이러한 정보를 제어부(미도시)에 전달하여 제어부 및 설정부(미도시)에 의하여 마스크 검사를 수행한다.
도시하지 않았으나 검사의 편의를 위하여 마스크(130)는 X축 및 Y축 방향으로 이동이 가능한 받침대상에 배치될 수 있다. 이를 통하여 표시부(111)는 고정된 상태에서 마스크(130)의 이동으로 마스크(130)의 검사를 수행할 수 있다.
도 4는 도 1의 마스크 검사 장치를 이용하여 마스크를 검사하는 과정을 도시한 부분 평면도이다. 도 4는 도 3의 표시부(111)가 검출한 영상일 수 있다.
도 4는 마스크(130)의 일부를 도시하고 있고, 마스크(130)는 네 개의 개구(131)를 포함한다. 설명의 의를 위하여 상단의 좌측 개구로부터 개구A(131A), 개구B(131B), 개구C(131C) 및 개구D(131D)로 정의한다.
도 4에 도시한 것과 같이 마스크(130)의 개구(131)들은 원하는 형태로 정확하게 형성되지 않는다. 마스크(130)의 개구들(131)은 불규칙한 경계선을 갖도록 형성되는 것이 일반적이다. 이는 마스크(130)를 형성하기 위한 미세한 패터닝이 용이 하지 않기 때문이다. 특히 마스크(130)의 재질이 금속인 경우에 마스크(130)의 개구(131)를 원하는 형태와 크기로 정확하게 형성하는 것은 용이하지 않다. 이로 인하여 도 4에 도시한 것과 같이 개구(131)들은 각기 다른 형태를 가질 수 있고, 이러한 개구(131)들이 증착을 위하여 적당한지 마스크(130)를 미리 검사할 필요가 있다.
도 4를 참조하면 각 개구(131)의 주변에는 제1 경계선(171), 제2 경계선(172) 및 안전 영역(173)이 도시되어 있다. 제1 경계선(171), 제2 경계선(172) 및 안전 영역(173)은 마스크(130)에 형성되는 영역이 아니고 가상의 선 및 영역이다. 도 1의 설정부(114)는 저장부(112)에 저장되어 있던 피증착재의 정보를 이용하여 제1 경계선(171), 제2 경계선(172) 및 안전 영역(173)을 설정한다.
구체적으로 유기 발광 표시 장치의 유기물을 증착하는 경우 도 2의 기판(150)의 서브 픽셀(151)들의 정보를 통하여 설정부가 제1 경계선(171), 제2 경계선(172) 및 안전 영역(173)을 설정한다.
서브 픽셀(151)들의 폭(Sa), 길이(Sb), 수평 간격(Pa) 및 수직 간격(Pb)들의 정보와 함께 기판(150)에 관한 정보를 이용하고, 기판(150)에 복수의 셀이 형성된 경우에는 셀들의 정보를 이용하여 설정부가 제1 경계선(171), 제2 경계선(172) 및 안전 영역(173)을 설정한다.
예를 들면 저장부에 맵형태로 저장된 각 서브 픽셀들의 위치 및 형태와 크기에 대한 정보를 이용하여 제1 경계선(171), 제2 경계선(172) 및 안전 영역(173)을 각 서브 픽셀에 대응하는 맵형태로 설정할 수 있다.
제1 경계선(171)은 증착이 되어야 하는 증착 영역의 경계선을 의미한다. 제1 경계선(171)은 도 2의 서브 픽셀(151)에 대응하므로 서브 픽셀(151)과 동일한 형태와 크기를 가질 수 있다. 즉 제1 경계선(171)은 서브 픽셀(151)의 폭(Sa) 및 길이(Sb)와 동일한 폭과 길이를 가질 수 있다. 그러나 공정상의 마진을 갖도록 제1 경계선(171)은 서브 픽셀(151)의 폭(Sa) 및 길이(Sb)보다 큰 값을 갖도록 할 수 있다. 예를 들면 설정부는 서브 픽셀의 폭 및 길이를 기준으로 수 마이크로 미터 큰 값으로 제1 경계선(171)을 설정한다.
제2 경계선(172)은 증착이 되어야 하는 경계선 즉 최대 증착 영역의 경계선을 의미한다. 설정부는 제1 경계선(171)을 기준으로 제2 경계선(172)을 설정할 수 있고, 제2 경계선(172)은 제1 경계선보다 크도록 형성한다. 공정 조건을 감안하여 제2 경계선(172)을 설정할 수 있다. 즉 요구되는 증착 패턴의 정밀도가 높아질수록 제2 경계선(172)은 크기가 작도록 설정된다.
안전 영역(173)은 제1 경계선(171)과 제2 경계선(172)사이에 형성되는 영역으로 마스크(131)의 경계선이 안전 영역(173)에 놓이면 제어부는 마스크(130)의 개구(131)가 정상 상태라고 판단할 수 있다.
도 4를 참조하면 개구A(131A), 개구B(131B) 및 개구D(131D)의 경계선은 제1 경계선(171) 및 제2 경계선(172)과 접촉하지 않고 안전 영역(173)내에 존재한다. 개구C(131C)의 경계선은 안전 영역(173)내에 존재하지 않고 제1 경계선(171) 및 제2 경계선(172)과 접촉한다. 이러한 경우 제어부는 개구A(131A), 개구B(131B) 및 개구D(131D)는 정상이라고 판단하고, 개구C(131C)는 불량이라고 판단한다.
본 실시예의 마스크 검사 장치(100)는 마스크(130)의 검사를 위하여 마스크(130)를 피증착재와 접촉하거나 정렬할 필요가 없다. 마스크 검사 장치(100)는 미리 설정된 피증착재의 정보를 이용하여 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 설정하고, 이들을 마스크의 개구와 비교함으로써 마스크를 용이하게 검사할 수 있다. 즉 마스크의 모든 개구들을 정밀하게 검사하는 것이 용이하고, 검사 공정이 간편하여 공정의 효율성이 향상된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 관한 마스크 검사 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다.
본 실시예의 마스크 검사 장치(200)는 표시부(211), 저장부(212), 제어부(213), 설정부(214) 및 출력부(215)를 포함한다.
본 실시예의 마스크 검사 장치(200)는 출력부(215)를 포함하여 제어부(213)에서 판단한 개구의 정보들을 출력할 수 있다. 즉 출력부(215)는 마스크의 개구들 중 정상이라고 판단한 개구들과 불량이라고 판단한 개구들을 출력할 수 있다. 이를 통하여 사용자는 불량이라고 판단한 개구들을 정상의 개구로 교정하거나 마스크를 교체하여 증착 공정을 진행할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 검사 방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.
본 실시예의 마스크 검사 방법은 개구를 구비하는 마스크를 준비하는 단계(S11), 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경 계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 단계(S12) 및 마스크의 개구의 경계선이 제1 경계선 및 제2 경계선과 접촉하지 않고 안전 영역에 놓이는지를 판단하는 단계(S13)를 포함한다.
단계(S11)에서 마스크는 증착을 위한 개구를 구비하는 도트(dot)형 마스크일 수 있다.
단계(S12)에서는 미리 저장된 피증착재의 정보를 기준으로 가상의 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 설정한다. 구체적으로 피증착재인 기판에 형성된 서브 픽셀에 대한 맵정보를 이용하고 공정 마진을 설정하여 각 서브 픽셀보다 수 마이크로 미터 큰 영역을 형성하는 제1 경계선을 설정하고, 제1 경계선보다 큰 영역을 형성하는 제2 경계선을 설정할 수 있다. 제1 경계선 및 제2 경계선은 가상의 경계선으로 좌표화된 정보를 이용하여 맵의 형태로 설정된다. 이러한 맵의 형태의 제1 경계선 및 제2 경계선을 마스크의 경계선과 비교하여 마스크의 검사를 용이하게 수행한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 관한 마스크 검사 방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.
본 실시예의 마스크 검사 방법은 개구를 구비하는 마스크를 준비하는 단계(S21), 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 단계(S22), 마스크의 개구의 경계선이 제1 경계선 및 제2 경계선과 접촉하지 않고 안전 영역에 놓이는지를 판단하는 단계(S23) 및 복수의 개구 중 개구의 경계선이 안전 영역에 놓이지 않는 개구의 정보를 출력하는 단계(S23)를 포함한다.
본 실시예는 단계(S23)에서 마스크의 개구 중 불량이라고 판단한 개구들의 정보를 출력한다. 이러한 정보는 개구들의 위치를 알려주는 좌표상의 정보를 포함할 수 있다. 이를 통하여 불량인 개구들만 선택적으로 교정할 수 있다. 또한 불량인 개구들이 일정 수 이상인 경우 마스크를 불량으로 판단하여 마스크를 교체할 수 있다.
도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 검사 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 증착이 되어야 하는 기판의 정보를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 마스크 검사 장치로 마스크를 검사하는 과정을 도시한 부분 사시도이다.
도 4는 도 1의 마스크 검사 장치를 이용하여 마스크를 검사하는 과정을 도시한 부분 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 관한 마스크 검사 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 검사 방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 관한 마스크 검사 방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>
100, 200: 마스크 검사 장치 111, 211: 표시부
112, 212: 저장부 113, 213: 제어부
114, 214: 설정부 130: 마스크
131: 개구부 150: 기판
151: 서브 픽셀 171: 제1 경계선
172: 제2 경계선 173: 안전 영역

Claims (11)

  1. 원하는 패턴으로 증착을 하도록 소정의 개구를 갖는 마스크를 검사하기 위한 마스크 검사 장치로서,
    상기 마스크의 개구의 경계선을 검출하는 표시부;
    상기 마스크를 이용하여 증착할 피증착재의 정보를 저장한 저장부;
    상기 저장부에 저장된 상기 피증착재의 정보를 기준으로 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 상기 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 설정부; 및
    상기 표시부로부터 검출한 상기 마스크의 경계선이 상기 제1 경계선 및 상기 제2 경계선과 접하지 않고 상기 안전 영역 내에 존재하는지 판단하는 제어부를 포함하는 마스크 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 설정부는 상기 피증착재의 정보를 이용하여 상기 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 가상의 맵의 형태로 설정하는 마스크 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 피증착재의 정보는 기판, 상기 기판 상의 셀, 서브 픽셀, 상기 서브 픽 셀들 간의 간격을 포함하는 마스크 검사 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 표시부는 CCD카메라인 마스크 검사 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 개구 중 그 경계선이 상기 제1 마스크 또는 제2 마스크와 접하여 상기 안전 영역 내에 존재하지 않는 개구에 관한 정보를 출력하는 출력부를 더 포함하는 마스크 검사 장치.
  6. (a) 원하는 패턴으로 증착을 하도록 소정의 패턴으로 형성된 개구를 구비하는 마스크를 준비하는 단계;
    (b) 상기 마스크를 이용하여 증착할 피증착재의 정보를 기준으로 증착이 되어야 하는 영역의 외곽선을 형성하는 제1 경계선, 상기 제1 경계선 주위를 감싸도록 형성되는 제2 경계선, 상기 제1 경계선과 상기 제2 경계선 사이에 형성되는 안전 영역을 설정하는 단계; 및
    (c) 상기 마스크의 상기 개구의 경계선이 상기 제1 경계선 및 상기 제2 경계선과 접촉하지 않고 상기 안전 영역에 놓이는지를 판단하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 (b)단계에서 상기 피증착재의 정보를 이용하여 상기 제1 경계선, 제2 경계선 및 안전 영역을 가상의 맵의 형태로 설정하는 마스크 검사 방법.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 피증착재의 정보는 기판, 상기 기판 상의 셀, 서브 픽셀, 상기 서브 픽셀들 간의 간격을 포함하는 마스크 검사 방법.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 (c)단계에서,
    표시부를 이용하여 상기 개구부의 경계선을 검출하는 마스크 검사 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 표시부는 CCD카메라인 마스크 검사 방법.
  11. 제6 항에 있어서,
    상기 (c)단계를 수행한 후에 상기 복수의 개구 중 그 경계선이 상기 안전 영역에 놓이지 않는 개구의 정보를 출력하는 단계를 더 포함하는 마스크 검사 방법.
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