KR20100075345A - 시료의 에칭처리방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 진공처리실을 형성하는 진공처리용기와, 상기 진공처리용기 내에 처리가스를 공급하는 가스공급장치와, 상기 가스공급장치로 공급한 처리가스를 해리하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마생성수단과, 상기 플라즈마생성수단으로 생성한 플라즈마의 발광을 모니터하는 발광분광기와, 그 발광 스펙트럼을 축적하는 수단을 구비한 에칭장치를 사용하여, 상기 진공처리용기 내로 반입한 시료에 에칭공정과 클리닝공정을 반복하여 에칭처리를 행하는 시료의 에칭처리방법에 있어서,시료의 양산처리 시에,상기 클리닝공정 시에서의 발광강도(1)를 취득하는 공정과,상기 양산처리 시 아이들링이 발생한 경우, 상기 아이들링 후의 클리닝공정 시에서의 발광강도(2)를 취득하는 공정과,상기 취득한 발광강도(1)와 발광강도(2)와의 차 또는 그 비를 산출하는 공정과,해당 산출한 결과와 사전에 취득한 데이터베이스를 기초로 산출한 가열시간으로 진공처리실을 플라즈마 가열하는 가열공정을 구비하고,상기 플라즈마 가열 후에 다음 시료를 에칭하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 진공처리실을 형성하는 진공처리용기와, 상기 진공처리용기 내에 처리가스를 공급하는 가스공급장치와, 상기 가스공급장치로 공급한 처리가스를 해리하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마생성수단과, 상기 플라즈마생성수단으로 생성한 플라즈마의 발광을 모니터하는 발광분광기와, 그 발광 스펙트럼을 축적하는 수단을 구비한 에칭장치를 사용하여, 상기 진공처리용기 내로 반입한 시료에 에칭공정과 클리닝공정을 반복하여 에칭처리를 행하는 시료의 에칭처리방법에 있어서,시료의 양산처리 시에,상기 클리닝공정 시에서의 발광강도(1)를 취득하는 공정과,상기 양산처리시 아이들링이 발생한 경우, 상기 아이들링 후의 클리닝공정 시에서의 발광강도(2)를 취득하는 공정과,상기 취득한 발광강도(1)와 발광강도(2)와의 차이가 0, 또는 비가 1인지의 여부를 판단하는 공정과,상기 판단하는 공정에서 그 차가 O, 또는 비가 1에 도달하지 않은 경우, 사전에 설정한 가열시간으로 진공처리실을 플라즈마 가열하는 가열공정을 구비하고,상기 판단하는 공정에서 그 차가 O, 또는 비가 1에 도달할 때까지, 상기 가열공정과 아이들링 후의 클리닝공정을 반복하여, 그 차가 0, 또는 비가 1이 된 경우에, 다음 시료를 에칭하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 진공처리실을 형성하는 진공처리용기와, 상기 진공처리용기 내에 처리가스를 공급하는 가스공급장치와, 상기 가스공급장치로 공급한 처리가스를 해리하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마생성수단과, 상기 플라즈마생성수단으로 생성한 플라즈마 의 발광을 모니터하는 발광분광기와, 그 발광 스펙트럼을 축적하는 수단을 구비한 에칭장치를 사용하여, 상기 진공처리용기 내로 반입한 시료에 에칭공정과 클리닝공정을 반복하여 에칭처리를 행하는 시료의 에칭처리방법에 있어서,시료의 양산처리 시, 아이들링의 발생이 예상되는 경우,상기 클리닝공정 후에 가열 겸 클리닝(1)을 행하여 발광강도(1)를 취득하는 공정과,상기 아이들링이 발생한 경우, 상기 아이들링 후에 가열 겸 클리닝(2)을 행하여 발광강도(2)를 취득하는 공정과,상기 취득한 발광강도(1)와 발광강도(2)의 차가 0, 또는 비가 1인지의 여부를 판단하는 공정과,상기 판단하는 공정에서 그 차가 0, 또는 비가 1에 도달하지 않은 경우, 상기 가열 겸 클리닝(2)을 행하여, 다시 발광강도(2)를 취득하고,상기 판단하는 공정에서 그 차가 0, 또는 비가 1에 도달할 때까지, 상기 가열 겸 클리닝(2)을 반복하여, 그 차가 0, 또는 비가 1에 도달한 경우에, 다음 시료를 에칭하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 아이들링 전후의 상기 클리닝공정 또는 상기 히팅 겸 클리닝공정의 도입가스에, 적어도 CF4, SiF4, SF6, C4F8, CHF3 가스를 함유하는, 또는 적어도 HCl, Cl2, CH2Cl2, SiCl4, BCl3 가스를 함유하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,모니터하는 상기 발광강도의 발광종으로서 SiF, SiCl, Si, O, F, C2, SiCl, Cl, Cl2, H 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 제 1항에 있어서,상기 발광강도의 차에 계수(α)를 곱하여 정수(C)(Constant)를 더한 값이 O이 되도록, 또는 발광강도의 비에 계수(α)를 곱하여 정수(C)를 더한 값이 1이 되도록, 상기 히팅공정의 시간을 결정하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 발광강도의 차에 계수(α)를 곱하여 정수(C)(Constant)를 더한 값이 O 에 도달하는 경우, 또는 발광강도의 비에 계수(α)를 곱하여 정수(C)를 더한 값이 1에 도달하는 경우에, 양산 재착공 전의 상기 히팅공정과 클리닝공정을 반복하는 것을 중지하는, 또는 상기 히팅 겸 클리닝공정의 종료를 결정하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 발광 강도차 또는 발광 강도비로서 사용하는 산출원의 발광강도(1) 및 발광강도(2)는, 상기 클리닝공정 중 또는 가열 겸 클리닝공정 중의 발광강도가 시간변화를 나타내지 않게 되는 점과 동일하거나, 이 점보다 시간적으로 나중의 발광강도로 하는 것을 특징으로 하는 시료의 에칭처리방법.
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