KR20100046813A - 통합 광학검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 통합 광학검사장치에 관한 것으로서, 본 발명의 통합 광학검사장치는 회로 패턴부와 상기 회로 패턴부 상에 적층되는 솔더 레지스트부를 포함하는 인쇄회로기판을 광학적으로 검사하기 위하여, 상기 인쇄회로기판을 촬영하는 촬영부와, 상기 인쇄회로기판 측으로 광을 조사하는 조명부와, 상기 인쇄회로기판의 촬영시 상기 인쇄회로기판을 지지하는 기판지지부를 구비하는 광학검사장치에 있어서, 상기 조명부는, 상기 솔더 레지스트부의 외관을 촬영하기 위하여 상기 솔더 레지스트부의 색상과 실질적으로 다른 색상의 광을 조사하는 제1조명; 및 상기 제1조명의 광과 다른 색상의 광을 조사하고, 상기 회로 패턴부를 촬영하기 위하여 상기 솔더 레지스트부의 색상과 실질적으로 동일한 색상의 광을 조사하는 제2조명;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

통합 광학검사장치{Integrated optical inspection apparatus}
본 발명은 통합 광학검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인쇄회로기판의 회로 패턴부 또는 솔더 레지스트부의 촬영시 각각에 대하여 최적의 영상을 획득할 수 있는 통합 광학검사장치에 관한 것이다.
액정표시장치의 드라이버 집적회로, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들의 제조에 사용되는 주요 재료의 하나인 인쇄회로기판은 반도체 디바이스의 소형화, 경량화 추세에 따라 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 플렉시블 인쇄회로 기판(Flexible Printed Circuit Board)을 많이 사용하고 있다. 플렉시블 형태의 인쇄회로기판 중에서는 예를 들어, TAB(Tape Automatic Bonding), COF(Chip On Film) 기판 등이 있으며, 노광, 현상, 에칭 공정 등을 통하여 기판에 미세 회로 패턴이 형성된다.
따라서 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 제품 출하전 검사에 있어서, 회로 패턴부, 솔더 레지스트부(solder resist), 반도체 칩이 전기적으로 연결되는 영역(inner lead부)등의 외관 검사가 핵심 검사 항목으로 구분되고 있다. 즉, 반도체 IC 제조용 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 상기 검사 항목들 의 효과적인 검사가 생산성 및 품질 관리에 관건이 되고 있다. 필름, 테이프 형태의 인쇄회로기판 제조업체에 도입된 광학검사장치는 회로 패턴부의 합선(short), 단락(open), 돌기(protrusion), 결손(mouse bite), 변색, 이물부착 및 솔더 레지스트부의 외관, 이물부착 등 각종 결함들을 검출한다.
도 1은 일반적인 인쇄회로기판의 정면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.
인쇄회로기판(1)은 동(copper) 등의 재질로 에칭 공정을 거쳐 플렉시블 필름(4) 상에 형성되는 회로 패턴부(2)와, 회로 패턴부(2) 상에 적층되는 솔더 레지스트부(3)를 구비한다. 회로 패턴부(2)는 동 재질로 형성된 층이므로 적갈색으로 마련되며, 솔더 레지스트부(3)는 일반적으로 녹색으로 마련된다.
이와 같이 회로 패턴부와 솔더 레지스트부가 서로 다른 색상으로 형성되어 있으므로, 동일한 색상의 광을 조사하는 조명부를 구비한 종래의 광학검사장치는 회로 패턴부 및 솔더 레지스트부에 대한 최적의 영상을 획득하지 못하는 문제점이 있었다.
또한 종래에는 솔더 레지스트부의 도포 전 회로 패턴부의 패턴을 검사하기 위한 패턴 광학검사장치와 솔더 레지스트부 도포 후 외관을 검사하기 위한 외관 광학검사장치가 별도로 분리되어 있어서, 장치를 개별적으로 구매하는 비용 및 이들을 각각 관리하는데 소요되는 인력 및 비용이 증가하고, 불필요한 물류의 흐름이 발생하여 제품의 2차 오염 및 손상이 발생하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 인쇄회로기판에서 솔더 레지스트부 하측에 배치된 회로 패턴부의 촬영시 솔더 레지스트부의 색상과 동일한 색상의 광을 조사함으로써 솔더 레지스트부에 의해 도포되어 외부에 노출되어 있지 않은 회로 패턴부에 대한 최적의 영상을 획득할 수 있어, 패턴검사와 외관검사를 통합한 통합 광학검사장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 통합 광학검사장치는, 회로 패턴부와 상기 회로 패턴부 상에 적층되는 솔더 레지스트부를 포함하는 인쇄회로기판을 광학적으로 검사하기 위하여, 상기 인쇄회로기판을 촬영하는 촬영부와, 상기 인쇄회로기판 측으로 광을 조사하는 조명부와, 상기 인쇄회로기판의 촬영시 상기 인쇄회로기판을 지지하는 기판지지부를 구비하는 광학검사장치에 있어서, 상기 조명부는, 상기 솔더 레지스트부의 외관을 촬영하기 위하여 상기 솔더 레지스트부의 색상과 실질적으로 다른 색상의 광을 조사하는 제1조명; 및 상기 제1조명의 광과 다른 색상의 광을 조사하고, 상기 회로 패턴부를 촬영하기 위하여 상기 솔더 레지스트부의 색상과 실질적으로 동일한 색상의 광을 조사하는 제2조명;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 통합 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 솔더 레지스트부는 녹색으로 마련되고, 상기 제1조명의 광은 적색광을 포함하고 상기 제2조 명의 광은 녹색광을 포함한다.
본 발명에 따른 통합 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 기판지지부는, 상기 인쇄회로기판이 안착되는 지지면과, 상기 인쇄회로기판과 상기 지지면 사이의 공기를 흡입하여 상기 인쇄회로기판을 상기 지지면에 흡착시키기 위하여 상기 지지면을 관통하여 형성된 관통공을 포함한다.
본 발명에 따른 통합 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 인쇄회로기판을 상기 지지면으로부터 이격시키기 위하여 상하방향으로 승강 가능한 승강롤러를 더 포함한다.
본 발명에 따른 통합 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 기판지지부는, 상기 지지면을 상기 인쇄회로기판의 이송방향을 따라 평행하게 이송시키는 수평이송부를 더 포함한다.
본 발명에 따른 통합 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 인쇄회로기판을 상기 인쇄회로기판의 이송방향을 따라 이송시키는 구동력을 제공하는 피딩부를 더 포함하고, 상기 인쇄회로기판이 상기 지지면에 흡착된 후, 상기 수평이송부와 상기 피딩부는 동기화되어 상기 수평이송부의 이송속도와 상기 피딩부의 선속도는 실질적으로 동일하다.
본 발명의 통합 광학검사장치에 따르면, 인쇄회로기판에서 솔더 레지스트부 하측에 배치된 회로 패턴부의 촬영시 솔더 레지스트부의 색상과 동일한 색상의 광을 조사함으로써, 솔더 레지스트부에 의해 도포되어 외부에 노출되어 있지 않은 회 로 패턴부에 대하여 보다 선명한 최적의 영상을 획득할 수 있다.
또한 본 발명의 통합 광학검사장치에 따르면, 진공을 이용하여 인쇄회로기판을 지지면에 밀착시켜 인쇄회로기판을 평평하게 유지함으로써, 초점깊이가 짧은 고배율의 카메라를 사용하더라도 카메라와 인쇄회로기판 사이의 거리를 일정하게 유지하여 인쇄회로기판에 대한 선명하고 명확한 영상을 획득할 수 있다.
또한 본 발명의 통합 광학검사장치에 따르면, 인쇄회로기판을 지지면으로부터 이격시키기 위한 승강롤러를 포함함으로써, 수평이송부의 초기위치 복귀시 지지면에 의해 인쇄회로기판에 발생될지 모르는 스크래치 등을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 통합 광학검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 통합 광학검사장치의 정면도이고, 도 4는 도 3의 통합 광학검사장치의 촬영부, 조명부 및 기판지지부의 확대도이고, 도 5는 솔더 레지스트부를 촬영하기 위하여 제1조명의 적색광을 조사한 상태를 나타내는 도면이고, 도 6은 회로 패턴부를 촬영하기 위하여 제2조명의 녹색광을 조사한 상태를 나타내는 도면이고, 도 7은 도 3의 통합 광학검사장치의 기판지지부의 사시도이고, 도 8은 승강롤러에 의해 인쇄회로기판이 지지면으로부터 이격된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3 내지 도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 통합 광학검사장치(100)는 인쇄회로기판(1)의 회로 패턴부(2) 또는 솔더 레지스트부(3) 각각에 대하여 서로 다 른 색상의 광을 조사하는 장치로서, 권출부(110)와, 장력조절부(120)와, 투과검사부(195)와, 검증부(130)와, 권취부(140)와, 촬영부(150)와, 조명부(160)와, 기판지지부(170)와, 승강롤러(180)와, 피딩부(190)를 포함한다.
우선 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 통합 광학검사장치(100)가 광학적으로 검사하는 인쇄회로기판(1)은 동(copper) 등의 재질로 플렉시블 필름(4) 상에 도포된 후 에칭 공정을 거쳐 플렉시블 필름(4) 상에 형성되는 회로 패턴부(2)와, 회로 패턴부(2)의 산화 및 근접 회로 사이의 브리지(bridge)를 방지하고자 회로 패턴부(2) 상에 적층되는 솔더 레지스트부(3)를 구비한다. 회로 패턴부(2)는 동 자체의 색상으로 인해 적갈색으로 마련되며, 솔더 레지스트부(3)는 일반적으로 녹색으로 마련된다.
상기 권출부(110)는 다수의 인쇄회로기판(1)들을 연속적으로 제공하고, 상기 장력조절부(120)는 권출부(110)를 통해 제공되는 인쇄회로기판(1)의 장력을 조절하기 위한 것이다.
상기 투과검사부(195)는 장력조절부(120) 사이에 배치되며, 회로 패턴부(2)의 바텀 쇼트와 같은 결함 등을 검출하기 위한 것이다. 후술할 촬영부(150) 및 조명부(160)는 반사광을 이용하도록 배치되어 있으나, 투과검사부(195)에서는 조명(197)이 인쇄회로기판(1)을 관통하도록, 즉 조명(197)의 광이 인쇄회로기판(1)의 하측에서 상측으로 조사되도록 배치되며, 카메라(199)는 인쇄회로기판(1)의 상면을 향하도록 배치된다.
상기 검증부(130)는 인쇄회로기판(1)의 회로 패턴부(2) 및 솔더 레지스트 부(3)를 검사한 후 양품 또는 불량품 판정을 받은 인쇄회로기판(1)을 재확인하기 위한 것이며, 상기 권취부(140)는 검사를 마친 인쇄회로기판(1)들을 수용하여 되감는다. 권출부(110), 장력조절부(120), 검증부(130) 및 권취부(140)는 일반적인 광학검사장치를 구성하는 요소들로서 당업자에게 잘 알려진 것이므로, 더이상의 상세한 설명은 생략한다.
본 실시예에 있어서 인쇄회로기판(1)의 양품, 불량품의 검증속도를 높이기 위하여 한 쌍의 검증부(130)가 이용된다. 한 쌍의 검증부(130)는 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 배치되는데, 상류측에 배치된 검증부(130)가 플렉시블 필름(4) 상에서 홀수번째의 인쇄회로기판(1)의 검증을 담당하면 하류측에 배치된 검증부(130)가 플렉시블 필름(4) 상에서 짝수번째의 인쇄회로기판(1)의 검증을 담당하면서 인쇄회로기판(1)의 검증속도를 높이게 된다.
상기 촬영부(150)는 인쇄회로기판(1)을 촬영하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 카메라가 이용된다. 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 다수의 카메라가 이격되게 배치되는데, 촬영부(150)는 인쇄회로기판(1)의 솔더 레지스트부(3)의 외관을 촬영하기 위한 제1카메라(151)와, 인쇄회로기판(1)의 회로 패턴부(2)를 촬영하기 위한 제2카메라(153)를 포함한다.
제1카메라(151)는 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 가장 상류측과 가장 하류측에 2개 마련되고, 제2카메라(153)는 한 쌍의 제1카메라(151) 사이에서 3개 마련된다. 정밀한 검사를 위하여 시야범위(field of view)가 작은 카메라를 사용하기 때문에, 인쇄회로기판(1)의 전체 촬영영역을 복수의 서브 촬영영역으로 나누 어 검사한다. 각각의 카메라는 각각의 서브 촬영영역과 마주보도록 인쇄회로기판(1)의 상측에 배치된다.
상기 조명부(160)는 인쇄회로기판(1) 측으로 광을 조사하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 발광 다이오드를 광원으로 이용한다. 조명부(160)는 제1카메라(151)와 대응하여 제1카메라(151)의 전방에 설치되는 제1조명(161)과, 제2카메라(153)와 대응하여 제2카메라(153)의 전방에 설치되는 제2조명(163)을 포함한다.
상기 제1조명(161)은 기존의 외관검사기 기능을 수행하기 위해 사용되는 조명으로, 솔더 레지스트부(3)의 외관을 촬영하기 위하여 솔더 레지스트부(3)의 색상과 실질적으로 다른 색상의 광을 조사한다. 제1조명(161)은 인쇄회로기판(1)의 상면과 마주보게 배치되며, 본 실시예에서는 제1조명(161)으로 적색광(L1)을 출사하는 적색 발광 다이오드가 사용된다. 제1조명(161)으로 적색광(L1) 외에 녹색인 솔더 레지스트부(3)와 다른 색상, 예컨대 백색광 또는 청색광을 이용할 수도 있다.
일반적으로 박막층과 동일한 색상의 광을 조사하면 그 광은 박막층을 투과하는 비율이 높고, 박막층과 다른 색상의 광을 조사하면 그 광은 박막층에 의해 흡수되는 비율이 높다. 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 녹색으로 마련된 솔더 레지스트부(3)의 색상과 다른 색상, 즉 적색광(L1)을 솔더 레지스트부(3) 측으로 조사하여 솔더 레지스트부(3)에 의해 흡수 및 반사되는 광을 이용하여 솔더 레지스트부(3)의 외관, 솔더 레지스트 핀홀, 솔더 레지스트 뭉침, 솔더 레지스트 기포 또는 솔더 레지스트부(3)의 상측에 존재할 수 있는 이물 여부를 검사한다.
상기 제2조명(163)은 기존의 패턴검사기 기능을 수행하기 위해 사용되는 조 명으로, 제1조명(161)의 광과 다른 색상의 광을 조사하고, 회로 패턴부(2)를 촬영하기 위하여 솔더 레지스트부(3)의 색상과 실질적으로 동일한 색상의 광을 조사한다. 제2조명(163)은 인쇄회로기판(1)의 상면과 마주보게 배치되며, 본 실시예에서는 제2조명(163)으로 녹색광(L2)을 출사하는 녹색 발광 다이오드를 사용하여, 녹색으로 마련된 솔더 레지스트부(3)의 색상과 실질적으로 동일한 색상, 즉 녹색광(L2)을 솔더 레지스트부(3) 측으로 조사한다.
제2조명(163)의 녹색광(L2)의 대부분은 솔더 레지스트부(3)를 투과하여 솔더 레지스트부(3)의 하측에 형성된 회로 패턴부(2)에 도달된다. 회로 패턴부(2)에 도달된 녹색광(L2)은 반사되고 다시 솔더 레지스트부(3)를 투과하여 인쇄회로기판(1)의 상측으로 향하게 되며 그 반사광이 제2카메라(153)의 촬상소자에 도달하여 이미지를 형성하게 되므로, 회로 패턴부(2)의 형상(합선, 단락, 돌기, 결손 등) 또는 회로 패턴부(2)의 이물부착 등을 검사할 수 있다.
회로 패턴부(2)를 촬영하기 위하여 솔더 레지스트부(3)의 색상과 다른 색상의 광을 조사하는 경우, 명확한 영상을 획득하는데 있어서 곤란하다. 다른 색상의 광은 회로 패턴부(2)에 도달하기 전 솔더 레지스트부(3)를 통과하면서 대부분의 광이 솔더 레지스트부(3)에 흡수되고, 회로 패턴부(2)에 도달하여 반사되는 광 역시 다시 솔더 레지스트부(3)를 통과하면서 대부분의 광이 흡수되기 때문에, 카메라 측으로 입사되는 광량은 상당히 적게 된다. 따라서 촬영된 회로 패턴부(2)의 영상은 명확하지 못하게 되고 인쇄회로기판(1)의 결함 판단에 문제가 발생할 수 있다.
상기 제1조명(161)과 제2조명(163)에 의하여 종래의 광학검사장치에서 달성 하지 못한 기능들, 즉 솔더 레지스트부(3)를 도포하기 전에만 가능했던 패턴검사 기능과 솔더 레지스트부(3)를 도포한 후에만 가능했던 외관검사 기능을 하나의 통합장치에서 구현하는 일이 가능해졌다.
상기 기판지지부(170)는 인쇄회로기판(1)의 촬영시 인쇄회로기판(1)을 지지하기 위한 것으로서, 고배율의 광학계에서 짧은 초점심도 문제로 인한 초점흐림 문제와 촬영 중 피사체의 흔들림에 의한 영상흐림 문제를 해결하여 안정된 영상을 획득하기 위한 것이다. 기판지지부(170)는 지지면(171)과, 관통공(173)과, 수평이송부(175)를 포함한다.
상기 지지면(171)은 인쇄회로기판(1)이 안착되는 면으로서 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 평행하게 형성된다. 인쇄회로기판(1)를 고배율의 렌즈로 촬영할 때 짧은 초점심도로 인한 초점흐림을 제거하기 위하여 인쇄회로기판(1)의 평평도 유지가 필요한데, 기판지지부(170)의 평평도 확보와 인쇄회로기판(1)의 충분한 밀착이 유지되어야 한다.
상기 관통공(173)은 지지면(171)을 관통하여 형성되며 인쇄회로기판(1)과 지지면(171) 사이의 공기를 흡입하기 위하여 진공 펌프(미도시)에 연결된다. 관통공(173)을 통해 인쇄회로기판(1)과 지지면(171) 사이의 공기가 흡입되면 그 사이의 공간은 진공 상태로 되어 인쇄회로기판(1)이 지지면(171)에 흡착되게 된다.
회로 패턴의 리드의 폭 및 리드 간의 간격이 좁아지면서 점점 더 고배율의 카메라가 이용될 수 밖에 없는데, 카메라가 고배율일수록 초점깊이(depth of focus)는 짧아지게 되므로 정밀한 검사를 위해서는 검사대상이 되는 인쇄회로기 판(1)의 평평도가 유지되어야 한다. 따라서 플렉시블 인쇄회로기판(1)을 진공을 이용하여 지지면(171)에 밀착시킴으로써 고배율의 카메라가 갖는 짧은 초점깊이의 단점을 보완할 수 있으며, 인쇄회로기판(1)의 전면에 걸쳐 안정되고 뚜렷한 영상을 획득할 수 있다.
상기 수평이송부(175)는 지지면(171)을 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 평행하게 전후로 이송시킨다. 플렉시블 필름(4) 상에 순차적으로 형성된 인쇄회로기판(1)을 검사하는 경우 인쇄회로기판(1)이 흡착된 지지면(171)은 수평이송부(175)에 의해 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 전진하게 된다. 수평이송부(175)가 전방 스트로크 한계에 도달하면 후속하는 인쇄회로기판(1)을 검사하기 위하여 인쇄회로기판의 이송방향의 반대방향(B)으로 이동하여 초기위치로 다시 복귀한다. 수평이송부(175)는 회전모터와 볼스크류 등으로 구성될 수도 있고, 최근 많이 이용되는 리니어모터 등으로 구성될 수도 있다. 이러한 구성은 당업자에게 널리 알려진 것이므로 더이상의 상세한 설명은 생략한다.
상기 승강롤러(180)는 인쇄회로기판(1)을 지지면(171)으로부터 이격시키기 위하여 상하방향으로 승강 가능하다. 일련의 인쇄회로기판(1)의 검사가 완료되고 수평이송부(175)의 전방 스트로크 한계에 도달하면 수평이송부(175)만이 다시 후퇴하여 초기위치에 위치하고 이어지는 인쇄회로기판(1)이 다시 지지면(171)에 안착된다. 수평이송부(175)의 후퇴시 이미 검사완료된 인쇄회로기판(1)에 생성될 수 있는 스크래치 등을 방지하기 위하여, 승강롤러(180)를 이용하여 인쇄회로기판(1)을 지지면(171)으로부터 들어올린다. 수평이송부(175)가 초기위치에 위치하면 승강롤 러(180)는 하강하고 인쇄회로기판(1)은 다시 지지면(171)에 흡착된다.
상기 피딩부(190)는 인쇄회로기판(1)을 인쇄회로기판의 이송방향(A)을 따라 이송시키는 구동력을 제공한다. 피딩부(190)에는 모터(미도시) 등의 구동원이 연결되며, 모터의 회전방향에 따라 피딩부(190)는 정방향 또는 역방향으로 회전가능하다. 인쇄회로기판(1)이 지지면(171)에 흡착된 후, 수평이송부(175)와 피딩부(190)는 동기화되어 수평이송부(175)의 이송속도(v1)와 피딩부(190)의 선속도(v2)는 실질적으로 동일해진다. 수평이송부(175)의 이송속도(v1)와 피딩부(190)의 선속도(v2)를 동일하게 함으로써, 수평이송부(175)와 피딩부(190) 사이에 별도의 장력조절장치가 없이 구성될 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조하면서, 본 실시예에 따른 통합 광학검사장치(100)의 작동원리를 간략하게 설명하기로 한다.
우선 권출부(110)에 의하여 필름 형태의 인쇄회로기판(1)들이 연속적으로 촬영부(150), 조명부(160) 및 기판지지부(170) 측으로 제공된다. 인쇄회로기판(1)이 지지면(171)에 안착되고 진공 펌프에 연결된 관통공(173)을 통해 인쇄회로기판(1)과 지지면(171) 사이의 공기가 흡입되면, 인쇄회로기판(1)은 지지면(171)에 흡착되게 된다.
인쇄회로기판(1)이 지지면(171)에 흡착되어 평평도를 유지한 상태에서 인쇄회로기판(1)의 검사가 이루어진다. 제1카메라(151)와 제1조명(161)의 적색광(L1)을 이용하여 솔더 레지스트부(3)의 외관 또는 솔더 레지스트부(3)의 이물부착 등을 검사한다. 또한 제2카메라(153)와 제2조명(163)의 녹색광(L2)을 이용하여 회로 패 턴부(2)의 외관(합선, 단락, 돌기, 결손 등) 또는 회로 패턴부(2)의 이물부착 등을 검사한다.
솔더 레지스트부(3)와 회로 패턴부(2)에 대한 검사는 인쇄회로기판(1)이 지지면(171)에 흡착된 상태에서 수평이송부(175)에 의해 지지면(171)이 전진하면서 이루어진다. 이때, 수평이송부(175)와 피딩부(190)는 동기화되어 수평이송부(175)의 이송속도(v1)와 피딩부(190)의 선속도(v2)는 실질적으로 동일하다. 일련의 인쇄회로기판(1)의 검사가 완료되고 수평이송부(175)의 전방 스트로크 한계에 도달하면 승강롤러(180)를 이용하여 인쇄회로기판(1)을 지지면(171)으로부터 들어올린다. 이후 수평이송부(175)는 인쇄회로기판의 이송방향의 반대방향(B)으로 이동하여 초기위치로 다시 복귀하고 승강롤러(180)가 하강하면서 후속하는 인쇄회로기판(1)이 다시 지지면(171)에 흡착된다.
검사가 완료된 인쇄회로기판(1)은 검증부(130)에 의해 다시 양품, 불량품 여부가 확인되고, 확인이 완료된 인쇄회로기판(1)은 권취부(140)에 감김으로써 검사 과정은 마무리된다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합 광학검사장치는, 박막층의 색상과 동일한 색상의 광을 조사하면 박막층을 투과하는 비율이 높다는 원리를 이용하여 인쇄회로기판에서 솔더 레지스트부 하측에 배치된 회로 패턴부의 촬영시 솔더 레지스트부의 색상과 동일한 색상의 광을 조사함으로써, 솔더 레지스트부에 의해 도포되어 외부에 노출되어 있지 않은 회로 패턴부에 대하여 보다 선명한 최적의 영상을 획득할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합 광학검사장치는, 진공을 이용하여 인쇄회로기판을 지지면에 밀착시켜 인쇄회로기판을 평평하게 유지함으로써, 초점깊이가 짧은 고배율의 카메라를 사용하는 환경에서도 카메라와 인쇄회로기판 사이의 거리를 일정하게 유지하여 인쇄회로기판에 대한 선명하고 명확한 영상을 획득할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 통합 광학검사장치는, 인쇄회로기판을 지지면으로부터 이격시키기 위한 승강롤러를 포함함으로써, 수평이송부의 초기위치 복귀시 지지면에 의해 인쇄회로기판에 발생될지 모르는 스크래치 등을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
도 1은 일반적인 인쇄회로기판의 정면도이고,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 통합 광학검사장치의 정면도이고,
도 4는 도 3의 통합 광학검사장치의 촬영부, 조명부 및 기판지지부의 확대도이고,
도 5는 솔더 레지스트부를 촬영하기 위하여 제1조명의 적색광을 조사한 상태를 나타내는 도면이고,
도 6은 회로 패턴부를 촬영하기 위하여 제2조명의 녹색광을 조사한 상태를 나타내는 도면이고,
도 7은 도 3의 통합 광학검사장치의 기판지지부의 사시도이고,
도 8은 승강롤러에 의해 인쇄회로기판이 지지면으로부터 이격된 상태를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 인쇄회로기판 2: 회로 패턴부
3: 솔더 레지스트부 100: 통합 광학검사장치
150: 촬영부 160: 조명부
161: 제1조명 163: 제2조명
170: 기판지지부

Claims (6)

  1. 회로 패턴부와 상기 회로 패턴부 상에 적층되는 솔더 레지스트부를 포함하는 인쇄회로기판을 광학적으로 검사하기 위하여, 상기 인쇄회로기판을 촬영하는 촬영부와, 상기 인쇄회로기판 측으로 광을 조사하는 조명부와, 상기 인쇄회로기판의 촬영시 상기 인쇄회로기판을 지지하는 기판지지부를 구비하는 광학검사장치에 있어서,
    상기 조명부는,
    상기 솔더 레지스트부의 외관을 촬영하기 위하여 상기 솔더 레지스트부의 색상과 실질적으로 다른 색상의 광을 조사하는 제1조명; 및
    상기 제1조명의 광과 다른 색상의 광을 조사하고, 상기 회로 패턴부를 촬영하기 위하여 상기 솔더 레지스트부의 색상과 실질적으로 동일한 색상의 광을 조사하는 제2조명;을 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 광학검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 솔더 레지스트부는 녹색으로 마련되고,
    상기 제1조명의 광은 적색광을 포함하고, 상기 제2조명의 광은 녹색광을 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 광학검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판지지부는,
    상기 인쇄회로기판이 안착되는 지지면과, 상기 인쇄회로기판과 상기 지지면 사이의 공기를 흡입하여 상기 인쇄회로기판을 상기 지지면에 흡착시키기 위하여 상기 지지면을 관통하여 형성된 관통공을 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 광학검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 인쇄회로기판을 상기 지지면으로부터 이격시키기 위하여 상하방향으로 승강 가능한 승강롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 광학검사장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 기판지지부는,
    상기 지지면을 상기 인쇄회로기판의 이송방향을 따라 평행하게 이송시키는 수평이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 광학검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 인쇄회로기판을 상기 인쇄회로기판의 이송방향을 따라 이송시키는 구동력을 제공하는 피딩부를 더 포함하고,
    상기 인쇄회로기판이 상기 지지면에 흡착된 후, 상기 수평이송부와 상기 피딩부는 동기화되어 상기 수평이송부의 이송속도와 상기 피딩부의 선속도는 실질적 으로 동일한 것을 특징으로 하는 통합 광학검사장치.
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