KR20120050857A - 광학검사장치 - Google Patents

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KR20120050857A
KR20120050857A KR1020100112317A KR20100112317A KR20120050857A KR 20120050857 A KR20120050857 A KR 20120050857A KR 1020100112317 A KR1020100112317 A KR 1020100112317A KR 20100112317 A KR20100112317 A KR 20100112317A KR 20120050857 A KR20120050857 A KR 20120050857A
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송기효
박세용
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Abstract

본 발명은 광학검사장치에 관한 것으로서, 인쇄회로기판이 연속적으로 배치된 필름이 감겨 있는 권출부; 상기 필름의 연속적인 평탄도를 확보하기 위하여, 상기 필름을 흡착시켜 고정하는 흡착 플레이트; 상기 흡착 플레이트를 상기 필름의 이송방향을 따라 평행하게 이송시키며, 전방 스트로크 한계에 도달하면 후퇴하여 상기 흡착 플레이트를 초기위치로 복귀시키는 수평이송유닛; 상기 권출부와 상기 흡착 플레이트 사이에 설치되며, 회전을 위한 구동원이 연결되어 있지 않으며, 상기 흡착 플레이트에 고정된 상태로 이송되는 필름을 지지하는 지지 롤러부; 상기 권출부와 상기 지지 롤러부 사이에 설치되며, 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 필름에 상기 흡착 플레이트에 의해 작용하는 장력과 반대방향의 장력을 제공하는 장력 조절부; 및 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 필름을 사이에 두고 배치되는 조명과 카메라를 구비하며, 투과광을 이용하여 상기 필름을 검사하는 투과 검사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광학검사장치{Optical inspection apparatus}
본 발명은 광학검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 조명과 카메라를 이용하여 인쇄회로기판이 연속적으로 배치된 필름에서 불량 여부를 광학적으로 검사하는 광학검사장치에 관한 것이다.
연성 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuits Board, FPCB)은 고밀도 배선 회로의 소형화 및 경량화 설계가 가능하고, 굴곡 가능한 특성을 가지고 있어, 휴대폰, 카메라, 엘씨디 디스플레이 등 광범위한 제품에 적용되고 있다.
연성 인쇄회로기판은 베이스 필름(base film)으로 폴리이미드(polyimide) 필름 등의 연성 재료를 사용한다. 예컨대, 폴리이미드 필름 위에 동박으로 회로를 구성하고, 구성된 회로 위에 전기적인 연결부는 도금으로, 연결이 불필요한 부분은 회로보호 및 절연을 위해 영구적인 코팅을 위해 솔더 레지스트(Sold Resist)를 도포하여 연성 인쇄회로기판을 완성한다. 따라서, 연성 인쇄회로기판은 에폭시(epoxy) 또는 페놀(phenol)류의 경질 회로기판에 비해 절곡성이 우수하고, 연속 생산이 가능하다.
이러한 연성 인쇄회로기판에는 TCP(Tape Carrier Package), COF(Chip On Film), TAB(Tape Automated Bonding) 기판 등이 있으며, 노광, 현상, 에칭 공정 등을 통하여 기판에 미세 회로 패턴이 형성된다. 그런데, 미세 회로 패턴 내에서의 합선(Short), 단락(Open), 돌기(Protrusion), 결손(Mouse Bite), 변색, 이물부착 등 각종 결함이 발생하여 큰 문제가 야기되고 있어, 이들의 효과적인 검사가 생산성 및 품질 관리에 관건이 되고 있는 실정이다.
도 1은 종래의 광학검사장치의 일례를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 광학검사장치에서 투과 검사부 부위를 확대한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 광학검사장치는 인쇄회로기판이 연속적으로 배치된 필름(1)이 감겨 있는 권출부(10)와, 검사가 완료된 필름(1)을 수용하여 되감는 권취부(20)와, 필름(1)을 사이에 두고 조명과 카메라를 마주보게 배치하여 투과광을 이용하여 필름을 검사하는 투과 검사부(60)와, 투과광을 이용한 필름 검사 시 필름(1)을 지지하는 투과 롤러부(31,32)와, 필름(1)의 일측에 조명과 카메라를 배치하여 반사광을 이용하여 필름(1)을 검사하는 반사 검사부(70)와, 반사광을 이용한 필름 검사 시 필름(1)을 지지하는 반사 롤러부(41,42)와, 권출부(10)를 통해 제공되는 필름(1)의 장력을 조절하기 위한 장력 조절부(50)를 포함한다.
투과 롤러부는 일반적으로 이격되게 배치되는 한 쌍의 롤러(31,32)로 구성되며, 각 롤러(31,32)의 회전축(31a,32a)에는 회전구동원인 모터(미도시)가 연결된다. 양 롤러(31,32)를 서로 다른 방향으로 회전시켜 필름(1)에 장력을 제공함으로써 필름(1)을 팽팽하게 유지시킬 수 있으며, 필름의 이송방향(A1)을 따라 하류에 배치된 롤러(32)의 모터의 토크를 더 크게 하여 필름(1)이 이송될 수 있게 한다. 또한, 롤러(31,32)의 양 가장자리부에는 스프라켓 톱니(31b,32b)가 형성되어 있으며, 필름(1)의 양 가장자리부에 이산적으로 형성된 일련의 홀(2)에 스프라켓 톱니(31b,32b)가 삽입되어 걸림으로써, 필름(1)의 이송이 가능해진다.
종래의 광학검사장치에서는 필름을 팽팽하게 유지시키기 위해 롤러를 회전시키는 과정에서 구동원이 되는 모터의 백래쉬로 인해 필름이 이송되는 도중 흔들림이 자주 발생한다. 필름의 흔들림은 카메라로 촬영하여 획득된 영상의 흔들림으로 직결되어 검사 화상이 왜곡되는 문제가 발생한다.
또한, 롤러의 스프라켓 톱니가 필름의 홀에 삽입되어 걸리고 롤러가 회전함으로써 필름이 이송될 수 있는데, 롤러의 스프라켓 톱니와 필름의 홀 사이의 공차가 검사 화상의 왜곡 문제를 발생시킨다. 즉, 더욱 정밀한 검사를 위하여 시야 범위(Field Of View)가 좁은 카메라가 이용되는데, 롤러의 스프라켓 톱니와 필름의 홀 사이의 공차로 인해 필름이 흔들림으로써, 시야 범위가 좁은 카메라를 이용하여 촬영한 화상의 왜곡은 더욱 심해지는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반사 검사부에서 필름을 이송시키는 구동원과 장력 조절부를 이용하여 투과 검사부에서 검사되는 필름을 팽팽하게 유지함과 동시에 필름의 흔들림을 방지함으로써, 장치의 구성을 간소화시키고, 촬영된 검사 화상의 품질을 향상시킬 수 있는 광학검사장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 광학검사장치는, 인쇄회로기판이 연속적으로 배치된 필름이 감겨 있는 권출부; 상기 필름의 연속적인 평탄도를 확보하기 위하여, 상기 필름을 흡착시켜 고정하는 흡착 플레이트; 상기 흡착 플레이트를 상기 필름의 이송방향을 따라 평행하게 이송시키며, 전방 스트로크 한계에 도달하면 후퇴하여 상기 흡착 플레이트를 초기위치로 복귀시키는 수평이송유닛; 상기 권출부와 상기 흡착 플레이트 사이에 설치되며, 회전을 위한 구동원이 연결되어 있지 않으며, 상기 흡착 플레이트에 고정된 상태로 이송되는 필름을 지지하는 지지 롤러부; 상기 권출부와 상기 지지 롤러부 사이에 설치되며, 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 필름에 상기 흡착 플레이트에 의해 작용하는 장력과 반대방향의 장력을 제공하는 장력 조절부; 및 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 필름을 사이에 두고 배치되는 조명과 카메라를 구비하며, 투과광을 이용하여 상기 필름을 검사하는 투과 검사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 지지 롤러부는, 상기 필름의 가장자리부에 이산적으로 형성된 일련의 홀에 삽입되는 스프라켓 톱니를 구비하지 않는다.
본 발명에 따른 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 수평이송유닛은, 리니어 모터와, 직선운동 가이드와, 전방 스트로크 한계를 감지하는 센서를 포함한다.
본 발명에 따른 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 장력 조절부는, 상기 필름의 이송방향과 교차하는 방향을 따라 배치되는 회전축; 상기 회전축을 회전중심으로 하여 회전하며, 상기 수평이송유닛이 상기 흡착 플레이트를 상기 필름의 이송방향을 따라 이송시키는 동안은 상기 흡착 플레이트에 가까워지는 방향으로 회전하고, 상기 수평이송유닛이 상기 흡착 플레이트를 초기위치로 복귀시키는 동안은 상기 흡착 플레이트로부터 멀어지는 방향으로 회전하는 회전암; 및 상기 회전암의 단부에 결합되며 상기 필름이 감겨지는 롤러;를 포함한다.
본 발명에 따른 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 장력 조절부는, 상기 회전축을 회전중심으로 하는 원호 방향으로 이격되게 설치되며, 상기 회전암의 회전각도를 측정하기 위한 다수의 센서를 더 포함한다.
본 발명에 따른 광학검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 회전축과 상기 회전암 사이에 설치되는 베어링을 더 포함한다.
본 발명의 광학검사장치에 따르면, 반사 검사부에서 필름을 이송시키는 구동원과 장력 조절부를 이용하여 투과 검사부에서 검사되는 필름을 팽팽하게 유지하고 필름의 흔들림을 방지함으로써, 촬영된 검사 화상의 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 광학검사장치에 따르면, 투과 검사부에서 검사되는 필름을 지지하는 롤러에 별도의 회전모터를 연결하지 않고, 필름의 홀에 삽입되는 스프라켓 톱니를 롤러에 형성하지 않음으로써, 장치의 구성을 간소화시킬 수 있고, 제작 비용도 절감시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 광학검사장치에 따르면, 직선운동 가이드를 이용하여 상하 직선운동하는 장력 조절부의 구성 대신 회전축을 중심으로 회전하면서 상하운동하는 장력 조절부의 구성을 채용함으로써, 상하운동시 장력 조절부에서 발생하는 충격력이 필름에 전달되는 것을 차단하여 검사 영상의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 광학검사장치의 일례를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 도 1의 광학검사장치에서 투과 검사부 부위를 확대한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학검사장치를 개략적으로 도시한 도면.
도 4는 도 3의 광학검사장치에서 지지 롤러부 및 흡착 플레이트 부위를 확대한 도면.
도 5는 도 3의 광학검사장치에서 장력 조절부가 흡착 플레이트에 가까워지는 방향으로 회전한 상태를 도시한 도면.
도 6은 도 3의 광학검사장치에서 장력 조절부가 흡착 플레이트로부터 멀어지는 방향으로 회전한 상태를 도시한 도면.
이하, 본 발명에 따른 광학검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 광학검사장치에서 지지 롤러부 및 흡착 플레이트 부위를 확대한 도면이고, 도 5는 도 3의 광학검사장치에서 장력 조절부가 흡착 플레이트에 가까워지는 방향으로 회전한 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 도 3의 광학검사장치에서 장력 조절부가 흡착 플레이트로부터 멀어지는 방향으로 회전한 상태를 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예의 광학검사장치(100)는, 반사 검사부에서 필름을 이송시키는 구동원과 장력 조절부를 이용하여 필름을 팽팽하게 유지시키면서 투과 검사부에서 필름의 검사를 수행하는 것으로서, 권출부(110)와, 흡착 플레이트(120)와, 수평이송유닛(130)과, 반사 검사부(140)와, 장력 조절부(150)와, 지지 롤러부(160)와, 투과 검사부(170)와, 승강 롤러(180)와, 권취부(190)를 포함한다.
상기 권출부(110)는, 인쇄회로기판이 연속적으로 배치된 필름(1)이 감겨 있는 것으로서, 권출부(110)로부터 권출된 필름(1)은 투과 검사부(170) 및 반사 검사부(140) 측으로 연속적으로 제공된다.
상기 흡착 플레이트(120)는, 필름(1)의 연속적인 평탄도를 확보하기 위하여 필름(1)을 흡착시켜 고정한다. 흡착 플레이트(120)는 필름(1)에 배치된 인쇄회로기판의 촬영시 필름(1)을 지지하기 위한 것으로서, 고배율의 광학계에서 짧은 초점심도 문제로 인한 초점흐림 문제와 촬영 중 피사체의 흔들림에 의한 영상흐림 문제를 해결하여 안정된 영상을 획득할 수 있다.
흡착 플레이트(120)는 필름(1)이 안착되는 면으로서 필름의 이송방향(A1)을 따라 평행하게 형성된다. 필름(1)을 고배율의 렌즈로 촬영할 때 짧은 초점심도로 인한 초점흐림을 제거하기 위해서는 필름(1)의 연속적인 평탄도 유지가 필요한데, 이를 위해서는 흡착 플레이트(120)의 평탄도 확보와 필름(1)의 충분한 밀착이 유지되어야 한다.
흡착 플레이트(120)의 표면을 관통하여 관통공(미도시)이 형성되어 있으며, 필름(1)과 흡착 플레이트(120) 사이의 공기를 흡입하기 위하여 관통공은 진공 펌프(미도시)에 연결된다. 관통공을 통해 필름(1)과 흡착 플레이트(120) 사이의 공기가 흡입되면 그 사이의 공간은 진공 상태로 되어 필름(1)이 흡착 플레이트(120)에 흡착된다.
회로 패턴의 리드의 폭 및 리드 간의 간격이 좁아지면서 점점 더 고배율의 카메라가 이용될 수밖에 없는데, 카메라가 고배율일수록 초점깊이(depth of focus)는 짧아지게 되므로 정밀한 검사를 위해서는 검사대상이 되는 필름(1)의 평탄도가 유지되어야 한다. 따라서 연성의 필름(1)을 진공을 이용하여 흡착 플레이트(120)에 밀착시킴으로써 고배율의 카메라가 갖는 짧은 초점깊이의 단점을 보완할 수 있으며, 필름(1)의 전면에 걸쳐 안정되고 뚜렷한 영상을 획득할 수 있다.
상기 수평이송유닛(130)은, 흡착 플레이트(120)를 필름의 이송방향(A1)을 따라 평행하게 이송시킨다. 필름(1) 상에 순차적으로 형성된 인쇄회로기판을 검사하는 경우 필름(1)이 흡착된 흡착 플레이트(120)는 수평이송유닛(130)에 의해 필름의 이송방향(A1)을 따라 전진한다. 수평이송유닛(130)이 전방 스트로크 한계에 도달하면 후속하는 필름(1)을 검사하기 위하여 필름의 이송방향의 반대방향(A2)으로 이동하여(후퇴하여) 흡착 플레이트(120)를 초기위치로 다시 복귀시킨다. 여기서, 초기위치라 함은 홈 센서가 부착된 위치로서, 수평이송유닛(130)에서 상대좌표값 "0"으로 인식하는 위치를 말한다.
본 실시예의 수평이송유닛(130)는 리니어 모터와, 직선운동 가이드와, 전방 스트로크 한계를 감지하는 센서를 포함하도록 구성되는 것이 바람직하다. 종래의 수평이송유닛으로 회전모터, 볼 스크류, 직선운동 가이드의 조합체가 있는데, 이러한 조합체에서는 볼 스크류를 구성하는 나사축과 너트 사이에서 백래쉬가 발생하며, 백래쉬로 인해 필름(1)이 흔들리게 되고 필름(1)의 흔들림은 화상의 왜곡으로 연결되므로 바람직하지 않다.
상기 반사 검사부(140)는, 흡착 플레이트(120)에 의해 흡착되어 이송되는 필름(1)을 반사광을 이용하여 검사한다. 필름(1)의 일측에 조명과 카메라를 배치하여 반사광을 이용하여 필름(1)을 검사한다.
필름의 이송방향(A1)을 따라 다수의 카메라가 이격되게 배치되는데, 각각의 카메라는 인쇄회로기판의 솔더 레지스트부나 회로 패턴부를 촬영한다. 정밀한 검사를 위하여 시야범위(field of view)가 작은 카메라를 사용하기 때문에, 인쇄회로기판의 전체 촬영영역을 복수의 서브 촬영영역으로 나누어 검사한다. 각각의 카메라는 각각의 서브 촬영영역과 마주보도록 필름(1)의 상측에 배치된다.
조명으로는 발광 다이오드가 이용되며, 검사하고자 하는 목표물(솔더 레지스트부 또는 회로 패턴부)에 따라 서로 다른 색상의 조명이 이용된다.
상기 지지 롤러부(160)는, 흡착 플레이트(120)에 고정된 상태로 이송되는 필름(1)을 지지하는 것으로서, 후술하는 장력 조절부(150)와 흡착 플레이트(120) 사이에 설치된다. 후술할 투과 검사부(170)를 이용하여 지지 롤러부(160)에 의해 지지되는 필름(1)에 대한 검사가 수행된다.
본 실시예의 지지 롤러부(160)는 필름의 이송방향(A1)을 따라 이격되게 배치된 한 쌍의 롤러(161)로 구성되는데, 각각의 롤러(161)에는 회전을 위한 구동원이 전혀 연결되어 있지 않으며 자유롭게 회전 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 실시예의 지지 롤러부(160)는, 필름(1)의 가장자리부에 이산적으로 형성된 일련의 홀(2)에 삽입되기 위한 스프라켓 톱니를 구비하지 않으며 평탄한 면으로 형성되는 것을 특징으로 한다. 종래에는 필름(1)의 가장자리부에 형성된 홀(2)에 롤러(161)의 스프라켓 톱니가 삽입되어 회전함으로써 필름(1)을 이송시켰으나, 본 발명에서는 필름의 이송방향(A1)을 기준으로 하류 측에 배치된 흡착 플레이트(120)가 필름(1)을 흡착하고 이를 수평이송유닛(130)이 수평이송함으로써 필름(1)의 이송이 가능하므로, 별도의 스프라켓 톱니가 마련될 필요가 없다.
상기 장력 조절부(150)는, 지지 롤러부(160)에 의해 지지되는 필름(1)에 장력을 제공하기 위한 것으로서, 권출부(110)와 지지 롤러부(160) 사이에 설치된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 흡착 플레이트(120)에 필름(1)이 흡착되어 이송됨으로써, 지지 롤러부(160)에 의해 지지되는 필름(1)에는 B1 방향으로의 장력이 제공된다. 또한, 장력 조절부(150)에는 무게추(미도시)가 연결되어 하측으로 하중이 작용함으로써, 지지 롤러부(160)에 의해 지지되는 필름(1)에는 B2 방향으로의 장력이 제공된다. 이와 같이 필름의 이송방향(A1)을 기준으로 하류 측에 배치된 흡착 플레이트(120)와, 필름의 이송방향(A1)을 기준으로 상류 측에 배치된 장력 조절부(150)에 의해, 지지 롤러부(160)에 지지되는 필름(1)에는 서로 다른 방향의 장력이 제공되므로, 지지 롤러부의 롤러(161)에 별도의 구동원을 연결하지 않아도 필름(1)을 팽팽한 상태로 유지할 수 있다.
본 발명의 장력 조절부(150)는 회전축(151)을 회전중심으로 하여 회전하면서 필름(1)의 장력을 조절하는 것을 특징으로 한다. 종래의 장력 조절부는 상하방향으로 직선형태로 구성되며, 롤러(153)의 상하 직선운동을 위해 직선운동 가이드(LM 가이드)가 설치되었다. 직선운동 가이드의 구조를 살펴보면, 직선 궤도와, 직선 궤도상을 왕복하며 다수의 볼을 수용하는 가이드 브라켓으로 구성된다. 가이드 브라켓이 직선 궤도를 왕복하는 과정에서 다수의 볼이 직선 궤도에 충돌하는 구조적인 문제가 발생하고, 그 충격력이 필름(1)에 그대로 전해져서 필름(1)을 촬영한 영상에도 흔들림이 발생한다. 따라서, 본 발명에서는 장력 조절부(150)가 회전되도록 구성함으로써, 상하운동시 발생하는 충격력을 제거하여 검사 영상의 품질을 향상시킨다.
본 실시예의 장력 조절부(150)는 회전축(151)과, 회전암(152)과, 롤러(153)와, 다수의 센서(154)와, 베어링(미도시)을 포함한다.
상기 회전축(151)은 필름의 이송방향(A1)과 교차하는 방향을 따라 배치된다.
상기 회전암(152)은 회전축(151)을 회전중심으로 하여 회전 가능하게 설치되며, 긴 막대 형상이다. 수평이송유닛(130)이 흡착 플레이트(120)를 필름의 이송방향(A1)을 따라 이송시키는 동안에는, 회전암(152)은 흡착 플레이트에 가까워지는 방향(C1)으로 회전한다. 또한, 수평이송유닛(130)이 흡착 플레이트(120)를 초기위치로 복귀시키는 동안에는, 회전암(152)은 흡착 플레이트로부터 멀어지는 방향(C2)으로 회전한다.
상기 롤러(153)는 회전축(151)과 반대편인 회전암(152)의 단부에 결합되며 필름(1)이 감겨져 있다.
상기 다수의 센서(154)는 회전암(152)의 회전각도를 측정하기 위한 것으로서, 회전축(151)을 회전중심으로 하는 원호 방향으로 이격되게 설치된다. 센서(154)의 감지로 인해 실시간으로 회전암(152)의 위치 파악이 가능해진다.
상기 베어링은 회전축(151)과 회전암(152) 사이에 설치되며, 트러스트 베어링이 이용되는 것이 바람직하다.
한편, 장력 조절부(150)는 권출부(110)로부터 권출되는 필름(1)의 장력을 조절할 수도 있다.
상기 투과 검사부(170)는, 투과광을 이용하여 필름(1)을 검사하는 것으로서, 지지 롤러부(160)에 의해 지지되는 필름(1)을 사이에 두고 배치되는 조명(171)과 카메라(172)를 포함하도록 구성된다. 한 쌍의 롤러(161) 사이에서, 조명(171)은 필름(1)의 하측에 배치되고, 카메라(172)는 조명9171)과 마주보게 배치되면서 필름(1)의 상측에 배치된다.
상기 승강 롤러(180)는, 필름(1)을 흡착 플레이트(120)로부터 이격시키기 위하여 상하방향으로 승강 가능하다. 흡착 플레이트(120)에 흡착된 필름(1) 부분에 대한 검사가 완료되고 수평이송유닛(130)의 전방 스트로크 한계에 도달하면 수평이송유닛(130)은 후퇴한다. 수평이송유닛(130)의 후퇴시 이미 검사완료된 필름(1)에 생성될 수 있는 스크래치 등을 방지하기 위하여, 승강 롤러(180)를 이용하여 필름(1)을 흡착 플레이트(120)로부터 이격되도록 들어올린다. 흡착 플레이트(120)가 초기위치로 복귀되면 승강 롤러(180)는 하강하고 이어지는 필름(1)은 다시 흡착 플레이트(120)에 흡착된다.
상기 권취부(190)는, 검사가 완료된 필름(1)을 수용하여 되감는다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 광학검사장치를 이용하여 필름의 불량 여부를 검사하는 방법에 대하여, 도 3 내지 도 6을 참조하면서 개략적으로 설명하기로 한다.
도 5를 참조하면, 필름(1)이 흡착된 흡착 플레이트(120)가 수평이송유닛(130)에 의해 필름의 이송방향(A1)을 따라 전진하는 동안, 회전암(152)은 흡착 플레이트에 가까워지는 방향(C1)으로 회전한다. 이때, 흡착 플레이트(120)의 흡착력에 의해 지지 롤러부(160)에 지지된 필름(1)에는 B1 방향으로의 장력이 제공되며, 장력 조절부(150)에 설치된 무게추의 하중에 의해 지지 롤러부(160)에 지지된 필름(1)에는 B2 방향으로의 장력이 제공된다. 따라서, 지지 롤러부의 롤러(161)에 별도의 구동원을 연결하지 않아도 필름(1)을 팽팽한 상태로 유지할 수 있으며, 투과 검사부(170) 및 반사 검사부(140)를 이용하여 필름(1)의 검사가 가능하다.
도 6을 참조하면, 수평이송유닛(130)이 전방 스트로크 한계에 도달하고 필름의 이송방향의 반대방향(A2)으로 후퇴하여 흡착 플레이트(120)를 초기위치로 다시 복귀시키는 동안, 회전암(152)은 흡착 플레이트로부터 멀어지는 방향(C2)으로 회전한다. 수평이송유닛(130)의 후퇴시 이미 검사완료된 필름(1)에 생성될 수 있는 스크래치 등을 방지하기 위하여, 승강 롤러(180)를 이용하여 필름(1)을 흡착 플레이트(120)로부터 이격되도록 들어올린다. 흡착 플레이트(120)가 초기위치로 복귀되는 동안에는 필름(1)의 검사가 수행되지 않는다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 광학검사장치는, 반사 검사부에서 필름을 이송시키는 구동원과 장력 조절부를 이용하여 투과 검사부에서 검사되는 필름을 팽팽하게 유지하고 필름의 흔들림을 방지함으로써, 촬영된 검사 화상의 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 광학검사장치는, 투과 검사부에서 검사되는 필름을 지지하는 롤러에 별도의 회전모터를 연결하지 않고, 필름의 홀에 삽입되는 스프라켓 톱니를 롤러에 형성하지 않음으로써, 장치의 구성을 간소화시킬 수 있고, 제작 비용도 절감시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 광학검사장치는, 직선운동 가이드를 이용하여 상하 직선운동하는 장력 조절부의 구성 대신 회전축을 중심으로 회전하면서 상하운동하는 장력 조절부의 구성을 채용함으로써, 상하운동시 장력 조절부에서 발생하는 충격력이 필름에 전달되는 것을 차단하여 검사 영상의 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110 : 권출부
120 : 흡착 플레이트
130 : 수평이송유닛
140 : 반사 검사부
150 : 장력 조절부
160 : 지지 롤러부
170 : 투과 검사부

Claims (6)

  1. 인쇄회로기판이 연속적으로 배치된 필름이 감겨 있는 권출부;
    상기 필름의 연속적인 평탄도를 확보하기 위하여, 상기 필름을 흡착시켜 고정하는 흡착 플레이트;
    상기 흡착 플레이트를 상기 필름의 이송방향을 따라 평행하게 이송시키며, 전방 스트로크 한계에 도달하면 후퇴하여 상기 흡착 플레이트를 초기위치로 복귀시키는 수평이송유닛;
    상기 권출부와 상기 흡착 플레이트 사이에 설치되며, 회전을 위한 구동원이 연결되어 있지 않으며, 상기 흡착 플레이트에 고정된 상태로 이송되는 필름을 지지하는 지지 롤러부;
    상기 권출부와 상기 지지 롤러부 사이에 설치되며, 상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 필름에 상기 흡착 플레이트에 의해 작용하는 장력과 반대방향의 장력을 제공하는 장력 조절부; 및
    상기 지지 롤러부에 의해 지지되는 필름을 사이에 두고 배치되는 조명과 카메라를 구비하며, 투과광을 이용하여 상기 필름을 검사하는 투과 검사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 롤러부는, 상기 필름의 가장자리부에 이산적으로 형성된 일련의 홀에 삽입되는 스프라켓 톱니를 구비하지 않은 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 수평이송유닛은, 리니어 모터와, 직선운동 가이드와, 전방 스트로크 한계를 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 장력 조절부는,
    상기 필름의 이송방향과 교차하는 방향을 따라 배치되는 회전축;
    상기 회전축을 회전중심으로 하여 회전하며, 상기 수평이송유닛이 상기 흡착 플레이트를 상기 필름의 이송방향을 따라 이송시키는 동안은 상기 흡착 플레이트에 가까워지는 방향으로 회전하고, 상기 수평이송유닛이 상기 흡착 플레이트를 초기위치로 복귀시키는 동안은 상기 흡착 플레이트로부터 멀어지는 방향으로 회전하는 회전암; 및
    상기 회전암의 단부에 결합되며 상기 필름이 감겨지는 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 장력 조절부는,
    상기 회전축을 회전중심으로 하는 원호 방향으로 이격되게 설치되며, 상기 회전암의 회전각도를 측정하기 위한 다수의 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 회전축과 상기 회전암 사이에 설치되는 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학검사장치.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107677603A (zh) * 2017-10-27 2018-02-09 浙江欧珑电气有限公司 一种大尺寸印制电路板缺陷检测仪的机身结构
CN109297988A (zh) * 2018-10-30 2019-02-01 东莞睿影智能科技有限公司 一种集光学检查及返修功能一体化的fpc线路检查机
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KR20210089801A (ko) * 2019-12-31 2021-07-19 (주)에스엘티지 캡슐형 제품 외관검사장치
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WO2024117686A1 (ko) * 2022-11-30 2024-06-06 주식회사 엔비컨스 필름 두께 및 통기도 측정시스템

Cited By (10)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107677603A (zh) * 2017-10-27 2018-02-09 浙江欧珑电气有限公司 一种大尺寸印制电路板缺陷检测仪的机身结构
CN109297988A (zh) * 2018-10-30 2019-02-01 东莞睿影智能科技有限公司 一种集光学检查及返修功能一体化的fpc线路检查机
CN109374641A (zh) * 2018-11-14 2019-02-22 嵊州市文达纺织有限公司 一种纺织品疵点检测装置
CN109374641B (zh) * 2018-11-14 2021-06-04 嵊州市文达纺织有限公司 一种纺织品疵点检测装置
CN109738437A (zh) * 2018-12-29 2019-05-10 西安西电电力电容器有限责任公司 一种金属化薄膜电容器自愈点测量装置及方法
CN109738437B (zh) * 2018-12-29 2021-07-06 西安西电电力电容器有限责任公司 一种金属化薄膜电容器自愈点测量装置及方法
KR20210089801A (ko) * 2019-12-31 2021-07-19 (주)에스엘티지 캡슐형 제품 외관검사장치
KR20220141445A (ko) * 2021-04-13 2022-10-20 주식회사 디에이피 스크래치보호필름부착 외관자동최종검사장치
KR20230019611A (ko) * 2021-08-02 2023-02-09 에스티에스 주식회사 금속 포일용 비전 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법
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