KR20090083843A - 패턴 검사방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 회로 패턴의 단락을 정밀도 좋게 검출할 수 있는 투과 방식을 전제로 하여, 조명광의 이용 효율을 높게 하여, 광원의 직접광을 카메라에 입사시키는 경우에 생기는 노이즈를 제거하여 검사 정밀도를 향상시키고, 회로 패턴의 배치 방향의 영향을 받지 않고, 기포나 흠집 또는 상처의 치수에 의한 영향을 받지 않고, 검사 정밀도를 향상시킨다.

피검사물(10)를 향해서 개방하는 사출구(164e)를 형성하여 내면을 대략 구면형의 확산 반사면으로 한 구면체(164a)의 내측에 광을 입사하고, 이 입사광을 이 구면체(164a)의 내면에 의해 반사시켜 산란광으로 하고, 이 산란광을 사출구(164e)로부터 피검사물(10)를 향해서 사출하고, 이 산란광에 의한 피검사물(10)의 투과화상을 촬영하고, 이 촬영 화상을 사용하여 패턴을 검사한다.

피검사물, 구면체

Description

패턴 검사방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR PATTERN INSPECTION}

본 발명은, 투광성 베이스 필름에 비투광성의 패턴을 형성한 피검사물을 투과광에 의해 검사하는 패턴 검사방법과 장치에 관한 것이다.

최근, 전자기기의 소형화 요구에 적합한 프린트 배선판으로서, 플렉시블 프린트 배선판(Flexible Printed Circuit, 이하, FPC라고 함)이 알려져 있다. FPC는, 유연하고 얇게 반투명의 폴리이미드제의 베이스 필름상에 회로 패턴을 형성한 것이다. 여기에 회로 패턴은 통상 베이스 필름에 접착한 구리 호일을 에칭함으로써 형성된다.

한편, IC, LSI의 다핀화 요구에 적합한 실장 기술로서, TAB(Tape Automated Bonding)법이 알려져 있다. TAB법은, 폴리이미드제의 베이스 필름(TAB 테이프)상에 형성된 구리 호일 패턴을 IC 칩의 전극에 접합하여 외부 리드로 하는 것이다. 또 실장 밀도를 올리기 위해서, 덮이지 않은 IC 칩을 플렉시블 기판에 직접 탑재하고 나서 수지 밀봉하는 것도 행하여지고 있다(COF : Chip on Flex, 또는 Film).

도 5는 COF 실장에 사용하는 플렉시블 기판(1)의 일례를 도시하는 단면도이다. 이 도 5에 있어서 부호 2는 베이스 필름이고, 갈색을 띠는 반투명한 폴리이미 드 필름제이다. 이 베이스 필름(2)의 1측면(상면)에는, 접착제로 구리 호일이 접착되고, 이 구리 포일이 포토 에칭 처리되어 회로 패턴(3)이 형성된다. 부호 4는 베이스 필름(2)의 타측면(하면)에 적층된 보강재이고, 거의 투명한 PET 필름이다. 이 보강재(4)는 베이스 필름(2)을 뒷바침하여 기계적 강도를 증대시키는 것으로, 후에 박리된다.

이러한 플렉시블 프린트 배선판이나, 베이스 필름(TAB법)이나, COF법에 사용하는 플렉시블 기판에서는, 패턴 형성 후에 현미경을 사용하여 사람이 육안으로 패턴 검사를 한다. 그런데, 미세한 패턴을 육안으로 검사하기 위해서는, 숙련을 요하는 동시에, 눈을 혹사시킨다는 문제점이 있었다. 그래서, 육안 검사를 대체하는 것으로서, 베이스 필름이나 플렉시블 기판에 형성된 패턴 또는 회로 패턴을 TV 카메라로 촬상하여 자동적으로 검사하는 패턴 검사장치가 제안되어 있다.

이와 같은 패턴 검사장치에는, 회로 패턴의 표면에 조명광을 조사하여, 회로 패턴의 반사광을 수광하는 반사 방식(낙사(落射) 방식)과, 베이스 필름이나 플렉시블 기판의 투과광을 수광하는 투과 방식이 있다. 특허문헌 1, 2는 전자의 반사 방식이고, 특허문헌 3, 4는 후자의 투과 방식이다.

[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 제(평)11-296657

[특허문헌2] 일본 공개특허공보 제(평)5-307007

[특허문헌 3] 일본 공개특허공보 2004-347417

[특허문헌 4] 일본 공개특허공보 2000-113191

반사 방식의 것은, 회로 패턴간의 홈의 에칭 처리가 불충분하다는 등의 이유 로, 홈의 밑바닥에 구리 호일의 일부가 남고, 회로 패턴이 단락되어 있는 경우를 정확하게 검출할 수 없다는 문제가 있다. 한편 투과 방식에 의하면, 이러한 회로 패턴간의 단락을 검출할 수 있기 때문에, 검출 정밀도가 각별히 향상된다. 그러나 이 투과 방식에는 베이스 필름이나 플렉시블 기판에 기포가 들어가 있거나, 흠집이나 상처가 있으면, 이들이 노이즈가 되어 검사 정밀도가 저하된다고 하는 새로운 문제가 생긴다.

도 5는 이 투과 방식의 개념을 도시하고, 이 도면에서 조명광(5)은 피검사물이 되는 플렉시블 기판(1)에 아래 쪽으로부터 조사되고, 이 광은 플렉시블 기판(1)을 투과하여 CCD 카메라(6)로 판독된다. 여기에 베이스 필름(2)이나 보강재(4) 중이나 이들의 접합부에는 약간 기포(7)가 혼입되고, 또한 표면에 흠집이나 상처(8)가 있는 경우가 있다.

특허문헌 3은, 이들 기포(7)나, 흠집 또는 상처(8)에 의한 영향을 감소시키기 위해서, 카메라(6)의 시야 밖으로부터 확산광으로 피검사물(1)을 조사하는 것을 제안하고 있다. 즉 지향성을 가지는 복수의 광원을 피검사재(1)에 대하여 비스듬하게 조사함으로써, 광원의 직사광(직진광)이 카메라에 직접 입사하지 않도록 한다. 특허문헌 4는, 1개의 램프의 광을 반사판에서 반사시켜 피검사물(1)의 하면으로 유도하여, 램프의 직접광과 이 반사광(경사 조명광)으로 피검사물을 조사하는 것을 제안한다.

이들 특허문헌 3, 4는 지향성을 가지는 광원을 사용하고 있지만, 특허문헌 3에서는 직진광을 차광하여 화상 촬영에 이용하지 않기 때문에, 조명광의 이용 효율이 나쁘다. 또한 특허문헌 4에서는 직접광이 카메라에 입사하기 때문에, 직접광에 의해 생기는 기포(7)나, 흠집 또는 상처(8)의 노이즈가 남게 되어, 검사 정밀도의 향상에는 한계가 있다.

또 이들의 특허문헌 3, 4에서는, 회로 패턴(특히 평행 패턴)의 방향과 조명 방향(확산광의 조사 방향)이 검사 정밀도에 크게 영향을 미친다. 즉 경사 조사의 방향과 그 조사 방향에 대한 조도가 조명장치에 의해서 결정되기 때문에, 기포, 흠집, 상처의 치수에 따라서는 이들의 화상이 카메라의 검출 화상으로부터 제거할 수 없고 노이즈로서 남아, 검사 정밀도의 저하를 초래하는 것이다. 그 이유는, 기포나 흠집이나 상처는 렌즈 작용을 가지기 때문에, 이들의 치수(크기, 깊이)와 조명광의 입사 방향에 따라서는 카메라의 초점면 부근에 광이 집광하고, 이것이 강하게 빛나는 화상이 되어 카메라에 촬영되어, 노이즈가 된다고 생각된다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 회로 패턴의 단락을 정밀도 좋게 검출할 수 있는 투과 방식을 전제로 하고, 이 경우에 조명광의 이용 효율을 높게 하여, 광원의 직접광을 카메라에 입사시키는 경우에 생기는 노이즈를 제거하여 검사 정밀도를 향상시킬 수 있고, 또 회로 패턴의 배치 방향의 영향을 받지 않고, 기포나 흠집 또는 상처의 치수에 의한 영향을 받지 않고, 검사 정밀도를 현저히 향상시킬 수 있는 패턴 검사방법을 제공하는 것을 제 1 목적으로 한다. 또한 이 방법의 실시에 직접 사용하는 패턴 검사장치를 제공하는 것을 제 2 목적으로 한다.

본 발명에 의하면 제 1 목적은, 투광성 베이스 필름에 비투광성재로 패턴을 형성한 피검사물을, 상기 베이스 필름의 투과광에 의해 촬상하여 상기 패턴을 검사하는 패턴 검사방법에 있어서, 상기 피검사물을 향해서 열리는 사출구를 형성하여 내면을 대략 구면형의 확산 반사면으로 한 구면체의 내측에 광을 입사하고, 이 입사광을 이 구면체의 내면에 의해 반사시켜 산란광으로 하고, 이 산란광을 상기 사출구로부터 피검사물을 향해서 사출하고, 이 산란광에 의한 상기 피검사물의 투과화상을 촬영하고, 이 촬영 화상을 사용하여 패턴을 검사하는 패턴 검사방법에 의해 달성된다.

또한 제 2 목적은, 투광성 베이스 필름상에 비투광성재로 패턴을 형성한 피 검사물을, 상기 베이스 필름의 투과광에 의해서 촬상하여 상기 패턴을 검사하는 패턴 검사장치에 있어서, 상기 피검사물의 1측면에 산란광을 조사하는 조명수단과, 상기 피검사물을 끼워 상기 조명수단에 대향하여 상기 피검사물의 투과화상을 촬영하는 촬영수단을 구비하고, 상기 조명수단은 상기 피검사물을 향해서 열리는 사출구를 형성한 대략 구형의 내면을 확산 반사성으로 한 구면체와, 이 구면체의 내면을 향해서 광을 입사하는 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴 검사장치에 의해 달성된다.

구면체의 내면을 확산 반사면으로 하였기 때문에, 구면체 내에 입사한 광은 공지의 적분구와 유사한 효과에 의해 구면체 내에서 난반사를 반복하여 균질화하여 사출구로부터 피검사물로 유도된다. 사출구로부터 피검사재에 닿는 광은 입사 방향이 넓게 분포하기 때문에 지향성이 없는 균질한 산란광이다.

이 때문에 구면체에 입사한 광은 모두 이용할 수 있고, 직진광을 차광할 필요도 없기 때문에 조명광의 이용 효율이 높다. 또한 피검사물에 닿는 광에 지향성이 없기 때문에, 회로 패턴 특히 평행 패턴의 방향, 기포나 흠집 또는 상처의 치수에 의한 영향을 받지 않고 패턴 검사의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 특히 투과 방식이기 때문에 패턴의 단락을 정밀도 좋게 검출할 수 있는 것은 물론이다.

패턴 검사는, 촬영수단으로 촬영한 피검사물의 투과화상을, 기준이 되는 정규의 패턴과 대비함으로써 행할 수 있다(청구항 2).

본 발명의 장치에 사용하는 조명수단은, 구면체의 사출구의 주위를 둘러싸고 환상(環狀)으로 배열된 다수의 광원으로부터 구면체 내에 입사하는 것으로 행할 수 있다(청구항 4). 예를 들면 다수의 LED를 환상으로 배열한다. 또한 1 또는 복수의 광원의 광을 광파이버를 통해서 사출구의 주위로 유도하도록 하여 구면체 내에 입사시키도록 하여도 좋다(청구항 5).

또 구면체는 구면의 일부에 구면체의 직경보다 충분히 작은 직경의 사출구를 개방한 것이 바람직하지만, 구면체를 그 중심 부근을 지나는 평면으로 2분할한 반구면체로 하여도 좋다(청구항 6). 이 경우는 구면체의 소형화에 적합하다. 사출구를 구면체와 비교하여 충분히 소직경으로 한 경우는, 사출구로부터 사출하는 광은 충분히 균질화한 지향성이 없는 산란광이 된다. 따라서 이 경우는 사출구에 확산판을 형성할 필요성은 작다. 그러나 반구면체로 한 경우는, 구면체 내에서의 산란광을 충분히 균질화할 수 없다는 것을 생각할 수 있기 때문에, 사출구에 확산판을 형성하는 것이 바람직하다(청구항 7).

실시예 1

도 1은 본 발명의 일실시예인 패턴 검사장치의 구성도, 도 2는 패턴 촬영부의 구성도, 도 3은 조명수단의 내부 구조를 도시하는 종단면도, 도 4는 패턴 촬영부의 확대 사시도이다. 이 도면에 있어서, 부호 10은 피검사물이고, 투광성의 플렉시블 기판으로 이루어지는 COF 테이프나 TAB 테이프, 또는 플렉시블 프린트 배선판이다. 피검사물(10)은 COF 테이프의 경우는, 도 5에 기초하여 설명한 바와 같이, 투광성의 베이스 필름(2)의 편면(상면)에 구리 호일의 패턴(3)을 형성하고, 외면 (하면)을 투광성의 보강재(4)로 뒷바침한 것이다. 피검사물(10)은 이 실시예에서는 테이프형이기 때문에, 이하 테이프(10)라고도 한다.

이 피검사물(10)은 도 4에 도시하는 바와 같이, 배선 패턴(3)을 4열로 배열하고, 각 패턴 열(10a 내지 10d)의 사이를 패턴 검사 후에 분리하여 1열의 테이프형으로 하여 사용한다. 이 때문에 피검사물(10)의 양 가장자리에 테이프 이송용 퍼포레이션(perforation) 구멍 열(12, 12)이 형성되는 동시에, 4열의 각 패턴 열(10a 내지 10d)의 양 가장자리에도 각각 퍼포레이션 구멍 열이 형성되어 있다.

패턴 검사장치는 도 1에 도시하는 바와 같이 송출부(14)와, 검사부(16)와, 버퍼부(18)와, 펀처(puncher)부(20)와, 권취부(22)를 차례로 배열한 것이다. 피검사물인 테이프(10)는, 송출부(14)에 수용하는 송출 릴(141)에, 스페이서 테이프(142)와 겹쳐 롤형으로 권취되어 있다. 테이프(10)는 이 송출 릴(141)로부터 가이드 롤러(143)에 가이드되면서 다음의 검사부(16)로 보내지지만, 이 때 스페이서 테이프(142)는 다른 스페이서 테이프 권취 릴(144)에 권취된다.

검사부(16)는 상기 테이프(10)를 수평으로 반송하는 이송 롤러(161, 162)와, 이들 롤러(161, 162)의 사이에서 테이프(10)의 투과화상을 촬영하는 촬영부(163)를 구비한다. 촬영부(163)는, 조명수단(164)과, CCD 라인 센서를 갖는 카메라(165)와, 광원(166)을 구비한다. 촬영부(163)에 관해서는 후기한다.

버퍼부(18)는, 검사부(16)를 나온 테이프(10)를 한 쌍의 롤러(181, 182) 사이의 아래쪽에서 상하동작하는 댄서 롤러(183)에 권취한 것으로, 댄서 롤러(183)의 상하동작에 의해서 테이프(10)의 이송 속도의 변화를 흡수하는 것이다. 즉 검사 부(16)에서는 테이프(10)를 간헐적으로 정지시켜 패턴 촬영하는 경우가 있는 한편, 다음의 펀처부(20)에서는 테이프(10)를 일시정지하여 불량의 패턴에 펀치 구멍을 뚫기 때문에, 테이프(10)의 이송이 간헐적이 된다. 이 때문에 이 검사부(16)와 펀처부(20)에서 테이프(10)의 이송 타이밍이 변화하는 것을 이 댄서 롤러(183)의 상하동작에 의해 흡수하는 것이다.

펀처부(20)는 검사부(16)에 의한 패턴 검사의 결과, 패턴에 불량이 있을 때, 이 불량이 있는 패턴에 결함 마크가 되는 패턴 구멍을 뚫는 것이다. 즉 롤러(201, 202)에 의해서 수평으로 보내지는 테이프(10)를 하형(203)과 펀치(204)의 사이에 통과시키고, 펀치(204)를 테이프(10)의 이송에 동기하여 작동시켜 불량의 회로 패턴(3)에 펀치 구멍을 뚫어 결함 마크로 하는 것이다.

권취부(22)는 펀처부(20)를 나온 테이프(10)를 가이드 롤러(221)를 개재하여 권취 릴(222)에 권취한다. 이 때에는, 스페이서 테이프(223)를 감은 스페이서 테이프 공급 릴(224)로부터 송출되는 스페이서 테이프(223)를 테이프(10)에 겹쳐 권취 릴(222)에 권취한다.

다음에 검사부(16)의 촬영부(163)를 상세하게 설명한다. 촬영부(163)는 도 2에 도시하는 바와 같이, 테이프(10)를 아래쪽으로부터 산란광(즉 확산광)으로 조사하는 조명수단(164)과, 테이프(10)를 사이에 두고 이 조명수단(164)에 대향하는 카메라(165)가 고정된 가동대(163a)를 구비한다. 이 가동대(163a)는 수평 방향, 즉 테이프(10)의 반송 방향과 평행 또는 직교 방향에 도시하지 않는 구동수단에 의해 이동 가능하다. 또 테이프(10)를 정지시켜 촬영부(163)를 이동(주사)시킬 때는 이 와 같이 가동대(163a)를 이동시키지만, 촬영부(163)는 이동하지 않고 고정하여 두고, 테이프(10)의 이동에 의해서 패턴을 주사(판독)하도록 하여도 좋다. 또 카메라(165)의 라인 센서의 방향(라인 센서의 수광 소자의 배열 방향)은 촬영부(163)의 이동 방향 또는 테이프(10)의 주행 방향에 대하여 직교 방향으로 하는 것은 물론이다.

조명수단(164)은 도 3에 도시하는 바와 같이, 반구형의 내면을 확산 반사성으로 한 구면체(164a)와, 이 구면체(164a)의 개구 가장자리에 결합하여 고정되는 환상체(164b)를 구비한다. 구면체(164a)의 내면은 반사율 및 확산성이 높은 백색도막(예를 들면 황산바륨의 코팅) 외의 막을 형성함으로써 확산 반사성으로 할 수 있다. 환상체(164b)의 내주면(164c)은 구면체(164a)의 내면을 향해서 경사지는 사면으로 되어 있다. 이 중 주면(164c)에는 다수의 광파이버(164d)의 선단이 구면체(164a)의 내측을 지향하여 형성되어 있다. 구면체(164a)의 개구 즉 환상체(164b)의 개구는, 테이프(10)의 하면을 향해서 산란광을 사출하는 사출구(164e)가 된다. 이들의 광파이버(164d)는 환상체(164b) 내를 통해서 집합되고 또한 결속되며, 이들 광파이버(164d)의 결속체(164f)의 타단이 광원(166)에 내장하는 발광체(도시하지 않음)에 유도되고 있다. 발광체로서 예를 들면 할로겐램프를 사용할 수 있다. 이 결과 광원(166)의 광이 광파이버(164d)를 통해 구면체(164a)의 내면을 향해서 입사된다. 이 광은 구면체(164a)의 내면으로 난반사를 반복하여 평균화하여, 넓은 각도 범위로 확산되는 산란광이 되어 테이프(10)의 하면을 조명한다.

또 이 실시예에서는 구면체(164a)는 반구형이기 때문에, 그 내면에서의 반사 회수가 부족하여 사출구(164e)로부터 테이프(10)를 향하는 조명광의 광 강도 분포에 지향성이 남는 것을 생각할 수 있다. 그래서 이 실시예에서는, 사출구(164e)의 위에 확산판, 예를 들면 불투명 유리형의 유리(164g)를 배치하여 조명광의 광 강도 분포의 지향성을 더욱 약하게 하고 있다.

촬영부(163)의 조명수단(164) 및 카메라(165)는, 도 1, 2에서는 1세트로 하여 도시하였지만, 실제의 테이프(10)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 4열의 패턴 열(10a 내지 10d)을 갖기 때문에, 조명수단(164) 및 카메라(165)는 2세트 구비하고 있다. 즉 각 세트의 조명수단(164) 및 카메라(165)는, 각각 2열분의 패턴 열(10a와 10b, 10c와 10d)을 동시에 촬영한다. 도 4에 있어서 A, B는 각 세트의 촬영 범위를 도시한다. 조명수단(164) 및 카메라(165)는, 상기한 바와 같이 가동대(163a)에 고정되고, 일체가 되어 테이프(10)에 대하여 상대 이동함으로써 촬영 범위 A, B를 이동한다. 즉 주사한다.

카메라(165)로 판독한 화상 신호는 A/D 변환기에 의해 디지털 신호로 변환된 다음 화상 처리부(24; 도 1)에서 화상 처리된다. 예를 들면 촬영 렌즈의 특성에 의한 요인이나 조명수단(164)의 주위와 중앙 부근의 조도 차가 생기는 것을 피할 수 없을 뿐만 아니라, 라인 센서의 각 수광 소자의 수광 특성의 변동도 있을 수 있기 때문에, 카메라(165)의 출력 신호 레벨에 변동이 생기지만, 이것을 보정(셰이딩 보정)한다. 또한 회로 패턴의 화상의 에지 강조 등, 여러가지의 처리를 실시한다.

이와 같이 화상 처리된 화상 신호는 비교부(26)에 입력되고, 여기에서 미리 준비한 정상의 회로 패턴의 화상인 기준 패턴과 대비한다. 이 결과 카메라(165)에 서 촬영한 패턴과 기준 패턴의 상위가 허용 범위를 초과하면 회로 패턴(3)에 결함, 불량이 있는 것으로 하여 판정 신호를 출력부(28)에 보낸다. 출력부(28)는 이 불량이 있는 회로 패턴(3)이 펀처부(20)에 오는 것을 기다려 펀처부(20)를 작동시키고, 이 불량회로 패턴(3)에 펀치 구멍을 뚫어 결함 마크로 한다. 또 출력부(28)는 이 불량회로 패턴(3)의 존재 위치, 어드레스를 기억수단(도시하지 않음)에 출력하고, 후의 공정이나 품질 데이터로서 이용하여도 좋다.

도 1은 본 발명의 일실시예인 패턴 검사장치의 구성도.

도 2는 패턴의 촬영부의 구성도.

도 3은 조명수단의 내부 구조를 도시하는 종단면도.

도 4는 패턴의 촬영부의 확대 사시도.

도 5는 COF 테이프의 구조 및 투과 방식의 개념을 도시하는 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : COF 테이프(피검사물) 16 : 검사부

163 : 촬영부 164 : 조명수단

164a : 구면체 164b : 환상체

164c : 내주면 164d : 광파이버

164e : 사출구 164g : 확산판

166 : 광원 165 : 카메라(촬영수단)

Claims (7)

1. 투광성 베이스 필름에 비투광성재로 패턴을 형성한 피검사물을, 상기 베이스 필름의 투과광에 의해 촬상하여 상기 패턴을 검사하는 패턴 검사방법에 있어서,

   상기 피검사물을 향해서 개방하는 사출구를 형성하여 내면을 대략 구면형의 확산 반사면으로 한 구면체의 내측에 광을 입사하고, 이 입사광을 이 구면체의 내면에 의해 반사시켜 산란광으로 하고, 이 산란광을 상기 사출구로부터 피검사물을 향해서 사출하고, 이 산란광에 의한 상기 피검사물의 투과화상을 촬영하고, 이 촬영 화상을 사용하여 패턴을 검사하는, 패턴 검사방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   기준이 되는 패턴을 피검사물에 대한 촬영 화상과 대비함으로써 패턴을 검사하는, 패턴 검사방법.
3. 투광성 베이스 필름상에 비투광성재로 패턴을 형성한 피검사물을, 상기 베이스 필름의 투과광에 의해서 촬상하여 상기 패턴을 검사하는 패턴 검사장치에 있어서,

   상기 피검사물의 일 측면에 산란광을 조사하는 조명수단과,

   상기 피검사물을 끼워 상기 조명수단에 대향하여 상기 피검사물의 투과화상을 촬영하는 촬영수단을 구비하고,

   상기 조명수단은, 상기 피검사물을 향해서 개방하는 사출구를 형성한 대략 구형의 내면을 확산 반사성으로 한 구면체와, 이 구면체의 내측을 향해서 광을 입사하는 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는, 패턴 검사 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 조명수단은 구면체의 사출구의 주위를 둘러싸 환상으로 배열된 다수의 광원을 갖는, 패턴 검사 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 조명수단은 일 단이 구면체의 사출구의 주위를 둘러싸 환상으로 배열된 다수의 광파이버를 통해서 광원의 광을 구면체의 내면으로 유도하는, 패턴 검사 장치.
6. 제 3 항에 있어서,

   구면체는 내면이 반구면인, 패턴 검사 장치.
7. 제 3 항 또는 제 6 항에 있어서,

   구면체의 사출구와 피검사물의 사이에 배치한 확산판을 구비하고, 사출구로부터 사출되는 산란광을 상기 확산판에 의해서 더욱 확산시켜 상기 피검사물로 유도하는, 패턴 검사 장치.

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