JP2007322154A - フレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TABテープTの裏面側に鏡面仕上げのドラム32を配設して表面側から照明光を照射すれば、光透過性絶縁フィルム60部分では透過した光がドラム32で反射され間接透過光となって光透過性絶縁フィルム60を透過して表面側に戻ることから、反射法が主となり、透過法が従となるように、TABテープTの裏面側にドラム32を配設して表面側から照明光を照射し表面側で検査箇所Dの配線パターン像を撮像することで、反射法による利点を活かした配線パターン61の良否判定を可能にし、かつ、反射法では検出困難な光透過性絶縁フィルム60上での短絡系の欠陥は間接透過光を利用することで光透過性絶縁フィルム60よりも暗い暗欠陥として同時に検出できるようにした。
【選択図】 図2
Description
33 搬送手段
34 光源
35 CCDラインセンサ
37 補助光源
60 光透過性絶縁フィルム
61 配線パターン
75 判定部
T TABテープ
D 検査箇所
Claims (14)
- 光透過性絶縁フィルムの表面に形成された配線パターンの良否を検査するフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法であって、
前記フレキシブルプリント配線基板の裏面側に鏡面仕上げされた反射部材を配設させた状態で該フレキシブルプリント配線基板の検査箇所に表面側から照明光を照射し、
前記フレキシブルプリント配線基板の表面側で前記検査箇所から得られる反射光と前記光透過性絶縁フィルムを透過し前記反射部材で反射されて再び前記光透過性絶縁フィルムを透過した間接透過光とを重ね合わせた配線パターン像を撮像手段で撮像し、
前記撮像手段で撮像された反射光と間接透過光とを重ね合わせた配線パターン像に基づいて前記配線パターンの良否を検査するようにしたことを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。 - 前記反射部材として、表面が鏡面仕上げされたドラムを用いるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。
- 前記撮像手段として前記フレキシブルプリント配線基板の全幅に亘って撮像可能なラインセンサを位置固定させて用い、
前記フレキシブルプリント配線基板を所定速度で搬送させて前記検査箇所を連続的に変化させながら前記ラインセンサで該検査箇所の配線パターン像を連続的に撮像するようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。 - 前記フレキシブルプリント配線基板に対して赤色系の照明光を照射するようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。
- 前記フレキシブルプリント配線基板の表面側において前記検査箇所に前記照明光に加えて微弱な散乱光を照射するようにしたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。
- 前記フレキシブルプリント配線基板が、電子部品実装用フィルムキャリアテープであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。
- 前記フレキシブルプリント配線基板は、前記光透過性絶縁フィルム上に前記配線パターンが直接形成されているCOFテープであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査方法。
- 光透過性絶縁フィルムの表面に形成された配線パターンの良否を検査するフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置であって、
鏡面仕上げされて前記フレキシブルプリント配線基板の裏面側に配設された反射部材と、
前記フレキシブルプリント配線基板の検査箇所に表面側から照明光を照射する光源と、
前記フレキシブルプリント配線基板の表面側で前記検査箇所から得られる反射光と前記光透過性絶縁フィルムを透過し前記反射部材で反射されて再び前記光透過性絶縁フィルムを透過した間接透過光とを重ね合わせた配線パターン像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された反射光と間接透過光との重ね合わせた配線パターン像に基づいて前記配線パターンの良否を検査する判定手段と、
を備えることを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。 - 前記反射部材は、表面が鏡面仕上げされたドラムであることを特徴とする請求項8に記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。
- 前記フレキシブルプリント配線基板を所定速度で搬送する搬送手段を備え、
前記撮像手段は、前記フレキシブルプリント配線基板の全幅に亘って撮像可能で位置固定されたラインセンサであり、前記検査箇所が連続的に変化するよう前記搬送手段によって所定速度で搬送される前記フレキシブルプリント配線基板の該検査箇所の配線パターン像を連続的に撮像することを特徴とする請求項8または9に記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。 - 前記光源は、赤色系の照明光を照射する光源であることを特徴とする請求項8〜10のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。
- 前記フレキシブルプリント配線基板の表面側において前記検査箇所に前記照明光に加えて微弱な散乱光を照射する補助光源を備えることを特徴とする請求項8〜11のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。
- 前記フレキシブルプリント配線基板は、前記光透過性絶縁フィルム上に前記配線パターンが直接形成されているCOFテープであることを特徴とする請求項8〜12のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。
- 前記フレキシブルプリント配線基板が、電子部品実装用フィルムキャリアテープであることを特徴とする請求項8〜13のいずれか一つに記載のフレキシブルプリント配線基板の配線パターン検査装置。
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