KR20100045750A - 자동으로 감광성 수지를 교체할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법 - Google Patents

자동으로 감광성 수지를 교체할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법

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KR20100045750A
KR20100045750A KR1020080104837A KR20080104837A KR20100045750A KR 20100045750 A KR20100045750 A KR 20100045750A KR 1020080104837 A KR1020080104837 A KR 1020080104837A KR 20080104837 A KR20080104837 A KR 20080104837A KR 20100045750 A KR20100045750 A KR 20100045750A
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B29C66/8341—Roller, cylinder or drum types; Band or belt types; Ball types
    • B29C66/83411—Roller, cylinder or drum types

Abstract

본 발명은 자동으로 감광성 수지를 교체할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법에 관한 것으로, 기판을 이송하는 기판이송부, 다수의 감광성 수지를 자동으로 교체하며 공급하는 감광성 수지 공급유닛, 상기 감광성 수지 공급유닛으로로부터 공급되는 상기 감광성 수지를 흡착하여 상기 기판으로 가이딩 하는 흡착기 및 상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 압착롤러를 포함하는 것을 특징으로 하며, 감광성 수지의 자동 교체 공급에 따라 교체에 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 공정전체의 리드 타임을 단축시킬 수 있게 된다.
감광성 수지, 공급롤러, 공급 인출부, 흡착기, 커팅부, 압착롤러

Description

자동으로 감광성 수지를 교체할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법{AN APPARATUS FOR LAMINATING PHOTOSENSITIVE RESIN CHANGABLE THE PHOTOSENSITIVE RESIN AUTOMATICALLY AND A METHOD OF LAMINATING USING THE SAME}
본 발명은 자동으로 감광성 수지를 교체할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 감광성 수지를 자동으로 교체하며 기판에 감광성 수지를 라미네이팅(laminating) 할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법에 관한 것이다.
반도체소자 및 평판 디스플레이소자 등에 사용되는 인쇄회로기판(printed circuit board)은 레지스트 코팅, 노광, 현상 및 식각과 같은 일련의 과정으로 진행되는 포토리소그래피공정을 통해 제작된다.
레지스트의 코팅방법은 인쇄방법과 사진기법이 있다. 사진기법은 노광단계를 갖는데 액상상태의 용액을 사용하는 잉크방법과, 감광물체를 피압착재(패턴 형성을 위해 준비된 기판) 표면에 얇게 도포하는 드라이필름방법으로 나누어진다.
잉크방법은 고밀도 회로의 공정에서 원래 필름 소재상의 표면이 거칠거나 홈 또는 스크래치등이 있어도 용액이 완전히 도포되기 때문에 두께를 얇게 유지하는 드라이필름 방법보다 훨씬용이하다.
그러나, 이러한 방법은 액상의 솔벤트를 사용하므로 작업자의 건강에 영향을 주며 인위적인 관통홀(through hole)이 있으면 사용이 불가능하여 불균일하게 도포되는 두께로 인하여 노광시 불량 가능성이 크고 도포 후에 장시간 동안 건조하여야 하는 단점이 있다.
한편, 드라이필름방법은 액상타입의 감광제와는 달리 도포 후, 건조공정이 없이도 사용가능하며, 두께를 균일하게 도포할 수 있다. 또한, 관통홀이 있는 경우에도 라미네이팅이 가능하다. 여기서 라이네이팅은 주로 수동으로 교체되는 공급롤러에 의해 드라이필름을 공급하여 기판에 도포한 상태에서 롤러에 열을 가하여 압착시키는 롤링작업으로 이루어지고 있다. 롤링작업은 기판 위에 필름을 배치한 후, 상하로 배치되어 회전하는 두개의 롤러 사이에 필름 및 기판을 통과시킴으로써 이루어진다. 필름 및 기판이 맞물려 회전하는 롤러 사이를 통과하는 동안 롤러가 필름에 직접 접촉되어 롤링시 필름의 전체 표면에 걸쳐 고른 가압력뿐만 아니라 일정한 열을 인가하면서, 기판에 필름을 부착시키게 된다.
그러나, 종래에는 드라이필름의 수동으로 작업자가 교체하였기 때문에 교체하는데 시간이 많이 들어 전체 공정이 지연되는 문제점이 있었다.
또한, 다른 종류의 드라이필름이 사용되어야 하는 경우 작업자가 일일이 드라이필름을 교체하여야 하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다수의 감광성 수지를 자동으로 교체하며 기판에 감광성 수지를 라미네이팅(laminating)할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 장치는, 기판을 이송하는 기판이송부, 다수의 감광성 수지를 자동으로 교체하며 공급하는 감광성 수지 공급유닛, 상기 감광성 수지 공급유닛으로로부터 공급되는 상기 감광성 수지를 흡착하여 상기 기판으로 가이딩 하는 흡착기, 및 상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 압착롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기판에 상기 감광성 수지가 도포되기 전에 상기 기판을 예비가열하는 예비가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 감광성 수지는 드라이 필름(dry film)인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 감광성 수지 공급유닛은, 롤 형태로 감긴 다수의 감광성 수지를 공급하는 다수의 공급롤러, 및 상기 공급롤러와 접촉하여 상기 감광성 수지를 가이딩 하는 다수의 공급 가이딩롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 공급롤러의 교체시에 상기 공급 가이딩롤러도 함께 교체되는 것 을 특징으로 한다.
또한, 상기 공급롤러에 감긴 감광성 수지의 일단을 인출하기 위한 공급 인출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착기의 하단에는 상기 기판의 길이에 맞춰 상기 감광성 수지를 절단하는 커팅부가 설치된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커팅부에는 상기 감광성 수지의 위치 및 상기 기판으로 공급되는 상기 감광성 수지의 길이를 측정하는 센서부가 장착되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 감광성 수지의 상부에 형성된 커버필름을 박리하는 커버필름 박리부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압착롤러는, 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 열압착하도록 내부에 히터를 구비한 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압착롤러는, 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러, 및 그 내부에 히터를 구비한 상태로, 상기 압착롤러에 접촉하게 설치되어 상기 압착롤러에 열을 공급하는 백업롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 방법은, (A) 다수의 감광성 수지를 공급하는 감광성 수지 공급유닛의 다수의 공급롤러 중 제1 공급롤러에 감긴 제1 감광성 수지의 일단에 공급 인출부가 배치되도록 상기 공급 인출부를 상승시키는 단계, (B) 상기 제1 공급롤러를 구동하여 상기 제1 감광성 수지 를 인출하는 단계, (C) 흡착기가 상기 제1 공급롤러로로부터 공급되는 상기 제1 감광성 수지를 흡착한 상태에서 기판이송부로부터 이송되는 기판으로 가이딩 하여 상기 기판에 상기 제1 감광성 수지를 도포하는 단계, 및 (D) 상하로 맞물려 회전하는 압착롤러에 의해 상기 기판 및 상기 제1 감광성 수지를 압착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 (B) 단계와 상기 (C) 단계 사이에, 상기 공급 인출부를 하강시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (D) 단계 이후에, (E) 상기 제1 공급롤러를 역회전하여 공급된 상기 제1 감광성 수지를 회수하는 단계, 및 (F) 제2 감광성 수지를 공급하기 위해 제1 공급롤러를 제2 공급롤러로 교체하고 제2 감광성 수지를 공급하는 단계가 수행되어 상기 감광성 수지를 자동으로 교체하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기판에 상기 감광성 수지가 도포되기 전에 예비가열부에 의해 상기 기판에 예비가열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 감광성 수지는 드라이 필름(dry film)인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 감광성 수지 공급유닛은, 롤 형태로 감긴 다수의 감광성 수지를 공급하는 다수의 공급롤러와 접촉하여 상기 감광성 수지를 가이딩 하는 다수의 공급 가이딩롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 공급롤러의 교체시에 상기 공급 가이딩롤러도 함께 교체되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (C) 단계에서, 상기 기판으로 가이딩 되는 상기 제1 감광성 수지 는 상기 흡착기의 하단에 설치된 커팅부에 의해 상기 기판의 길이에 맞게 커팅된 상태로 공급되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커팅부에는 상기 감광성 수지의 위치 및 상기 기판으로 공급되는 상기 감광성 수지의 길이를 측정하는 센서부가 장착되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (C) 단계에서, 상기 제1 감광성 수지는 커버필름 박리부에 의해 상기 제1 감광성 수지의 상부에 형성된 커버필름이 박리된 상태로 상기 기판에 도포되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압착롤러는, 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 열압착하도록 내부에 히터를 구비한 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압착롤러는, 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러, 및 그 내부에 히터를 구비한 상태로, 상기 압착롤러에 접촉하게 설치되어 상기 압착롤러에 열을 공급하는 백업롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 감광성 수지를 자동으로 교체 공급함으로써 교체에 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 공정전체의 리드 타임을 단축시킬 수 있게 된다.
또한, 여러 종류의 감광성 수지를 자동으로 공급함으로써 작업자가 일일이 감광성 수지를 교체할 필요가 업어 인건비를 절감시킬 수 있게 된다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 "제1", "제2" 등의 용어는 임의의 양, 순서 또는 중요도를 나타내는 것이 아니라 구성요소들을 서로 구별하고자 사용된 것이며, 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
감광성 수지 라미네이팅 장치
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 장치를 나타내는 사시도이다. 이하, 도 1을 참조하여 본 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 장치(100)에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 장치(100)는, 기판이송부(120), 감광성 수지 공급유닛(130), 흡착기(150), 및 압착롤러(170)를 포함하여 구성된다.
기판이송부(120)는 기판(110)을 이송시키기 위한 것으로서, 롤러구동수단(미도시)에 의해 구동되는 복수의 롤러에 의해 기판(110)의 더미 영역과 접촉하여 그 접촉 마찰에 의해 기판을 이송시킨다.
이때, 기판이송부(120)에 의해 이송되는 기판(110)은 감광성 수지(R)가 라미네이팅 되기 전에 감광성 수지(R)와의 접착력을 향상시키기 위해 적정온도 수준으로 가열되는 것이 바람직하다. 따라서, 도 1에 도시한 바와 같이, 흡착기(150)에 의해 기판(110)에 감광성 수지(R)가 라미네이팅 되기 전에 기판(110)을 예비가열하는 예비가열부(125)가 구비되는 것이 바람직하다. 이 예비가열부(125) 내부에는 기판(110)을 가열하기 위해 열풍을 방출하는 건조부(미도시)가 구비되어 있다.
감광성 수지 공급유닛(130)은 기판(110)에 라미네이팅되는 감광성 수지(R)를 공급하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 다수의 감광성 수지를 필요에 따라 자동 으로 교체하며 공급할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 여기서, 감광성 수지 공급유닛(130)은 기판(110)의 일면 및/또는 양면에 감광성 수지(R)를 도포할 수 있도록 상/하 대칭되게 구비되는 것이 바람직하다. 이때, 사용되는 감광성 수지(R)는 예를 들어, 드라이 필름(Dry film; DF)이다.
감광성 수지 공급유닛(130)은 감광성 수지(R)가 롤 형태로 권취된 상태로 감광성 수지(R)를 공급하는 공급롤러(132)와 이 공급롤러(132)와 접촉하여 감광성 수지(R)를 가이딩하는 공급 가이딩롤러(134)로 구성된다.
여기서, 공급롤러(132)는 다수의 감광성 수지(R)를 공급하기 위해 다수개 구비된다. 예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같이, 공급롤러(132)는 제1 감광성 수지(Ra)가 권취된 제1 공급롤러(132a), 제2 감광성 수지(Rb)가 권취된 제2 공급롤러(132b), 및 제3 감광성 수지(Rc)가 권취된 제3 공급롤러(132c)로 구성될 수 있다. 하지만, 이는 설명 및 도시의 편의를 위한 예시에 불과하며 필요에 따라 공급롤러(132)의 수는 변경가능하다 할 것이다.
이때, 제1 내지 제3 공급롤러(132)는 원하는 감광성 수지를 공급하기 위해 자동으로 교체가능하게 설치된다. 예를 들어, 제1 감광성 수지(Ra)를 공급할 경우 제1 공급롤러(132a)를 후술하는 공급 인출부(136)가 배치된 쪽으로 이동함으로써 교체될 수 있다.
다음, 공급 가이딩롤러(134)는 공급롤러(132)와 동일한 개수로 구비되며, 예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3 공급 가이딩롤러(134a, 134b, 134c)로 구성될 수 있다. 이때, 제1 내지 제3 공급 가이딩롤러(134a, 134b, 134c) 는 공급롤러(132)의 교체에 따라 함께 교체되도록 설치된다.
이러한 감광성 수지 공급유닛(130)은 공급롤러(132)에 권취된 감광성 수지(R)의 일단에 배치되어 감광성 수지(R)를 인출하기 위한 공급 인출부(136)가 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 공급 인출부(136)는 공급롤러(132)의 회전에 의해 회전되는 감광성 수지(R)의 일단과 접촉하여 감광성 수지(R)가 기판으로 안내될 수 있도록 하는 것으로서, 필요에 따라 공급롤러(132)와 접촉할 수 있도록 상/하 이동가능하도록 설치되며, 최초 공급되는 감광성 수지(R)를 가이드 롤러(140)로 안내하는 역할을 수행하게 된다.
한편, 가이드 롤러(140)는 감광성 수지 공급유닛(130)으로부터 전달되는 감광성 수지(R)를 안내하는 역할을 수행하는 것으로서, 감광성 수지(R)가 일정한 텐션(tension)을 유지한 채로 최종적으로 기판으로 안내될 수 있또록 적절한 위치에 배치된다.
흡착기(150)는 가이드 롤러(140)로부터 전달되는 감광성 수지(R)를 흡착한 상태로 기판(110)으로 가이딩 하기 위한 것이다. 여기서, 흡착기(150)는 감광성 수지(R)를 흡착한 상태로 그 하부를 통과하는 기판(110) 상에 감광성 수지(R)를 도포하는 것을 돕는다.
흡착기(150)의 하단에는 기판(110)의 길이에 맞춰 감광성 수지(R)를 절단하는 커팅부(152)가 설치된다. 여기서, 커팅부(152)는 절단모드와 준비모드로 작동된 다. 즉, 감광성 수지(R)가 기판(110)에 도포될 때 준비모드에 있다가, 기판(110)의 길이에 맞춰 감광성 수지(R)가 도포되었을 때 절단모드로 전환되어 공급되던 감광성 수지(R)를 절단하게 된다.
이를 위해, 커팅부(152)에는 감광성 수지(R)의 위치 및 공급되는 길이를 측정하는 센서부(미도시)가 구비되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 센서부가 감광성 수지가 기판(110)에 도포되고 있는지 여부, 기판(110)에 도포된 감광성 수지(R)의 길이를 측정하여 커팅부(152)를 제어하게 된다. 또한, 센서부는 감광성 수지(R)가 커팅부(152)까지 공급되었는지를 감지하여 감광성 수지 공급유닛(130)을 제어하는 기능을 수행하게 된다.
한편, 감광성 수지(R)는 그 상부에 커버필름이 부착된 상태로 공급되게 되는데, 기판에는 커버필름이 제거된 상태로 도포되는 것이 바람직하므로, 흡착기(150)로부터 가이딩되는 감광성 수지(R)는 커버필름이 제거된 상태로 기판(110)에 도포될 수 있도록 커버필름 박리기구(160)가 구비되어 있는 것이 바람직하다. 커버필름 박리기구(160)는 흡착기(150)의 측면에 배치된 다수의 롤러로 구성될 수 있다.
압착롤러(170)는 기판(110)에 도포된 감광성 수지(R)를 압착하기 위한 것으로서, 상하로 맞물려서 회전하는 상부 압착롤러(170a) 및 하부 압착롤러(170b)를 포함하여 구성된다.
여기서, 압착성능의 향상을 위해 열압착을 이용하기 위해 상부 압착롤 러(170a) 및 하부 압착롤러(170b)는 그 내부에 히터를 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 압착롤러(170)는 압착을 위한 상부 압착롤러(170a) 및 하부 압착롤러(170b)와, 이 압착롤러(170)에 열을 공급하기 위해 그 내부에 히터를 구비한 상부 백업롤러(미도시) 및 하부 백업롤러(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
감광성 수지 라미네이팅 방법
도 2 내지 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 감광성 수지를 라미네이팅하는 방법을 설명하기 도면이다. 이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 방법은 필요한 감광성 수지를 자동으로 교체하며 공급하는 것을 특징으로 한다.
먼저, 도 2a 내지 도 2b에 도시한 바와 같이, 제1 감광성 수지(Ra)를 공급하기 위해 제1 공급롤러(132a)를 인출위치에 배치한 상태에서 제1 공급롤러(132a)에 감긴 제1 감광성 수지(Ra)의 일단에 공급 인출부(136)가 배치되도록 공급 인출부(136)를 상승배치시킨다. 도 2b에는 공급 인출부(136)가 감광성 수지의 인출을 돕도록 제1 감광성 수지(Ra)의 일단에 배치된 상태가 도시되어 있다.
다음, 도 3에 도시한 바와 같이,제1 공급롤러(132a)를 구동하여 제1 감광성 수지(Ra)를 인출한다. 이때, 가이드 롤러(140)는 제1 공급롤러(132a)로부터 공급되 는 제1 감광성 수지(Ra)를 흡착기(150)로 가이딩하게 된다. 이때, 공급 인출부(136)는 다시 하강하게 된다.
다음, 도 4에 도시한 바와 같이, 흡착기(150)가 기판이송부(120)로부터 전달되는 기판(110) 상에 제1 감광성 수지(Ra)를 가이딩하여 도포하고, 상하로 맞물려 회전하는 압착롤러(170)에 의해 기판(110) 및 제1 감광성 수지(Ra)를 압착하여 기판(110)에 제1 감광성 수지(Ra)를 코팅한다.
이때, 도 4에는 상세히 도시하지 않았으나, 기판(110)의 길이에 맞춰 제1 감광성 수지(Ra)가 도포됐는지를 센서부가 감지하여 커팅부(152)를 제어하여 적정 길이에 맞춰 감광성 수지(R)를 절단하게 된다.
또한, 커버필름 박리기구(160)는 제1 감광성 수지(Ra)의 커버필름을 제거하여 기판(110)에 커버필름이 제거된 제1 감광성 수지(Ra)가 도포되도록 한다.
한편, 도 5 및 도 6에는 제1 감광성 수지(Ra)의 공급을 중단하고 제2 감광성 수지(Rb)를 공급하는 경우 라미네이팅 장치(100)가 자동으로 감광성 수지를 교체하는 공정을 도시한다.
먼저, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 공급롤러(132a)를 역회전하여 공급되고 있던 제1 감광성 수지(Ra)를 회수한다.
다음, 도 6에 도시한 바와 같이, 제2 감광성 수지(Rb)를 공급하기 위해 공급롤러(132)를 회전시켜 인출위치에 제2 공급롤러(132b)가 위치하도록 공급롤러를 교체하고, 제2 감광성 수지(Rb)를 공급하기 위해 공급 인출부(136)를 제2 감광성 수지(Rb)의 일단에 상승배치시킨다. 다음, 도 3 내지 도 4와 같이 제2 감광성 수지(Rb)를 공급하게 된다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 자동으로 감광성 수지를 교체할 수 있는 감광성 수지 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 감광성 수지 라미네이팅 장치를 나타내는 사시도; 및
도 2 내지 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 감광성 수지를 라미네이팅 하는 방법을 설명하기 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 설명>
110 : 기판 120 : 기판이송부
125 : 예비가열부 130 : 감광성 수지 공급유닛
132 : 공급롤러 134 : 공급 가이딩롤러
136 : 공급 인출부 140 : 가이드 롤러
150 : 흡착기 152 : 커팅부
160 : 커버필름 박리기구 170 : 압착롤러

Claims (23)

  1. 기판을 이송하는 기판이송부;
    다수의 감광성 수지를 자동으로 교체하며 공급하는 감광성 수지 공급유닛;
    상기 감광성 수지 공급유닛으로로부터 공급되는 상기 감광성 수지를 흡착하여 상기 기판으로 가이딩 하는 흡착기; 및
    상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 압착롤러
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판에 상기 감광성 수지가 도포되기 전에 상기 기판을 예비가열하는 예비가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 감광성 수지는 드라이 필름(dry film)인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 감광성 수지 공급유닛은,
    롤 형태로 감긴 다수의 상기 감광성 수지를 공급하는 다수의 공급롤러; 및
    상기 공급롤러와 접촉하여 상기 감광성 수지를 가이딩하는 다수의 공급 가이딩롤러
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 공급롤러의 교체시에 상기 공급 가이딩롤러도 함께 교체되는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 공급롤러에 감긴 감광성 수지의 일단을 인출하기 위한 공급 인출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡착기의 하단에는 상기 기판의 길이에 맞춰 상기 감광성 수지를 절단하는 커팅부가 설치된 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 커팅부에는 상기 감광성 수지의 위치 및 상기 기판으로 공급되는 상기 감광성 수지의 길이를 측정하는 센서부가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 감광 성 수지 라미네이팅 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 감광성 수지의 상부에 형성된 커버필름을 박리하는 커버필름 박리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 압착롤러는,
    상기 기판 및 상기 감광성 수지를 열압착하도록 내부에 히터를 구비한 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 압착롤러는,
    상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러; 및
    그 내부에 히터를 구비한 상태로, 상기 압착롤러에 접촉하게 설치되어 상기 압착롤러에 열을 공급하는 백업롤러
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 장치.
  12. (A) 다수의 감광성 수지를 공급하는 감광성 수지 공급유닛의 다수의 공급롤러 중 제1 공급롤러에 감긴 제1 감광성 수지의 일단에 공급 인출부가 배치되도록 상기 공급 인출부를 상승시키는 단계;
    (B) 상기 제1 공급롤러를 구동하여 상기 제1 감광성 수지를 인출하는 단계;
    (C) 흡착기가 상기 제1 공급롤러로부터 공급되는 상기 제1 감광성 수지를 흡착한 상태에서 기판이송부로부터 이송되는 기판으로 가이딩하여 상기 기판에 상기 제1 감광성 수지를 도포하는 단계; 및
    (D) 상하로 맞물려 회전하는 압착롤러에 의해 상기 기판 및 상기 제1 감광성 수지를 압착하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 (B) 단계와 상기 (C) 단계 사이에,
    상기 공급 인출부를 하강시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 (D) 단계 이후에,
    (E) 상기 제1 공급롤러를 역회전하여 공급된 상기 제1 감광성 수지를 회수하는 단계; 및
    (F) 제2 감광성 수지를 공급하기 위해 상기 제1 공급롤러를 제2 공급롤러로 교체하고 상기 제2 감광성 수지를 공급하는 단계
    가 수행되어 상기 감광성 수지를 자동으로 교체하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  15. 청구항 12에 있어서,
    상기 기판에 상기 감광성 수지가 도포되기 전에 예비가열부에 의해 상기 기판이 예비가열되는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  16. 청구항 12에 있어서,
    상기 감광성 수지는 드라이 필름(dry film)인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  17. 청구항 12에 있어서,
    상기 감광성 수지 공급유닛은,
    롤 형태로 감긴 다수의 감광성 수지를 공급하는 다수의 공급롤러와 접촉하여 상기 감광성 수지를 가이딩 하는 다수의 공급 가이딩롤러
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 공급롤러의 교체시에 상기 공급 가이딩롤러도 함께 교체되는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  19. 청구항 12에 있어서,
    상기 (C) 단계에서,
    상기 기판으로 가이딩 되는 상기 제1 감광성 수지는 상기 흡착기의 하단에 설치된 커팅부에 의해 상기 기판의 길이에 맞게 커팅된 상태로 공급되는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 커팅부에는 상기 감광성 수지의 위치 및 상기 기판으로 공급되는 상기 감광성 수지의 길이를 측정하는 센서부가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  21. 청구항 12에 있어서,
    상기 (C) 단계에서,
    상기 제1 감광성 수지는 커버필름 박리부에 의해 상기 제1 감광성 수지의 상부에 형성된 커버필름이 박리된 상태로 상기 기판에 도포되는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  22. 청구항 12에 있어서,
    상기 압착롤러는,
    상기 기판 및 상기 감광성 수지를 열압착하도록 내부에 히터를 구비한 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
  23. 청구항 12에 있어서,
    상기 압착롤러는,
    상기 기판 및 상기 감광성 수지를 압착하는 상부 압착롤러 및 하부 압착롤러; 및
    그 내부에 히터를 구비한 상태로, 상기 압착롤러에 접촉하게 설치되어 상기 압착롤러에 열을 공급하는 백업롤러
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 라미네이팅 방법.
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