KR101009210B1 - 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치에 관한 것으로, 열풍 또는 냉풍을 방출하는 건조부가 구비된 건조존, 상기 건조존 내에 이송되는 패턴부를 갖는 기판, 및 상기 건조존 내에 설치되어 상기 패턴부를 캘린더링(Calendering) 하는 캘린더링 롤러부 포함하여 구성되어, 기판에 인쇄된 패턴부를 건조하는 과정에서 패턴부의 캘린더링을 동시에 수행할 수 있는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치를 제공한다.

캘린더링, 건조존, MLCC, 그라비아, 이형 코팅, 건조존

Description

기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치{Apparatus for calendering pattern part of substrate}

본 발명은 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패턴부를 건조시키기 위한 건조존에 캘린더링 장치가 구비되어 건조와 동시에 캘린더링 공정을 수행할 수 있는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치에 관한 것이다.

전자제품의 소형경량화가 급격히 진행됨에 따라 부품의 실장방법도 삽입실장에서 작업효율이 크게 향상된 표면실장으로 변화되었고, 이러한 실장기술의 변화에 따라 전자부품도 표면실장이 가능하고 실장밀도를 배가할 수 있는 육면체의 소형 칩 부품 개발이 필요하게 되었으며, 기존의 리드가 달린 삽입형 만으로는 이러한 제품의 요구를 만족시키지 못하게 되었다.

이에 따라, 유전체를 3차원적으로 적층하고 전극을 스크린 인쇄에 의해 구성하는 적층화 기술이 실용화되었으며, 이 기술이 부품의 소형화를 빠른 속도로 주도해오고 있다.

이러한 상황에서 적층 세라믹 캐패시터(Multi-layer Ceremic Condensor; MLCC), 칩인덕터와 같은 세라믹 칩부품에 대한 수요가 급증하고 있다.

이러한 세라믹 칩 부품은 소정의 내부전극이 형성된 다수의 세라믹시트를 적층하는 방법으로 형성되며, 특히 내부전극은 스크린 인쇄 방식 또는 그라비아 인쇄방식에 의해 세라믹 시트에 형성한 후 건조과정을 거침으로써 제조되었다.

여기서, 스크린 인쇄방식은 마스크 상에 페이스트를 도포하고 스퀴지의 압력을 조정하여 인쇄진행방향으로 스퀴지가 왕복운동을 하면서 세라믹 시트 상에 내부전극을 인쇄하는 방식이다.

도 1에는 이러한 스크린 인쇄방식에 의해 세라믹 시트에 내부전극을 형성하는 스크린 인쇄장치(10)가 도시되어 있다.

도 1에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 스크린 인쇄장치(10)는 내부전극(E)에 대응하는 위치에 개구부가 형성된 마스크(M)와 페이스트를 미는 스퀴지(S)로 구성되었다. 이러한 스크린 인쇄장치(10)는 마스크(M)에 형성된 개구부에 스퀴지(S)가 페이스트를 밀어넣어 세라믹 시트(B)에 내부전극(E)을 인쇄하였다.

다음, 그라비아 인쇄방식은 롤-투-롤 연속 구동방식에 의한 그라비아 롤을 이용하여 내부전극을 인쇄하는 방식으로서, 스크린 프린팅 방식에 비해 롤 이송속도가 수십배 이상 빠르기 때문에 스크린 인쇄방식에 비해 생산성이 우수하다.

상술한 바와 같은 스크린 인쇄방식 또는 그라비아 인쇄방식에 의해 형성된 내부전극의 인쇄도포두께 및 해상되는 적층 세라믹 캐패시터의 용량 및 전기적 특성에 큰 영향을 미치게 되므로, 내부전극의 인쇄면에 대한 균일성이 요구된다. 그러나, 스크린 인쇄방식 또는 그라비아 인쇄방식에 의해 내부전극을 형성하는 경우 인쇄층의 두께 대비 인쇄면의 조도가 증가하는 문제점이 있었으며, 특히, 그라비아 인쇄방식의 경우 내부전극이 고속으로 인쇄되기 때문에 인쇄면의 조도가 더욱 증가하는 문제점이 있었다.

따라서, 인쇄면의 조도를 개선하기 위해 스크린 인쇄 또는 그라비아 인쇄 후 표면조도를 개선하기 위한 별도의 공정을 진행하기 위한 시도가 있으나, 별도의 공정으로 진행할 경우 새로운 공정이 추가되어 생산성이 감소할 뿐만 아니라, 그라비아 공정의 경우 고속공정으로 진행되기 때문에 기존의 장비로 연속공정이 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 기판에 인쇄된 패턴부를 건조하는 과정에서 패턴부의 캘린더링을 동시에 수행할 수 있는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 캘린더링 장치는, 열풍 또는 냉풍을 방출하는 건조부가 구비된 건조존, 상기 건조존 내에 이송되는 패턴부를 갖는 기판, 및 상기 건조존 내에 설치되어 상기 패턴부를 캘린더링(Calendering) 하는 캘린더링 롤러부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 건조존은 다수개로 구획되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 건조존에는 건조시 상기 기판으로부터 발생하는 가스 성분을 측정하는 가스 측정부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 가스 측정부로부터 측정된 가스 성분의 양에 따라 상기 기판의 건조상태를 측정하고, 측정된 상기 건조상태에 따라 상기 건조부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 패턴부를 갖는 기판은 전극단자가 형성된 세라믹 기판인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판의 패턴부는 그라비아 인쇄법(Gravure Printing Method)에 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 캘린더링 롤러부는 상기 기판의 일면에 형성된 패턴부를 캘린더링 하는 캘린더링 롤러와 상기 기판의 타면을 지지하는 가이드 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 캘린더링 롤러의 외면에는 상기 패턴부와의 접착성을 낮추기 위해 이형 코팅이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이형 코팅은 테프론, 불소계, 실리콘계로 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 건조존에는 상기 캘린더링 롤러의 온도를 낮추기 위해 냉각수를 공급하는 냉각수 공급수단이 설치되는 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 건조존에는 상기 캘린더링 롤러의 온도를 낮추기 위해 에어를 공급하는 에어 공급부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 캘린더링 롤러부는 상기 캘린더링 롤러의 온도를 낮추기 위해 상기 캘린더링 롤러와 접촉하도록 형성된 냉각 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 패턴부를 건조하는 동시에 갤린더링 함으로써 작은 압력으로 패턴부의 조도를 감소시키고 치밀하게 할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은, 패턴부를 건조하는 동시에 갤린더링 함으로써 공정시간을 단축시키는 효과를 갖는다.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되 어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 "제1", "제2" 등의 용어는 임의의 양, 순서 또는 중요도를 나타내는 것이 아니라 구성요소들을 서로 구별하고자 사용된 것이며, 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 건조존 내부에 캘린더링 장치를 구비한 그라비아 인쇄장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 그라비아 인쇄부의 상세도이며, 도 4는 도 2에 도시된 캘린더링 장치가 구비된 건조존의 상세도이다.

도 2를 참조하여, 기판에 패턴부를 인쇄하고, 건조 및 캘린더링 공정을 수행하는 그라비아 인쇄장치 및 이를 이용하여 패턴부를 갖는 기판을 제조하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 본 실시예에 따른 그라비아 인쇄장치(100)는, 예를 들어, 적층 세라믹 캐패시터에서 세라믹 기판에 내부전극을 형성하는데 사용가능하며, 이 하에서는 설명의 편의를 위해 이를 중심으로 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 피인쇄기판에 패턴부와 같은 인쇄층을 형성하는 다양한 분야에 채용될 수 있음을 물론이다.

본 실시예에 따른 그라비아 인쇄장치(100)는 롤-투-롤 연속 구동방식에 의해 기판에 패턴부를 인쇄하는 장치로서, 기판을 이송하는 이송부(120), 기판에 패턴부를 인쇄하는 그라비아 인쇄부(140), 및 패턴부가 인쇄된 기판을 건조시키는 건조존(160)을 포함하여 구성된다.

먼저, 이송부(120)는 기판(B)을 이송시키는 역할을 수행하기 위한 것으로, 터렛 언와인더 롤러(turret unwider roller; 122), 인피드 롤러(In Feed Roller; 124)/아웃피드 롤러(Out Feed Roller; 128), 댄서 롤러(Dancer Roller; 126), 터렛 리와인더 롤러(turret rewinder roller; 130) 등으로 구성된다.

터렛 언와인더 롤러(122)는 그라비아 인쇄장치 내로 기판(B)을 공급하는 역할을 수행하며, 터렛 리와인더 롤러(130)는 터렛 언와인더 롤러(122)에 의해 공급되어 그라비아 인쇄부(140) 및 건조존(160)을 거친 기판(B)을 권취하는 역할을 수행한다. 여기서, 터렛 언와인더 롤러(122) 및 터렛 리와인더 롤러(130)는 모터(미도시)에 의해 구동된다.

또한, 인피드 롤러(124)는 터렛 언와인더 롤러(122)에 의해 공급된 기판(B)을 그라비아 인쇄부(140)로 안내하는 역할을 수행하며, 아웃피드 롤러(128)는 건조 존(160)을 통과한 기판(B)을 터렛 리와인더 롤러(130)로 안내하는 역할을 수행한다.

또한, 댄서 롤러(126)는 기판(B)의 장력을 조절하고, 기판(B)을 안내하는 역할을 수행하기 위한 것으로, 그라비아 인쇄장치(100) 내에 적절히 배치된다.

다음, 그라비아 인쇄부(140)는 이송부(120)에 의해 이송되는 기판(B)에 패턴부(E)를 인쇄하기 위한 것으로서, 실린더 롤러(144)의 음각홈에 주입된 페이스트를 프레스 롤러(148)의 가압에 의해 기판(B)에 전사하는 방식으로 패턴부(E)를 형성하게 된다. 이러한 그라비아 인쇄부에 구성 및 인쇄방법에 대한 상세한 설명은 도 3과 관련하여 상세히 설명하기로 한다.

다음, 건조존(160)은 기판(B)에 인쇄된 패턴부(E)를 건조시키기 위한 것으로서, 다수의 건조존, 예를 들어, 제1 내지 제5 건조존(160A, 160B, 160C, 160D, 160E)으로 구획되어 있다. 본 실시예에서는 건조존(160) 내부에 패턴부를 캘린더링 하기 위한 캘린더링 롤러부가 구비되어 잇는 것을 기술적 특징으로 하며, 이러한 건조존에 대한 상세한 설명은 도 4와 관련하여 상세히 설명하기로 한다.

상술한 바와 같이, 이송부(120)에 의해 이송되는 기판(B)은 그라비아 인쇄부(140)에서 패턴부(E)가 형성되고, 건조존(160)을 통해 패턴부(E)가 건조됨으로써 패턴부(E)를 갖는 기판(B)이 형성된다.

도 3을 참조하여, 그라비아 인쇄부(140) 및 이를 이용하여 기판에 패턴부를 인쇄하는 방법을 설명하면 다음과 같다.

그라비아 인쇄부(140)는 기판(B)에 패턴부(E)를 인쇄하기 위한 것으로서, 페이스트 공급부(142), 실린더 롤러(cylinder roller; 144), 라이딩 롤러(riding roller; 146), 프레스 롤러(press roller; 148), 독터 나이프(doctor knife; 149)로 구성된다.

여기서, 페이스트 공급부(142)는 패턴부(E) 인쇄용 페이스트(P)를 공급하기 위한 것으로, 페이스트(P)를 수용하기 위한 소정의 내부공간을 갖는다. 이때, 사용되는 페이스트(P)는 적층 세라믹 캐패시터에 사용되는 세라믹 기판에 내부전극을 형성하기 위한 니켈 또는 납 페이스트 등이 사용될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 실린더 롤러(144)는 페이스트(P)를 기판(B)에 패턴부(E)를 인쇄하기 위한 것으로서, 패턴부(E)에 대응하는 형상을 갖는 음각홈(145)이 그 외면에 형성되어 있다. 실린더 롤러(144)는 일부가 페이스트 공급부(142)에 공급된 페이스트(P)에 잠김채로 회전됨으로써 음각홈(145)에 페이스트(P)가 주입되게 된다.

또한, 라이딩 롤러(146)는 실린더 롤러(144)의 음각홈(145)에 페이스트(P)의 주입을 돕기 위한 것으로서, 실린더 롤러(144)와 반대방향으로 회전하면서 페이스트(P)를 음각홈(145)에 주입시키게 된다.

또한, 프레스 롤러(148)는 실린더 롤러(144)와 프레스 롤러(148)의 사이로 지나가는 기판(B)에 압력을 가하여 실린더 롤러(144)의 음각홈(145)에 주입된 페이스트(P)가 기판(B)에 전사되도록 하기 위한 것으로서, 실린더 롤러(144)와 반대방향으로 회전하도록 구성된다. 이때, 기판(B)에 전사되는 패턴부(E)의 도포두께 및 해상도는 각각의 롤러의 가공상태, 페이스트의 조성, 프레스 롤러(148)의 가압력 등에 따라 결정되며, 이는 적층 세라믹 캐패시터의 용량 및 전기적 특성에 큰 영향을 미치므로 적절히 제어되는 것이 바람직하다. 특히, 프레스 롤러(148)의 가압력이 강할수록 페이스트의 전이가 좋아 양호한 패턴부(E)의 형성이 가능하므로, 가압력은 적어도 약 2.5~4kg/cm²이상인 것이 바람직하다. 그러나, 가압력이 너무 클 경우 기판(B)에 주름이 생길 수 있으므로 이를 고려하여 적절히 조절하는 것이 바람직하다.

마지막으로, 독터 나이프(149)는 실린더 롤러(144)의 외면에 묻은 여분의 페이스트가 기판에 전사되는 것을 방지하기 위해 이를 긁어내는 강판날의 역할을 수행하는 것으로서, 실린더 롤러(144)의 외면과 접촉하도록 설치된다. 예를 들어, 독터 나이프(149)는, 두께가 약 0.15 ~ 1mm 정도인 것이 바람직하며, 카본 또는 스테인레스 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 독터 나이프(149)는 교체 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같은 그ㄹ비아 인쇄부(140)에 의해 기판(B)에 패턴부(E)를 형성하는 방법을 간단히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 페이스트 공급부(142)에 페이스트(P)를 공급한다.

다음, 음각홈(145)이 형성된 실린더 롤러(144)가 페이스트 공급부(142)에 일부가 잠김채로 회전함으로써 음각홈(145)에 페이스트(P)가 주입된다. 이때, 실린더 롤러(144)와 반대방향으로 회전하는 라이딩 롤러(146)는 페이스트(P)가 음각홈(145)에 주입되는 것을 돕게 된다.

다음, 페이스트(P)가 주입된 상태로 회전하는 실린더 롤러(144)의 외면에 묻은 여분의 페이스트(P)는 독터 나이프(149)에 의해 긁혀져 제거되게 된다.

마지막으로, 이송부(120)에 의해 기판(B)이 그라이바 인쇄부(140), 즉 실린더 롤러(144)와 프레스 롤러(148) 사이를 통과할 때, 프레스 롤러(148)의 가압력에 의해 기판(B)에 패턴부(E)가 형성되게 된다.

도 4를 참조하여, 캘린더링 장치가 구비된 건조존 및 이를 이용한 건조 및 캘린더링 공정을 설명하면 다음과 같다.

건조존(160)은 기판(B)에 형성된 패턴부(E)를 건조시키기 위한 것으로서, 소정의 내부 공간을 가진 상태로 기판(B)이 유입되는 입구부 및 빠져나가는 출구부를 제외하고는 밀폐된 구조를 가지며, 열풍 또는 냉풍을 공급하는 건조부(162)를 구비한다.

여기서, 건조부(162)는 배출하는 열풍 또는 냉풍에 의해 기판(B)이 손상되지 않도록 기판(B)과 소정거리 이격되도록 설치되며, 유입되는 패턴부(E)의 상부로 열풍 또는 냉풍을 공급하도록 설치되는 것이 바람직하다.

한편, 건조존(160)은 다수의 건조존으로 구획되는 것이 바람직하다. 이때, 건조부(162)는 각각의 건조존(160)에 열풍 또는 냉풍을 공급하도록 설치된다. 이는, 각각의 건조존(160)에서 패턴부(E)의 건조상태를 측정하여 건조부(162)를 제어부(180)를 통해 제어함으로써 최적의 건조성능을 달성하기 위함이다.

여기서, 패턴부(E)의 건조상태는 건조존(160) 내부에 설치되어 기판(B)의 건조시에 발생하는 가스 성분을 측정하는 가스 측정부(164)를 통해 측정할 수 있다. 예를 들어, 적층 세라믹 캐패시터의 내부전극을 건조시키는 경우 솔벤트 성분이 증발하게 되는데 이 솔벤트 성분의 양을 측정함으로써 내부전극의 건조상태를 측정하게 된다.

이때, 가스 측정부(164)를 통해 측정된 패턴부(E)의 건조상태를 바탕으로, 각각의 건조존(160)에 공급되는 냉풍 또는 열풍의 온도 및 세기를 제어함으로써 내부전극의 건조를 제어하게 된다.

한편, 건조존(160) 내부에는 패턴부(E)의 표면조도를 감소시키고 패턴부(E)의 인쇄도를 치밀하기 하기 위하여 캘린더링을 수행하기 위한 캘린더링 롤러부가 구비된다. 이 캘린더링 롤러부는 건조존(160) 내부에 장착됨으로써 패턴부(E)를 건조시키는 동시에 패턴부(E)의 신축성이 유짇된 상태에서 작은 압력으로 캘린더링 공정의 수행이 가능하게 한다.

이때, 캘린더링 롤러부는, 패턴부(E)의 건조가 어느정도 진행되되, 패턴부(E)의 신축성이 유지된 상태에서 패턴부(E)의 캘린더링 공정을 수행되도록 건조 존(160)의 중간, 예를 들어, 도 4에 도시한 바와 같이, 제3 건조존(160C)에 설치되는 것이 바람직하다. 이는 패턴부(E)의 건조가 전혀 진행되지 않은 상태에서 패턴부(E)를 먼저 캘린더링 하는 경우 이후의 건조공정에서 패턴부(E)로부터 발생하는 가스, 예를 들어, 솔벤트 성분에 의해 패턴부(E)의 치밀도가 감소하는 문제를 방지하기 위함이다. 또한, 패턴부(E)의 건조가 완료된 상태에서 패턴부(E)를 캘린더링 하는 경우 패턴부(E)의 신축성이 없어 캘린더링 공정이 용이하지 않게 때문에 이를 피하기 위함이다.

여기서, 캘린더링 롤러부는 기판(B)의 일면에 형성된 패턴부(E)를 캘린더링 하는 캘린더링 롤러(166)와 기판(B)의 타면을 지지하는 가이드 롤러(168)로 구성된다.

이때, 고온의 건조 온도에서 패턴부(E)에 함유된 접착성을 갖는 바인더 성분에 의해 캘린더링 롤러(166)에 패턴부(E)가 묻어날 가능성이 있기 때문에 캘린더링 롤러(166)의 표면에는 접착력을 낮추기 위한 이형 코팅(167)이 형성된다. 상기 이형 코팅(167)으로는 테프론, 불소계, 실리콘계 등이 사용될 수 있다.

또한, 캘린더링 롤러(166)의 접착력을 낮추기 위해 캘린더링 롤러(166)의 표면온도를 낮추기 위한 장치가 구비될 수 있다. 예를 들어, 캘린더링 롤러(166)에 냉각수 또는 에어를 공급하는 냉각수 공급수단(미도시) 또는 에어 공급수단(미도시)을 구비하여 캘린더링 롤러(166)의 온도를 낮추거나, 캘린더링 롤러(166)의 외부표면에 냉각 롤러(170)를 접촉시킴으로써 캘린더링 롤러(166)의 온도를 낮출 수 있다.

상술한 바와 같이, 패턴부(E)의 건조를 수행하는 건조존 내부에 캘린더링 롤러부를 구비함으로써 건조와 동시에 캘린더링 공정을 수행할 수 있게 된다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.

도 1은 종래의 스크린 인쇄방식에 의해 세라믹 시트에 내부전극을 형성하는 스크린 인쇄장치를 개략적으로 나타내는 도면;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 건조존 내부에 캘린더링 장치를 구비한 그라비아 인쇄장치를 개략적으로 나타낸 도면;

도 3은 도 2에 도시된 그라비아 인쇄부의 상세도; 및

도 4는 도 2에 도시된 캘린더링 장치가 구비된 건조존의 상세도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

120 : 이송부 140 : 그라비아 인쇄부

160 : 건조존 162 : 건조부

164 : 가스 측정부 166 : 캘린더링 롤러

167 : 이형 코팅 168 : 가이드 롤러

170 : 냉각 롤러

Claims (12)

1. 열풍 또는 냉풍을 방출하는 건조부가 구비된 건조존;

   상기 건조존 내에 이송되며, 그라비아 인쇄법에 의해 형성된 패턴부를 갖는 기판; 및

   상기 건조존 내에 설치되어 상기 패턴부를 캘린더링(Calendering) 하는 캘린더링 롤러부

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 건조존은 다수개로 구획되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 건조존에는 건조시 상기 기판으로부터 발생하는 가스 성분을 측정하는 가스 측정부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 가스 측정부로부터 측정된 가스 성분의 양에 따라 상기 기판의 건조상태를 측정하고, 측정된 상기 건조상태에 따라 상기 건조부를 제어하는 제어부를 포 함하는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 패턴부를 갖는 기판은 전극단자가 형성된 세라믹 기판인 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
6. 삭제
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 캘린더링 롤러부는 상기 기판의 일면에 형성된 패턴부를 캘린더링 하는 캘린더링 롤러와 상기 기판의 타면을 지지하는 가이드 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 캘린더링 롤러의 외면에는 상기 패턴부와의 접착성을 낮추기 위해 이형 코팅이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 이형 코팅은 테프론, 불소계, 실리콘계로 형성된 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
10. 청구항 7에 있어서,

    상기 건조존에는 상기 캘린더링 롤러의 온도를 낮추기 위해 냉각수를 공급하는 냉각수 공급수단이 설치되는 있는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
11. 청구항 7에 있어서,

    상기 건조존에는 상기 캘린더링 롤러의 온도를 낮추기 위해 에어를 공급하는 에어 공급부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.
12. 청구항 7에 있어서,

    상기 캘린더링 롤러부는 상기 캘린더링 롤러의 온도를 낮추기 위해 상기 캘린더링 롤러와 접촉하도록 형성된 냉각 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴부를 캘린더링하는 장치.

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