KR20100036039A - 기판척 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 일정 간격 이격되어 환상으로 배치되며, 점착 특성으로 기판을 반복적으로 부착하는 점착부;상기 점착부 내부에 환상으로 배치되며, 상기 점착부 표면 높이 상하로 변형하며 기판을 분리하는 분리부;상기 분리부의 내측에 배치되며, 기체를 분사하거나 흡입하여 기판 부착과 분리를 돕는 기판 탈착 보조부;를 포함하는 기판척.
- 제1항에 있어서, 상기 분리부는,다이아프램(Diaphragm)인 것을 특징으로 하는 기판척.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 탈착 보조부는,상기 분리부 내부에 상기 점착부와 동일한 높이로 형성되는 외주부;상기 외주부의 중앙에 형성되어 기체가 통과하는 경로를 제공하는 기체 통과홀;상기 기체 통과홀의 배면에 연결되어 기체를 분사하거나 흡입하는 기체 라인;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판척.
- 제3항에 있어서, 상기 기체는,질소(N2)인 것을 특징으로 하는 기판척.
- 제3항에 있어서,상기 외주부의 표면에는 점착 특성으로 기판을 반복적으로 부착하는 점착층이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판척.
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