JP3944484B2 - 基板チャック装置 - Google Patents
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Description
ャック装置において、回転面8より下方にバランスウエイト7を配置し、該バランスウエイト7によってチャックアーム2及びチャックピン3の重心を下降させると共に、回転時にチャックアーム2に上向きの曲げモーメントを発生させて、上記課題を解決した。チャックアーム2、チャックピン3、バランスウエイト7はそれぞれ別体でも、これらを一体化させても良い。
2 チャックアーム
3 チャックピン
4 基板保持溝
5 基板
7 バランスウエイト
8 回転面
Claims (4)
- 回転軸体1から水平方向に伸縮自在に延設された複数のチャックアーム2と、それぞれのチャックアーム2の端部から上方に向って植設されたチャックピン3とからなる基板チャック装置において、チャックアーム2にバランスウエイト7を配置し、該バランスウエイト7によってチャックアーム2及びチャックピン3の重心を下降させると共に、回転時にチャックアーム2に上向きの曲げモーメントを発生させる様にしたことを特徴とする基板チャック装置。
- チャックアーム2の下面側にバランスウエイト7を配置し、チャックアーム2、チャックピン3、バランスウエイト7全体の重心が、チャックアーム2の回転面8または回転面8より下方に位置する様にし、回転時にチャックアーム2に上向きの曲げモーメントを発生させる様にしたことを特徴とする請求項1記載の基板チャック装置。
- チャックアーム2、チャックピン3、バランスウエイト7がそれぞれ別体であることを特徴とする請求項1又は2記載の基板チャック装置。
- チャックアーム2、チャックピン3、バランスウエイト7が一体化されていることを特徴とする請求項1又は2記載の基板チャック装置。
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JP2004010005A JP3944484B2 (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | 基板チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004010005A JP3944484B2 (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | 基板チャック装置 |
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JP2005203650A JP2005203650A (ja) | 2005-07-28 |
JP3944484B2 true JP3944484B2 (ja) | 2007-07-11 |
Family
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- 2004-01-19 JP JP2004010005A patent/JP3944484B2/ja not_active Expired - Fee Related
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