KR20090128682A - 유기전계발광 표시장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 모기판 상에 다수의 패널들 및 상기 다수의 패널들로 원장검사신호를 공급하는 원장배선들을 형성하여 상기 모기판 상에서 원장단위의 검사(원장검사)를 수행하는 단계를 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법에 있어서,(a) 상기 모기판 상에 상기 패널들 각각의 영역을 정의하는 단계와,(b) 상기 패널들 각각의 영역에 상기 패널들을 구동하기 위한 구동소자들을 형성함과 아울러, 상기 구동소자들 중 적어도 일부와 전기적으로 연결되는 원장배선들 및 상기 원장배선들 모두를 전기적으로 연결하는 쇼팅바를 형성하는 단계와,(c) 상기 패널들 각각의 영역에 유기 발광 다이오드를 형성함과 아울러, 상기 쇼팅바가 상기 원장배선들과 연결되는 컨택영역을 제외하고 상기 쇼팅바의 오픈영역을 식각하여 상기 원장배선들을 서로 절연시키는 단계와,(d) 상기 원장배선들로 상기 원장검사신호를 공급하여 상기 다수의 패널들에 대한 원장검사를 수행하는 단계와,(e) 상기 모기판을 절단하여 상기 패널들을 개별적으로 분리하는 단계를 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 (b) 단계는,상기 모기판 상에 게이트 금속을 형성한 후 패터닝하여 상기 쇼팅바를 형성 하는 단계와,상기 쇼팅바를 포함한 상기 모기판 상에 층간절연막을 형성한 후, 상기 오픈영역 및 상기 컨택영역 상의 층간절연막을 패터닝하여 상기 오픈영역 및 상기 컨택영역을 노출시키는 단계와,상기 층간절연막 상에 소스/드레인 금속을 형성한 후 패터닝하여 상기 원장배선들을 형성하되, 상기 원장배선들은 상기 컨택영역을 통해 상기 쇼팅바와 연결시키고, 상기 오픈영역은 노출시키는 단계를 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 원장배선들 상에 평탄화막을 형성하되 상기 오픈영역을 노출시키는 단계와,상기 평탄화막 및 상기 오픈영역을 포함한 상기 모기판 상에 애노드막을 형성하는 단계와,상기 애노드막의 일 영역 상에 포토 레지스트막을 형성하되, 상기 오픈영역 상의 애노드막을 노출시키는 단계와,식각액을 이용한 습식식각 공정에 의해 상기 애노드막을 패터닝함과 아울러 상기 오픈영역을 식각하는 단계를 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 애노드막을 구성하는 물질은 상기 쇼팅바를 구성하는 물질보다 반응성이 낮은 물질로 선택되고, 상기 습식식각 공정 동안 갈바닉 효과를 이용해 상기 쇼팅바를 식각하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서,상기 애노드막은 ITO 또는 ITO/Ag/ITO로 구성되고, 상기 쇼팅바는 Mo 또는 MoW으로 구성되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 컨택영역 상의 상기 평탄화막에 비아홀을 형성하여 상기 애노드막을 상기 원장배선들 각각과 전기적으로 연결하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 (c) 단계는 레지스트 용매에 의해 상기 포토 레지스트막을 스트립하는 단계를 더 포함하며, 상기 레지스트 용매 속에서 상기 애노드막과 상기 쇼팅바의 반응성 차에 기인한 갈바닉 효과를 이용하여 상기 오픈영역을 추가적으로 식각하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 컨택영역은 상기 원장배선들의 검사패드 내에 위치되며, 상기 쇼팅바는 상기 (b) 단계에서 상기 원장배선들의 검사패드들을 전기적으로 연결하도록 상기 모기판의 가장자리에 형성되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
- 제8항에 있어서,상기 오픈영역은 상기 원장배선들의 검사패드들 사이에 위치되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
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