KR20090097923A

KR20090097923A - 표면처리장치

Info

Publication number: KR20090097923A
Application number: KR1020097014380A
Authority: KR
Inventors: 마사히데 우치노
Original assignee: 쟈판휘루도가부시키가이샤
Priority date: 2007-06-28
Filing date: 2008-05-21
Publication date: 2009-09-16
Also published as: CN101616753B; JP2009006261A; JP4086889B1; TWI374998B; WO2009001638A1; US20100126537A1; US8387633B2; TW200907260A; KR101055408B1; CN101616753A

Abstract

표면처리조 내를 진공상태로 유지하면서, 이 표면처리조 내에 수납한 작업기구를 상하 이동시킴과 동시에, 작업 기구의 회전, 요동 등을 가능하게 하는 표면처리장치를 얻는다. 내부가 진공상태로 되는 내압조(1)와, 이 내압조(1)내에 삽입해 상단측을 내압조로부터 외측으로 돌출하고, 이 돌출부(17)에 상하이동기구(18)를 접속해 상하 이동가능하게 하는 통형태의 내압케이싱(7)과, 상기 돌출부(17)에 배치한 회전구동기구(16)와, 이 회전구동기구(16)에 접속해 회전 가능하고, 내압케이싱(7)에 관통해 배치한 구동축(13)과, 이 구동축(13)의 하부에 접속한 회전전달기구(24)를 통해 구동축(13)의 구동력을 전달하고, 표면처리작업을 하는 작업기구(34)와, 상기 내압조(1)와 내압케이싱(7)의 외기연통부에 배치하고, 내압조(1) 내의 기밀성을 유지하는 내압진공밀봉재(36)와, 상기 내압케이싱(7)과 구동축(13) 또는/및 회전전달기구(24)와의 외기연통부에 배치하고, 내압조내의 기밀성을 유지하는 구동진공밀봉재(40)를 구비한다.

내압조, 진공 상태, 표면처리, 기밀성

Description

표면처리장치{Surface treatment equipment}

본 발명은, 피처리물을 내부에 수납해 방수, 세정, 배럴, 도금, 그 외의 표면 처리를 하는 표면처리용바구니를 진공상태의 내압조 내에서 상하이동 및 회전 가능하게 하는, 동력전달기구를 구비한 표면처리장치에 관한 것이다.

종래부터, 특허문헌1에 나타나는 바와 같이, 세정조 내에 피세정물을 회전 및 상하이동 시키면서 세정을 하는 세정장치가 알려져 있다. 이 세정장치는 세정조 내에 구동축의 하단측을 삽입하고, 상기 세정조부터 돌출한 구동축의 상단측에 이 구동축을 상하이동 가능하게 하는 상하이동기구를 접속하고 있다. 또한, 이 구동축의 상단에는 구동축을 회전이동가능하게 하는 회전구동 기구를 설치하는 동시에, 하단에는 상기 구동축의 구동력을 전달하는 회전 전달기구를 통해 회동판을 마련하고 있다.

그리고, 이 회동판에 피세정물을 고정한 상태로 상기 회전구동기구를 작동시켜 구동축을 회전구동 시키는 것에 보다 피세정물을 회전 가능하게 함과 동시에, 상기 상하이동기구를 작동시켜 구동축을 상하 이동시키는 것에 의해 피세정물의 승강을 가능하게 하고 있다. 그리고, 이와 같이 피세정물의 회전 및/또는 승강을 행하는 것에 의해 피세정물의 세정작업을 행하는 것이다. 또한, 특허문헌1에 나타나 는 세정장치는 세정조 내를 항상 누른 상태로 사용하는 것을 전제로 하고 있다.

한편으로는, 세정조 내를 진공 상태로 유지한 상태로 세정 작업을 하면, 우수한 효과를 얻는 것이 알려져 있다. 예를 들면, 세정조 내를 진공 상태로 하여 초음파세정을 하면, 상압상태에서의 초음파 세정과 비교해 초음파의 감쇠가 적어지고, 요철부에 부착해 있는 공기를 배출해 세정 효과를 높이는 것이 알려져 있다. 또한, 도금 등 세정작업 이외의 표면처리작업에 있어서도, 진공 상태로 행하는 것에 의해 피처리물이 접촉하거나 서로 겹치는 경우라도, 세부에 표면처리용의 약제가 침투해 균일한 표면 처리를 할 수 있다.

특허 문헌1 : 일본 공개특허공보 소63-24754호

(발명이 해결하려고 하는 과제)

그렇지만, 상기 특허 문헌1에 기재된 세정장치는 세정조 내를 항상 누른 상태로 사용하는 것이기 때문에 세정조 내는 내압밀폐되어 있지 않고 항상 누른 상태로 되어 있다. 이 때문에, 이 세정 장치를 사용해 진공 분위기 중에서의 세정을 행하는 것은 불가능한 것이다.

그래서 본 발명은, 상술한 바와 같은 과제를 해결하고자 하는 것이고, 표면 처리조 내를 진공상태로 유지하면서, 이 표면처리조내에 수납한 작업 기구를 상하 이동가능하게 함과 동시에, 작업기구 부분에서 회전, 요동 등의 표면 처리 목적에 따른 작업을 하는 것을 가능하게 하는 표면처리장치를 얻고자 하는 것이다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명은 상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 내부를 진공 상태로 하여 얻는 내압조와, 이 내압조 내에 하단측을 삽입함과 동시에 상단측을 내압조로부터 외측으로 돌출하고 이 돌출부에 상하 이동기구를 접속해 상하이동 가능하게 하는 통형상의 내압케이싱을 구비하고 있다. 이와 같이 케이싱을 내압성으로 하는 것에 의해, 케이싱을 진공상태의 내압조 내에 배치한 경우에 있어서도, 케이싱이 파손할 우려가 생기기 어렵고, 장치를 안정한 상태로 사용할 수 있다. 또한, 상기 내압케이싱은 하기에 나타낸 바와 같이 회전전달기구를 수납하는 내압수납부를 하부에 형성한 것이라도 좋다. 또한, 상기 상하이동기구는 유압실린터 또는 공압실린더라도 좋고, 스크류나사나 체인 블록 등이라도 좋다.

또한, 본 발명은 상기 내압케이싱의 돌출부에 배치한 회전구동기구와, 이 회전구동기구에 접속해 회전가능함과 동시에, 내압케이싱에 관통해 배치한 구동축과, 이 구동축의 하부에 접속한 회전전달기구를 통해 구동축의 구동력을 전달하고, 표면처리작업을 하는 작업기구를 구비하고 있다. 또한, 이 작업기구는 회전전달롤러 또는 이송체인을 마련한 종동축을 회전구동기구에 연결하는 것에 회전전달롤러 또는 이송체인에 구동축의 구동력을 전달하고, 이 회전전달롤러 또는 이송체인에 마련한 표면처리용 바구니를 회전 또는 요동가능하게 한 것이어도 좋다. 또한, 회전판을 마련한 종동축을 회전구동기구에 연결하는 것에 의해, 회전판에 구동축의 구동력을 전달하고, 이 회전판에 마련한 표면처리용 바구니를 회전가능하게 한 것이어도 좋다. 또한, 구동축의 구동력을 전달하여 다른 임의의 작업기구를 구성하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명은 상기 내압조와 내압케이싱의 외기연통부에 배치하고, 내압케이싱의 상하이동에 의해 내압조 내의 기밀성을 보지하는 내압진공밀봉재와, 상기 내압케이싱과 구동축 또는/및 회전전달기구와의 외기연통부에 배치하고, 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전에 의해 내압조 내의 기밀성을 유지하는 구동진공밀봉재를 구비하고 있다. 이와 같이, 상하 이동에 대응하는 내압 진공밀봉재, 및 회전에 대응하는 구동진공밀봉재를 각각 배치하는 것에 의해 내압조와 내압케이싱과의 외기연통부, 및 내압케이싱과 구동축 또는/및 회전전달기구와의 외기연통부와의 밀폐성을 유지할 수 있기 때문에, 내압조 내를 진공상태로 유지하면서, 상기 내압케이싱의 상하이동 및 구동축의 회전을 각각 행하는 것이 가능하게 된다.

또한, 상기 내압진공밀봉재는 내압케이싱의 상하 이동만에 대응해 기밀성을 유지하는 것이고, 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전에의 대응을 행할 수 없는 것이다. 또한, 상기 구동진공밀봉재는 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전 만에 대응해 기밀성을 유지하는 것이어서 내압케이싱의 상하이동으로의 대응을 행할 수 없는 것이다.

(발명 효과)

본 발명은 상술한 바와 같이 구성한 것이기 때문에, 상기 내압조와 내압케이싱과의 외기연통부에 내압진공밀봉재를 배치하는 것에 의해 내압조와 내압 케이싱과의 외기연통부를 밀폐한 상태로 내압케이싱 및 구동축을 상하 이동시키는 일이 가능하게 된다. 또한, 상기 내압케이싱과 구동축 또는/및 회전 전달기구와의 외기연통부에 구동진공밀봉재를 배치하는 것에 의해 내압케이싱과 구동축 또는/및 회전전달기구와의 외기연통부를 밀폐한 상태로 구동축 또는/및 회전전달기구를 회전시키는 일이 가능하게 된다.

또한, 이 밀폐는 내압진공밀봉재를 내압케이싱의 상하 이동만에 대응해 기밀성을 유지하는 것으로서 구동축 또는/및 회전전달기구에 의해 구성되는 회전 부분에의 대응을 하는 일은 없다. 또한, 구동진공밀봉재는 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전만에 대응해 기밀성을 유지하는 것으로서 내압케이싱의 상하 이동에의 대응을 하는 일은 없다. 그 때문에, 각 밀봉부재에 무리한 부하를 가하는 일이 없고, 장기간 안정한 진공밀봉 효과를 얻을 수 있다. 그 결과, 내압조 내의 진공 상태를 유지하면서 내압케이싱의 상하 이동과 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전을 동시 또는 개별로 하는 작업이 가능하게 된다.

이와 같이, 본 발명은 내압조 내의 진공 상태를 유지하면서 회전표면처리작업과 상하이동 표면처리작업을 동시 또는 개별로 행할 수 있기 때문에, 진공 상태에서의 표면처리방법의 응용확대를 도모하는 일이 가능하게 되고, 예를 들면, 세정 작업으로는 물리적인 힘을 증가시켜 세정효과를 거듭 높일 수 있는 등 표면처리효과를 거듭 높일 수 있다.

도 1은 본 발명 실시예1을 나타내는 표면처리장치의 단면도이다.

도 2는 도 1의 부분확대단면도이다.

도 3은 도 1에 있어서, 실린더 로드를 상승하게 한 상태를 가리키는 단면도이다.

도 4는 본 발명의 실시예2를 나타내는 표면 처리 장치의 단면도이다.

도 5는 본 발명의 실시예3을 나타내는 표면 처리 장치의 단면도이다.

도 6은 본 발명의 실시예4를 나타내는 표면 처리 장치의 단면도이다.

도 7은 도 6의 A-A선단면도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 내압조 3 : 표면 처리용 바구니

7 : 내압케이싱 13 : 구동축

16 : 회전구동기구 17 : 돌출부

18 : 상하이동기구 20 : 유압 실린더

24 : 회전전달기구 34 : 작업기구

35 : 회전전달롤러 36 : 내압진공밀봉재

40 : 구동진공밀봉재 41 : 내압 수납부

47 : 회전판 48 : 이송체인

(실시예1)

본 발명의 실시예1을 도 1 내지 도 3에서 상세하게 설명하면, 도 1에 나타낸 바와 같이, (1)은 내압조이고, 이 내압조(1)의 천판(2)에, 표면처리용 바구니(3)가 통과 가능한 개구부(4)를 만드는 동시에, 이 개구부(4)에 덮개(5)를 배치하고 있다. 그리고, 이 덮개(5)의 저면에 연탄성의 밀봉재(6)를 만들고, 또는 천판(2)의 상부에 밀봉재(6)를 만들고, 이 밀봉재(6)에 의해 내압조(1) 안을 감압한 때에는 개구부(4)와 덮개(5)와의 사이를 밀폐 가능하게 하고 있다.

또한, 상기 내압조(1)의 천판(2)에는 통형태로 형성한 내압케이싱(7)을 삽통가능하게 하는 삽통구(8)를 만들고, 이 삽통구(8)에 내압케이싱(7)을 삽통하고, 이 내압케이싱(7)의 하단을 내압조(1) 내에 미끄러질 수 있게 배치하고 있다. 이 내압케이싱(7)은 통형태의 주벽(10)의 상단 및 하단에 상벽(11) 및저벽(12)을 배치해 형성함과 동시에, 상단측을 내압조(1)로부터 외측으로 돌출해 배치하고 있다.

또한, 상기 내압케이싱(7)에는 구동축(13)을 회동이 자유롭게 그리고 상하 방향으로 미끄러지는 것이 불가능하게 관통배치하과 있다. 즉, 상기 내압케이싱(7)의 상벽(11) 및 저벽(12)에는 구동축(13)을 삽통가능하게 하는 삽통공(14)을 각각 형성함과 동시에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이 삽통공(14)에 베어링(15)을 통해 구동축(13)을 삽통하고 있다. 또한, 이 구동축(13)의 상단 및 하단을 내압케이싱(7)의 상벽(11) 및 저벽(12)으로부터 각각 외측으로 관통배치하고 있다.

또한, 상기와 같이 배치한 구동축(13)의 상단에는 이 구동축(13)을 회전시키기 위한 전동기로 구성되는 회전구동기구(16)를 마련하고 있다. 또한, 상기 내압케이싱(7)에 있어서, 내압조(1)로부터 외측으로 돌출한 돌출부(17)에는이 내압케이싱(7)을 상하이동 시키기 위한 상하이동기구(18)를 접속하고 있다. 이 상하이동기구(18)는 유압실린더(20)이고, 이 유압실린더(20)의 실린더 로드(21)를 연결부재(22)를 통해 내압케이싱(7)의 돌출부(17)에 접속 고정하고 있다.

그리고, 상기 상하이동기구(18)를 작동시켜 실린더로드(21)를 상하 이동시키는 것에 의해 내압케이싱(7)을 상하 이동가능하게 함과 동시에, 이 내압 케이싱(7) 의 상하이동에 따라, 상기 구동축(13)을 상하 이동 가능하게 하고 있다. 또한, 본 실시예에서는 상기와 같이, 상하이동기구(18)로서 유압 실린더(20)를 사용하고 있는데, 다른 실시예에 있어서는, 공압실린더나 스크류나사나 체인블럭 등을 사용하는 것도 가능하다. 또한, 상기 내압케이싱(7)의 저벽(12)에는 지지판(23)을 수평방향으로 돌설하고 있다.

또한, 상기 구동축(13)의 하단에는 회전전달기구(24)를 접속하고 있다. 이 회전전달기구(24)에 대해서 이하에 상세하게 설명하면, 우선, 구동축(13)의 하단에 베벨기어로 구성한 구동회전전달기어(25)를 만들고, 이 구동회전전달 기어(25)를 제1종동축(26)의 베벨기어로 구성한 종동회전전달기어(27)에 계합하고 있다. 이 제1종동축(26)은 상기 지지판(23)의 저면에 돌설한 한 쌍의 제1지지암(28)에 수평 방향으로 회전 가능하게 배치한 것이고, 이 제1종동축(26)의 구동축(13)측의 일단에 상기 종동회전전달기어(27)를 마련한 것이다. 그리고, 이 제1종동축(26)의 타단에는 제1스프로킷(29)을 마련하고 있다.

그리고, 이 제1구동축(13)의 제1스프로킷(29)의 상향에는 지지판(23)을 통해 제2종동축(30)의 일단에 마련한 제2스프로킷(31)을 배치하고 있다. 이 제2종동축(30)은, 지지판(23)의 상면에 입설한 한 쌍의 제2지지암(32)에 수평 방향으로 회동 가능하게 배치한 것이고, 이 제2종동축(30)의 제2스프로킷(31)과 상기 제1종동축(26)의 제1스프로킷(29)을 회전전달체인(33)에 의해 연결하고 있다.

또한, 상기와 같이 형성한 회전전달기구(24)에는 이 회전전달기구(24)를 통해 구동축(13)의 구동력을 전달하고, 표면처리작업을 하는 작업기구(34)를 접속하 고 있다. 이 작업기구(34)는 상기 제2종동축(30)의 외주로 회전전달 롤러(35)를 간격을 통해 한 쌍 고정하고, 이 한 쌍의 회전전달롤러(35)에 표면처리용 바구니(3)를 마련한 것이다. 그리고, 이 회전전달롤러(35)를 회전 시키는 것에 의해 표면처리용 바구니(3)가 회전하고, 이 표면처리용 바구니(3)의 내부에 배치한 피처리물의 표면처리작업을 행하는 것이다. 일 예에 있어서, 이 표면처리용 바구니(3)는 피세정물을 수납하는 세정바구니이고, 피세정물의 세정장치로서 사용된다.

또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 내압조(1)의 상면에서 내압케이싱(7)의 외주위치에는 내부에 환상의 내압진공밀봉재(36)를 배치한 환상의 내압부하우징(37)을 삽통구(8)를 따라서 밀착고정한다. 그리고, 이 내압부하우징(37) 내에 마련한 내압진공밀봉재(36)의 내주면 및 외주면을 내압케이싱(7)의 외주면 및 내압부하우징(37)의 내주면에 각각 밀착해 배치하는 것에 의해, 상기 내압조(1)와 내압케이싱(7)의 외기연통부가 밀폐되고, 이 외기연통부에 있어서는 내압조(1) 내의 기밀성을 유지 가능한 것으로 하고 있다. 그리고, 상기 내압진공밀봉재(36)는 내압케이싱(7)의 상하이동 만에 대응해 기밀성을 유지하고, 이하에 설명 하는 회전부분에의 대응을 행할 필요가 없기 때문에 부하가 적고 장기간 안정한 기밀 유지를 가능하게 한다.

또한, 상기 내압케이싱(7)의 내부에 있어서, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 내압케이싱(7)의 상면 및 저면에 각각 환상의 구동부하우징(38)을 삽통공(14)을 따라서 밀착 고정함과 동시에, 이 구동부하우징(38)을 구동축(13)의 외주에 배치하고 있다. 그리고, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 이 구동부하우징(38) 내에는 환 상의 구동진공밀봉재(40)를 배치하고, 각 구동진공밀봉재(40)의 내주면 및 외주면을 구동축(13)의 외주면 및 구동부 하우징(38)의 내주면에 각각 밀착해 배치하는 것에 의해, 상기 내압케이싱(7)과 구동축(13)의 외기연통부가 밀폐되고, 이 외기연통부에서 내압조(1) 내의 기밀성을 유지 가능한 것으로 하고 있다. 또한, 상기 구동진공밀봉재(40)는 구동축(13)이 내압케이싱(7)에 대해서 상대적으로 상하이동 하지 않기 때문에, 구동축(13)의 회전만에 대응해 기밀성을 유지할 수 있고, 상하이동에 대응할 필요가 없고 부하가 적어지기 때문에 장기간 안정한 기밀 유지를 가능하게 한다.

또한, 본 실시예에서는 상기와 같이, 내압케이싱(7)의 상면 및 저면에 각각 구동진공밀봉재(40)를 배치하고, 안정한 고도의 기밀성을 유지 가능하게 하고 있지만, 다른 실시예에서는 내압케이싱(7)의 상면 또는 저면의 어느 한 편에 만 구동진공밀봉재(40)를 배치하는 것도 가능하고, 이에 의해 값이 싼 밀봉 효과를 얻을 수 있다.

상기와 같이 구성한 것에 있어서, 표면 처리용 바구니(3)를 피세정물의 세정 바구니로 이용한 경우의 진공 분위기 중에서의 세정 작업에 대해서 이하에 설명 한다. 우선, 내압조(1)의 덮개(5)를 떼어 내는 동시에, 상하이동기구(18)를 작동시켜 유압실린더(20)의 실린더로드(21)와 함께 내압케이싱(7)을 상승시키고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 개구부(4)에 상기 제2종동축(30)을 배치한다. 그리고, 이 제2종동축(30)의 회전전달롤러(35)에 내부에 피세정물을 수납한 세정 바구니인 표면 처리용 바구니(3)를 올려 둔다.

그리고, 상하이동기구(18)를 작동시켜 실린더로드(21)와 함께 내압케이싱(7)을 하강시키고, 표면처리용 바구니(3)를 내압조(1) 내에 배치한다. 그리고, 이 내압조(1) 내에 세정액을 도입한다. 이와 같은 상태로 도 1에 나타낸 바와 같이, 내압조(1)의 개구부(4)에 덮개(5)를 피복해 개구부(4)를 밀폐하고, 감압기구(미도시)를 작동시켜 내압조(1) 내를 감압한다.

이 때, 상기와 같이 상기 내압진공밀봉재(36)에 의해 내압조(1)와 내압케이싱(7)의 외기연통부를 밀폐함과 동시에, 상기 구동진공밀봉재(40)에 의해 내압케이싱(7)과 구동축(13)의 외기연통부를 밀폐하고 있기 때문에, 내압조(1) 안을 진공상태로 할 수 있다. 이와 같이 세정조 안을 진공상태로 유지하는 것에 의해 세정액이 탈기되고, 예를 들면, 내압조 저부(53)에 초음파 진동자(54)를 배치해 초음파 세정을 행한 경우에는, 상압상태로의 초음파세정에 비해 초음파의 감쇠가 적어지게 되고, 피세정물의 작은 요철부에 부착해 있는 공기를 배출해 세정액과의 접촉을 양호하게 하여, 세정효과를 높일 수 있다.

이와 같은 상태에 있어서, 회전구동기구(16)를 작동시켜 구동축(13)을 회전 시키는 것에 의해, 구동회전전달기어(25) 및 종동회전전달기어(27)를 매개해 제1종동축(26)이 회전한다. 그리고, 이 제1종동축(26)의 회전에 의해 제1종동축(26)의 제1스프로킷(29)이 회전하고, 이 제1스프로킷(29)의 회전에 의해 회전전달체인(33)을 통해 제2종동축(30)의 제2스프로킷(31)이 회전한다. 이에 의해 제2종동축(30)이 제1종동축(26)과 동일 방향으로 회전함과 동시에,이 제2종동축(30)에 마련한 한 쌍의 회전전달롤러(35)가 회전한다.

그리고, 이 회전전달롤러(35)의 회전에 의해 세정 바구니인 표면처리용 바구니(3)가 회전하고, 표면처리용 바구니(3) 안의 피세정물의 세정작업이 행해진다. 이와 같이, 구동축(13)을 회전하게 한 때에도, 구동진공밀봉재(40)에 의해 내압케이싱(7)과 구동축(13)의 외기연통부를 밀폐하고 있기 때문에, 내압조(1) 안을 진공상태로 유지할 수 있다. 또한, 상기 구동진공밀봉재(40)는 구동축(13)이 내압케이싱(7)에 대해서 상대적으로 상하이동하지 않는 것으로부터, 구동축(13)의 회전에만 대응해 기밀성을 유지할 수 있고, 내압케이싱(7)의 상하이동에 대응할 필요가 없고 부하가 적기 때문에, 장기간의 안정한 기밀 유지를 가능하게 하고 있다.

또한, 상하이동기구(18)를 작동시켜 실린더로드(21)를 승강시키는 것에 의해내압케이싱(7)과 함께 지지판(23)이 상하이동 한다. 그리고, 이 지지판(23)의 상하이동에 따라, 이 지지판(23)의 상향에 배치한 표면처리용 바구니(3)가 상하이동하고, 표면처리용 바구니(3)의 상하이동에 의한 피처리물의 표면처리 작업이 행해진다. 이와 같이 내압케이싱(7)을 상하이동한 때에도, 내압 진공밀봉재(36)에 의해 내압조(1)와 내압케이싱(7)의 외기연통부를 밀폐하고 있기 때문에, 내압조(1) 안을 진공상태로 유지할 수 있다. 또한, 상기 내압진공밀봉재(36)는 내압케이싱(7)의 상하이동만에 대응해 기밀성을 유지하고, 구동축(13)의 회전으로의 대응을 할 필요가 없는 것으로부터 부하가 적고 장기간의 안정한 기밀유지를 가능하게 하고 있다.

또한, 상기와 같이 진공상태로 한 내압조(1) 내에서, 구동축(13)의 회전을 할 때에는 구동진공밀봉재(40)에 의해 또한 내압케이싱(7)의 상하이동을 행할 때에는 내압진공밀봉재(36)에 의해 각각 내압조(1) 안의 진공 상태를 유지하는 것으로 부터, 상기 회전표면처리작업 및 상하이동 표면처리작업을 각각 개별로 하는 것도 물론 가능하고, 또한, 내압케이싱(7)을 상하이동 하게 해 구동축(13)을 상하이동 시킴과 동시에, 이 구동축(13)을 회전시키는 것에 의해회전표면처리작업 및 상하이동 표면처리작업을 동시에 하는 것도 가능하다.이와 같이 회전표면처리작업과 상하이동 표면처리작업을 동시에 행하는 것에 의해, 예를 들면, 세정작업으로는 물리적인 힘을 증가시켜 세정효과를 거듭 높일 수 있는 등 표면처리효과를 거듭 높이는 일이 가능하게 된다.

(실시예2)

또한, 상기 실시예1에서는 내압케이싱(7)의 상벽(11) 및 저벽(12)에 각각 구동진공밀봉재(40)를 만들고 있지만, 본 실시예2에서는 내압케이싱(7)의 하단에 회전전달기구(24)를 수납하는 내압수납부(41)를 형성하고, 이 내압수납부(41)에 구동진공밀봉재(40)를 배치하고 있다. 본 실시예2를 도 4에서 상세하게 설명하면, 내압케이싱(7)의 하단에는 구동축(13)의 구동회전전달기어(25), 제1종동축(26)의 종동회전전달기어(27), 제1종동축(26), 제1종동축(26)의 제1스프로킷(29), 및 제2종동축(30)의 제2스프로킷(31)을 내부에 수납한 내압 수납부(41)가 마련되어 있다.

그리고, 상기 제2스프로킷(31)을 마련한 제2종동축(30)을 내압수납부(41)의 삽통구멍(42)부터 외측에 수평방향으로 돌출 배치하고 있다. 또한, 이 제2종동축(30)의 아래쪽에는 내압수납부(41)부터 돌설한 지지판(23)을 배치하고, 이 지지판(23)에 상기 실시예1과 같이 형성한 작업기구(34)를 배치하고 있다.

또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 내압수납부(41)의 안쪽에서, 상기 삽통구 멍(42)의 외주에는 내부에 구동진공밀봉재(40)를 배치한 구동부하우징(38)을 밀착고정함과 동시에, 이 구동부하우징(38)을 제2종동축(30)의 외주로 배치하고 있다. 그리고, 이 구동부하우징(38) 안에 마련한 구동진공밀봉재(40)를구동부하우징(38)의 내주면과 제2종동축(30)의 외주면과의 사이에 밀착해 배치하는 것에 의해 상기 내압케이싱(7)과 회전전달기구(24)의 외기연통부를 밀폐하고, 이 외기연통부에서 내압조(1) 안의 기밀성을 유지가능한 것으로 하고 있다.

또한, 상기 구동진공밀봉재(40)는 회전전달기구(24)의 회전만에 대응해 기밀성을 유지할 수 있고, 내압케이싱(7)의 상하이동에 대응할 필요가 없이 부하가 적기 때문에 장기간의 안정한 기밀유지를 가능하게 하고 있다. 따라서, 본 실시예2의 경우도 상기 실시예1과 같이, 내압케이싱(7)이 상하이동 할 때에는 내압진공밀봉재(36)에 의하고, 또한 구동축(13)이 회전할 때에는 구동진공밀봉재(40)에 의하고, 각각 내압조(1) 안의 진공상태가 유지되는 것으로부터, 진공상태 중에서의 회전표면처리작업 및 상하이동 표면처리작업을 개별 또는 동시에 하는 일이 가능하게 된다.

(실시예3)

또한, 상기 실시예1에서는 표면처리용 바구니(3)를 수평 방향으로 배치하고, 이 표면처리용 바구니(3)를 회전전달기구(24)에 의해 수평축 주위에 회전가능하게 하고 있지만, 본 실시예3에서는 표면처리용 바구니(3)를 연직방향으로 배치하고, 이 표면처리용 바구니(3)를 회전전달기구(24)에 의해 연직축 주위에 회전 가능한 것으로 하고 있다. 본 실시예3를 도 5에서 설명하면, 지지판(23)의 아래쪽 수평방 향으로 마련한 제1종동축(26)의 양단에는 베벨기어로 구성한 한 쌍의 종동회전전달기어(43)(44)를 각각 마련하고 있다.

그리고, 일방의 종동회전전달기어(43)를 제1종동축(26)의 구동회전전달기어(25)에 끼워맞춤과 동시에, 타방의 종동회전전달기어(44)를 제2종동축(30)의 하단에 마련한 제2종동회전전달기어(45)로 끼워맞춤하고 있다. 그리고, 상기제2종동축(30)은 지지판(23)에 연직방향으로 회동가능하게 삽통배치하고, 이제2종동축(30)과 지지판(23)의 사이에는 베어링(46)을 마련하고 있다. 또 이제2종동축(30)의 상단에는 원반 모양의 회전판(47)을 수평방향으로 배치하고, 이 회전판(47)의 상면에, 표면처리용 바구니(3)를 연직 방향으로 고정배치하고 있다.

상기와 같이 구성한 것에 있어서, 회전구동기구(16)를 작동시켜 구동축(13)을 회전시키는 것에 의해 제1종동축(26)을 매개해 제2종동축(30)이 회전하고, 이 제2종동축(30)의 회전에 의해 회전반(47)과 함께 표면처리용 바구니(3)가 연직축 주위로 회전 하는 것이 된다.

그리고, 상기와 같이 구동축(13)을 회전하게 한 때에는 구동진공밀봉재(40)에 의해 내압케이싱(7)과 구동축(13)과의 외기연통부를 밀폐 하고 있기 때문에, 내압조(1) 안을 진공상태로 유지할 수 있다. 그 때문에, 구동축(13)을 회전 시키는 것에 의해, 진공상태에서 표면처리용 바구니(3)를 연직축 주위에 회전시키는 일이 가능하게 된다. 또한, 상기 구동진공밀봉재(40)는 구동축(13)이 내압케이싱(7)에 대해서 상대적으로 상하이동하지 않기 때문에, 구동축(13)의 회전에만 대응해 기밀성을 유지할 수 있고, 내압케이싱(7)의 상하이동에 대응할 필요가 없이 부하가 적 기 때문에 장기간의 안정한 기밀 유지를 가능하게 하고 있다.

(실시예4)

또한, 상기 실시예1 및 실시예2에서는 제2종동축(30)에 회전전달롤러(35)를 만들고, 이 회전전달롤러(35)에 표면처리용 바구니(3)를 올려 두고, 상기 회전전달롤러(35)를 회전시키는 것에 의해 표면처리용 바구니(3)를 회전가능하게 하고 있지만, 본 실시예4에서는 제2종동축(30)에 이송체인(48)을 만들고, 이 이송체인(48)에 표면처리용 바구니(3)를 올려 두고 이 표면처리용 바구니(3)를 수평방향으로 요동가능한 것으로 하고 있다.

본 실시예4를 도 6 및 도 7에서 상세하게 설명하면, 제2종동축(30)에는 한 쌍의 이송스프로킷(50)이 각각 마련되어 있다. 또한 도 7에 나타난 바와 같이, 지지판(23)의 상향에는 상기 제2종동축(30)과 평행으로 보조축(51)을 배치하고, 이 보조축(51)에도 제2종동축(30)과 동일하게 한 쌍의 이송스프로킷(52)을 마련하고 있다. 그리고, 제2종동축(30)의 이송스프로킷(50)과 보조축(51)의 이송스프로킷(52)을 한 쌍의 이송체인(48)에 의해 각각 연결하고 있다.

그리고, 도 6에 나타난 바와 같이, 상기 한 쌍의 이송 체인(48)에 표면처리용 바구니(3)를 올려 두고, 회전구동기구(16)를 작동시켜 구동축(13)을 정역방향으로 조금씩 회전시킨다. 이에 의해 제1종동축(26) 및 제2종동축(30)을 통해 이송체인(48)이 정역방향으로 조금씩 회전하고, 이에 의해 표면 처리용 바구니(3)가 수평 방향으로 요동하는 것이 된다. 그리고, 이와 같이 표면처리용 바구니(3)를 요동시키는 것에 의해, 표면처리용 바구니(3) 안의 피처리 물의 표면처리작업을 할 수 있 다.

이와 같이 구동축(13)을 회전하게 한 때에도, 구동진공밀봉재(40)에 의해 내압케이싱(7)과 구동축(13)의 외기연통부를 밀폐하고 있기 때문에, 이 외기연통부에 있어서 내압조(1) 안을 진공상태로 유지할 수 있다. 그 때문에, 상기 구동축(13)을 회전시키는 것에 의해 진공상태에서 표면처리용 바구니(3)를 요동시키는 일이 가능하게 된다. 또한, 상기 구동진공밀봉재(40)는 구동축(13)이 내압케이싱(7)에 대해서 상대적으로 상하이동하지 않기 때문에, 구동축(13)의 회전만에 대응해 기밀성을 유지할 수 있고, 내압케이싱(7)의 상하이동에 대응할 필요가 없고 부하가 적기 때문에, 장기간 안정한 기밀 유지를 가능하게 하고 있다.

그리고, 본 실시예4에서도 상기 실시예1 및 2와 같이, 내압케이싱(7)이 상하이동할 때에는 내압진공밀봉재(36)에 의하고, 또 구동축(13)이 회전할 때에는 구동진공밀봉재(40)에 의하고, 각각 내압조(1) 안의 진공상태가 유지되는 것으로부터, 진공상태 중에서의 요동표면처리작업 및 상하동 표면처리작업을 개별 또는 동시에 하는 일이 가능하게 된다.

Claims

내부를 진공 상태로 하여 얻는 내압조와, 이 내압조 내에 하단쪽 삽입함과 동시에 상단쪽을 내압조로부터 외측으로 돌출하고, 이 돌출부에 상하이동기구를 접속해 상하이동 가능하게 하는 통형태의 내압케이싱과, 이 내압케이싱의 돌출부에 배치한 회전구동기구와, 이 회전구동 기구에 접속해 회전가능하게 함과 동시에, 내압케이싱에 관통해 배치한 구동축과, 이 구동축의 하부에 접속한 회전전달기구를 통해 구동축의 구동력을 전달하고, 표면처리작업을 하는 작업기구와, 상기 내압조와 내압케이싱의 외기연통부에 배치하고, 내압조 내의 기밀성을 유지하는 내압진공밀봉재와, 상기 내압케이싱과 구동축 또는/및 회전전달기구의 외기연통부에 배치하고, 내압조내의 기밀성을 유지하는 구동진공밀봉재를 구비한 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제1항에 있어서, 내압케이싱은 하부에 회전전달기구를 수납하는 내압수납부를 형성한 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제1항에 있어서, 작업 기구는 회전전달롤러 또는 이송체인을 마련한 종동축을 회전구동기구에 연결하는 것에 의해, 회전전달롤러 또는 이송체인에 구동축의 구동력을 전달하고, 이 회전전달롤러 또는 이송체인에 올려둔 표면처리용 바구니를 회전 또는 요동가능하게 한 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제1항에 있어서, 작업 기구는 회전판을 마련한 종동축을 회전구동기구에 연결하는 것에 의해 회전판에 구동축의 구동력을 전달하고, 이 회전판에 올려 둔 표면처리용 바구니를 회전가능하게 한 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제1항에 있어서, 내압진공밀봉재는 내압케이싱의 상하이동만에 대응해 기밀성을 유지하는 것이고, 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전에의 대응을 행하지 않는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제1항에 있어서, 구동진공밀봉재는 구동축 또는/및 회전전달기구의 회전만에 대응해 기밀성을 유지하는 것이고 내압케이싱의 상하이동으로의 대응을 행하는 것이 아닌 것을 특징으로 하는 표면처리장치.