JP4006412B2 - 反応装置 - Google Patents

Description

本発明は、反応装置（Reaction Apparatus）に係り、より詳しくは、蓋を簡単な操作で開閉し、蓋がシーリング部材に対して水平に密着することで容易に真空が形成される反応装置に関する。

一般に、反応装置では、半導体工程において反応が真空状態で行われることが多いが、以下には真空状態で反応が行われることを例に挙げて説明する。

図１は、従来の技術による反応装置を示す。図１に示すように、従来の技術による反応装置は、上部開口部（図示せず）を有する反応室（図示せず）が形成された本体１と、蓋ヒンジ３によって上部開口部（図示せず）を回動開閉する蓋２と、一端が前記蓋２の回転中心から離隔した位置に備えられ、他端が蓋２に結合して蓋の開閉の際に使用者の力を減らすガススプリング５と、蓋２の一端に備えられた蓋２を持ち上げるための取っ手４と、を含む。

従来の技術による反応装置の蓋２を開閉する作動を見ると、まず、蓋２を開放する時には真空状態の反応室の真空状態を解除し、使用者が蓋２に備えられた取っ手４に蓋２の開放方向に力を加えると、ガススプリング５の反撥力によって蓋２は蓋ヒンジ軸線を中心として回動し、開放される。

また、蓋２を閉鎖する時には、使用者が取っ手４に蓋２の閉鎖方向にガススプリング５の反撥力に勝つ力を加えて蓋２を閉鎖する。次に、真空ポンプ（図示せず）によって反応室の空気を排出しながら、使用者が取っ手４に蓋２の閉鎖方向に力をさらに加えると反応室に真空が形成され、蓋２は閉鎖される。

しかしながら、詳述した構成の反応装置においては、使用者が直接蓋２を開閉するために、蓋２の閉鎖の際に使用者はガススプリング５の反撥力に勝つ力を加えなければならず、使用者一人の力では蓋２の開閉が困難である場合が発生する。また、蓋２を閉じた状態で反応室に真空状態を形成しようとするとき、本体１に形成されたシーリング部材（図示せず）の反撥力を克服する力で使用者が蓋２を閉鎖方向に力を加え続けなければならないという問題点がある。

本発明の目的は、蓋を簡単な操作で開閉することができ、蓋の閉鎖時にシーリング部材に対して水平に密着することで容易に真空が形成される真空反応装置を提供することである。

本発明の他の側面や長所は部分的に、後述する詳細な説明によって明らかになり、また、部分的に本発明の実際の適応によっても理解することができる。

前記目的は、本発明により、上部開口部を有する反応室を形成する本体と、前記本体に蓋ヒンジ部によって結合されて前記上部開口部を回動開閉する蓋と、を含む反応装置において、一端が前記蓋の回動軸線から離隔した位置で前記蓋と回動可能に結合され、他端が前記本体に回動可能に結合され、前記蓋の開閉方向に沿って伸縮可能な伸縮開閉部材と；前記伸縮開閉部材を伸縮駆動させる駆動部と；を含むことを特徴とする反応装置によって達成される。

一方、前記反応室は、前記蓋が閉鎖された状態で真空を形成することができる。

ここで、前記駆動部は、駆動モータと、前記伸縮開閉部材の伸縮方向への移動を制限する位置制限センサーと、を含み、前記位置制限センサーから伝達される信号で前記駆動モータを制御する制御部をさらに含むことができる。

前記伸縮開閉部材は、前記蓋の開閉方向に対して相互対向する位置に対をなして備えられることも可能である。

一方、前記蓋ヒンジ部は、前記本体の一縁部に結合するヒンジブラケットと、前記ヒンジブラケットに回動可能に結合される本体ヒンジ部材と、前記ヒンジブラケットと前記本体ヒンジ部材とを回動可能に結合させる本体ヒンジ軸と、前記本体ヒンジ部材と所定角度で回動可能に結合し前記蓋の一縁部に付着される補助ヒンジ部材と、前記本体ヒンジ部材と前記補助ヒンジ部材とを回動可能に結合させる補助ヒンジ軸と、を含むことが好ましい。

ここで、前記本体ヒンジ部材は、前記本体ヒンジ軸を収容するように前記蓋の回動中心線の方向へ貫通した本体ヒンジ孔と、前記本体ヒンジ孔と平行に前記補助ヒンジ軸を収容するように貫通した第１補助ヒンジ孔と、を含むことができる。

また、前記補助ヒンジ部材は、前記本体ヒンジ部材と共に前記補助ヒンジ軸を収容するように、前記第１補助ヒンジ孔と平行な方向に形成された第２補助ヒンジ孔を含むことができる。

一方、前記補助ヒンジ部材が前記本体ヒンジ部材に対して所定角度で回動が制限されるように、前記補助ヒンジ部材と前記本体ヒンジ部材とは前記補助ヒンジ軸から所定角度の離隔空間をおいて噛み合うことがさらに好ましい。そして、前記蓋ヒンジ部は、複数として備えられ前記本体の一縁部の両側に結合され得る。

一方、前記本体ヒンジ軸は、前記ヒンジブラケットと一体として形成されることも可能である。

また、前記本体ヒンジ軸は、前記本体ヒンジ部材と一体として備えられ前記ヒンジブラケットに結合することも可能である。

前記補助ヒンジ軸は、前記本体ヒンジ部材及び前記補助ヒンジ部材のうちのいずれか一つと一体として備えられ、他の一つと回動可能に結合することも可能である。

一方、前記蓋の開閉回動に対応して前記伸縮開閉部材が前記蓋に対し回動できるように、前記伸縮開閉部材を前記蓋に回動可能に結合させる稼動ヒンジ部をさらに含むことが好ましい。

ここで、前記稼動ヒンジ部は、前記蓋に結合され前記本体ヒンジ軸の方向に稼動ヒンジ孔が形成された稼動ヒンジ収容部と、前記稼動ヒンジ孔に収容され前記駆動部の一端に回動可能に結合する稼動ヒンジ軸と、を含む。

また、前記稼動ヒンジ孔は、前記稼動ヒンジ軸が前記稼動ヒンジ孔内でスライド移動可能にスリットで形成されたことが好ましい。

そして、前記稼動ヒンジ軸は、前記駆動装置の一端に一体として備えられることも可能である。

以上のように、本発明によると、小さな力で反応装置の蓋を開閉することができ、蓋がシーリング部材に対し水平に密着することで容易に真空が形成される反応装置が提供される。

説明に先立って、種々の実施例において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を付して代表的に第１実施例で説明し、その他の実施例においては第１実施例と異なっている構成について説明する。

以下に、添付した図面を参照して、本発明の好ましい実施例について詳細に説明する。

図２は、本発明による反応装置の結合斜視図である。本発明による反応装置は、反応室１１が形成された本体１０と、反応室１１の上部開口部を開閉する蓋２０と、蓋２０を本体１０に対し回動開閉するように支持する蓋ヒンジ部３０と、本体１０と蓋２０とに両端が結合され、蓋２０を蓋ヒンジ軸３２を中心として回動開閉させる伸縮開閉部材４０と、前記伸縮開閉部材４０を伸縮駆動させる駆動部５０と、を含む。

本体１０は、反応が行われる上部が開口された反応室１１と、反応室１１の上部開口部の周囲に備えられ、上端の蓋２０と接触して反応室１１を密閉するシーリング部材１２と、を含む。

図３は、本発明による反応装置の蓋ヒンジ部３０の分解斜視図である。
図３に示すように、蓋ヒンジ部３０は本体１０に結合されるヒンジブラケット３１と、ヒンジブラケット３１に回動可能に結合される本体ヒンジ部材３３と、ヒンジブラケット３１と本体ヒンジ部材３３とを回動可能に結合させる本体ヒンジ軸３２と、本体ヒンジ部材３３と結合して蓋２０の一縁部に付着される補助ヒンジ部材３４と、本体ヒンジ部材３３と補助ヒンジ部材３４とを回動可能に結合する補助ヒンジ軸３５と、を含む。

ここで、ヒンジブラケット３１と本体ヒンジ部材３３と補助ヒンジ部材３４とは、対をなして備えられ、本体１０の一縁部に対向する位置に備えられる。

本体ヒンジ軸３２は両端がヒンジブラケット３１に回動可能に結合され、両端部から所定間隔をおいて本体ヒンジ部材３３と結合できるように結合孔３２１が備えられている。

図４は、蓋ヒンジ部３０のヒンジブラケット３１に対する斜視図である。図４に示すように、ヒンジブラケット３１は、本体１０に結合される本体結合部３１２と、本体ヒンジ部材３３及び補助ヒンジ部材３４が載せられるように、本体結合部３１２から本体ヒンジ軸３２の軸線方向にのびた支え部３１１と、支え部３１１から横方向にのびて本体ヒンジ軸３２の一端を収容する結合溝３１４が形成された支持部３１３と、を含む。

ヒンジブラケット３１の本体結合部３１２は、本体１０の縁部の側面に付着されるように、複数の結合孔３１２ａが形成されており、支え部３１１は板型として備えられ、本体ヒンジ部材３３の底面と補助ヒンジ部３４の底面とが接触する。

図５は、蓋ヒンジ部３０の分解斜視図である。図面に示すように、本体ヒンジ部材３３は六面体の形状として備えられ、本体ヒンジ軸３２が収容されて結合できるように、本体ヒンジ孔３３１が本体ヒンジ軸線の方向に形成されている。また、補助ヒンジ部材３４と接触する面に第１突出部３３２が形成され、第１突出部３３２には本体ヒンジ孔３３１と平行な方向に第１補助ヒンジ孔３３２ａが形成される。また、第１突出部３３２が形成された面には後述する補助ヒンジ部材３４の第２突出部３４１と接触するように屈曲部３３３が形成される。また、本体ヒンジ部材３３の上面には、本体ヒンジ軸３２を本体ヒンジ孔３３１内で結合させる結合部材３６を収容するように、上面から本体ヒンジ孔３３１まで陥没形成された結合孔３３４が形成される。また、本体ヒンジ部材３３の底面と裏面とが会う部位は、蓋２０が回動する際にヒンジブラケット３１の支え部３１１との干渉を避けるためにラウンド処理されている。

補助ヒンジ部材３４は本体ヒンジ部材３３と同様に六面体の形状として備えられ、本体ヒンジ部材３３と接触する面には複数の第２突出部３４１が備えられ、第２突出部３４１には第２補助ヒンジ孔３４１ａが形成される。また、本体ヒンジ部材３３と接触する面には、後述する補助ヒンジ軸３５を中心として上向きに所定角度傾いた傾斜部３４２が備えられる。また、蓋２０と結合するための結合孔３４３と結合部材３６とを含む。

本体ヒンジ部材３３と補助ヒンジ部材３４とは補助ヒンジ軸３５によって回動可能に結合される。本体ヒンジ部材３３の第１突出部３３２は複数の第２突出部３４１の間に挿入され、第１突出部３３２と第２突出部３４１とに各々形成された第１補助ヒンジ孔３３２ａと第２補助ヒンジ孔３４１ａとに補助ヒンジ軸３５が収容され、本体ヒンジ部材３３と補助ヒンジ部材３４とは回動可能に結合される。このとき、補助ヒンジ部材３４に備えられた傾斜部３４２によって、補助ヒンジ部材３４は本体ヒンジ部材３３に対して傾斜面３４２に対応して所定角度だけで回動するようになる。

図６は、伸縮開閉部材４０と、駆動部５０と、稼動ヒンジ部６０と、を示した斜視図である。図６に示すように、伸縮開閉部材４０は内管４２と外管４１とを含む。内管４２は外管４１に収容され駆動部５０によって蓋２０の開閉方向に移動する。稼動ヒンジ部６０には、伸縮開閉部材４０の内管４２の上端部と回動可能に結合されるための稼動ヒンジ孔６１が本体ヒンジ軸線の方向と平行に形成される。また、稼動ヒンジ孔６１に収容され伸縮開閉部材４０の上端に回動可能に結合されて稼動ヒンジ部６０と伸縮開閉部材４０とを結合させ、稼動ヒンジ孔６１内でスライド移動する稼動ヒンジ軸６２を含む。

駆動部５０は、駆動モータ５４を含み、駆動モータ５４と伸縮開閉部材４０との間には駆動モータ５４の回転運動を伸縮開閉部材４０の直線運動に変換させる運動変換装置５１が備えられる。運動変換装置５１としてはベベルギヤやウォームギヤなどが利用できる。一方、駆動部５０は伸縮開閉部材４０の両端が備えられた位置制限センサー４３、４４を含み、位置制限センサー４３、４４から伸縮開閉部材４０の内管４２の位置情報を受信して駆動モータ５４を制御する制御部４５を含む（図１４参照）。

また、伸縮開閉部材４０内管の下端部には、伸縮開閉部材４０と本体１０とを回動可能に結合させる結合部材５３が備えられる。

図７は、稼動ヒンジ部６０を拡大して示した図面である。稼動ヒンジ孔６１が形成された稼動ヒンジ部６０は、蓋２０と結合するように結合孔６３が備えられる。前述のように、稼動ヒンジ孔６１は伸縮開閉部材４０の伸縮方向にのびたスリット状で備えられる。したがって、稼動ヒンジ孔６１に収容された稼動ヒンジ軸６２は、スリット状の稼動ヒンジ孔６１内で伸縮方向にスライド移動する。

以下に、詳述した構成による、本発明による反応装置の作動について説明する。
図８は、反応装置の蓋２０が開放されたときを示した簡略図面である。図面に示すように、反応装置の蓋２０が開放された場合、伸縮開閉部材４０は蓋２０の開放方向に伸張され、開放された蓋２０に対応して伸縮開閉部材４０の両端は本体１０と蓋２０とに対して所定角度で回動する。

次に、蓋２０の開放時動作について説明する。反応装置内の反応室１１に真空が解除されると、反応室１１の開口部に形成されたシーリング部材１２の反撥力によって、蓋２０が所定角度で開放される。このとき、本体ヒンジ部材３３と結合された補助ヒンジ部材３４が補助ヒンジ軸３５を中心として上向きに回動する。次いで、伸縮開閉部材４０が伸張されながら、蓋２０が本体ヒンジ軸３５を中心として上向きに回動して開放される。このとき、本体ヒンジ部材３３がヒンジブラケット３１から蓋２０の開放方向に回動しながら蓋２０を支持する。したがって、蓋２０が開放された状態の補助ヒンジ部材３４は、補助ヒンジ軸３５を中心として下の部分が本体ヒンジ部材３３と所定角度離隔した状態を維持するようになる。

図９は、反応装置の蓋２０が閉鎖されたときを示した簡略図面である。
図９に示すように、反応装置の蓋２０が閉鎖された場合、伸縮開閉部材４０は蓋２０の閉鎖方向に縮少され、閉鎖された蓋２０に対応して伸縮開閉部材４０の両端は本体１０と蓋２０とに対して所定角度で回動する。

次に、蓋２０の閉鎖時動作について説明する。開放された蓋２０は、伸縮開閉部材４０が蓋２０の閉鎖方向に収縮されると、蓋ヒンジ部３０の本体ヒンジ軸３２を中心として回動して閉鎖される。閉鎖回動した蓋２０は本体１０の反応室１１の上部開口部周囲に備えられたシーリング部材１２と接触し、本体ヒンジ部材３３はヒンジブラック３１の支え部３１１に安着して回動が止まるようになる。次いで、反応室１１に真空が形成されると、反応室１１内の圧力が低くなるので、蓋２０は所定角度で閉鎖方向に回動し、このとき、補助ヒンジ部材３４は本体ヒンジ部材３３に対して補助ヒンジ軸３５を中心として所定角度で回動するので、蓋２０は反応室１１に備えられたシーリング部材１２の反撥力に勝って閉鎖される。したがって、蓋２０が閉鎖された状態の補助ヒンジ部材３４は、補助ヒンジ軸３５を中心として上の部分が本体ヒンジ部材３３と所定角度離隔した状態を維持するようになる。

図１０は、蓋２０の回動開閉時の稼動ヒンジ部６０において、稼動ヒンジ軸６２の稼動ヒンジ孔６１内における位置を示した図面である。
図１０に示すように、蓋２０を開放するときには、稼動ヒンジ軸６２は稼動ヒンジ孔６１内の上部（「Ａ」位置）に位置して蓋２０に力を伝達し、蓋２０を閉鎖するときにも、稼動ヒンジ軸６２は稼動ヒンジ孔６１内の上部（「Ａ」位置）に位置して蓋２０の閉鎖回動を支持する。蓋２０が閉鎖された状態では伸縮開閉部材４０の収縮によって、稼動ヒンジ軸６２は稼動ヒンジ孔の下部（「Ｃ」位置）に下りるようになる。次いで、反応室１１に真空が形成されると、反応室１１の圧力が低くなるので、蓋２０は所定距離閉鎖回動するが、このとき、伸縮開閉部材４０はこれ以上動かず、蓋２０のみ所定距離閉鎖回動するので、これに対応して稼動ヒンジ軸６２は相対的に稼動ヒンジ孔６１内で中央部位（「Ｂ」）に移動する。

図１１は、本発明の第２実施例による反応装置の蓋ヒンジ部３０である。第１実施例においては、本体ヒンジ軸３２がヒンジブラケット３１と本体ヒンジ部材３３とは別途に備えられ、ヒンジブラケット３１と本体ヒンジ部材３３とを回動可能に結合するが、第２実施例においては、本体ヒンジ軸３７１がヒンジブラケット３７の支持部３１３から突出して本体ヒンジ部材３３に回動可能に結合される。第２実施例ではヒンジブラケット３７と別途にヒンジ軸を備えなくても蓋ヒンジ部３０の作動が行われるので、反応装置の蓋ヒンジ部３０の結合が簡単な方法で行われる。

図１２に示した第３実施例においては、本体ヒンジ軸３８１は、本体ヒンジ部材３８がヒンジブラケット３１と対応する面から突出して形成される。したがって、本体ヒンジ軸３８１が本体ヒンジ部材３８と一体として形成され、ヒンジブラケット３１に回動可能に結合される。したがって、第１実施例とは異なって、ヒンジブラケット３１と別途にヒンジ軸を備えなくても差支えない。

図１３は、本発明による第４実施例を示した図面である。第４実施例においては、本体ヒンジ部材３９の第１突出部３９４に補助ヒンジ軸３９２が補助ヒンジ部材３９１の回動中心方向に突出して形成される。そして、補助ヒンジ部材３９１の第２突出部３９３は、本体ヒンジ部材３９の屈曲部３９５と接触するところに形成される。補助ヒンジ部材３９１の第２突出部３９３には、本体ヒンジ部材３９の補助ヒンジ軸３９２を収容する補助ヒンジ孔３９６が形成され、本体ヒンジ部材３９の第１突出部３９４に対応して屈曲部３９７が形成される。したがって、本体ヒンジ部材３９及び補助ヒンジ部材３９１と別途にヒンジ軸を備えなくても差支えない。

以上で、伸縮開閉部材４０の伸縮を駆動させる駆動源として駆動モータを例に挙げて説明したが、油圧または空圧によって伸縮開閉部材の伸縮を駆動させることができるのはもちろんである。

また、第４実施例において、補助ヒンジ軸が本体ヒンジ部の突出部に形成されたことと説明したが、補助ヒンジ部の突出部に形成され得ることはもちろんである。

従来の技術による反応装置の斜視図である。 本発明による反応装置の斜視図である。 本発明による反応装置の蓋ヒンジ部の分解斜視図である。 図３のヒンジブラケットの拡大斜視図である。 本発明による反応装置の本体ヒンジ部材及び補助ヒンジ部材の分解斜視図である。 本発明による伸縮開閉部材、稼動ヒンジ部、及び稼動部の分解斜視図である。 図６の稼動ヒンジ部の拡大斜視図である。 本発明による反応装置の蓋の開鎖状態を示した簡略図である。 本発明による反応装置の蓋の閉放状態を示した簡略図である。 本発明による反応装置の蓋の状態による稼動ヒンジ部の作動図である。 本発明の第２実施例による反応装置のヒンジブラケットの斜視図である。 本発明の第３実施例による反応装置の蓋ヒンジ部の分解斜視図である。 本発明の第４実施例による反応装置の蓋ヒンジ部の分解斜視図である。 本発明による稼動部の作動を示したブロック図である。

符号の説明

１０ 本体
１１ 反応室
２０ 蓋
３０ 蓋ヒンジ部
３１ ヒンジブラケット
３２、３８１ 本体ヒンジ軸
３３、３９ 本体ヒンジ部材
３４、３９１ 補助ヒンジ部材
３５、３９２ 補助ヒンジ軸
３７ ヒンジブラケット
３９ 本体ヒンジ部材
４０ 伸縮開閉部材
４３、４４ 位置制限センサー
４２ 内管
４５ 制御部
５０ 駆動部
５１ 運動変換装置
６０ 稼動ヒンジ部
６１ 稼動ヒンジ孔
６２ 稼動ヒンジ軸
３１３ 支持部
３９４、３９３ 第１、２突出部
３９５、３９７ 屈曲部
３９６ 補助ヒンジ孔

Claims (16)

1. 上部開口部を有する反応室を形成する本体と、前記本体に蓋ヒンジ部によって結合されて前記上部開口部を回動開閉する蓋と、を含む反応装置において、
   一端が前記蓋の回動軸線から離隔した位置で前記蓋と回動可能に結合され、他端が前記本体に回動可能に結合され、前記蓋の開閉方向に沿って伸縮可能な伸縮開閉部材と；
   前記伸縮開閉部材を伸縮駆動させる駆動部と；
   を含むことを特徴とする反応装置。
2. 前記反応室は、前記蓋が閉鎖された場合に真空を形成することを特徴とする請求項１に記載の反応装置。
3. 前記駆動部は、駆動モータと、前記伸縮開閉部材の移動を制限する位置制限センサーと、を含み、
   前記位置制限センサーから伝達される信号で前記駆動モータを制御する制御部をさらに含むことを特徴とする請求項１または２に記載の反応装置。
4. 前記伸縮開閉部材は、前記本体の両側に相互対向する位置に対をなして備えられることを特徴とする請求項３に記載の反応装置。
5. 前記蓋ヒンジ部は、前記本体の一縁部に結合するヒンジブラケットと、前記ヒンジブラケットに回動可能に結合される本体ヒンジ部材と、前記ヒンジブラケットと前記本体ヒンジ部材とを回動可能に結合させる本体ヒンジ軸と、前記本体ヒンジ部材と所定角度で回動可能に結合し前記蓋の一縁部に付着される補助ヒンジ部材と、前記本体ヒンジ部材と前記補助ヒンジ部材とを回動可能に結合させる補助ヒンジ軸と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の反応装置。
6. 前記本体ヒンジ部材は、前記本体ヒンジ軸を収容するように前記蓋の回動中心線の方向へ貫通した本体ヒンジ孔と、前記本体ヒンジ孔と平行に前記補助ヒンジ軸を収容するように貫通した第１補助ヒンジ孔と、を含むことを特徴とする請求項５に記載の反応装置。
7. 前記補助ヒンジ部材は、前記本体ヒンジ部材と共に前記補助ヒンジ軸を収容するように、前記第１補助ヒンジ孔と平行な方向に形成された第２補助ヒンジ孔を含むことを特徴とする請求項６に記載の反応装置。
8. 前記補助ヒンジ部材が前記本体ヒンジ部材に対して所定角度で回動が制限されるように、前記補助ヒンジ部材と前記本体ヒンジ部材とは前記補助ヒンジ軸から所定角度の離隔空間をおいて噛み合うことを特徴とする請求項６または７に記載の反応装置。
9. 前記蓋ヒンジ部は、複数として備えられ前記本体の一縁部の両側に結合されることを特徴とする請求項５に記載の反応装置。
10. 前記本体ヒンジ軸は、前記ヒンジブラケットと一体として形成されたことを特徴とする請求項５に記載の反応装置。
11. 前記本体ヒンジ軸は、前記本体ヒンジ部材と一体として備えられ前記ヒンジブラケットに結合することを特徴とする請求項５に記載の反応装置。
12. 前記補助ヒンジ軸は、前記本体ヒンジ部材及び前記補助ヒンジ部材のうちのいずれか一つと一体として備えられ、他の一つと回動可能に結合することを特徴とする請求項５に記載の反応装置。
13. 前記蓋の開閉回動に対応して前記伸縮開閉部材が前記蓋に対し回動できるように、前記伸縮開閉部材を前記蓋に回動可能に結合させる稼動ヒンジ部をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の反応装置。
14. 前記稼動ヒンジ部は、前記蓋に結合され前記本体ヒンジ軸の方向に稼動ヒンジ孔が形成された稼動ヒンジ収容部と、前記稼動ヒンジ孔に収容され前記駆動部の一端に回動可能に結合する稼動ヒンジ軸と、を含むことを特徴とする請求項１３に記載の反応装置。
15. 前記稼動ヒンジ孔は、前記稼動ヒンジ軸が前記稼動ヒンジ孔内でスライド移動可能にスリットで形成されたことを特徴とする請求項１４に記載の反応装置。
16. 前記稼動ヒンジ軸は、前記駆動部の一端に一体として備えられることを特徴とする請求項１５に記載の反応装置。
    
    

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