KR101921647B1 - 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치 - Google Patents

전동실린더형 탑 리드 개폐 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101921647B1
KR101921647B1 KR1020170043951A KR20170043951A KR101921647B1 KR 101921647 B1 KR101921647 B1 KR 101921647B1 KR 1020170043951 A KR1020170043951 A KR 1020170043951A KR 20170043951 A KR20170043951 A KR 20170043951A KR 101921647 B1 KR101921647 B1 KR 101921647B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electric cylinder
top lead
chamber
ring
cylinder
Prior art date
Application number
KR1020170043951A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180112633A (ko
Inventor
서강진
박희원
이기연
김대현
오찬
Original Assignee
주식회사 파인솔루션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 파인솔루션 filed Critical 주식회사 파인솔루션
Priority to KR1020170043951A priority Critical patent/KR101921647B1/ko
Publication of KR20180112633A publication Critical patent/KR20180112633A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101921647B1 publication Critical patent/KR101921647B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
    • E05B17/00—Accessories in connection with locks
    • E05B17/14—Closures or guards for keyholes
    • E05B17/18—Closures or guards for keyholes shaped as lids or slides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)
  • Power-Operated Mechanisms For Wings (AREA)

Abstract

본 발명은 챔버의 상부에 챔버를 오픈/클로즈하는 탑 리드가 챔버로부터 안정적으로 실링되도록 하는 기술로서, 챔버의 상부에 제자리 회전하는 탑 리드에 장착되어 직진 스트로크 동작하는 전동실린더를 채용함에 따라 챔버의 안정적인 실링을 구현함과 아울러 탑 리드의 회전 반경에 비해 짧은 스트로크 길이를 갖는 전동실린더의 단점을 극복하기 위한 기술이다. 본 발명에 따르면, 챔버에 대한 탑 리드의 제자리 회전을 위해 전동실린더를 채택함에 따라 기존 가스스프링과 같이 정기적인 가스 충진 과정이나 변동되는 가스압력에 따른 번거로운 포스 값 변경 과정을 배제할 수 있는 장점을 나타낸다.

Description

전동실린더형 탑 리드 개폐 장치 {electromotive cylinder type open and close device for top lid}
본 발명은 챔버의 상부에 챔버를 오픈/클로즈하는 탑 리드가 챔버로부터 안정적으로 실링되도록 하는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 챔버의 상부에 제자리 회전하는 탑 리드에 장착되어 직진 스트로크 동작하는 전동실린더를 채용함에 따라 챔버의 안정적인 실링을 구현함과 아울러 탑 리드의 회전 반경에 비해 짧은 스트로크 길이를 갖는 전동실린더의 단점을 극복하기 위한 기술이다.
일반적으로 반도체소자를 가공하는 공정(예: 식각, 증착, 패터닝)은 각 공정에 맞게 최적으로 세팅된 챔버 내에서 이루어진다.
그리고, 챔버 내에 공정용 반도체소자를 출입시키기 위해서 챔버는 개구된 부분이 마련되고 그 개구된 부분에 회동 가능하게 장착된 뚜껑(lid)을 여닫는 구조로 이루어진다. 즉, 공정의 진행 중에는 챔버의 개구된 부분을 뚜껑이 덮어 챔버의 내외부를 완전히 차단하도록 실링한다.
여기서, 특허출원 제10-2008-0015246호 "가스 스프링을 이용한 챔버 리드 개폐장치와 이를 이용한 리드 개폐 방법"에서와 같이 종래에는 가스실린더의 폴딩과 확장에 연동하여 챔버로부터 챔버리드가 제자리 회전하면서 챔버를 오픈/클로즈하는 방식이었다.
그런데, 기존 가스스프링을 채용한 챔버리드의 개폐 장치는 정기적인 가스의 충진이 필요한 단점이 있고, 가스 충진 전에도 변동되는 가스압력에 따라 정밀하고 어려운 가스스프링의 포스 값을 변경을 해야 하는 단점도 있다.
또한, 기존 가스스프링을 채용한 챔버리드의 개폐 장치는 가스의 유압을 활용하는 특성상 챔버리드가 챔버를 클로즈한 상태에서도 챔버리드가 챔버로부터 미세하게 들떠 불완전하게 실링되는 문제점이 있다.
상기의 문제를 해결하기 위해 기존 가스스프링의 단점을 개선하고 기존 가스스프링이 차지하는 공간을 초과하지 않도록 하는 기술의 구현이 요구된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 탑 리드가 챔버의 상면에서 오픈/클로즈될 때 안정적으로 실링이 되도록 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치를 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 기존 가스스프링과 같이 정기적인 가스 충진 과정이나 변동되는 가스압력에 따른 번거로운 포스 값 변경 과정을 배제할 수 있는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 전동실린더의 회전력을 통해 제자리 회전이 가능하도록 바 형태로 형성된 힌지 샤프트를 기준으로 탑 리드가 제자리 회전하면서 챔버의 상부를 개폐하도록 하는 탑 리드 개폐 장치로서, 하단부가 챔버의 일측벽에 연결되고 상단부가 탑 리드의 일측벽에 연결된 상태에서 자신의 하단부를 지지 기반으로 상단부를 향해 직진 스트로크 하면서 힌지 샤프트에 제자리 회전력을 전달함에 따라 탑 리드를 오픈 클로즈 시키는 전동실린더; 챔버의 일측벽에 고정된 상태로 전동실린더의 하단부와 상호 회동 가능하게 연결되어 전동실린더의 직진 스트로크시 전동실린더의 하부를 챔버에 고정시키는 하부지지 고정브라켓; 탑 리드의 일측벽에 고정된 상태로 전동실린더의 상단부와 상호 회동 가능하게 연결되어 전동실린더의 직진 스트로크에 따른 힘을 탑 리드에 전달하는 동력쉬프트 브라켓;을 포함하여 구성된다.
그리고, 동력쉬프트 브라켓은 수평 방향을 따라 바 형태로 길게 이루어져 탑 리드의 일측벽에 들뜬 상태로 배치되며, 일단부가 탑 리드의 수평 방향 중앙부를 기준으로 힌지 샤프트로부터 먼 쪽 부분의 탑 리드 일측벽에 고정되고, 타단부는 탑 리드의 일측벽으로부터 들뜬 상태로 전동실린더의 상단부와 상호 회동 가능하게 연결 구성될 수 있다.
여기서, 동력쉬프트 브라켓은, 바람직하게는 수평 방향을 따라 바 형태로 길게 형성된 몸체 로드; 탑 리드 일측벽에 고정되는 몸체 로드의 일단부에 접합된 상태로 몸체 로드의 일단부와 탑 리드 사이에 끼워짐에 따라 몸체 로드가 탑 리드 일측벽과 들뜬 상태를 유지하도록 하는 고정편; 고정편과 접합되는 몸체 로드의 일면으로부터 탑 리드가 위치하는 방향으로 돌출 형성되어 탑 리드 일측벽에 끼움 결합되며 몸체 로드의 길이 방향을 따라 복수 개 구비되는 고정 돌기; 고정편에 대향하는 몸체 로드의 타단부로부터 돌출 형성되어 전동실린더의 상단부와 회동 가능하게 연결되는 회동 샤프트;를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 전동실린더는 동력쉬프트 브라켓과의 연결부분이 고리 형태의 상부 링으로 이루어짐에 따라 동력쉬프트 브라켓의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 동력쉬프트 브라켓의 돌출된 부분에 끼워지는 상부 링의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 상부 탄성링이 구비될 수 있다.
또한, 전동실린더는 하부지지 고정브라켓과의 연결부분이 고리 형태의 하부 링으로 이루어짐에 따라 하부지지 고정브라켓의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 하부지지 고정브라켓의 돌출된 부분에 끼워지는 하부 링의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 하부 탄성링이 구비될 수 있다.
한편, 전동실린더는, 선단부에 상부 링이 일체로 형성되고 상부 링을 통해 자신의 선단부가 동력쉬프트 브라켓에 연결된 상태에서 상하방향으로 직진 스트로크 하는 직진 로드; 하부 링을 통해 자신의 후단부가 하부지지 고정브라켓에 연결된 상태로 직진 로드의 직진 스트로크를 위한 구동력을 전달하는 구동모터; 구동모터와 직진 로드 사이에 배치되어 구동모터의 회전력을 직진 로드의 직진 스트로크 동작으로 전환하는 볼 스크류;를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 힌지 샤프트에 하나이상 장착되며, 전동실린더의 직진 스트로크로 인해 탑 리드가 오픈되는 과정에서 힌지 샤프트가 회전하는 방향의 역방향으로 텐션을 가하여 탑 리드가 오픈된 상태를 지지하는 스프링 블록;을 더 포함하여 구성될 수 있다.
다른 한편, 전동실린더, 하부지지 고정브라켓, 동력쉬프트 브라켓은 힌지 샤프트의 일단부와 타단부에 대응하는 위치에 각각 배치됨에 따라 듀얼로 상호 협동하여 동작하도록 구성됨이 바람직하다.
본 발명은 챔버에 대한 탑 리드의 제자리 회전을 위해 전동실린더를 채택함에 따라 기존 가스스프링과 같이 정기적인 가스 충진 과정이나 변동되는 가스압력에 따른 번거로운 포스 값 변경 과정을 배제할 수 있는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 챔버와 탑 리드에 대한 전동실린더의 연결 부분에 탄성링을 장착함에 따라 챔버의 개구된 상부에 탑 리드가 클로즈되는 과정에서 안정적으로 실링이 가능하다는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 전동실린더의 상부가 연결되는 탑 리드의 일측부에 무게중심의 이동을 위한 동력쉬프트 브라켓을 구비함으로써 탑 리드의 회전 반경에 비해 짧은 스트로크 길이를 갖는 전동실린더의 단점을 극복하였다는 장점을 나타낸다.
[도 1]은 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 1,
[도 2]는 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 2,
[도 3]은 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 3,
[도 4]는 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 4,
[도 5]는 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 5,
[도 6]은 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 6,
[도 7]은 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 7,
[도 8]은 [도 7]의 일부분인 동력쉬프트 브라켓을 발췌하여 확대한 도면,
[도 9]는 본 발명에 따른 동력쉬프트 브라켓을 도시한 사시도,
[도 10]은 본 발명에 따른 상,하부지지 고정브라켓과 폴딩된 상태의 전동실린더를 발췌하여 도시한 예시도,
[도 11]은 본 발명에 따른 상,하부지지 고정브라켓과 확장된 상태의 전동실린더를 발췌하여 도시한 예시도,
[도 12]는 [도 11]의 일부분을 발췌하여 확대한 도면,
[도 13]은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 1] 내지 [도 3]은 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 1 내지 3으로서, 탑 리드(20)가 챔버(30)를 클로즈한 상태를 나타내고, [도 4] 내지 [도 7]은 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도 4 내지 7로서, 힌지 샤프트(10)를 회동축으로 하여 챔버(30)로부터 탑 리드(20)가 오픈된 상태를 나타낸다.
[도 1] 내지 [도 7]을 참조하면, 본 발명에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치는 챔버(30)의 일측 상부와 탑 리드(20)의 일측 하부가 상호 마주하도록 인접된 상태에서 그 인접된 부분의 길이 방향을 따라 바 형태의 힌지 샤프트(10)가 회동 가능하게 연결된다.
즉, 상부가 개구된 챔버(30)는 수평 상태를 유지하고 있는 상태에서 힌지 샤프트(10)를 회전축으로 하여 그 개구된 챔버(30)의 상부를 탑 리드(20)가 클로즈/오픈 하는 것이다.
이때, 대략 200kg의 무게를 갖는 탑 리드(20)가 힌지 샤프트(10)를 회전축으로 하여 상방향으로 들리는 동력은 전동실린더(110)가 제공한다.
상세하게, 전동실린더(110)는 [도 1] 내지 [도 7]에서와 같이 바 형태로 이루어져 자신의 길이 방향을 따라 직선 스트로크 하면서 폴딩과 확장이 가능하도록 구성된다.
즉, 전동실린더(110)가 [도 1] 내지 [도 3]과 같이 자신의 길이 방향을 따라 폴딩하면 탑 리드(20)가 챔버(30)의 개구된 상부를 클로즈하게 되고, 전동실린더(110)가 [도 4] 내지 [도 7]과 같이 자신의 길이 방향을 따라 확장하면 챔버(30)의 개구된 상부로부터 탑 리드(20)가 오픈된다.
여기서, 반도체 공정상 챔버(30)로부터 탑 리드(20)를 오픈/클로즈하는 동력을 제공함에 있어서 전동실린더(110)는 종래의 가스스프링보다 더 나은 작용효과를 나타내므로 본 발명에서 채택하였다.
그런데, 전동실린더(110)는 비슷한 규격의 종래 가스스프링과 비교할 때 확장되는 스트로크 길이가 가스스프링보다 짧다. 본 발명은 이러한 전동실린더(110)의 구성을 통해 힌지 샤프트(10)를 회동축으로 하여 챔버(30)로부터 탑 리드(20)가 안정적으로 개폐하도록 구성하였다. 이러한 본 발명의 구성을 이하에서 상세하게 살펴본다.
[도 8]은 [도 7]의 일부분인 동력쉬프트 브라켓을 발췌하여 확대한 도면이고, [도 9]는 본 발명에 따른 동력쉬프트 브라켓을 도시한 사시도이고, [도 10]은 본 발명에 따른 상,하부지지 고정브라켓과 폴딩된 상태의 전동실린더를 발췌하여 도시한 예시도이고, [도 11]은 본 발명에 따른 상,하부지지 고정브라켓과 확장된 상태의 전동실린더를 발췌하여 도시한 예시도이고, [도 12]는 [도 11]의 일부분을 발췌하여 확대한 도면이다.
[도 8] 내지 [도 12]를 참조하면, 본 발명은 전동실린더(110)의 회전력을 통해 제자리 회전이 가능하도록 바 형태로 형성된 힌지 샤프트(10)를 기준으로 탑 리드(20)가 제자리 회전하면서 챔버(30)의 상부를 개폐하도록 하는 탑 리드 개폐 장치로서, 전동실린더(110), 하부지지 고정브라켓(120), 동력쉬프트 브라켓(130)을 포함하여 구성된다.
전동실린더(110)는 자신의 길이 방향을 따라 직진 스트로크함에 따라 폴딩과 확장을 하면서 챔버(30)로부터 탑 리드(20)가 오픈/클로즈 되도록 한다. 이를 위해, 전동실린더(110)는 하단부가 챔버(30)의 일측벽에 연결되고 상단부가 탑 리드(20)의 일측벽에 연결된 상태에서 자신의 하단부를 지지 기반으로 상단부를 향해 직진 스트로크한다.
이 과정에서 탑 리드(20)는 챔버(30)의 개구된 상부로부터 들리면서 힌지 샤프트(10)를 회전축으로 하여 제자리 회전한다. 이때, 힌지 샤프트(10)를 기준으로 보면 전동실린더(110)로부터 회전력을 전달받는 방식이다.
여기서, 전동실린더(110)는 [도 10]과 [도 11]에서와 같이 상부 링(111), 하부 링(112), 직진 로드(113), 구동모터(114), 볼 스크류(115)를 포함하여 구성될 수 있다.
상부 링(111)은 [도 12]에서와 같이 전동실린더(110)의 상단부에 대응하는 동력쉬프트 브라켓(130)과의 연결부분으로서 고리 형태로 이루어진다. 상부 링(111)은 동력쉬프트 브라켓(130)의 회동 샤프트(134)와 상호 회동 가능하게 연결된다.
여기서, 바람직하게는 동력쉬프트 브라켓(130)의 회동 샤프트(134)에 끼워지는 상부 링(111)의 내주벽에는 그 둘레 방향을 따라 원통형의 상부 탄성링(111a)이 끼워져 일체로 고정된다.
하부 링(112)은 [도 12]에서와 같이 전동실린더(110)의 하단부에 대응하는 하부지지 고정브라켓(120)과의 연결부분으로서 고리 형태로 이루어진다. 하부 링(112)은 하부지지 고정브라켓(120)의 돌출된 부분인 회동 샤프트와 상호 회동 가능하게 연결된다.
여기서, 하부지지 고정브라켓(120)의 돌출된 부분인 회동 샤프트에 끼워지는 하부 링(112)의 내주벽에는 그 둘레 방향을 따라 원통형의 하부 탄성링(112a)이 끼워져 일체로 고정된다.
한편, 전동실린더(110)가 [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 폴딩에 대응하는 직진 스트로크를 하면 탑 리드(20)가 힌지 샤프트(10)를 기준으로 제자리 회전하면서 챔버(30)의 개구된 상부를 클로즈 하게 된다.
이때, 챔버(30)의 실링을 위해 챔버(30)의 개구된 상부와 맞닿는 탑 리드(20)의 하단면에는 오링이 구비된다. 즉, 탑 리드(20)에 의해 챔버(30)의 개구된 상부가 클로즈될 때 그 오링이 어느 정도 눌리면서 챔버(30)와 탑 리드(20) 간의 맞닿은 틈새를 실링하게 된다.
그런데, 전동실린더(110)는 [도 3]에서와 같이 챔버(30)와 탑 리드(20)가 수평 상태를 이루어 챔버(30)를 클로즈할 수 있는 정도까지 직진 스크로크를 콘트롤하기 때문에 오링의 압착이 제대로 이루어지지 않아 결국 불완전한 실링(예: 대략 1mm 이내의 들뜸 현상)이 될 수 있다.
이처럼, 챔버(30)와 탑 리드(20) 간의 불완전한 실링을 해소하기 위해 상부 링(111)과 하부 링(112)에는 각각 상부 탄성링(111a)과 하부 탄성링(112a)을 구비함이 바람직하다.
즉, [도 3]에서와 같이 챔버(30)와 탑 리드(20)가 상호 맞닿아 수평을 이루는 위치에서 전동실린더(110)의 폴딩에 대응하는 직진 스트로크가 멈추면, 탑 리드(20)의 하중에 따라 상부 탄성링(111a) 또는 하부 탄성링(112a)의 단면 두께(대략 1mm) 만큼 압착되면서 챔버(30)와 탑 리드(20) 간의 실링이 안정적으로 이루어질 수 있다.
직진 로드(113)는 자신의 선단부에 상부 링(111)이 일체로 형성되고 상부 링(111)을 통해 자신의 선단부가 동력쉬프트 브라켓(130)에 연결된 상태에서 상하방향으로 직진 스트로크 한다.
구동모터(114)는 하부 링(112)을 통해 자신의 후단부가 하부지지 고정브라켓(120)에 연결된 상태로 직진 로드(113)의 직진 스트로크를 위한 구동력을 전달한다.
여기서, 볼 스크류(115)는 구동모터(114)와 직진 로드(113) 사이에 배치되어 구동모터(114)로부터 인가받은 회전력을 직진 로드(113)의 직진 스트로크 동작으로 전환한다.
하부지지 고정브라켓(120)은 챔버(30)의 일측벽에 고정된 상태로 전동실린더(110)의 하단부와 상호 회동 가능하게 연결되어 전동실린더(110)의 직진 스트로크시 전동실린더(110)의 하부를 챔버(30)에 고정시킨다.
동력쉬프트 브라켓(130)은 전동실린더(110)의 짧은 직진 스트로크 길이를 보완하기 위해서 채택된 것으로서, 탑 리드(20)의 일측벽에 고정된 상태로 전동실린더(110)의 상단부와 상호 회동 가능하게 연결되어 전동실린더(110)의 직진 스트로크에 따른 힘을 탑 리드(20)에 전달한다.
동력쉬프트 브라켓(130)은 [도 6] 내지 [도 8]에서와 같이 수평 방향을 따라 바 형태로 길게 이루어져 탑 리드(20)의 일측벽에 배치된다.
그리고, 동력쉬프트 브라켓(130)은 일단부가 탑 리드(20)의 수평 방향 중앙부를 기준으로 힌지 샤프트로부터 먼 쪽 부분의 탑 리드(20) 일측벽에 고정되고, 타단부는 탑 리드(20)의 일측벽으로부터 들뜬 상태로 전동실린더(110)의 상단부와 상호 회동 가능하게 연결된다.
이를 통해, 전동실린더(110)의 짧은 직진 스트로크 길이에도 불구하고 힌지 샤프트(10)를 기준으로 탑 리드(20)를 회전시키는 동력은 힌지 샤프트(10)로부터 먼 쪽의 탑 리드(20) 일측벽에 가함으로써 탑 리드(20)의 제자리 회전을 효과적으로 수행할 수 있게 된다.
즉, 전동실린더(110)의 상단부는 [도 6]에서와 같이 힌지 샤프트(10)를 기준으로 작은 회전 반경을 유지할 수 있다. 그리고, 동력쉬프트 브라켓(130)은 위와 같은 짧은 회전 반경을 유지하는 전동실린더(110)의 직진 스트로크에 의한 동력을 힌지 샤프트(10)로부터 먼 쪽의 탑 리드(20) 일측벽에 전달함으로써 탑 리드(20)의 제자리 회전을 위해 소요되는 힘이 적게 든다.
이처럼, 전동실린더(110)의 구성적 특징에 대응하여 구비된 동력쉬프트 브라켓(130)은 바람직하게는 몸체 로드(131), 고정편(132), 고정 돌기(133), 회동 샤프트(134)를 포함하여 구성될 수 있다.
몸체 로드(131)는 [도 3], [도 8] 내지 [도 11]에서와 같이 챔버(30)와 탑 리드(20)가 클로드된 수평 상태에서 그 수평 방향을 따라 바 형태로 길게 형성된다. 그리고, 몸체 로드(131)는 전동실린더(110)의 직진 스트로크시 발생하는 비틀림 외력을 지탱할 수 있도록 충분한 강성의 재질(예: 강철)로 구성됨이 바람직하다.
고정편(132)은 탑 리드(20) 일측벽에 고정되는 몸체 로드(131)의 일단부에 접합된 상태로 몸체 로드(131)의 일단부와 탑 리드(20) 사이에 끼워짐에 따라 몸체 로드(131)가 탑 리드(20) 일측벽과 들뜬 상태를 유지하도록 한다.
고정 돌기(133)는 고정편(132)과 접합되는 몸체 로드(131)의 일면으로부터 탑 리드(20)가 위치하는 방향으로 돌출 형성되어 탑 리드(20) 일측벽에 끼움 결합되어 탑 리드(20), 몸체 로드(131), 고정편(132)을 일체로 고정시킨다.
이때, 고정 돌기(133)는 몸체 로드(131)의 길이 방향을 따라 복수 개 구비됨이 바람직하다. 즉, 전동실린더(110)의 직진 스트로크시 발생하는 비틀림 외력으로부터 몸체 로드(131)가 탑 리드(20)로부터 흔들림 없이 견고하게 고정된 상태를 유지하도록 한다.
회동 샤프트(134)는 고정편(132)에 대향하는 몸체 로드(131)의 타단부로부터 돌출 형성되어 전동실린더(110)의 상단부와 회동 가능하게 연결된다.
한편, 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치는 [도 1]과 [도 2]에서와 같이 전동실린더(110), 하부지지 고정브라켓(120), 동력쉬프트 브라켓(130)이 힌지 샤프트(10)의 일단부와 타단부에 대응하는 위치에 각각 배치됨에 따라 듀얼로 상호 협동하여 동작하도록 구성될 수도 있다.
[도 13]은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치의 설치상태도이다. [도 13]을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예는 스프링 블록(140)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
스프링 블록(140)은 힌지 샤프트(10)의 길이 방향을 따라 하나이상 장착되며, 바람직하게는 힌지 샤프트(10)의 양단에 배치된다.
여기서, 스프링 블록(140)은 전동실린더(110)의 직진 스트로크로 인해 탑 리드(20)가 오픈되는 과정에서 힌지 샤프트(10)가 회전하는 방향의 역방향으로 텐션을 가하여 탑 리드(20)가 오픈된 상태를 지지한다.
즉, 탑 리드(20)가 챔버(30)로부터 오픈되는 방향으로 최대한 세워져 있는 경우에는 힌지 샤프트(10)가 그 하중을 감당하기에 불안정할 수 있으므로 탑 리드(20)의 세워진 상태를 안정적으로 지지할 수 있도록 별도의 스프링 블록(140)을 구비함이 바람직하다.
10 : 힌지 샤프트
20 : 탑 리드
30 : 챔버
110 : 전동실린더
111 : 상부 링
111a : 상부 탄성링
112 : 하부 링
112a : 하부 탄성링
113 : 직진 로드
114 : 구동모터
115 : 볼 스크류
120 : 하부지지 고정브라켓
130 : 동력쉬프트 브라켓
131 : 몸체 로드
132 : 고정편
133 : 고정 돌기
134 : 회동 샤프트
140 : 스프링 블록

Claims (8)

  1. 전동실린더의 회전력을 통해 제자리 회전이 가능하도록 바 형태로 형성된 힌지 샤프트를 기준으로 탑 리드가 제자리 회전하면서 챔버의 상부를 개폐하도록 하는 탑 리드 개폐 장치로서,
    하단부가 상기 챔버의 일측벽에 연결되고 상단부가 상기 탑 리드의 일측벽에 연결된 상태에서 자신의 하단부를 지지 기반으로 상단부를 향해 직진 스트로크 하면서 상기 힌지 샤프트에 제자리 회전력을 전달함에 따라 상기 탑 리드를 오픈 클로즈 시키는 전동실린더(110);
    상기 챔버의 일측벽에 고정된 상태로 상기 전동실린더의 하단부와 상호 회동 가능하게 연결되어 상기 전동실린더의 직진 스트로크시 상기 전동실린더의 하부를 상기 챔버에 고정시키는 하부지지 고정브라켓(120);
    상기 탑 리드의 일측벽에 고정된 상태로 상기 전동실린더의 상단부와 상호 회동 가능하게 연결되어 상기 전동실린더의 직진 스트로크에 따른 힘을 상기 탑 리드에 전달하고, 수평 방향을 따라 바 형태로 길게 이루어져 상기 탑 리드의 일측벽에 들뜬 상태로 배치되며, 일단부가 상기 탑 리드의 수평 방향 중앙부를 기준으로 상기 힌지 샤프트로부터 먼 쪽 부분의 상기 탑 리드 일측벽에 고정되고, 타단부는 상기 탑 리드의 일측벽으로부터 들뜬 상태로 상기 전동실린더의 상단부와 상호 회동 가능하게 연결되는 동력쉬프트 브라켓(130);
    을 포함하여 구성되는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 동력쉬프트 브라켓(130)은,
    수평 방향을 따라 바 형태로 길게 형성된 몸체 로드(131);
    상기 탑 리드 일측벽에 고정되는 상기 몸체 로드의 일단부에 접합된 상태로 상기 몸체 로드의 일단부와 상기 탑 리드 사이에 끼워짐에 따라 상기 몸체 로드가 상기 탑 리드 일측벽과 들뜬 상태를 유지하도록 하는 고정편(132);
    상기 고정편과 접합되는 상기 몸체 로드의 일면으로부터 상기 탑 리드가 위치하는 방향으로 돌출 형성되어 상기 탑 리드 일측벽에 끼움 결합되며 상기 몸체 로드의 길이 방향을 따라 복수 개 구비되는 고정 돌기(133);
    상기 고정편에 대향하는 상기 몸체 로드의 타단부로부터 돌출 형성되어 상기 전동실린더의 상단부와 회동 가능하게 연결되는 회동 샤프트(134);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 전동실린더(110)는 상기 회동 샤프트와의 연결부분이 고리 형태의 상부 링(111)으로 이루어짐에 따라 상기 회동 샤프트에 회동 가능하게 연결되고 상기 회동 샤프트에 끼워지는 상기 상부 링의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 상부 탄성링(111a)이 구비되는 것을 특징으로 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 전동실린더(110)는 상기 하부지지 고정브라켓과의 연결부분이 고리 형태의 하부 링(112)으로 이루어짐에 따라 상기 하부지지 고정브라켓의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 상기 하부지지 고정브라켓의 돌출된 부분에 끼워지는 상기 하부 링의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 하부 탄성링(112a)이 구비되는 것을 특징으로 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 전동실린더(110)는,
    선단부에 상기 상부 링이 일체로 형성되고 상기 상부 링을 통해 자신의 선단부가 상기 동력쉬프트 브라켓에 연결된 상태에서 상하방향으로 직진 스트로크 하는 직진 로드(113);
    상기 하부 링을 통해 자신의 후단부가 상기 하부지지 고정브라켓에 연결된 상태로 상기 직진 로드의 직진 스트로크를 위한 구동력을 전달하는 구동모터(114);
    상기 구동모터와 상기 직진 로드 사이에 배치되어 상기 구동모터의 회전력을 상기 직진 로드의 직진 스트로크 동작으로 전환하는 볼 스크류(115);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 힌지 샤프트에 하나이상 장착되며, 상기 전동실린더의 직진 스트로크로 인해 상기 탑 리드가 오픈되는 과정에서 상기 힌지 샤프트가 회전하는 방향의 역방향으로 텐션을 가하여 상기 탑 리드가 오픈된 상태를 지지하는 스프링 블록(140);
    을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
  8. 청구항 1, 3 내지 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 전동실린더, 상기 하부지지 고정브라켓, 상기 동력쉬프트 브라켓은 상기 힌지 샤프트의 일단부와 타단부에 대응하는 위치에 각각 배치됨에 따라 듀얼로 상호 협동하여 동작하는 것을 특징으로 하는 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치.
KR1020170043951A 2017-04-04 2017-04-04 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치 KR101921647B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170043951A KR101921647B1 (ko) 2017-04-04 2017-04-04 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170043951A KR101921647B1 (ko) 2017-04-04 2017-04-04 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180112633A KR20180112633A (ko) 2018-10-12
KR101921647B1 true KR101921647B1 (ko) 2018-11-26

Family

ID=63876844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170043951A KR101921647B1 (ko) 2017-04-04 2017-04-04 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101921647B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102330986B1 (ko) * 2018-12-28 2021-11-25 주식회사 케이엠디피 웨이퍼 경화 장치 및 이를 구비한 웨이퍼 경화 시스템
CN110527946B (zh) * 2019-09-04 2024-03-19 立讯电子科技（昆山）有限公司 镀膜装置
CN112086390A (zh) * 2020-09-30 2020-12-15 上海广川科技有限公司 腔室开盖机构
KR102261600B1 (ko) * 2021-04-29 2021-06-07 주식회사 파인솔루션 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3186955B2 (ja) 1995-10-19 2001-07-11 株式会社淺沼組 建設廃棄物の荷降し装置
CN104637837A (zh) * 2013-11-15 2015-05-20 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 反应腔室及等离子体加工设备
JP2017155536A (ja) 2016-03-04 2017-09-07 Ｋｙｂ株式会社 ウィング開閉装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3186955B2 (ja) 1995-10-19 2001-07-11 株式会社淺沼組 建設廃棄物の荷降し装置
CN104637837A (zh) * 2013-11-15 2015-05-20 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 反应腔室及等离子体加工设备
JP2017155536A (ja) 2016-03-04 2017-09-07 Ｋｙｂ株式会社 ウィング開閉装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180112633A (ko) 2018-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101921647B1 (ko) 전동실린더형 탑 리드 개폐 장치
KR101603462B1 (ko) 가구용 힌지
JP2008505286A (ja) 送りねじ式駆動装置を組み込んだガススプリング
US9106158B2 (en) Piezoelectric rotary drive for a shaft
JP2012521500A (ja) 家具ヒンジ
JP2007016588A (ja) フラップ回動装置
JP7237526B2 (ja) 容器の蓋を開閉するための装置
KR100512740B1 (ko) 반응장치
KR101920970B1 (ko) 도어 힌지
KR101418582B1 (ko) 도어 클로저
EP2977537B1 (en) Hinge for doors of domestic appliances
RU2717660C1 (ru) Ручное электрическое упаковочное устройство
EP3381619B1 (en) Reciprocating work machine
KR20100016508A (ko) 폐쇄 부재를 구비한 밸브
KR200432808Y1 (ko) 가스 스프링
EP2589736A1 (en) Damper device for furniture hinges, in particular for hinges of the toggle type, and furniture hinge, in particular a hinge of the toggle type, comprising such a damper device
CN201276919Y (zh) 用于家用电器上的枢转装置
KR102261600B1 (ko) 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치
JP5638149B2 (ja) ウインドウワイパ装置
CN107989503A (zh) 一种缓冲铰链
JP5785467B2 (ja) 真空バルブ用操作装置
JP6558100B2 (ja) 動力作業機
JP5823071B1 (ja) ゲートバルブ
CN113550128B (zh) 排水驱动结构及衣物处理设备
CN219751161U (zh) 一种漆包线盘具抓取用柔性转移机械臂机构

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant