KR102261600B1 - 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 챔버 부재의 상부를 개폐시키는 탑 리드 부재가 그 챔버 부재로부터 둔각까지 안정적으로 오픈이 가능하도록 하는 기술로서, 하단부는 챔버 부재에 연결되고 상단부는 탑 리드 부재에 연결되는 전동실린더 부재가 직진 스트로크 동작을 통해 챔버 부재로부터 탑 리드 부재를 둔각으로 오픈함은 물론 그 둔각의 오픈 상태에서 다시 클로즈가 가능하도록 하는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 탑 리드 스토퍼 부재를 구비함에 따라 챔버 부재로부터 탑 리드 부재가 둔각까지 오픈된 상태에서도 안정적으로 그 둔각 오픈 상태를 유지할 수 있다는 장점이 있다.
Description
본 발명은 챔버 부재의 상부를 개폐시키는 탑 리드 부재가 그 챔버 부재로부터 둔각까지 안정적으로 오픈이 가능하도록 하는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 하단부는 챔버 부재에 연결되고 상단부는 탑 리드 부재에 연결되는 전동실린더 부재가 직진 스트로크 동작을 통해 챔버 부재로부터 탑 리드 부재를 둔각으로 오픈함은 물론 그 둔각의 오픈 상태에서 다시 클로즈가 가능하도록 하는 기술에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 가공하는 공정(예: 식각, 증착, 패터닝)은 각 공정에 맞게 최적으로 세팅된 챔버 부재 내에서 이루어진다.
그리고, 챔버 부재 내에 공정용 반도체 소자를 출입시키기 위해서 챔버 부재는 개구된 부분이 마련되고 그 개구된 부분에 회동 가능하게 장착된 뚜껑(lid)으로서의 탑 리드 부재가 여닫는 구조로 이루어진다. 즉, 공정의 진행 중에는 챔버 부재의 개구된 부분을 탑 리드 부재가 덮어 챔버 부재의 내외부를 완전히 차단하도록 실링한다.
여기서, 탑 리드 부재는 그 중량(예: 대략 200kg)이 크기 때문에 작업자가 자신의 힘으로 개폐한다는 것은 어려운 일이므로 자신의 양단부가 챔버 부재와 탑 리드 부재의 각각 연결된 상태로 직진 스트로크 하는 전동실린더 부재의 도움을 얻을 수도 있다.
그런데, 챔버 부재로부터 개폐되는 탑 리드 부재가 필요에 따라서는 챔버 부재를 기준으로 그 오픈이 둔각까지 이루어질 필요가 있는데, 전동실린더의 직진 스트로크 동작 특성상 탑 리드 부재의 둔각 오픈이 어렵다는 문제가 있다.
그에 따라, 챔버 부재에 대한 탑 리드 부재의 개폐 동작을 위해 직진 스트로크 동작하는 전동실린더 부재의 장점을 그대로 살리면서 그러한 전동실린더 부재를 통해서도 챔버 부재에 대해 탑 리드 부재의 오픈을 둔각까지 구현함은 물론 그 클로즈도 가능하게 함으로써 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 기술 구현이 요구된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 직진 스트로크 동작하는 전동실린더 부재를 채택함에도 불구하고 챔버 부재로부터 탑 리드 부재가 개폐됨에 있어서 둔각까지 오픈/클로즈가 가능하도록 하는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 힌지샤프트 부재를 기준으로 상호 회동 가능하게 연결되는 챔버 부재와 탑 리드 부재에서 챔버 부재를 기준으로 탑 리드 부재를 들어올리거나 내림에 따라 챔버 부재의 상부를 개폐시키는 전동실린더를 이용한 탑 리드의 둔각 오픈용 탑 리드 개폐 장치로서, 자신의 하단부가 챔버 부재의 일측벽에 연결되고 자신의 상단부가 탑 리드 부재의 일측벽에 연결된 상태에서 자신의 하단부를 지지 기반으로 자신의 길이방향을 따라 직진 스트로크 함에 따라 챔버 부재에 대해 탑 리드 부재를 들어올리거나 내리는 전동실린더 부재(110); 챔버 부재의 일측벽에 고정 연결되고 전동실린더 부재의 하단부와 회동 가능하게 연결되어 전동실린더 부재의 직진 스트로크시 전동실린더 부재의 하부를 지지하는 하부지지 브라켓부재(120); 탑 리드 부재의 일측벽에 고정 연결되고 전동실린더 부재의 회동축 부분과 상호 회동 가능하게 연결되며 회동축 부분이 자신의 하부에서 하방향 돌출 타입의 반원형으로 움직이도록 가이드하는 동력쉬프트 링크부재(130); 힌지샤프트 부재의 하부에 대응하는 챔버 부재의 일측부에 돌출된 형태로 배치되어 챔버 부재로부터 오픈되는 과정의 탑 리드 부재의 측벽을 지지하는 탑 리드 스토퍼 부재(140);를 포함하여 구성된다.
이때, 동력쉬프트 링크부재(130)는, 탑 리드 부재의 일측벽에 속이 찬 블록 형태로 고정 연결되는 링크 몸체부재(131); 링크 몸체부재의 하부에 배치된 상태로 전동실린더 부재의 회동축 부분에 회동 가능하게 연결되도록 탑 리드 부재의 측방향으로 돌출 형성되는 회동샤프트 부재(132); 링크 몸체부재의 하부에 배치되어 링크 몸체부재와 일체로 연결되며 회동샤프트 부재의 일단부가 자신의 내측에 구속된 상태로 하방향 돌출 타입의 반원형으로 움직일 수 있도록 하방향 돌출 타입으로 반원형의 속이 빈 공간을 구비하는 샤프트 홀더부재(133);를 구비할 수 있다.
그리고, 전동실린더 부재(110)는 동력쉬프트 링크부재와의 연결부분이 고리 형태의 상부 링부재(111)로 이루어짐에 따라 동력쉬프트 링크부재의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 동력쉬프트 링크부재의 돌출된 부분에 끼워지는 상부 링부재의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 상부 탄성링 부재(111a)가 구비된다.
또한, 전동실린더 부재(110)는 하부지지 브라켓부재와의 연결부분이 고리 형태의 하부 링부재(112)로 이루어짐에 따라 하부지지 브라켓부재의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 하부지지 브라켓부재의 돌출된 부분에 끼워지는 하부 링부재의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 하부 탄성링 부재(112a)가 구비될 수 있다.
또한, 전동실린더 부재(110)는, 선단부에 상부 링부재가 일체로 형성되고 상부 링부재를 통해 자신의 선단부가 동력쉬프트 링크부재에 연결된 상태에서 상하방향으로 직진 스트로크 하는 직진 로드부재(113); 하부 링부재를 통해 자신의 후단부가 하부지지 브라켓부재에 연결된 상태로 직진 로드부재의 직진 스트로크를 위한 구동력을 전달하는 구동모터 부재(114); 구동모터 부재와 직진 로드부재 사이에 배치되어 구동모터 부재의 회전력을 직진 로드부재의 직진 스트로크 동작으로 전환하는 볼 스크류 부재(115);를 더 구비할 수 있다.
한편, 바람직하게는 전동실린더 부재, 하부지지 브라켓부재, 동력쉬프트 링크부재는 힌지샤프트 부재의 일단부와 타단부에 대응하는 위치에 각각 배치됨에 따라 듀얼로 상호 협동하여 동작하도록 구성될 수 있다.
본 발명은 동력쉬프트 링크부재를 구비함에 따라 직진 스트로크 동작하는 전동실린더 부재를 채택함에도 불구하고 챔버 부재로부터 탑 리드 부재가 개폐됨에 있어서 둔각까지 오픈/클로즈가 가능하도록 하는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 탑 리드 스토퍼 부재를 구비함에 따라 챔버 부재로부터 탑 리드 부재가 둔각까지 오픈된 상태에서도 안정적으로 그 둔각 오픈 상태를 유지할 수 있다는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 챔버 부재와 탑 리드 부재에 대한 전동실린더 부재의 연결 부분에 탄성링 부재를 장착함에 따라 챔버 부재의 개구된 상부에 탑 리드 부재가 클로즈되는 과정에서 안정적으로 실링이 가능하다는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 본 발명에 따른 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치의 사시도로서 하부지지 브라켓부재가 제외된 상태의 도면,
[도 2]는 [도 1]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 3]은 본 발명에 따른 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치의 정면도로서 하부지지 브라켓부재가 채택된 상태의 도면,
[도 4]는 본 발명에 따른 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치의 일측면도로서 하부지지 브라켓부재가 제외된 상태의 도면,
[도 5]는 [도 4]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되고 있는 과정의 도면,
[도 6]은 [도 5]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되고 있는 과정의 도면,
[도 7]은 [도 6]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되고 있는 과정의 도면,
[도 8]은 [도 7]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 완전히 오픈되어 있는 상태의 도면,
[도 9]는 [도 8]에서 전동실린더 부재의 수축 동작으로 동력쉬프트 링크부재에서 회동샤프트 부재가 샤프트 홀더부재를 따라 중력방향으로 이동한 상태를 나타낸 도면,
[도 10]은 본 발명의 구성인 전동실린더 부재를 발췌하여 그 전동실린더 부재가 수축된 상태를 도시한 예시도,
[도 11]은 [도 10]에서의 전동실린더 부재가 확장된 상태를 도시한 도면,
[도 12]는 [도 11]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면이다.
[도 2]는 [도 1]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 3]은 본 발명에 따른 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치의 정면도로서 하부지지 브라켓부재가 채택된 상태의 도면,
[도 4]는 본 발명에 따른 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치의 일측면도로서 하부지지 브라켓부재가 제외된 상태의 도면,
[도 5]는 [도 4]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되고 있는 과정의 도면,
[도 6]은 [도 5]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되고 있는 과정의 도면,
[도 7]은 [도 6]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되고 있는 과정의 도면,
[도 8]은 [도 7]에서 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 완전히 오픈되어 있는 상태의 도면,
[도 9]는 [도 8]에서 전동실린더 부재의 수축 동작으로 동력쉬프트 링크부재에서 회동샤프트 부재가 샤프트 홀더부재를 따라 중력방향으로 이동한 상태를 나타낸 도면,
[도 10]은 본 발명의 구성인 전동실린더 부재를 발췌하여 그 전동실린더 부재가 수축된 상태를 도시한 예시도,
[도 11]은 [도 10]에서의 전동실린더 부재가 확장된 상태를 도시한 도면,
[도 12]는 [도 11]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 1] 내지 [도 4]는 본 발명에 따른 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치를 도시한 도면이고, [도 5] 내지 [도 7]은 전동실린더의 확장 동작으로 탑 리드 부재가 오픈되는 과정을 나타낸 도면이고, [도 8]은 탑 리드 부재가 완전히 오픈되어 있는 상태의 도면이고, [도 9]는 [도 8]에서의 회동샤프트 부재가 샤프트 홀더부재를 따라 중력방향으로 이동한 상태를 나타낸 도면이다.
[도 1] 내지 [도 9]를 참조하면, 본 발명은 힌지샤프트 부재(30)를 기준으로 상호 회동 가능하게 연결되는 챔버 부재(10)와 탑 리드 부재(20)에서 챔버 부재(10)를 기준으로 탑 리드 부재(20)를 들어올리거나 내림에 따라 챔버 부재(10)의 상부를 개폐시키는 전동실린더를 이용한 탑 리드의 둔각 오픈용 탑 리드 개폐 장치로서, 전동실린더 부재(110), 하부지지 브라켓부재(120), 동력쉬프트 링크부재(130), 탑 리드 스토퍼 부재(140)를 포함하여 구성된다.
전동실린더 부재(110)는 [도 1] 내지 [도 9]를 참조하면 자신의 하단부가 챔버 부재(10)의 일측벽에 연결되고 자신의 상단부가 탑 리드 부재(20)의 일측벽에 연결될 수 있다.
전동실린더 부재(110)는 [도 3]에서와 같이 챔버 부재(10)에 연결되는 하부지지 브라켓부재(120)에 자신의 하단부가 회동 가능하게 연결됨에 따라 자신의 하단부를 지지 기반으로 자신의 길이방향을 따라 확장하였다가 수축되는 직진 스트로크 함에 따라 챔버 부재(10)에 대해 탑 리드 부재(20)를 [도 4]의 상태로부터 [도 5]의 상태, [도 6]의 상태, [도 7]의 상태까지 순차적으로 들어올렸다가 [도 8]의 상태, [도 9]의 상태까지 둔각으로 오픈시킬 수 있다.
그리고, [도 9]의 상태에서 전동실린더 부재(110)가 다시 확장하였다가 수축하는 직진 스트로크 동작을 거침에 따라 탑 리드 부재(20)는 챔버 부재(10)의 상부에 내려앉아 챔버 부재(10)의 상부를 클로즈한다.
이어서, 전동실린더 부재(110)의 상부 링부재(111)에 연결되는 회동샤프트 부재(132)는 중력에 의해 [도 4]에서와 같이 샤프트 홀더부재(133)에서 우측 단부까지 자연적으로 슬라이드된다.
하부지지 브라켓부재(120)는 [도 3]을 참조하면 챔버 부재(10)의 일측벽 또는 하면에 고정 연결되고 전동실린더 부재(110)의 하단부와 회동 가능하게 연결되어 전동실린더 부재(110)의 직진 스트로크시 전동실린더 부재(110)의 하부를 지지한다.
동력쉬프트 링크부재(130)는 [도 1] 내지 [도 9]에서와 같이 탑 리드 부재(20)의 일측벽에 고정 연결되고 전동실린더 부재(110)의 회동축 부분인 상부 링부재(111)와 상호 회동 가능하게 연결될 수 있다.
그리고, 그 상부 링부재(111)가 동력쉬프트 링크부재(130)의 하부에서 하방향 돌출 타입의 반원형으로 움직이도록 동력쉬프트 링크부재(130)를 구성할 수 있다.
여기서, '반원형'이라 함은 한점으로부터 일정한 거리에 있는 원의 반을 나타내는 수학적인 개념의 반원을 의미하는 것은 아니고 반원과 같이 하방향으로 둥글게 돌출된 패턴이라는 것을 의미한다.
이를 위해, 동력쉬프트 링크부재(130)는 링크 몸체부재(131), 회동샤프트 부재(132), 샤프트 홀더부재(133)를 구비할 수 있다.
링크 몸체부재(131)는 [도 3]에서와 같이 탑 리드 부재(20)의 일측벽에 속이 찬 블록 형태로 고정 연결될 수 있다.
회동샤프트 부재(132)는 [도 3]에서와 같이 링크 몸체부재(131)의 하부에 배치된 상태로 전동실린더 부재(110)의 회동축 부분인 전동실린더 부재(110)의 상부 링부재(111)에 회동 가능하게 연결될 수 있다.
이를 위해, 회동샤프트 부재(132)는 일단부가 샤프트 홀더부재(133)에 고립된 상태로 탑 리드 부재(20)의 측방향으로 돌출 형성되며 샤프트 홀더부재(133)의 반원 형상을 따라 [도 4] 내지 [도 9]에서와 같이 움직임이 자유롭다.
이처럼, 회동샤프트 부재(132)가 샤프트 홀더부재(133)의 반원형 패턴을 따라 자유로이 움직이는 힘은 전동실린더 부재(110)의 직진 스트로크로부터 받는 힘이거나 중력에 의한 것이다.
예컨대, [도 5]의 상태, [도 6]의 상태, [도 7]의 상태, [도 8]의 상태를 순차적으로 거치는 과정에서는 전동실린더 부재(110)의 확장하는 직진 스트로크로 인해 회동샤프트 부재(132)가 샤프트 홀더부재(133)에서 우측 단부에 고립된 상태를 유지한다.
이어서, [도 8]의 상태에서 전동실린더 부재(110)의 확장하는 직진 스트로크를 멈추면 전동실린더 부재(110)의 상부 링부재(111)에 연결되는 회동샤프트 부재(132)는 중력에 의해 [도 9]에서와 같이 샤프트 홀더부재(133)에서 좌측 단부까지 자연적으로 슬라이드된다.
그리고, [도 9]의 상태에서 전동실린더 부재(110)가 확장하는 방향으로 직진 스트로크를 하게 되면, 힌지샤프트 부재(30)를 기준으로 탑 리드 부재(20)가 제자리 회전하여 챔버 부재(10)의 상부를 클로즈한다.
이어서, 전동실린더 부재(110)의 상부 링부재(111)에 연결되는 회동샤프트 부재(132)는 중력에 의해 [도 4]에서와 같이 샤프트 홀더부재(133)에서 우측 단부까지 자연적으로 슬라이드 된다.
이를 위해, 샤프트 홀더부재(133)는 [도 3]에서와 같이 링크 몸체부재(131)의 하부에 배치되어 링크 몸체부재(131)와 일체로 연결되며 회동샤프트 부재(132)의 일단부가 자신의 내측에 구속된 상태로 하방향 돌출 타입의 반원형으로 움직일 수 있도록 하방향 돌출 타입으로 반원형의 속이 빈 공간을 구비한다.
그 결과, 샤프트 홀더부재(133)에 일단부가 구속된 회동샤프트 부재(132)는 [도 3]에서와 같이 탑 리드 부재(20)의 측방향으로 돌출 형성되며 그 회동샤프트 부재(132)의 타단부는 상부 링부재(111)에 회동 가능하게 연결될 수 있다.
여기서도, '반원형'이라 함은 한점으로부터 일정한 거리에 있는 원의 반을 나타내는 수학적인 개념의 반원을 의미하는 것은 아니고 반원과 같이 하방향으로 둥글게 돌출된 패턴이라는 것을 의미한다.
탑 리드 스토퍼 부재(140)는 [도 1]에서와 같이 힌지샤프트 부재(30)의 하부에 대응하는 챔버 부재(10)의 일측부에 돌출된 형태로 배치되어 챔버 부재(10)로부터 오픈되는 과정의 탑 리드 부재(20)의 측벽을 [도 8]과 [도 9]에서와 같이 지지할 수 있다.
결과적으로, 탑 리드 스토퍼 부재(140)는 탑 리드 부재(20)가 챔버 부재(10)로부터 [도 8]과 [도 9]에서와 같이 둔각으로 오픈된 경우 탑 리드 부재(20)의 최대 오픈 각도를 정하게 된다.
한편, [도 1]과 [도 3]을 참조하면, 본 발명에 따른 탑 리드 개폐 장치는 전동실린더 부재(110), 하부지지 브라켓부재(120), 동력쉬프트 링크부재(130)는 힌지샤프트 부재(30)의 일단부와 타단부에 대응하는 위치에 각각 배치됨에 따라 듀얼로 상호 협동하여 동작하도록 구성될 수도 있다.
[도 10]은 본 발명의 구성인 전동실린더 부재를 발췌하여 그 전동실린더 부재가 수축된 상태를 도시한 예시도이고, [도 11]은 [도 10]에서의 전동실린더 부재가 확장된 상태를 도시한 도면이고, [도 12]는 [도 11]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면이다.
[도 10] 내지 [도 12]를 참조하면, 전동실린더 부재(110)는 상부 링부재(111), 하부 링부재(112), 직진 로드부재(113), 구동모터 부재(114), 볼 스크류 부재(115)를 구비할 수 있다.
상부 링부재(111)은 [도 10] 내지 [도 12]에서와 같이 전동실린더 부재(110)의 상단부에 대응하는 동력쉬프트 링크부재(130)와의 연결부분으로서 고리 형태로 이루어질 수 있다.
그리고, 상부 링부재(111)는 동력쉬프트 링크부재(130)의 회동샤프트 부재(132)와 상호 회동 가능하게 연결된다.
여기서, 바람직하게는 동력쉬프트 링크부재(130)의 회동샤프트 부재(132)에 끼워지는 상부 링부재(111)의 내주벽에는 그 둘레 방향을 따라 원통형의 상부 탄성링 부재(111a)가 끼워져 일체로 고정될 수 있다.
하부 링부재(112)는 [도 10] 내지 [도 12]에서와 같이 전동실린더 부재(110)의 하단부에 대응하는 하부지지 브라켓부재(120)와의 연결부분으로서 고리 형태로 이루어질 수 있다.
그리고, 하부 링부재(112)는 하부지지 브라켓부재(120)의 돌출된 부분인 회동샤프트 부재와 상호 회동 가능하게 연결된다.
여기서, 하부지지 브라켓부재(120)의 돌출된 부분인 회동샤프트 부재에 끼워지는 하부 링부재(112)의 내주벽에는 그 둘레 방향을 따라 원통형의 하부 탄성링 부재(112a)가 끼워져 일체로 고정될 수 있다.
한편, 전동실린더 부재(110)가 그 길이방향으로의 수축에 대응하는 직진 스트로크를 하면 탑 리드 부재(20)가 힌지샤프트 부재(30)를 기준으로 제자리 회전하면서 챔버 부재(10)의 개구된 상부를 클로즈 하게 된다.
이때, 챔버 부재(10)의 실링을 위해 챔버 부재(10)의 개구된 상부와 맞닿는 탑 리드 부재(20)의 하단면에는 오링이 구비될 수 있다.
즉, 탑 리드 부재(20)에 의해 챔버 부재(10)의 개구된 상부가 클로즈될 때 그 오링이 어느 정도 눌리면서 챔버 부재(10)와 탑 리드 부재(20) 간의 맞닿은 틈새를 실링하게 된다.
그런데, 전동실린더 부재(110)는 [도 4]에서와 같이 챔버 부재(10)와 탑 리드 부재(20)가 수평 상태를 이루어 챔버 부재(10)를 클로즈할 수 있는 정도까지 직진 스크로크를 콘트롤하기 때문에 오링의 압착이 제대로 이루어지지 않아 결국 불완전한 실링(예: 대략 1mm 이내의 들뜸 현상)이 될 수 있다.
이처럼, 챔버 부재(10)와 탑 리드 부재(20) 간의 불완전한 실링을 해소하기 위해 상부 링부재(111)와 하부 링부재(112)에는 각각 상부 탄성링 부재(111a)와 하부 탄성링 부재(112a)를 구비함이 바람직하다.
즉, [도 4]에서와 같이 챔버 부재(10)와 탑 리드 부재(20)가 상호 맞닿아 수평을 이루는 위치에서 전동실린더 부재(110)의 수축에 대응하는 직진 스트로크가 멈추면, 탑 리드 부재(20)의 하중에 따라 상부 탄성링 부재(111a) 또는 하부 탄성링 부재(112a)의 단면 두께(대략 1mm) 만큼 압착되면서 챔버 부재(10)와 탑 리드 부재(20) 간의 실링이 안정적으로 이루어질 수 있다.
직진 로드부재(113)는 자신의 선단부에 상부 링부재(111)가 일체로 형성되고 그 상부 링부재(111)를 통해 자신의 선단부가 동력쉬프트 링크부재(130)에 연결된 상태에서 상하방향으로 직진 스트로크 한다.
구동모터 부재(114)는 하부 링부재(112)를 통해 자신의 후단부가 하부지지 브라켓부재(120)에 연결된 상태로 직진 로드부재(113)의 직진 스트로크를 위한 구동력을 전달한다.
여기서, 볼 스크류 부재(115)는 구동모터 부재(114)와 직진 로드부재(113) 사이에 배치되어 구동모터 부재(114)로부터 인가받은 회전력을 직진 로드부재(113)의 직진 스트로크 동작으로 전환한다.
10 : 챔버 부재
20 : 탑 리드 부재
30 : 힌지샤프트 부재
110 : 전동실린더 부재
111 : 상부 링부재
111a : 상부 탄성링 부재
112 : 하부 링부재
112a : 하부 탄성링 부재
113 : 직진 로드부재
114 : 구동모터 부재
115 : 볼 스크류 부재
120 : 하부지지 브라켓부재
130 : 동력쉬프트 링크부재
131 : 링크 몸체부재
132 : 회동샤프트 부재
133 : 샤프트 홀더부재
140 : 탑 리드 스토퍼 부재
20 : 탑 리드 부재
30 : 힌지샤프트 부재
110 : 전동실린더 부재
111 : 상부 링부재
111a : 상부 탄성링 부재
112 : 하부 링부재
112a : 하부 탄성링 부재
113 : 직진 로드부재
114 : 구동모터 부재
115 : 볼 스크류 부재
120 : 하부지지 브라켓부재
130 : 동력쉬프트 링크부재
131 : 링크 몸체부재
132 : 회동샤프트 부재
133 : 샤프트 홀더부재
140 : 탑 리드 스토퍼 부재
Claims (6)
- 힌지샤프트 부재를 기준으로 상호 회동 가능하게 연결되는 챔버 부재와 탑 리드 부재에서 상기 챔버 부재를 기준으로 상기 탑 리드 부재를 들어올리거나 내림에 따라 상기 챔버 부재의 상부를 개폐시키는 전동실린더를 이용한 탑 리드의 둔각 오픈용 탑 리드 개폐 장치로서,
자신의 하단부가 상기 챔버 부재의 일측벽에 연결되고 자신의 상단부가 상기 탑 리드 부재의 일측벽에 연결된 상태에서 자신의 하단부를 지지 기반으로 자신의 길이방향을 따라 직진 스트로크 함에 따라 상기 챔버 부재에 대해 상기 탑 리드 부재를 들어올리거나 내리는 전동실린더 부재(110);
상기 챔버 부재의 일측벽에 고정 연결되고 상기 전동실린더 부재의 하단부와 회동 가능하게 연결되어 상기 전동실린더 부재의 직진 스트로크시 상기 전동실린더 부재의 하부를 지지하는 하부지지 브라켓부재(120);
상기 탑 리드 부재의 일측벽에 고정 연결되고 상기 전동실린더 부재의 회동축 부분과 상호 회동 가능하게 연결되며 상기 회동축 부분이 자신의 하부에서 하방향 돌출 타입의 반원형으로 움직이도록 가이드하는 동력쉬프트 링크부재(130);
상기 힌지샤프트 부재의 하부에 대응하는 상기 챔버 부재의 일측부에 돌출된 형태로 배치되어 상기 챔버 부재로부터 오픈되는 과정의 상기 탑 리드 부재의 측벽을 지지하는 탑 리드 스토퍼 부재(140);
를 포함하여 구성되는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 동력쉬프트 링크부재(130)는,
상기 탑 리드 부재의 일측벽에 속이 찬 블록 형태로 고정 연결되는 링크 몸체부재(131);
상기 링크 몸체부재의 하부에 배치된 상태로 상기 전동실린더 부재의 회동축 부분에 회동 가능하게 연결되도록 상기 탑 리드 부재의 측방향으로 돌출 형성되는 회동샤프트 부재(132);
상기 링크 몸체부재의 하부에 배치되어 상기 링크 몸체부재와 일체로 연결되며 상기 회동샤프트 부재의 일단부가 자신의 내측에 구속된 상태로 하방향 돌출 타입의 반원형으로 움직일 수 있도록 하방향 돌출 타입으로 반원형의 속이 빈 공간을 구비하는 샤프트 홀더부재(133);
를 구비하는 것을 특징으로 하는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치.
- 청구항 2에 있어서,
상기 전동실린더 부재(110)는 상기 동력쉬프트 링크부재와의 연결부분이 고리 형태의 상부 링부재(111)로 이루어짐에 따라 상기 동력쉬프트 링크부재의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 상기 동력쉬프트 링크부재의 돌출된 부분에 끼워지는 상기 상부 링부재의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 상부 탄성링 부재(111a)가 구비되는 것을 특징으로 하는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치.
- 청구항 3에 있어서,
상기 전동실린더 부재(110)는 상기 하부지지 브라켓부재와의 연결부분이 고리 형태의 하부 링부재(112)로 이루어짐에 따라 상기 하부지지 브라켓부재의 돌출된 부분과 상호 회동 가능하게 연결되고 상기 하부지지 브라켓부재의 돌출된 부분에 끼워지는 상기 하부 링부재의 내주벽에는 둘레 방향을 따라 하부 탄성링 부재(112a)가 구비되는 것을 특징으로 하는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치.
- 청구항 4에 있어서,
상기 전동실린더 부재(110)는,
선단부에 상기 상부 링부재가 일체로 형성되고 상기 상부 링부재를 통해 자신의 선단부가 상기 동력쉬프트 링크부재에 연결된 상태에서 상하방향으로 직진 스트로크 하는 직진 로드부재(113);
상기 하부 링부재를 통해 자신의 후단부가 상기 하부지지 브라켓부재에 연결된 상태로 상기 직진 로드부재의 직진 스트로크를 위한 구동력을 전달하는 구동모터 부재(114);
상기 구동모터 부재와 상기 직진 로드부재 사이에 배치되어 상기 구동모터 부재의 회전력을 상기 직진 로드부재의 직진 스트로크 동작으로 전환하는 볼 스크류 부재(115);
를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 전동실린더 부재, 상기 하부지지 브라켓부재, 상기 동력쉬프트 링크부재는 상기 힌지샤프트 부재의 일단부와 타단부에 대응하는 위치에 각각 배치됨에 따라 듀얼로 상호 협동하여 동작하는 것을 특징으로 하는 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치.
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| KR1020210056019A KR102261600B1 (ko) | 2021-04-29 | 2021-04-29 | 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치 |
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| KR1020210056019A KR102261600B1 (ko) | 2021-04-29 | 2021-04-29 | 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치 |
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| KR1020210056019A KR102261600B1 (ko) | 2021-04-29 | 2021-04-29 | 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치 |
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| KR19980065413A (ko) * | 1997-01-09 | 1998-10-15 | 김광호 | 반도체장치 제조용 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치 |
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| KR20080082211A (ko) * | 2007-03-08 | 2008-09-11 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버 |
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2021
- 2021-04-29 KR KR1020210056019A patent/KR102261600B1/ko active IP Right Grant
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