CN218859684U - 一种基于柔性铰链的旋转位移台 - Google Patents
一种基于柔性铰链的旋转位移台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218859684U CN218859684U CN202223084039.5U CN202223084039U CN218859684U CN 218859684 U CN218859684 U CN 218859684U CN 202223084039 U CN202223084039 U CN 202223084039U CN 218859684 U CN218859684 U CN 218859684U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- flexible hinge
- base
- main shaft
- rotary displacement
- rotating platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
本实用新型涉及半导体加工设备领域，本实用新型公开了一种基于柔性铰链的旋转位移台，包括底座；柔性铰链，安装于底座，柔性铰链包括与底座同轴一体设置的主轴，以及周向外延于主轴外围的多个弹片；多个弹片的下底面与底座的上表面隔空设置；旋转台，罩设于柔性铰链并与主轴转动连接；旋转台的下端口与底座间隙配合；旋转台的侧壁与弹片远离主轴的一端相连接；驱动装置，安装于旋转台与底座所构成的腔体内，并通过多个弹片驱动旋转台旋转。本实用新型为基于柔性铰链设置的旋转位移台，结构简单，加工方便，克服了常规技术中刚性位移台响应滞后等缺陷，能够自动驱动位移台台面旋转，且不易出现轴漂，位置精确，同时在Z向具备较好的承载能力。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械领域，特别是涉及一种基于柔性铰链的旋转位移台。
背景技术
现有技术下的运动平台大多采用刚性件装配而成，譬如用于实现工件旋转调整角度的位移台，大多都是通过旋转电机或气缸带动工作台转动的方式实现，以此方式设计，由于装配后的刚性件之间会存在响应滞后、装配间隙大、容易磨损等缺点，因此使得以此方式装配而成的位移台精度和寿命都大大降低。
而柔性铰链作为通过材料自身的弹性弯曲形变来实现高精度的相对运动的器件，具有无摩擦损耗、无需润滑、无迟滞、无需维护、结构紧凑、易于制造等优点，因此如何采用柔性铰链设计一款能够满足工件转动的位移台，成为一个亟需解决的技术问题。
因此本领域技术人员致力于开发一种基于柔性铰链的旋转位移台。
实用新型内容
有鉴于现有技术的上述缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于柔性铰链的旋转位移台。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种基于柔性铰链的旋转位移台，包括：
底座；
柔性铰链，安装于所述底座，所述柔性铰链包括与所述底座同轴一体设置的主轴，以及周向外延于所述主轴外围的多个弹片；多个所述弹片的下底面与所述底座的上表面隔空设置；
旋转台，罩设于所述柔性铰链并与所述主轴转动连接；所述旋转台的下端口与所述底座间隙配合；所述旋转台的侧壁与所述弹片远离所述主轴的一端相连接；
驱动装置，安装于所述旋转台与所述底座所构成的腔体内，并通过多个所述弹片驱动所述旋转台旋转。
本专利为基于柔性铰链设计的位移台，克服了刚性位移台响应滞后等缺点，能够自动地驱动位移台台面旋转，同时还能使得位移台Z向具备较好的承载能力，且方便加工。
较佳的，所述旋转台包括顶盖，所述顶盖周向设置有向下的侧壁，所述侧壁内侧设有与所述弹片相配合的卡座，所述卡座轴向设置有开口向下的卡槽。向下开口的卡槽，便于旋转台盖设下来时与弹片相对配合，进一步，通过弹片与卡座的配合，当弹片受力运动时，可驱使旋转台的运动。
较佳的，所述主轴上部设置为阶梯轴，所述阶梯轴上套设有滚动轴承，所述滚动轴承外侧与凹设于旋转台内底面的凹坑紧配。
较佳的，各所述弹片相对于主轴两两相对设置，且位于同一直线，如此设置，可减少柔性铰链的轴漂。
较佳的，所述驱动装置的动力输出端呈顺时针或逆时针同向设置。如此，使两个相对设置的所述弹片上连接的驱动装置的动力输出端相向设置，从而弹片能够快速响应，且减少轴漂。
较佳的，所述弹片的数量为4个，所述驱动装置为陶瓷压电致动器。
较佳的，所述底座上设置有用于固定驱动装置的定位座，用于固定驱动装置，提高装置稳定性。
较佳的，所述驱动装置连接有控制器。控制器为电控装置的一部分，此处驱动装置与控制器的连接为有线通讯连接或无线通讯连接，控制器与驱动装置的连接为常规连接方式，此不赘述。通过控制器启动驱动装置，能够实用对驱动装置较为精确的控制。
较佳的，所述旋转台上设有角度传感器，所述角度传感器与控制器电连接。角度传感器能够检测到旋转台的旋转角度，将相关数据传输给控制器，控制器从而可以进一步精确调节驱动装置的运动，继而较为精准的控制旋转台的转动角度。
本实用新型的有益效果是：本实用新型为基于柔性铰链设置的旋转位移台，结构简单，加工方便，克服了常规技术中刚性位移台响应滞后等缺陷，能够自动驱动位移台台面旋转，同时在Z向具备较好的承载能力。
附图说明
图1是本实用新型一具体实施方式的结构示意图。
图2是图1中A-A向的剖视结构示意图。
图3是图2中B处的放大结构示意图。
图4是图1去除旋转台后的结构示意图。
图5是本实用新型一具体实施方式旋转台开口端的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明，需注意的是，在本实用新型的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方式构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
如图1和图2所示，一种基于柔性铰链的旋转位移台，包括底座1及柔性铰链，柔性铰链安装于底座1，柔性铰链包括与底座同轴一体设置的主轴11，以及周向外延于主轴外围的多个弹片12，多个弹片12的下底面与底座1的上表面隔空设置，继而避免与底座1干涉。旋转台2，罩设于柔性铰链并与主轴11转动连接，本实施例中，转动连接为轴承连接，旋转台2的下端口与底座1间隙配合，使旋转台可自由旋转。旋转台2的侧壁23与弹片12远离主轴的一端相连接。驱动装置，安装于旋转台2与底座1所构成的腔体内，并通过多个弹片12驱动旋转台2旋转。
具体的，旋转台2包括顶盖22，顶盖22周向上设置有向下的侧壁23，侧壁23内侧设有与弹片12相配合的卡座21，卡座21轴向设置有开口向下的卡槽。通过设置为开口向下的卡槽，能够方便旋转台盖设到柔性铰链上时弹片12端部与卡座21相卡接。当驱动装置驱动弹片12时，能够通过弹片12带动旋转台2旋转，以此调整摆放于旋转台2上的工件的摆放角度。
如图2和图3所示，主轴11上部设置为阶梯轴，阶梯轴上套设有滚动轴承3，滚动轴承3外侧与凹设于旋转台2内底面的凹坑24紧配。滚动轴承3的设置使旋转台绕主轴11转动时阻力减小，更利于平台的旋转，凹坑24的设置不仅能够保证旋转台2台面的完整性，同时还能够避免滚动轴承3外露。
如图4和图5所示，本实施例中，弹片12的数量为4个，各弹片12相对于主轴两两相对设置，均布设置，呈直线状。驱动装置的动力输出端呈顺时针或逆时针同向设置，从而两个相对设置的弹片12连接的驱动装置的动力输出端相向设置。驱动装置为陶瓷压电致动器41。底座1上设置有用于固定驱动装置的定位座42。当4个驱动装置(陶瓷压电致动器41)同时启动施力时，就会带动弹片12旋转，从而推动旋转台2旋转。
驱动装置连接有控制器(未图示)，通过控制器控制驱动装置，能够进一步提升驱动精度，有效控制旋转台2的旋转角度，本实施例中，旋转台2上设有角度传感器(未图示)，角度传感器与控制器电连接。以此通过角度传感器检测到的角度调整陶瓷压电致动器41的运动，再将相关数据传输给控制器，控制器通过对数据分析，再将启停指令发送给驱动装置，继而较为精准的控制旋转台2的转动角度。有关角度传感器与控制器的具体设置，相关技术中都较为常用，在此不做具体赘述。
本实用新型的位移台通过驱动装置的驱动，能够驱使柔性铰链产生形变，继而带动旋转台2旋转，之后还可以柔性铰链的弹力自动复位，该旋转位移台结构简单，易于操控，且旋转角度可控。
以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (9)
1.一种基于柔性铰链的旋转位移台，其特征在于，包括：
底座(1)；
柔性铰链，安装于所述底座(1)，所述柔性铰链包括与所述底座同轴一体设置的主轴(11)，以及周向外延于所述主轴外围的多个弹片(12)；多个所述弹片(12)的下底面与所述底座的上表面隔空设置；
旋转台(2)，罩设于所述柔性铰链并与所述主轴(11)转动连接；所述旋转台(2)的下端口与所述底座(1)间隙配合；所述旋转台(2)的侧壁与所述弹片(12)远离所述主轴(11)的一端相连接；
驱动装置，安装于所述旋转台(2)与所述底座(1)所构成的腔体内，并通过多个所述弹片(12)驱动所述旋转台(2)旋转。
2.如权利要求1所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述旋转台(2)包括顶盖(22)，所述顶盖(22)周向设置有向下的侧壁(23)，所述侧壁(23)内侧设有与所述弹片(12)相配合的卡座(21)，所述卡座(21)轴向设置有开口向下的卡槽。
3.如权利要求1所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述主轴(11)上部设置为阶梯轴，所述阶梯轴上套设有滚动轴承(3)，所述滚动轴承(3)外侧与凹设于旋转台(2)内底面的凹坑(24)紧配。
4.如权利要求1所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：各所述弹片(12)相对于主轴两两相对设置且位于同一直线。
5.如权利要求4所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述驱动装置的动力输出端呈顺时针或逆时针同向设置。
6.如权利要求1所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述弹片(12)的数量为4个，所述驱动装置为陶瓷压电致动器(41)。
7.如权利要求1所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述底座(1)上设置有用于固定驱动装置的定位座(42)。
8.如权利要求1所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述驱动装置连接有控制器。
9.如权利要求8所述的基于柔性铰链的旋转位移台，其特征是：所述旋转台(2)上设有角度传感器，所述角度传感器与控制器电连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223084039.5U CN218859684U (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 一种基于柔性铰链的旋转位移台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223084039.5U CN218859684U (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 一种基于柔性铰链的旋转位移台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218859684U true CN218859684U (zh) | 2023-04-14 |
Family
ID=87376845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223084039.5U Active CN218859684U (zh) | 2022-11-17 | 2022-11-17 | 一种基于柔性铰链的旋转位移台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218859684U (zh) |
-
2022
- 2022-11-17 CN CN202223084039.5U patent/CN218859684U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3372341B1 (en) | Double disc surface grinding machine and grinding method | |
| CN109940498A (zh) | 齿轮抛光装置 | |
| CN218859684U (zh) | 一种基于柔性铰链的旋转位移台 | |
| CN106174689A (zh) | 用于输送、检验和/或加工烟草加工业的棒状制品的装置 | |
| WO2006112077A1 (ja) | 産業用ロボット | |
| JP3137647B2 (ja) | 回転体を動的に平衡させるための装置 | |
| JPH11254210A (ja) | 道具位置調整構造および作業機械 | |
| CN209267393U (zh) | 电机旋变转子自动装配机构 | |
| CN107627133B (zh) | 多边形多工位双层刀库 | |
| CN111300270B (zh) | 一种高精度式的智能自动化砂轮修整装置 | |
| CN208697041U (zh) | 一种镜片削边装置 | |
| CN102059559A (zh) | 一种数控机床立式回转工作台 | |
| CN207606631U (zh) | 磨床用顶尖打磨修复装置 | |
| CN214871233U (zh) | 一种包括升降结构的雕刻机 | |
| CN215242884U (zh) | 一种料卷自动夹装装置及贴膜机 | |
| US6685538B1 (en) | Machine for machining a volume, in particular an inlay, by automatic duplicating | |
| CN213797148U (zh) | 一种防止模具损坏的装置 | |
| JPH0627304Y2 (ja) | 回転テ−ブル駆動装置 | |
| CN220074530U (zh) | 一种电动工具零部件的加工校对装置 | |
| JPH07285003A (ja) | ボーリング用ツール | |
| CN215186366U (zh) | 一种电机定子辅助绕线装置 | |
| CN217097254U (zh) | 一种用于轴加工的旋转定位装置 | |
| CN213703448U (zh) | 一种机器人装卸用平移机构 | |
| CN215599320U (zh) | 一种电机调速检测台 | |
| CN211576079U (zh) | 用于自润轴承轴套工件石墨孔定位的视觉识别装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |