KR20080082211A - 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버 - Google Patents

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KR20080082211A
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Abstract

기판 처리를 위한 챔버의 커버가 개시된다. 상기 커버는, 기판 처리 공정이 수행되는 처리 챔버의 상부의 개구를 커버하며 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합된 커버 플레이트와, 상기 커버 플레이트의 회전축(rotational axis)과 평행한 회전축을 갖도록 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 힌지 결합된 적어도 하나의 로드 및 상기 로드의 자유단에 결합되어 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하는 지점에 놓여지는 고정 바(bar)를 포함하는 고정 부재와, 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하도록 상기 처리 챔버의 상부에 배치되며 상기 커버 플레이트가 개방된 경우 상기 커버 플레이트가 개방된 상태로 유지되도록 하기 위하여 상기 고정 바가 걸리는 고정 홈을 갖는 걸림턱과, 상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되며 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방된 상태에서 상기 고정 바를 구속하고 상기 더 개방된 상태에서 상기 커버 플레이트를 닫는 동안 상기 구속된 상태를 유지하여 상기 고정 바가 상기 걸림턱을 넘어가도록 상기 고정 바를 안내하는 안내 부재를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버{Cover of processing chamber used in substrate processing apparatus}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 처리 챔버의 커버 개폐를 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6은 도 1에 도시된 안내 부재를 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 도 6에 도시된 안내 부재의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.
도 8은 도 6에 도시된 안내 부재의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 10은 도 9에 도시된 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 평면도이다.
도 11 내지 도 13은 도 9에 도시된 처리 챔버의 커버 개폐를 설명하기 위한 개략도들이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 처리 챔버 12 : 개구
100 : 커버 110 : 커버 플레이트
120 : 고정 부재 122 : 로드
124 : 고정 바 130 : 걸림턱
132 : 고정 홈 140 : 안내 부재
142 : 안내 플레이트 144 : 영구 자석
146 : 경사면 플레이트
본 발명은 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 평판형 기판을 처리하기 위한 장치에서 처리 공정이 수행되는 처리 챔버의 상부를 개폐하는 커버에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치는 유리 기판과 같은 대상 기판에 대하여 다양한 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다.
예를 들면, 대상 기판에 대하여 막 형성 공정, 패터닝 공정, 세정 공정 등과 같은 단위 공정들이 수행됨으로써 상기 기판 상에는 목적하는 전기적 또는 광학적 특성들을 갖는 회로 패턴들이 형성될 수 있으며, 이들 단위 공정들은 목적하는 장치를 위해 제공되는 특정 레시피에 따라 클린룸 내에 위치되는 다양한 공정 설비들 에 의해 수행될 수 있다.
상기 막 형성 공정은 대상 기판 상에 소스 물질을 제공하여 이들을 물리적 화학적으로 반응시킴으로써 형성될 수 있다. 예를 들면, 화학 기상 증착, 물리 기상 증착, 원자층 증착, 등과 같은 다양한 방법들이 적용될 수 있다. 상기 패터닝 공정은 상기 막 형성 공정에 의해 형성된 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위하여 수행되며, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 세정 공정 등과 같은 단위 공정들을 포함할 수 있다.
상기 공정들 중에서 습식 식각, 세정, 스트립, 현상, 건조 등과 같은 처리 공정들은 처리 챔버를 갖는 기판 처리 장치에 의해 수행될 수 있다. 상기 처리 챔버 내에는 상기 기판을 지지하여 일 방향으로 이송하기 위한 회전축들 및 롤러들이 배치될 수 있다. 또한, 상기 기판 상으로 처리 용액 또는 처리 가스를 제공하는 처리 물질 제공부가 구비될 수 있다.
한편, 상기 처리 챔버의 상부에는 상기 처리 챔버 내부의 구성 부품들의 유지 보수 또는 교체를 위한 개구가 구비되며, 상기 개구를 개폐하는 커버가 구비될 수 있다.
상기 커버는 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합된 커버 플레이트를 포함하며, 상기 커버 플레이트가 개방된 상태를 유지하기 위한 고정 부재가 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 고정 부재는 상기 커버 플레이트의 회전축(rotational axis)과 평행한 회전축을 갖도록 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 힌지 결합되는 한 쌍의 로드들과, 상기 로드들의 자유단 부위 들에 결합되어 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하는 지점에 놓여지는 고정 바(bar)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 처리 챔버의 상부에는 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하도록 배치되어 상기 커버가 개방된 경우 상기 커버 플레이트가 개방된 상태로 유지되도록 하기 위한 걸림턱이 구비된다. 상기 걸림턱의 측면 부위에는 상기 고정 바가 고정되는 고정 홈이 형성되어 있다.
상기와 같은 구성에서, 상기 커버 플레이트가 개방된 경우 상기 고정 바가 상기 고정 홈에 의해 구속됨으로서 상기 커버 플레이트의 개방 상태가 유지될 수 있다. 그러나, 상기 커버를 닫기 위해서는 상기 고정 바의 구속 상태를 해제해야 하는데, 종래의 기판 처리 장치에서는 상기 고정 바의 구속 상태를 해제하기 위하여 상기 고정 바에 힌지 결합된 핸들이 사용되고 있다. 즉, 고정 바의 구속 상태를 해제하기 위하여 상기 커버를 더 개방시키고 상기 핸들을 이용하여 상기 고정 바가 상기 고정 홈에 걸리지 않도록 들어올린 상태에서 커버를 닫을 수 있다. 상기와 같은 작업은 수동 조작에 의지하므로 사용자에게 매우 불편할 뿐 아니라 안전 사고의 위험이 있으므로 이에 대한 개선이 요구되고 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 처리 챔버의 개구를 닫는 과정에서 개방된 커버 플레이트의 구속 상태를 용이하게 해제할 수 있는 처리 챔버의 커버를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 처리 챔버의 커버는, 기판 처리 공정이 수행되는 처리 챔버의 상부의 개구를 커버하며, 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합된 커버 플레이트와, 상기 커버 플레이트의 회전축(rotational axis)과 평행한 회전축을 갖도록 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 힌지 결합된 적어도 하나의 로드와, 상기 로드의 자유단에 결합되어 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하는 지점에 놓여지는 고정 바(bar)를 포함하는 고정 부재와, 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하도록 상기 처리 챔버의 상부에 배치되며, 상기 커버 플레이트가 개방된 경우 상기 커버 플레이트가 개방된 상태로 유지되도록 하기 위하여 상기 고정 바가 걸리는 고정 홈을 갖는 걸림턱과, 상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되며, 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방된 상태에서 상기 고정 바를 구속하고, 상기 더 개방된 상태에서 상기 커버 플레이트를 닫는 동안 상기 구속된 상태를 유지하여 상기 고정 바가 상기 걸림턱을 넘어가도록 상기 고정 바를 안내하는 안내 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 고정 부재는 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 힌지 결합된 한 쌍의 로드들을 포함하며, 상기 고정 바는 상기 로드들의 자유단 부위들 사이에 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 안내 부재는, 상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되는 안내 플레이트와, 상기 안내 플레이트의 상부면 부위에 장착되어 자기력을 이용하 여 상기 고정 바를 구속하기 위한 영구 자석을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 처리 챔버의 커버는 상기 안내 플레이트의 힌지부에 인접하여 배치되며 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방되는 동안 상기 고정 바가 상기 안내 플레이트의 상부면을 따라 이동할 수 있도록 안내하는 경사면을 갖는 경사면 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 안내 플레이트의 상부면 부위에는 상기 영구 자석이 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 안내 부재는 상기 안내 플레이트의 홈에 삽입된 영구 자석을 보호하기 위하여 상기 영구 자석 상에 배치되는 보호 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 처리 챔버의 상부면 부위에는 상기 안내 플레이트가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 안내 부재는 상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되며, 상기 고정 바를 구속하기 위한 제2 고정 홈을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 처리 챔버의 커버는 상기 안내 부재의 힌지부에 인접하여 배치되며 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방되는 동안 상기 고정 바가 상기 안내 부재의 상부면을 따라 이동할 수 있도록 안내하는 경사면을 갖는 경사 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 안내 부재의 상부면은 상기 경사 부재와 동일한 방향으로 경사지게 구성될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 고정 부재의 고정 바는 커버 플레이트가 개방된 상태에서 걸림턱의 고정 홈에 의해 구속되어 상기 커버 플레이트의 개방 상태를 유지시키며, 상기 고정 홈에 의한 구속 상태는 커버 플레이트를 더 개방시킴으로써 해제될 수 있다. 이후, 상기 고정 부재의 고정 바가 안내 부재의 영구 자석 또는 제2 고정 홈에 의해 구속된 상태에서 상기 커버 플레이트가 닫힐 수 있다. 따라서, 고정 바의 구속 상태가 자동적으로 이루어짐으로써 사용자의 불편함이 해소될 수 있으며, 이에 따른 안전 사고의 위험이 제거될 수 있다.
실시예
이하, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나, 본 발명은 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 또는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔 버의 커버를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 평면도이고, 도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 처리 챔버의 커버 개폐를 설명하기 위한 개략도들이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 처리 챔버(10)의 커버(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행하는 장치에 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판에 대한 식각, 세정, 스트립, 현상, 건조 등과 같은 공정들을 수행하기 위한 처리 챔버(10)에 채용될 수 있다.
상기 처리 챔버(10)의 상부에는 상기 처리 챔버(10) 내부를 관리하기 위하여 제공되는 개구(12)가 형성되어 있으며, 사용자는 상기 개구(12)를 통해 상기 처리 챔버(10) 내부의 부품들의 교체 또는 보수 작업을 수행할 수 있다.
상기 커버(100)는 상기 개구(12)를 커버하기 위하여 구비되며, 상기 개구(12)의 일측에 힌지 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 커버(100)는 상기 개구(12)에 인접하도록 상기 처리 챔버(10)의 상부에 힌지 결합된 커버 플레이트(110)를 포함할 수 있다.
상기 커버 플레이트(110)의 상부에는 상기 커버 플레이트(110)의 개방 상태를 유지하기 위한 고정 부재(120)가 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 커버 플레이트(110)의 상부에는 상기 커버 플레이트(110)의 힌지부의 회전축(rotational axis)과 평행한 회전축을 갖도록 힌지 결합되는 적어도 하나의 로드(122)와 상기 로드(122)의 자유단 부위에 결합되는 고정 바(124)가 배치되며, 상기 고정 바(124)는 평상시 상기 커버 플레이트(110)의 힌지부와 인접한 지점에 놓여진다. 예를 들 면, 상기 커버 플레이트(110)의 상부에는 한 쌍의 로드들(122)이 힌지 결합되며, 상기 로드들(122)의 자유단 부위들 사이에 상기 고정 바(124)가 결합된다. 상기 고정 바(124)는 상기 커버 플레이트(110)의 회전축과 평행하게 연장할 수 있다.
또한, 도시되지는 않았으나, 상기 커버 플레이트(110)의 상부 일측에는 상기 커버 플레이트(110)의 개방 및 폐쇄를 위한 손잡이가 구비될 수 있다.
상기 커버 플레이트(110)의 힌지부와 인접한 부위에는 상기 커버 플레이트(110)가 개방된 경우, 상기 커버 플레이트(110)가 개방된 상태를 유지하도록 하기 위하여 상기 고정 바(124)를 구속하는 걸림턱(130)이 배치될 수 있다. 도 2에 도시된 바에 의하면, 한 쌍의 걸림턱(130)이 처리 챔버(10)의 상부에 배치될 수 있으며, 상기 걸림턱(130)은 상기 고정 바(124)를 구속하기 위한 고정 홈(132)을 갖는다.
상기 걸림턱(130)을 기준으로 상기 커버 플레이트(110)의 힌지부와 대향하는 지점에는 상기 커버 플레이트(110)가 닫힐 때 상기 고정 바(124)가 상기 걸림턱(130)에 걸리지 않도록 하기 위한 안내 부재(140)가 배치될 수 있다.
상기 안내 부재(140)는 상기 걸림턱(130)을 기준으로 상기 커버 플레이트(110)의 힌지부에 대향하도록 상기 처리 챔버(10)의 상부에 힌지 결합되는 안내 플레이트(142)와, 상기 안내 플레이트(142) 상에 장착되며 자기력을 이용하여 상기 고정 바(124)를 구속하기 위한 영구 자석(144)을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 커버 플레이트(110)가 상기 개방된 상태, 즉 상기 걸림턱(130)에 의해 고정 바(124)가 구속되어 있는 상태보다 더 개방된 상태에서 상기 고정 바(124)는 상기 영구 자석(144)에 의해 이차 구속된다. 이어서, 상기 영구 자석(144)에 의해 상기 고정 바(124)가 구속된 상태에서 상기 커버 플레이트(110)를 닫는 경우 상기 고정 바(124)는 상기 영구 자석(144)에 의해 구속된 상태이므로, 상기 안내 플레이트(142)의 회전에 의해 상기 고정 바(124)는 상기 걸림턱(130)에 걸리지 않고 상기 걸림턱(130)의 상부로 넘어갈 수 있다. 즉, 사용자는 상기 커버 플레이트(110)를 조금 더 개방시켜서 상기 고정 바(124)를 영구 자석(144)에 구속시킨 후 상기 커버 플레이트(110)를 닫는 동작을 통하여 종래의 경우와 같이 걸림턱(130)에 의한 고정 바의 구속 상태를 수동으로 해제해야 하는 불편함을 제거할 수 있으며, 이에 따른 안전 사고의 위험을 제거할 수 있다.
한편, 상기 안내 부재(140)의 회전각은 상기 고정 바(124)를 안내한 후 원 위치로 돌아갈 수 있도록 90° 미만으로 한정되는 것이 바람직하다. 즉, 도시되지는 않았으나, 상기 안내 부재(140)의 회전각을 90° 미만으로 한정하기 위한 스토퍼(stopper)가 상기 처리 챔버(10)의 상부에 배치될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 안내 부재(140)의 회전각을 한정하지 않고 상기 안내 부재(140)를 원래의 위치로 되돌릴 수 있는 별도의 리터닝(returning) 부재(미도시)가 설치될 수도 있다. 예를 들면, 스프링과 댐퍼를 이용하여 상기 안내 부재(140)를 원래의 위치로 되돌릴 수도 있으며, 단동 실린더를 이용하여 상기 안내 부재(140)를 원래의 위치로 되돌릴 수도 있다.
도 6은 도 1에 도시된 안내 부재를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1, 도 2 및 도 6을 참조하면, 상기 안내 플레이트(142)의 힌지부에 인접 하는 지점에는 상기 커버 플레이트(110)가 사용자에 의해 더 개방되는 동안 상기 고정 바(124)가 상기 안내 플레이트(142)의 상부면을 따라 이동할 수 있도록 안내하기 위한 경사면을 갖는 경사면 플레이트(146)가 배치될 수 있다.
또한, 상기 안내 플레이트(142)의 상부면 부위에는 상기 고정 바(124)가 상기 영구 자석(144)의 상부면 상에 용이하게 부착될 수 있도록 상기 영구 자석(144)이 삽입되는 홈(142a)이 형성되어 있으며, 상기 영구 자석(144)의 상부면은 상기 안내 플레이트(142)의 상부면과 동일한 평면 상에 위치되도록 상기 홈(142a)의 깊이와 동일한 두께를 갖는 것이 바람직하다.
도 7은 도 6에 도시된 안내 부재의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.
도 7을 참조하면, 안내 부재(240)는 안내 플레이트(242)와 영구 자석(244) 및 경사면 플레이트(246)를 포함할 수 있다. 상기 안내 플레이트(242), 영구 자석(244) 및 경사면 플레이트(246)는 상기 도 6을 참조하여 설명된 바와 동일하므로 이들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 안내 플레이트(242)의 상부면 부위에는 상기 영구 자석(244)이 삽입되는 홈(242a)이 형성되어 있으며, 상기 홈(242a) 내부에 삽입된 영구 자석(244) 상에는 상기 영구 자석(244)을 보호하기 위한 보호 플레이트(248)가 배치될 수 있다. 여기서, 상기 보호 플레이트(248)의 상부면은 상기 안내 플레이트(242)의 상부면과 동일한 높이를 가질 수 있다.
따라서, 상기 고정 바(124; 도 1 참조)를 구속하는 동작에 의해 상기 영구 자석(244)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 8은 도 6에 도시된 안내 부재의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.
도 8을 참조하면, 안내 부재(340)는 안내 플레이트(342)와 영구 자석(344)을 포함할 수 있다. 상기 안내 플레이트(340) 및 영구 자석(344) 각각은 상기 도 6을 참조하여 설명된 바와 동일하므로 이들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 처리 챔버(20)의 상부면 부위에는 상기 안내 부재(340)가 배치되는 홈(20a)이 형성되어 있으며, 상기 안내 부재(340)는 안내 플레이트(342)의 상부면이 상기 처리 챔버(20)의 상부면과 동일한 높이에 위치되도록 상기 홈(20a) 내에 배치될 수 있다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같은 경사면 플레이트(146)가 없는 상태에서도 용이하게 고정 바(124; 도 1 참조)가 상기 안내 플레이트(342) 및 영구 자석(344) 상으로 이동될 수 있다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 10은 도 9에 도시된 처리 챔버의 커버를 설명하기 위한 평면도이다. 도 11 내지 도 13은 도 9에 도시된 처리 챔버의 커버 개폐를 설명하기 위한 개략도들이다.
도 9 내지 도 13에 도시된 바에 의하면, 본 실시예의 커버(200)는 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행하는 처리 챔버(10)에 적용될 수 있다. 상기 커버(200)는 상기 처리 챔버(10)의 상부에 힌지 결합된 커버 플레이트(210), 상기 커버 플레이트(210)에 인접하도록 상기 처리 챔버(10)의 상부에 힌지 결합되며 적어도 하나의 로드(222)와 고정 바(224)를 포함하는 고정 부재(220), 상기 커버 플레이트(210)의 개방 상태를 유지하기 위한 걸림턱(230) 및 상기 커버 플레이트(210)를 닫는 동안 상기 고정 바(224)를 안내하는 적어도 하나의 안내 부재(240)를 포함할 수 있다. 상기 걸림턱(230)은 상기 고정 바(224)가 구속되는 제1 고정 홈(232)을 가질 수 있다.
상기 커버 플레이트(210), 고정 부재(220) 및 걸림턱(230)은 도 1 내지 도 8을 참조하여 전술된 제1 실시예의 경우와 실질적으로 동일하므로 이들에 대한 상세 설명은 생략하기로 한다.
상기 안내 부재(240)는 상기 걸림턱(230)을 기준으로 상기 커버 플레이트(210)의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버(10)의 상부에 힌지 결합될 수 있으며, 상기 고정 바(224)를 구속하기 위한 제2 고정 홈(242)을 가질 수 있다. 여기서, 상기 제2 고정 홈(242)은 상기 안내 부재(240)의 자유단 부위에 제공될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 처리 챔버(10)의 상부에는 한 쌍의 안내 부재들(240)이 배치되어 있다. 그러나, 상기 안내 부재(240)의 수량은 본 발명의 범위를 제한하지는 않는다.
상기 안내 부재(240)의 힌지부에 인접하는 지점에는 상기 커버 플레이트(210)를 닫기 위하여 사용자에 의해 상기 커버 플레이트(210)가 상기 걸림턱(230)에 의해 유지된 상태보다 더 개방되는 동안 상기 고정 바(224)가 상기 안내 부재(240)의 상부면을 따라 이동할 수 있도록 안내하는 경사면을 갖는 경사 부재(244)가 배치될 수 있다. 여기서, 상기 안내 부재(240)의 상부면은 상기 경사 부재(244)의 경사면과 동일한 방향으로 소정의 경사도를 가질 수 있다. 그러나, 상기 안내 부재(240)의 경사도는 경사 부재(244)의 경사도와 동일하게 구성될 수 있다. 그러나, 경우에 따라서 상기 안내 부재(240)와 경사 부재(244)는 서로 다른 경사도를 가질 수도 있다.
상기와 같이 고정 부재(220)의 고정 바(224)는 사용자에 의해 커버 플레이트(210)가 더 개방된 상태에서 상기 안내 부재(240)의 제2 고정 홈(242)에 의해 구속될 수 있으며, 상기 커버 플레이트(210)가 닫히는 동안 상기 안내 부재(240)의 회전에 의해 상기 걸림턱(230)에 간섭되지 않는다. 이에 따라, 상기 커버 플레이트(210)를 닫는 동안 수동으로 상기 제1 고정 홈(232)에 의한 상기 고정 바(224)의 구속 상태를 해제할 필요가 없으므로 상기 커버 플레이트(210)를 닫는 과정이 보다 간단하게 이루어질 수 있다.
한편, 상기 안내 부재(240)는 상기 커버 플레이트(210)가 닫힌 후 원래의 위치로 되돌아갈 수 있도록 구성될 수도 있다. 이는 별도의 장치를 추가적으로 장착하거나 회전각을 제한함으로써 이루어질 수 있다. 그러나, 상기와는 달리 상기 커버 플레이트(210)가 이후 다시 개방될 때 상기 고정 바(224)에 의해 원래의 위치로 되돌아갈 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 커버 플레이트가 개방된 상태를 유지하기 위하여 걸림턱에 구속된 고정 바는 상기 커버 플레이트의 개방 정도를 증가시킴으로써 안내 부재에 의해 이차 구속될 수 있으며, 상기 커버 플레이트를 닫는 동안 상기 이차 구속된 상태가 유지될 수 있으므로 상기 고정 바와 상기 걸림턱 사이의 간섭을 방지할 수 있다.
따라서, 상기 커버 플레이트의 개폐 동작이 보다 간단하게 이루어질 수 있으므로 상기 고정 바의 구속 상태를 수동으로 해제해야 하는 불편함이 제거될 수 있으며, 또한 상기 고정 바의 수동 해제에 따른 안전 사고의 위험 요소를 제거할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 기판 처리 공정이 수행되는 처리 챔버의 상부의 개구를 커버하며, 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합된 커버 플레이트;
    상기 커버 플레이트의 회전축(rotational axis)과 평행한 회전축을 갖도록 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 힌지 결합된 적어도 하나의 로드와, 상기 로드의 자유단에 결합되어 상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하는 지점에 놓여지는 고정 바(bar)를 포함하는 고정 부재;
    상기 커버 플레이트의 힌지부와 인접하도록 상기 처리 챔버의 상부에 배치되며, 상기 커버 플레이트가 개방된 경우 상기 커버 플레이트가 개방된 상태로 유지되도록 하기 위하여 상기 고정 바가 걸리는 고정 홈을 갖는 걸림턱; 및
    상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되며, 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방된 상태에서 상기 고정 바를 구속하고, 상기 더 개방된 상태에서 상기 커버 플레이트를 닫는 동안 상기 구속된 상태를 유지하여 상기 고정 바가 상기 걸림턱을 넘어가도록 상기 고정 바를 안내하는 안내 부재를 포함하는 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고정 부재는 상기 커버 플레이트의 상부면 부위에 힌지 결합된 한 쌍의 로드들을 포함하며, 상기 고정 바는 상기 로드들의 자유단 부위 들 사이에 결합되는 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
  3. 제1항에 있어서, 상기 안내 부재는,
    상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되는 안내 플레이트; 및
    상기 안내 플레이트의 상부면 부위에 장착되어 자기력을 이용하여 상기 고정 바를 구속하기 위한 영구 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
  4. 제3항에 있어서, 상기 안내 플레이트의 힌지부에 인접하여 배치되며 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방되는 동안 상기 고정 바가 상기 안내 플레이트의 상부면을 따라 이동할 수 있도록 안내하는 경사면을 갖는 경사면 플레이트를 더 포함하는 처리 챔버의 커버.
  5. 제3항에 있어서, 상기 안내 플레이트의 상부면 부위에는 상기 영구 자석이 삽입되는 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
  6. 제5항에 있어서, 상기 안내 부재는 상기 안내 플레이트의 홈에 삽입된 영구 자석을 보호하기 위하여 상기 영구 자석 상에 배치되는 보호 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
  7. 제3항에 있어서, 상기 처리 챔버의 상부면 부위에는 상기 안내 플레이트가 삽입되는 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
  8. 제1항에 있어서, 상기 안내 부재는 상기 걸림턱을 기준으로 상기 커버 플레이트의 힌지부와 대향하여 상기 처리 챔버의 상부에 힌지 결합되며, 상기 고정 바를 구속하기 위한 제2 고정 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
  9. 제8항에 있어서, 상기 안내 부재의 힌지부에 인접하여 배치되며 상기 커버 플레이트가 상기 개방된 상태보다 더 개방되는 동안 상기 고정 바가 상기 안내 부재의 상부면을 따라 이동할 수 있도록 안내하는 경사면을 갖는 경사 부재를 더 포함하는 처리 챔버의 커버.
  10. 제9항에 있어서, 상기 안내 부재의 상부면은 상기 경사 부재와 동일한 방향으로 경사진 것을 특징으로 하는 처리 챔버의 커버.
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