KR940018908A - 종형 처리장치(apparatus for vertical type processing) - Google Patents

종형 처리장치(apparatus for vertical type processing) Download PDF

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KR940018908A
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가쓰신 미야기
데쓰 오사와
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤 (Tokyo Electron Ltd.)
마쓰바 구니유키
도오교오 에레구토론 도오호쿠 가부시끼가이샤 (Tokyo Electron Tohoku Ltd.)
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Abstract

하부의 개구로부터 피처리체(웨이퍼)를 수용하여 열처리를 행하는 프로세스 튜브와 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 보트를 재치하여 프로세스 튜브 내에 수용하는 승강기구(보트엘리베이터)와, 웨이퍼를 승강기구로 이재하는 웨이퍼 이재장치로 본 발명의 종형 처리장치의 주요부를 구성한다. 여기에서는 승강기구에 코일스프링의 탄성력에 의해서 탄성지지되고, 그 상부에 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 보트를 재치함과 동시에, 프로세스 튜브의 개구부를 폐색하는 캡을 설치한다. 또, 승강기구의 캡 최하강 위치에 캡에 힘을 가하는 코일스프링의 탄성력을 구속하는 캡 구속 부재를 설치한다. 이에 의하여 웨이퍼의 이재장치에 의한 이재시에 캡을 구속하는 캡 구속부재로 구속하여 코일스프링의 휘어짐에 의한 웨이퍼 보트 따위의 경사등에 따르는 웨이퍼로의 파티클 부착과 손상등을 방지한다.

Description

종형 처리장치(APPARATUS FOR VERTICAL TYPE PROCESSING)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 종형 처리장치의 제1실시예의 종단 단면도.

Claims (10)

  1. 하부에 형성한 개구부로부터 피처리체를 수용하여 적절히 처리를 행하는 처리부와, 상기 피처리체를 유지하는 유지체를 재치하여 상기 처리부내에 그 아래방향으로 수용하는 승강기구와, 상기 피처리체를 상기 유지체로 이재하는 이재수단을 갖춘 종형 처리장치에 있어서, 상기 승강기구상에 탄성수단으로 힘이 가하여져서 탄성적으로 지지되고, 또한 그 상부에 상기 유지체를 재치하며, 더욱이 상기 개구부를 폐색하는 폐색부재를 설치하고, 상기 승강기구의 상기 폐색부재 최하강 위치에 상기 폐색부재에 힘을 가하는 탄성수단의 탄성력을 구속하는 구속수단을 설치한 종형 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구속수단이 상기 폐색부재의 하면 바깥면부를 지지하도록 구성되는 종형 처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구속수단이 상기 폐색부재의 상하운동과 간섭하지 않는 위치로부터 상기 폐색부재상으로 이동하여 상기 폐색부재의 상면 바깥면부를 누르도록 한 종형 처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 구속수단이 상기 이재수단의 U자 형상 반송아암으로서 이루어지고, 상기 폐색부재의 상면 바깥면부를 누르도록 한 종형 처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 피처리체가 반도체 웨이퍼인 종형 처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 피처리체가 유리기판, LCD 기판인 종형 처리장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 구속수단이 그 내측에 가이드면을 가지는 말굽형상 부재로서 이루어지는 종형 처리장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 구속수단이 바닥면으로부터 세워진 여러개의 지주로서 이루어지는 종형 처리장치.
  9. 제3항에 있어서, 상기 구속수단이 회전기구에 의하여 회전운동되어서 상기 폐색부재위로 이동하고, 상하운동기구에 의하여 상하운동하여 상기 폐색부재를 누르는 종형 처리장치.
  10. 제3항에 있어서, 상기 구속수단이 직선형상으로 진퇴하여 상기 폐색부재 위로 이동하고, 상하 이동기구에 의하여 상하운동해서 상기 폐색부재를 누르는 종형 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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