KR20080110945A - 밀폐식 머신용 센서 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 밀폐식 스크롤 압축기는 밀폐식 셸을 포함하고 있고, 이 밀폐식 셸을 통하여 셸 내의 압력이 모니터된다. 한 실시예에서는, 하우징이 셸을 관통하여 뻗어 있는 구멍 속으로 저항 용접된다. 오일이 채워진 압력 센서 또는 건식 압력 센서가 상기 하우징과 결합되어 있다. 오일이 채워진 압력 센서는 셸의 구멍을 통하여 뻗어 있다. 건식 압력 센서는 셸의 하우징 외측에 위치되어 있다. 다른 실시예에서는, 셸이 압력 센서의 다이아프램 부분을 형성한다.
스크롤 압축기, 셸, 하우징, 오일이 채워진 압력 센서, 건식 압력 센서, 다이아프램, 보어, 흡입 챔버, 리세스.
Description
본 발명은 아래의 상세한 설명과 첨부된 도면을 통해 보다 잘 이해할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 한 쌍의 압력 센서를 포함하고 있는 스크롤식 냉각 압축기의 중심을 통과하는 수직 단면도;
도 2는 도 1에 도시된 압력 센서들 중의 하나의 확대 단면도;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 센서의 확대 단면도; 그리고
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 센서의 확대 단면도이다.
본 발명은 밀폐식 압축기용 센서에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 밀폐식 압축기의 밀폐식 셸에 결합되도록 설계되어 있는 센서에 관한 것이다..
최근에 냉매 증기를 압축하기 위해서 모터-압축기 유닛이 사용되는 냉각 장치 분야에 있어서 밀폐식으로 밀봉된 모터-압축기 유닛의 사용이 크게 증가하고 있다. 압축기는 대체로 압축기의 크랭크 샤프트 즉 구동 샤프트를 비교적 빠른 속도록 회전시키는 전기 모터에 의해 구동된다. 이러한 밀폐식으로 밀봉된 압축기는 모터-압축기 유닛의 수명기간 동안 고장없이 작동되도록 설계되어 있다.
이러한 밀폐식으로 밀봉된 압축기는 대체로 그 수명기간 동안 고장이 없지만, 냉각 시스템과 압축기 양쪽 모두에 대한 향상된 제어와 보호를 위해 그리고 문제점이 발생하는 것을 진단하기 위해서 냉각 시스템 내의 다양한 냉매 압력을 모니터하는 것이 바람직하다. 많은 수의 공기 조화 시스템 또는 냉각 시스템에 있어서, 냉각 회로의 한 곳 또는 여러 곳에서 냉매의 압력을 모니터하는 것이 요구된다. 대체로 모니터되는 압력은 압축기에서 관찰되는 흡입 압력과 배출 압력을 포함한다. 종래에 이러한 압력은 압축기에 인접해 있는 흡입 및/또는 배출 냉매 라인에 위치된 이음쇠 속에 나사결합되어 있는 압력 센서를 이용하여 감지된다. 이러한 압력 센서는 비교적 비싸고 냉각 시스템의 고유의 기능에 본질적인 것이 아니면, 상기 센서는 금전적인 문제로 설치되지 않는다.
비교적 값싼 압력 센서가 냉각 산업에 이용될 수 있다고 가정하면, 현재의 대부분의 냉각 시스템은 이러한 압력 센서를 편입시킴으로써 개선될 수 있다. 이러한 압력 센서는 제한된 수의 시스템이 아니라 사실상 모든 냉매 시스템에 대해 냉각 시스템과 압축기 양쪽 모두의 향상된 제어와 보호를 위해 그리고 문제점이 발생하는 것을 진단하는 데 사용될 수 있다.
본 발명은 공기 조화 및 냉각 압축기용 용접부착식(weld-on) 압력 센서에 관한 기술을 제공한다. 이러한 용접부착식 압력 센서는 압축기의 셸에 간단하고 값 싸게 용접하여 부착시킬 수 있는 저비용의 구성요소이다. 이러한 용접부착식 압력 센서는 오일이 채워진 압력 센서, 건식 압력 센서 또는 셸이 압력 센서용 다이아프램을 형성하는 건식 압력 센서로 될 수 있다. 본 발명의 용접부착식 압력 센서는 감지 장치의 부품인 전자장치가 압축기의 셸의 외부에 배치되는 것을 허용하므로 단지 감지 기구만이 밀폐식 셸의 내부에 배치된다.
본 발명의 더 많은 적용 분야는 아래의 상세한 설명으로부터 알 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예를 나타내는 상세한 설명과 특정예는 단지 예시의 목적으로 기술된 것이며 본 발명의 기술 영역을 제한하기 위한 것은 아니다.
(실시예)
아래의 바람직한 실시예의 설명은 본질적으로 단지 예시를 위한 것이고, 본 발명, 그 적용예 또는 사용처를 제한하기 위한 것은 아니다.
수 개의 도면에 걸쳐서 동일한 부재 번호가 동일하거나 대응하는 부품을 나타내는 첨부된 도면을 참고하면, 도 1에는 부재 번호 10으로 표시된 본 발명에 따른 압력 센서를 포함하고 있는 스크롤 압축기가 도시되어 있다. 압축기(10)는 상부 단부에는 캡(14)이 용접결합되어 있고 하부 단부에는 일체로 형성된 복수의 장착 피트(mounting feet)(도시되지 않음)를 가지고 있는 베이스(16)가 용접결합되어 있는 대체로 원통형 밀폐식 셸(12)을 포함하고 있다. 캡(14)은 통상의 배출 밸브(도시되지 않음)를 가질 수 있는 냉매 배출 이음쇠(18)를 구비하고 있다. 상기 셸에 부착된 다른 주요 구성요소는 캡(14)이 셸(12)에 용접결합되어 있는 동일한 지 점에서 그 외주부 둘레에 용접결합되어 있는 횡방향으로 뻗어있는 파티션(22), 셸(12)에 적절하게 고정되어 있는 메인 베어링 하우징(24), 각 레그가 셸(12)에 적절하게 고정되어 있는 복수의 반경방향 바깥쪽으로 뻗어있는 레그를 가지고 있는 하부 베어링 하우징(26), 셸(12)에 용접결합된 압력 센서(28) 및 캡(14)에 용접결합된 압력 센서(28)를 포함한다. 단면 형상이 대체로 정사각형이지만 코너 부분이 둥글게 가공된 모터 고정자(30)가 셸(12) 속으로 압력끼워맞춤되어 있다. 상기 고정자의 둥글게 가공된 코너 사이의 평평한 부분은 고정자와 셸 사이에 통로를 제공하고, 이 통로는 셸의 최상부로부터 바닥부까지 유활유의 복귀 유동을 용이하게 한다.
상부 단부에 편심 크랭크 핀(34)을 가지고 있는 구동 샤프트 즉 크랭크 샤프트(32)는 메인 베어링 하우징(24) 내의 제 1 베어링(36)과 하부 베어링 하우징(26) 내의 제 2 베어링(38)에 회전가능하게 저널링되어 있다. 크랭크 샤프트(32)는 하부 단부에 비교적 큰 직경의 동심상의(concentric) 보어를 가지고 있고, 상기 동심상의 보어는 크랭크 샤프트(32)의 최상부쪽으로 위로 뻗어 있는 반경방향 바깥쪽으로 경사진 작은 직경의 보어(42)와 연통되어 있다. 상기 보어(40) 내에는 교반기(44)가 배치되어 있다. 셸(12) 내부의 하부 부분은 회전자(48)의 하부 단부보다 약간 상부의 레벨까지 윤활유가 부분적으로 채워져 있는 흡입 챔버(46)를 형성하고, 상기 보어(40)는 윤활유를 크랭크 샤프트(32)와 통로(42) 속으로 공급하고 궁극적으로는 윤활작용을 필요로 하는 압축기의 모든 부분으로 윤활유를 공급하는 펌프로서의 작용을 한다.
크랭크 샤프트(32)는 전기 모터에 의해 회전가능하게 구동되고, 상기 전기 모터는 고정자(30), 권선부(winding)(50), 그리고 크랭크 샤프트(32) 상에 압력끼워맞춤되어 있으며 상부 카운터웨이트(52) 및 하부 카운터웨이트(54)를 가지고 있는 회전자(48)를 포함하고 있다.
메인 베어링 하우징(24)의 상부 표면은 평평한 스러스트 베어링 표면(56)을 구비하고 있고, 상기 평평한 스러스트 베어링 표면에는 그 상부 표면에 통상의 나선형 나선형 베인 즉 나선형 랩(60)을 가지고 있는 회전 스크롤 부재(58)가 배치되어 있다. 회전 스크롤 부재(58)의 하부 표면으로부터 아래쪽으로 돌출되어 있는 것은 저널 베어링(62)을 가진 원통형 허브이고, 상기 저널 베어링에는 크랭크 핀(34)이 구동가능하게 배치된 내측 보어(66)를 가지고 있는 구동 부싱(64)이 회전가능하게 배치되어 있다. 크랭크 핀(34)은, 미국 특허 제4,877,382호에 도시된 바와 같은 반경방향으로 유연성을 가진 구동 장치를 제공하기 위해 보어(66)의 일부분에 형성된 평평한 표면(도시되지 않음)과 구동식으로 결합되는 표면 상에 평평한 부분을 가지고 있다. 회전 스크롤 부재(58)와 베어링 하우징(24) 사이에는 올덤 커플링(68)이 또한 설치되어 위치결정되어 있으며, 이 올덤 커플링은 회전 스크롤 부재(58)와 비회전 스크롤 부재(70)에 키(key)식으로 결합되어서 회전 스크롤 부재(58)의 회전 운동을 방지한다. 올덤 커플링(68)은 미국 특허 제5,320,506호에 개시된 타입이 바람직하다.
비회전 스크롤 부재(70)는 회전 스크롤 부재(58)의 랩(60)과 맞물리도록 위치결정되어 있는 랩(72)을 구비하고 있다. 비회전 스크롤 부재(70)는 중심에 배치 된 배출 통로(74)를 가지고 있으며, 이 배출 통로는 위쪽으로 개방된 리세스(76)와 연통되어 있고, 상기 리세스는 캡(14)과 파티션(22)에 의해 형성된 배출 머플러 챔버(78)와 유체연통되어 있다. 고리형 리세스(80)가 비회전 스크롤 부재(70) 내에 형성되어 있으며, 상기 고리형 리세스 내에는 시일 조립체(82)가 배치되어 있다. 리세스(76, 80)와 시일 조립체(82)는 협력하여 축선방향의 압력 가압 챔버를 형성하고, 이 축선방향의 압력 가압 챔버는 비회전 스크롤 부재(70)에 축선방향의 가압력을 작용시키기 위해서 랩(60, 72)에 의해 압축된 압축 유체를 수용하여 각각의 랩(60, 72)의 끝부분이 대향하는 단부 플레이트 표면과 밀봉식으로 결합되게 한다. 시일 조립체(82)는 미국 특허 제5,156,539호에 보다 상세하게 기술된 타입의 것이 바람직하다. 비회전 스크롤 부재(70)는 상기한 미국 특허 제4,877,382호, 또는 제5,102,316호에 개시된 것과 같이 적절한 방식으로 베어링 하우징(24)에 장착되도록 설계되어 있다.
센서를 압축기(10)에 일체화하는 것은 두 가지 방법 중의 한 가지로 접근할 수 있다. 첫 번째 방법은, 센서가 완전히 셸(12) 내부에 배치되어 신호 인출선이 밀폐식 관통 접속로(feed-through)를 이용하여 셸(12)을 관통하여 신호 전달 경로를 형성할 수 있다. 그러나, 이 방법은 센서의 부품인 민감한 전자장치가 냉매, 윤활유, 그리고 극한의 온도와 압력 변동을 포함하는 셸(12) 내부의 가혹한 환경에 노출된다. 이러한 가혹한 환경은 센서의 안정성에 악영향을 미친다.
두 번째 접근 방법으로는, 상기 장치의 부품인 전자장치가 압축기(10)의 셸(12)의 외부에 배치될 수 있고, 단지 감지 기구만 셸(12) 내부에 배치될 수 있다. 이러한 접근 방법은 전자장치가 셸(12) 내의 가혹한 환경에 노출되는 것을 회피한다. 이러한 두 번째 접근 방법을 이용하면, 상기 감지 기구를 상기 전자장치에 근접하여 배치시키는 것이 필요하다. 이는 감지 기구에 의해 발생된 신호(전류/전압 등) 레벨이 대체로 매우 작고(수 밀리 암페어/수 밀리 볼트 정도) 가능한 한 작은 인입선으로 신호증폭 및 처리 전자장치로 공급되어야 하기 때문이다. 압력 센서(28)는 이러한 두 번째 접근 방법을 이용하여 전자장치에 대한 근접 배치 및 차단이라는 두 가지 원하는 목적을 달성한다.
도 2를 참고하면, 압력 센서(28)가 보다 상세하게 도시되어 있다. 이 압력 센서(28)는 하우징(100), 몸체(102), 다이아프램(104), 압력 감지 장치(106), 신호 조절 전자장치(108) 및 보호 부재 즉 캡(110)으로 구성된 오일이 채워진 압력 센서(즉, 유입 압력 센서)이다.
하우징(100)은 셸(12)에 의해 형성된 구멍 내에 저항용접되도록 설계된 컵형상의 금속 하우징이다. 저항용접은 신중하게 설계된 기하학적 구조의 2 개의 금속 재료를 낮은 전압의 교류(AC) 또는 직류(DC) 전원에 접속된 2 개의 구리 전극 사이에 배치하여 용접하는 방법이다. 이 2 개의 전극은 연결될 2 개의 금속 조각을 압착하는 큰 힘을 받는다. 일단 상기 압착력이 원하는 수준에 도달하면, AC 또는 DC 전압이 상기 전극에 인가된다. 이에 의해 매우 큰 전류(대체로 수 천 암페어)가 상기 금속 조각을 통하여 한 전극에서 다른 전극으로 흐르게 된다. 이러한 큰 전류는 연결부에 국한하여 온도를 크게 증가시킨다. 이러한 높은 온도는 원하는 연결 구역에서 2 개의 금속 조각을 녹여서 상기 2 개의 금속 조각을 서로 접합시킨 다. 조절된 시간이 지난 후, 전류가 차단되어 녹은 재료는 냉각된다. 냉각된 구역은 2 개의 금속 조각의 용접 연결부를 나타낸다. 저항 용접은 상당히 일반적인 프로세스이고 또한 저비용과, 조절성 그리고 연결부위의 강고함 및 누설 방지성으로 인해 압축기의 제조시에 널리 이용된다.
명확하게 나타내기 위해 도 2에는 몸체(102)가 확대되어 있다. 몸체(102)는 하우징(100)을 관통하여 형성되어 있는 보어(112)를 통하여 뻗어 있다. 몸체(102)는 용접, 유리 접합(glass fusing) 또는 당해 기술 분야에서 알려진 다른 수단에 의해 보어(112) 내에 밀폐식으로 밀봉되어 있다. 몸체(102)는 확대 부분(116), 포켓 또는 중간 부분(118), 직경 축소 부분(120) 및 상부 챔버 또는 나사형성 부분(122)을 가진 내측 보어(114)를 형성한다. 다이아프램(104)이 확대 부분(116) 내에 배치되어 있으며 레이저 용접 또는 다른 방식으로 확대 부분(116)과 중간 부분(118) 사이에 형성된 쇼울더(124)에 부착되어 있다. 중간 부분(118)은 실리콘 오일 또는 임의의 다른 타입의 유체로 채워져 있다. 압력 감지 장치(106)는 레이저 용접 또는 다른 방식으로 직경 축소 부분(120)과 나사형성 부분(122) 사이에 형성된 쇼울더(126)에 부착되어 있다. 압력 감지 장치(106) 및 다이아프램(104)은 중간 부분(118) 내의 실리콘 오일을 밀봉한다. 압력 감지 장치(106)는 압력 감지 칩(128) 및 압력 감지 칩(128)에 대한 전기 접속부용 밀폐식 관통 접속로(130)를 포함하고 있다.
신호 조절 전자장치(108)는 나사형성 부분(122) 내에 배치되어서 밀폐식 관통 접속로(130)를 통하여 압력 감지 칩(128)에 전기적으로 접속되어 있다. 보호 캡(110)은 나사형성 부분(122)에 나사결합식으로 수용되어 있거나 다른 방식으로 고정되어 있다. 보호 캡(110)은 구멍(132)을 포함하고 있고, 이 구멍을 통하여 압축기(10)용 작동 시스템에 접속하기 위해 복수의 신호 인출선(134)이 신호 조절 전자장치(108)로부터 뻗어 있다.
도 3을 참고하면, 압력 센서(28')가 도시되어 있다. 압력 센서(28')는 압력 센서(28)에 대한 대체물이다. 압력 센서(28')는 건식 압력 센서로서 하우징(200), 압력 감지 장치(206), 신호 조절 전자장치(208) 및 도자기 재료(310) 형태의 보호 부재로 구성되어 있다.
하우징(200)은 컵형상의 금속 하우징으로서 셸(12)에 저항 용접되도록 설계되어 있다. 하우징(200)은 셸(12)의 외측으로 개방되어 있는 포켓(212)을 형성한다. 포켓(212)의 바닥부는 다이아프램(214)을 형성한다. 압력 감지 장치(206)는 포켓(212) 내의 다이아프램(214)에 접합되거나 또는 다른 방식으로 고정되어 있다. 신호 조절 전자장치(208)는 포켓(212) 내에 배치되어서 압력 감지 장치(206)에 전기적으로 접속되어 있다. 도자기 재료(310)는 신호 조절 전자장치(208)의 위치 상부의 포켓(212)을 채워서 압력 센서(28')에 대한 보호를 제공한다. 복수의 신호 인출선(234)은 압축기(10)용 작동 시스템에 접속하기 위해 도자기 재료(310)를 통하여 신호 조절 전자장치(108)로부터 뻗어 있다.
도 4를 참고 하면, 압력 센서(28")가 도시되어 있다. 압력 센서(28")는 압력 센서(28)에 대한 대체물이다. 압력 센서(28")는 건식 압력 센서로서 하우징(300), 압력 감지 장치(306), 신호 조절 전자장치(308) 및 보호용 도자기 재료 (310)로 구성되어 있다.
하우징(300)은 셸(12)의 일부분으로서 일체 형성되어 있는 컵형상의 하우징이다. 하우징(300)을 셸(12)의 일부분으로 일체형성함으로써, 상기한 저항 용접작업이 필요없다. 하우징(300)은 셸(12)의 외측으로 개방되어 있는 포켓(312)을 형성하고 있다. 포켓(312)의 바닥부는 다이아프램(314)을 형성한다. 압력 감지 장치(306)는 포켓(312) 내의 다이아프램(314)에 접합되거나 또는 다른 방식으로 고정되어 있다. 신호 조절 전자장치(308)는 포켓(312) 내에 배치되어서 압력 감지 장치(306)에 전기적으로 접속되어 있다. 도자기 재료(310)는 신호 조절 전자장치(308)의 위치 상부의 포켓(312)을 채워서 압력 센서(28")에 대한 보호를 제공한다. 복수의 신호 인출선(334)은 압축기(10)용 작동 시스템에 접속하기 위해 도자기 재료(310)를 통하여 신호 조절 전자장치(308)로부터 뻗어 있다.
상기의 본 발명에 대한 설명은 본질적으로 단지 예시적인 것이며, 따라서, 본 발명의 기술 사상으로부터 벗어나지 않는 변형 실시형태는 본 발명의 기술 영역 내에 포함된다. 상기와 같은 변형 실시형태는 본 발명의 기술 사상 및 기술 영역으로부터 벗어난 것으로 간주되지 않는다.
본 발명에 따른 용접부착식 압력 센서는 압축기의 셸에 간단하고 값싸게 용접하여 부착시킬 수 있는 저비용의 구성요소로서, 오일이 채워진 압력 센서, 건식 압력 센서 또는 셸이 압력 센서용 다이아프램을 형성하는 건식 압력 센서로 될 수 있다.
또한, 본 발명의 용접부착식 압력 센서에 따르면, 감지 장치의 부품인 전자장치가 압축기의 셸의 외부에 배치되는 것을 허용하므로 단지 감지 기구만이 밀폐식 셸의 내부에 배치될 수 있다.
Claims (20)
- 유체 포켓을 형성하는 밀폐식 셸 조립체;상기 포켓에 인접하여 배치된 다이아프램;상기 다이아프램과 결합된 압력 감지 장치; 그리고상기 압력 감지 장치와 전기적으로 접속된 신호 조절 전자장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 밀폐식 셸 조립체는 구멍을 형성하는 셸과 상기 구멍 내에 고정된 하우징을 포함하고 있고, 상기 포켓은 상기 하우징 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 2 항에 있어서, 상기 하우징은 보어를 형성하고 상기 압력 감지 장치는 상기 보어를 통하여 뻗어 있는 몸체를 포함하고, 상기 몸체는 상기 포켓을 형성하고, 상기 다이아프램은 상기 몸체에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 3 항에 있어서, 상기 압력 감지 장치는 상기 몸체에 부착되어 있고, 상기 포켓은 상기 다이아프램과 상기 압력 감지 장치 사이에 배치되어 있고, 상기 포켓은 유체로 채워져 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 3 항에 있어서, 상기 신호 조절 전자장치는 상기 몸체에 의해 형성된 챔버 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 3 항에 있어서, 상기 신호 조절 전자장치를 둘러싸는 보호 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 6 항에 있어서, 상기 보호 부재는 상기 몸체에 고정된 캡을 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 2 항에 있어서, 상기 포켓은 폐쇄된 포켓을 포함하고, 상기 다이아프램은 상기 폐쇄된 포켓의 일부분을 형성하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 8 항에 있어서, 상기 압력 감지 장치는 상기 폐쇄된 포켓 내의 상기 다이아프램에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 9 항에 있어서, 상기 신호 조절 전자장치는 상기 폐쇄된 포켓 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 10 항에 있어서, 상기 신호 조절 전자장치를 둘러싸는 보호 부재를 더 포 함하고 있고 상기 보호 부재는 상기 폐쇄된 포켓 내에 배치된 도자기 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 포켓은 상기 셸과 일체로 형성된 폐쇄된 포켓을 포함하고, 상기 다이아프램은 상기 폐쇄된 포켓의 일부분을 형성하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 12 항에 있어서, 상기 압력 감지 장치는 상기 폐쇄된 포켓 내의 상기 다이아프램에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 13 항에 있어서, 상기 신호 조절 전자장치는 상기 폐쇄된 포켓 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 14 항에 있어서, 상기 보호 부재는 상기 폐쇄된 포켓 내에 배치된 도자기 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 셸은 구멍을 형성하고; 상기 구멍 내에 저항 용접된 하우징을 더 포함하고 있고, 상기 압력 감지 장치는 상기 하우징에 부착되어 있고, 상기 하우징은 상기 셸을 밀폐식으로 밀봉하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 16 항에 있어서, 상기 압력 감지 장치는 오일이 채워진 압력 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 17 항에 있어서, 상기 오일이 채워진 압력 센서는 상기 셸을 밀폐식으로 밀봉하는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 18 항에 있어서, 상기 압력 감지 장치는 건식 압력 센서를 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 다이아프램은 상기 셸과 일체로 되어 있는 것을 특징으로 하는 밀폐식 인클로저.
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Legal Events
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A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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