KR20080019535A - 네스트유닛 및 이를 이용한 세척시스템 - Google Patents

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KR20080019535A
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KR1020070066989A
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정현권
나익균
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한미반도체 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 패키지 가공시스템에 사용되는 세척 시스템에 관한 것이다. 본 발명인 세척 시스템은, 반도체 패키지의 이물질을 제거하기 위한 소정의 장치가 마련되는 세척건조실; 다수개의 반도체 패키지가 고정되는 커버와 베이스부로 구성되는 네스트가 구비되는 네스트유닛; 그리고, 상기 네스트를 상기 세처건조실로 수평으로 이송하는 네스트 이송유닛;을 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 세척시스템은, 세척공정시 상기 세척시스템이 반도체 패키지의 상하면에 각각 엇갈리게 지지되도록 하여, 상기 반도체 패키지가 세척공정시 이탈되지 않아 세척공정이 안정적으로 이루어지고, 반도체 패키지를 관통된 패키지 안착부에 삽입되고, 상하로 최소한의 돌기에 의해 지지되도록 하여, 상기 반도체 패키지가 세척시 차폐되는 부분을 최소화하여 골고루 세척되어 불량품의 발생률이 줄어드는 이점이 있다.
로딩언로딩부, 전달부, 패키지고정부, 가공부, 세척건조부

Description

네스트유닛 및 이를 이용한 세척시스템{A Nest unit and A Cleaning system thereof}
본 발명은 세척 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키지 가공시스템에서 가공이 완료된 피가공물을 세척하는 세척시스템 및 이에 사용되는 네스트유닛에 관한 것이다.
근래 반도체 패키지가 다양하게 사용되고 있다. 예를 들어, SD카드 등과 같은 패키지가 이동전화, 디지털 카메라 등에 사용된다. 그런데, 이러한 패키지는 소망하는 형상으로 가공되어야 한다. 이를 위하여, 먼저, 다수의 패키지가 같이 형성된 스트립을 각각의 패키지로 가공하고, 더 나아가 각각의 패키지를 소정 형상으로 가공하여야 한다. 이때, 종래에는 상기 패키지를 사용자가 직접 지그에 삽입하고, 지그에 삽입된 패키지를 임의의 가공기로 가공하는 방식에 의해 제조하였다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.
가공이 완료된 반도체 패키지를 세척할 때 상기 반도체 패키지를 고정해야 할 장치가 필요한데 상기 반도체 패키지를 고정할 수단이 없어 세척공정이 안정적으로 이루어지지 않은 문제점이 있었다.
또한, 세척을 위한 반도체 패키지를 고정하는 수단이 마련되어 있어도, 상기 반도체 패키지를 지지해야 되므로 상기 반도체 패키지의 상하면이 골고루 세척되지 않아 불량품이 발생하는 문제점이 있었다.
또한, 반도체 패키지를 세척하는 공정이 모두 수동으로 이루어져 전체적인 작업공정의 시간이 길어지는 문제점 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 가공이 완료된 반도체 패키지를 세척할 때 상기 반도체 패키지가 이탈되지 않도록 안정적으로 고정할 수 있는 네스트유닛 및 세척시스템을 제공하는 것이다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은, 세척시 반도체 패키지를 지지하더라도 상기 반도체 패키지의 전면을 골고루 세척할 수 있는 네스트유닛 및 세척시스템을 제공하는 것이다.
그리고, 본 발명의 또 다른 목적은, 반도체 패키지의 세척공정이 모두 자동으로 이루어지는 네스트유닛 및 세척시스템을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명인 세척시스템은, 반도체 패키지의 이물질을 제거하기 위한 소정의 장치가 마련되는 세척건조실; 다수개의 반도체 패키지가 고정되는 커버와 베이스부로 구성되는 네스트가 구비되는 네스트유닛; 그리고, 상기 네스트를 상기 세척건조실로 수평으로 이송하는 네스트 이송유닛;을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 네스트 이송유닛에는, 상기 네스트가 맞물려 수평으로 이동할 수 있도록 안내하는 홈이 마련되는 가이드가 더 마련되는 것이 바람직하다.
상기 네스트 이송유닛은, 상기 네스트를 적재하여 수평으로 이동가능한 이송테이블; 그리고, 상기 이송테이블이 수평으로 이동할 수 있도록 동력을 제공하는 이송테이블구동유닛;을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 네스트는, 상기 커버와 상기 베이스부에는 반도체 패키지를 수용할 수 있는 패키지안착부가 마련되며, 상기 반도체 패키지가 상기 패키지안착부에서 이탈하지 않도록 상기 커버 및 베이스부에는 각각 돌출부 및 돌기부가 마련될 수 있다.
상기 돌출부와 상기 돌기부는 서로 엇갈리게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 베이스부에서 상기 커버를 착탈시키기 위한 커버구동유닛을 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 커버의 가장자리에는 돌출되어 상기 가이드의 홈에 맞물릴 수 있는 테이블가이드가 더 마련될 수 있다.
상기 커버구동유닛은, 상기 커버의 가장자리가 맞물릴 수 있는 홈이 마련되는 가이드레일; 그리고, 상기 가이드레일을 수직으로 이동가능하게 동력을 제공하는 실린더;를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 커버의 가장자리에는 돌출되어 상기 가이드레일의 홈에 맞물릴 수 있는 테이블가이드가 더 마련될 수 있다.
상기 네스트에는 관통된 가이드홀이 마련되고, 상기 네스트에 대해 수직으로 이동가능한 위치센서가 마련되어, 상기 위치센서의 선단이 상기 가이드홀에 삽입되는지 여부를 판단하여 상기 네스트의 정위치를 파악하는 위치센서를 더 포함하여 구성될 수도 있다.
상기 네스트 중 커버의 가장자리에는 돌출된 테이블가이드가 더 마련되고, 상기 가이드홀은 상기 테이블가이드에 마련될 수도 있다.
그리고, 본 발명인 세척시스템의 다른 실시예는, 반도체 패키지를 수용할 수 있도록 관통된 패키지 안착부가 마련되는 베이스부; 상기 반도체 패키지를 수용할 수 있도록 상기 베이스부의 패키지 안착부에 대응되도록 관통되는 패키지 안착부가 마련되는 커버부;를 포함하고, 상기 베이스부 및 상기 커버부의 내측에는 상기 패키지 안착부에 안착된 반도체 패키지가 이탈되지 않도록 돌출된 돌기부 및 돌출부가 각각 마련되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 돌출부와 상기 돌기부는 서로 엇갈리게 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 세척시스템에서는, 세척공정시 상기 세척시스템이 반도체 패키지의 상하면에 각각 엇갈리게 지지되도록 하여, 상기 반도체 패키지가 세척공정시 이탈되지 않아 세척공정이 안정적으로 이루어지는 효과가 있다.
그리고, 반도체 패키지를 관통된 패키지 안착부에 삽입되고, 상하로 최소한의 돌기에 의해 지지되도록 하여, 상기 반도체 패키지가 세척시 차폐되는 부분을 최소화하여 골고루 세척되어 불량품의 발생률이 줄어드는 효과가 있다.
아울러, 세척시스템 전체가 자동으로 동작되어 반도체 패키지의 세척공정에서 사용자의 간섭이 필요 없어 세척공정이 신속하게 진행되는 효과가 있다.
이하 본 발명에 의한 반도체 패키지 가공시스템에 채용된 세척시스템에 관한 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1에는 본 발명에 의한 반도체 패키지 가공시스템을 개략적으로 보인 구성 도가 도시되어 있다.
도 1을 참조하여, 일단 반도체 패키지 가공시스템의 전체적 구성을 설명한다. 본 발명인 반도체 패키지 가공시스템은, 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)를 가공시스템으로 로딩시키거나 가공완료된 상기 반도체 패키지(SP)를 언로딩시키는 로딩언로딩부(100), 상기 로딩언로딩부(100)에 의해 로딩된 상기 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위한 소정의 위치로 전송하는 전달부(200), 상기 전달부(200)에 의해 이송되는 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위해 지그(310)에 고정하는 패키지고정부(300), 상기 지그(310)에 고정된 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위한 가공부(500), 상기 가공부(500)에서 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)를 세척하기 위한 세척건조부(600) 및 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)의 불량여부를 검사하는 검사부(700)를 포함하여 구성된다. 이하, 각각의 부분을 구체적으로 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하여 로딩언로딩부(100)를 설명하면, 로딩언로딩부(100)에는 트레이(102)가 적재되어 있는 트레이매거진(106)이 다수개 구비되어 있다. 그리고, 상기 각각의 트레이(102)를 적재하여 이동하는 이동테이블(미도시)이 구비되어, 트레이 이송라인(104)을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있다.
상기 트레이매거진(106)은 다수개가 마련될 수 있는데, 바람직하게는 4개로 구성될 수 있다. 예를 들면, 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)가 적재되어 있는 언컷트레이(uncut tray)와, 가공이 완료되어 양품으로 판정된 반도체 패키지(SP)가 적재되어 있는 양품 트레이(good tray)와, 아직 반도체 패키지(SP)를 적재하지 않은 빈 트레이(empty tray)와, 불량으로 판정된 반도체 패키지(SP)가 적재되는 리워 크 트레이(rework tray)로 구성될 수 있다.
그리고, 상기 이동테이블(미도시)은 상기 반도체 패키지 가공 시스템의 공정진행 속도를 위하여 여러 개로 구성될 수 있다. 예를 들면, 본 발명에서는 3개로 구성할 수 있다. 상기 이동테이블 중에는 아직 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)를 적재하여 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 이동테이블 중에는 반도체 가공공정이 종료되어 가공이 완료된 반도체 패키지(SP) 중 검사부(700)에서 양품으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송하도록 구성할 수도 있다.
또한, 상기 이동테이블 중에는 가공이 완료된 반도체 패키지(SP) 중 검사부(710, 720)에서 불량품으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송하도록 구성될 수 있다.
한편, 상기 이동테이블 이송라인(104)의 상방에는 상기 이동테이블 이송라인(104)과 직교되도록 트레이 픽커 이송라인(110)이 마련된다. 상기 트레이 픽커 이송라인(110)에는 트레이 픽커(112)가 구비되고, 상기 트레이 픽커(112)는 상기 트레이(102)를 픽업하여 상기 트레이매거진(102) 사이를 이송시키는 역할을 한다. 물론, 상기 트레이 픽커(112)는 반도체 가공공정의 진행속도를 높이기 위하여 여러 개로 구비될 수 있다.
그리고, 상기 트레이 픽커(112)는 상기 트레이(106)를 파지할 수 있는 수단이면 어떤 구성이라도 가능하며, 바람직하게는 상기 트레이(106)를 파지할 수 있는 클램핑수단과, 상기 트레이 픽커 이송라인(110)을 따라 이동할 수 있는 이송수단으 로 구성될 수 있다.
한편, 상기 로딩언로딩부(100)는 상기 반도체 패키지 가공시스템의 전 공정을 따라 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)가 전달부(200)를 따라 다시 환송되면 이를 상기 이동테이블에서 다시 언로딩시키는 역할도 한다.
다음으로, 상기 로딩언로딩부(100)에서 이동테이블에 적재되어 이동하던 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)를 패키지고정부(300)로 이동시키는 전달부(200)가 마련된다. 상기 전달부(200)에는 상기 이동테이블 이송라인(104)과 직교하면서 상대적으로 상방에 구비되는 전달부 픽커 이송라인(202)이 마련된다. 즉, 상기 전달부 픽커 이송라인(202)은 상기 트레이 픽커 이송라인(110)과 평행하게 구성될 수 있다.
상기 전달부픽커 이송라인(202)에는 상기 전달부픽커 이송라인(202)을 따라 이동가능하게 설치되는 전달부픽커(204)가 마련된다. 상기 전달부픽커(204)는 상기 트레이(106) 상에 안착된 반도체 패키지(SP)를 픽업하여 패키지 고정부(300)로 전달시키는 것으로, 흡착수단과 이송수단으로 구성될 수 있다.
다만, 상기 전달부 픽커(204)는 각각의 반도체 패키지(SP)를 픽업하기 위한 것으로, 상기 흡착수단이 개개의 반도체 패키지(SP)를 픽업할 수 있도록 구성되어야 할 것이다.
그리고, 반도체 패키지 가공시스템의 공정효율을 위하여 상기 전달부 픽커 이송라인(202)은 여러 개로 구성될 수 있으며, 본 발명에서는 2개로 구성되고, 각각 제 1전달부 픽커 이송라인(202a), 제 2전달부 픽커 이송라인(202b)으로 구성된 다.
상기 제 1전달부 픽커 이송라인(202a)과 제 2전달부 픽커 이송라인(202b)에는 각각 제 1전달부 픽커(204a)와 제 2전달부 픽커(204b)가 구비된다. 상기 각각의 전달부 픽커(204)는 상기 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송되는 상기 이동테이블(102)의 트레이(106) 상에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 파지하여, 상기 전달부 픽커 이송라인(202)을 따라 소정의 장소 즉 패키지 고정부(300)의 턴테이블(302)로 이송하는 역할을 한다.
물론, 상기 전달부픽커(204)는 상기 턴테이블(302)에서 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)를 다시 픽업하여, 상기 전달부픽커 이송라인(202)를 따라 이동테이블(102)의 트레이(106) 상으로 이송시킬 수 있다.
다음으로, 상기 전달부(302)로부터 전달받은 상기 반도체 패키지(SP)를 가공 시 상기 반도체 패키지(SP)를 고정하기 위한 지그(310)에 상기 반도체 패키지(SP)를 삽입시키는 패키지 고정부(300)가 마련된다.
상기 패키지 고정부(300)에는, 상기 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위해 고정하기 위한 틀인 지그(310)와, 상기 지그(310)에 상기 반도체 패키지(SP)를 삽입하여 고정하기 위한 패키지고정어셈블리(350)가 구비되어 있다. 또한, 상기 패키지 고정부(300)에는 패키지 고정부(300) 내에서 상기 반도체 패키지(SP)의 전달을 담당하는 이송수단(319)이 더 구비될 수 있다.
먼저, 상기 지그(310)에 대해 상세하게 살펴보면, 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 지그(310)에는 직육면체 형상으로 형성되며, 내측에는 다수개의 관통된 슬 릿(314)이 소정간격으로 배열되도록 형성된다. 상기 슬릿(314)은 가공을 위한 반도체 패키지(SP)가 삽입고정되기 위한 것이다.
또한, 상기 슬릿(314)은 상기 지그(310)를 관통하도록 형성되어, 상기 슬릿(314)에 삽입되는 반도체 패키지(SP)의 양측을 가공할 수 있도록 한다. 즉, 상기 가공 전의 반도체 패키지(SP)는 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입안착된 상태로, 아래의 가공부(500)로 이동되어 그라인딩되게 된다.
그리고, 상기 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 패키지 고정부(300)에는 상기 전달부(200)에서 상기 반도체 패키지(SP)를 제일 먼저 전달받는 턴테이블(302)이 마련된다. 상기 턴테이블(302)은 상기 전달부픽커 이송라인(202)과 직교되는 턴테이블 이송라인(304)을 따라 이동가능하도록 설치된다. 또한, 상기 턴테이블(302)은 회전가능하게 설치될 수 있다.
상기 턴테이블(302)은 회전가능하게 구성되는 것은 상기 제 1전달부 픽커 이송라인(202a) 및 제 2전달부 픽커 이송라인(202b)을 따라 이송되는 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 지그(310)의 슬릿(314)형상과 가공부(500)의 블레이드(502)의 형상에 따라 상기 반도체 패키지(SP)의 방향에 맞게 적절하게 삽입될 수 있도록 하기 위함이다. 물론, 상기 지그(310)의 슬릿(314)형상 및 블레이드(502)의 형상에 따라서는 상기 턴테이블(302)이 회전할 필요가 없을 수도 있다.
즉, 상기 블레이드(502)이 도 1에 도시된 바와 같은 경우에는 양날이 다른 형상을 하고 있지만, 양날이 동일한 형상을 하고 있는 경우에는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 전달부 픽커(204)에 의해 이송되는 방향으로 상기 지그(310)의 슬 릿(314)에 삽입되면 되므로, 상기 턴테이블(302)의 회전이 필요 없게 될 수 있다.
한편, 상기 턴테이블(302) 및 상기 턴테이블 이송라인(304)은 다수개로 구성될 수 있으며, 본 발명에서는 2개로 구성된다. 상기 턴테이블(302) 및 턴테이블 이송라인(304)이 2개 이상으로 구비된 것은 작업공정의 효율을 위함이다.
그리고, 상기 이송수단(319)으로 상기 턴테이블 이송라인(304)의 일단 상부에는 상기 턴테이블 이송라인(304)과 직교되는 고정부 픽커 이송라인(320)과, 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동가능한 고정부 픽커(322)가 마련된다.
상기 고정부 픽커(322)는 상기 턴테이블(302)에 적재되어 있는 미가공 반도체 패키지(SP)를 파지하여 패키지고정어셈블리(350)의 시트블럭(392)에 적재하고, 가공완료되어 시트블럭(392)에 적재된 반도체 패키지(SP)를 다시 상기 턴테이블(302)로 이송하는 역할을 한다.
도 3 및 4에 도시된 바와 같이 상기 고정부 픽커(322)에는 상기 반도체 패키지(SP)를 픽업하여 수직으로 이동가능하게 하는 픽업장치(324)가 마련된다. 상기 픽업장치(324)는 상기 반도체 패키지(SP)를 픽업하는 흡착수단(326)과, 상기 흡착수단(326)이 이동할 수 있도록 동력을 생성하는 구동수단(328)과, 상기 구동수단(328)으로부터 발생된 동력을 상기 흡착수단(326)으로 전달하는 연동유닛(330)으로 구성된다.
먼저, 상기 흡착수단(326)은 진공에 의해 상기 반도체 패키지(SP)를 흡착할 수 있도록 하는 것으로서, 선단에는 흡착노즐(327)이 구비된다. 상기 흡착노즐(327)은 사용자의 필요에 따라 여러 줄로 이루어질 수 있으며, 시트블럭(392)의 형상에 대응되도록 상기 흡착노즐(327)이 배열됨이 바람직하고, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 상기 흡착노즐(327)은 2개씩 2줄로 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 상기 흡착장치(327)에는 구동수단(328)이 구비되는데, 상기 구동수단(328)은 여러 동력원으로 채용가능하나, 본 발명에서는 모터로 구성된다.
그리고, 상기 구동수단(328)에서 발생된 동력을 상기 흡착수단(326)으로 전달하는 연동유닛(330)이 구비되는데, 본 발명에서는 상기 구동수단(328)이 모터로 구성되어 있으므로, 상기 구동수단(328)에서 발생된 회전운동을 상기 흡착수단(326)의 직선운동으로 변환할 수 있는 구성으로 됨이 바람직하다.
상기 연동유닛(330)은, 상기 흡착수단(326)을 지지하는 지지바아(332), 상기 지지바아(332)의 일측에 연결되어 상기 흡착수단(326)이 이동가능하게 상기 흡착장치(326)에 지지된 가이드바(334), 상기 가이드바(334)에 형성된 랙기어(336), 상기 구동수단(328)의 회전축에 마련되어 상기 랙기어(336)와 맞물리는 피니언(338)으로 구성된다.
상기 연동유닛(330)과 상기 흡착수단(326)의 구성을 보다 상세하게 설명하면, 상기 2개의 흡착노즐(327)은 지지바아(332)를 관통하여 흡착노즐(327)의 선단이 하방을 향하도록 설치된다. 그리고, 상기 가이드바(334)에는 랙기어(336)가 구비되어, 상기 구동수단(328)의 피니언(338)에 맞물려져 상기 구동수단(328)의 회전운동을 수직왕복운동으로 전환되게 된다. 물론, 상기 랙기어(336) 및 피니언(338) 대신에 상기 회전운동을 수직왕복운동으로 변환할 수 있는 구성이면 어느 것이라도 채용가능하다.
그리고, 상기 흡착장치(327)에는 보정유닛(340)이 마련된다. 상기 보정유닛(340)은, 상기 지지바아(332)의 일측에 고정되어 상기 가이드바(334)와 평행하게 배치되는 보정바(342), 상기 보정바(342)를 탄성지지하는 탄성부재(344)로 구성된다.
상기 보정유닛(340)은 상기 랙기어(336)와 피니언(338)이 맞물려져 회전할 때, 각각 기어 사이의 유격으로 인한 운동전달 차이 예를 들면 위치오차가 발생하는 현상이 발생하는 것을 방지하기 위한 역할을 한다.
다음으로, 상기 고정용 픽커(322)에 의해 이송된 반도체 패키지(SP)를 지그(310)에 고정하는 반도체 패키지 고정어셈블리(350)가 마련된다.
상기 반도체 패키지 고정어셈블리 (350)는 도 5a를 참조하여 설명한다. 상기 반도체 패키지 고정어셈블리(350)는 지그(310)를 고정하는 지그홀더(376)가 마련되는 몸체유닛(360), 상기 지그(310)로 상기 반도체 패키지(SP)를 삽입하는 제 1푸시유닛(390), 상기 지그(310)에서 상기 반도체 패키지(SP)를 탈거시키는 제 2푸시유닛(400) 및 상기 지그(310)에 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입고정되도록 상기 지그홀더(376)을 이동시키는 연동유닛(370)으로 구성될 수 있다.
먼저, 상기 반도체 패키지 고정어셈블리(350)의 몸체유닛(360)은 바닥을 구성하는 수평부재(362)와, 상기 수평부재(362)에 직교되는 수직부재(364)로 구성된다. 상기 수평부재(362)와 수직부재(364) 사이에는 연동유닛(370)이 마련된다.
상기 연동유닛(370)은 상기 수평부재(362)를 따라 슬라이딩 가능한 수평연동 수단(372)과, 상기 수직부재(364)를 따라 슬라이딩 가능한 수직연동수단(374)으로 구성된다. 또한, 상기 수평연동수단(372)과 상기 수직연동수단(374)의 사이에는 지그홀더(376)가 마련된다. 상기 지그홀더(376)는 상기 지그(310)를 고정하는 역할을 한다.
상기 지그홀더(376)의 일단은 상기 수직연동수단(374)의 상단에 힌지로 결합되어, 상기 지그홀더(376)는 상기 수직연동수단(374)의 상단을 중심으로 회동가능하게 된다. 그리고, 상기 지그홀더(376)는 그 측면을 따라 가이드홈(378)이 마련된다.
그리고, 상기 수평연동수단(372)의 양측은 상기 지그홀더(376)를 지지할 수 있도록 양측벽(373)으로 형성되고, 상기 양측벽(373)의 상단에는 회동축(380)이 내측방향으로 마주보도록 마련된다. 상기 수평연동수단(372)의 회동축(380)이 상기 지그홀더(376)의 가이드홈(378)을 따라 도 5a 내지 5d 와 같이 동작할 수 있게 된다. 또한, 상기 회동축(380)에는 상기 가이드홈(378)과 구동을 용이하게 하기 위해 롤러(미도시)가 더 구비될 수 있다.
그리고, 상기 수평부재(362)와 수평연동수단(372), 상기 수직부재(364)와 수직연동수단(374) 사이에는 각각 슬라이딩 가능한 구조이면 어떤 구조든지 적용가능하며, 예를 들면, 일측에는 가이드홈이 형성되고, 타측에는 가이드돌기가 구비되어 서로 슬라이딩될 수 있다. 물론, 상기 수평연동수단(372) 및 상기 수직연동수단(374)에 각각 제 1모터 및 제 2모터가 별개로 구비되어 각각 별도로 슬라이딩 가능하게 구동될 수 있다.
또한, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워졌을 때, 상기 지그홀더(376)가 유동되지 않도록 고정시키는 지그홀더고정유닛(384)이 마련될 수 있다.
상기 지그홀더고정유닛(384)은 상기 수직연동수단(374)에서 상대적으로 하방에 마련된다. 상기 지그홀더고정유닛(384)은 상기 수직연동수단(374)에 수직으로 돌출된 몸체(385a)에서 하방으로 요입된 홈(385b)의 내측에 탄성부재(385c) 예를 들면 스프링이 마련될 수 있다.
그리고, 상기 탄성부재(385c)의 선단에는 상기 홈(385b)을 따라 슬라이딩되는 돌기(385d)가 마련된다. 즉, 상기 돌기(385d)가 상기 탄성부재(385c)에 의해 탄성지지되어 상기 돌기(385d)의 선단이 외부로 노출되도록 구성된다.
한편, 상기 지그홀더(376)가 도 5c에 도시된 바와 같이 수직으로 세워졌을 때, 하방에는 상기 지그홀더고정유닛(384)에 대응되도록 걸림홈(386)이 마련된다. 상기 걸림홈(386)은 바람직하게는 상기 지그홀더고정유닛(384)의 돌기(385d)의 선단에 맞물리게 위치될 수 있다. 이는 상기 걸림홈(386)이 상기 돌기(385d)에 맞물려져 상기 지그홀더(376)가 유동되지 않도록 하기 위함이다.
상기 도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)의 내부에는 지그안착공(382)이 마련된다. 상기 지그안착공(382)은 상기 지그(310)의 외형에 대응되게 형성된다. 그리고, 상기 지그안착공(382) 내부에는 진공으로 상기 지그(310)를 흡착하도록 지그흡착공(미도시)이 형성되어, 지그(310)가 상기 지그안착공(382)에 고정될 수 있도록 하도록 구성된다. 상기 지그안착공(382)에 지그(310)가 걸어지는 구조는 당업자의 수준에서 여러가지로 구성될 수 있다.
예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)의 지그안착공(382) 내측면에는 상기 지그(310)가 안착될 때, 상기 지그(310)가 상기 지그안착공(382)에 고정되도록 가고정부재(533)가 마련될 수 있다. 상기 가고정부재(533)는 상기 지그홀더(376)의 내측에 소정의 공간이 형성되어 상기 공간을 슬라이딩가능한 걸림돌기(533a)가 마련되고, 상기 걸림돌기(533a)를 탄성지지하는 스프링(533b)으로 구성될 수 있다. 그리고, 상기 지그(310)의 외측면에는 상기 가고정부재(533)의 걸림돌기(533a)가 걸어질 수 있는 걸림홈(310a)이 마련될 수 있다. 이는 물론, 아래에서 설명될 위치변경장치(520)에 구성될 수도 있다.
그리고, 상기 지그홀더(376)에는 상기 지그(310)의 슬릿(314)의 폭을 조절하는 지그클램핑유닛(387)이 마련된다. 상기 지그클램핑유닛(387)은 상기 지그(310)의 슬릿(314)의 폭을 조절하여 상기 슬릿(314)의 내부로 삽입되는 상기 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입 및 배출되고, 또는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 슬릿(314) 내부에 유동되지 않고 안정적으로 고정되도록 하기 위한 역할을 한다.
상기 지그클램핑유닛(387)은, 상기 지그(310)의 슬릿(314)을 조절하는 이동부재(387a)와, 상기 이동부재(387a)를 구동시키는 구동부재(387b)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 이동부재(387a)는 일단이 상기 구동부재(387b)의 선단에 위치하고, 타단은 상기 지그(310)의 조절공(316) 내부에 안착되도록 구성할 수 있다. 이는 도 6b 및 도 6c의 확대도면에 도시된 바와 같이, 구성되어, 상기 지그(310)의 조절부(315)의 조절공(316) 내부에 삽입되어, 상기 조절부(315)를 이동시킬 수 있도록 한다.
그리고, 상기 구동부재(387b)는 상기 이동부재(387a)를 이동시킬 수 있는 구성이면 어느 것이라도 채용가능하며, 본 발명에서는 그 예로 실린더를 구성하고 있다. 한편, 상기 지그(310)의 내부에는 상기 구동부재(387b)가 동력을 제공하는 방향과 반대방향으로 탄성지지하는 탄성부재(317)가 마련될 수 있다. 이는 상기 구동부재(387b)의 구동에 의해, 상기 이동부재(387a)가 이동하여, 상기 지그(310)의 조절부(315)가 이동한 경우, 이를 반대방향으로 원상회복할 수 있도록 탄성지지하기 위함이다.
그리고, 상술한 바와 같이, 상기 패키지고정어셈블리(350)에는 제 1푸시유닛(390)이 마련된다. 상기 제 1푸시유닛(390)은 상기 수평부재(362) 상에 상기 수평연동수단(372)과는 별개로 슬라이딩가능하도록 설치된다.
상기 제 1푸시유닛(390)은, 제 1푸시몸체(397)와, 상기 수평부재(362)에 평행하게 설치되어, 상기 제 1푸시몸체(397)가 이동가능하도록 하는 제 1가이드(395)와, 상기 제 1푸시몸체(397)의 선단에 구비되어 상기 반도체 패키지(SP)가 안착되는 시트블럭(392)과, 상기 시트블럭(392)의 상면과 같은 높이로 수평으로 이동가능한 제 1푸시(398)를 포함하여 구성된다.
상기 제 1푸시유닛(390)의 몸체의 선단에는 시트블럭(392)이 구비된다. 상기 시트블럭(392)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 반도체 패키지(SP)를 안착시켜 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 제 1푸시(398)에 의해 용이하게 삽입되도록 가이드하 는 역할을 한다.
상기 시트블럭(392)의 상면에는 요입된 안착부(394)가 마련된다. 상기 안착부(394)는 상기 반도체 패키지(SP)가 그 상면에 위치되고, 상기 슬릿(314)으로 정확하게 삽입되도록 가이드하는 역할을 한다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 상기 시트블럭(392)이 단차지도록 형성되어, 즉 상면이 2층구조로 형성된다. 각각에 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)가 형성되어, 동시에 2개의 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 지그(310)의 슬릿(314)으로 삽입할 수 있도록 함이 바람직하다. 물론, 사용자의 필요에 따라 상기 시트블럭(392)을 여러층으로 단차지도록 형성할 수 있다.
그리고, 상기 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)에는 각각 에어홀(396)이 마련된다. 상기 에어홀(396)은 진공원으로부터 공기가 흡착되어, 상기 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b) 상에 안착되는 상기 반도체 패키지(SP)가 정확하고 안정적으로 위치되도록 한다.
상기 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)의 일단에는 스톱퍼(393)가 마련된다. 상기 스톱퍼(393)는 상기 각각의 안착부(394a, 394b)로 이동되는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 안착부(394a, 394b) 밖으로 이동하는 것을 방지하여, 상기 안착부(394a, 394b)에 안정적으로 안착되도록 하는 역할을 한다.
여기서, 상기 제 1안착부(394a)에 마련되는 스톱퍼는 제 1스톱퍼(393a)이고, 상기 제 2안착부(394b)에 마련되는 스톱퍼는 제 2스톱퍼(393b)로 구분될 수 있다.
또한, 상기 시트블럭(392)은 수평으로 이동가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 상기 시트블럭(392)의 각각의 안착부(394)가 대향되도록 하기 위하여 수평으로 이동가능하게 구성된다.
상기 시트블럭(392)의 일측 즉 상기 지그홀더(376)의 반대 방향으로는 제 1푸시(398)가 마련된다. 상기 제 1푸시(398)는 상기 제 1푸시몸체(397)을 따라 수평으로 슬라이딩가능하도록 구성된다. 물론, 상기 제 1푸시(398)를 슬라이딩가능하게 하는 모터(미도시)가 별도로 구비될 수 있다.
상기 제 1푸시(398)의 선단은 도 5a에 도시된 바와 같이, 2층으로 형성된다. 상기 2층으로 형성된 상기 제 1푸시(398)의 선단은 상기 2층으로 단차진 시트블럭(392)의 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b) 각각에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 동시에 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입가능하게 한다.
한편, 상기 제 1푸시유닛(390)의 맞은편에는 상기 제 1푸시유닛(390)과 대응되도록 제 2푸시유닛(400)이 마련된다.
상기 제 2푸시유닛(400)은 상기 제 1푸시(398)와 평행하게 이동가능한 제 2푸시(402)와, 상기 제 2푸시(402)가 이동가능하도록 하방에서 가이드하는 제 2가이드(404)를 포함하여 구성된다.
상기 제 2푸시유닛(400)에는 상기 제 1푸시(398)와 마찬가지로 제 2푸시(402)가 상기 제 2가이드(404)를 따라 상기 제 1푸시(398)와 같은 높이로 수평 슬라이딩가능하게 구비된다. 물론, 상기 제 2푸시(402)를 슬라이딩가능하게 하는 모터(미도시)가 별개로 구비될 수 있다.
상기 제 2푸시(402)는 도면상에서 우측에서 좌측으로 이동하면서 상기 지 그(310)의 슬릿(314)에 적재되어 있던 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)로 이동시키는 역할을 한다.
따라서, 상기 제 2푸시(402)의 선단은 도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 제 1푸시(398)의 선단과는 상이하게 길이를 달리하고 있다. 상기 제 2푸시(402)의 선단의 길이가 다른 것은 상기 시트블럭(392)의 제 1안착부(394a)와 제 2안착부(394b)의 거리차이를 보완하기 위함이다. 바람직하게는, 상기 제 1안착부(394a)의 크기 만큼의 차이가 보완되어야 할 것이다.
또한, 도 5d를 참조하여 설명하면, 상기 제 1푸시(398)에 의해 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 반도체 패키지(SP)가 삽입되면, 상기 제 1푸시(398)는 상기 슬릿(314)에서 이탈하고, 상기 지그홀더(376)의 수직이동을 담당하는 수직연동수단(374)은 상기 제 1푸시(398)의 이동경로 상에 비워있는 슬릿(314)이 위치하도록 상방 또는 하방으로 이동시키게 된다. 물론, 상기 제 2푸시(402)에 의해 상기 슬릿(314)에서 반도체 패키지(SP)가 제거될 때도 상술한 바와 같은 동작이 역으로 이루어지게 된다.
다음으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 패키지 고정부(300)에서 상기 지그(310)에 삽입고정된 상기 반도체 패키지(SP)를 그라인딩하기 위한 가공부(500)를 설명한다.
상기 가공부(500)에는 가공을 위한 블레이드(502)와, 상기 지그(310)가 안착되어 회전가능하게 구성되는 척테이블(504)과, 상기 척테이블(504)이 상기 블레이드(502)로 이송가능하게 하는 척테이블 이송라인(506) 및 상기 지그(310)를 회전시 켜 상하면을 바꾸는 위치변경장치(520)를 포함하여 구성된다.
상기 가공부(500)에는 가공부픽커(508)와 가공부 픽커 이송라인(509)이 구비되며, 상기 가공부 픽커(508)는 상기 반도체 패키지(SP)가 삽입된 지그(310)를 픽업하여, 상기 가공부 픽커 이송라인(509)을 따라 이동하면서, 상기 척테이블(504)로 전달하는 역할을 한다.
상기 가공부 픽커(508)의 이동경로의 하방에는 척테이블(504)이 마련된다. 상기 척테이블(504)은 수직축을 중심으로 회전가능하고, 상기 가공부 픽커 이송라인(504)에 평행한 척테이블 이송라인(506)을 따라 블레이드(502)로 이동가능하게 설치된다.
그리고, 상기 척테이블(504)에는 상기 반도체 패키지(SP)가 고정된 지그(310)가 상부에 안착되게 되는데, 상기 지그(310)의 일측 즉 상기 지그(310)의 상면을 가공하고 나면, 그 하면을 가공할 필요가 있게 되는데, 이때, 위치변경장치(520)가 상기 지그(310)를 고정시켜 수평축을 중심으로 회전시켜 하면과 상면의 위치를 바꾸게 된다.
이하, 도 8a 및 8b를 참조하여 본 발명인 상기 위치변경장치의 제 1실시예를 상세하게 설명한다.
상기 위치변경장치(520)에는 반도체 패키지(SP)가 삽입된 지그(310)를 고정하는 지그고정수단(530)과, 상기 지그고정수단(530)을 회동시키는 회전수단(540)이 마련된다. 상기 위치변경장치(520)는 상기 지그(310)에 삽입된 반도체 패키지(SP)를 가공하는 과정에서 상기 반도체 패키지(SP)의 양단을 가공해야 되므로, 상기 지 그(310)를 회전시키는 역할을 한다.
상기 지그고정수단(530)에는, 상기 내부에 소정의 공간이 형성되어, 상기 반도체 패키지(SP)가 삽입된 지그(310)를 고정하는 지그안착공간(531)이 마련된 프레임(532)이 구비된다. 상기 지그안착공간(531)은 상기 지그(510)의 형상에 대응되도록 사각형의 틀로 형성됨이 바람직하며, 상기 프레임(532)도 사각형으로 형성될 수 있다.
그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(532)의 내측면에는 상기 지그(310)가 안착될 때, 상기 지그(310)가 상기 프레임(532)의 지그안착공간(531)에 가고정되도록 가고정부재(533)가 마련된다. 상기 가고정부재(533)는 상기 프레임(532) 내측에 소정의 공간이 형성되어 상기 공간을 슬라이딩가능한 걸림돌기(533a)가 마련되고, 상기 걸림돌기(533a)를 탄성지지하는 스프링(533b)으로 구성될 수 있다.
그리고, 상기 지그(310)의 외측면에는 상기 가고정부재(533)의 걸림돌기(533a)가 걸어질 수 있는 걸림홈(310a)이 마련될 수 있다. 물론, 상술한 바는 상기 프레임(532)의 지그안착공간(531)에 상기 지그(310)를 가고정하는 방식에 대해 설명하고 있지만, 당업자의 수준에서 다른 방식을 적용할 수도 있다.
또한, 상기 지그(310)의 각 모서리(310b)는 테이퍼지도록 형성될 수 있다. 이는 아래에서 설명될 상기 지그(310)를 고정하는 고정유닛(534)의 고정슬릿(536)에 안착될 때, 안정적으로 삽입되도록 하기 위함이다.
상기 프레임(532)의 양단에는 상기 지그(310)가 지그안착공간(531)에 안착되 었을 때, 상기 지그(310)가 상기 지그안착공간(531)에서 이탈되지 않도록 고정시키는 고정유닛(534)이 마련된다.
그리고, 상기 고정유닛(534)은, 상기 프레임(532)의 양단에 구비되어 상기 프레임(532)의 길이방향을 따라 이동하면서 상기 지그(310)의 양단을 고정할 수 있도록 고정슬릿(536)이 내측에 마련되는 고정부재(537)와, 상기 고정부재(537)를 상기 프레임(532)의 길이방향으로 이동가능하게 하는 이동부재(538)가 마련된다.
상기 고정부재(537)는 상기 지그(310)를 상기 지그안착공간(531)에서 이탈되지 않도록 고정시킬 수 있으면, 하나로 구성되어도 상관없으나, 한 쌍으로 구성됨이 바람직하며, 서로 마주보는 방향으로 이동가능하게 구성될 수 있다. 또한, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 고정슬릿(536)은 상기 지그(310)의 양단 즉 상기 지그(310)의 각 모서리(310b)가 삽입되도록, 상기 모서리(310b)의 형상에 대응되도록 형성될 수 있다.
한편, 상기 이동부재(538)는 상기 고정부재(537)에 각각 구비될 수 있다. 상기 이동부재(538)는 상기 고정부재(537)를 이동시킬 수 있는 구성이면 상관이 없으나, 직선왕복운동을 할 수 있는 부재여야 한다. 본 발명에서는 상기 이동부재(538)가 실린더로 구성될 수 있다.
또한, 상기 이동부재(538)는 상기 고정부재(537)의 양단에 한 쌍으로 구비되어 있으며, 이는 상기 고정부재(537)를 안정적으로 상기 지그안착공간(531) 방향으로 이동할 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 상기 위치변경장치(520)의 회전수단(540)은, 상기 지그고정유 닛(530)의 일측에 구비되어 직선운동하는 구동부재(542)와, 상기 구동부재(542)의 직선운동을 상기 지그고정수단(530)이 회전할 수 있도록 회전운동으로 변환시키는 연동유닛(544)으로 구성된다.
도 8a에 도시된 바를 참조하면 상기 구동부재(542)는 상기 위치변경장치(520)의 일측에 구비되어, 에어실린더로 구성되어 직선왕복운동을 할 수 있다. 그리고, 상기 구동부재(542)의 직선운동을 상기 지그고정수단(530)의 회전운동을 변환하도록 연동유닛(544)이 마련된다.
상기 연동유닛(544)은, 상기 구동부재(542)에 결합되어, 상기 구동부재(542)의 에어실린더 운동할 때, 함께 직선운동하는 랙(546)과, 상기 지그고정수단(530)의 회전축에 결합되어 상기 랙(546)과 맞물려져 회전하는 피니언(548)으로 구성된다. 즉, 상기 랙(546)과 피니언(548)에 의해 상기 구동부재(542)의 직선운동이 상기 지그고정수단(530)의 회전운동으로 변환하게 된다.
물론, 상기 회전수단(540)이 구동부재(542)와, 상기 구동부재(542)의 직선운동을 회전운동으로 변환하는 연동유닛(544)으로 구성되어 있으나, 당업자의 수준에서 직선운동을 회전운동으로 변환할 수 있는 구성이면 어떤 구성이라도 채용될 수 있다. 또한, 직선운동을 회전운동으로 변환할 필요없이 모터와, 구동, 종동기어 등으로 구성될 수도 있다.
그리고, 상기 위치변경장치(520)에는 상기 지그고정수단(530)을 위치변경장치(520)에서 외부로 이동시킬 수 있는 이동수단(550)이 더 마련될 수 있다. 상기 이동수단(550)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 위치변경장치(520)가 상기 척테이 블 이송라인(506)에 평행하게 설치되어 있어, 상기 위치변경장치(520)의 지그고정수단(530)이 상기 척테이블(504)에서 이격된 거리만큼 이동할 수 있도록 하는 역할을 한다.
상기 이동수단(550)은, 전원을 인가받아 동력을 발생하는 구동모터(미도시)와, 상기 구동모터의 동력을 상기 지그고정수단(530)으로 전달하는 벨트(552)와, 상기 벨트(552)에 고정되어 상기 벨트(552)의 동력이 상기 지그고정수단(530)으로 전달되도록 하는 벨트고정부재(554)를 포함하여 구성된다.
상기 구동모터는 상기 도 8a에는 도시되지는 않았지만, 상기 위치변경장치(520)에 구비되어, 상기 벨트(552)가 구동될 수 있도록 회전력을 발생시키는 역할을 한다.
상기 벨트(552)는 상기 위치변경장치(520)의 양단에 풀리(556)가 마련되어, 상기 풀리(556)를 중심으로 회전가능하게 구성된다. 또한, 상기 벨트(552)는 상기 위치변경장치(520)의 길이방향으로 즉, 상기 지그고정수단(530)이 이동하려는 방향으로 평행하게 쌍으로 구성될 수 있다.
상기 벨트(552)의 일측에는 벨트고정부재(554)가 마련된다. 상기 벨트고정부재(554)는 상기 지그고정수단(530)에 결합되고, 상기 벨트(552)에 고정되어, 상기 벨트(552)의 동력이 상기 지그고정수단(530)으로 직접적으로 전달될 수 있도록 한다.
한편, 상기 지그고정수단(530)과 상기 회전수단(540)은 탈착가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 지그고정수단(530)의 회전축에 결합되어 있는 피니 언(548)이 상기 회전수단(540)의 랙(546)에 대해 상기 랙(546)의 이동방향에 직교되도록 이동가능하게 구성될 수 있다.
즉, 상기 벨트고정부재(554)가 상기 지그고정수단(530)에 구비되고, 상기 벨트(552)의 이동에 의해 상기 피니언(548)을 포함하는 지그고정수단(530)만 상기 회전수단(540)에서 이탈하여 상기 위치변경장치(520)의 외부로 이동가능하게 구성될 수 있다.
한편, 다시 도 1을 참조하여, 상기 척테이블 이송라인(506) 상에는 블레이드(502)가 구비된다. 상기 블레이드(502)는 상기 지그(310)에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 사용자가 원하는 형상으로 가공하는 역할을 한다.
또한, 상기 블레이드(502)는 2개가 병렬로 형성될 수 있다. 상기 블레이드(502)가 2개의 병렬형태로 형성되는 것을 상기 지그(310)에 상기 반도체 패키지(SP)가 2줄로 적재되어 있기 때문이다. 그리고, 상기 블레이드(502)는 각각 2개의 다른 형상으로 형성된다. 이는 상기 반도체 패키지(SP)의 가공해야 하는 두 측면이 각각 다른 형상을 하기 때문이다. 물론, 이는 사용자의 필요에 따라 하나의 형상으로도 가능하며, 여러방식으로 적용할 수 있다.
다시 도 1에 도시된 상기 반도체 패키지 가공시스템의 전체공정으로 돌아가서 설명하면, 상기 위치변경장치(520)가 구비된 상기 가공부(500)에서 상기 지그(310)에 안착된 반도체 패키지(SP)의 가공이 완료되면, 상기 패키지고정부(300)로 옮겨서 상기 지그(310)에서 각각의 가공 완료된 반도체 패키지(SP)가 이탈되고, 상기 전달부(200)를 따라 세척건조부(600)로 이송된다.
상기 세척건조부(600)는 상기 가공작업의 공정 다음에 공정이 이루어질 수 있으면 되나, 본 발명에서는 상기 전달부 픽커 이송라인(202) 상에 직교되게 위치하도록 함이 바람직하다.
상기 세척건조부(600)에는, 도 10 및 도 11a 내지 도 11d에 도시된 바와 같이, 상기 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)를 적재하여 이동시키는 네스트유닛(620), 상기 전달부 픽커 이송라인(202)의 하방에 네스트유닛(620)의 네스트(622)가 이동될 수 있도록 네스트 이송유닛(612)이 구비된다. 상기 네스트 이송유닛(612)은 사용자의 필요에 따라 여러 개가 구비될 수 있으며, 본 발명에서는 3개가 마련된 것으로 도시하며 이를 설명한다.
상기 네스트 이송유닛(612)은 네스트유닛(620)의 네스트(622)을 적재하여 이송하는 이송테이블(613)과, 상기 이송테이블(613)이 이동되도록 동력을 제공하는 이송테이블구동유닛(614)으로 구성된다. 상기 이송테이블구동유닛(614)은 상기 이송테이블(614)이 이동할 수 있는 구성이면 어떤 구성이라도 상관없으나, 본 발명에서는 벨트와 구동모터로 구성된다.
그리고, 상기 네스트 이송유닛(612)에는 상기 네스트(622)이 안정적으로 이송되기 위한 가이드(615)가 더 마련될 수 있다. 상기 가이드(615)에는 홈(616)이 마련되어, 상기 홈(616)에 상기 네스트(622)의 테이블가이드(633)가 삽입되어 상기 홈(616)을 따라 이송되게 된다.
보다 구체적으로는 상기 네스트(622) 중 커버(630)의 테이블가이드(633)가 상기 도 11e에 도시된 바와 같이, 아래에서 설명될 커버구동유닛(640)의 가이드레 일(644) 및 가이드(615)에 삽입되어 상기 가이드레일(644) 및 가이드(615)를 따라 이동가능할 수 있게 구성될 수 있다.
상기 네스트유닛(620)에는 상기 반도체 패키지(SP)를 고정시키는 네스트(622)와, 상기 네스트(622)에 고정된 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 네스트(622)에 고정될 수 있도록 구동하는 커버구동유닛(640)을 포함하여 구성된다.
도 10에 도시된 바를 참조하여, 상기 네스트(622)에는 상기 전달부 픽커(204)들에 의해 이송된 반도체 패키지(SP)를 하방에서 수용할 수 있는 베이스부(624)가 마련된다. 상기 베이스부(624)에는 상기 반도체 패키지(SP)를 수용할 수 있는 패키지안착부(626)가 소정의 간격으로 배열되도록 형성된다.
상기 패키지안착부(626)는 관통되도록 형성되어 세척수가 상기 반도체 패키지(SP)에 빈틈없이 전달될 수 있도록 한다. 상기 패키지안착부(626)의 하단에는 여러개의 돌기부(628)가 마련된다. 상기 돌기부(628)는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 패키지안착부(626)를 이탈하지 않도록 하방에서 지지하는 역할을 한다.
상기 패키지 안착부(626)의 돌기부(628)의 상면 즉 상기 반도체 패키지(SP)와 접하는 부분은 선단으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성될 수 있다. 이는 상기 돌기부(628)에 접하는 상기 반도체 패키지(SP)와의 접촉면적을 최소로 하기 위함이다.
상기 커버(630)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 베이스부(624)의 패키지 안착부(626)에 대응되도록 관통되어 있고, 내측방향으로 돌출된 돌출부(632)가 다수개 형성된다. 이는 상기 반도체 패키지(SP)가 세척시 상방으로 이탈되는 것을 방 지하게 된다. 한편, 상기 돌기부(628)와 돌출부(632)는 서로 엇갈리게 형성되어 상기 반도체 패키지(SP)와의 접촉면적을 최소로 하게 된다.
그리고, 상기 베이스부(624)에는 걸이홈(629)이 형성되고, 상기 커버(630)에는 상기 걸이홈(629)에 대응되도록 걸이돌기(634)가 마련된다. 상기 걸이홈(629)에 상기 걸이돌기(634)가 걸어짐으로써 상기 베이스부(624)와 상기 커버(630)가 이탈되지 않고 고정되게 된다.
또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 커버(630)에는 테이블가이드(633)가 더 마련된다. 상기 테이블가이드(633)는 상기 커버(630)가 상기 베이스부(624)에 탈착될 때 아래에서 설명될 커버구동유닛(640)의 가이드레일(644)에 걸어져 상기 커버(630)만 이동가능하게 하는 역할을 한다.
상기 테이블가이드(633)에는 가이드홀(635)이 마련될 수 있다. 상기 가이드홀(635)은 도 11f에 도시된 바와 같이, 상기 커버(630)를 픽업하는 커버구동유닛(640)에 마련되는 위치센서(643)가 상기 네스트(622)인 커버(630)와 베이스부(624)가 정확하게 위치되어 있는지 여부를 판단하는 역할을 한다.
즉, 상기 커버구동유닛(640)의 가이드레일(644)이 하강하면, 도 11f에 도시된 바와 같이, 상기 커버구동유닛(640)에 마련되어 있는 위치센서(643)의 선단이 상기 네스트(622)의 가이드홀(635)로 삽입되게 된다. 그러나, 상기 네스트(622)가 바른 위치에 위치되어 있지 않으면, 상기 위치센서(643)의 선단은 상기 가이드홀(635)에 삽입되지 않고, 상기 위치센서(643)의 선단이 상방으로 밀리면서, 상기 위치센서(643)가 작동하여, 상기 네스트(622)가 정확하게 위치되어 있지 않음을 사 용자에게 알리게 된다.
그리고, 상기 네스트(622)인 상기 베이스부(624)와 커버(630) 사이에 상기 반도체 패키지(SP)를 고정되도록 상기 베이스부(624)에 대해 상기 커버(630)를 상대적으로 이동시키는 커버구동유닛(640)이 마련된다. 상기 커버구동유닛(640)은 도 11a에 도시된 바와 같이, 상기 반도체 패키지(SP)가 세척시 상방으로 이탈되지 것을 방지하는 상기 커버(630)를 장착하는 역할을 한다.
그리고, 상기 커버구동유닛(640)에는 상기 커버구동유닛(640)을 동작하도록 하는 구동실린더(642)가 마련된다. 물론, 상기 구동실린더(642)는 상기 커버구동유닛(640)을 동작할 수 있도록 동력을 발생시킬 수 있는 것이면 어느 것이라도 적용가능하다.
상기 커버구동유닛(640)에는 가이드레일(644)이 마련된다. 상기 가이드레일(644)은 상기 구동실린더(642)와 연동되도록 구성되어, 상기 커버(630)를 상기 베이스부(624)에 대해 장착 및 탈거되도록 상기 커버(630)를 가이드하는 역할을 한다.
특히, 도 11e에 도시된 바와 같이, 상기 가이드레일(644)은 상기 커버(630)에 마련된 테이블가이드(633)와 맞물려져 상기 커버(630)만 픽업하여 상기 베이스부(624)로부터 상기 커버(630)만을 탈거시킬 수 있도록 한다.
또한, 상기 네스트 이송라인(612) 상에는 세척건조실(650)이 마련된다. 상기 세척건조실(650)은 밀폐되도록 형성되어, 외부로 세척수나 세척에 의해 발생되는 이물질이 외부로 누설되지 않도록 한다.
상기 세척건조실(650)의 입구 상하방에는 노즐(652)이 다수개 구비된다. 상기 노즐(652)에는 세척수와 공기들이 배출되어 상기 네스트(622) 상에 있는 상기 반도체 패키지(SP)에 잔존해 있는 이물질을 제거하여 건조시키는 역할을 한다.
그리고, 상기 세척건조부(600)에서 세척이 완료된 상기 반도체 패키지(SP)는 검사부(700)를 거쳐 다시 상기 전달부(200)에 의해 상기 로딩언로딩부(100)로 전달된다.
상기 검사부(700)는 도 1에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 검사유닛(710, 720)으로 구성되어, 상기 반도체 패키지(SP)를 상하에서 검사할 수 있도록 구성될 수 있다. 그리고, 상기 검사유닛(710, 720)은 각각의 검사부 이송라인(712, 722)을 따라 이송될 수 있다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 검사유닛(710, 720)은 제 1검사유닛(710)과 제 2검사유닛(720)으로 구성된다. 상기 제 1검사유닛(710)은 상기 네스트 이송라인(612)의 상방에 직교되도록 형성된 제 1검사부 이송라인(712)을 따라 이동하면서, 상기 네스트(622) 상에 안착된 반도체 패키지(SP)의 상면의 가공상태를 검사하게 된다.
그리고, 상기 제 2검사유닛(720)은 상기 전달부 픽커 이송라인(202)의 하방에 직교되도록 형성된 제 2검사부 이송라인(722)을 따라 이동하면서, 상기 전달부픽커(204)에 의해 이동되는 상기 반도체 패키지(SP)의 하면의 가공상태를 검사하게 된다.
그리고, 상기 로딩언로딩부(100), 전달부(200), 패키지고정부(300), 가공 부(500), 세척건조부(600) 및 검사부(700)는 모두 제어부(미도시)에 의해 전기적으로 연통되고, 제어되게 된다.
이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 제 1실시예인 위치변경장치가 채용된 반도체 패키지 가공시스템의 작용을 상세하게 설명한다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 모듈공정이 완료된 반도체 패키지(SP)가 정렬된 트레이(102)들이 다수 적재된 트레이매거진(106)상에 적재되어 있는 트레이 중 어느 하나가 트레이 픽커(112)에 의해 이동테이블 상으로 이동된다.
상기 트레이(102)가 상기 이동테이블에 적재되면, 상기 이동테이블은 상기 이동테이블 이송라인(104a)을 따라 상기 전달부 픽커 이송라인(202)의 하방으로 이동하게 된다. 상기 이동테이블이 상기 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이동하면, 상기 전달부 픽커(204)는 상기 트레이(102) 상의 반도체 패키지(SP)를 소정의 개수만큼 파지하여 상기 전달부 픽커 이송라인(202)을 따라 이동하여, 턴테이블(302) 상에 적재시킨다.
상기 전달부 픽커(204)는 본 발명에서는 8개씩 파지하여 이송하게 된다. 물론 사용자의 필요에 따라 다양한 조건을 제어부에 부가하여 상기 전달부 픽커(204)가 파지할 수도 있다.
그리고, 상기 턴테이블(302)에 적재되는 상기 반도체 패키지(SP)는 적재되는 방향이 중요하게 되는데, 이 방향성은 지그(310)의 슬릿(314)의 형상에 따라 달라지게 되는데, 이는 가공부(500)에 마련되어 있는 블레이드(502)의 형상에 대응되도록 하기 위한 것이다.
예를 들면, 상기 가공부(500)의 블레이드(502)이 도 1과 달리 같은 모양이면, 지그(310)에 형성되어 있는 슬릿(314)에 삽입되는 상기 반도체 패키지(SP)가 같은 방향으로 배열되어도 되므로, 상기 턴테이블(302)은 회전할 필요없이, 상기 전달부 픽커(204)는 같은 방향으로 상기 턴테이블(302)의 상면에 순서대로 적재하면 된다.
다만, 상기 가공부(500)의 블레이드(502)이 도 1에 도시된 바와 같으면, 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입되는 상기 반도체 패키지(SP)가 서로 반대 방향으로 배열되어야 하므로, 상기 턴테이블(302)은 회전을 필요로 한다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 전달부 픽커(204)는 상기 반도체 패키지(SP)를 1번 3번 순으로 먼저 적재를 하고, 상기 턴테이블(302)을 180도 회전시킨 후 상기 반도체 패키지(SP)를 2번 4번 순으로 적재하는 방식으로 적재되게 된다. 즉, 다시 설명하면, 상기 턴테이블(302)이 180도 회전하고 나서 다시 왼쪽에서 순서대로 1번, 3번째(180도 회전 전의 2번, 4번)에 안착되게 된다.
상기 턴테이블(302)에 상기 반도체 패키지(SP)의 적재가 완료되면, 상기 턴테이블(302)은 상기 고정부 픽커(322)에 의해 2개씩 2줄로 파지되어 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동하여 상기 시트블럭(392) 상면의 안착부(394)에 적재된다.
상기 고정부 픽커(322)의 각 줄의 높이를 조절하는 구동수단(328)이 작동하여 상기 제 1안착부(394a)에 적재시키는 흡착노즐(327)을 지지하는 지지바아(332a)를 상기 제 2안착부(394b)에 적재하는 흡착노즐(327)을 지지하는 지지바아(332b) 보다 상대적으로 하방으로 이동하도록 하여 상기 시트블럭(372) 상면의 안착부(374)에 상기 반도체 패키지(SP)를 각각 안착시키게 된다.
이때, 상기 각각의 안착부(372)의 상면에는 에어홀(376)을 통하여 상기 반도체 패키지(SP)를 정확하게 진공,흡착한다. 상기 제어부가 상기 에어홀(376)을 통하여 상기 반도체 패키지(SP)가 정확하게 위치되었다고 판단하면, 수평연동수단(372) 및 수직연동수단(374)을 구동하는 모터가 구동하도록 한다.
즉, 상기 수평연동수단(372) 및 수직연동수단(374)을 구동시키면, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 수평연동수단(372)은 상기 수평부재(362)에 대해 오른쪽으로 이동하며, 상기 수직연동수단(374)은 상기 수직부재(364)에 대해 상방으로 이동하게 된다.
이를 보다 상세하게 설명하면, 상기 수평연동수단(372)의 회동축(380)이 상기 지그홀더(310)의 가이드홈(378)을 따라 회전하면서, 슬라이딩되고, 상기 수직연동수단(374)과 힌지결합된 상기 지그홀더(376)의 선단부는 회동하여 도 5c에 도시된 바와 같이 동작하게 된다.
그리고, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)가 상기 수직부재(364)에 완전히 평행하게 위치 즉 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워지면, 상기 수직연동부재(374) 및 상기 수평연동부재(372)는 더 이상 이동하지 않게 된다.
또한, 이때, 상기 수직연동부재(374)의 하단에 위치한 상기 지그홀더고정유닛(384)의 돌기(385d)가 상기 지그홀더(376)의 하단에 형성된 걸림홈(386)에 삽입되면서 상기 지그홀더(376)는 유동하지 않게 된다.
상기 지그홀더(376)의 걸림홈(386)에 상기 지그홀더고정유닛(384)의 돌기(385d)가 삽입되면, 상기 제 1푸시몸체(397)가 상기 제 1가이드(395)를 따라 도면상 우측으로 즉 상기 지그홀더(376) 방향으로 이동하게 된다.
또한, 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워져 더 이상 이동하지 않게 되면, 상기 제 1푸시몸체(397)가 상기 제 1가이드(395)를 따라 도면상 우측으로 즉 상기 지그홀더(376) 방향으로 이동하게 된다.
그리고, 도 5d에 도시된 바와 같이 상기 제 1푸시몸체(397)가 상기 지그홀더(376)의 전면에 근접하게 되면, 상기 제어부는 상기 제 1푸시(398)를 동작시키는 모터를 구동시켜, 상기 제 1푸시(398)가 상기 시트블럭(392)에 적재되어 있는 상기 반도체패키지(SP)를 밀어 상기 지그(310)의 슬릿(314)으로 완전히 삽입될 때까지 민다.
특히, 이때, 상기 지그(310)의 슬릿(314)의 내부로 상기 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입될 수 있도록 상기 슬릿(314)의 폭을 조절하도록 하며, 이에 대해서는 도 6a 내지 도 6d를 토대로 이하 상세하게 설명한다.
먼저, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1푸시유닛(390)이 수직으로 세워져 있는 지그홀더(376)의 전면에 위치하게 되면, 상기 지그홀더(376)에 구비되어 있는 지그클램핑유닛(387)이 작동하게 된다.
그러면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 지그클램핑유닛(387)의 구동부재(387b)의 선단이 길이방향으로 길어지게 된다. 상기 구동부재(387b)의 선단에 접촉되어 있던 이동부재(387a)도 상기 구동부재(387b)의 이동에 따라 상기 지그(310) 의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하게 된다.
한편, 상기 이동부재(387a)의 타단은 상기 지그(310)의 조절부재(315)의 조절공(316)에 삽입되어 상기 조절부재(315)와 함께 이동가능하도록 구성되어 있다. 그러므로, 상기 이동부재(387a)가 상기 지그(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동함에 따라, 상기 조절부재(315)도 상기 지그(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하게 된다.
그러면, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 지그(310)의 슬릿(314)은 그 공간이 넓어지게 되어, 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)에 안착되어 있는 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입된다.
상기 지그(310)의 슬릿(314) 내부로 상기 반도체 패키지(SP)가 삽입되면, 상기 슬릿(314) 내부에 상기 반도체 패키지(SP)가 고정되도록 다시 상기 슬릿(314) 내부의 공간이 좁아지게 된다. 이는 상기 구동부재(387b)가 반대로 동작하여 이동하여, 상기 조절부재(315)의 선단이 상기 슬릿(314) 내부의 반도체 패키지(SP)를 지지할 수 있게 된다.
또한, 상기 지그(310)의 조절부재(315)의 일측에서 탄성지지하는 탄성부재(317)에 의하여 상기 조절부재(315)의 선단이 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 슬릿(314)의 일측벽 방향으로 밀어, 상기 슬릿(314) 내부의 반도체 패키지(SP)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다.
이상과 같이, 상기 반도체 패키지(SP)의 삽입이 완료되면, 상기 제 1푸시(398)를 동작시키는 모터는 다시 반대로 구동하여 상기 제 1푸시(398)가 상기 시 트블럭(392)에서 완전히 이탈하게 된다. 이때 상기 지그홀더(376)의 수직이동을 조절하는 수직연동수단(374)이 상방으로 또는 하방으로 이동하여 상기 지그(310)의 빈 슬롯(314)을 상기 제 1푸시(398)의 이동방향에 위치하도록 한다.
상기 제 1푸시(398)가 상기 시트블럭(392)에서 이탈되고 나면, 상기 고정부 픽커(322)는 다시 상기 턴테이블(304) 상의 반도체 패키지(SP)를 2개씩 2줄로 파지하여 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)에 적재한다.
상기 시트블럭(392)에 다시 상기 반도체 패키지(SP)가 적재되면, 상술한 동작이 반복되어, 상기 지그(310)의 빈 슬롯(314)이 상기 반도체 패키지(SP)로 채워지게 된다.
상기 지그(310)의 슬롯(314)에 상기 반도체 패키지(SP)가 모두 채워지게 되면, 상기 수평연동수단(372)은 도면에서 좌측으로 상기 수직연동수단(374)은 하방으로 이동하여 상기 지그홀더(376)가 수평하게 위치되도록 하여 도 5a에 도시된 바와 같이 동작하게 한다.
상기 지그홀더(376)가 수평으로 위치하게 되면, 상기 제어부는 가공부 픽커(508)를 구동시켜 상기 지그(310)를 파지하여 척테이블(504) 상방으로 이송한다. 상기 지그(310)가 상기 척테이블(504) 상에 위치되면 상기 척테이블(504)은 90도 회전하여 척테이블 이송라인(506)을 따라 이동하며, 이때 상기 블레이드(502)는 회전하게 된다.
따라서, 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 이동하면서, 상기 지그(310)에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)는 상기 블레이드(502)과 접하는 면이 가공된다.
상기 척테이블(504) 상의 지그(310)의 반도체 패키지(SP)의 일측의 가공이 완료되면, 상기 척테이블(504)은 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 다시 원래의 위치로 복귀하게 되고, 상기 가공부 픽커(508)는 상기 지그(310)를 다시 픽업하게 된다. 이는, 상기 지그(310)에 고정된 상기 반도체 패키지(SP)의 타측의 가공을 위해, 상기 지그(310)를 회전시키기 위함이다.
상기 가공부 픽커(508)가 상기 지그(310)를 픽업하여 상승하면, 상기 지그(310)와 상기 척테이블(504) 사이의 공간으로 위치변경장치(520)의 지그고정수단(530)이 슬라이딩되어 상기 지그(310)가 삽입된다. 즉, 상기 위치변경장치(520)의 이동수단(550)이 구동하여 상기 지그고정수단(530)이 이동되어, 도 8b에 도시된 바와 같이 된다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 이동수단(550)의 구동모터가 구동하면, 상기 구동모터로부터 동력을 전달받은 벨트(552)가 상기 위치변경장치(520)의 양단에 구비된 풀리(556)를 따라 회전하여, 벨트고정부재(554)를 이동시킨다.
상기 벨트고정부재(554)는 상기 지그고정수단(530)에 고정되어 있어, 상기 벨트고정부재(554)는 상기 지그고정수단(530)과 함께 이동하게 되며, 상기 지그고정수단(530)이 상기 가공부 픽커(508)와 상기 척테이블(504) 사이에 위치되면, 상기 가공부 픽커(508)는 상기 지그(310)를 상기 지그고정수단(530)의 지그안착공간(531)에 안착시킨다.
그리고, 상기 지그(310)가 상기 지그안착공간(531)에 더욱 견고하게 고정되도록, 고정유닛(534)의 이동부재(538)가 구동하여, 고정부재(537)가 상기 지 그(310) 방향으로 이동하게 된다. 상기 고정부재(537)가 상기 지그(310) 방향으로 이동하면, 상기 고정부재(537)의 고정슬릿(536)으로 상기 지그(310)의 모서리(310b) 부분이 삽입되게 된다.
상기 고정슬릿(536)으로 상기 지그(310)의 모서리(310b)가 삽입되면서, 상기 지그(310)는 상기 위치변경장치(520)에 완전하게 고정되게 된다. 상기 지그(310)가 상기 위치변경장치(520)에 고정되면, 상기 이동수단(550)의 구동모터는 다시 역방향으로 구동하여, 상기 벨트(552)가 역방향으로 회전하게 되며, 상기 벨트고정부재(554)에 결합된 상기 지그고정수단(530)은 다시 원래의 위치로 이동하게 된다.
상기 지그고정수단(530)이 상기 위치변경장치(520)의 원위치로 위치하게 되면, 회전수단(540)의 구동부재(542)가 구동하게 된다. 상기 구동부재(542)가 구동하게 되면, 연동유닛(544)에 의해 상기 지그고정수단(530)이 회전하게 된다.
즉, 상기 구동부재(542)에 결합되어 있는 랙(546)이 상기 지그고정수단(530)에 구비된 피니언(548)과 연동하여 상기 구동부재(542)의 직선왕복운동이 회전운동으로 변환되어 상기 지그고정수단(530)은 회전하게 된다.
상기 지그고정수단(530)이 회전하여, 아직 가공이 되지 않은 상기 반도체 패키지(SP)의 측면이 상방으로 위치하게 되면, 상기 이동수단(550)의 구동모터가 다시 구동하여, 상기 지그고정수단(530)이 상기 가공부 픽커(508)와 상기 척테이블(504) 사이에 위치하게 된다.
이때, 상기 지그고정수단(530)의 이동부재(538)는 구동하여 상기 고정부재(537)를 상기 지그(310)에서 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 다만 상기 고정부 재(537)가 상기 지그(310)에서 멀어지기 전에, 상기 가공부 픽커(508)는 먼저 상기 지그(310)를 픽업하고 있어야 한다. 그리고, 상기 가공부 픽커(508)은 상기 지그(310)을 픽업하여 상승하게 된다.
상기 지그고정수단(530)에서 상기 지그(310)가 제거되면, 상기 이동수단(550)의 구동모터는 다시 구동하여 상기 지그고정수단(530)은 상기 위치변경장치(520)의 원위치로 이동하게 되어 도 8a에 도시된 바와 같이 된다.
그리고, 상기 지그(310)를 픽업하고 있는 상기 가공부 픽커(508)는 다시 하강하여, 상기 척테이블(504) 상에 상기 지그(310)를 안착시키게 된다. 그러면, 상기 척테이블(504)은 90도 회전하여 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 상기 블레이드(502)로 이동하게 된다. 따라서, 상기 지그(310)에 고정되어 있는 상기 반도체 패키지(SP)의 타측면이 그라인딩되게 된다.
상기 지그(310)의 반도체 패키지(SP)의 가공이 완료되면, 상기 척테이블(504)은 다시 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 원위치로 복귀하고, 상기 척테이블(504)은 반대로 90도로 회전하게 된다. 상기 척테이블(504)이 회전하면, 상기 가공부 픽커(508)가 상기 지그(310)를 파지하여, 상기 가공부 픽커 이송라인(509)을 따라 이동하여 상기 지그홀더(376)의 지그안착공(382)에 상기 지그(310)를 안착시킨다.
상기 지그(310)가 상기 지그홀더(376)에 완전히 안착되어 고정되면, 상기 수평연동수단(372)는 오른쪽으로 상기 수직연동수단(374)는 도 5b에 도시된 바와 같이, 상방으로 이동하여 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워지게 된다. 상기 지그 홀더(376)가 세워져 도 5c에 도시된 바와 같이 동작되면, 상기 제 1푸시유닛(390)을 구동하는 모터가 구동하여 제 1푸시유닛(390)를 상기 지그홀더(376)의 전면에 근접될 때까지 슬라이딩시켜, 도 5d에 도시된 바와 같이 구동된다.
또한, 상기 제 2푸시(402)를 구동하는 모터가 구동하여 상기 제 2푸시(402)가 상기 지그(310)의 배면방향에서 상기 슬릿(314)을 관통하여 상기 슬릿(314) 내부에 적재되어 있는 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)로 이동시킨다.
이때 상기 제 2푸시(402)의 선단은 2층 구조로 되어 있고, 상대적으로 상방에 있는 선단의 길이가 하방에 있는 것보다 짧아, 상기 제 2푸시(402)가 상기 반도체 패키지(SP)를 밀더라도 상기 단차진 시트블럭(392)의 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)에 정확하게 안착되게 된다.
상기 안착부(394)에 상기 반도체 패키지(SP)가 적재되면, 상기 고정부 픽커(322)가 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동하여 상기 제 1안착부(374a)및 제 2안착부(374b)의 상방에 위치하게 되고, 구동수단(328)의 하강에 의해 상기 반도체 패키지(SP)를 파지하게 된다.
이때, 상기 고정부 픽커(322)에 2줄로 구비된 흡착노즐(327)이 결합되어 있는 지지바아(332a, 332b)는 각각 별도의 구동수단(328a, 328b)에 의해 구동되어, 상기 단차진 시트블럭(392) 상의 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)에 놓여진 상기 반도체 패키지(SP)를 용이하게 파지할 수 있게 된다.
상기 반도체 패키지(SP)를 파지한 상기 고정부 픽커(322)는 상기 고정부 픽 커 이송라인(320)을 따라 이동하여 상기 턴테이블(302) 상에 위치하고, 상기 턴테이블(302) 상에 상기 반도체 패키지(SP)를 위치시킨다.
상기 반도체 패키지(SP)를 적재한 상기 턴테이블(302)은 상기 턴테이블 이송라인(304)을 따라 이동한다. 상기 전달부 픽커 이송라인(202)을 따라 이동하는 상기 전달부 픽커(204)가 상기 턴테이블(302) 상의 반도체 패키지(SP)를 파지하여 상기 네스트(622)의 베이스부(624) 상의 패키지 안착부(626)에 안착시킨다.
상기 반도체 패키지(SP)가 상기 베이스부(624)의 패키지 안착부(626)에 안착되면, 상기 베이스부(624)의 하방에 형성된 돌기부(628)들에 의해 상기 반도체 패키지(SP)는 하방으로 떨어지지 않고 고정되게 된다.
상기 반도체 패키지(SP)의 이송이 완료된 상기 네스트(622)는 네스트 이송라인(612)을 따라 이동하여 네스트유닛(620)이 구비된 커버장착공간으로 이동하고, 상기 네스트유닛(620)에서는 커버(630)로 상기 베이스부(624)의 상부를 덮게 한다.
상기 커버(630)의 장착과정에 대해 상세하게 설명하면, 상기 네스트(622)의 상기 베이스부(624)가 상기 네스트유닛(620)으로 이송되면 도 11b에 도시된 바와 같이 되고, 상기 네스트유닛(620)의 구동수단(640)은 상기 커버(630)를 하강시키도록 동작하게 된다.
상기 커버(630)가 하강되면서, 상기 커버(630)의 걸이돌기(634)가 상기 베이스부(624)의 걸이홈(629)에 삽입되면서, 상기 커버(630)가 상기 베이스부(624)에 완전하게 체결되게 되어, 도 11c와 도시된 바와 같이 된다.
이때, 상기 커버(630)에는 상기 패키지 안착부(626)에 대응되는 부분이 관통 되어 있으나, 돌출부(632)에 의해 상기 반도체 패키지(SP)가 네스트 상방으로 이탈되지 않게 된다.
상기 베이스부(624)와 상기 커버(630)가 체결된 상기 네스트(622)는 도 11d에 도시된 바와 같이 상기 네스트 이송라인(612)을 따라 세척건조실(650)로 이동한다. 상기 세척건조실(650)은 상하로 노즐(652)이 구비되며, 상기 노즐(652)을 통하여 상하로 세척액과, 공기가 배출되면서, 상기 네스트(622)에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 세척건조하게 된다.
상기 세척건조가 완료된 상기 반도체 패키지(SP)는 다시 상기 네스트 이송라인(612)을 따라 이동하다가 다시 상기 세척트레이유닛(620)이 커버장착공간으로 이송된다. 상기 커버장착공간에서 상기 커버장착과정의 역순으로 상기 커버(630)를 제거하게 된다.
상기 커버(630)가 제거된 상기 네스트(622)은 상기 제 1검사부이송라인(712)의 하방에 위치하게 되고, 상기 제 1검사유닛(710)이 상기 세척트레이(622)의 반도체 패키지(SP)의 상방에서 상기 반도체 패키지(SP)의 불량여부를 검사한다.
상기 제 1검사유닛(710)은 상기 세척트레이(622)에 안착되어 있는 반도체 패키지(SP) 중에 불량으로 판정된 반도체 패키지(SP)의 위치를 저장하게 된다. 나중에, 상기 불량으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 별도로 제거하게 된다.
또한, 상기 제 1검사유닛(710)에서 양품 또는 불량품으로 판정된 반도체 패키지(SP)는 상기 전달부 픽커(202)에 의해 파지되어 상기 전달부 픽커 이송라인(204)을 따라 상기 이동테이블 이송라인(104b)으로 이동하게 된다. 이때, 제 2검 사유닛(720)이 상기 전달부 픽커 이송라인(204)의 하방에 위치하면서, 상기 전달부 픽커 이송라인(204)을 따라 전송되는 상기 반도체 패키지(SP)를 하방에서 불량여부를 검사한다.
만약에, 상기 제 2검사유닛(720)에서 상기 반도체 패키지(SP)가 불량으로 판정되면, 상기 제 1검사유닛(710)에서 불량으로 판정된 상기 반도체 패키지(SP)와 함께, 이동테이블 이송라인(104c)의 상방까지 안내되어, 상기 이동테이블의 리워크 트레이(102)에 안착된다.
그러나, 상기 제 2검사유닛(720)에서 상기 반도체 패키지(SP)가 양품으로 판정되면, 상기 이동테이블 이송라인(104b)의 상방에 위치하게 되고, 상기 이동테이블이 상기 전달부 픽커(202) 하방으로 이동하고, 상기 전달부 픽커(202)는 상기 이동테이블의 양품트레이(102) 상에 상기 양품으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 적재한다.
이하, 도 12 및 도 13a 내지 도 13e에 도시된 바를 참조하여, 제 2 실시예인 위치변경장치가 채용된 상기 반도체 가공시스템을 설명한다.
먼저, 상기 반도체 패키지 가공시스템에서 상기 제 2실시예인 위치변경장치(5200)는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제 1실시예인 위치변경장치(520)와는 달리 척테이블 이송라인(5060) 상에 위치하게 된다. 즉, 상기 제 1실시예인 위치변경장치(520)와는 달리 이동수단이 구비되어 있지 않게 된다.
상기 위치변경장치(5200)의 구성을 살펴보면, 상기 위치변경장치(5200)도 상술한 제 1실시예의 위치변경장치(520)과 마찬가지로, 반도체 패키지(SP)가 삽입되 어 고정된 지그(3100)를 고정하는 지그고정수단(5300)과, 상기 지그고정수단(5300)을 회동시키는 회전수단(5400)을 포함하여 구성되어 기본적인 구성은 동일하게 된다. 다만, 구체적인 구성은 다음과 같이 상이하게 된다.
상기 지그고정수단(5300)은, 상기 지그(3100)의 일측을 고정하는 제 1고정부재(5310)와, 상기 제 1고정부재(5310)와 마주하는 위치에 구비되어 상기 지그(3100)의 회전중심을 형성하면서, 상기 지그(3100)의 타측을 고정하는 제 2고정부재(5320)와, 상기 제 1고정부재(5310) 또는 상기 제 2고정부재(5320)의 일측에 구비되어, 상기 고정부재(5310, 5320)가 상기 지그(3100) 방향으로 이동가능하게 하는 이동부재(5330)를 포함하여 구성된다.
상기 제 1고정부재(5310)는 상기 위치변경장치(5200)에 회전가능하게 고정된다. 그리고, 상기 제 1고정부재(5310)와 마주보는 부분에는 제 2고정부재(5320)가 회전가능하게 고정된다. 즉, 상기 제 1고정부재(5310) 및 제 2고정부재(5320)는 상기 위치변경장치(5200)의 회전축을 형성하게 되는 것이다.
상기 제 1고정부재(5310)의 선단에는 제 1지지축(5312)이 마련된다. 상기 제 1지지축(5312)의 선단는 2개 이상의 돌출된 축으로 형성된다. 상기 축은 상기 제 1지지축(5312)이 회전하면 상기 지그(3100)가 그 회전력을 전달받아 회동할 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 상기 제 2고정부재(5320)의 선단에는 제 2지지축(5322)이 마련된다. 상기 제 2지지축(5322)의 선단은 상기 제 1지지축(5312)과 마찬가지로 2개 이상의 돌출된 축으로 형성될 수 있다. 그러나, 상기 제 2지지축(5322)에 모터 등의 회전 력을 상기 지그(3100)에 전달할 필요가 없을 때는 하나의 돌출된 축으로 구성되어도 상관없다.
상기 위치변경장치(5200)에는 이동부재(5330)가 마련된다. 상기 이동부재(5330)는 상기 제 1지지축(5312)이 상기 지그(3100) 방향 즉 상기 제 2지지축(5322) 방향으로 왕복이동할 수 있도록 동력을 제공하는 역할을 한다.
즉, 상기 제 1지지축(5312)이 상기 제 2지지축(5322) 방향으로 이동할 수 있도록 하여, 상기 지그(3100)가 상기 지그고정수단(5300)에 착탈가능하게 구성되는 것이다. 물론, 상기 이동부재(5330)는 상기 제 1지지축(5312) 또는 상기 제 2지지축(5322)의 일단에만 구성될 수 있으며, 상기 제 1지지축(5312) 및 상기 제 2지지축(5322)의 양단에 구비될 수도 있다.
그리고, 상기 위치변경장치(5200)에는 회전수단(5400)이 마련된다. 상기 회전수단(5400)은, 상기 제 1고정부재(5310) 또는 상기 제 2고정부재(5320)의 일측에 구비되어, 상기 지그(3100)가 회전할 수 있도록 동력을 제공하는 역할을 한다. 상기 회전수단(5400)은 일례로 구동모터로 구성될 수 있다.
또한, 상기 위치변경장치(5200)에는 세척유닛(5500)이 마련된다. 상기 세척유닛(5500)은 상기 지그고정수단(5300)의 내측에 구비될 수 있으며, 상기 세척유닛(5500)의 노즐이 상기 지그고정수단(5300)에 고정되는 지그(3100) 방향으로 향하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 세척유닛(5500)은 도 13a 내지 도 13e에 도시된 바와 같이, 상기 지그(3100)의 방향으로 슬라이딩가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 지그(3100)의 세척이 필요없는 경우에는, 도 13c에 도시된 바와 같이 위치되 고, 상기 지그(3100)의 세척이 필요한 경우에는 도 13d에 도시된 바와 같이 위치될 수 있다.
또한, 상기 세척유닛(5500)이 회전할 수 있도록 하여 상기 회전할 수 있도록 구성되어 구동하지 않을 때는 노즐이 상기 지그(3100)의 반대방향으로 향하다가 구동시에는 상기 지그(3100) 방향으로 향하도록 구성될 수 있다.
상기 세척유닛(5500)은 상기 위치변경장치(5200)가 상기 지그(3100)를 픽업하면서 회전할 때, 상기 지그(3100)에 고정된 반도체 패키지(SP)를 가공시 발생되는 이물질을 제거하고 청소하는 역할을 한다.
이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 제 2실시예인 위치변경장치가 채용된 반도체 가공시스템의 작용을 상세하게 설명한다.
먼저, 가공부(4000)는 도 12에 도시된 바와 같은 구성을 가진다. 이때 일측면의 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)가 안착된 지그(3100)의 척테이블(5040)이 상기 가공부 픽커(5080)의 하단에 위치하게 되면, 상기 가공부 픽커(5080)는 상기 지그(3100)를 픽업하여 상승하게 된다.
이후, 상기 가공부 픽커(5080)는 상기 가공부 픽커 이송라인(5090)을 따라 이동한다. 그리고, 상기 가공부 픽커(5080)는 상기 위치변경장치(5200)의 상방에 위치하게 된다. 그러면, 상기 지그(3100)를 상기 위치변경장치(5200)의 지그고정수단(5300) 내측의 지그안착공간에 안착시켜 도 13a에 도시된 바와 같이 된다.
상기 지그(3100)가 상기 지그안착공간에 안착되면, 상기 이동부재(5330)의 구동에 의해 상기 제 1고정부재(5310)가 상기 지그(3100) 방향으로 이동하게 된다. 상기 제 1고정부재(5310)가 상기 지그(3100)방향으로 이동하면서, 상기 지그(3100)를 상기 제 2고정부재(5320) 방향으로 이동시켜, 상기 지그(3100)의 양단은 상기 제 1고정부재(5310)와 상기 제 2고정부재(5320)에 맞물리게 되어, 도 13b에 도시된 바와 같이 된다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 제 1고정부재(5310)의 제 1지지축(5312)과 상기 제 2고정부재(5320)의 제 2지지축(5322)이 상기 지그(3100)의 양단에 결합되게 된다. 상기 지그고정수단(5300)에 상기 지그(3100)가 고정되면, 회전수단(5400)이 구동하여, 상기 지그(3100)를 180도 회전하게 된다.
상기 회전수단(5400)이 상기 지그(3100)를 180도 회전하게 되면, 상기 지그(3100)의 상면과 하면이 바뀌게 된다. 이때, 상기 지그고정수단(5300)의 일측에 구비되어 있는 세척유닛(5500)에서 에어 등이 분사되어 상기 지그(3100)에 누적되어 있는 이물질을 제거하게 된다.
상기 회전수단(5400)에 의해 상기 지그(3100)의 회전이 완료되면, 상기 가공부 픽커(5080)가 상기 지그(3100)의 상방으로 이동하며, 상기 지그(3100)를 파지하여, 상기 이동부재(5330)의 구동에 의해, 상기 제 1고정부재(5310) 및 상기 제 2고정부재(5320)가 상기 지그(3100)에서 멀어지는 방향으로 이동하여, 상기 제 1지지축(5312) 및 제 2지지축(5322)이 상기 지그(3100)에서 분리되고, 상기 가공부 픽커(5080)가 상기 지그(3100)를 픽업하게 된다.
상기 가공부 픽커(5080)는 상기 지그(3100)를 픽업하여 상기 가공부 픽커 이송라인(5090)을 따라 다시 상기 척테이블(5040) 상방으로 이동하여, 상기 척테이 블(5040) 상면에 상기 지그(3100)를 안착시킨다.
상기 지그(3100)가 안착된 상기 척테이블(5040)은 상기 블레이드(5020)로 이동하여, 상기 반도체 패키지(SP)의 나머지 타측을 가공하게 된다. 상기 가공이 완료된 상기 반도체 패키지(SP)를 고정하고 있는 지그(3100)는 상술한 공정과 동일하게 진행되게 된다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
예를 들면, 본 발명에서는 상기 제 1푸시유닛(390)이 상기 지그(310)가 수직으로 세워져 있는 상기 수직부재(364)로 슬라이딩하여 접근하는 구성으로 되어 있으나, 상기 수직부재(364)가 상기 제 1푸시유닛(390)로 접근하는 구성으로 할 수도 있다.
또한, 도 14a 내지 14d에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)가 상기 수직연동수단(374)에는 힌지결합되지 않고, 상기 수평연동수단(372)에서만 상기 지그홀더(376)가 회동가능하면서, 슬라이딩가능하게 구비될 수도 있다. 또한, 이 경우에도, 상술한 도 5a 내지 도 6d에 도시된 바와 같이, 지그홀더고정유닛(384)이 더 마련될 수도 있다.
그리고, 상기 제 1푸시(398)와 제 2푸시(402)가 도 14a 내지 도 14d 에 도시된 바와 같이, 3층으로 구성될 수 있다. 물론, 상기 제 1푸시(398) 및 제 2푸시(402)가 3층으로 구성되면, 상기 시트블럭(392) 역시 안착부(394)가 3층으로 구 성될 수 있다.
그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, 상술한 제 1실시예의 위치변환장치(520')가 상기 척테이블 이송라인(506') 상에 위치하도록 구성될 수 있다. 이는 도시된 바와 같이 상술한 제 1실시예의 구성에서 지그고정수단(530')만 구비되고, 상기 지그고정수단(530')이 가이드(G)를 따라 상하로 이동할 수 있도록 구성할 수도 있다. 또한, 상기 지그고정수단을 회전시킬 수 있는 회전수단이 마련되는데, 모터 등으로 구성될 수 있다.
즉, 지그를 상면에 적재하고 있는 척테이블이 척테이블 이송라인을 따라 이동하는 중에 상기 위치변환장치의 하방에 위치되고, 상기 위치변환장치가 상기 지그를 픽업하여, 가이드를 따라 상승하고, 상기 위치변환장치의 회전수단이 회전한 후, 상기 위치변환장치가 가이드를 따라 하강하여, 상기 지그를 척테이블 상에 안착시키도록 동작할 수 있다.
이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 세척시스템은, 세척공정시 상기 세척시스템이 반도체 패키지의 상하면에 각각 엇갈리게 지지되도록 하여, 상기 반도체 패키지가 세척공정시 이탈되지 않아 세척공정이 안정적으로 이루어지고, 반도체 패키지를 관통된 패키지 안착부에 삽입되고, 상하로 최소한의 돌기에 의해 지지되도록 하여, 상기 반도체 패키지가 세척시 차폐되는 부분을 최소화하여 골고루 세척되어 불량품의 발생률이 줄어드는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 반도체 패키지 가공시스템을 개략적으로 보인 구성도.
도 2는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 동작과정을 보인 평면도.
도 3은 도 3의 패키지 고정부를 구성하는 픽업장치의 구성을 측면에서 보인 측면도.
도 4는 도 4의 구성을 보인 평면도.
도 5a 내지 5d는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 구성 및 동작과정을 측면에서 보인 측면도.
도 6a 내지 6d는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 구성 및 동작과정을 보인 평면도.
도 7은 도 2을 구성하는 시트블럭의 구성을 보인 사시도.
도 8a 및 8b는 도 1을 구성하는 위치변경장치의 동작과정을 보인 평면도.
도 9은 도 8의 위치변경장치에 지그가 가고정되는 가고정구조를 보인 분해사시도.
도 10은 도 1을 구성하는 세척건조부의 세척트레이를 보인 평면도.
도 11a 내지 11d는 도 1을 구성하는 세척건조부의 동작과정을 보인 측면도.
도 11e 및 도 11f는 도 1을 구성하는 세척건조부의 다른 실시예를 보인 구성도.
도 12는 도 1을 구성하는 가공부의 다른 실시예를 보인 평면도.
도 13a 및 13e는 도 12을 구성하는 위치변경장치의 동작과정을 보인 평면도 및 측면도.
도 14a 내지 14d는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 다른 실시예의 동작과정을 보인 측면도.
도 15는 도 1을 구성하는 가공부의 다른 실시예를 보인 평면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100: 로딩언로딩부 200: 전달부
300: 패키지 고정부 302: 턴테이블
304: 턴테이블 이송라인 310: 지그
312: 몸체 314: 슬릿
319: 이송수단 320: 고정부 픽커 이송라인
322: 고정부 픽커 324: 픽업장치
326: 흡착수단 328: 구동수단
330: 연동유닛 340: 보정유닛
350: 패키지고정어셈블리 360: 몸체유닛
370: 연동유닛 376: 지그홀더
390: 제 1푸시유닛 400: 제2푸시유닛
500: 가공부 502: 블레이드
504: 척테이블 506: 척테이블 이송라인
508: 가공부 픽커 509: 가공부 픽커 이송라인
520: 위치변경장치 530: 지그고정수단
531: 지그안착공간 532: 프레임
534: 고정유닛 536: 고정슬릿
537: 고정부재 538: 이동부재
540: 회전수단 542: 구동부재
544: 연동유닛 546: 랙
548: 피니언 550: 이동수단
552: 벨트 554: 벨트고정부재
556: 풀리 600: 세척건조부
612: 네스트 이송라인 620: 네스트유닛
622: 네스트 624: 베이스부
630: 커버 640: 구동수단
650: 세척건조실 652: 노즐
700: 검사부 710: 제 1검사유닛
712: 제 1검사부이송라인 720: 제 2검사유닛
722: 제 2검사부이송라인 5200: 플립퍼링부재
5300: 지그고정수단 5310: 제 1고정부재
5320: 제 2고정부재 5400: 회전수단
5500: 세척유닛

Claims (13)

  1. 반도체 패키지의 이물질을 제거하기 위한 소정의 장치가 마련되는 세척건조실;
    다수개의 반도체 패키지가 고정되는 커버와 베이스부로 구성되는 네스트가 구비되는 네스트유닛; 그리고,
    상기 네스트를 상기 세척건조실로 수평으로 이송하는 네스트 이송유닛;을 포함하는 세척시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 네스트 이송유닛에는,
    상기 네스트가 맞물려 수평으로 이동할 수 있도록 안내하는 홈이 마련되는 가이드가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 네스트 이송유닛은,
    상기 네스트를 적재하여 수평으로 이동가능한 이송테이블; 그리고,
    상기 이송테이블이 수평으로 이동할 수 있도록 동력을 제공하는 이송테이블구동유닛;을 포함하는 세척시스템
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 네스트는,
    상기 커버와 상기 베이스부에는 반도체 패키지를 수용할 수 있는 패키지안착부가 마련되며, 상기 반도체 패키지가 상기 패키지안착부에서 이탈하지 않도록 상기 커버 및 베이스부에는 각각 돌출부 및 돌기부가 마련되는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 돌출부와 상기 돌기부는 서로 엇갈리게 형성되는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스부에서 상기 커버를 착탈시키기 위한 커버구동유닛을 더 포함하는 세척시스템.
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 커버의 가장자리에는 돌출되어 상기 가이드의 홈에 맞물릴 수 있는 테이블가이드가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 커버구동유닛은,
    상기 커버의 가장자리가 맞물릴 수 있는 홈이 마련되는 가이드레일; 그리고,
    상기 가이드레일을 수직으로 이동가능하게 동력을 제공하는 실린더;를 포함하는 세척시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 커버의 가장자리에는 돌출되어 상기 가이드레일의 홈에 맞물릴 수 있는 테이블가이드가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 네스트에는 관통된 가이드홀이 마련되고,
    상기 네스트에 대해 수직으로 이동가능한 위치센서가 마련되어,
    상기 위치센서의 선단이 상기 가이드홀에 삽입되는지 여부를 판단하여 상기 네스트의 정위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 네스트 중 커버의 가장자리에는 돌출된 테이블가이드가 더 마련되고,
    상기 가이드홀은 상기 테이블가이드에 마련되는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
  12. 반도체 패키지를 수용할 수 있도록 관통된 패키지 안착부가 마련되는 베이스부;
    상기 반도체 패키지를 수용할 수 있도록 상기 베이스부의 패키지 안착부에 대응되도록 관통되는 패키지 안착부가 마련되는 커버부;를 포함하고,
    상기 베이스부 및 상기 커버부의 내측에는 상기 패키지 안착부에 안착된 반도체 패키지가 이탈되지 않도록 돌출된 돌기부 및 돌출부가 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 네스트유닛.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 돌출부와 상기 돌기부는 서로 엇갈리게 형성되는 것을 특징으로 하는 네스트유닛.
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