KR20020054713A - 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일셋팅용 지그 - Google Patents

반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일셋팅용 지그 Download PDF

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KR20020054713A
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Abstract

본 발명은 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그에 관한 것으로서, 매거진과 피더레일간의 수평 및 폭 조정이 정확하고 용이하게 이루어질 수 있도록 한 표준화된 지그를 제공하기 위한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 복수개의 리드프레임 수납홈(300)이 구비되며 로딩부 및 언로딩부에 각각 위치하게 되는 매거진(3)과, 전방레일(4)과 중간레일(5) 및 후방레일(6)로 구성되어 상기 로딩부에 위치하는 매거진(3)과 언로딩부에 위치하는 매거진(3) 사이를 연결하는 피더레일을 구비한 와이어 본딩 장비에 있어서; 상기 전방레일(4)·중간레일(5)·후방레일(6)의 안내홈(400)(500)(600)에 형합하는 두께를 가지는 한편 상기 전방레일(4)·중간레일(5)·후방레일(6)의 양측 안내홈(400)(500)(600) 사이의 폭과 동일한 폭을 갖는 평판형 센터지그(1)와, 상기 센터지그(1)와 동일한 폭을 갖는 한편 상기 매거진(3)의 수납홈(300)에 형합하는 두께를 가지며 상기 센터지그(1)에 길이방향을 따라 결합되는 평판형 사이드지그(2)로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그가 제공된다.

Description

반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그{jig for setting feeder rail of wire bonding equipment in fabrication of semiconductor packag}
본 발명은 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그(Jig)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 매거진(magazine)과 피더레일(feeder rail)간의 수평 및 폭 조정이 정확하고 용이하게 이루어질 수 있도록 한 표준화된 지그를 제공하기 위한 것이다.
일반적으로, 반도체 패키지 제조를 위한 와이어 본딩 공정에서는 다이 어태치 공정을 마친 리드프레임이 매거진(3)에 수납되어 와이어 본딩 장비의 로딩부에 장착되며, 상기 매거진(3) 내의 리드프레임은 도 1에 도시된 바와 같이, 피더레일(인덱스레일(index rail) 이라고도 함)을 구성하는 전방레일(4)과, 중간레일(5) 및 후방레일(6)을 거쳐 언로딩부의 매거진(3)으로 이동하게 된다.
이 때, 중간레일(5)상에서 레일 측면에 설치된 와이어 본더(도시는 생략함)에 의해 와이어 본딩이 이루어지게 된다.
한편, 종래에는 와이어 본딩 공정 진행시, 로딩부에 위치한 매거진(3)과 피더레일을 구성하는 전방레일(4)·중간레일(5)·후방레일(6) 그리고 언로딩부에 위치한 매거진(3) 상호간의 정렬이 제대로 되지 않을 경우, 각 요소간의 수평이 일치하지 않거나 폭이 일치하지 않아 리드프레임이 이동도중 걸려 구겨지는 현상이 발생하게 된다.
따라서, 종래에는 먼저 리드프레임을 인위적으로 이동시키면서 로딩부 매거진(3)과 전방레일(4)의 수평 및 폭을 맞춘 다음, 상기 리드프레임을 전방레일(4)과 중간레일(5), 후방레일(6)쪽으로 이동시키면서 차례로 수평 및 폭을 맞추고, 마지막으로 후방레일(6)과 언로딩부의 매거진(3)의 수평 및 폭을 맞추게 된다.
그러나, 이와 같이 리드프레임을 이용하여 수평 및 폭 조정을 행하는 경우에는 다음과 같은 문제점이 있었다.
피더레일을 구성하는 전방레일(4)·중간레일(5)·후방레일(6)의 안내홈(400)(500)(600) 및 매거진(3)의 수납홈(300)에 비해 리드프레임의 두께가 매우 얇으므로 인해, 수평 및 폭을 맞출 때 조정이 난해하며, 정확성이 떨어지게 된다.
또한, 시간적으로도 수차례의 정렬을 반복해야만 겨우 맞출 수 있으므로 매거진(3)과 피더레일의 전방레일(4) 또는 후방레일(6)간의 정렬 및 피더레일 상호간의 정렬에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 매거진과 피더레간의 수평 및 폭 조정이 정확하고 용이하게 이루어질 수 있도록 한 표준화된 지그를 제공하여 와이어 본딩 공정 진행을 위한 리드프레임 이동시 리드프레임이 구겨지거나 하는 불량을 보다 확실히 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명 기술과 관련된 와이어 본딩 장비의 피더레일을 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 피더레일 셋팅용 지그를 나타낸 사시도로서, 센터지그 및 사이드지그 사시도
도 3은 도 2의 본 발명에 따른 피더레일 셋팅용 지그가 피더레일에 적용된 상태를 나타낸 사시도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1:센터지그2:사이드지그
100,200:보강대110,210:손잡이
120:요입홈130:고정용볼
220:결합편230:고정홈
3:매거진300:수납홈
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 복수개의 리드프레임 수납홈이 구비되며 로딩부 및 언로딩부에 각각 위치하게 되는 매거진과, 전방레일과 중간레일 및 후방레일로 구성되어 상기 로딩부에 위치하는 매거진과 언로딩부에 위치하는 매거진 사이를 연결하는 피더레일을 구비한 와이어 본딩 장비에 있어서; 상기 전방레일·중간레일·후방레일의 안내홈에 형합하는 두께를 가지는 한편 상기 전방레일·중간레일·후방레일의 양측 안내홈 사이의 폭과 동일한 폭을 갖는 평판형 센터지그와, 상기 센터지그와 동일한 폭을 갖는 한편 상기 매거진의 수납홈에 형합하는 두께를 가지며 상기 센터지그에 길이방향을 따라 결합되는 평판형 사이드지그로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그가 제공된다.
이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면 도 2 및 도 3을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 피더레일 셋팅용 지그를 나타낸 사시도로서, 중심지그 및 측면지그 사시도이고, 도 3은 도 2의 본 발명에 따른 피더레일 셋팅용 지그가 피더레일에 적용된 상태를 나타낸 사시도로서, 본 발명은 복수개의 리드프레임 수납홈(300)이 구비되며 로딩부 및 언로딩부에 각각 위치하게 되는 매거진(3)과, 전방레일(4)과 중간레일(5) 및 후방레일(6)로 구성되어 상기 로딩부에 위치하는 매거진(3)과 언로딩부에 위치하는 매거진(3) 사이를 연결하는 피더레일을 구비한 와이어 본딩 장비에 있어서; 상기 전방레일(4)·중간레일(5)·후방레일(6)의 안내홈(400)(500)(600)에 형합하는 두께(t1)를 가지는 한편 상기 전방레일(4)·중간레일(5)·후방레일(6)의 양측 안내홈(400)(500)(600) 사이의 폭과 동일한 폭을 갖는 평판형 센터지그(1)(center jig)와, 상기 센터지그(1)와 동일한 폭을 갖는 한편 상기 매거진(3)의 수납홈(300)에 형합하는 두께(t2)를 가지며 상기 센터지그(1)에 길이방향을 따라 결합되는 평판형 사이드지그(2)(side jig)로 구성된 피더레일셋팅용 지그가 제공된다.
이 때, 상기 센터지그(1) 상면 중앙부 및 사이드지그(2)의 상면 중앙부에는 지그의 휨을 방지하는 보강대(100)(200)가 각각 구비되고, 상기 각 보강대(100)(200) 상면에는 지그의 조작을 위한 손잡이(110)(210)가 각각 구비된다.
한편, 상기 센터지그(1)의 보강대(100) 양측면에는 각각 요입홈(120)이 구비되고, 사이드지그(2)의 보강대(200) 전방에는 상기 센터지그(1)의 요입홈(120)에 형합하는 결합편(220)이 구비된다.
그리고, 상기 센터지그(1)의 요입홈(120) 양측면상에는 사이드지그(2)와의 결합시 결합편(220)이 고정되도록 하는 고정용볼(130)이 탄력적으로 설치되고, 상기 사이드지그(2)의 결합편(220) 양측면에는 고정용볼(130)이 위치하는 반구형 고정홈(230)이 형성된다.
이 때, 상기 고정용볼(130) 후방에는 탄력을 부여하는 탄성부재(도시는 생략함)가 구비됨은 물론이다.
즉, 수평 및 폭조정을 용이하게 하기 위해서는 조정용 지그의 변형 및 구겨짐이 없어야 하며, 전체적으로 긴 길이를 갖게되는 전방레일(4)과 중간레일(5) 및 후방레일(6)을 일률적으로 조정 가능해야 하므로, 본 발명의 센터지그(1) 및 사이드지그(2)는 측면의 구겨짐이 적고 탄성이 강한 재질의 판으로 이루어지게 된다.
그리고, 센터지그(1)는 피더레일을 이루는 전방레일(4)과 중간레일(5) 및 후방레일(6) 각면간의 수평을 조정하기 위한 지그이므로 레일의안내홈(400)(500)(600)의 높이에 형합하는 두께를 가지도록 제작한다.
또한, 사이드지그(2)는 매거진(3)과 피더레일간의 수평을 조정하는 지그이므로 사이드지그의 전체 길이중 매거진(3)의 폭길이에 해당하는 부분은 매거진(3)의 수납홈(300)과 동일한 두께(t2)로 형성하고, 나머지 부분은 센터지그(1)의 측면 두께(t1)와 동일하게 형성한다.
이와 같이 구성된 본 발명 지그의 작용은 다음과 같다.
먼저, 센터지그(1)를 로딩부의 매거진(3) 입구에서부터 삽입시킨 다음, 상기 센터지그(1)를 손잡이(110)를 잡고 전방레일(4)쪽으로 이동시켜 전방레일(4)과 중간레일(5) 사이에 걸치도록 하여, 전방레일(4)과 중간레일(5)간의 수평과 폭을 맞추는 정렬작업 행한다.
이어, 센터지그(1)를 중간레일(5)과 후방레일(6)간을 걸치도록 이동시켜 중간레일(5)과 후방레일(6)간의 수평과 폭을 맞춘다.
이와 같이 센터지그(1)에 의해 3개 레일의 수평이 맞추어진 상태에서, 사이드지그(2)를 언로딩부에 위치한 매거진(3)의 수납홈(300)을 관통하여 후방레일(6)의 안내홈(600)에 이르도록 삽입시켜 후방레일(6)과 매거진(3)간의 수평 및 폭이 맞도록 정렬한다.
이 때, 상기 센터지그(1)의 보강대(100)에 형성된 요입홈(120)내로 사이드지그(2)의 보강대(200)에 형성된 결합편(220)을 삽입하여 센터지그(1)와 사이드지그(2)를 결합시키므로써 3개의 레일과 언로딩측 매거진(3)과의 수평 및 폭이 확실히 정렬되도록 한다.
따라서, 본 발명은 얇은 리드프레임을 이용하던 종래와는 달리, 조정용 지그에 의해 매거진(3)과 피더레일간의 정렬이 이루어짐과 더불어 피더레일간의 정렬이 이루어짐에 따라 정확하고 신속한 피더레일의 수평 및 폭방향 셋팅이 이루어지게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명은 와이어 본딩 장비에 있어서 매거진과 피더레일간의 셋팅 및 피더레일 상호간의 수평 및 폭방향 셋팅 작업시, 정렬이 보다 쉽고 정확하게 될 수 있는 피더레일 셋팅용 지그를 제공한 것이다.
이에 따라, 본 발명의 지그를 사용시에는, 와이어 본딩 공정에 있어서 매거진과 피더레일간의 정렬이 보다 정확하고 용이하게 이루어지게 되어 리드프레임이 구겨지는등의 불량이 방지되며, 나아가 와이어 본딩 공정의 수율을 향상시킬 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 복수개의 리드프레임 수납홈이 구비되며 로딩부 및 언로딩부에 각각 위치하게 되는 매거진과, 전방레일과 중간레일 및 후방레일로 구성되어 상기 로딩부에 위치하는 매거진과 언로딩부에 위치하는 매거진 사이를 연결하는 피더레일을 구비한 와이어 본딩 장비에 있어서;
    상기 전방레일·중간레일·후방레일의 안내홈에 형합하는 두께를 가지는 한편 상기 전방레일·중간레일·후방레일의 양측 안내홈 사이의 폭과 동일한 폭을 갖는 평판형 센터지그와, 상기 센터지그와 동일한 폭을 갖는 한편 상기 매거진의 수납홈에 형합하는 두께를 가지며 상기 센터지그에 길이방향을 따라 결합되는 평판형 사이드지그로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센터지그 상면 중앙부 및 사이드지그의 상면 중앙부에는 지그의 휨을 방지하는 보강대가 각각 구비되고, 상기 각 보강대 상면에는 지그의 조작을 위한 손잡이가 구비됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 센터지그의 보강대 양측면에는 각각 요입홈이 구비되고, 사이드지그의 보강대 전방에는 상기 센터지그의 요입홈에 형합하는 결합편이 구비됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 센터지그의 요입홈 양측면상에는 사이드지그와의 결합시 결합편이 고정되도록 하는 고정용볼이 탄력적으로 설치되고,
    상기 결합편 외측면에는 상기 고정용볼이 형합되는 반구형 고정홈이 형성됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩 장비의 피더레일 셋팅용 지그.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100915444B1 (ko) * 2006-08-28 2009-09-04 한미반도체 주식회사 반도체 패키지 고정 어셈블리

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