KR20080002663A

KR20080002663A - 액적 분사 헤드 및 액적 분사 장치

Info

Publication number: KR20080002663A
Application number: KR1020070064939A
Authority: KR
Inventors: 히로시 고이즈미
Original assignee: 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 2006-06-30
Filing date: 2007-06-29
Publication date: 2008-01-04
Also published as: US7845771B2; JP4991191B2; US20080049076A1; KR100927928B1; JP2008006418A

Abstract

본 발명의 과제는 분사성의 안정을 실현하고, 액적의 착탄 정밀도를 향상시킬 수 있는 액적 분사 헤드를 제공하는 것이다.

복수의 압전 소자(2a)를 보유 지지하는 베이스 부재(2)와, 베이스 부재(2) 상에 설치되고 각 압전 소자(2a)에 의해 진동하는 진동 플레이트(3)와, 진동 플레이트(3) 상에 설치되고 액체를 각각 수용하는 복수의 액실(4a)의 벽면을 형성하는 액실 플레이트(4)와, 액실 플레이트(4) 상에 설치되고 각 액실(4a)에 각각 연통하는 복수의 노즐(5a)을 갖는 노즐 플레이트(5)와, 노즐 플레이트(5)를 덮도록 액실 플레이트(4) 상에 설치되고 각 노즐(5a)을 노출시키는 개구부(6a)를 갖는 홀더 플레이트(6)와, 홀더 플레이트(6)와 노즐 플레이트(5)와의 사이에 설치된 완충 부재(7)와, 베이스 부재(2), 진동 플레이트(3), 액실 플레이트(4) 및 홀더 플레이트(6)를 체결하는 복수의 나사(8)를 구비한다.

압전 소자, 진동 플레이트, 액적 분사 헤드, 노즐 플레이트, 액실

Description

액적 분사 헤드 및 액적 분사 장치{LIQUID DROPLET SPRAYING HEAD AND LIQUID DROPLET SPRAYING APPARATUS}

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드의 개략 구성을 도시하는 분해 사시도.

도2는 도1에 도시하는 액적 분사 헤드의 개략 구성을 도시하는 단면도.

도3은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드의 개략 구성을 도시하는 단면도.

도4는 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드의 개략 구성을 도시하는 단면도.

도5는 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드의 개략 구성을 도시하는 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1A, 1B, 1C, 1D : 액적 분사 헤드

2 : 베이스 부재

2a : 압전 소자

3 : 진동 플레이트

4 : 액실 플레이트

4a : 액실

5 : 노즐 플레이트

5a : 노즐

6 : 홀더 플레이트

6a : 개구부

7 : 완충 부재

8 : 나사

[문헌 1] 일본 특허 출원 공개 제2005-270743호 공보

본 발명은 액적을 분사하는 액적 분사 헤드 및 그 액적 분사 헤드를 구비하는 액적 분사 장치에 관한 것이다.

액적 분사 헤드는, 도포 대상물을 향해 복수의 노즐로부터 잉크 등의 액체를 액적으로서 각각 분사하는 액적 분사부(예를 들어, 잉크젯 헤드)이다. 이 액적 분사 헤드를 구비하는 액적 분사 장치는, 통상 액정 표시 장치, 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치, 전자 방출 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 및 전기 영동(electrophoresis) 표시 장치 등의 다양한 표시 장치를 제조하기 위해 이용되고 있다. 이 액적 분사 장치는 액적 분사 헤드에 의해 도포 대상물인 기판에 액적을 착탄시켜, 소정의 패턴의 도트 열(列)을 형성하고, 예를 들어 컬러 필터나 블랙 매트릭스(컬러 필터의 프레임) 등의 도포체를 제조한다.

이러한 액적 분사 헤드는, 복수의 압전 소자를 보유 지지하는 베이스 부재와, 그 베이스 부재 상에 설치되고 각 압전 소자에 의해 진동하는 진동 플레이트와, 그 진동 플레이트 상에 설치되고 액체를 각각 수용하는 액실을 갖는 액실 플레이트와, 그 액실 플레이트 상에 설치되고 각 액실에 각각 연통하는 복수의 노즐을 갖는 노즐 플레이트를 구비하고 있다(예를 들어, 문헌 1 참조). 노즐 플레이트는, 예를 들어 글래스 등의 재료에 의해 형성되어 있고, 베이스 부재, 진동 플레이트, 액실 플레이트 및 노즐 플레이트는, 그들을 각각 관통하는 복수의 나사에 의해 체결되어 있다. 이 체결력이 강할수록 액적 분사 헤드의 분사성은 안정된다.

그러나, 나사 결합에 의한 체결력을 지나치게 강하게 하면, 노즐 플레이트가 글래스 등의 재료에 의해 형성되어 있고, 게다가 나사가 노즐 플레이트를 직접 압박하기 때문에, 노즐 플레이트에 균열(크랙)이 발생해 버린다. 이로 인해, 나사 고정에 의한 체결력은 노즐 플레이트가 파손되지 않을 정도의 강도로 설정되므로, 압전 소자로부터의 에너지가 효율적으로 노즐에 전달되지 않게 된다. 그 결과, 분사성이 안정되지 않아, 액적의 착탄 정밀도가 저하되어 버린다.

본 발명은 상기에 비추어 이루어진 것으로, 그 목적은 분사성의 안정을 실현하고, 액적의 착탄 정밀도를 향상시킬 수 있는 액적 분사 헤드 및 액적 분사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 실시 형태에 관한 제1 특징은, 액적 분사 헤드에 있어서, 복수의 압전 소자를 보유 지지하는 베이스 부재와, 베이스 부재 상에 설치되고 복수의 압전 소자에 의해 진동하는 진동 플레이트와, 진동 플레이트 상에 설치되고 액체를 각각 수용하여 진동 플레이트에 의해 용적이 변화하는 복수의 액실(液室)의 벽면을 형성하는 액실 플레이트와, 액실 플레이트 상에 설치되고 복수의 액실에 각각 연통하는 복수의 노즐을 갖는 노즐 플레이트와, 노즐 플레이트를 덮도록 액실 플레이트 상에 설치되고 복수의 노즐을 노출시키는 개구부를 갖는 홀더 플레이트와, 홀더 플레이트와 노즐 플레이트와의 사이에 설치된 완충 부재와, 베이스 부재, 진동 플레이트, 액실 플레이트 및 홀더 플레이트를 체결하는 복수의 나사를 구비하는 것이다.

본 발명의 실시 형태에 관한 제2 특징은, 액적 분사 장치에 있어서 전술한 제1 특징의 액적 분사 헤드와, 액적 분사 헤드를 보유 지지하는 동시에, 액적 분사 헤드에 잉크를 공급하는 본체를 구비하는 것이다.

(제1 실시 형태)

본 발명의 제1 실시 형태에 대해 도1 및 도2를 참조하여 설명한다.

도1 및 도2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드(1A)는 복수의 압전 소자(2a)를 보유 지지하는 베이스 부재(2)와, 베이스 부재(2) 상에 설치되고 각 압전 소자(2a)에 의해 진동하는 진동 플레이트(다이어프램 플레이트)(3)와, 그 진동 플레이트(3) 상에 설치되고 잉크 등의 액체를 각각 수용 하여 진동 플레이트(3)에 의해 용적이 변화하는 복수의 액실(4a)의 벽면을 형성하는 액실 플레이트(4)와, 그 액실 플레이트(4) 상에 설치되고 각 액실(4a)에 각각 연통하는 복수의 노즐(5a)을 갖는 노즐 플레이트(5)와, 그 노즐 플레이트(5)를 덮도록 액실 플레이트(4) 상에 설치되고 각 노즐(5a)을 노출시키는 개구부(6a)를 갖는 홀더 플레이트(6)와, 그 홀더 플레이트(6)와 노즐 플레이트(5)와의 사이에 설치된 완충 부재(7)와, 베이스 부재(2), 진동 플레이트(3), 액실 플레이트(4) 및 홀더 플레이트(6)를 체결하는 복수의 나사(8)를 구비하고 있다.

베이스 부재(2)는, 예를 들어 스테인레스 등의 금속 재료에 의해 형성되어 있다. 이 베이스 부재(2)의 표면에는, 각 압전 소자(2a)가 각각 삽입되는 2개의 삽입구(2b) 및 각 나사(8)가 각각 삽입되는 복수의 나사 구멍(N1)이 형성되어 있다. 각 삽입구(2b)는, 예를 들어 직방 형상으로 각각 형성되어 있고, 베이스 부재(2)의 표면의 대략 중앙에 나열되어 마련되어 있다. 또한, 각 나사 구멍(N1)은, 베이스 부재(2)의 표면의 주연부에 각각 마련되어 있다. 이들 나사 구멍(N1)의 내부에는, 예를 들어 암형 나사의 나사 홈이 형성되어 있다. 또한, 나사 구멍(N1)은 예를 들어 10개 마련되어 있다.

각 압전 소자(2a)는, 2열로 나열되어 각각 배치되어 있고, 예를 들어 3개의 지지 부재(2c)에 의해 지지되어 있다. 이들 압전 소자(2a)는, 각 선단이 진동 플레이트(3)에 접촉하도록 각 삽입구(2b)에 삽입되고, 3개의 지지 부재(2c)와 함께 베이스 부재(2)의 내부에 설치되어 있다. 또한, 각 압전 소자(2a)의 선단부는, 진동 플레이트(3)에 접착 고정되어 있다. 이러한 압전 소자(2a)에는, 전압 인가용 배선이 접속되어 있고, 각 압전 소자(2a)에 전압이 인가되면 각 압전 소자(2a)의 신축에 의해 진동 플레이트(3)가 진동한다.

진동 플레이트(3)는, 예를 들어 탄성 재료에 의해 형성되어 있다. 이 진동 플레이트(3)에는, 각 나사(8)가 각각 삽입되는 복수의 나사 구멍(N2)이 형성되어 있다. 이들 나사 구멍(N2)은, 진동 플레이트(3)의 표면의 주연부에 각각 마련되어 있고, 진동 플레이트(3)를 관통하는 관통 구멍이다. 또한, 나사 구멍(N2)은 예를 들어 10개 마련되어 있고, 나사 구멍(N1)과 동일 직선 상에 위치 결정하여 형성되어 있다. 진동 플레이트(3)는, 각 압전 소자(2a)의 신축에 의해 변형하고, 액실 플레이트(4)의 각 액실(4a)의 용적을 각각 증감시킨다. 이에 의해, 각 액실(4a) 내의 액체가 각 노즐(5a)로부터 액적으로서 분사된다.

액실 플레이트(4)는, 예를 들어 금속이나 세라믹 등의 재료에 의해 형성되어 있다. 이 액실 플레이트(4)에는, 액체를 각각 수용하는 각 액실(4a), 그들 액실(4a)에 각각 연통하는 2개의 액체 공급 홈(4b) 및 각 나사(8)가 각각 삽입되는 복수의 나사 구멍(N3)이 형성되어 있다. 각 액실(4a)은, 액체 공급 홈(4b)으로부터 공급되는 액체를 수용하는 수용부이며, 액실 플레이트(4)의 대략 중앙에 2열로 나열되어 각각 마련되어 있다. 이들 액실(4a)의 바닥면은, 진동 플레이트(3)에 의해 형성되어 있다. 각 액체 공급 홈(4b)은, 각 액실(4a)을 끼움 지지하도록 대략 평행하게 마련되어 있다. 이들 액체 공급 홈(4b)에는, 외부의 액체 탱크 등으로부터 튜브 등의 공급 경로(도시하지 않음)를 통해 액체가 공급된다. 각 나사 구멍(N3)은 액실 플레이트(4)의 표면의 주연부에 각각 마련되어 있고, 액실 플레이 트(4)를 관통하는 관통 구멍이다. 또한, 나사 구멍(N3)은, 예를 들어 10개 마련되어 있고, 나사 구멍(N1)과 동일 직선 상에 위치 결정하여 형성되어 있다.

노즐 플레이트(5)는, 예를 들어 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술 등의 반도체의 미세 가공 기술을 이용하여, 예를 들어 글래스 등의 재료에 의해 형성되어 있다. 이 노즐 플레이트(5)는 홀더 플레이트(6)의 개구부(6a)로부터 돌출하도록 형성되어 있다. 즉, 노즐 플레이트(5)에는 홀더 플레이트(6)의 개구부(6a)에 삽입되는 볼록부(5b)가 설치되어 있다. 이에 의해, 도2에 도시하는 바와 같이 노즐 플레이트(5)의 노출면(R1)[오리피스 플레이트(5c)의 노출면]은 홀더 플레이트(6)의 표면(R2)보다도, 예를 들어 수십 ㎛ 정도 돌출되어 있다. 이 볼록부(5b)의 표면(도2 중의 상면) 상에는, 각 노즐(5a)이 일렬로 나열되어 형성된 오리피스 플레이트(5c)가 설치되어 있다. 이 오리피스 플레이트(5c)는, 예를 들어 Si 등의 재료에 의해 형성되어 있다. 또한, 노즐 플레이트(5)에는 각 노즐(5a)과 각 액실(4a)을 각각 연통하는 복수의 액체 유로(5d)가 형성되어 있다. 이들 액체 유로(5d)는 각 액실(4a)에 대향하는 위치에 위치 결정하여 형성되어 있다.

홀더 플레이트(6)는, 노즐 플레이트(5)보다도 압축 강도가 높아지는 재료, 예를 들어 금속 등의 재료에 의해 형성되어 있다. 이 홀더 플레이트(6)에는, 각 노즐(5a)이 노출되도록 형성된 개구부(6a) 및 각 나사(8)가 각각 삽입되는 복수의 나사 구멍(N4)이 형성되어 있다. 개구부(6a)는, 홀더 플레이트(6)의 대략 중앙에 마련되어 있고, 각 노즐(5a)을 노출시키는 형상, 예를 들어 장방 형상으로 형성되어 있다. 이 개구부(6a)로부터 노즐 플레이트(5)의 각 노즐(5a)이 노출되어 있다. 또한, 각 나사 구멍(N4)은 홀더 플레이트(6)의 표면의 주연부에 각각 마련되어 있고, 홀더 플레이트(6)를 관통하는 관통 구멍이다. 이들 나사 구멍(N4)은, 예를 들어 카운터보어(counterbore) 가공에 의해 형성되어 있다. 또한, 나사 구멍(N4)은, 예를 들어 10개 마련되어 있고, 나사 구멍(N1)과 동일 직선 상에 위치 결정하여 형성되어 있다.

완충 부재(7)는, 예를 들어 환형으로 형성되어 있고, 노즐 플레이트(5)의 볼록부(5b)의 주위에 설치되어 있다. 이 완충 부재(7)는, 노즐 플레이트(5)와 홀더 플레이트(6)와의 접촉을 방지하여, 그들의 충격을 완화시키고 있다. 이 완충 부재(7)로서는, 예를 들어 탄성 부재 등을 이용한다. 탄성 부재의 재료로서는, 예를 들어 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌 : 4불화에틸렌 수지)나 실리콘, 칼레츠(kalrez) 등을 이용한다.

각 나사(8)는, 예를 들어 봉형으로 형성되어 있고, 각 나사 구멍(N1, N2, N3, N4)에 각각 삽입되어 있다. 이들 나사(8)는, 베이스 부재(2)에 대해 진동 플레이트(3), 액실 플레이트(4) 및 홀더 플레이트(6)를 고정한다. 이때, 노즐 플레이트(5)도, 홀더 플레이트(6) 및 액실 플레이트(4)에 의해 끼움 지지되어 고정되어 있다. 각 나사(8)에는, 예를 들어 수형 나사의 나사 홈이 형성되어 있다. 이러한 각 나사(8)에 의해, 베이스 부재(2), 진동 플레이트(3), 액실 플레이트(4) 및 홀더 플레이트(6)가 체결되어 있다.

다음에, 이러한 액적 분사 헤드(1A)의 분사 동작에 대해 설명한다.

전압이 각 압전 소자(2a)에 각각 인가되면[인가 전압 온(on)], 각 압전 소 자(2a)가 줄어들어, 진동 플레이트(3)를 변형시켜, 대응하는 액실(4a)의 용적을 증대시킨다. 이때, 용적이 증대된 액실(4a)에는, 액체 공급 홈(4b)으로부터 액체가 보충된다. 그 후, 전압이 각 압전 소자(2a)에 인가되지 않게 되면[인가 전압 오프(off)], 진동 플레이트(3)가 원래의 형상으로 복귀하고, 대응하는 액실(4a)의 용적도 원래대로 복귀된다. 이때, 액실(4a) 내의 액체가 압박되고, 그 액체가 노즐(5a)로부터 액적으로서 분사된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 형태에 따르면, 노즐 플레이트(5)를 덮도록 홀더 플레이트(6)를 설치하고, 또한 노즐 플레이트(5)와 홀더 플레이트(6)와의 사이에 완충 부재(7)를 설치함으로써, 각 나사(8)가 홀더 플레이트(6)에 접촉하게 되어, 각 나사(8)가 노즐 플레이트(5)를 직접 압박하는 일이 없어지고, 게다가 노즐 플레이트(5)와 홀더 플레이트(6)가 접촉하는 것도 방지되므로, 노즐 플레이트(5)의 파손을 방지하면서 각 나사(8)에 의한 체결력을 향상시키는 것이 가능해져 충분한 체결력을 얻을 수 있다. 그 결과로서, 분사성의 안정을 실현하고, 액적의 착탄 정밀도를 향상시킬 수 있다. 덧붙여, 충분한 체결력이 얻어지므로, 진동 플레이트(3), 액실 플레이트(4) 및 노즐 플레이트(5)의 각 사이로부터 액체가 누출되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 노즐 플레이트(5)가 홀더 플레이트(6)에 의해 덮이므로, 액적 분사 헤드(1A)의 기계적인 강도를 향상시킬 수 있어, 그 결과로서 액적 분사 헤드(1A)의 파손을 방지할 수 있다.

덧붙여, 노즐 플레이트(5)는 홀더 플레이트(6)와 조합된 상태에 있어서, 노즐(5a)이 형성되어 있는 영역이 홀더 플레이트(6)의 개구부(6a)로부터 돌출하도록 형성되어 있으므로, 노즐 플레이트(5)의 노출면(R1)[오리피스 플레이트(5c)의 노출면]이 홀더 플레이트(6)의 표면(R2)보다도 돌출되게 된다. 이에 의해, 각 노즐(5a) 및 그 주변을 청소하는 헤드 클리닝 동작 등을 행하는 경우에는, 각 노즐(5a) 및 그 주변을 청소하기 쉽고, 그들을 확실하게 청소하는 것이 가능해지므로 액적의 분사 불량의 발생을 방지할 수 있다.

또한, 홀더 플레이트(6)는 노즐 플레이트(5)보다도 압축 강도가 높아지는 재료에 의해 형성되어 있기 때문에, 홀더 플레이트(6)의 기계적인 강도가 노즐 플레이트(5)보다도 향상되므로, 홀더 플레이트(6)와 노즐 플레이트(5)가 동일한 재료에 의해 형성되어 있는 경우에 비해, 홀더 플레이트(6)의 파손을 방지하면서 각 나사(8)에 의한 체결력을 보다 향상시킬 수 있고, 또한 노즐 플레이트(5)를 보다 강한 충격으로부터 보호할 수 있다.

또한, 이러한 액적 분사 헤드(1A)와, 이 액적 분사 헤드(1A)를 보유 지지하는 동시에 액적 분사 헤드(1A)에 잉크를 공급하는 본체를 이용하여 액적 분사 장치를 구성함으로써, 분사성의 안정을 실현하고 액적의 착탄 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 기계적인 강도가 높은 액적 분사 헤드(1A)가 이용되므로, 액적 분사 장치의 내구성을 높일 수 있다.

(제2 실시 형태)

본 발명의 제2 실시 형태에 대해 도3을 참조하여 설명한다. 본 발명의 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 다른 부분에 대해 설명한다. 또한, 제2 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태에서 설명한 부분과 동일 부분은 동일한 부호로 나 타내고, 그 설명은 생략한다(다른 실시 형태도 마찬가지임).

도3에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드(1B)에서는, 노즐 플레이트(5)의 볼록부(5b)가 오리피스 플레이트(5c)에 의해 형성되어 있고, 노즐 플레이트(5)가 직방체 형상으로 형성되어 있다. 오리피스 플레이트(5c)는 노즐 플레이트(5)의 노출면(R1)[오리피스 플레이트(5c)의 노출면]이 홀더 플레이트(6)의 표면(R2)보다 예를 들어 수십 ㎛ 정도 돌출하도록 형성되어 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 형태에 따르면, 제1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 특히, 노즐 플레이트(5)를 직방체 형상으로 형성하면 좋고, 노즐 플레이트(5)의 가공이 용이해지므로, 액적 분사 헤드(1B)를 제조할 때의 제조상의 수율의 저하를 억제할 수 있다.

(제3 실시 형태)

본 발명의 제3 실시 형태에 대해 도4를 참조하여 설명한다. 본 발명의 제3 실시 형태에서는 제1 실시 형태와 다른 부분에 대해 설명한다.

도4에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드(1C)에서는 노즐 플레이트(5)의 볼록부(5b)가 형성되어 있지 않으며, 노즐 플레이트(5)가 직방체 형상으로 형성되어 있고, 그 노즐 플레이트(5)의 표면 상에 그 전체면에 걸쳐 오리피스 플레이트(5c)가 설치되어 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시 형태에 따르면, 제1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 특히, 노즐 플레이트(5)를 직방체 형상으로 형성 하면 좋고, 노즐 플레이트(5)의 가공이 용이해지므로, 액적 분사 헤드(1C)를 제조할 때의 제조상의 수율의 저하를 억제할 수 있다. 단, 노즐 플레이트(5)의 노출면(R1)[오리피스 플레이트(5c)의 노출면]이 홀더 플레이트(6)의 표면(R2)보다도 돌출되어 있지 않으므로, 제1 실시 형태에 비해 청소의 용이성은 저하된다.

(제4 실시 형태)

본 발명의 제4 실시 형태에 대해 도5를 참조하여 설명한다. 본 발명의 제4 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 다른 부분에 대해 설명한다.

도5에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 액적 분사 헤드(1D)에서는, 오리피스 플레이트(5c)가 설치되어 있지 않고, 각 노즐(5a)이 노즐 플레이트(5)의 볼록부(5b)에 일렬로 나열되어 형성되어 있다. 또한, 노즐 플레이트(5)는 그 노출면(R1)이 홀더 플레이트(6)의 표면(R2)보다 예를 들어 수십 ㎛ 정도 돌출하도록 형성되어 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제4 실시 형태에 따르면, 제1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 특히, 노즐 플레이트(5) 상에 오리피스 플레이트(5c)를 설치할 필요가 없어져, 제조 공정수를 삭감하는 것이 가능해지므로 액적 분사 헤드(1D)를 제조할 때의 제조상의 수율의 저하를 억제할 수 있다.

(다른 실시 형태)

또한, 본 발명은 전술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양하게 변경 가능하다.

예를 들어, 전술한 실시 형태에 있어서는, 나사(8)에 의해 베이스 부재(2)와 액실 플레이트(4)와의 사이에 진동 플레이트(3)를 고정하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 나사(8)에 부가하여, 접착제에 의해 베이스 부재(2)와 액실 플레이트(4)와의 사이에 진동 플레이트(3)를 접착 고정하도록 해도 좋다.

또한, 전술한 실시 형태에 있어서는, 완충 부재(7)를 환형으로 형성하고, 노즐 플레이트(5) 상에 1개의 완충 부재(7)를 설치하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 완충 부재(7)를 직방체 형상이나 원판 형상으로 형성하고, 노즐 플레이트(5) 상에 복수의 완충 부재(7)를 설치하도록 해도 좋다.

마지막으로, 전술한 실시 형태에 있어서는, 나사 구멍(N4)의 내부에 암형 나사의 나사 홈을 형성하고 있지 않지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 나사 구멍(N4)의 내부에 암형 나사의 나사 홈을 형성하도록 해도 좋다.

본 발명에 따르면, 분사성의 안정을 실현하고, 액적의 착탄 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Claims

복수의 압전 소자를 보유 지지하는 베이스 부재와,

상기 베이스 부재 상에 설치되고 상기 복수의 압전 소자에 의해 진동하는 진동 플레이트와,

상기 진동 플레이트 상에 설치되고 액체를 각각 수용하여 상기 진동 플레이트에 의해 용적이 변화하는 복수의 액실의 벽면을 형성하는 액실 플레이트와,

상기 액실 플레이트 상에 설치되고 상기 복수의 액실에 각각 연통하는 복수의 노즐을 갖는 노즐 플레이트와,

상기 노즐 플레이트를 덮도록 상기 액실 플레이트 상에 설치되고 상기 복수의 노즐을 노출시키는 개구부를 갖는 홀더 플레이트와,

상기 홀더 플레이트와 상기 노즐 플레이트와의 사이에 설치된 완충 부재와,

상기 베이스 부재, 상기 진동 플레이트, 상기 액실 플레이트 및 상기 홀더 플레이트를 체결하는 복수의 나사를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 헤드.
제1항에 있어서, 상기 노즐 플레이트는 상기 홀더 플레이트와 조합된 상태에 있어서, 상기 노즐이 형성되어 있는 영역이 상기 개구부로부터 돌출하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 분사 헤드.
제1항에 있어서, 상기 홀더 플레이트는 상기 노즐 플레이트보다도 압축 강도 가 높아지는 재료에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 분사 헤드.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 액적 분사 헤드와,

상기 액적 분사 헤드를 보유 지지하는 동시에, 상기 액적 분사 헤드에 잉크를 공급하는 본체를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 장치.