KR20070029053A

KR20070029053A - 외관검사 장치

Info

Publication number: KR20070029053A
Application number: KR1020060082729A
Authority: KR
Inventors: 히로후미 미즈카미
Original assignee: 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date: 2005-09-08
Filing date: 2006-08-30
Publication date: 2007-03-13
Also published as: TWI414781B; CN1929087B; TW200710383A; JP2007071775A; CN1929087A; JP4848160B2; KR101114076B1

Abstract

바깥 둘레부에 워크를 1개씩 수납하여 반송하는 복수의 워크 수납부(31a)를 가진 회전 테이블(31)과, 상기 워크 수납부(31a)에 수납된 워크(w)를 흡착 보호 유지하여 상기 회전 테이블(31)의 외부 공간에 송출하는 송출 수단과, 상기 회전 테이블(31)에서 송출된 상기 워크(w)의 외관을 검사하는 검사 수단으로 이루어지고, 상기 회전 테이블(31)의 상기 워크 수납부(31a)를 소정 위치에 위치 결정 한 후, 상기 송출 수단으로서의 흡착 노즐(28)에 의해 상기 워크 수납부(31a)의 상기 워크(w)를 송출하고, 상기 회전 테이블(31)의 외부 공간의 상기 워크(w)를 검사 수단으로서의 촬상(撮像) 수단(37)에 의해 검사하는 것을 특징으로 한다.

워크, 수납부, 송출, 검사, 촬상

Description

외관검사 장치{Work Inspection Apparatus}

도 1a는 본 발명의 제 1 실시 형태를 나타내고, 외관 검사 장치의 일부를 절단한 정면도.

도 1b는 도 1a의 A-A에 따른 화살표로 나타낸 도면.

도 2는 동 실시 형태를 나타내고, 워크 수납부를 확대한 사시도.

도 3a는 동 실시 형태를 나타내고, 외관 검사부의 평면도.

도 3b는 동 실시 형태를 나타내고, 외관 검사부의 측면도.

도 3c는 동 실시 형태를 나타내고, 외관 검사부의 정면도.

도 3d는 동 실시 형태를 나타내고, 외관 검사부의 광로(光路) 형성의 사시도.

도 4a는 동 실시 형태를 나타내고, 조명 수단의 설명도.

도 4b는 동 실시 형태를 나타내고, 조명 수단의 설명도.

도 5a는 본 발명의 제 2의 실시 형태를 나타내고, 외관 검사 장치의 사시도.

도 5b는 동 실시 형태의 주요부를 확대한 사시도.

도 6은 종래의 외관 검사 장치의 사시도.

본 발명은, 예를 들면, 칩 형상 전자 부품 등의 워크의 외관을 검사하는 외관 검사 장치에 관한 것이다.

예를 들면, 6면체로 이루어지는 칩 형상 전자 부품의 외관을 검사하는 외관 검사 장치는, 도 6에 도시하는 바와 같이 구성되어 있다. 도 6은, 워크의 외관을 검사하는 외관 검사 장치(50)이며, 6면체로 이루어지는 칩 형상 전자 부품(이하 워크라고 한다)은, 리니어 피더(51)에서 수평 회전 테이블(52)로 공급된다. 수평 회전 테이블(52)의 둘레 가장자리부에는 워크가 수납되는 오목부로 이루어지는 워크 수납부(52a)가 복수 설치되고, 이들 워크 수납부(52a)에 워크가 1개 마다 분리 수납된다.

수평 회전 테이블(52)이 회전하면, 그 회전에 동반하여 워크가 반송되는 과정에서, 수평 회전 테이블(52)의 둘레 가장자리부 바깥쪽에 설치된 촬상 수단(54a)에 의해 워크 수납부(52a)내의 워크의 측면이 촬상된다. 더욱이 수평 회전 테이블(52)의 상하 방향으로 각각 설치된 촬상 수단(54b 및 54c)에 의해, 워크 수납부(52a)내의 워크의 상하 2면이 촬상된다.

촬상 수단(54a, 54b, 54c)으로부터의 촬상 데이터는, 도시하지 않은 화상 처리 장치에 보내져 화상 처리되고, 불량 여부가 판정된다. 불량품으로 판정된 워크는 워크 수취함(55)으로부터 배출되고, 우량품의 워크는 수평 회전 테이블(52)에 의해서 워크 이재(移載-이동 적재) 위치(57)까지 반송된다. 그리고, 우량품의 워크는 워크 이재(移載-이동 적재) 위치(57)에서, 워크 수납부(52a)로부터 수직 회전 테이블(53)의 둘레 가장자리부에 복수 설치된 워크 수납부(53a)에 이재(移載-이동 적재)된다. 수직 회전 테이블(53)측에 이재(移載-이동 적재)된 우량품의 워크는, 수직 회전 테이블(53)의 둘레 가장자리부 바깥쪽에 설치된 촬상 수단(54d)에 의해 워크의 측면이 촬상되고, 더욱이 수직 회전 테이블(53)의 좌우 측에 각각 설치된 촬상 수단(54e 및 54f)에 의해, 워크 수납부(53a)내의 워크의 좌우 2면이 촬상된다.

촬상 수단(54d, 54e, 54f)으로부터의 촬상 데이터는, 도시하지 않은 화상 처리 장치에 보내져 화상 처리되고, 불량 여부가 판정된다. 불량품으로 판정된 워크는 워크 수취함(56)으로부터 배출되고, 우량품의 워크는 도시하지 않은 워크 취출부를 거쳐 다음 공정에 넘겨지도록 되어 있다.

그렇지만, 상기 외관 검사 장치(50)에 있어서는, 워크의 6면의 외관 검사까지 가능하지만, 4면 이상의 외관 검사가 되면, 워크를 반송하는 수평 회전 테이블(52) 및 수직 회전 테이블(53)이라는 2개의 회전 테이블이 필요해진다. 또한, 수평 회전 테이블(52)과 수직 회전 테이블(53)을 동기하여 간헐(間歇) 회전시키도록 제어할 필요가 있다. 더욱이 워크의 보호 유지 수단, 혹은 이재(移載-이동 적재) 수단 등의 기구가 정밀하고, 또한 복잡하게 되어, 비용 상승의 요인이 되고 있었다.

본 발명은, 상기 사정에 주목하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 회전 테이블의 워크 수납부에 수납하여 워크를 반송하는 과정에서, 워크의 많아도 5면의 외관 검사, 특히 일면이 실루엣(영상)적인 검사에서도 좋은 경우에 있어서, 간단한 기구에 의해 검사를 할 수 있고, 비용 절감을 도모할 수 있는 외관 검사 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 의하면, 바깥 둘레부에 워크를 1개씩 수납하여 반송하는 복수의 워크 수납부를 가진 회전 테이블과, 상기 워크 수납부에 수납된 워크를 흡착 보호 유지하여 상기 회전 테이블의 외부 공간에 송출하는 송출 수단과, 상기 회전 테이블로부터 송출된 상기 워크의 외관을 검사하는 검사 수단으로 이루어진다. 그리고, 상기 회전 테이블을 회전하여 상기 워크 수납부를 소정 위치에 위치 결정한 후, 상기 송출 수단에 의하여 상기 워크 수납부의 상기 워크를 상기 회전 테이블의 외부 공간에 송출하고, 상기 워크의 외관을 검사 수단에 의하여 검사하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의하면, 회전 테이블의 워크 수납부에 수납하여 반송된 워크를, 송출 수단에 의해 흡착 보호 유지하여 회전 테이블의 외부 공간에 송출하는 것에 의해, 워크 수납부의 벽면이 장벽이 되어 검사를 할 수 없었던 워크의 면을 검사 수단에 의해, 외관 검사할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1a 및 도 1b에 있어서, 외관 검사 장치(1)의 베이스판(2)의 표면상(이하, 표면측을 상(上), 이면(裏面)측을 하(下)로 한다)에는 슬라이드 베이스 지지체(3)가 고정되어 설치되어 있다. 슬라이드 베이스 지지체(3)에는, 슬라이드 베이스(4) 가 피벗축(4a)을 중심으로 하여 회전 이동 가능하게 설치되어 있다. 슬라이드 베이스(4)에는 수직 방향으로 복수의 가이드구멍(4b)이 설치되고, 이들 가이드구멍(4b)에는 보조 슬라이더(5)의 하단측이 수직 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 이들 보조 슬라이더(5)의 상단측은 노즐 지지체(6)에 끼워 맞추어져, 슬라이드 베이스(4)에 대해서 노즐 지지체(6)가 상하 이동하도록 되어 있다.

노즐 지지체(6)의 상면에는 지지 부재(7)가 스토퍼 볼트(8)에 의해 고정되어 있다. 지지 부재(7)는 슬라이드 베이스(4)에 고정하여 설치된 스토퍼 지지 부재(9)와의 사이에 배치 설치된 스프링(10)에 의하여 힘이 가하여져 아래쪽으로 눌러지고 있다. 또한, 스토퍼 지지 부재(9)에는 조정 나사(11)가 나사 결합되고, 조정 나사(11)의 하단이 스토퍼 볼트(8)의 상면에 맞닿아 있다.

슬라이드 베이스(4)에는 수직 방향으로 관통공(13)이 설치되고, 관통공(13)에는 구동 슬라이더(14)가 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 구동 슬라이더(14)는, 그 정점부에 지지 부재(7)의 판 두께보다 조금 넓은 감기어 죄어든 부분(14a)이 형성되고, 이 감기어 죄어든 부분(14a)이 지지 부재(7)의 U자 홈(7a)에 느슨하게 삽입되어 있다. 또한, 구동 슬라이더(14)의 감기어 죄어든 부분(14a)보다 조금 하부에는 날(鍔, 14b)이 설치되어 있다. 날(14b)과 지지 부재(7)의 사이에는 스프링(15)이 개재되고, 지지 부재(7)의 상면이 감기어 죄어든 부분(14a)의 상단에 눌러지도록 힘이 가하여지고 있다.

상기 베이스판(2)의 이면 측에는 캠 베이스(16)가 고정되어 있다. 캠 베이스(16)에는 모터(17)가 설치되어 있다. 캠 베이스(16)에는 모터(17)가 설치되어 있 다. 캠 베이스(16)에는 모터(17)와 사이를 두고 떨어져 긴 지름과 짧은 지름으로 이루어지는 타원형으로 형성된 캠(18)이 회전 가능하게 설치되어 있다. 모터(17)의 풀리(19)와 캠(18)의 풀리(20)의 사이에는 벨트(21)가 걸쳐져 있다. 캠(18)에는 캠공이(Cam follower, 22)가 굴러서 접하고, 이 캠공이(22)는 캠공이 베이스(23)에 회전 이동 가능하게 설치되어 있다.

캠공이 베이스(23)에는 구동 로드(24)의 일단부가 끼워 맞추어져 있다. 구동 로드(24)는 캠 베이스(16)에 고정하여 설치된 지지 부재(25) 및 베이스 판(2)을 관통하여 수직 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 이 구동 로드(24)의 타단은 구동 슬라이더(14)의 하면(下面)과 맞닿음부(14c)에 맞닿아 있다. 또한, 캠공이 베이스(23)에는 구동 로드(24)와 평행하게 보조 로드(26)의 일단이 슬라이드 가능하게 끼워 맞추어져 있다. 이 보조 로드(26)의 타단은 지지 부재(25)를 관통하여 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.

구동 로드(24) 및 보조 로드(26)에는 스프링(27)이 끼워 맞추어져 있다. 이들 스프링(27)은 지지부재(25)와 캠공이 베이스(23)와의 사이에 압축 상태로 개재되고, 캠공이(22)가 캠(18)에 항상 밀착하도록 되어 있다.

상기 노즐 지지체(6)에는 워크 송출 수단인 흡착 노즐(28)이 설치되어 있다. 이 흡착 노즐(28)의 하부 선단부에는 워크(w)를 흡착하는 노즐 헤드(28a)가 설치되어 있다. 상기 베이스판(2)에는 노치부(2a)가 설치되고, 이 노치부(2a)에는 노즐 헤드(28a)에 대향하는 외관 검사부(29)가 설치되어 있다. 더욱이 외관 검사부(29)를 커버하여 받침대(30)가 설치되어 있다. 받침대(30)의 상면과 베이스판(2)의 상 면과는 단차가 없는 상태로 되어 있고, 받침대(30)와 베이스판(2)의 상면에 근접하여 회전 테이블(31)이 회전 가능하게 설치되어 있다.

회전 테이블(31)의 바깥 둘레부에는 등간격으로 워크(w)가 수납되는 오목부로 이루어지는 워크 수납부(31a)가 설치되어 있다. 회전 테이블(31)은, 도시하지 않은 구동 수단에 의하여 베이스판(2) 및 받침대(30)상을 간헐(間歇) 회전한다. 그리고, 회전 테이블(31)의 간헐 정지 위치에 있어서 노즐 헤드(28a)에 대향하여, 도 2에 도시하는 워크 수납부(31a)가 워크(w)와 함께 위치 결정되게 되어 있다. 더욱이 회전 테이블(31)의 간헐 정지 위치에 있어서는, 받침대(30)에 설치된 워크 통과 구멍(30a)과 워크 수납부(31a) 및 노즐 헤드(28a)와는 동일 수선(垂線)상에 위치 결정되게 되어 있다.

도 3a 내지 도 3c에 도시하는 바와 같이, 외관 검사부(29)는, 광로(光路) 케이스(32)에 설치된 복수의 광반사 수단(33, 34, 35) 및 대략 평행 광선을 조사하는 조명 수단(36)에 의해 구성되어 있다. 외관 검사부(29)에 의해 형성된 광로(L)의 연장선상에는 도 1a에 도시하는 바와 같은 촬상 수단(37)이 설치되어 있다.

또한, 슬라이드 베이스(4)의 피벗축(4a)은 외관 검사부(29) 등에서 맞지 않은 것이 발생했을 경우, 슬라이드 베이스(4)를 회전 이동 개폐하기 위한 지점이고, 통상은 슬라이드 베이스(4)는 베이스 판(2)에 고정되어 있다.

다음에, 전술한 바와 같이 구성된 외관 검사 장치(1)의 작용에 대하여 설명한다.

도 1a에 도시하는 바와 같이, 캠(18)은 긴 지름과 짧은 지름으로 이루어지는 타원형으로 형성되어 있다. 캠공이 베이스(23)는 스프링(27)에 의하여 힘이 가하여져 캠(18)과 캠공이(22)가 탄성적으로 굴러 접하고 있다. 이 상태에서, 모터(17)가 간헐 회전하면, 풀리(19), 벨트(21) 및 풀리(20)를 개재하여 캠(18)이 화살표 방향으로 90°마다 간헐 회전하고, 캠(18)의 긴 지름부분과 짧은 지름 부분에 각각 간헐 정지한다. 캠(18)의 긴 지름부분과 짧은 지름 부분의 지름 차이에 의해, 캠공이(22)는 상하 방향으로 왕복 이동하고, 이것에 동반하여 캠공이 베이스(23), 구동 로드(24) 및 보조 로드(26)가 상하 방향으로 왕복 이동한다.

캠공이(22)가 캠(18)의 긴 지름측에서 짧은 지름측으로 굴러 접하는 것에 따라, 구동 로드(24)는 스프링(27)에 힘이 가하여져 하부로 슬라이드한다. 구동 로드(24)의 하부에의 슬라이드에 동반하여 스프링(1O)에 힘이 가하여진 지지 부재(7) 및 스프링(15)에 힘이 가하여진 구동 슬라이더(14)가 하부로 슬라이드하여 구동 슬라이더(14)의 하면과 구동 로드(24)의 상면과의 맞닿음부(14c)가 항상 밀착되어 슬라이드한다.

캠공이(22)가 캠(18)의 짧은 지름측에서 긴 지름측으로 이동하면, 구동 로드(24)는 윗쪽으로 슬라이드하여 구동 슬라이더(14)를 밀어올리고, 이것에 동반하여 지지 부재(7)를 밀어올릴 수 있다. 지지 부재(7)의 상한은, 노즐 헤드(28a)의 선단이 슬라이드 베이스(4)의 노즐 헤드 근방 하면과 동일면이 되도록 조정 나사(11)와 스토퍼 볼트(8)가 맞닿도록 설정되어 있다. 이것에 의하여 회전 테이블의 회전으로, 도 2와 같이 워크(w)가 반송되어 왔을 때, 단차가 없기 때문에 안정적으로 통과할 수 있고, 또한 노즐 헤드(28a)의 선단이 가장 워크(w)의 근처에 있기 때 문에 효과적으로 흡착할 수 있다.

더욱이, 구동 슬라이더(14)의 감기어 죄어든 부분(14a)은 지지 부재(7)의 두께보다 조금 넓게 설치되어 있다. 이 때문에, 지지 부재(7)가 조정 나사(11)에 의해 규제되어 상한 위치에 정지하여도, 구동 슬라이더(14)는 스프링(15)의 밀어 올리는 힘에 대항하여 상기 스트로크 차이만큼, 더욱 슬라이드 할 수 있게 되어 있다.

지지 부재(7)에 고정되어 설치된 노즐 지지체(6)는, 복수의 보조 슬라이더(5)에 의해 슬라이드 베이스(4)에 대해서 수직으로 슬라이드 하여 상하 이동한다. 슬라이드 베이스(4)와 베이스판(2)은 평행으로 설정되어 있기 때문에, 노즐 지지체(6)가 베이스판(2)에 대하여도 수직으로 상하 이동하게 된다. 노즐 지지체(6)의 상하 이동에 의해 베이스판(2)에 대해서 수직으로 상하 이동하는 흡착 노즐(28)은, 도시하지 않은 부압(負壓) 발생원에 접속되어 노즐 헤드(28a)가 상시 부압(負壓)화 되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 베이스판(2)상을 간헐 회전하는 회전 테이블(31)의 워크 수납부(31a)에 워크(w)를 수납하고, 노즐 헤드(28a)에 대향하여 설치된 외관 검사부(29)에 워크(w)가 반송되면, 워크(w)는 상시 부압화 된 노즐 헤드(8a)에 흡착 보호 유지된다. 워크(w)가 노즐 헤드(28a)에 흡착 보호 유지되면, 캠(18)이 90° 회전하여 짧은 지름 위치에서 정지한다. 그리고, 워크(w)를 흡착한 노즐 헤드(28a)가 하강하여 받침대(30)에 설치된 워크 통과 구멍(30a)으로부터 베이스 판(2)내에 설치된 외관 검사부(29)에 워크(w)를 이동시킨다.

도 3a 내지 도 3d에 도시하는 바와 같이, 외관 검사부(29)는, 광로 케이스(32)에 설치된 복수의 광반사 수단(33, 34, 35)에 의해 조명 수단(36)으로부터 조사된 대략 평행 광선을 반사시켜 광로(L)를 형성한다. 즉, 노즐 헤드(28a)에 의해 흡착 보호 유지되어 외관 검사부(29)에 이동된 워크(w)는 광로(L)중에 투입되어 배면으로부터 평행 광선이 조사되면, 워크(w)의 실루엣(영상)을 포함한 광로(L)가 형성되고, 도 1a에 도시하는 바와 같이, 광로(L)의 후방에 설치된 촬상 수단(37)에 의해 워크(w)의 실루엣이 촬상되고, 도시하지 않은 제어부에 송신되어 해석된다.

도 3a 내지 도 3d에 도시하는 워크(w)의 평행 광선이 조사되는 면은, 도 2에 도시하는 워크 수납부(31a)의 벽면이 장벽이 되어 검사를 할 수 없었던 D면 방향이고, D면 방향에서의 광선의 조사에 의해서 도 2에 도시하는 워크(w)의 D면 방향의 실루엣상이 촬상 수단(37)에 얻어지지만, 이 실루엣상으로부터 예를 들면 워크(w)의 양단에 설치된 전극(wa)의 구부러짐 등의 이상을 검사할 수 있다. 즉, 실루엣상 방식은, 도 2의 워크(w)와 같이 워크 표면과 전극(wa)이 동일 면상에 없는 경우에도, 검사에 이용할 수 있다.

이상에 의하여, 회전 테이블(31)의 워크 수납부(31a)에 수납된 상태에서 검사가 가능한 A 내지 C면과 아울러 4면에서의 외관 검사가 가능하다.

D면의 외관 검사가 종료하면, 다시 캠(18)이 90° 회전하여 긴 지름측에서 정지하고, 이것에 의하여 노즐 헤드(28a)가 상승하여 워크(w)가 회전 테이블(31)의 워크 수납부(31a)로 돌아온다. 이것과 동시에, 회전 테이블(31)이 간헐 회전하여 노즐 헤드(28a)로부터 워크(w)를 찰상하여 취하고, 다음 공정으로 반송되게 되어 있다.

이 검사에 이용하는 평행 광선을 종래의 렌즈계로 제작하면 매우 고가가 된다. 그래서, 대상 워크(w)가 길이(1mm) 전후로 작은 경우, LED를 이용하는 것을 검토하였다.

도 4a는, 빛의 굴절의 기본형으로, 매질(A)에서 매질(B)로 빛이 입사하였을 때, 법선(C)에 대한 각도를 각각 θ_A, θ_B로 하면, 상대 굴절률 n_AB는 스넬의 법칙으로부터,

n_AB=n_B/n_A=sinθ_A/sinθ_B(n_A, n_B: 매질의 굴절률)

여기서 A를 공기(空氣)로 하면 n_A≒1, 또한, n_B > 1 로부터

sin θ_A/sinθ_B > 1, 즉 θ_A> θ_B

이 결과를 투광면(41)이 거의 구면(球面) 형상, 또한 수지로 채워진 LED(40)에 적응한 것이, 도 4b이다. 즉, 스넬의 법칙의 결과를 적용하면, 발광부(42)가 투광면(41)의 구심(球心) o의 후부에 있었을 경우, 발광부(42)를 나온 투광(X)은 투광면(41)에서 굴절하여 LED의 광축 Y측으로 구부러지게 된다. 그러나, 이론적으로는 투광(X)은 광축(Y)과 교차하지 않는다. 따라서, 광축(Y) 근방의 투광은, 한없이 평행 광선에 가까워진다고 말할 수 있다.

또한, 발광부(42)의 크기에 의해 평행광에 약간의 엇갈림이 발생하므로, 발광부(42)는 작은 것이 바람직하다. 조명 수단(36)으로서 LED로 설명하였지만, 그 이외에도, 도 4b의 구성을 채우는 것이라면 적용 가능하다. 또한, 이 조명 수 단(36)의 광원의 특징을 정리하면,

(1) 발광부는 극력 작은 것이 바람직하다.

(2) 투광면은 볼록한 모양이 바람직하고, 볼록한 모양의 중심 o보다 투광면의 반대 측에 발광부가 있는 것이 바람직하다.

(3) 투광면 근방은 같은 매질로 채워져 있는 것이 바람직하다.

(4) 광축(Y)에 가까워질수록 투광은 평행도를 더하므로, 검사 대상 워크(w)는 작을수록 검사 정밀도가 향상한다.

이상은 이론적인 경우의 바람직한 조건이지만, 실제로는 LED(40)의 구조에 의하여 약간의 산란광이 발생한다. 이 산란광은 LED(40)의 비교적 근처에서 확산하므로, 문제가 되는 경우에는, 도 4b와 같이 LED(40)의 전면에 조리개 구멍(50a)을 가지는 조리개(50)를 광축을 맞추어 마련하는 것으로 방지할 수 있다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 외관 검사 장치의 제 2의 실시 형태이다. 도 5a 및 도 5b에 있어서 흡착 노즐(28)을 수직으로 상하 이동시키는 구성은, 제 1의 실시 형태와 공통이기 때문에 설명은 생략한다. 본 실시 형태에 있어서는, 노즐 헤드(28a)에 의하여 흡착 보호 유지된 워크(w)의 외관 검사부(43)에 있어서, 상기 흡착면을 제외한 5면에 대해서, 각각 설치된 촬상 수단(44a, 44b, 44c, 44d, 44e)에 의해 각 면을 촬상하도록 한 것이다.

또한, 각 촬상 수단(44a, 44b, 44c, 44d, 44e)에는, 도시하지 않은 조명 수단이 포함되어 있는 것으로 한다.

워크 공급 수단(45)에 의해 공급된 워크(w)는, 간헐 회전하는 회전 테이 블(31)의 둘레 가장자리부에 복수 설치된 워크 수납부(31a)에 수납되고, 노즐 헤드(28a)에 대향해서 설치된 외관 검사부(43)에 반송되면, 워크(w)는 상시 부압화 된 노즐 헤드(28a)에 흡착 보호 유지되게 되어 있다.

워크(w)가 흡착 보호 유지되면, 흡착 노즐(28)이 하강하여 워크 수납부(31a)에서 회전 테이블(31)의 하면측의 공간에 설치된 외관 검사부(43)의 대략 중심 위치에 워크(w)를 이동시키게 되어 있다.

외관 검사부(43)의 대략 중심부로 이동한 워크(w)의 노즐 헤드(28a)에 의해 흡착된 상면을 제외한 각 면에 대향해서 설치된 촬상 수단(44a, 44b, 44c, 44d, 44e)에 의해 촬상된 데이터가, 도시하지 않은 제어부에 송신되는 것과 동시에, 흡착 노즐(28)이 상승하여 워크(w)를 다시 워크 수납부(31a)내에 도시하도록 되어 있다.

흡착 노즐(28)이 상한 위치에 도달하면, 회전 테이블(31)이 간헐 회전하여 노즐 헤드(28a)로부터 워크(w)를 찰상하여 취하고, 다음 공정으로 반송되게 되어 있다.

또한, 노즐 헤드(28a)에 의해 흡착된 워크(w)의 상면에 대해서는, 도시하지 않은 촬상 수단에 의하여, 사전, 혹은 사후에 별도 촬상하는 것에 의하여, 6면 모두의 화상을 얻을 수도 있다.

제 1의 실시 형태에서는, 복수의 광반사 수단(33, 34, 35)으로서 밀러를 이용하였지만, 프리즘에 의한 반사라도 좋고, 또한, 복수의 밀러에 의한 빛의 반사는 설계상의 수단이며, 반사 수단의 수에 구속받는 것은 아니다.

더욱이, 흡착 노즐(28)의 상하 이동에 캠(18) 및 캠공이(22)를 이용하였지만, 흡착 노즐(28)의 급격한 동작을 완화하기 위한 것이며, 상하 이동이 목적이면, 크랭크 기구 혹은 나사 이송 기구에 의하는 등, 액츄에이터의 종류에 한정되는 것은 아니다.

또한, 제 2의 실시 형태에 있어서는, 외관 검사부(43)에 있어서 5면을 촬상하게 되어 있지만, 하면에 대해서는 도시하지 않은 촬상 수단에 의하여 상면의 촬상을 행하는 위치에 있어서 동시에 촬상하여도 상관없다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 복수의 회전 테이블을 이용하지 않아도, 간단한 기구에 의해 워크 수납부의 벽면이 장벽이 되어 검사할 수 없었던 워크의 면의 검사를 할 수 있게 되어, 비용 절감을 도모할 수 있다고 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태 그대로 한정되는 것이 아니고, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성요소를 변형하여 구체화 할 수 있다. 또한, 상기 실시 형태에 개시되어 있는 복수의 구성요소의 적절한 조합에 의하여 여러 가지의 발명을 형성할 수 있다. 예를 들면, 실시 형태에 나타나는 전 구성 요소로부터 몇 개의 구성요소를 삭제하여도 좋다. 더욱이, 다른 실시 형태에 관련된 구성요소를 조합하여도 좋다.

Claims

바깥 둘레부에 워크를 1개씩 수납하여 반송하는 복수의 워크 수납부를 가진 회전 테이블과,

상기 워크 수납부에 수납된 워크를 흡착 보호 유지하여 상기 회전 테이블의 외부 공간에 송출하는 송출 수단과,

상기 회전 테이블로부터 송출된 상기 워크의 외관을 검사하는 검사 수단으로 이루어지고,

상기 회전 테이블을 회전하여 상기 워크 수납부를 소정 위치에 위치 결정 한 후, 상기 송출 수단에 의하여 상기 워크 수납부의 상기 워크를 상기 회전 테이블의 외부 공간에 송출하고, 상기 워크의 외관을 검사 수단에 의해 검사하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 송출 수단은, 상기 워크를 흡착하여 상기 회전 테이블 면에 대해서 수직 방향으로 진퇴 이동하는 흡착 노즐인 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 흡착 노즐은 짧은 지름과 긴 지름으로 이루어지는 캠과, 이 캠의 회전에 동반하여 상하 이동하는 캠공이(cam follower)로 이루어지는 상하 이동 기구에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 흡착 노즐은, 크랭크 기구로 이루어지는 상하 이동 기구에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 흡착 노즐은, 나사 이송 기구로 이루어지는 상하 이동 기구에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 검사 수단은, 상기 워크에 대해서 대략 평행 광선을 조사하는 조명 수단과, 이 대략 평행 광선을 반사시키는 복수의 광반사 수단과, 촬상 수단으로 이루어지고, 상기 워크를 상기 평행 광선 중에 위치하는 것에 의해 상기 워크의 실루엣상을 상기 촬상 수단으로 촬상하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 검사 수단은, 상기 송출 수단에 흡착 보호 유지되어 상기 회전 테이블의 외부 공간에 송출된 상기 워크의 상기 송출 수단에 의한 흡착면 이외의 각 면에 대향해서 설치된 복수의 촬상 수단에 의하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 6 항에 있어서,

상기 조명 수단은, 대략 구면의 볼록 형상을 가지는 투광부를 가지고, 발광부는 상기 투광부의 구면의 구심에 대해서 상기 구면의 반대측에서 광축상에 있는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 8 항에 있어서,

상기 투광부의 전면에, 광축을 맞추어 조리개를 마련한 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 투광부는 LED 인 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 6 항에 있어서,

상기 광반사 수단은 미러인 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
제 6 항에 있어서,

상기 광반사 수단은 프리즘인 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.