CN102122144B - 用于凸轮轮廓检测的数控系统 - Google Patents
用于凸轮轮廓检测的数控系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102122144B CN102122144B CN2011100519965A CN201110051996A CN102122144B CN 102122144 B CN102122144 B CN 102122144B CN 2011100519965 A CN2011100519965 A CN 2011100519965A CN 201110051996 A CN201110051996 A CN 201110051996A CN 102122144 B CN102122144 B CN 102122144B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cam
- measuring head
- laser measuring
- spacing
- displacement sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本发明提供了一种结构简单、检测精度和效率较高的用于凸轮轮廓检测的数控系统,其包括:用于带动凸轮绕垂向的心轴水平同轴旋转的数控转台、水平设于数控转台一侧的丝杠螺母副、设于该丝杠螺母副的活动螺母上且于凸轮一侧的激光测量头、用于测量所述活动螺母的水平位移量的光栅尺位移传感器、用于检测凸轮的旋转角度的编码器、以及工控机;所述工控机控制所述数控转台和丝杠螺母副动作,并根据所述激光测量头、光栅尺位移传感器和编码器测得的数据得出凸轮的外轮廓数据。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于凸轮轮廓检测的数控系统及其检测方法。
背景技术
凸轮机构广泛应用于各种自动化机械、精密仪器、自动化控制系统等。要做到高精度、高效率地检测凸轮,并正确处理、评定它的各项误差,及时快速地反馈凸轮的质量信息,传统的光学机械量仪以及人工数据处理的方法,已不能适应凸轮广泛采用的自动线生产的需要了。随着汽车工业、工程机械等的高速发展和制造技术的不断提高,对如何提高凸轮加工精度的检测精度和效率,是本领域要解决的技术难题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、检测精度和效率较高的用于凸轮轮廓检测的数控系统。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种用于凸轮轮廓检测的数控系统,包括:用于带动凸轮绕垂向的心轴水平同轴旋转的数控转台、水平设于数控转台一侧的丝杠螺母副、设于该丝杠螺母副的活动螺母上且于凸轮一侧的激光测量头、用于测量所述活动螺母的水平位移量的光栅尺位移传感器、用于检测凸轮的旋转角度的编码器、以及工控机; 所述工控机控制所述数控转台和丝杠螺母副动作,并根据所述激光测量头、光栅尺位移传感器和编码器测得的数据得出凸轮的外轮廓数据。
具体地,所述丝杠螺母副的丝杆与一步进电机传动相连,所述数控转台与一转台电机传动相连;工控机包括:用于实时控制所述数控转台和丝杠螺母副动作的运动控制卡,与所述激光测量头相连的用于实时检测激光测量头与凸轮的外轮廓的间距的激光位移传感器采集卡,与所述光栅尺位移传感器和编码器相连的编码器计数卡,以及通过系统总线与所述运动控制卡、激光位移传感器采集卡和编码器计数卡相连的CPU单元;所述运动控制卡通过一转台电机驱动器控制转台电机的动作,进而控制所述数控转台动作;运动控制卡同时通过一步进电机驱动器控制步进电机动作。
在所述凸轮的旋转角度为θi时,测得的凸轮的外轮廓与激光测量头的间距即第一间距测量值为
;同时,光栅尺位移传感器测量得的所述活动螺母在水平方向与光栅尺位移传感器的硬零位的间距即第二间距测量值为,i=1,2,3…n;n为凸轮旋转一周的过程中同时检测所述第一、第二间距测量值、的次数,0°≤θi<360°。
所述用于凸轮轮廓检测的数控系统的检测方法包括:
A)、将激光测量头与心轴的外圆的间距即第一间距控制在激光测量头的量程内,然后检测并记录所述第一间距,同时检测并记录所述活动螺母在水平方向与所述硬零位的间距即第二间距;(由于所述心轴的加工和安装精度容易保障,因此只需要检测所述第一间距。)
B)、将凸轮无间隙配合于所述心轴上,若已知凸轮的外轮廓数据,则在开始控制凸轮旋转一周的同时,控制激光测量头相对凸轮的外轮廓按照+的轨迹运动;同时,控制所述第一间距测量值始终处于激光测量头的量程内,并获取与凸轮的旋转角度θi相对应的所述第一、第二间距测量值、;
所述用于凸轮轮廓检测的数控系统的另一种检测方法包括:
a)、将激光测量头与心轴的外圆的间距即第一间距控制在激光测量头的量程内,然后检测并记录所述第一间距,同时检测并记录所述活动螺母在水平方向与所述硬零位的间距即第二间距;
b)、将凸轮无间隙配合于所述心轴上,若未知凸轮的外轮廓数据,则在开始控制凸轮旋转一周的同时,控制丝杠螺母副的活动螺母根据激光测量头测得的所述第一间距测量值为的大小做靠近或远离凸轮的直线位移,以控制所述第一间距测量值始终处于激光测量头的量程内,并获取与凸轮的旋转角度θi相对应的所述第一、第二间距测量值、;
本发明具有积极的效果:(1)本发明的用于凸轮轮廓检测的数控系统采用非接触测量方法,激光测量头运动由丝杠螺母副直接驱动,丝杠螺母副通过予紧可消除间隙,丝杠负载小,所以动态刚度高、运动平稳、系统动态性能好。测量过程中测量头无机械磨损,与其它接触式测量,速度快、精度高、精度保持性好。选用量程范围小(量程起点~量程终点)的激光测量头,在其线性度不变的条件下,测量误差小。激光测量头水平方向运动距离由光栅尺位移传感器完成,在凸轮的极径变化大的情况下,仍可获得高的测量精度、更高性价比;(2)为了保证激光测量头始终在量程范围内测量,即保证测量头与凸轮轮廓距离在量程起点和量程终点之间,本发明采用数控插补方法,使凸轮旋转运动与激光测量头水平方向直线运动进行联动。凸轮旋转角度由与心轴相连的编码器检测,心轴在在圆周方向零点由编码器零位脉冲确定。
附图说明
图1为本发明的用于凸轮轮廓检测的数控系统的结构示意图;
图2为图1中的用于凸轮轮廓检测的数控系统的未安装凸轮时的结构图。
具体实施方式
见图1-2,本实施例的用于凸轮轮廓检测的数控系统包括:用于带动凸轮10绕垂向的心轴1-1水平同轴旋转的数控转台1、水平设于数控转台1一侧的丝杠螺母副3、设于该丝杠螺母副3的活动螺母3-1上且于凸轮10一侧的激光测量头2、用于测量所述活动螺母3-1的水平位移量的光栅尺位移传感器4、用于检测凸轮10的旋转角度的编码器5、以及工控机; 所述工控机控制所述数控转台1和丝杠螺母副3动作,并根据所述激光测量头2、光栅尺位移传感器4和编码器5测得的数据得出凸轮10的外轮廓数据。所述数控转台1与一转台电机6传动相连,运动控制卡通过一转台电机驱动器控制转台电机6的动作,进而控制所述数控转台1的动作;运动控制卡同时通过步进电机驱动器控制步进电机7动作。
作为最优的实施方式,丝杠螺母副3的丝杆3-2的中心线、以及激光测量头2输出的激光与所述心轴1-1的轴线垂直相交。
所述工控机包括:用于实时控制所述数控转台1和丝杠螺母副3动作的运动控制卡,与所述激光测量头2相连的用于实时检测激光测量头2与凸轮10的外轮廓的间距的激光位移传感器采集卡,与所述光栅尺位移传感器4和编码器5相连的编码器计数卡,通过系统总线与所述运动控制卡、激光位移传感器采集卡和编码器计数卡相连的CPU单元,以及经显卡与所述系统总线相连的用于显示和对比凸轮10的外轮廓数据的LCD。
在所述凸轮10的旋转角度为θi时,测得的凸轮10的外轮廓与激光测量头2的间距即第一间距测量值为;同时,光栅尺位移传感器4测量得的所述活动螺母3-1在水平方向与光栅尺位移传感器4的硬零位的间距即第二间距测量值为,i=1,2,3…n;n为凸轮10旋转一周的过程中同时检测所述第一、第二间距测量值、的次数,n可根据凸轮测量角度间隔大小确定,例如:180、360、720等,n越大,测得的凸轮10的外轮廓数据越精确;0°≤θi<360°,θi+1-θi=θi-θi-1。
为提高对凸轮加工精度要求较高部位(如凸轮的凸起部的外轮廓数据)的检测精度,同时尽量确保检测效率,可设置在检测该部位时,降低θi+1和θi的差值。
A、将激光测量头2与心轴1-1的外圆的间距即第一间距控制在激光测量头2的量程内(最佳的实施方式为:第一间距控制在激光测量头2的量程中点附近,因为在量程中点附近的测量精确度最高),然后检测并记录所述第一间距,同时检测并记录所述活动螺母3-1在水平方向与所述硬零位的间距即第二间距;
B、将凸轮10无间隙配合于所述心轴1-1上,在开始控制凸轮10旋转一周的同时,控制激光测量头2相对凸轮10的外轮廓按照+的轨迹运动;同时,控制所述第一间距测量值始终处于激光测量头2的量程内(最佳的实施方式为:第一间距控制在激光测量头2的量程中点附近,因为在量程中点附近的测量精确度最高;),并获取与凸轮10的旋转角度θi相对应的所述第一、第二间距测量值、;
b、将凸轮10无间隙配合于所述心轴1-1上,在开始控制凸轮10旋转一周的同时,控制丝杠螺母副3的活动螺母3-1根据激光测量头2测得的所述第一间距测量值为的大小做靠近或远离凸轮10的直线位移,以控制所述第一间距测量值始终处于激光测量头2的量程内,并获取与凸轮10的旋转角度θi相对应的所述第一、第二间距测量值、;
上述激光测量头2可选择德国的PRIMUS 1000-2型基于PC机的高精度激光位移传感器,其主要性能指标为:量程2mm,量程起点16mm,量程终点20mm,量程中点18mm;线性度1μm,分辨率0.2μm;光斑直径35μm。
光栅尺位移传感器是有标尺光栅和读数头两部分组成。读数头设于丝杠螺母副3的活动螺母3-1上,标尺光栅固定在丝杠螺母副3的丝杆3-2一侧的机架上。丝杆3-2的位置固定。
本实施例的光栅尺位移传感器4可以选择德国海德汉LIP571型光栅尺 ,读数头输出表示测量值的方波信号并送至所述编码器计数卡,精度等级±1μm;分辨率0.2μm。激光测量头与光栅尺的型号、精度、量程可根据凸轮检测精度要求、凸轮极径大小做出适当调整。
本实施例的光栅尺位移传感器4还可以选择威海三丰电子科技有限公司的GBC系列光栅尺,其由读数头、标尺光栅和接口电路组成。当读数头运动时,接口电路的光电接收器分别产生A相和B相两路相位相差90°的脉冲波信号,该信号再经过处理后送至所述编码器计数卡。
所述编码器计数卡用于记录光栅尺位移传感器4、编码器5产生的脉冲个数,进而计算出丝杠螺母副的螺母移动距离、凸轮旋转角度。运动控制卡控制凸轮与丝杠螺母副的螺母按给定轨迹运动。
光栅尺位移传感器4中的光栅尺的右侧安装一个硬零位,作为光栅尺位移传感器4测量距离度量的起点。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
Claims (2)
1.一种用于凸轮轮廓检测的数控系统,其特征在于包括:用于带动凸轮(10)绕垂向的心轴(1-1)水平同轴旋转的数控转台(1)、水平设于数控转台(1)一侧的丝杠螺母副(3)、设于该丝杠螺母副(3)的活动螺母(3-1)上且于凸轮(10)一侧的激光测量头(2)、用于测量所述活动螺母(3-1)的水平位移量的光栅尺位移传感器(4)、用于检测凸轮(10)的旋转角度的编码器(5)、以及工控机;
所述工控机控制所述数控转台(1)和丝杠螺母副(3)动作,并根据所述激光测量头(2)、光栅尺位移传感器(4)和编码器(5)测得的数据得出凸轮(10)的外轮廓数据;所述丝杠螺母副(3)的丝杆(3-2)与一步进电机(7)传动相连,所述数控转台(1)与一转台电机(6)传动相连;
所述工控机包括:用于实时控制所述数控转台(1)和丝杠螺母副(3)动作的运动控制卡,与所述激光测量头(2)相连的用于实时检测激光测量头(2)与凸轮(10)的外轮廓的间距的激光位移传感器采集卡,与所述光栅尺位移传感器(4)和编码器(5)相连的编码器计数卡,以及通过系统总线与所述运动控制卡、激光位移传感器采集卡和编码器计数卡相连的CPU单元;
所述运动控制卡通过一转台电机驱动器控制转台电机(6)的动作,进而控制所述数控转台(1)动作;运动控制卡同时通过一步进电机驱动器控制步进电机(7)动作;
在所述凸轮(10)的旋转角度为θi时,测得的凸轮(10)的外轮廓与激光测量头(2)的间距即第一间距测量值为lTi;同时,光栅尺位移传感器(4)测量得的所述活动螺母(3-1)在水平方向与光栅尺位移传感器(4)的硬零位(l0)的间距即第二间距测量值为lMi,i=1,2,3…n;n为凸轮(10)旋转一周的过程中同时检测所述第一、第二间距测量值lTi、lMi的次数,0°≤θi<360°;
所述用于凸轮轮廓检测的数控系统的检测方法包括:
A)、将激光测量头(2)与心轴(1-1)的外圆的间距即第一间距lT0控制在激光测量头(2)的量程内,然后检测并记录所述第一间距lT0,同时检测并记录所述活动螺母(3-1)在水平方向与所述硬零位(l0)的间距即第二间距lM0;
B)、将凸轮(10)无间隙配合于所述心轴(1-1)上,若已知凸轮(10)的外轮廓数据ρ=ρ(θ),则在开始控制凸轮(10)旋转一周的同时,控制激光测量头(2)相对凸轮(10)的外轮廓按照ρ=ρ(θ)+lT0的轨迹运动;同时,控制所述第一间距测量值lTi始终处于激光测量头(2)的量程内,并获取与凸轮(10)的旋转角度θi相对应的所述第一、第二间距测量值lTi、lMi;
D)、将所述极径测量值ρi(θi)与所述外轮廓数据ρ=ρ(θ)相比较,得出凸轮(10)的外轮廓加工误差。
2.一种用于凸轮轮廓检测的数控系统,其特征在于包括:用于带动凸轮(10)绕垂向的心轴(1-1)水平同轴旋转的数控转台(1)、水平设于数控转台(1)一侧的丝杠螺母副(3)、设于该丝杠螺母副(3)的活动螺母(3-1)上且于凸轮(10)一侧的激光测量头(2)、用于测量所述活动螺母(3-1)的水平位移量的光栅尺位移传感器(4)、用于检测凸轮(10)的旋转角度的编码器(5)、以及工控机;
所述工控机控制所述数控转台(1)和丝杠螺母副(3)动作,并根据所述激光测量头(2)、光栅尺位移传感器(4)和编码器(5)测得的数据得出凸轮(10)的外轮廓数据;
所述丝杠螺母副(3)的丝杆(3-2)与一步进电机(7)传动相连,所述数控转台(1)与一转台电机(6)传动相连;
所述工控机包括:用于实时控制所述数控转台(1)和丝杠螺母副(3)动作的运动控制卡,与所述激光测量头(2)相连的用于实时检测激光测量头(2)与凸轮(10)的外轮廓的间距的激光位移传感器采集卡,与所述光栅尺位移传感器(4)和编码器(5)相连的编码器计数卡,以及通过系统总线与所述运动控制卡、激光位移传感器采集卡和编码器计数卡相连的CPU单元;
所述运动控制卡通过一转台电机驱动器控制转台电机(6)的动作,进而控制所述数控转台(1)动作;运动控制卡同时通过一步进电机驱动器控制步进电机(7)动作;
在所述凸轮(10)的旋转角度为θi时,测得的凸轮(10)的外轮廓与激光测量头(2)的间距即第一间距测量值为lTi;同时,光栅尺位移传感器(4)测量得的所述活动螺母(3-1)在水平方向与光栅尺位移传感器(4)的硬零位(l0)的间距即第二间距测量值为lMi,i=1,2,3…n;n为凸轮(10)旋转一周的过程中同时检测所述第一、第二间距测量值lTi、lMi的次数,0°≤θi<360°;
所述用于凸轮轮廓检测的数控系统的检测方法包括:
a)、将激光测量头(2)与心轴(1-1)的外圆的间距即第一间距lT0控制在激光测量头(2)的量程内,然后检测并记录所述第一间距lT0,同时检测并记录所述活动螺母(3-1)在水平方向与所述硬零位(l0)的间距即第二间距lM0;
b)、将凸轮(10)无间隙配合于所述心轴(1-1)上,若未知凸轮(10)的外轮廓数据,则在开始控制凸轮(10)旋转一周的同时,控制丝杠螺母副(3)的活动螺母(3-1)根据激光测量头(2)测得的所述第一间距测量值为lTi的大小做靠近或远离凸轮(10)的直线位移,以控制所述第一间距测量值lTi始终处于激光测量头(2)的量程内,并获取与凸轮(10)的旋转角度θi相对应的所述第一、第二间距测量值lTi、lMi;
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011100519965A CN102122144B (zh) | 2011-03-04 | 2011-03-04 | 用于凸轮轮廓检测的数控系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011100519965A CN102122144B (zh) | 2011-03-04 | 2011-03-04 | 用于凸轮轮廓检测的数控系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102122144A CN102122144A (zh) | 2011-07-13 |
CN102122144B true CN102122144B (zh) | 2012-07-25 |
Family
ID=44250715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011100519965A Expired - Fee Related CN102122144B (zh) | 2011-03-04 | 2011-03-04 | 用于凸轮轮廓检测的数控系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102122144B (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102707667B (zh) * | 2011-04-17 | 2014-04-09 | 丁仕燕 | 凸轮轮廓检测方法 |
CN102200762B (zh) * | 2011-04-17 | 2012-08-15 | 丁仕燕 | 凸轮轮廓检测用数控系统 |
CN102841570B (zh) * | 2012-08-08 | 2014-07-23 | 燕山大学 | 分子泵整体涡轮转子自适应加工方法 |
CN103158067B (zh) * | 2013-02-07 | 2015-04-29 | 常州工学院 | 平面共轭凸轮轮廓检测和磨削加工装置 |
CN103925902B (zh) * | 2014-04-08 | 2016-11-02 | 北京工业大学 | 一种基于弧面凸轮等距模型的轮廓度误差测量装置及测量方法 |
CN105643628B (zh) * | 2016-02-03 | 2017-08-25 | 重庆飞宙机械自动化设备有限公司 | 直角坐标机器人的运动控制系统 |
CN106643519A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-10 | 江南大学 | 一种自动络筒机落筒小车定位装置及方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101377418A (zh) * | 2008-09-24 | 2009-03-04 | 上海大学 | 基于旋转-直线运动的接触式大型异型玻璃外廓检测装置和方法 |
CN101561250A (zh) * | 2009-05-26 | 2009-10-21 | 上海大学 | 大尺寸凸轮非圆磨削智能寻位及在线测量方法 |
CN101639348A (zh) * | 2008-12-30 | 2010-02-03 | 江苏万工科技集团有限公司 | 凸轮廓线激光测试仪 |
CN101672629A (zh) * | 2009-10-13 | 2010-03-17 | 潘旭华 | 一种凸轮轮廓的误差在线测量方法 |
CN201965465U (zh) * | 2011-03-04 | 2011-09-07 | 常州工学院 | 一种用于凸轮轮廓检测的数控系统 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004010301A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Tokyo Weld Co Ltd | ワーク搬送装置およびワーク搬送方法 |
JP4848160B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2011-12-28 | 株式会社 東京ウエルズ | 外観検査装置 |
-
2011
- 2011-03-04 CN CN2011100519965A patent/CN102122144B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101377418A (zh) * | 2008-09-24 | 2009-03-04 | 上海大学 | 基于旋转-直线运动的接触式大型异型玻璃外廓检测装置和方法 |
CN101639348A (zh) * | 2008-12-30 | 2010-02-03 | 江苏万工科技集团有限公司 | 凸轮廓线激光测试仪 |
CN101561250A (zh) * | 2009-05-26 | 2009-10-21 | 上海大学 | 大尺寸凸轮非圆磨削智能寻位及在线测量方法 |
CN101672629A (zh) * | 2009-10-13 | 2010-03-17 | 潘旭华 | 一种凸轮轮廓的误差在线测量方法 |
CN201965465U (zh) * | 2011-03-04 | 2011-09-07 | 常州工学院 | 一种用于凸轮轮廓检测的数控系统 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JP特开2004-10301A 2004.01.15 |
JP特开2007-71775A 2007.03.22 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102122144A (zh) | 2011-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102122144B (zh) | 用于凸轮轮廓检测的数控系统 | |
CN102116611A (zh) | 凸轮轮廓检测系统的检测方法 | |
CN102147238B (zh) | 凸轮轮廓检测装置 | |
CN102937420B (zh) | 凸轮轮廓检测系统 | |
CN102200762A (zh) | 凸轮轮廓检测用数控系统 | |
CN105229424B (zh) | 用于自校准旋转编码器的方法 | |
CN105387817A (zh) | 快速检测圆柱类外圆形状尺寸参数的装置 | |
CN106125774A (zh) | 基于激光位移传感器反馈的双轴同步运动控制装置及方法 | |
CN111023981B (zh) | 一种大型圆柱形工件参数测量装置和方法 | |
CN101419066A (zh) | 一种两轴随动控制检测齿轮齿廓和螺旋线的方法 | |
CN102297676B (zh) | 钢丝绳驱动的凸轮轮廓检测系统 | |
CN102937419B (zh) | 一种基于直驱式电机的凸轮轮廓检测系统 | |
JP2007333556A (ja) | 逐次多点式真直度測定法および測定装置 | |
CN102175181B (zh) | 凸轮轮廓检测装置的检测方法 | |
CN101476980B (zh) | 非圆齿轮误差单面啮合滚动点扫描测量方法和装置 | |
CN102707667B (zh) | 凸轮轮廓检测方法 | |
CN201965465U (zh) | 一种用于凸轮轮廓检测的数控系统 | |
CN201953839U (zh) | 一种加装钢栅尺的双向推力圆柱滚子组合轴承 | |
CN102252631B (zh) | 基于直驱式电机的凸轮轮廓检测系统 | |
CN201083489Y (zh) | 变截面弧形板工件厚度测量仪 | |
CN206075152U (zh) | 基于激光位移传感器反馈的双轴同步运动控制装置 | |
CN102722139B (zh) | 凸轮轮廓检测用数控系统的检测方法 | |
CN102927929B (zh) | 凸轮轮廓检测系统的检测方法 | |
CN201964879U (zh) | 一种凸轮轮廓检测装置 | |
CN103063165B (zh) | 光电角度传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120725 Termination date: 20160304 |