JPH0682732B2 - Ｉｃパッケージのリード端子浮き量検査装置 - Google Patents
Ｉｃパッケージのリード端子浮き量検査装置Info
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- JPH0682732B2 JPH0682732B2 JP27450089A JP27450089A JPH0682732B2 JP H0682732 B2 JPH0682732 B2 JP H0682732B2 JP 27450089 A JP27450089 A JP 27450089A JP 27450089 A JP27450089 A JP 27450089A JP H0682732 B2 JPH0682732 B2 JP H0682732B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はICパッケージのリード端子群の像を照明系，計
測ステージおよび撮影光学系を用いることにより，撮像
系に映像信号として取り出し、画像処理等をすることに
よりその浮き量を計測できるICパッケージのリード端子
浮き量検査装置に関する。
測ステージおよび撮影光学系を用いることにより，撮像
系に映像信号として取り出し、画像処理等をすることに
よりその浮き量を計測できるICパッケージのリード端子
浮き量検査装置に関する。
（従来の技術） ICパッケージを自動装置によりプリント基板等に実装す
る場合、全てのリード端子の先端部の高さが揃っている
ことが理想的である。
る場合、全てのリード端子の先端部の高さが揃っている
ことが理想的である。
しかしながら、ICパッケージのリード端子を折り曲げる
工程において、各リード端子間の高さに少なからずばら
つきが生じる。
工程において、各リード端子間の高さに少なからずばら
つきが生じる。
このばらつきは所定の範囲内に収まれば、実装時の不良
を最小限に抑えることができる。
を最小限に抑えることができる。
そこで、実装時の不良発生を未然に防ぐ方策として予め
ICパッケージのリード端子間のずれを検査し、許容範囲
内にないリード端子を有するICパッケージを取り除く方
法を採用している。
ICパッケージのリード端子間のずれを検査し、許容範囲
内にないリード端子を有するICパッケージを取り除く方
法を採用している。
かかる検査方法として、１個のCCDカメラによってICパ
ッケージの一側面に並設されているリード端子群を撮像
し、映像として捕らえたリード端子の高さをICパッケー
ジの下面を基準として比較し、許容範囲内にあるか否か
判断し、ICパッケージの他の側面に並設されているリー
ド端子群に対しても上記CCDカメラを移動し、対面させ
ることにより同様に検査していた。
ッケージの一側面に並設されているリード端子群を撮像
し、映像として捕らえたリード端子の高さをICパッケー
ジの下面を基準として比較し、許容範囲内にあるか否か
判断し、ICパッケージの他の側面に並設されているリー
ド端子群に対しても上記CCDカメラを移動し、対面させ
ることにより同様に検査していた。
（発明が解決しようとする課題） そのため、従来のリード端子の浮き量検査では、ICパッ
ケージの各側面毎に順番に検査することとなり、検査工
程が煩雑になるとともに検査時間を多く要するという欠
点があった。
ケージの各側面毎に順番に検査することとなり、検査工
程が煩雑になるとともに検査時間を多く要するという欠
点があった。
また、単に光学系の倍率を大きくして計測精度をあげよ
うとすると測定できる視野が狭くなり、またCCDカメラ
等を移動させなければ測定できなかった。
うとすると測定できる視野が狭くなり、またCCDカメラ
等を移動させなければ測定できなかった。
さらに、ICパッケージの下面を基準として、許容範囲内
にあるか否かを判定しているため、精密には実装実情と
合わないことがあり、許容範囲内にあるにもかかわら
ず、特定のリード端子が実装プリント基板面から相当浮
いてしまうということがあった。
にあるか否かを判定しているため、精密には実装実情と
合わないことがあり、許容範囲内にあるにもかかわら
ず、特定のリード端子が実装プリント基板面から相当浮
いてしまうということがあった。
本発明の目的は上記欠点を解決するもので、ICパッケー
ジの各側面に並設されているリード端子群毎に、縦方向
と横方向の倍率の異なる撮影光学系および撮像系を設
け、かつ、実際にプリント基板上に実装すると同様な状
態を作り出し、リード端子が接する面を基準面とするこ
とにより高速高精度でリード端子の浮き量を計測できる
ICパッケージのリード端子浮き量検査装置を提供するこ
とにある。
ジの各側面に並設されているリード端子群毎に、縦方向
と横方向の倍率の異なる撮影光学系および撮像系を設
け、かつ、実際にプリント基板上に実装すると同様な状
態を作り出し、リード端子が接する面を基準面とするこ
とにより高速高精度でリード端子の浮き量を計測できる
ICパッケージのリード端子浮き量検査装置を提供するこ
とにある。
（課題を解決するための手段） 前記目的を達成するために本発明によるICパッケージの
リード端子浮き量検査装置は光ファイバを導入し、上面
に複数個の均一な線光源を形成する照明系と、 前記照明系の上部に配置され、平面形状が中央部に貫通
孔を有する角形であって、その上面を、被検査体である
ICパッケージのリード端子を搭載し、所定部に位置付け
するための基準面とする基準ステージおよび前記基準ス
テージの貫通孔に固定され、周囲に柵状の導出部を有
し、前記照明系の線光源からの光を拡散させ、前記導出
部を経由させて各側面より拡散光を射出する拡散板を含
む計測ステージと、 前記拡散板側面からの光によって得られる前記ICパッケ
ージのリード端子の像の整列方向の倍率を縮小するとと
もに、前記整列方向と直角方向の倍率を拡大する倍率変
換レンズを、各方向に出ているリード端子群対応に設け
た撮影光学系と、 前記倍率変換レンズ対応ごとに、前記撮影光学系から射
出される光像を映像に変換する撮像系とから構成されて
いる。
リード端子浮き量検査装置は光ファイバを導入し、上面
に複数個の均一な線光源を形成する照明系と、 前記照明系の上部に配置され、平面形状が中央部に貫通
孔を有する角形であって、その上面を、被検査体である
ICパッケージのリード端子を搭載し、所定部に位置付け
するための基準面とする基準ステージおよび前記基準ス
テージの貫通孔に固定され、周囲に柵状の導出部を有
し、前記照明系の線光源からの光を拡散させ、前記導出
部を経由させて各側面より拡散光を射出する拡散板を含
む計測ステージと、 前記拡散板側面からの光によって得られる前記ICパッケ
ージのリード端子の像の整列方向の倍率を縮小するとと
もに、前記整列方向と直角方向の倍率を拡大する倍率変
換レンズを、各方向に出ているリード端子群対応に設け
た撮影光学系と、 前記倍率変換レンズ対応ごとに、前記撮影光学系から射
出される光像を映像に変換する撮像系とから構成されて
いる。
第１図は本発明によるICパッケージのリード端子浮き量
検査装置の構成を示す図である。
検査装置の構成を示す図である。
照明系３には光ファイバが導入され、被検査体２の各辺
に平行な線光源が作り出される。
に平行な線光源が作り出される。
計測ステージ１は基準ステージと拡散板を有し、被検査
体２の各リード端子群を基準ステージの基準面で受ける
ことができ、これにより被検査体２が位置づけられる。
そして拡散板により拡散光が被検査体の下面から各辺に
向けて射出される。
体２の各リード端子群を基準ステージの基準面で受ける
ことができ、これにより被検査体２が位置づけられる。
そして拡散板により拡散光が被検査体の下面から各辺に
向けて射出される。
撮影光学系４の各倍率変換レンズは被検査体の各側面の
リード端子群に対面して設けられており、リード端子の
整列方向（横方向）と、整列方向と直角方向（縦方向）
の像の倍率を変換する。
リード端子群に対面して設けられており、リード端子の
整列方向（横方向）と、整列方向と直角方向（縦方向）
の像の倍率を変換する。
撮像系５の各カメラは光像を受けて、映像信号に変換す
る。この映像出力を図示しない処理部により画像処理す
ることにより、基準面から各リード端子がどけだけ浮い
ているか短時間で、かつ、高い精度で判定できる。
る。この映像出力を図示しない処理部により画像処理す
ることにより、基準面から各リード端子がどけだけ浮い
ているか短時間で、かつ、高い精度で判定できる。
（実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。
る。
第２図は４方向端子フラットパッケージ（以下「QFP」
という）の構成を示す平面図である。被検査体としては
この他にプラスチックチップキャリアパッケージ（PLC
C）、デュアルインラインパッケージも対象となる。
という）の構成を示す平面図である。被検査体としては
この他にプラスチックチップキャリアパッケージ（PLC
C）、デュアルインラインパッケージも対象となる。
QFP6のパッケージ部の４つの側面よりそれぞれリード端
子群6a,6b,6cおよび6dが出ている。リード端子6a,6b,6c
および6dは折り曲げ工程において、端子の先端が揃うよ
うに所定の形状に成形される。しかしながら、実際には
かなりのバラツキが生じる。
子群6a,6b,6cおよび6dが出ている。リード端子6a,6b,6c
および6dは折り曲げ工程において、端子の先端が揃うよ
うに所定の形状に成形される。しかしながら、実際には
かなりのバラツキが生じる。
第３図は本発明によるICパッケージのリード端子浮き量
検査装置の一実施例を示す概略図で、被検査体として上
記QFPを対象とした装置である。
検査装置の一実施例を示す概略図で、被検査体として上
記QFPを対象とした装置である。
基準ステージ７の中央部に拡散板10が固定されており、
基準ステージ７の上面にQFP6のリード端子が載せられ
る。
基準ステージ７の上面にQFP6のリード端子が載せられ
る。
基準ステージ７の下部に、光ファイバ８に接続されたフ
ァイバ照明ユニット９が設けられている。拡散板10およ
びファイバ照明ユニット９の中央部には吸着ノズル11が
上下動可能に設けられている。
ァイバ照明ユニット９が設けられている。拡散板10およ
びファイバ照明ユニット９の中央部には吸着ノズル11が
上下動可能に設けられている。
吸着ノズル11の下端はモータ13に回転させられる偏心カ
ム12に当接されている。
ム12に当接されている。
基準ステージ７の右側面に対向して、ミラー14を含む倍
率変換レンズ15およびCCDカメラ16が配置されている。
基準ステージ７の左側面および前後にも同様に倍率変換
レンズおよびCCDカメラがそれぞれ設けられている。
率変換レンズ15およびCCDカメラ16が配置されている。
基準ステージ７の左側面および前後にも同様に倍率変換
レンズおよびCCDカメラがそれぞれ設けられている。
第４図は第３図の計測ステージおよび照明ユニットの詳
細を示す拡大図である。
細を示す拡大図である。
基準ステージ７は第２図から明らかなように４角形状で
段差部7Cを有しており、上の面が基準面7bとなる。中央
部に拡散板10を嵌め込むための４角形状の貫通孔7aを有
し、貫通孔7aに設けた段差部7dに拡散板10が取りつけら
れている。段差部7Cには孔7eおよび側面に繋がる孔7fが
設けられ、この孔7e,7fと基部23に設けられている孔23
a,23bとを合わせ、位置決めピン19,20を差し込むことに
より基準ステージ７は固定される。
段差部7Cを有しており、上の面が基準面7bとなる。中央
部に拡散板10を嵌め込むための４角形状の貫通孔7aを有
し、貫通孔7aに設けた段差部7dに拡散板10が取りつけら
れている。段差部7Cには孔7eおよび側面に繋がる孔7fが
設けられ、この孔7e,7fと基部23に設けられている孔23
a,23bとを合わせ、位置決めピン19,20を差し込むことに
より基準ステージ７は固定される。
基準ステージ７は被検査体の形状に応じて、数種類用意
されており、容易に代えることができる。拡散板10の中
央部には吸着ノズル11を挿通させるための孔を有し、そ
の側面には柵状の導出部10aが形成されている。
されており、容易に代えることができる。拡散板10の中
央部には吸着ノズル11を挿通させるための孔を有し、そ
の側面には柵状の導出部10aが形成されている。
吸着ノズル11の内部はノズル先端まで通じる空胴部11a
となっており、空洞部11aの他端は吸着ノズル側面より
導き出されている。空洞部11aの他端は接栓11bを介して
電磁弁17に接続され、電磁弁17には真空ポンプ18が装着
されている。
となっており、空洞部11aの他端は吸着ノズル側面より
導き出されている。空洞部11aの他端は接栓11bを介して
電磁弁17に接続され、電磁弁17には真空ポンプ18が装着
されている。
吸着ノズル11の他端はプーリ11Cを介して偏心カム12に
押し当てられている。
押し当てられている。
吸着ノズル11はボールスプライン24によって支持されて
いる。
いる。
モータ13の駆動軸は偏心カム12の中心よりΔＲだけ離れ
た位置に取りつけられている。したがって吸着ノズル11
の先端は２×ΔＲ上下動できる。
た位置に取りつけられている。したがって吸着ノズル11
の先端は２×ΔＲ上下動できる。
第５図は基準ステージ，倍率変換レンズおよびQFPの位
置関係を説明するための図である。
置関係を説明するための図である。
基準ステージ７の基準面の縦と横の寸法を第２図に示す
ようにD,WとするとQFP6のベント幅寸法Ｄ′,W′より両
側でそれぞれΔｌだけ大きくしてある。例えば、具体的
には0.5mmである。また、倍率変換レンズ15の先端とリ
ード端子の先端までの距離を合焦点距離ｌとし、レンズ
の光軸25と基準面との高さを一致させている。
ようにD,WとするとQFP6のベント幅寸法Ｄ′,W′より両
側でそれぞれΔｌだけ大きくしてある。例えば、具体的
には0.5mmである。また、倍率変換レンズ15の先端とリ
ード端子の先端までの距離を合焦点距離ｌとし、レンズ
の光軸25と基準面との高さを一致させている。
第６図は照明ユニットの詳細を示す図である。照明ユニ
ット９に導入された光ファイバ８は４つに分割させら
れ、直線上の光ファイバ整列束21,22等にされる。照明
ユニット９の上面には、４つの均一な線光源26,27,29お
よび30が形成されている。
ット９に導入された光ファイバ８は４つに分割させら
れ、直線上の光ファイバ整列束21,22等にされる。照明
ユニット９の上面には、４つの均一な線光源26,27,29お
よび30が形成されている。
第７図は拡散板の詳細を示す図で、同図（ａ）は平面
図，同図（ｂ）はステージ部分の断面図，同図（ｃ）は
ステージ部分の一部拡大断面図である。
図，同図（ｂ）はステージ部分の断面図，同図（ｃ）は
ステージ部分の一部拡大断面図である。
拡散板10の各辺に形成されている導出部10はリード端子
38の内側の位置関係となる。導出部10aの厚さは例え
ば、0.3mmである。
38の内側の位置関係となる。導出部10aの厚さは例え
ば、0.3mmである。
上記線光源を出射した光は拡散板10の下面から入射し、
拡散され、導出部10aの側面に達したものだけが、主に
撮像系の照明光として利用される。
拡散され、導出部10aの側面に達したものだけが、主に
撮像系の照明光として利用される。
したがって第７図（ａ）に示すように導出部10aの側面
より拡散光39が放出される。
より拡散光39が放出される。
第８図（ａ）および（ｂ）は倍率変換レンズを側面から
見た図および正面から見た図である。
見た図および正面から見た図である。
倍率変換レンズはミラー15,シリンドリカルレンズ33,3
4,および35,絞り37ならびにメインレンズ32より構成さ
れている。
4,および35,絞り37ならびにメインレンズ32より構成さ
れている。
第８図（ａ）はリード端子群の縦方向の倍率を拡大する
光学系を示すものである。
光学系を示すものである。
縦方向の倍率はシリンドリカルレンズ33,34および35で
は拡大率は稼いでおらず、メインレンズ32のみで拡大し
ている。
は拡大率は稼いでおらず、メインレンズ32のみで拡大し
ている。
また、第８図（ｂ）はリード端子群の横方向の倍率を縮
小する光学系を示すものである。
小する光学系を示すものである。
横方向の倍率はメインレンズ32,シリンドリカルレンズ3
3,34および35の位置関係で縮小される。
3,34および35の位置関係で縮小される。
なお、絞り37は縦方向および横方向の明るさをそれぞれ
独立に調整可能である。
独立に調整可能である。
このように縦方向と横方向の倍率を変えているのはリー
ド端子浮き量測定において、横方向の計測精度は必要で
はなく、縦方向の計測精度のみ必要であるからである。
ド端子浮き量測定において、横方向の計測精度は必要で
はなく、縦方向の計測精度のみ必要であるからである。
この実施例では物点31であるリード端子からミラー14ま
での距離を75mmに、縦方向の倍率を2.5倍に、横方向の
倍率を1/4に縮小してある。したがって、横方向の有効
視野は４倍に拡大し、縦方向の視野は1/2.5倍に縮小す
るが、その分解能は2.5倍に拡大する。
での距離を75mmに、縦方向の倍率を2.5倍に、横方向の
倍率を1/4に縮小してある。したがって、横方向の有効
視野は４倍に拡大し、縦方向の視野は1/2.5倍に縮小す
るが、その分解能は2.5倍に拡大する。
つぎに本検査装置の操作手順にしたがって、各部の機能
および動作について第３図，第４図を用いて説明する。
および動作について第３図，第４図を用いて説明する。
図示しないトランスファ等によりQFP6を基準ステージ７
上に搬入させた後、モータ13を起動して吸着ノズル11を
上昇させ、QFP6の下面を吸着ノズル11の先端に接触させ
る。これと同時に真空源18によって空胴部11aの空気を
引き、吸着ノズル11の先端にQFP6の下面を吸着させる。
つぎに、モータ13をさらに回転させて、ゆっくりと吸着
ノズル11を下降させ、QFP6のリード端子が基準面7bに接
触した時点で、空胴部11aの空気引きを停止し、吸着を
解除する。
上に搬入させた後、モータ13を起動して吸着ノズル11を
上昇させ、QFP6の下面を吸着ノズル11の先端に接触させ
る。これと同時に真空源18によって空胴部11aの空気を
引き、吸着ノズル11の先端にQFP6の下面を吸着させる。
つぎに、モータ13をさらに回転させて、ゆっくりと吸着
ノズル11を下降させ、QFP6のリード端子が基準面7bに接
触した時点で、空胴部11aの空気引きを停止し、吸着を
解除する。
このようにしてQFP6を基準面に位置付けするのはトラン
スファ等によって基準ステージ上に直接QFPを搭載した
場合、リード端子が変形する恐れがあるからである。
スファ等によって基準ステージ上に直接QFPを搭載した
場合、リード端子が変形する恐れがあるからである。
光ファイバ８により光が伝送されてくると、照明ユニッ
ト９によって、４つの線光源に分割され、拡散板10によ
ってQFP6の各側面のリード端子群に拡散光が送られる。
各側面のリード端子を通った光はそれぞれの倍率変換レ
ンズを経由して、CCD上に達し、CCDにリード端子の像を
結ぶ。ここで、倍率変換レンズの縦方向の倍率が2.5
倍，横方向の倍率が1/4倍で、2/3インチのCCDを用いた
場合の、計測精度および計測範囲について第９図を用い
て説明する。
ト９によって、４つの線光源に分割され、拡散板10によ
ってQFP6の各側面のリード端子群に拡散光が送られる。
各側面のリード端子を通った光はそれぞれの倍率変換レ
ンズを経由して、CCD上に達し、CCDにリード端子の像を
結ぶ。ここで、倍率変換レンズの縦方向の倍率が2.5
倍，横方向の倍率が1/4倍で、2/3インチのCCDを用いた
場合の、計測精度および計測範囲について第９図を用い
て説明する。
第９図は縦方向および横方向の倍率に対する有効視野お
よび分解能の実測値を示す図である。
よび分解能の実測値を示す図である。
同図から明らかなように、実施例によれば、分解能が5.
2μm/1画素になり、必要な計測精度を満たすとともに、
有効視野は拡がり、最大35.2mmのQFPの一辺のリード端
子群の浮き量を測定できる。
2μm/1画素になり、必要な計測精度を満たすとともに、
有効視野は拡がり、最大35.2mmのQFPの一辺のリード端
子群の浮き量を測定できる。
各CCDカメラはリード端子群の像を映像信号に変換し、
変換した映像出力は図示しない処理部に送られる。処理
部ではリード端子の浮き量を判定するための画像処理が
実行される。
変換した映像出力は図示しない処理部に送られる。処理
部ではリード端子の浮き量を判定するための画像処理が
実行される。
第10図はCCDカメラで得た映像出力を処理する工程を示
す図である。
す図である。
処理部はQFPが位置付けされていない状態でステージの
座標を512ピクセル分検出し、判定用データを作成する
動作を予めする。
座標を512ピクセル分検出し、判定用データを作成する
動作を予めする。
CCDの全視野を第10図（ａ）に示すように３つのウィン
ドウに分割し、ウィンドウ毎に設定された２値レベルに
より２値画像をウィンドウ分取り込む。
ドウに分割し、ウィンドウ毎に設定された２値レベルに
より２値画像をウィンドウ分取り込む。
つぎに第10図（ｂ）に示すようにウィンドウ内で仮想ラ
インを設定し、Ｘ方向に走査し、リード端子のエッジを
検出する。
インを設定し、Ｘ方向に走査し、リード端子のエッジを
検出する。
つぎに上記エッジよりリードの中心線を求め、中心線を
Ｙ方向に走査し、ピクセルの変化点を検出する。ピクセ
ルの変化点をｎ回検出し、平均座標を求め、ステージ座
標との差を判定する。
Ｙ方向に走査し、ピクセルの変化点を検出する。ピクセ
ルの変化点をｎ回検出し、平均座標を求め、ステージ座
標との差を判定する。
この場合，リードが垂直で無い場合Ｙ方向の走査でリー
ドの先端以外でピクセル変化点を検出する場合が発生す
るので，ピクセル変化点，検出時は水平方向座標＋，
−,nピクセル位置のピクセルを検査しリードの有無を検
出しＹ方向走査位置を補正する。
ドの先端以外でピクセル変化点を検出する場合が発生す
るので，ピクセル変化点，検出時は水平方向座標＋，
−,nピクセル位置のピクセルを検査しリードの有無を検
出しＹ方向走査位置を補正する。
Ｙ方向への走査はウィンドウ１から３へと移行し、ウィ
ンドウ１のＹ方向座標終了時はウィンドウ２用の２値デ
ータの検出に移行する。
ンドウ１のＹ方向座標終了時はウィンドウ２用の２値デ
ータの検出に移行する。
このようにして、各カード端子の基準面からの高さを判
定する。また，仮想ラインの走査によりリードの数を求
めることができるので，リードの欠落，リードの重なり
による不良の判定も可能となる。Ｙ方向の走査によるリ
ード先端部検出時，同時に第10図（ｃ）のx1,x2を検出
する。
定する。また，仮想ラインの走査によりリードの数を求
めることができるので，リードの欠落，リードの重なり
による不良の判定も可能となる。Ｙ方向の走査によるリ
ード先端部検出時，同時に第10図（ｃ）のx1,x2を検出
する。
仮想ラインで検出した異なるリードでx1,x2が同様の場
合リードの重なりの検出が行える。
合リードの重なりの検出が行える。
この実施例では被検査体がQFPの場合を説明したが、デ
ュアルインラインパッケージについても同様に適用でき
る。かかる場合は、倍率変換レンズ，カメラは２個設置
することとなる。
ュアルインラインパッケージについても同様に適用でき
る。かかる場合は、倍率変換レンズ，カメラは２個設置
することとなる。
なお、本装置で用いている倍率変換レンズは、一般に横
方向の計測精度は要求されず、縦方向の精度が重要で、
かつ、横方向の有効視野範囲を大きく取る必要がある計
測（例えば、長方形状の幅の測定，円柱形状の直径およ
び円筒度）等に有効である。
方向の計測精度は要求されず、縦方向の精度が重要で、
かつ、横方向の有効視野範囲を大きく取る必要がある計
測（例えば、長方形状の幅の測定，円柱形状の直径およ
び円筒度）等に有効である。
（発明の効果） 以上、説明したように本発明によれば、測定個所の有効
視野を充分大きく確保できる。例えば、第９図の実例に
よれば、QFP側面の幅が最大35.2mmまで一回の測定で可
能である。したがって、ICパッケージまたはCCDカメラ
を走査して多数回計測を行う必要はなく、計測時間を大
幅に短縮できる。
視野を充分大きく確保できる。例えば、第９図の実例に
よれば、QFP側面の幅が最大35.2mmまで一回の測定で可
能である。したがって、ICパッケージまたはCCDカメラ
を走査して多数回計測を行う必要はなく、計測時間を大
幅に短縮できる。
また、計測個所の充分な有効視野を確保できると同時に
計測方向の精度を確保できる。
計測方向の精度を確保できる。
例えば、第９図の実例では、QFPリード端子の縦方向の
レンズ倍率は2.5倍であるので、2/3インチCCDカメラ使
用時、分解能は5.2μm/1画素となり、高精度な計測が可
能である。通常のレンズ系を用い、倍率を2.5倍に設定
した場合、QFPリード端子横方向の有効視野は8.8×1/2.
5＝3.52mmしか確保できず、本レンズと同等の視野範囲
を確保するためには、QFPまたはカメラをQFPリード端子
横方向に3.52mmピッチで９回移動し、計測を10回行わな
ければならないことになる。さらに、本発明はリード端
子を基準ステージに載せ、その基準面を基準にして浮き
量を測定するものであり、ICパッケージの各側面のリー
ド端子群対応に倍率変換レンズ，カメラを設置している
ので、ICパッケージまたはカメラを動かすことなく、さ
らにICパッケージに対し外部規制を加えることなく（IC
パッケージを基準ステージ上に置いた状態すなわち実装
状態と同じ状態で）リード端子浮き量を測定できる。
レンズ倍率は2.5倍であるので、2/3インチCCDカメラ使
用時、分解能は5.2μm/1画素となり、高精度な計測が可
能である。通常のレンズ系を用い、倍率を2.5倍に設定
した場合、QFPリード端子横方向の有効視野は8.8×1/2.
5＝3.52mmしか確保できず、本レンズと同等の視野範囲
を確保するためには、QFPまたはカメラをQFPリード端子
横方向に3.52mmピッチで９回移動し、計測を10回行わな
ければならないことになる。さらに、本発明はリード端
子を基準ステージに載せ、その基準面を基準にして浮き
量を測定するものであり、ICパッケージの各側面のリー
ド端子群対応に倍率変換レンズ，カメラを設置している
ので、ICパッケージまたはカメラを動かすことなく、さ
らにICパッケージに対し外部規制を加えることなく（IC
パッケージを基準ステージ上に置いた状態すなわち実装
状態と同じ状態で）リード端子浮き量を測定できる。
第１図は本発明によるICパッケージのリード端子浮き量
検査装置のブロック図，第２図は４方向リード端子フラ
ットパッケージ（QFP）の平面図，第３図は本発明によ
るICパッケージのリード端子浮き量検査装置の実施例を
示す概略図，第４図は第３図の計測ステージおよび照明
ユニットの拡大図，第５図は基準ステージ，倍率変換レ
ンズおよびQFPの位置関係を説明するための図，第６図
は照明ユニットの詳細を示す図で、同図（ａ）は平面
図，同図（ｂ）は一部断面で示した側面図をそれぞれ示
している。第７図は拡散板の詳細を示す図で、同図
（ａ）は平面図，同図（ｂ）はステージ部分の断面図，
同図（ｃ）はステージ部分の一部拡大断面図をそれぞれ
示している。第８図（ａ）および（ｂ）は倍率変換レン
ズを側面から見た図および正面から見た図で、同図
（ａ）はリード端子の縦方向を拡大する側を、同図
（ｂ）はリード端子の横方向を縮小する側をそれぞれ示
している。 第９図は縦方向および横方向の倍率に対する有効視野お
よび分解能の実測値を示す図、第10図はCCDカメラで得
た映像出力を処理する工程を示す図である。 １……計測ステージ ２……被検査体 ３……照明系 ４……撮影光学系 ５……撮像系 ６……４方向端子フラットパッケージ（QFP） ７……基準ステージ ８……光ファイバ ９……ファイバ照明ユニット 10……拡散板 11……吸着ノズル 12……偏心カム 13……モータ 14……ミラー 15,23……倍率変換レンズ 16……CCDカメラ 17……電磁弁 18……真空源 19,20……位置決めピン 21,22……光ファイバ整列束 24……ボールスプライン 25……レンズ系光軸 26,27,29,30……発光面 31……像 32……メインレンズ 33,34,35……シリンドリカルレンズ 36……結像点 37……絞り 38……リード端子
検査装置のブロック図，第２図は４方向リード端子フラ
ットパッケージ（QFP）の平面図，第３図は本発明によ
るICパッケージのリード端子浮き量検査装置の実施例を
示す概略図，第４図は第３図の計測ステージおよび照明
ユニットの拡大図，第５図は基準ステージ，倍率変換レ
ンズおよびQFPの位置関係を説明するための図，第６図
は照明ユニットの詳細を示す図で、同図（ａ）は平面
図，同図（ｂ）は一部断面で示した側面図をそれぞれ示
している。第７図は拡散板の詳細を示す図で、同図
（ａ）は平面図，同図（ｂ）はステージ部分の断面図，
同図（ｃ）はステージ部分の一部拡大断面図をそれぞれ
示している。第８図（ａ）および（ｂ）は倍率変換レン
ズを側面から見た図および正面から見た図で、同図
（ａ）はリード端子の縦方向を拡大する側を、同図
（ｂ）はリード端子の横方向を縮小する側をそれぞれ示
している。 第９図は縦方向および横方向の倍率に対する有効視野お
よび分解能の実測値を示す図、第10図はCCDカメラで得
た映像出力を処理する工程を示す図である。 １……計測ステージ ２……被検査体 ３……照明系 ４……撮影光学系 ５……撮像系 ６……４方向端子フラットパッケージ（QFP） ７……基準ステージ ８……光ファイバ ９……ファイバ照明ユニット 10……拡散板 11……吸着ノズル 12……偏心カム 13……モータ 14……ミラー 15,23……倍率変換レンズ 16……CCDカメラ 17……電磁弁 18……真空源 19,20……位置決めピン 21,22……光ファイバ整列束 24……ボールスプライン 25……レンズ系光軸 26,27,29,30……発光面 31……像 32……メインレンズ 33,34,35……シリンドリカルレンズ 36……結像点 37……絞り 38……リード端子
Claims (4)
- 【請求項１】光ファイバを導入し、上面に複数個の均一
な線光源を形成する照明系と、 前記照明系の上部に配置され、平面形状が中央部に貫通
孔を有する角形であって、その上面を、被検査体である
ICパッケージのリード端子を搭載し、所定部に位置付け
するための基準面とする基準ステージおよび前記基準ス
テージの貫通孔に固定され、周囲に柵状の導出部を有
し、前記照明系の線光源からの光を拡散させ、前記導出
部を経由させて各側面より拡散光を射出する拡散板を含
む計測ステージと、 前記拡散板側面からの光によって得られる前記ICパッケ
ージのリード端子の像の整列方向の倍率を縮小するとと
もに、前記整列方向と直角方向の倍率を拡大する倍率変
換レンズを、各方向に出ているリード端子群対応に設け
た撮影光学系と、前記倍率変換レンズ対応ごとに、前記
撮影光学系から射出される光像を映像に変換する撮像系
とから構成したことを特徴とするICパッケージのリード
端子浮き量検査装置。 - 【請求項２】前記照明系および拡散板の中央部に貫通孔
を設け、この貫通孔を嵌通して前記ICパッケージの下面
に、開口部が位置付けされるように吸着ノズルを設け、
検査開始時、被検査体であるICパッケージを前記基準ス
テージ上に位置付けした後、前記吸着ノズルを上昇さ
せ、その下面を吸着し、前記吸着ノズルを徐々に下降さ
せ、前記ICパッケージのリード端子群が前記基準面に達
したとき、前記吸着を解除するように構成したことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のICパッケージのリ
ード端子浮き量検査装置。 - 【請求項３】前記撮影光学系はシリンドリカルレンズを
構成の一部に用いたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のICパッケージのリード端子浮き量検査装置。 - 【請求項４】前記撮像系の映像出力を画像処理し、前記
基準ステージの基準面からの各リード端子の先端の浮き
量を判定する処理部を備えたことを特徴とする第１項記
載のICパッケージのリード端子浮き量検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27450089A JPH0682732B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | Ｉｃパッケージのリード端子浮き量検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27450089A JPH0682732B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | Ｉｃパッケージのリード端子浮き量検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03136262A JPH03136262A (ja) | 1991-06-11 |
| JPH0682732B2 true JPH0682732B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=17542558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27450089A Expired - Fee Related JPH0682732B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | Ｉｃパッケージのリード端子浮き量検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682732B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04356939A (ja) * | 1991-06-03 | 1992-12-10 | Just:Kk | 電子部品のリード形状検査装置 |
| JPH0543008U (ja) * | 1991-11-13 | 1993-06-11 | 株式会社小松製作所 | 物品の外観検査装置 |
| JPH0628615U (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-15 | 株式会社中央理研 | Ｉｃの端子形状検査装置 |
| JP4848160B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2011-12-28 | 株式会社 東京ウエルズ | 外観検査装置 |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP27450089A patent/JPH0682732B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03136262A (ja) | 1991-06-11 |
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