KR20070001051A - 진공 자외선 참조 반사율계 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (102)
- 샘플 채널 광 경로를 생성하도록 이용되는 광원;샘플과 마주하지 않도록 구성되는 하나 이상의 참조 채널 광 경로;참조 채널 광 경로 또는 샘플 채널 광 경로의 하나 이상을 선택적으로 작동 또는 무력하게 하는 하나 이상의 광학 요소; 및샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로 모두에 의하여 공유되는 다수의 반사율계 시스템 요소들을 포함하며;참조 채널 광 경로는 상기 반사율계의 이용을 통하여 얻어진 참조 데이터를 조정하도록 시스템 또는 환경 변화들을 위한 평가로 이용될 수도 있는 데이터를 수집하도록 구성되는 반사율계 장치.
- 제 1 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 광원으로부터의 소스 빔을 분할하고 상기 분할된 부분들이 공통의 회절 요소 및 공통의 검출기를 향하도록 연속적으로 상기 분할된 부분들을 재결합하도록 하나 이상의 빔 분할기를 이용하여 만들어지는 반사율계 장치.
- 제 2 항에 있어서, 개개의 채널들의 선택은 제어될 수 있는 개구들의 사용을 통하여 달성되는 반사율계 장치.
- 제 3 항에 있어서, 제어될 수 있는 개구들은 광학 셔터들인 반사율계 장치.
- 제 2 항에 있어서, 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들은 전체 빔 지름을 가리는 부분 전송 빔 분할기 또는 전체 빔 지름의 일정 부분을 가리는 완전 반사 미러로 구성되는 반사율계 장치.
- 제 1 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로는 간섭계의 평화된 아암들을 포함하는 반사율계 장치.
- 제 6 항에 있어서, 간섭계는 마하젠더 간섭계 또는 마이컬슨 간섭계인 반사율계 장치.
- 제 1 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로들은 전체 소스 빔을 광원으로부터 샘플 채널 광 경로 또는 참조 채널 광 경로를 통하도록 하여 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로를 공통의 회절 요소 및 공통의 검출기로 향하도록 동력화된 전체 반사 미러들의 형태로 2개 이상의 제어될 수 있는 개구들을 사용하여 만들어지는 반사율계 장치.
- 제 1 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로들은 심자외선(DUV) 파장들 이하에서 흡수종들로부터 따르는 환경적 영향들을 최소화하기 위하여 거의 같은 광 경로 길이들의 것인 반사율계 장치.
- 제 1 항에 있어서, 인라인 측정, 모니터링 및 제어가 유익하게 얻어지도록 공정 공구들로의 통합이 용이하도록 충분히 컴팩트한 반사율계 장치.
- 하나 이상의 공지되지 않은 성질을 가지는 샘플을 만나도록 구성되는 샘플 채널 광 경로를 생성하도록 이용되는 광원; 및반사율계를 설명하기 위하여 샘플로부터 얻어진 반사율 데이터 또는 반사율계 교정 시간과 샘플 반사율 데이터가 얻어지는 시간 사이에서 환경 변화의 조정을 가능하게 하도록 반사율계를 참조하는 수단을 포함하며,상기 참조하기 위한 수단은 참조 채널 광 경로를 포함하는 반사율계.
- 제 11 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조하기 위한 수단은 간섭계의 평형화된 아암들을 형성하는 반사율계.
- 제 12 항에 있어서, 간섭계는 마하젠더 간섭계 또는 마이컬슨 간섭계인 반사율계.
- 제 11 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 광원으로부터의 소스 빔을 분할하여, 상기 분할된 부분들이 회절 요소 및 검출기의 공통부분 을 향하도록 상기 분할된 부분들을 연속적으로 재결합하도록 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들을 사용하여 만들어지는 반사율계.
- 제 14 항에 있어서, 개개의 채널들의 선택은 제어될 수 있는 개구들의 사용을 통하여 달성되는 반사율계.
- 제 15 항에 있어서, 제어될 수 있는 개구들은 광학 셔터들인 반사율계.
- 제 11 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로들은 전체 소스 빔을 광원으로부터 샘플 채널 광 경로 또는 참조 채널 광 경로를 통하도록 하여 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로를 공통의 회절 요소 및 공통의 검출기로 향하도록 동력화된 전체 반사 미러들의 형태로 2개 이상의 제어될 수 있는 개구들을 사용하여 만들어지는 반사율계.
- 제 11 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로들은 심자외선(DUV) 파장들 이하에서 흡수종들로부터 따르는 환경적 영향들을 최소화하기 위하여 거의 같은 광 경로 길이들의 것인 반사율계.
- 제 18 항에 있어서, 하나 이상의 제어될 수 있는 챔버를 추가로 포함하며, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 하나의 환경적으로 제어되는 챔버에 적 어도 부분적으로 형성되는 반사율계.
- 제 11 항에 있어서, 참조 채널 광 경로는 공지되지 않은 샘플 또는 교정 샘플과 만나지 않는 반사율계.
- 제 11 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로는 공통의 소스, 회절격자 및 검출기를 공유하는 반사율계.
- 제 1 샘플로부터 참조 데이터를 얻는 방법으로서,샘플 광 채널을 제공하는 단계;적어도 회절격자와 검출기의 공통부분들을 포함하는 적어도 일부의 공통 광학 요소들을 공유하는 참조 광 채널, 샘플 광 채널 및 참조 광 채널을 제공하는 단계;샘플 채널 광 경로에서 어떠한 샘플의 사용에 관계없이 시스템 또는 환경 변수들을 지시하는 참조 데이터를 검출기로 얻도록 참조 광 채널을 이용하는 단계; 및제 1 샘플로부터 샘플 참조 데이터의 수집과 관련된 참조 데이터를 이용하는 것에 의하여 샘플 광 경로로부터 얻어진 참조 데이터를 참조하는 단계를 포함하는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 제 1 샘플은 공지되지 않은 샘플인 방법.
- 제 22 항에 있어서, 제 1 샘플은 교정 샘플인 방법.
- 제 22 항에 있어서, 참조 데이터는 제 1 샘플 참조 데이터의 수집시에 인접하여 수집되는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 제 1 샘플은 공지되지 않은 샘플이며, 시스템 또는 환경을 설명하는 참조 데이터의 참조는 교정 시간과 제 1 샘플 참조 데이터가 얻어지는 시간 사이에 변화하는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 제 1 샘플은 교정 샘플이며, 공지되지 않은 샘플을 위한 참조 측정을 수행하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제 27 항에 있어서, 교정 샘플의 참조 측정과 관련된 참조 데이터는 교정 샘플로부터 참조 데이터를 얻는 시점에 인접하여 검출되는 방법.
- 제 23 항에 있어서, 공지되지 않은 샘플과 관련된 참조 데이터를 얻는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 제 1 샘플은 공지되지 않은 샘플이며, 교정 샘플을 위한 참조 측정을 수행하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제 30 항에 있어서, 공지되지 않은 샘플의 참조 측정과 관련된 참조 데이터는 샘플로부터 참조 데이터를 얻는 시점에 인접하여 검출되는 방법.
- 제 31 항에 있어서, 교정 샘플과 관련된 참조 데이터를 얻는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 공지되지 않은 샘플로부터 참조 데이터를 얻는 방법으로서,샘플 광 채널을 제공하는 단계;적어도 회절격자 및 검출기의 공통 부분들을 포함하는 적어도 일부의 공통의 광학 요소들을 샘플 채널 광 경로와 공유하는 참조 광 채널을 제공하는 단계;교정 샘플로부터 참조 데이터를 검출하도록 검출기를 이용하는 단계;교정 시점에 인접하여 검출기로, 샘플 광 채널 경로에서 어떠한 샘플의 사용에 관계없이 시스템 또는 환경 변수들을 지시하는 제 1 참조 데이터를 얻도록 참조 광 채널을 이용하는 단계,공지되지 않은 샘플로부터 참조 데이터를 검출하도록 검출기를 이용하는 단계;공지되지 않은 샘플 참조 데이터의 검출 시점에 인접하여 검출기로, 샘플 광 채널 경로에서 어떠한 샘플의 사용에 관계없이 시스템 또는 환경 변수를 지시하는 제 2 참조 데이터를 얻도록 참조 광 채널을 이용하는 단계; 및제 1 참조 데이터 및 제 2 참조 데이터를 이용하는 것에 의하여 공지되지 않은 샘플로부터 얻어진 참조 데이터를 참조하는 단계를 포함하는 방법.
- 제 33 항에 있어서, 샘플 광 채널과 참조 광 채널은 간섭계의 평형화된 아암들을 형성하는 방법.
- 제 34 항에 있어서, 간섭계는 마하젠더 간섭계 또는 마이컬슨 간섭계인 방법.
- 제 33 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 광원으로부터의 소스 빔을 분할하여, 상기 분할된 부분들이 회절 요소 및 검출기의 공통 부분을 향하도록 상기 분할된 부분들을 연속적으로 재결합하도록 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들을 사용하여 만들어지는 방법.
- 심자외선(DUV) 파장 이하에서 동작하는 반사 측정 장치로서,심자외선(DUV) 파장 또는 그 이하의 파장들을 포함하는 소스 빔을 포함하는 광원;샘플 채널 광 경로;참조 채널 광 경로;광이 샘플로부터 반사도니 후에 샘플 채널 광 경로로부터 광을 수신하는 분광계; 및분광계의 출력으로부터 전송된 심자외선(DUV) 파장 또는 그 이하에서 광의 파장을 수신하는 검출기를 포함하고;적어도 일부의 반사율계 시스템 특징들이 샘플로부터 반사도 데이터를 얻는 시점이 인접하여 얻어질 수 있도록, 참조 채널 광 경로는 반사율계를 참조하기 위하여 이용되는 장치.
- 제 37 항에 있어서, 참조는 장치 교정 시간과 샘플 참조 데이터가 얻어지는 시간 사에이 장치 또는 환경 변화들을 설명하도록 샘플로부터 얻어진 참조 데이터의 조정을 가능하게 하는 장치.
- 제 37 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로들이 적어도 부분적으로 수용되는 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버를 추가적으로 포함하는 장치.
- 제 37 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로는 샘플과 마주치도록 구성되고, 참조 채널 광 경로는 샘플과 마주치지 않도록 구성되며, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 하나 이상의 제어될 수 있는 개구들의 조작을 통하여 선택되는 장치.
- 제 40 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 회절격자 및 검출기의 공통부분을 공유하는 장치.
- 제 37 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 소스 빔을 분할하고 상기 분할된 부분들이 공통의 회절 요소들 및 검출기들을 향하도록 연속적으로 상기 분할된 부분들을 재결합하도록 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들을 이용하여 만들어지는 장치.
- 제 42 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 또는 참조 채널 광 경로의 선택은 광학 셔터들의 형태로 하는 제어될 수 있는 개구들의 사용을 통하여 달성되는 장치.
- 제 42 항에 있어서, 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들은 전체 빔 지름을 가리는 부분 전송 빔 분할기 또는 전체 빔 지름의 일정 부분을 가리는 완전 반사 미러인 장치.
- 제 37 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로들은 전체 소스 빔을 샘플 채널 광 경로 또는 참조 채널 광 경로를 통하도록 하여 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로를 공통의 회절 요소 및 공통의 검출기로 향하도록 동력화된 전체 반사 미러들의 형태로 2개 이상의 제어될 수 있는 개구들을 사용하여 만들 어지는 장치.
- 제 37 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로들은 심자외선(DUV) 파장들 이하에서 흡수종들로부터 따르는 환경적 영향들을 최소화하기 위하여 거의 같은 광 경로 길이들의 것인 장치.
- 제 46 항에 있어서, 참조 및 샘플 채널들은 간섭계의 평형화된 아암들을 포함하는 장치.
- 제 47 항에 있어서, 간섭계는 마하젠더 간섭계 또는 마이컬슨 간섭계인 장치.
- 제 37 항에 있어서, 적어도 하나의 커플링 기구를 경유하여 연결된 2개의 환경적으로 제어된 챔버들을 추가로 포함하는 장치.
- 제 49 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 소스 빔을 분할하여, 상기 분할된 부분들이 공통의 회절 요소 및 공통의 검출기들을 향하도록 상기 분할된 부분들을 연속적으로 재결합하도록 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들을 사용하여 만들어지는 장치.
- 제 50 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 또는 참조 채널 광 경로중 하나의 선택은 제어될 수 있는 개구들의 사용을 통하여 달성되는 장치.
- 제 50 항에 있어서, 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들은 전체 빔 지름을 가리는 부분 전송 빔 분할기 또는 전체 빔 지름의 일정 부분을 가리는 완전 반사 미러로 구성되는 장치.
- 제 49 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로들은 참조 채널 광 경로와 샘플 채널 광 경로를 재결합하도록 샘플 채널 광 경로 또는 참조 채널 광 경로를 통하여 전체 소스 빔을 향하도록 하여 동력화된 전체 반사 미러들의 형태로 2개 이상의 제어될 수 있는 개구들을 사용하여 만들어져서, 두 경로들이 공통의 회절 요소들 및 공통의 검출기를 가지는 반사율계 장치.
- 제 49 항에 있어서, 참조 채널 광 경로와 샘플 채널 광 경로들은 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장을 흡수하는 종들로부터 따르는 환경적 영향들을 최소화하기 위하여 거의 같은 광 경로 길이들의 것인 장치.
- 제 54 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로는 간섭계의 평형화된 아암들인 장치.
- 제 55 항에 있어서, 간섭계는 마하젠더 또는 마이컬슨 간섭계인 장치.
- 제 37 항에 있어서, 검출기는 참조 데이터가 샘플의 2차원 영역 내의 다중 위치들을 위하여 동시에 얻어지는 것을 가능하게 하도록 광의 공간적 다중 분할된 파장들을 수신하는 배열 검출기인 장치.
- 제 57 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로는 샘플과 마주치도록 구성되고, 참조 채널 광 경로는 샘플과 마주치지 않도록 구성되며, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 하나 이상의 제어될 수 있는 개구들의 조작을 통하여 선택되는 장치.
- 제 58 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 공통의 회절격자 및 공통의 검출기를 공유하는 장치.
- 제 58 항에 있어서, 샘플 채널 광 경로 및 참조 채널 광 경로는 소스 빔을 분할하고 상기 분할된 부분들이 공통의 회절 요소 및 공통의 검출기를 향하도록 연속적으로 상기 분할된 부분들을 재결합하도록 하나 이상의 빔 분할기 디바이스들을 이용하여 만들어지는 장치.
- 제 58 항에 있어서, 참조 채널 광 경로와 샘플 채널 광 경로들은 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장을 흡수하는 종들로부터 따르는 환경적 영향들을 최소화 하기 위하여 거의 같은 광 경로 길이들의 것인 장치.
- 제 61 항에 있어서, 참조 채널 광 경로 및 샘플 채널 광 경로는 간섭계의 평형화된 아암들을 포함하는 장치.
- 제 62 항에 있어서, 간섭계는 마하젠더 또는 마이컬슨 간섭계인 장치.
- 제 57 항에 있어서, 반사 광학 기기인 적어도 하나의 광학 요소를 추가적으로 포함하는 장치.
- 제 64 항에 있어서, 적어도 하나의 광학 요소는 편심 포물경인 장치.
- 제 65 항에 있어서, 편심 포물경은 화상 성능을 개선하기 위하여 그 제조동안 도입된 다이아몬드 회전 가공물을 제거하도록 종래의 폴리싱 가공되는 장치.
- 제 65 항에 있어서, 편심 포물경은 미러의 중심 광축으로부터 90ㅀ 동작하도록 설계되는 장치.
- 제 64 항에 있어서, 상기 반사 광학 기기들은 심자외선(DUV) 파장 이하의 반사도를 향상시키도록 광대역 반사성 코팅제로 코팅되는 장치.
- 제 68 항에 있어서, 광대역 VUV-UV 반사성 코팅제는 알루미늄과 MgF2를 포함하는 장치.
- 제 57 항에 있어서, 배열 검출기는 고체촬상소자(CCD)인 장치.
- 제 70 항에 있어서, CCD는 후면 약화, 후면 조명 설계인 장치.
- 제 57 항에 있어서, 분광계는 보정 광학 기기들의 통합을 통하여 큰면적의 평탄 영역에서 무비점 수차를 제공하는 방식으로 설계되는 화상 분광계인 장치.
- 제 57 항에 있어서, 빔 조절 모듈은 소스 빔의 공간적 또는 일시적인 일관성을 변경시키거나 또는 임시 소스 빔의 스펙트럼 성질을 변경시키기 위한 목적을 위하여 소스와 분광계 사이로 도입되는 장치.
- 제 57 항에 있어서, 인라인 측정, 모니터링 및 제어가 유익하게 얻어질 수 있도록 공정 공구로의 통합을 용이하게 하도록 충분히 컴팩트한 장치.
- 2차원 샘플 영역으로부터 반사율 데이터를 얻기 위한 광학 반사율계로서,광 빔을 제공하는 광원;2차원 샘플 영역으로 그리고 그로부터 광을 향하게 하도록 샘플 채널 빔 경로를 이용하기 위하여 구성된 다수의 광학 요소들;샘플과 마주치지 않도록 구성된 적어도 하나의 참조 채널 빔 경로;참조 채널 빔 경로 또는 샘플 채널 빔 경로들중 적어도 하나를 선택적으로 이용 또는 무력화하는 적어도 하나의 광학 요소;참조 채널 빔 경로와 샘플 채널 빔 경로에서, 그 출구에 공간적으로 분할된 다중 파장들을 제공하는 분광계; 및 참조 채널 빔 경로와 샘플 채널 빔 경로에서, 참조 데이터가 2차원 샘플 영역 내의 다중 위치들을 위하여 동시에 얻어질 수 있도록 공간적으로 분할된 다중 파장들을 수신하는 배열 검출기를 포함하고;참조 채널 빔 경로는 반사율계의 사용을 통하여 얻어진 반사율 데이터를 조정하도록 시스템 또는 환경 변화들을 설명하도록 이용될 수 있는 반사율계.
- 제 75 항에 있어서, 광원은 DUV 파장 이하의 파장을 제공하는 반사율계.
- 제 76 항에 있어서, 참조 채널 빔 경로 및 샘플 채널 빔 경로들은 심자외선(DUV) 파장들 이하에서 흡수종들로부터 따르는 환경적 영향들을 최소화하기 위하여 거의 같은 광 경로 길이들의 것인 반사율계.
- 제 77 항에 있어서, 샘플 빔 경로와 참조 빔 경로들이 형성된 적어도 하나의 환경적으로 제어되는 챔버를 추가로 포함하는 반사율계.
- 제 78 항에 있어서, 적어도 하나의 챔버가 샘플 챔버인 환경적으로 제어되는 다수의 챔버를 추가로 포함하는 반사율계.
- 제 75 항에 있어서, 참조 채널 빔 경로는 반사율계 교정시간과 샘플 반사율 데이터가 얻어지는 시간 사이에 반사율계 또는 환경 변화들을 설명하도록 샘플로부터 얻어진 반사율 데이터의 조정을 가능하게 하는 반사율계.
- 반사율계를 이용하여 샘플의 반사율 특징들을 분석하는 방법으로서,적어도 하나의 광 빔을 제공하는 단계;광 빔을 샘플 광 채널을 이용하는 것에 의하여 샘플의 2차원 영역에 향하도록 하는 단계;광 빔이 샘플로부터 반사된 후에 화상 분광계 내에서 광 빔의 적어도 일부분을 수신하는 단계;분광계의 출구 평면에서 공간적으로 분할된 다중 파장의 광을 제공하는 단계;참조 데이터가 샘플의 2차원 영역 내에서 다중 위치들을 위하여 동시에 얻어지는 것을 허용하기 위하여 2차원 배열 검출기로 공간적으로 분할된 다중 파장들을 수신하는 단계;적어도 일부의 공통 광학 요소들을 공유하는 참조 광 채널, 샘플 광 채널 및 참조 광 채널을 제공하는 단계;검출기로, 샘플 광 채널 경로에서 어떠한 샘플의 사용에 관계없이 시스템 도는 환경 변수들을 지시하는 참조 데이터를 얻도록 참조 광 채널을 이용하는 단계; 및샘플로부터 샘플 참조 데이터의 수집과 관련된 참조 데이터를 이용하는 것에 의하여 샘플 광 경로로부터 얻어진 참조 데이터를 참조하는 단계를 포함하는 방법.
- 제 81 항에 있어서, 참조 채널 빔 경로는 샘플 참조 데이터의 조정이 반사율계 교정 시간과 샘플 참조 데이터가 얻어지는 시간 사이에 반사율계 또는 환경 변화들을 설명할 수 있도록 하는 방법.
- 제 82 항에 있어서, 참조 데이터가 샘플의 필요한 2차원 영역으로부터 얻어지도록 카메라로 패턴 인식을 수행하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제 81 항에 있어서, 배열 검출기에 의해 분석된 반사율 데이터는 DUV 이하의 파장을 위한 데이터를 포함하는 방법.
- 제 84 항에 있어서, 배열 검출기에 의해 분석된 반사율 데이터는 약 140㎚ 이하의 파장을 위한 데이터를 포함하는 방법.
- 제 81 항에 있어서, 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버에서 광 빔을 전송하는 단계; 및 DUV 광 이하의 파장들의 전송을 허용하도록 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버 내의 환경을 제어하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제 86 항에 있어서, 적어도 하나의 환경적으로 제어되는 챔버는 샘플 챔버인 방법.
- 제 87 항에 있어서, 광 빔은 환경적으로 제어된 다수의 챔버들을 통하여 전송되는 방법.
- 기판상에 형성된 다수의 박막들로 구성된 샘플을 분석하는 방법으로서,기판상에 형성된 적어도 제 1 및 제 2 박막의 예정된 구성을 제공하는 단계;적어도 부분적으로 예측된 구성에 근거하여, 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장들의 범위에서 주로 한정되는 제 1 박막의 적어도 하나의 광학 성질 및 심자외선 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정되지 않는 제 2 박막의 적어도 하나의 광학 성질을 결정하는 단계;심자외선 파장 이하의 적어도 다수의 파장들을 포함하는 범위에 걸쳐 샘플의 광학 반응 데이터 세트를 기록하는 단계; 및심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정된 제 1 박막의 적 어도 하나의 광학 성질의 결정 및 심자외선 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정되지 않는 제 2 박막의 적어도 하나의 광학 성질에의 결정에 근거하여 기록된 광학 반응 데이터 세트를 가중하는 것에 의하여 제 1 박막의 적어도 하나의 성질을 특징화하는 단계를 포함하는 방법..
- 기판상에 형성된 적어도 하나의 박막으로 구성된 다중 디바이스를 분석하는 방법으로서,적어도 하나의 박막의 예측된 구성을 제공하는 단계;적어도 부분적으로 예측된 구성에 근거하여, 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정되는 적어도 하나의 광학 성질을 결정하는 단계;심자외선 파장들 이하의 적어도 다수의 파장들을 포함하는 파장들의 범위에 걸쳐서 디바이스의 광학 반응 데이터 세트를 기록하도록 반사율계를 이용하는 단계; 및심자외선 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정되는 적어도 하나의 광학 성질의 결정에 근거하여 기록된 광학 반응 데이터 세트를 가중하는 것에 의하여 디바이스의 적어도 하나의 물리적 성질을 특징화하는 단계를 포함하는 방법.
- 기판상에 형성된 적어도 하나의 박막으로 구성된 기판을 분석하기 위한 장치로서,적어도 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장들을 가지는 소스 빔을 제공하는 광원;광 빔이 주행하고, 심자외선 광 이하의 파장들의 전송을 허용하도록 충분히 제어되는 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버;기판을 마주치도록 구성되는 샘플 채널 광 경로;기판을 마주치지 않는 경로를 제공하도록 구성되며, 반사율계의 사용을 통하여 얻어진 반사율 데이터를 조정하도록 시스템 또는 환경 변화들을 설명하도록 이용될 수 있는 수집 데이터로 구성되는 참조 채널 광 경로;소스 빔의 적어도 일부분을 수신하고, 그 출구 평면에서 심자외선(DUV) 파장들 이하의 광 파장을 포함하는 공간적으로 분할된 광의 다중 파장들을 제공하는 분광계;공간적으로 분할된 광의 다중 파장들을 수신하고, 기판의 2차원 영역 내의 다중 위치들을 위하여 심자외선 파장들 이하의 파장들을 위한 반사율 데이터를 동시에 얻는 배열 검출기; 및기판 반사율 데이터를 수신하도록 배열 검출기에 결합되며, 적어도 하나의 박막의 예측된 구성에 관계한 데이터를 수신하고, 적어도 부분적으로 예측된 구성에 근거하여, 심자외선 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정되는 적어도 하나의 박막 광학 성질을 결정하고, 심자외선 파장들 이하의 적어도 다수의 파장들을 포함하는 파장들 범위에 걸쳐서 기판의 광학 반응 데이터 세트를 기록하고, 심자외선 파장들 이하의 파장들의 범위로 주로 한정되는 적어도 하나의 광학 성질의 결정에 근거하여 기록된 광학 반응 데이터 세트를 가중하는 것에 의하여 박막의 적어도 하나의 물리적 성질을 특징화하도록 구성된 데이터 프로세서를 포함하는 장치.
- 심자외선(DUV) 파장 이하에서 동작하는 반사율계로서,심자외선 파장들 이하의 파장들을 포함하고 반사율계에서 적어도 하나의 빔을 생성하도록 이용되는 광을 생성하는 광원;광 빔이 주행하고 심자외선 광 이하의 파장들의 전송을 허용하도록 충분히 제어되는 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버;소스 빔의 적어도 일부분을 수신하고, 그 출구 평면에서 심자외선(DUV) 파장들 이하의 광 파장을 포함하는 공간적으로 분할된 광의 다중 파장들을 제공하는 분광계; 및공간적으로 분할된 다중 파장들을 수신하고, 심자외선 파장들 이하의 파장을 위한 데이터를 검출하는 배열 검출기를 포함하는 반사율계.
- 심자외선(DUV) 파장들 이하에서 동작하는 반사율계로서,심자외선 파장들 이하의 파장들을 포함하고, 반사율계에서 적어도 하나의 광 빔을 생성하도록 이용되는 광원;광 빔이 주행하고, 심자외선 이하의 광 파장들의 전송을 허용하도록 충분히 제어되고, 적어도 하나가 반사율 데이터가 수집될 필요가 있는 샘플을 유지하도록 구성되는 샘플 챔버인 환경적으로 제어된 다수의 챔버들;광 빔의 적어도 일부분을 수신하고, 그 출력으로서 광 빔의 적어도 일부분을 제공하는 분광계; 및분광계 출력을 수신하고, 심자외선 파장들 또는 그 이하의 파장들을 위한 데이터를 검출하는 검출기를 포함하는 반사율계.
- 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장들을 위한 반사율 데이터를 수집하는 단계를 포함하는 반사율계를 이용하여 샘플로부터 반사율 데이터를 수집하는 방법으로서,반사율계에서 적어도 하나의 광 빔을 생성하도록 이용되는 심자외선 파장들 이하의 광 파장들을 생성하는 단계;적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버에서 광 빔을 전송하는 단계;심자외선 광 이하의 파장들의 전송을 허용하도록 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버 내의 환경을 제어하는 단계;샘플 상으로 광 빔을 향하도록 하는 단계;광 빔이 샘플로부터 반사된 후에 분광계 내에서 광빔의 적어도 일부분을 수신하는 단계;분광계의 출구 평면에, 심자외선 파장들 이하의 광의 파장들을 포함하는 광의 공간적으로 분할된 다중 파장들을 제공하는 단계; 및심자외선 파장들 이하의 파장들을 위한 샘플 반사율 데이터를 수집하기 위하여 심자외선 파장들 이하의 파장들을 위한 데이터를 검출하는 배열 검출기로, 공간적으로 분할된 광의 다중 파장들을 수신하는 단계를 포함하는 방법.
- 2차원 샘플 영역으로부터 반사율을 얻기 위한 광학 반사율계로서,광 빔을 제공하는 광원;2차원 샘플 영역으로 그리고 그로부터 광 빔을 향하게 하도록 구성된 다수의 광학 요소들;광 빔을 수신하고, 그 출구에서 광의 공간적으로 분할된 다중 파장들을 제공하는 분광계; 및반사율 데이터가 2차원 샘플 영역 내의 다중 위치들을 위하여 동시에 얻어지는 것을 가능하게 하도록 광의 공간적으로 분할된 다중 파장들을 수신하는 배열 검출기를 포함하는 반사율계.
- 반사율계를 이용하여 샘플의 반사율 특징들을 분석하기 위한 방법으로서,적어도 하나의 광 빔을 제공하는 단계;샘플의 2차원 영역에서 광 빔을 검출하는 단계;광 빔이 샘플로부터 반사된 후에 화상 분광계 내에서 광 빔의 적어도 일부분을 수신하는 단계;분광계의 출구 평면에서 광의 공간적으로 분할된 다중 파장들을 제공하는 단계; 및반사율 데이터가 샘플의 2차원 영역 내의 다중 위치들을 위하여 동시에 얻어지도록 허용하기 위하여 2차원 배열 검출기로 광의 공간적으로 분할된 다중 파장들 을 수신하는 단계를 포함하는 방법.
- 제 1 스펙트럼 영역에서 동작하는 제 1 광원;제 2 스펙트럼 영역에서 동작하고, 적어도 제 1 광원과 부분적으로 상이한 제 2 광원;제 1 광원과 제 2 광원과 함께 이용되고, 제 1 광원과 제 2 광원 사이의 선택을 용이하게 하도록, 그리고 각 스펙트럼 영역에 대한 샘플 스폿이 적어도 하나의 유사한 스폿 성질을 가지도록 제 1 스펙트럼 영역과 제 2 스펙트럼 영역에서의 측정을 용이하게 하도록 운반 및 수집 광학 기기들을 포함하는 공통 광학 모듈을 포함하며;제 1 광원, 제 2 광원 및 공통 광학 모듈은 직렬 데이터 수집 방법을 채택하여서, 제 1 스펙트럼 영역 및 제 2 스펙트럼 영역으로부터 연속적으로 수집된 데이터들이 제 1 스펙트럼 영역 및 제 2 스펙트럼 영역의 적어도 일부로 구성된 광대역 스펙트럼 영역을 위한 반사율 데이터를 생성하도록 서로 결합되는 광대역 반사율계 장치.
- 제 1 스펙트럼 영역을 가지는 광과 제 2 스펙트럼 영역을 가지는 광 사이에서 선택하도록 구성되며, 각 스펙트럼 영역에 대한 샘플에서의 샘플 스폿이 적어도 하나의 유사한 스폿 성질을 가지도록 제 1 스펙트럼 영역 및 제 2 스펙트럼 영역에서의 측정들을 용이하게 하도록 적어도 일부 공통인 운반 및 수집 광학 기기들을 포함하는 광학 모듈; 및샘플에 관계없도록 구성된 적어도 하나의 참조 채널 광 경로를 포함하며;제 1 스펙트럼 영역에서 동작하는데 최적화되었지만, 적어도 제 2 스펙트럼 영역에서 데이터를 수집할 수 있는 광대역 반사율계 장치.
- 제 1 스펙트럼 영역에서 동작하는 제 1 광원;제 2 스펙트럼 영역에서 동작하고, 적어도 제 1 광원과 부분적으로 상이한 제 2 광원;제 1 광원과 제 2 광원과 함께 이용되고, 제 1 광원과 제 2 광원 사이의 선택을 용이하게 하도록, 그리고 각 스펙트럼 영역을 위한 샘플에서의 샘플 스폿이 적어도 하나의 유사한 정위를 가지도록 제 1 스펙트럼 영역과 제 2 스펙트럼 영역에서의 측정을 용이하게 하도록 운반 및 수집 광학 기기들을 포함하는 공통 광학 모듈을 포함하는 광대역 반사율계 장치.
- 동작하는 광대역 반사율계 장치로서,진공자외선 광원과 심자외선 광원 사이에서 그리고 진공자외선 분광계와 심자외선 분광계 사이에서 선택하도록 구성되며, 적어도 하나의 유사한 스폿 성질과 함께 각 스펙트럼 영역에서 측정들을 용이하게 하는 적어도 일부 공통의 운반 및 수집 광학 기기들, 적어도 하나의 샘플 채널 광 경로, 및 적어도 하나의 참조 채널 광 경로를 포함하는 단일 광학 모듈; 및단일 광학 모듈의 적어도 일부를 둘러싸는 환경적으로 제어된 챔버를 포함하며;진공자외선 광원, 심자외선 광원 및 단일 광학 모듈들은 직렬 데이터 수집 방법을 채택하여서, 진공자외선 스펙트럼 영역 및 심자외선 스펙트럼 영역으로부터 연속적으로 수집된 데이터가 진공자외선 스펙트럼 영역 및 심자외선 스펙트럼 영역의 적어도 부분들로 구성된 광대역 스펙트럼 영역을 위한 반사율 데이터를 생성하도록 서로 결합되는 장치.
- 심자외선(DUV) 파장들 이하의 파장들에 대한 반사율 데이터를 수집하는 단계를 포함하는 반사율계를 이용하여 샘플로부터 반사율 데이터를 수집하는 방법으로서,반사율계에서 제 1 광 빔을 생성하도록 이용되는 제 1 광 파장들을 심자외선 파장들 이하에서 생성하는 단계;적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버에서 제 1 광 빔을 전송하는 단계;심자외선 광 이하의 파장들의 전송을 허용하도록 적어도 하나의 환경적으로 제어된 챔버 내의 환경을 제어하는 단계;샘플상으로 제 1 광 빔을 향하도록 하는 단계;제 1 광 빔이 샘플로부터 반사된 후에 제 1 분광계 내에서 제 1 광 빔의 적어도 일부분을 수신하는 단계;반사율계에서 제 2 광 빔을 생성하도록 이용되는 진공자외선 파장 이상의 제 2 광 파장들을 생성하는 단계; 및진공 자외선 파장들 이상의 파장들에 대한 반사율 데이터를 제공하도록 샘플상으로 제 2 광 빔을 향하도록 하는 단계를 포함하고;제 1 광 빔 및 제 2 광 빔들은 적어도 일부 공통의 광학 요소들을 이용하는 형태로 연속적으로 형성되는 방법.
- 광대역 스펙트럼 범위에 걸쳐 제 1 샘플로부터 반사율 데이터를 얻는 방법으로서,반사율계에서 제 1 광 빔을 생성하도록 이용되는 제 1 광 파장들을 제 1 스펙트럼 범위에서 생성하는 단계;샘플상으로 제 1 광 빔을 향하도록 하는 단계;제 1 광 빔이 샘플로부터 반사된 후에 제 1 분광계 내에서 제 1 광 빔의 적어도 일부분을 수신하는 단계;제 1 스펙트럼 범위와 상이한 제 2 스펙트럼 범위에서, 반사율계에서 제 2 광 빔을 생성하도록 이용되는 제 2 광 파장들을 생성하는 단계;제 2 스펙트럼 범위에 있는 파장들에 대한 반사율 데이터를 제공하도록 샘플 상으로 제 2 광 빔을 향하도록 하는 단계;샘플 광 채널을 제공하는 단계;적어도 일부 공통의 광학 기기들을 샘플 광 채널과 공유하는 참조 광 채널을 제공하는 단계; 및제 1 스펙트럼 범위 또는 제 2 스펙트럼 범위중 적어도 하나에서, 샘플 광 채널에서 어떠한 샘플의 사용에 관계없이 시스템 또는 환경 변수들을 지시하는 참조 데이터를 얻도록 참조 광 채널을 이용하는 단계를 포함하는 방법.
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