FR3030032B1 - Procede de determination de l'epaisseur d'une couche mince par interferometrie multi-longueur d'onde, produit programme d'ordinateur, moyen de stockage et systeme correspondants - Google Patents

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Abstract

Il est proposé un procédé et un système de détermination de l'épaisseur d'une couche mince disposée sur la surface d'un substrat réfléchissant, au moyen d'un dispositif interférométrique multi-longueur d'onde en configuration Michelson. Le procédé consiste à : générer (20) un ensemble de faisceaux lumineux collimatés destinés à illuminer la surface de la couche mince et celle du miroir plan, chaque faisceau ayant une longueur d'onde distincte ; occulter (21) le bras de mesure empêchant les faisceaux lumineux collimatés d'être reçu par l'objet à mesurer et obtenir (22) une image de référence représentative de l'intensité lumineuse issue du miroir plan ; occulter (23) le bras de référence empêchant les faisceaux lumineux collimatés d'être reçu par le miroir plan, et obtenir (24) une image de mesure représentative de l'intensité lumineuse issue de l'objet à mesurer ; déterminer (25) l'épaisseur de la couche mince à partir des images de référence et de mesure obtenues.
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