KR20060130265A - 표시장치 - Google Patents

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아츠오 이시즈카
요시아키 사카모토
히사시 야마구치
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후지 샤신 필름 가부시기가이샤
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Abstract

표시장치는, 기판과, 상기 기판 상에 인접하여 배열되며, 제 1 방향으로 연장되는 복수의 전극패턴으로 이루어지는 제 1 전극군과, 상기 기판 상에 인접하여 배열되며, 상기 제 1 방향과는 상이한 제 2 방향으로 연장되는 복수의 전극패턴으로 이루어지는 제 2 전극군과, 각각 상기 제 1 전극군 중 하나의 전극패턴과 상기 제 2 전극군 중 하나의 전극패턴의 교점에 대응하여 형성된, 복수의 표시요소로 이루어지며, 적어도 상기 제 1 전극군은, 각각 일단에서 구동회로에 접속되어 상기 일단으로부터 타단까지의 길이가 서로 상이한 복수의 전극패턴을 포함하고, 상기 복수의 전극패턴 각각은, 제 1 시트저항을 갖는 제 1 도전체와, 상기 제 1 시트저항보다 작은 제 2 시트저항을 갖는 제 2 도전체를 포함하는 적층구조를 가지며, 상기 복수의 전극패턴 각각에는 상기 제 2 도전체를 제거한 고저항영역이 형성되어 있고, 상기 고저항영역의 길이는, 상기 복수의 전극패턴마다 상기 전극패턴의 길이에 따라 상이하다.
표시장치, 표시영역, 구동회로, 전극패턴, 시트저항

Description

표시장치{DISPLAY}
본 발명은 일반적으로 표시장치에 관한 것으로, 특히, 전류구동형 발광소자를 사용한 표시장치에 관한 것이다.
종래의 표시장치는 주로 액정표시장치에 의해 구성되어 있지만, 최근에는 플라즈마 표시장치에 의해 구성된 표시장치가 사용되기 시작하였다. 그리고 유기 EL 표시장치에 의해 표시장치를 구성하기도 한다.
이러한 표시장치를 저렴하게 제공하기 위해서는, 패시브 매트릭스형 구동 구성을 이용하는 것이 바람직하다. 패시브 매트릭스 구동 구성을 이용함으로써 액티브 매트릭스 구동 구성에서 필요한 박막 트랜지스터를 생략할 수 있다.
도 1 은 이러한 패시브 매트릭스 구동 구성의 표시장치 (10) 의 개략적 구성을 나타낸다.
도 1 을 참조하면, 표시장치 (10) 는 표시영역 (11A) 이 형성된 표시기판 (11) 을 포함하고, 상기 기판 (11) 상에는 X 방향 및 Y 방향으로 다수의 주사라인 (11a) 및 데이터라인 (11b) 이 각각 연장되어 있다.
또한, 상기 기판 (11) 에는 상기 주사라인 (11a) 중 하나를 선택적으로 구동하는 구동회로 (12A) 와 상기 데이터라인 (11b) 중 하나 또는 복수를 선택적으로 구동하는 구동회로 (12B) 가 접속되어 있다.
그래서 상기 구동회로 (12A) 에 의해 하나의 주사라인 (11a) 을 선택하고 구동회로 (12B) 에 의해 하나 또는 복수의 데이터라인 (11b) 을 선택함으로써, 상기 선택된 주사라인 (11a) 과 데이터라인 (11b) 의 교점에 대응하는 1 또는 복수의 화소가 동시에 발광한다.
일반적으로 상기 구동회로 (12A, 12B) 는 집적회로 칩의 형태로 형성되어 있고, 상기 표시기판 (11) 과의 사이는 표시장치의 소형화를 위해 배선패턴이 인쇄된 플렉시블 기판에 의해 접속되는 것이 일반적이다. 이러한 실장형태는 칩 온 필름 (COF) 으로서 알려져 있다. 특히 COF 실장기술에 의해 구동회로를 실장하는 경우에는 플렉시블 기판의 압착에 적합한 ITO (In2O3·SnO2) 패턴이 사용되는 경우가 많다.
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
본 발명의 발명자는, 특히 유기 EL 소자나 플라즈마 표시장치 등 전류구동형 표시장치를 구동할 때, 구동회로를 주사라인 또는 데이터라인에 접속하는 배선패턴의 길이가 라인마다 다르면 구동이 불균일해지는 문제가 생기는 것을 발견하였다.
도 2 및 도 3 은 도 1 의 표시장치 (10) 의 구동회로 (12A) 와 주사라인 (11a) 의 접속부 (11C) 의 구성을 나타낸다.
도 2 및 도 3 을 참조하면, 상기 접속부 (11C) 는 Al 로 이루어지는 주사라인 (11a) 에 접속되는 ITO 배선패턴 (11c) 으로 구성되어 있지만, 상기 ITO 배선패턴 (11c) 의 피치가 상기 구동회로 (12A) 와 접속되는 측에서는, 상기 표시영역 (11A) 에 비하여 구동회로의 전극피치에 대응하여 축소되어 있는 것을 알 수 있다. 또 도 2 에서는 상기 접속부 (11C) 에 있어서 상기 ITO 배선패턴 (11c) 은 직선적으로 연장되고, 그 결과 상기 ITO 배선패턴 (11c) 의 패턴간격이 구동회로 (12A) 와 접속되는 측과 표시영역의 측에서 변화하는데 반하여, 도 3 에서는 상기 패턴 간격이 일정하게 유지된다.
도 2 및 도 3 의 어느 경우에도 상기 ITO 배선패턴 (11c) 의 상기 접속부 (11C) 에서의 길이는 기판 중앙부와 기판 주변부에서 다르고, 기판 주변부에서는 기판 중앙부보다도 길어지는 것을 피할 수 없다. 이와 함께 상기 접속부 (11C) 에서는 기판 중앙부와 기판 주변부에서 ITO 배선패턴 (11c) 의 저항이 다르고, 이와 함께 발광강도도 기판 중앙부와 기판 주변부에서 다를 가능성이 있다.
예를 들어, 상기 주사라인 인출부 (11a) 를 구성하는 ITO 배선패턴 (11c) 의 시트저항을 10Ω/□ 로 한 경우, 상기 ITO 배선패턴 (11c) 의 배선저항은 배선길이를 5㎜, 배선폭을 50㎛ 로 하면 1kΩ 이 되며, 상기 10mA 의 구동전류에 의해 ITO 배선패턴 (11c) 을 따라 10V 에 달하는 전압 강하가 생기는 것을 알 수 있다.
이러한 전압 강하에 더해, 도 2 또는 3 에 나타내는 바와 같은, 접속부 (11C) 에 있어서 ITO 배선패턴 (11c) 의 피치가 변화하고, 이 때문에 기판 중앙부와 주변부에서 주사라인 (11a) 을 구성하는 ITO 배선패턴 (11c) 의 길이가 상이한 구성에서는, 기판 중앙의 주사라인 (11a) 에서 배선저항이 최소가 되고, 상하단의 주사라인 (11a) 에서 ITO 배선패턴 (11c) 의 배선저항이 최대가 되는 것을 피할 수 없다. 그래서 예를 들어 상기 ITO 배선패턴 (11c) 으로서 시트저항이 10Ω/□, 배선폭 10㎛ 인 것을 사용한 경우, 상기 ITO 배선패턴 (11c) 의 길이 차가 10㎜ 이면 기판 중앙부의 주사라인 (11a) 과 기판 주변부의 주사라인 (11a) 사이에서 구동전압에 20V 에 달하는 차가 생기는 것을 알 수 있다.
즉, 본 발명의 발명자에 의한 조사의 결과, 이러한 구성의 표시장치에서는 20V 의 구동전압을 인가하더라도 점등하지 않는 화소가 디스플레이 기판 (11) 주변부에 생기게 된다는 것이 분명해졌다.
일반적으로, ITO 패턴의 저항치를 ITO 패턴 상에 Cr 등의 저저항재료를 적층함으로써 저감시키는 기술은 공지된 것이다. 그러나 이러한 방법에서는, 도 2 및 3 의 접속부 (11C) 에서와 같은, 디스플레이 기판 상에서의 ITO 배선패턴의 길이 차에 기인하는 저항변화를 개개의 ITO 배선패턴에 대응하여 보상할 수는 없다.
이러한 개개의 ITO 배선패턴의 길이에 기인하는 저항변화를 보상하는 방법으로서, ITO 배선패턴의 길이에 대응하여 패턴 폭을 변화시키는 것도 생각할 수 있다. 예를 들어, 100개의 주사라인 (11a) 중 중앙 주사라인 (11a) 의 상기 접속부 (11C) 에서의 ITO 배선패턴 (11c) 의 배선길이가 5㎜, 패턴폭이 20㎛ 이고, 기판 상단 또는 하단에서의 배선길이가 10㎜ 인 경우를 생각하면, 상기 중앙 주사라인 (11a) 으로부터 상단 또는 하단의 주사라인 (11a) 을 향해 ITO 배선패턴 (11c) 의 폭을 0.4㎛ 간격으로 40㎛ 까지 증가시키면, 상기 접속부 (11C) 에서의 배선길이의 차에 기인하는 저항치의 변화는 보상할 수 있다.
그러나, 실제 ITO 패턴의 패턴폭 정밀도는 ±1㎛ 정도나 되고, 저항치의 불균일이 패턴폭 20㎛ 의 경우 ±5%, 40㎛ 의 경우에 ±2.5% 가 되어, 이러한 공정을 실제로 실시하는 것은 곤란하다. 또한 이러한 패턴폭을 조정하는 방법은 막대한 설계공정수를 필요로 한다.
특허문헌 1 : 미국특허공개 제2001-050799호
특허문헌 2 : 일본 공개특허공보 2002-162647호
특허문헌 3 : 일본 공개특허공보 2002-221536호
특허문헌 4 : 일본 공개특허공보 소62-124529호
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명의 1 관점에 의하면,
기판,
상기 기판 상에 인접하여 배열되며, 제 1 방향으로 연장되는 복수의 전극패턴으로 이루어지는 제 1 전극군,
상기 기판 상에 인접하여 배열되며, 상기 제 1 방향과는 상이한 제 2 방향으로 연장되는 복수의 전극패턴으로 이루어지는 제 2 전극군, 및
상기 제 1 전극군 중 하나의 전극패턴과 상기 제 2 전극군 중 하나의 전극패턴의 교점에 대응하여 각각 형성된, 복수의 표시요소로 이루어지는 표시장치로서,
적어도 상기 제 1 전극군은, 각각 일단에서 구동회로에 접속되어 상기 일단으로부터 타단까지의 길이가 서로 상이한 복수의 전극패턴을 포함하고,
상기 복수의 전극패턴 각각은, 제 1 시트저항을 갖는 제 1 도전체와, 상기 제 1 시트저항보다 작은 제 2 시트저항을 갖는 제 2 도전체를 포함하는 적층구조를 가지며,
상기 복수의 전극패턴 각각에는 상기 제 2 도전체를 제거한 고저항 영역이 형성되어 있고,
상기 고저항 영역의 길이는, 상기 복수의 전극패턴마다 상기 전극패턴의 길이에 따라 상이한 표시장치가 제공된다.
발명의 효과
본 발명에 의하면, 상기 구간 길이가 상기 제 1 전극군을 구성하는 개개의 전극패턴에서 상이하고, 그 결과 상기 제 1 전극군을 구성하는 전극패턴의 전체길이에 걸친 저항치가 전극패턴마다 변화하는 경우에도, 상기 제 2 도전체의 길이를 상기 구간 길이에 따라 변화시킴으로써 이러한 저항치의 변화를 보상하는 것이 가능하여, 표시장치에서 보다 일정한 표시를 실현할 수 있다.
본 발명의 다른 과제 및 특징은, 이하에 도면을 참조하면서 실시하는 본 발명의 상세한 설명에서 분명해질 것이다.
도 1 은 종래의 패시브 매트릭스 구동형 표시장치의 개략적 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는 본 발명이 해결하는 과제를 나타내는 도면이다.
도 3 은 본 발명이 해결하는 과제를 나타내는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 개략적 구성을 나타내는 도면이다.
도 5 는 도 4 의 유기 EL 표시장치의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 6 은 도 4 의 유기 EL 표시장치의 접속부의 상세한 구성을 나타내는 도면이다.
도 7a 는 도 4 의 유기 EL 표시장치의 접속부의 단면구조를 나타내는 도면이다.
도 7b 는 도 4 의 유기 EL 표시장치의 접속부의 단면구조를 나타내는 도면이다.
도 8 은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 개략적 구성을 나타내는 도면이다.
도 9 는 도 8 의 유기 EL 표시장치의 접속부의 상세한 구성을 나타내는 도면이다.
도 10a 는 도 8 의 유기 EL 표시장치의 접속부의 단면구조를 나타내는 도면이다.
도 10b 는 도 8 의 유기 EL 표시장치의 접속부의 단면구조를 나타내는 도면이다.
도 11 은 본 발명에 의한 유기 EL 표시장치의 특성을 나타내는 도면이다.
도 12 는 도 6 의 유기 EL 표시장치의 일 변형예를 나타내는 도면이다.
도 13 은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표 시장치의 일부를 나타내는 도면이다.
도 14 는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 일부를 나타내는 도면이다.
도 15 는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 일부를 나타내는 도면이다.
도 16 은 본 발명의 제 5 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 일부를 나타내는 도면이다.
부호의 설명
10, 20, 40 : 유기 EL 표시장치
11, 21 : 기판
11A, 21A : 표시영역
11C, 21C, 41C : 접속부
11a, 21a : 주사라인
11b, 21b : 데이터라인
11c : 배선패턴
12A, 12B, 22A, 22B : 구동회로
20A : 정공 수송층
20B : 발광층
20C : 전자 수송층
20D : 음극
20E : 유기 EL 소자
21T, 41T : 단자부
21a1, 41a1 : ITO 패턴
21a2, 41a2 : Cr 패턴
21c : 배선패턴
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
[제 1 실시예]
도 4 는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치 (20) 의 구성을 나타낸다.
도 4 를 참조하면, 표시장치 (20) 는 전체적으로 도 1 의 표시장치 (10) 와 동일한 구성을 갖고 있으며, 표시영역 (21A) 이 형성된 표시기판 (21) 을 포함하고, 상기 기판 (21) 상에는 X 방향 및 Y 방향으로 다수의 주사라인 (21a) 및 데이터라인 (21b) 이 연장되어 있다.
또한, 상기 기판 (21) 상에는 상기 주사라인 (21a) 중 하나를 선택적으로 구동하는 구동회로 (22A) 와 상기 데이터라인 (21b) 중 하나 또는 복수를 선택적으로 구동하는 구동회로 (22B) 가 접속되어 있다.
그래서 상기 구동회로 (22A) 에 의해 하나의 주사라인 (21a) 을 선택하고 구동회로 (22B) 에 의해 하나 또는 복수의 데이터라인 (21b) 를 선택함으로써, 상기 선택된 주사라인 (21a) 과 데이터라인 (21b) 의 교점에 대응하는 하나 또는 복수의 화소가 동시에 발광한다.
도 5 는 도 4 의 표시장치 (20) 의 데이터라인 (21b) 을 따른 단면도를 나타낸다.
도 5 를 참조하면, 상기 데이터라인 (21b) 은 유리기판 (21) 상에 평행하게 패터닝되어 있으며, 양극을 구성한다. 각각의 데이터라인 (21b) 상에는 정공 수송층 (20A) 과 발광층 (20B) 과 전자 수송층 (20C) 을 적층한 유기 EL 소자 (20E) 가 전형적으로는 마스크를 이용한 증착법에 의해 반복 형성되어 있고, 이렇게 하여 형성된 유기 EL 소자 (20E) 는 상기 유리기판 (21) 상에서 매트릭스상으로 배열된다.
이와 같이 매트릭스상으로 배열한 유기 EL 소자 (20E) 사이의 공간은 절연막 (도시생략) 에 의해 충전되며, 다시 상기 유기 EL 소자 (20E) 중 X 방향으로 정렬한 1군의 유기 EL 소자를 잇도록, Al 등으로 이루어지는 음극 (20D) 이 형성된다. 상기 음극 (20D) 은, 도 4 의 구성에서의 주사라인 (21a) 을 구성한다.
도 6 은 도 1, 2 의 접속부 (11C) 에 대응하는, 상기 주사라인 (21a) 과 구동회로 (22A) 의 접속부 (21C) 의 구성을 상세하게 나타낸다.
도 6 을 참조하면, 상기 접속부 (21C) 에서는 상기 표시영역 (21A) 을 연장하는 주사라인 (21a) 의 반복 간격이 상기 구동회로 (22A) 를 구성하는 집적회로 칩의 단자 간격에 맞춰 축소되어 있고, 이와 함께 상기 표시영역 (21A) 속에서 평행하게 연장되어 있던 주사라인 (21a) 의 단부로부터 연장되는 배선패턴 (21c) 이 상기 접속부 (21C) 에서 굴곡되어 있다. 또, 이하에 설명하는 바와 같이 상기 배선패턴 (21c) 은, ITO 패턴 (21a1) 과, 상기 ITO 패턴 (21a1) 상에 형성된 저저항의 Cr 패턴 (21a2) 의 적층에 의해 구성되어 있다.
더욱 구체적으로 설명하면, 상기 접속부 (21C) 는, 상기 주사라인 (21a) 의 단부로부터 연장되는 배선패턴 (21c) 이 상기 표시영역 (21A) 에서의 연장 방향 (X 방향) 에 대하여 비스듬히 연장되는 구간 A 와, 상기 배선패턴 (21c) 이 상기 구간 A 의 끝에서 다시 상기 X 방향으로 연장되어 상기 구동회로 (22A) 와 접속하기 위한 단자부 (21T) 에 연속하는 구간 B 에 의해 구성되어 있으며, 구간 A, B 모두, 상이한 주사라인 (21a) 에 대응하는 배선패턴 (21c) 은 서로 평행하게 연장되어 있다.
도 6 에 있어서, 상기 구간 A 는 상기 복수의 배선패턴 (21c) 중 중앙부의 배선길이가 가장 짧은 패턴에서의 길이가 제로 (0) 가 되고, 가장 외측이고 배선길이가 가장 긴 패턴에서의 길이가 최대 (Lamax) 가 되도록 정의되어 있으며, 또한 상기 구간 B 는 상기 복수의 ITO 배선패턴 (21c) 중 중앙부의 배선길이가 가장 짧은 패턴에서의 길이가 최대 (Lbmax) 가 되고, 가장 외측이고 배선길이가 가장 긴 배선패턴에서의 길이가 제로가 되도록 정의되어 있다.
이러한 구성의 결과, 상기 구간 A 에서의 배선길이는 가장 외측의 ITO 배선패턴 (21c) 으로부터 중앙부의 가장 짧은 배선패턴 (21c) 을 향해 직선적으로 감소하고, 또한 구간 B 에서의 배선길이는 가장 외측의 배선패턴 (21c) 으로부터 중앙 부의 가장 짧은 배선패턴 (21c) 을 향해 직선적으로 증가한다.
본 실시예에서는, 상기 구간 B 를 제 1 구간 B1 및 제 2 구간 B2 로 더 분할하여, 도 7a, 도 7b 에 나타내는 바와 같이 상기 제 2 구간 B2 에서 상기 저저항 Cr 막 (21a2) 을 선택적으로 제거함으로써 구간 B1 에서의 배선패턴 (21c) 중 Cr 패턴 (21a2) 의 길이를 트리밍하여, 배선패턴 (21c) 의 저항치를 일정치에 맞추고 있다. 단, 도 7a 는 상기 구간 B1 에서의 배선패턴 (21c) 의 단면을, 도 7b 는 상기 구간 B2 에서의 배선패턴 (21c) 의 단면을 나타내고 있다.
이와 같이 본 발명에서는 상기 구간 B2 에서 저저항 Cr 막 (21a2) 을 선택적으로 제거함으로써 상기 구간 B2 에 등가적인 저항요소를 삽입하고 있다. 그 때, 본 실시예에서는 상기 저항요소의 저항치를, 도 7a, 도 7b 에 나타내는 바와 같이 패턴 (21a) 의 폭 (Wa) 을 조정하는 것이 아니라 상기 구간 B2 의 길이를 조정함으로써 정밀도가 우수하도록 설정할 수 있다.
이하, 이러한 트리밍의 구체적인 순서를 설명한다.
도 6 을 다시 참조하면, 앞서도 서술한 바와 같이 상기 주사라인 (21a) 을 구성하는 전극군의 중앙부에서는, 구간 A 의 길이 La (㎜) 는 제로이다. 그래서, 상기 배선군의 가장 외측에서의 상기 배선패턴의 길이 La 를 Lamax (㎜) 로 하면, 배선군의 중앙부와 최외부 사이에서 배선패턴의 길이 La (Lak) 는 직선적으로 변화하여, k 번째의 배선길이 Lak
[수학식 1]
Figure 112006078955419-PCT00001
[수학식 2]
Figure 112006078955419-PCT00002
로 주어진다.
한편, 구간 B 의 길이 Lb (㎜) 도 마찬가지로 직선적으로 변화하여, 배선군 중앙에서 최대, 배선군의 최외단부에서 제로가 된다. 그래서 배선군 중앙에서의 Lb 를 Lbmax 로 하면, k 번째의 배선길이 Lbk
[수학식 3]
Figure 112006078955419-PCT00003
[수학식 4]
Figure 112006078955419-PCT00004
로 주어진다.
또, 도 6 의 구성에 있어서, 상기 Cr 막 (21b) 을 형성하는 부분은, 단자부 (21T) 에 Cr 막 등의 저저항 보조배선을 형성함으로써 생기는 기계적 강도의 저하를 피하기 위해 상기 구간 B1 로 하고, 상기 Cr 막 (21b) 은 상기 구간 A 로부터 연속하여 연장되도록 형성하는 것이 바람직하다.
앞서도 설명한 바와 같이, 구간 B 는 도 7a 에 대응한 ITO 막 (21a1) 과 Cr 막 (21a2) 이 적층한 구간 B1 과, 도 7b 에 대응한 ITO 막 (21a1) 만의 구간 B2 로 구성되며, 상기 주사라인 (21a) 각각의 연장부의 길이를, 상기 구간 B1 에 있어서 Lb1k (㎜), 상기 구간 B2 에 있어서 Lb2k (㎜) 로 한다.
상기 ITO 막 (21a1) 의 시트저항을 Rito (Ω/□), Cr 막 (21a2) 의 시트저항을 Raux (Ω/□) 로 하고, 상기 구간 A 에서의 선폭을 Wa (㎜), 구간 B 의 선폭을 Wb (㎜) 로 하면, 상기 구간 A 및 B 에서의 배선저항 (Rak, Rbk) 은,
[수학식 5]
Figure 112006078955419-PCT00005
로 주어진다.
그래서, k 번째의 주사라인 (21a) 에 대응한 접속부 (21C) 의 배선저항 (Rk) 은
Rk=Rak+Rbk
로 주어진다.
다음으로, 전술한 것을 기초로 Cr 막 (21a2) 을 보조 배선패턴으로 사용한 배선저항의 균일화 (트리밍) 를 검토한다.
이러한 배선의 저항균일화는 상기 식에서 Rk 가 k 에 관계없이 항상 일정해지는 Lb1k, Lb2k 를 구하는 문제에 귀착된다.
여기에서 간단히 하기 위해 0≤k≤n/2 의 범위에서 생각하면, k=n/2, 즉, 배선군 중앙부의 패턴의 Lb2k, 즉, Lb2(n/2) 는,
Lb1k+Lb2k=Lbmax
의 관계에서
[수학식 6]
Figure 112006078955419-PCT00006
으로 표시된다. 단, 여기에서는 이하와 같이 도출하고 있다.
k=n/2 일 때, 관계
[수학식 7]
Figure 112006078955419-PCT00007
가 성립된다.
여기에서,
[수학식 8]
Figure 112006078955419-PCT00008
로 두면,
관계식
[수학식 9]
Figure 112006078955419-PCT00009
가 얻어진다.
모든 패턴에서 저항이 동등하다는 조건이 주어지기 때문에, 트리밍 후에서는 0번째의 Rak, 즉, Ra(0) 과 n/2번째의 Rbk, 즉, Rb(n/2) 는 동등해야 한다. 즉, 관계식
[수학식 10]
Figure 112006078955419-PCT00010
이 성립되고, 이것에서 관계식
[수학식 11]
Figure 112006078955419-PCT00011
이 얻어진다.
그런데, k=0 인 경우, 배선군 최외단부의 Lb2k, 즉, Lb2(1) 은 0 이 되어, Lb2k 는 0 으로부터 Lb2(n/2) 까지 직선적으로 변화한다. 따라서, 트리밍 후에서의 k 번째의 배선길이 Lb2k 는,
[수학식 12]
Figure 112006078955419-PCT00012
[수학식 13]
Figure 112006078955419-PCT00013
이 구해진다.
이와 같이, 본 실시예에서는 상기 접속부 (21C) 에서 주사라인 (21a) 으로부터 연장되는 배선군 중, 중앙부에 배선패턴의 배선길이를 구함으로써 용이하게 저항치의 트리밍을 행할 수 있다.
이러한 저항치의 트리밍을 행하는 경우, 상기 구간 B2 에서의 상기 배선패턴 의 포토마스크를 상기 식에서 구한 배선 패턴 데이터에 따라 작성하면 되고, 특별한 공정수는 필요로 하지 않는다.
예를 들어, 상기 파라미터가 Lamax=10㎜, Lbmax=5㎜, Wa=20㎛, Wb=20㎛, Rito=10Ω/□, Raux=2Ω/□, n=100 인 경우, 상기 식에서, 구간 B 에서의 중앙부 (n/2번째) 의 배선길이 Lb1(n/2), Lb2(n/2) 는 Lb1(n/2)=4㎜, Lb2(n/2)=1㎜, 또한 Rito 와 Raux 의 합성시트저항은 1.67Ω/□ 가 되기 때문에, 상기 구간 B 의 배선저항은 Rb1(n/2)=1.67×4000/20=334Ω, Rb2(n/2)=10×1000/20=500Ω 가 된다.
다음에, 본 실시예에서 ±1㎛ 의 패터닝 오차가 생겼을 때의 저항의 불균일을 평가한다.
위에서 구한 Lb1(n/2), Lb2(n/2) 의 값에 대하여, 상기 구간 B1 에서 Cr 막 (21a2) 이 1㎛ 짧게 패터닝되어 있고, Lb1(n/2)=3.999㎜, Lb2(n/2)=1.001㎜ 인 경우 Rb1(n/2)=1.67×3999/20=333.92Ω, Rb2(n/2)=10×1001/20=500.5Ω 가 되며, 저항치의 변화는 -0.05% 가 된다. 마찬가지로, 상기 구간 B1 에서 상기 Cr 막 (21a2) 로 이루어지는 보조배선이 1㎛ 길게 패터닝되고, Lb1(n/2)=4001㎜, Lb2(n/2)=0.999㎜ 인 경우, 저항치의 변화는 +0.05% 가 된다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 배선폭을 조정함으로써 저항조정에 비하여 2자리수의 정밀도 향상을 달성할 수 있다.
[제 2 실시예]
도 8 은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유기 EL 표시장치 (40) 의 개략적 구성을, 도 9 는 상기 표시장치 (40) 의 주사전극을 따른 단면도를 나타낸다. 단, 도면 중 앞서 설명한 부분에 대응하는 부분에는 동일한 참조부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 8 을 참조하면, 표시장치 (40) 도 도 4 의 표시장치 (20) 와 동일한 패시브 매트릭스 구동형 표시장치이지만, 상기 구동회로 (22A) 와 상기 주사라인 (21a) 를 접속하려면 도 6 의 접속부 (21C) 대신에 도 9 에 나타내는 접속부 (41C) 를 사용한다.
도 9 를 참조하면, 상기 접속부 (41C) 는 평면도 상에서는 도 6 의 접속부 (21C) 와 대략 동일한 구성을 갖지만, 상기 주사라인 (21c) 의 연장부로 구성되는 배선패턴 (21c) 대신에, 상기 주사라인 (21a) 의 단부에 접속되며, 상기 구동회로 (22A) 의 단자에 대응하여 형성된 단자부 (41T) 에 수렴되는 배선패턴 (41c) 을 포함하고 있다.
상기 배선패턴 (41c) 은 상기 배선패턴 (21c) 과 마찬가지로 그 연장방향을 따라 구간 A 와 구간 B 로 나뉘고, 구간 A 의 구간길이 Lak 는 최외부의 주사라인 (41a) 에 대응하는 배선패턴 (41c) 에서 최대가 되고, 중앙부의 주사라인 (41a) 에 대응하는 배선패턴 (41c) 에서 제로가 된다.
또한 상기 구간 B 는 구간 B1 과 B2 로 나뉘고, 구간 B1 에서는 배선패턴 (41c) 은 도 10a 에 나타내는 바와 같이 주사라인 (41a) 과 동일한 ITO 막 (41a1) 과 은합금막 (41a2) 의 적층구조를 갖는데 반해, 상기 구간 B2 에서는 배선패턴 (41c) 은 도 10b 에 나타내는 바와 같이 ITO 막 (41a1) 만으로 구성되어 있다. 이 구간 B2 의 ITO 패턴 (41a1) 이 더 연장되어 구동회로 (22A) 의 전극과 압착되는 상기 단자부 (41T) 를 구성하고 있다.
본 실시예에서도, 앞선 실시예와 마찬가지로 상기 배선패턴 (41c) 의 상기 구간 B1 에서의 구간길이 Lbk 를 트리밍함으로써 상기 접속부 (41C) 에 있어서 주사라인 (41a) 서로에 생기는 저항치의 차를 제거하고 있다.
상기 은합금으로는 은과 팔라듐 또는 구리의 합금이 사용되고, 이것에 의해 Cr 보다도 더 낮은 시트저항을 실현할 수 있다. 한편, 은합금은 Cr 보다도 일렉트로마이그레이션 또는 산화에 의한 특성의 열화가 생기기 쉬워, 도 10a 에 나타내는 바와 같이 상기 구간 B1 에서 상기 은합금막 (41a2) 은 상기 ITO 막 (41a1) 의 하층에 상기 유리기판 (21) 과 ITO 막 (41a1) 에 의해 보호되도록 형성되어 있다.
이하, 도 11 의 접속부 (11C) 에서의 트리밍에 대하여 상세하게 설명한다.
앞서도 서술한 바와 같이 중앙부의 주사라인 (41a) 에 대응하는 배선패턴 (41c) 에서는, 상기 구간 A 에서의 배선길이 La 는 제로가 되는데 반해, 이 배선길이 La 는 외측의 주사라인 (41a) 에서는 상기 중앙부로부터의 거리에 비례하여 직선적으로 증대한다.
그래서 최외단의 배선패턴 (41c) 의 길이를 Lamax (㎜) 로 하면, 중앙 (k=0) 으로부터 k번째의 배선패턴 (41c) 의 상기 구간 A 에서의 배선길이 Lak 는,
[수학식 14]
Figure 112006078955419-PCT00014
[수학식 15]
Figure 112006078955419-PCT00015
로 표시된다.
한편, 상기 구간 B 에서의 상기 배선패턴 (41c) 의 길이 Lb (㎜) 도 마찬가지로 기판 중앙부로부터 외측을 향해 직선적으로 변화하여, 중앙의 주사라인 (41a) 에 대응하는 배선패턴 (41c) 에서 최대, 최외단에서 제로가 된다. 그래서 상기 중앙부에서의 구간길이 Lb 를 Lbmax 로 하면, 중앙부로부터 k 번째의 배선길이 Lbk 는,
[수학식 16]
Figure 112006078955419-PCT00016
[수학식 17]
Figure 112006078955419-PCT00017
로 표시된다.
여기에서 상기 ITO 막 (41a1) 의 시트저항을 Rito(Ω/□), 은합금막 (41a2) 의 시트저항을 Raux (Ω/□) 로 하고, 구간 A 에서의 상기 ITO 막 (41a1) 의 폭, 따라서 배선패턴 (41c) 의 폭을 Wa, 또한 구간 A 에서의 은합금막 (41a2) 의 폭을 Wa', 구간 B 에서의 상기 ITO 막 (41a1) 의 폭, 따라서 배선패턴 (41c) 의 폭을 Wb, 또한 구간 B 에서의 은합금막 (41a2) 의 폭을 Wb' 로 하면 , 구간 A 및 B 의 배선저항 (Rak, Rbk) 은 각각
[수학식 18]
Figure 112006078955419-PCT00018
로 표시되고, 상기 접속부 (41T) 에서의 k 번째의 배선패턴 (41c) 의 저항 (Rk) 은
Rk=Rak+Rbk
로 표시된다. 여기에서 Lb1k, Lb2k 는 상기 배선패턴 (41c) 의 상기 구간 B1 및 B2 에서의 배선길이를 나타낸다.
다음으로, 상기 배선길이 Lb1k, Lb2k 의 트리밍에 대해 설명한다.
앞의 실시예의 경우와 마찬가지로, 트리밍의 목적은 상기 저항 (Rk) 을 모든 패턴에서 동일 값으로 설정하는 것이다. 이하에서는 간단하게 하기 위해 0≤k≤n/2 인 경우를 다룬다.
k=n/2 인 경우, 즉, 중앙부의 배선패턴 (41c) 을 생각하면, 그 길이 Lb2k, 즉, Lb2(n/2) 은 관계 Lb1k+Lb2k=Lbmax 에서
[수학식 19]
Figure 112006078955419-PCT00019
로 표시된다.
k=n/2 의 경우, 상기 관계
[수학식 20]
Figure 112006078955419-PCT00020
에 있어서
[수학식 21]
Figure 112006078955419-PCT00021
로 두면, 이하의 표현이 얻어진다.
Rbk=C1(C2·Lb1k+Lb2k)
[수학식 22]
Figure 112006078955419-PCT00022
여기에서,
[수학식 23]
Figure 112006078955419-PCT00023
로 두면, 저항 (Rak) 은,
[수학식 24]
Figure 112006078955419-PCT00024
로 표시되지만, 트리밍 후에서는 모든 배선패턴 (41c) 에서 저항이 동등하다 는 조건에서, 0 번째의 Rak, 즉, Ra(0) 과 n/2 번째의 Rbk, 즉, Rb(n/2) 는 동등해야 한다.
즉,
[수학식 25]
Figure 112006078955419-PCT00025
가 성립되게 되는데, 이것에서
[수학식 26]
Figure 112006078955419-PCT00026
이 되어 상기 관계가 얻어진다.
한편, k=0 인 경우, 즉, 최외단의 배선패턴 (41c) 을 생각하면, 길이 Lb2k (=Lb2(0)) 는 제로가 되고, Lb2k 는 제로로부터 Lb2(n/2) 까지 직선적으로 변화한다.
따라서, 트리밍 후에서의 k 번째의 배선길이는
[수학식 27]
Figure 112006078955419-PCT00027
[수학식 28]
Figure 112006078955419-PCT00028
로 구해진다.
여기에서 상기 식의 파라미터를, Lamax=10㎜, Lbmax=5㎜, Wa=20㎛, Wb=20㎛, Wa'=15㎛, Wb'=15㎛, Rito=10Ω/□, Rmax=0.2Ω/□, n=100 으로 하고, 상기 배선길이는,
Lb1(n/2)=4.867(㎜), Lb2(n/2)=0.133(㎜) 로 구해진다.
그리고 Rito 와 Raux 의 합성시트저항은 0.196Ω/□ 이 되기 때문에, 상기 구간 B 에서의 배선패턴 (41c) 의 배선저항은,
Rb1(n/2)=0.260×4897/20=63.21Ω,
Rb2(n/2)=10×133/20=66.5Ω,
로 구해진다.
다음에, 본 실시예에서의 트리밍에 대한 패터닝 오차의 영향을 평가한다.
상기 최적 배선길이 Lb1(n/2), Lb1(n/2) 에서 -1㎛ 의 패터닝 오차가 생긴 경우를 생각하면, Lb1(n/2)=3.999(㎜), Lb1(n/2)=1.001(㎜) 가 되는데, 이 경우
Rb1(n/2)=0.260×4866/20=63.26Ω,
Rb2(n/2)=10×134/20=67Ω,
가 되어, -0.5% 의 저항변화가 생긴다고 예상된다.
마찬가지로 상기 최적 배선길이 Lb1(n/2), Lb1(n/2) 에 있어서 +1㎛ 의 패터닝 오차가 생긴 경우를 생각하면, Lb1(n/2)=4.001(㎜), Lb1(n/2)=0.999(㎜) 가 되지만, 이 경우에는 +0.5% 의 저항변화가 생긴다고 예상된다.
이와 같이 본 실시예에 의한 트리밍에서도, 패턴폭을 조절하여 트리밍한 경우에 비하여 10배 이상의 트리밍 정밀도를 확보하는 것이 가능해진다.
도 11 은 상기 실시예 1 및 2 에 의한 트리밍을 한 경우의, 주사라인 (21a 또는 41a) 전체의 배선저항 및 이것에 따른 전압 강하, 그리고 상기 배선저항의 최대치와 최소치의 차 ΔR 및 상기 ΔR 에 따라 생기는 전압 강하의 최대치와 최소치의 차 ΔV 를, 비교예 1 및 2 와 함께 나타낸다. 단, 비교예 1 에서는, Cr 막 또는 은합금 등의 보조배선은 형성하지 않고, 저항치의 트리밍은 배선패턴 (11c) 의 폭을 조정함으로써 행하고 있다. 또한 비교예 2 에서는 Cr 막을 보조배선으로서 형성하고 있지만, 저항치의 트리밍은 배선패턴 (21c) 의 폭을 조정함으로써 행하고 있다. 이에 반해 실험예 1 은 앞서 설명한 실시예 1 에 대응하며, 트리밍을 도 6 의 구간 B1 에서의 보조배선, 즉, Cr 패턴 (21a2) 의 배선길이 조정에 의해 행하고 있다. 또한, 실험예 2 는 앞서 설명한 실시예 2 에 대응하며, 트리밍을 도 11 의 구간 B1 에서의 보조배선, 즉, Ag 합금 패턴 (41a2) 의 배선길이의 조정에 의해 행하고 있다.
도 11 을 참조하면, 비교예의 경우 저항치의 변동 ΔR 는 750Ω 또는 125.1 Ω 에 달하고, 이것에 대응하여 전압 강하의 차 ΔVdrop 도 10mA 의 구동전류가 흐른 경우 7.5V 또는 1.25V 에 달한다. 이에 반하여, 본 발명에서는, 접속부 (21C 또는 41C) 에서의 배선길이 차에 기인한 배선패턴 (21c 또는 41c) 의 저항치의 변동 ΔR 이, 실험예 1 의 경우 83.4Ω 까지, 또한 실험예 2 의 경우에는 15.1 까지 저감되고, 이와 함께 전압 강하의 차 ΔVdrop 도 실험예 1 의 경우 0.83V 까지, 실험예 2 의 경우에는 0.15V 까지 감소하고 있는 것을 알 수 있다.
이상의 설명에서는, 상기 구간 B1 과 B2 에서, 배선길이 Lb1k 와 배선길이 Lb2k 가 번호 k 와 함께 직선적으로 변화하는 경우를 고찰하였지만, 본 발명과 같이 배선길이로 트리밍하는 경우에는, 도 11 에서도 알 수 있는 바와 같이 다소의 패터닝 오차가 생기더라도 저항치의 변동에는 그다지 영향을 주지 않기 때문에, 예를 들어 도 12 에 나타내는 바와 같이 구간 B1 에서의 배선길이 Lb1k 및 구간 B2 에서의 배선길이 Lb2k 를 계단형으로, 또는 원호형으로 변화시키는 것도 가능하다. 단, 도 12 중 앞서 설명한 부분에는 동일한 참조부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 6 또는 도 11 의 접속부 (11C 또는 21C) 는 필요에 따라 데이터전극 (21b) 과 구동회로 (22B) 의 접속부에도 형성할 수 있다.
[제 3 실시예]
도 13 은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 구성의 일부를 나타낸다. 단, 도 13 중 앞서 설명한 부분에는 대응하는 참조부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 13 은, 앞서 설명한 도 7a 와 마찬가지인 구간 B1 에서의 단면도인데, 본 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동 유기 EL 표시장치는 앞서 도 6 에서 설명한 유기 EL 표시장치 (20) 의 일 변형예이고, 이들과 거의 동일한 구성을 갖지만, 상기 ITO 패턴 (21a1) 과 저저항패턴 (21a2) 의 위치가 상대적으로 어긋나 있는 점에서 상이하다.
이러한 경우에도, 상기 단자부 (21T) 에서는, 상기 저저항 Cr 막 (21a2) 을 제거함으로써 ITO 패턴 (21a1) 만 노출되어, 도 7b 와 동일한 단면구조가 얻어진다. 따라서, 본 실시예에서도 플렉시블 기판에 대하여 ITO 패턴을 사이에 둔 양호한 압착이 실현된다.
[제 4 실시예]
도 14 는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 구성의 일부를 나타낸다. 단, 도 14 중 앞서 설명한 부분에는 대응하는 참조부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 14 는, 앞서 설명한 도 7a 와 마찬가지인, 구간 B1 에서의 단면도인데, 본 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동 유기 EL 표시장치는 앞서 도 6 에서 설명한 유기 EL 표시장치 (20) 의 일 변형예이고, 이들과 거의 같은 구성을 갖지만, 상기 ITO 패턴 (21a1) 과 저저항패턴 (21a2) 의 위치가 상하 바뀌어 있는 점에서 상이하다. 즉, 상기 Cr 패턴 (21a2) 이 하측 패턴이 되고, ITO 패턴 (21a1) 이 하측 패턴으로 되어 있다.
이러한 경우에도, 상기 단자부 (21T) 에서는, 상기 저저항 Cr 막 (21a2) 을 제거함으로써 ITO 패턴 (21a1) 만 노출되어, 도 7b 와 동일한 단면구조가 얻어진다. 따라서 본 실시예에서도 플렉시블 기판에 대하여 ITO 패턴을 사이에 둔 양호한 압착이 실현된다.
도 15 는 도 14 의 추가 변형예이고, 도 14 에서의 상측 ITO 패턴 (21a1) 과 하측 Cr 패턴 (21a2) 의 관계가 상대적으로 어긋나 있는 경우를 나타낸다.
이러한 경우에도, 상기 단자부 (21T) 에서는, 상기 저저항 Cr 막 (21a2) 을 제거함으로써 ITO 패턴 (21a1) 만 노출되어, 도 7b 와 동일한 단면구조가 얻어진다. 따라서, 본 실시예에서도 플렉시블 기판에 대하여 ITO 패턴을 사이에 둔 양호한 압착이 실현된다.
[제 5 실시예]
도 16 은 본 발명의 제 5 실시예에 의한 패시브 매트릭스 구동형 유기 EL 표시장치의 구성의 일부를 나타낸다. 단, 도 16 중 앞서 설명한 부분에는 동일한 참조부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 16 을 참조하면, 본 실시예에서는, 상기 구간 B1 에서 상기 ITO 패턴 (21a1) 상에 형성된 저저항 Cr 패턴 (21a2) 를 1 또는 복수 개소에서 제거하고, 이것에 의해 이 부분에 저항을 발생시키고 있다.
그래서 이러한 저항 형성 개소를, 각각의 배선패턴 (21c) 에, 대응하는 주사라인 (21a) 의 위치에 따라 형성함으로써, 즉, 그 개수 또는 길이를 조정함으로써, 상기 배선패턴 (21c) 의 저항치를 대응하는 주사라인 (21a) 에 따라 조정하는 것이 가능해진다.
또한 본 발명은, 유기 EL 표시장치뿐만 아니라 패시브 매트릭스 구동되는 다른 전류구동형 표시장치, 예를 들어 플라즈마 표시장치 (PDP), LED 어레이 표시장치, 또는 광원 등에도 적용가능하다.
그리고 본 발명은 전류구동형 표시장치뿐만 아니라 패시브 매트릭스 구동형 또는 액티브 매트릭스 구동형 액정표시장치에도 적용가능하다.
본 발명에 의하면, 표시장치의 표시영역을 연장하는 구동전극을 수렴시켜 구동회로에 접속하는 접속부에 있어서, 보조전극의 길이를 이러한 접속부에서의 배선패턴의 길이에 따라 변화시킴으로써, 접속부에서 상이한 배선패턴 사이에서 생기는 저항차, 따라서 전압 강하량의 차를 배선패턴의 위치에 관계없이 일정하게 설정하는 것이 가능하여, 표시장치가 균일한 구동이 가능하게 된다.

Claims (18)

  1. 기판과,
    상기 기판 상에 인접하여 배열되며, 제 1 방향으로 연장되는 복수의 전극패턴으로 이루어지는 제 1 전극군과,
    상기 기판 상에 인접하여 배열되며, 상기 제 1 방향과는 상이한 제 2 방향으로 연장되는 복수의 전극패턴으로 이루어지는 제 2 전극군과,
    각각 상기 제 1 전극군 중 하나의 전극패턴과 상기 제 2 전극군 중 하나의 전극패턴의 교점에 대응하여 형성된, 복수의 표시요소로 이루어지는 표시장치로서,
    적어도 상기 제 1 전극군은, 각각 일단에서 구동회로에 접속되어 상기 일단으로부터 타단까지의 길이가 서로 상이한 복수의 전극패턴을 포함하고,
    상기 복수의 전극패턴 각각은, 제 1 시트저항을 갖는 제 1 도전체와, 상기 제 1 시트저항보다 작은 제 2 시트저항을 갖는 제 2 도전체를 포함하는 적층구조를 가지며,
    상기 복수의 전극패턴 각각에는 상기 제 2 도전체를 제거한 고저항 영역이 형성되어 있고,
    상기 고저항 영역의 길이는, 상기 복수의 전극패턴마다 상기 전극패턴의 길이에 따라 상이한 표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 전극패턴에 있어서, 상기 고저항 영역의 길이는 전극패턴의 길이와 함께 감소하는 표시장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 전극패턴은, 상기 일단으로부터 타단까지 실질적으로 동일한 저항치를 갖는 표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에는, 상기 복수의 전극패턴이 제 1 간격으로 평행하게 연장되는 표시영역과, 상기 표시영역 중의 상기 복수의 전극패턴의 상기 일단이, 제 2 의, 보다 작은 간격으로 배열하는 단자영역과, 상기 표시영역 중의 상기 복수의 전극패턴이, 상기 단자영역 중의 대응하는 상기 일단에 각각 접속되는 접속부가 포함되어 있고, 상기 단자영역에서는 상기 전극패턴 각각에서 상기 제 2 도전체가 제거되어 있고, 상기 고저항영역은, 상기 접속영역 중에 상기 단자영역에 연속하도록 형성되어 있는 표시장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 표시영역에서 상기 제 1 전극군을 구성하는 상기 복수의 전극패턴은 상기 제 2 방향으로 반복 형성되어 있고, 상기 복수의 전극패턴 중 중앙의 전극패턴의 길이가 최단이고, 상기 전극패턴의 길이는 상기 중앙의 전극패턴으로부터 양 외 측 방향으로 대칭적으로 증대하는 표시장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 접속영역에 있어서, 상기 복수의 전극패턴은 평행관계를 유지하면서 연장되는 표시장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 고저항영역은, 상기 중앙의 전극패턴에서 최대의 길이를 갖고, 상기 고저항영역의 길이는, 상기 중앙의 전극패턴으로부터 양 외측 방향으로 대칭적으로 감소하는 표시장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 고저항영역의 길이는, 상기 중앙의 전극패턴으로부터 양 외측 방향으로, 상기 중앙의 전극패턴으로부터의 거리에 따라 직선적으로 감소하는 표시장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 고저항영역의 길이는, 상기 중앙의 전극패턴으로부터 양 외측 방향으로, 상기 중앙의 전극패턴으로부터의 거리에 따라 계단형으로 감소하는 표시장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 도전체는 투명산화물 전극재료로 이루어지고, 상기 제 2 도전체는 금속재료로 이루어지는 표시장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체 상에 적층되어 있는 표시장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체 중에 매설되어 있는 표시장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극군 중의 전극패턴은 별도의 구동회로에 접속되고, 상기 제 1 전극군 중의 전극패턴은, 상기 제 2 전극군 중의 전극패턴과 함께, 상기 교점에 형성된 표시요소 중을 흐르는 구동전류의 전류로를 형성하는 표시장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시요소는 유기 EL 표시장치인 표시장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 도전체는 상기 제 1 도전체에 대하여 상기 전극패턴의 폭방향으로 부분적으로 겹치도록 형성되어 있는 표시장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 도전체는 상기 제 2 도전체 상에 적층되어 있는 표시장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 2 도전체는 상기 제 1 도전체에 대하여 상기 전극패턴의 폭방향으로 부분적으로 겹치도록 형성되어 있는 표시장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에는, 상기 복수의 전극패턴이 제 1 간격으로 평행하게 연장되는 표시영역과, 상기 표시영역 중의 상기 복수의 전극패턴의 상기 일단이, 제 2 의, 보다 작은 간격으로 배열하는 단자영역과, 상기 표시영역 중의 상기 복수의 전극패턴이, 상기 단자영역 중의 대응하는 상기 일단에 각각 접속되는 접속부가 포함되어 있고, 상기 접속영역에서는 상기 전극패턴 각각에서 상기 제 2 도전체가 복수 개소에서 제거되어 있는 표시장치.
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