KR20060026885A - 박막형 압력센서 - Google Patents

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KR20060026885A
KR20060026885A KR1020057024776A KR20057024776A KR20060026885A KR 20060026885 A KR20060026885 A KR 20060026885A KR 1020057024776 A KR1020057024776 A KR 1020057024776A KR 20057024776 A KR20057024776 A KR 20057024776A KR 20060026885 A KR20060026885 A KR 20060026885A
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KR1020057024776A
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홀거 로렌쯔
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아이이이 인터내셔날 일렉트로닉스 앤드 엔지니어링 에스.에이.
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Abstract

본 발명의 박막형 압력센서는, 상기 압력센서의 활성구역을 형성하는 하나 이상의 리세스를 가지는 스페이서에 의해 소정의 거리로 서로 이격되고 서로 대향하여 배치되어 있는 제1 캐리어 박막 및 제2 캐리어 박막, 및 상기 제1 캐리어 박막 및 상기 제2 캐리어 박막이 서로 가압되는 경우 감압층을 통해 제1 전극과 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 이루어지도록 상기 제1 캐리어 박막 또는 상기 제2 캐리어 박막의 활성구역에 제공되는 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 감압층을 포함한다. 본 발명에 따르면, 상기 압력센서는, 상기 제1 캐리어 박막 및 상기 제2 캐리어 박막이 서로 가압되는 경우 상기 감압층에 의해 제3 전극과 상기 제1 전극 사이 및/또는 상기 제3 전극과 상기 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 형성되도록 상기 압력센서의 활성구역에서 상기 제1 캐리어 박막 또는 상기 제2 캐리어 박막에 제공되는 하나 이상의 상기 제3 전극을 갖는다.
압력센서, 캐리어 박막, 전극, 압력 민감재, 전기적 접촉, 좌석 점유 여부 센서

Description

박막형 압력센서 {PRESSURE SENSOR IN THE FORM OF A FILM}
본 발명은 박막형 압력센서에 관한 것이다.
박막형 압력센서, 예를 들어 멤브레인 스위치, 필름형 압력센서 등은 대개 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되는 적어도 2개의 본질적으로 탄성인 필름 층을 포함한다. 이것은, 예를 들어 스위치 부재의 활성구역(active zone) 둘레에 배치되는 스페이서에 의하며, 상기 스페이서에 2개의 필름 층의 각각의 에지가 접착제에 의해 고정된다. 스위치 부재의 활성구역에는, 필름 층에 상이한 접촉 배열이 가해지며, 2개의 필름 층이 서로 가압되면 이들 사이에 전기적 접촉이 이루어져서, 스위치 부재가 동작된다. 필름 층의 가압이 해제되면, 이들 필름 층은 그 탄성 특성에 의해 각자의 이격된 위치로 복귀되며, 상이한 접촉 배열 사이의 전기적인 접촉이 해제된다.
이러한 스위치 부재는 매우 양호한 응답 특성을 가지며, 탄성 필름 층의 적절한 구성에 의해 특정한 응용에 적용될 수도 있다. 이러한 유형의 스위치 부재는 장착 두께가 매우 작으며, 스위칭 표면에 부여될 수 있는 여러 상이한 형상에 의해 상세히 분류될 수 있다. 이러한 이유로, 상기와 같은 스위치 부재는, 크기가 작고 스위칭 표면의 구성이 유연한 것이 요구되는 경우에 특히 적절하다.
간단한 멤브레인 스위치에 비해, 박막형 압력센서는 활성구역에 추가의 압력 민감 층이 제공되어, 상기 압력 민감 층을 통한 접촉 배열 사이에 전기적 접촉이 이루어지도록 한다. 이러한 박막형 압력센서는 2가지 유형이 통상적으로 사용된다.
스루 모드(through-mode)로 기능하는 박막형 압력센서에서는, 제1 접촉 부재가 제1 캐리어 박막에 배치되고 제2 접촉 부재가 제2 캐리어 박막에 배치되며, 이들 2개의 캐리어 박막은 상기 2개의 접촉 부재가 서로 대면하도록 소정의 거리로 서로 이격 배치된다. 상기 2개의 접촉 부재 사이에는 반도체가 위치되어 센서가 동작되면 2개의 접촉 부재에 가압되어 2개의 접촉 부재 사이에 가해지는 압력을 변화시키는 저항의 역할을 한다.
션트 모드(shunt mode)로 기능하는 박막형 압력센서는, 제1 캐리어 박막에 소정의 거리로 서로 이격 배치되는 2개의 접촉 부재를 갖는다. 제2 캐리어 박막에는 반도체 층이 제공되어 2개의 접촉 부재 사이의 영역을 덮고 제1 및 제2 캐리어 박막이 서로 가압되면 상기 2개의 접촉 부재와 압력 의존성 접촉을 한다.
박막형 압력센서의 특정 유형에 관계없이, 그 압력에 따른 특성 저항 곡선은, 2개의 전극 부재 사이에 초기 접촉이 이루어지는 압력에 대응되는 트리거 포인트(trigger point)를 갖는다. 이러한 트리거 포인트 위에서, 상기 특성 곡선은 대응되는 캐리어 박막의 구성, 압력 민감 층, 및 전극의 구성에 의해 특정 응용의 요구에 부합될 수 있는 다이내믹 경로(dynamic path)를 나타낸다. 특성 곡선의 트리거 포인트는, 예를 들어 캐리어 박막 및 스페이서의 적절한 구성에 의해 소망의 값 으로 조정될 수 있다.
그러나, 이렇게 조정된 트리거 포인트 값은 센서 부재의 중앙 동작, 즉 센서 셀(sensor cell)의 활성구역의 중앙 영역에 가해지는 압력에 대하여만 유효하다. 동작이 중앙 영역의 외측에서 일어나면, 센서 셀의 멤브레인 기구에 의해, 전극은 트리거 임계점보다 높은 인가 압력에서만 접촉을 하게 된다. 그러나, 이것은 트리거 임계점에 근접한 인가 압력에 의한 센서 부재의 실제 동작은 확인되지 않는다는 것을 의미한다.
따라서, 본 발명의 과제는 중앙 영역의 외측에서 일어나는 동작이 확인될 수 있는 압력센서를 제안하는 것이다.
상기 과제는 본 발명의 청구범위 제1항에 따른 압력센서에 의해 해결된다. 본 발명의 박막형 압력센서는,
상기 압력센서의 활성구역을 형성하는 하나 이상의 리세스를 가지는 스페이서에 의해 소정의 거리로 서로 이격되고 서로 대향하여 배치되어 있는 제1 캐리어 박막 및 제2 캐리어 박막, 및
상기 제1 캐리어 박막 및 상기 제2 캐리어 박막이 서로 가압되는 경우 감압층(感壓層)을 통해 제1 전극과 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 이루어지도록 상기 제1 캐리어 박막 또는 상기 제2 캐리어 박막의 활성구역에 제공되는 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 감압층을 포함한다.
본 발명에 따르면, 상기 압력센서는, 상기 제1 캐리어 박막 및 상기 제2 캐리어 박막이 서로 가압되는 경우 상기 감압층에 의해 제3 전극과 상기 제1 전극 사이 및/또는 상기 제3 전극과 상기 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 형성되도록 상기 압력센서의 활성구역에서 상기 제1 캐리어 박막 또는 상기 제2 캐리어 박막에 제공되는 하나 이상의 상기 제3 전극을 갖는다.
본 발명에 따른 압력센서의 제3 전극은 상기 압력센서의 활성구역의 중앙 외측에 위치되는 것이 바람직하다. 이러한 방식에서, 압력센서의 중앙 외측에 압력이 가해지는 경우, 제3 전극은 따라서, 상기 감압층에 의해 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 형성되기 전에, 상기 감압층을 통해 상기 제1 전극 및/또는 상기 제2 전극과 접촉될 수 있다. 이러한 전기적 접촉은 접속된 측정 프로세서에 의해, 예를 들면 제3 전극과 제1 및/또는 제2 전극 사이의 저항 측정에 의해 측정될 수 있다. 따라서, 종래의 압력센서에 비해, 본 발명의 압력센서에 의하면, 센서의 중앙 영역 외측에서의 동작은, 압력센서에 가해진 힘이 압력센서의 실제 트리거 임계 영역에 놓이는 경우 이미 확인 가능하게 된다.
압력센서의 작동을 확인하기 위해 추가적으로 적어도 하나의 제3 전극이 또한 사용될 수 있다. 본 발명의 압력센서에서는, 제1 전극과 제2 전극 사이의 저항 및 제3 전극과 제1 및/또는 제2 전극 사이의 저항을 동시에 또는 교대로 측정하는 것이 가능하며, 스위치 부재에 가해진 압력의 대응 값이 확인될 수 있다. 압력 값에서 상당한 편차가 확인되었다면, 이것은 센서 셀의 오류 양태를 나타내는 것일 수 있다.
또한, 개별 전극의 서로에 대한 적절한 배치로 인해, 추가의 스위칭 스테이지를 구비한 압력센서를 제공하기 위해 적어도 하나의 제3 전극이 사용될 수 있다. 예를 들어, 전극은, 제1 압력 임계점을 초과하는 경우 제1 전극과 제2 전극 사이에 제1 전기적 접촉이 일어나고, 제1 압력 임계점보다 높은 제2 압력 임계점을 초과하는 경우 제3 전극과 제1 또는 제2 전극 사이에 제2 전기적 접촉이 일어나도록 서로에 대하여 위치될 수 있다. 이로 인해, 적절한 수의 추가의 제3 전극을 구비하여, 임의의 소망하는 수의 스위칭 스테이지를 구비한 스위치 부재가 원칙적으로 제조될 수 있다.
압력센서의 제1 형태의 실시예에서, 제1, 제2, 및 적어도 하나의 제3 전극은 제1 캐리어 박막에 대하여 소정의 거리로 서로 이격되어 나란히 배열되어 있다. 그리고, 제2 캐리어 박막에는, 감압층이 제1 전극, 제2 전극, 및 적어도 하나의 제3 전극과 대면하여 위치되도록, 상기 감압층이 제공된다.
다른 형태의 실시예에서, 제1 전극 및 제2 전극은 제1 캐리어 박막 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되고, 적어도 하나의 제3 전극은 제1 전극 및 제2 전극과 대면하여 위치되도록 제2 캐리어 상에 위치된다. 이러한 압력센서의 구성에서, 적어도 하나의 제3 전극 또는 제1 및 제2 전극에는 감압층이 제공될 수 있다.
또 다른 형태의 실시예에서, 제1 전극 및 제2 전극은 제1 캐리어 박막 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되고, 적어도 하나의 제3 전극은 제1 전극과 대면하여 위치되도록 제2 캐리어 상에 위치되며, 감압층이 제2 캐리어 박막 및 적어도 하나의 제3 전극에 대하여 제1 및 제2 전극과 대면하여 위치하도록 제공된다.
변형예에서는 적어도 2개의 추가적인 전극을 갖는다. 이러한 형태의 실시예에서, 제1 전극 및 제2 전극은 제1 캐리어 박막 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 배치된다. 제2 캐리어 박막 상에는, 제3 전극은 제1 전극과 대면하여 위치되고 제4 전극은 제2 전극과 대면하여 위치되도록, 제3 전극 및 제4 전극이 제공된다. 감압층은, 제1 전극 및 제2 전극과 대면하여 위치되도록, 제2 캐리어 박막, 제3 전극, 및 제4 전극에 제공된다.
전술한 형태의 실시예 외에, 이들 형태의 실시예를 조합할 수도 있다.
본 발명의 압력센서는 여러 가지로 응용이 가능하다. 이들 압력센서의 응용 중 하나는, 예를 들어 자동차용 좌석 점유 여부 센서의 분야이다. 이러한 좌석 점유 여부 센서는, 예를 들어 제1 압력 센서가 좌석의 제1 영역에 할당되고 제2 압력센서가 좌석의 제2 영역에 할당되도록 좌석 표면에 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되는, 전술한 압력센서들 중 2개의 센서를 포함한다. 이러한 구성에서, 제1 압력센서 및 제2 압력센서는 논리적 AND 게이트(gate)를 구성하도록 서로 연결된다.
좌석 점유 여부 센서의 가능한 형태의 실시예에서, 제1 압력센서 및 제2 압력센서는 직렬로 연결되어, 예를 들면 상기 제1 압력센서 및 상기 제2 압력센서 각각의 제3 전극이 서로 접촉되도록 한다.
적어도 2개의 추가적인 압력센서를 구비한 좌석 점유 여부 센서의 다른 형태의 실시예에서, 제3 압력센서는 논리적 OR 게이트를 구성하도록 제1 압력센서와 연결되고, 제4 압력센서는 논리적 OR 게이트를 구성하도록 제2 압력센서와 연결된다. 이들 논리적인 레이아웃을 구성하기 위해, 제1 압력센서와 제3 압력센서, 및 제2 압력센서와 제4 압력센서는 각각 병렬로 연결되어 있다. 이것은 예를 들어, 제1 및 제3 압력센서, 또는 제2 및 제4 압력센서의 제1 전극이 서로 접촉하고, 제1 및 제3 압력센서, 또는 제2 및 제4 압력센서의 제1 전극이 서로 접촉되는 경우에 가능하다.
도 1은 압력센서의 실시예에 관한 단면도이다.
도 2는 도 1에서 중앙이 동작된 것을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1에서 중앙이 아닌 측부가 동작된 것을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 압력센서 회로의 동작되지 않은 블록도이다.
도 5는 도 1의 압력센서의 구성을 나타내는 분해도이다.
도 6은 압력센서를 구비한 좌석 점유 여부 센서의 회로를 나타내는 블록도이다.
도 7은 압력센서의 다른 실시예에 관한 단면도이다.
도 8은 압력센서의 또 다른 실시예에 관한 단면도이다.
도 1은 압력센서의 실시예에 대한 단면도이다. 압력센서(10)는 스페이서(16)에 의해 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되는 제1 캐리어 박막(12) 및 제2 캐리어 박막을 포함한다.
리세스(18)의 내부에는 제1 전극(20) 및 제2 전극(22)이 제1 캐리어 박막 (12) 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 배치된다. 제3 전극(24) 및 제4 전극(26)도 마찬가지로 제2 캐리어 박막(14) 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 배치된다. 이러한 구성에서, 제3 전극 및 제4 전극은, 제3 전극이 제1 전극(20)과 대면하여 위치되고 제4 전극(26)이 제2 전극(11)과 대면하여 위치되도록 배치된다. 제3 전극(24) 및 제4 전극(26)에는 각각, 제3 전극(24)과 제4 전극(26) 사이의 공간이 완전히 연결되도록, 압력 민감재로 만들어진 층(26)이 제공된다.
도 1의 압력센서(10)는, 본질적으로 "션트 모드"의 압력센서를 나타내며, 제1 캐리어 박막(12) 및 제2 캐리어 박막(14)이 서로 가압되면, 감압층(28)을 통해 제1 전극(20)과 제2 전극(22) 사이에 전기적 접촉이 형성된다. 도 2는 압력센서(10)의 중앙이 동작된 상태(화살표 30으로 표시)를 나타낸다.
그러나, 제3 전극(24) 또는 제4 전극(26)의 결합에 의해, 압력센서(10)에는, 제1 전극(20)과 제3 전극(24) 사이 또는 제2 전극(22)과 제4 전극(26) 사이의 각각의 2개의 압력센서에는 "스루 모드"의 전기적 접촉이 또한 형성될 수 있다. 이로 인해, 본 실시예의 압력센서를 사용하는 경우, 센서의 동작이 중앙 영역의 외측에 발생하는 경우에도 확인이 가능하다. 압력센서의 이러한 중앙이 아닌 측부 동작을 도 3에 나타내었다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 인가된 압력(화살표 30으로 표시)은 압력센서의 활성구역 중앙에 작용하지 않고 중앙으로부터 측부로 변위되어 있다. 압력의 영향에 의해 제1 캐리어 박막(12)의 변형이 결과적으로 센서의 중앙에 대하여 대칭으로 발생하여, 일정한 압력에서는 제1 전극(20)과 제2 전극(22) 사이에 감압층(28)을 통한 전기적 접촉이 형성되지 않는다. 종래의 박막형 압력센서에서, 이러한 압력센서의 동작은 결과적으로 확인되지 않는다. 그러나, 본 발명의 압력센서에서는, 감압층(28)에 의해, 반대쪽에 위치된 제2 전극(22)과 제4 전극(26) 사이에서의 압력센서의 측부 동작이 확인될 수 있다.
도 4는 도 1이 압력센서에서 동작되지 않은 회로의 블록도이다. 제1 전극(20)과 감압층(28) 사이의 압력 의존성 접촉을 가변저항(40)으로서 회로 블록도에 나타내었다. 마찬가지로, 제2 전극(22)과 감압층(28) 사이의 압력 의존성 접촉을 가변저항(42)으로서 회로 블록도에 나타내었다. 저항(44)은 2개의 전극 사이의 감압층(28)을 나타낸다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 센서 부재가 동작되면, 전류가 제1 전극(20)으로부터 감압층(28)을 거쳐 제2 전극(22)으로 흐른다. 압력센서가 동작하지 않으면, 제1 또는 제2 전극(20 또는 22)과 감압층(28) 사이에 전기적 접촉이 형성되지 않는다. 이것을 도 4에 2개의 스위치(46, 48)로 나타내었다.
도 5는 본 발명의 압력센서의 여러 부재를 나타내는 분해도이다. 이 도면에서는 스페이서(16)를 원형의 리세스(18)로 개략적으로만 나타내었다.
도 6은 전술한 여러 압력센서(100, 102, 104, 106)를 포함하는 좌석 점유 여부 센서를 개략적으로 나타내는 도면이다. 각각의 압력센서(100, 102, 104, 106)는 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되어, 각각의 압력센서(100, 102, 104, 106)가 차량 좌석의 특정 구역에 할당될 수 있다.
각각의 압력센서(100, 102, 104, 106)는 공통의 연결 도체(108, 110)를 통해 측정 프로세서 유닛(미도시)에 연결된다. 이러한 구성에서, 각의 압력센서(100, 102, 104, 106)는 병렬로 연결되고 각각의 경우에 제1 전극(20)은 도체(110)와 연결되며, 제2 전극(22)은 도체(108)와 연결된다. 이러한 회로 레이아웃에 의해, 각각의 압력센서는 차량 좌석에 부분적으로 가해진 압력을 독립적으로 검지하여 부분적인 좌석 점유 여부를 확인할 수 있다. 이 경우, 좌석 점유 여부 센서의 출력 신호는 동작된 압력센서의 병렬 연결된 저항 체인(40-44-42)으로부터 컴파일된다.
이러한 회로 레이아웃에 더하여, 압력센서(100, 102)의 제3 전극(24)이 압력센서(104, 106)의 제4 전극(26)과 연결된다. 이러한 회로 레이아웃은, 압력센서(100, 102)의 병렬 연결된 접촉(42, 48)이 2개의 연결 도체(108, 110) 사이에서 압력센서(104, 106)의 병렬 연결된 접촉(42, 48)과 직렬로 연결되는 것을 의미한다.
상당히 넓은 범위의 좌석 점유이어서 예를 들어 압력센서(102)의 접촉(46, 40) 및 압력센서(106)의 접촉(42, 48) 모두가 폐쇄되는 경우, 좌석 점유 여부 센서의 출력 신호(저항)는 결과적으로 압력신호(102)의 가변저항(40) 및 압력센서(106)의 가변저항(42)의 직렬 연결에 의해 측정된다. 각각의 압력센서의 대응 배치에 의해, 좌석 점유 여부 센서의 이러한 상태는 확실하게 확인 가능하여, 이러한 넓은 범위의 좌석 점유가 별도로 확인될 수 있다.
압력센서(100, 102)의 제4 전극(26)은 선택적으로 압력센서(104, 106)의 제3 전극(24)과 연결될 수 있다. 이것은 도 6에서 점선으로 표시한 선택적 도체 트랙(conductor track)(112)으로 표시되었다.
연결 도체(108, 110) 사이의 도체 트랙의 무결성을 확인하기 위해 다이오드(114)가 회로에 결합될 수 있다.
도 7은 본 발명의 센서 부재를 구비한 다른 형태의 실시예의 압력센서(210)를 나타낸다. 제1 캐리어 박막(212) 및 제2 캐리어 박막(214)이 스페이서(216)에 의해 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되어 있다. 제2 캐리어 박막(214)은 제1 전극(220)에 고정되어 있고, 제1 캐리어 박막(212)은 소정의 거리로 서로 이격되어 배치된 3개의 전극(222, 224, 226) 상에 배치되며 각각의 전극(222, 224, 226)은 제1 전극(220)의 영역과 대면하도록 위치된다. 이러한 형태의 실시예에서, 압력 민감재로 만들어진 층(228)이 예를 들어 제1 전극(220)에 제공된다. 또는, 감압층(228)은 3개의 전극(222, 224, 226)에 제공될 수도 있다.
이렇게 구성된 압력센서(210)의 중앙이 동작되면, 제1 압력 임계점을 초과하는 순간, 전극(224)과 제1 전극(220) 사이에는 감압층(228)을 통해 전기적 접촉이 형성된다. 압력센서(210)에 가해진 압력이 더욱 증가되면, 일단 제2 압력 임계점이 초과되고, 전극(222)과 제1 전극(220) 사이 또는 전극(226)과 제1 전극(220) 사이에는 마찬가지로 전기적 접촉이 형성된다. 따라서, 압력센서(210)는 2개의 상이한 스위칭 임계점을 갖는다.
그러나, 압력센서가 측부에서, 예를 들어 전극(226)의 근처에서 동작하는 경우에는, 전극(224)과 제1 전극(220) 사이에 전기적 접촉이 형성되기 전에 전극(226)과 제1 전극(220) 사이에 전기적 접촉이 즉시 형성된다. 따라서, 압력센서(210)의 측부 동작이 확실하게 확인될 수 있다. 전극(222)과 전극(224) 사이 또는 전극(224)과 전극(226) 사이의 저항을 계산함으로써, 압력센서의 어느 쪽이 동작되었는지 확인할 수도 있다.
제1 캐리어 박막에 또 다른 전극을 추가함으로써 압력센서의 여러 독특한 스위칭 스테이지가 필요에 따라 증설될 수 있다. 또는, 전극(222, 224, 226)을 압력센서의 중심선에 대하여 대칭으로 분산시킴으로써, 여러 스위칭 스테이지가 추가적으로 증설될 수도 있다.
도 8은 또 다른 형태의 실시예의 압력센서(310)를 나타낸다. 이것은 션트 모드로 작동하는 압력센서이다.
이러한 압력센서에서는, 3개의 전극(320, 322, 324)이 제1 캐리어 박막(312)에 장착되고, 압력 민감재로 만들어진 층(328)이 제2 캐리어 박막(314)에 제공된다. 이러한 압력센서에서는, 전극(320)과 전극(322) 사이 또는 전극(322)과 전극(324) 사이의 저항 계산에 의해, 예를 들어 압력센서의 어느 쪽이 동작되었는지 확인하는 것이 가능하다.
[참조부호의 설명]
10 압력센서 12, 14 캐리어 박막
16 스페이서 18 리세스
20, 22, 24, 26 전극 28 감압층
30 인가된 압력 40, 42 표면 접촉의 가변저항
44 감압층을 통한 저항
46, 48 스위치 108, 110 연결 도체
100, 102, 104, 106 압력센서 112 선택적 도체 트랙
114 다이오드 212, 214 캐리어 박막
210 압력센서 216 스페이서
220, 222, 224, 226 압력센서 228 감압층
310 압력센서 312, 314 캐리어 박막
320, 322, 324 전극 328 감압층

Claims (13)

  1. 압력센서의 활성구역을 형성하는 하나 이상의 리세스를 가지는 스페이서에 의해 소정의 거리로 서로 이격되어 서로 대향하여 배치되어 있는 제1 캐리어 박막 및 제2 캐리어 박막, 및
    상기 제1 캐리어 박막 및 상기 제2 캐리어 박막이 서로 가압되는 경우 감압층(感壓層)을 통해 제1 전극과 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 이루어지도록, 상기 제1 캐리어 박막 또는 상기 제2 캐리어 박막의 활성구역에 제공되는 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 감압층을 포함하는
    박막형 상기 압력센서에 있어서,
    상기 제1 캐리어 박막 및 상기 제2 캐리어 박막이 서로 가압되는 경우 상기 감압층에 의해 제3 전극과 상기 제1 전극 사이 및/또는 상기 제3 전극과 상기 제2 전극 사이에 전기적 접촉이 형성되도록 상기 압력센서의 활성구역에서 상기 제1 캐리어 박막 또는 상기 제2 캐리어 박막에 하나 이상의 상기 제3 전극이 제공되는
    박막형 압력센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 전극, 제2 전극, 및 하나 이상의 제3 전극이 상기 제1 캐리어 박막 상에 소정의 거리로 서로 이격되어 나란히 제공되고, 상기 제2 캐리어 박막 상에는, 상기 감압층이 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 하나 이상의 제3 전극 과 대면하여 위치되도록 제공되는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 상기 제1 캐리어 박막 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되고, 상기 하나 이상의 제3 전극은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 대면하여 위치되도록 상기 제2 캐리어 박막 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하나 이상의 제3 전극에는 상기 감압층이 제공되는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 상기 감압층이 제공되는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 상기 제1 캐리어 박막 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 제공되고, 상기 하나 이상의 제3 전극은 상기 제2 캐리어 박막 상에서 상기 하나 이상의 제3 전극이 상기 제1 전극과 대면하도록 배치되고, 상기 감압층은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 대면하여 배치되도록 상기 제2 캐리어 박막 및 상기 하나 이상의 제3 전극 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 상기 제1 캐리어 박막 상에서 소정의 거리로 서로 이격되어 제공되고, 제3 전극 및 제4 전극은 상기 제3 전극이 상기 제1 전극과 대면하여 배치되고 상기 제4 전극이 상기 제2 전극과 대면하여 배치되도록 상기 제2 캐리어 박막 상에 제공되고, 상기 감압층은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 대면하여 배치되도록 상기 제2 캐리어 박막, 상기 제3 전극, 및 상기 제4 전극 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  8. 제1 압력 센서가 좌석의 제1 영역에 할당되고 제2 압력센서가 상기 좌석의 제2 영역에 할당되도록 상기 좌석의 표면에 소정의 거리로 서로 이격되어 배치되는, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 압력센서들 중 2개의 센서를 포함하는 좌석 점유 여부 센서(seat occupancy sensor)에 있어서,
    상기 제1 압력센서 및 상기 제2 압력센서는 논리적 AND 게이트(gate)를 구성하도록 서로 연결되어 있는
    좌석 점유 여부 센서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 압력센서 및 상기 제2 압력센서는 직렬로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 좌석 점유 여부 센서.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 압력센서의 상기 제3 전극과 상기 제2 압력센서의 상기 제3 전극은 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 좌석 점유 여부 센서.
  11. 제8항에 있어서,
    2개 이상의 추가적인 압력센서를 구비하고, 제3 압력센서는 논리적 OR 게이트를 구성하도록 상기 제1 압력센서와 연결되어 있고, 제4 압력센서는 논리적 OR 게이트를 구성하도록 상기 제2 압력센서와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 좌석 점유 여부 센서.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 압력센서와 상기 제3 압력센서가 병렬로 연결되어 있고, 상기 제2 압력센서와 상기 제4 압력센서가 병렬로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 좌석 점유 여부 센서.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 압력센서 및 상기 제3 압력센서의 상기 제1 전극들, 또는 상기 제2 압력센서 및 상기 제4 압력센서의 상기 제1 전극들이 서로 접촉되어 있고, 상기 제1 압력센서 및 상기 제3 압력센서의 상기 제2 전극들, 또는 상기 제2 압력센서 및 상기 제4 압력센서의 상기 제2 전극들이 각각 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 좌석 점유 여부 센서.
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