KR20050097560A - 액정표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 기판 상에 형성된 게이트 배선 및 게이트 패드;상기 게이트 배선을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 형성된 데이터 배선 및 데이터 패드;상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차 지점에 형성된 박막트랜지스터;상기 박막트랜지스터를 포함한 전면에 형성된 보호막;상기 보호막을 포함한 전면에 형성되어 상기 보호막과 동일한 패턴을 가지는 오버코트층;상기 보호막 및 오버코트층을 관통하여 상기 박막트랜지스터에 접속되는 화소전극;상기 게이트 절연막, 보호막 및 오버코트층이 제거된 제 1 패드오픈영역을 통해 상기 게이트 패드를 커버하는 제 1 투명도전막;상기 보호막 및 오버코트층이 제거된 제 2 패드오픈영역을 통해 상기 데이터 패드를 커버하는 제 2 투명도전막을 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 보호막 및 오버코트층은 동시에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 오버코트층은 포토 아크릴 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 보호막과 오버코트층 사이에 블랙 매트릭스 및 컬러필터층이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 패드부 영역의 게이트 절연막은 상기 보호막 및 오버코트층과 동시에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 데이터 패드 하부에 독립된 섬모양의 게이트 메탈이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 6 항에 있어서,상기 게이트 메탈은 상기 게이트 배선과 동일층에 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제 7 항에 있어서,상기 게이트 메탈 상부에 게이트 절연막, 데이터 패드, 보호막 및 오버코트층이 제거된 제 3 패드오픈영역이 더 구비되고,상기 제 2 투명도전막은 상기 제 2 ,제 3 패드오픈영역을 통해 상기 데이터 패드 및 게이트 메탈에 동시 접속되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 기판 상에 게이트 배선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 형성하는 단계;상기 게이트 배선을 포함한 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 상에 반도체층을 형성하는 단계;상기 게이트 배선에 수직교차하는 데이터 배선을 형성하고, 동시에 소스/드레인 전극 및 데이터 패드를 형성하는 단계;상기 데이터 배선을 포함한 전면에 보호막을 형성하는 단계;상기 보호막을 포함한 기판 전면에 오보코트층을 형성하는 단계;상기 오버코트층, 보호막, 게이트 절연막을 일공정에서 선택적으로 제거하여 콘택홀 및 제 1 ,제 2 패드오픈영역을 형성하는 단계;상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 접속하는 화소전극 및 상기 제 1 ,제 2 패드오픈영역을 통해 상기 게이트 패드 및 데이터 패드와 접속하는 제 1 ,제 2 투명도전막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 보호막을 형성하는 단계 이후,상기 보호막 상부의 소정 부위에 블랙 매트릭스 및 컬러필터층을 형성하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 게이트 절연막 및 보호막은 무기절연물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 오버코트층은 감광특성을 가진 유기절연물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 오버코트층은 포토 아크릴 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 오버코트층, 보호막, 게이트 절연막을 선택적으로 제거하여 콘택홀 및 제 1 ,제 2 패드오픈영역을 형성하는 단계는,상기 오버코트층을 현상하는 단계와,상기 현상된 오버코트층을 마스크로 하여 상기 보호막 또는 게이트 절연막을 식각하여 콘택홀 및 제 1 ,제 2 패드오픈영역을 형성하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 데이터 패드 하부에 게이트 메탈을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 게이트 메탈은 상기 게이트 배선과 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 오버코트층, 보호막, 게이트 절연막을 선택적으로 제거하여 콘택홀 및 제 1 ,제 2 패드오픈영역을 형성하는 단계에서,상기 게이트 메탈 상부의 오버코트층, 보호막, 게이트 절연막을 제거하여 제 3 패드오픈영역을 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 제 2 투명도전막을 상기 제 2 패드오픈영역을 통해 상기 데이터 패드에 접속시킴과 동시에,상기 제 3 패드오픈영역을 통해 상기 게이트 메탈에 접속시키는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
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