KR101620526B1 - 액정 표시 장치의 제조 방법과 이에 의한 액정 표시 장치 - Google Patents

액정 표시 장치의 제조 방법과 이에 의한 액정 표시 장치 Download PDF

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Abstract

제1 절연 기판과 제1 절연 기판 위의 데이터 배선 위에 형성된 데이터 절연막, 데이터 절연막 위에 형성된 컬러 필터층, 유기막층, 광차단층을 포함하며, 화면 표시 영역은 상기 컬러 필터층 위에 유기막층이 위치하고, 유기막층 위에 광차단층이 위치하며 주변 영역은 상기 컬러 필터층과 광차단층이 접촉하는 액정 표시 장치 에 관한 발명이다.

Description

액정 표시 장치의 제조 방법과 이에 의한 액정 표시 장치 {METHOD OF MAKING LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY THEREOF}
본 발명은, 액정 표시 장치의 제조 방법과 이에 의한 액정 표시 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극과 공통 전극 등 전기장 생성 전극(field generating electrode)이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 들어 있는 액정층을 포함한다. 액정 표시 장치는 전기장 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전기장을 생성하고, 이를 통하여 액정층의 액정 분자들의 방향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시하며, 영상을 표시하는 화면 표시 영역과 화면 표시 영역 주변에 형성되어 있는 주변 영역으로 나뉜다.
액정 표시 장치는 각종 신호선, 박막 트랜지스터 및 화소 전극이 형성된 박막트랜지스터 기판과, 공통 전극 등이 형성된 공통 전극 기판이 접합되어 있으며, 두 표시판은 기둥 스페이서에 의해 셀갭이 지지된다.
TV 용 액정 표시 장치의 셀갭은 통상적으로는 약 4um이며 적게는 2.8um 까지이다.
박막트랜지스터 기판에는 게이트 배선, 데이터 배선 등의 신호선이 형성되어 있으며, 데이터 라인 위에는 데이터를 보호하기 위한 데이터 절연막이 있으며, 데이터 절연막 위에는 컬러 필터층이 있다.
컬러 필터층 상부에는 컬러 필터층을 평탄화하기 위한 유기막층이 있으며, 유기막층 상부에는 투명 화소 전극이 있다. 투명 화소 전극 위에는 기둥 스페이서와 동시에 형성하는 광차단층이 형성되어 있다.
투명 화소 전극 위에 기둥 스페이서와 광차단층을 동시에 형성하는 구조에서, 광차단층의 광학밀도가 낮아져 주변 영역의 광차단층이 빛을 완벽히 차단하지 못하여, 주변 영역에 빛샘 현상이 발생한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치는 박막트랜지스터 기판의 데이터 라인 위에 데이터 절연막, 컬러 필터층, 유기막층을 형성하고 기둥 스페이서와 광차단층을 동시에 형성하며, 화면 표시 영역 외측의 주변 영역에서 광차단층의 광차단 효과를 증대하기 위해 유기막을 제거하고, 유기막을 마스크로 하여 패터닝되는 데이터 절연막이 유기막과 같이 제거되는 것을 방지하기 위해 데이터 절연막 위에 컬러 필터층을 형성하는 것이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치는, 화면 표시 영역과 주변영역을 가지는 제1 절연 기판, 상기 제1 절연 기판 위에 배치된 데이터 배선, 상기 데이터 배선 위에 배치된 데이터 절연막, 상기 데이터 절연막 위에 배치된 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 포함하며, 상기 화면 표시 영역에는 상기 컬러 필터층 위에 상기 유기막층이 위치하고, 상기 유기막층 위에 상기 광차단층이 위치하며, 상기 주변 영역에는 상기 컬러 필터층과 상기 광차단층이 접촉한다.
상기 화면 표시 영역은 상기 데이터 절연막의 접촉 구멍과 상기 유기막층의 개구 패턴의 위치가 동일하고, 상기 주변 영역은 상기 데이터 절연막의 접촉 구멍과 상기 컬러 필터층의 개구부의 위치가 동일할 수 있다.
제2 절연 기판, 및 상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판간의 셀갭을 지지하는 기둥 스페이서를 더 포함하며, 상기 광차단층은 상기 기둥 스페이서와 동일한 물질로 형성되어 있을 수 있다.
상기 주변 영역의 상기 컬러필터층의 두께는 1.0um 이하일 수 있다.
상기 셀갭이 3.8um 이하일 수 있다.
상기 데이터 절연막의 접촉 구멍과 상기 유기막층의 개구 패턴의 측면은 연속적일 수 있다.
상기 주변 영역에 상기 유기막층과 동일한 물질로 형성된 돌기 패턴을 더 포함할 수 있다.
상기 주변영역에 위치하는 광차단층은 상기 돌기 패턴에 대응하는 위치에 높게 돌출되어 있는 기둥 스페이서를 포함할 수 있다.
상기 돌기 패턴 및 상기 기둥 스페이서의 하부에 위치하는 상기 컬러 필터층은 청색 컬러 필터층일 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 주변 영역을 가지는 제1 절연 기판 위에 데이터 배선을 형성하는 단계, 상기 데이터 배선 위에 데이터 절연막을 형성하는 단계, 및 상기 데이터 절연막 위에 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계는 상기 주변 영역에서 상기 유기막층을 제거하고 상기 컬러 필터층을 마스크로 하여 상기 데이터 절연막을 식각하는 단계를 포함한다.
제2 절연 기판을 배치하는 단계를 더 포함하며, 상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계 중 상기 광차단층을 형성하는 단계는 상기 1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 간의 셀갭을 지지하는 기둥 스페이서와 동시에 상기 광차단층을 형성할 수 있다.
상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계 중 상기 컬러 필터층을 형성하는 단계는, 상기 주변 영역에 대응하는 반투과 마스크를 사용하여 노광하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계 중 상기 컬러 필터층을 형성하는 단계는, 상기 주변 영역에 대응하는 반투과 마스크를 사용하여 노광하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 주변 영역에서 상기 유기막층을 제거할 때, 상기 기둥 스페이서에 대응하는 돌기 패턴을 남기고 상기 유기막층을 제거할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에서는 기판의 데이터 라인 위에 데이터 절연막, 컬러 필터층, 유기막층을 형성하고 기둥 스페이서와 광차단층을 동시에 형성하며, 화면 표시 영역 외측의 주변 영역에서는 광차단층의 두께를 높여 광차단 효과를 증대하기 위해 유기막을 제거하고, 유기막을 마스크로 하여 건식 식각되는 데이터 절연막이 유기막과 같이 제거되는 것을 방지하기 위해 주변 영역의 데이터 절연막 위에 두께 1.0um 이내의 컬러 필터층을 형성한다.
이를 통해 기둥 스페이서와 광차단층을 동시에 형성하는 박막트랜지스터 기판의 주변 영역에서, 광차단층의 두께를 높여 광차단 효과를 증대하고, 데이터 배선을 보호하는 데이터 절연막이 건식 식각되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이며,
도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 자른 단면도이고,
도 3 내지 도 7은 도 1 및 도 2의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법 중 일부를 순차적으로 나타낸 도면이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호가 사용되었다. 또한 널리 알려져 있는 공지기술의 경우 그 구체적인 설명은 생략한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “위에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 한편, 어떤 부분이 다른 부분 “바로 위에” 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “아래에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분 “바로 아래에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 한편, 어떤 부분이 다른 부분 “바로 아래에” 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
그러면, 본 발명의 공지 기술에 따른 액정 표시장치에 대하여 도 1 내지 도 2를 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이며, 도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.
액정 표시 장치는 박막 트랜지스터 기판(100)과 공통 전극 기판(101) 의 두 장의 표시판으로 이루어져 있으며, 화면 표시 영역(102)과 화면 표시 영역의 외측의 주변 영역(103)으로 영역이 구분된다.
주변 영역(103)은 박막 트랜지스터 기판(100)과 공통 전극 기판(101)이 접합된 부분 중 화면 표시 영역(102)을 제외한 부분으로서 도 1의 빗금친 부분(a)에 해당된다.
도 2를 중심으로 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.
먼저 박막 트랜지스터 기판(100)에 대하여 살펴본다.
박막 트랜지스터 기판(100)은 절연 기판(200)위에 게이트 메탈로 형성된 배선층(게이트 메탈 패턴(201) 및 게이트 패드 패턴(202) 포함)이 형성되어 있다. 게이트 메탈로 형성된 배선층 위에는 게이트 절연막(203)이 적층되어 있다. 게이트 절연막(203) 위에는 반도체 물질로 형성된 반도체층(204)이 형성되며, 반도체층(204)과 게이트 절연막(203)위에는 데이터 메탈로 형성된 배선층(데이터 배선(205) 및 드레인 전극(206) 포함)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(203), 반도체층(204) 및 데이터 메탈로 형성된 배선층위에는 질화 규소(SiNx) 등의 무기 절연 물질로 형성된 데이터 절연막(207)이 적층되어 있다. 데이터 절연막(207)의 상부에는 컬러 필터층(210, 300)이 형성되어 있다. 컬러 필터는 색별로 서로 다른 물질로 형성될 수 있으며, 도 2에서는 210과 300으로 구분하여 도시하였다. 210과 300은 서로 다른 물질로 형성된 컬러 필터일 수 있으며, 300은 주변 영역(a)에 형성된 컬러 필터이다. 주변 영역(a)의 컬러 필터(300)는 빛 샘을 줄이기 위하여 청색 컬러 필터일 수 있다. 컬러 필터층(210)위에는 유기막층(211)이 적층되어 있는데, 주변 영역(a)에서는 유기막층(211)이 제거되어 있다. 그 결과 도 2에서는 주변 영역(a)의 컬러 필터(300)위에는 유기막층(211)이 형성되어 있지 않으나, 실시예에 따라서는 일부 영역위에 유기막층(211)이 형성될 수 있다. 또한, 주변 영역(a)의 컬러 필터(300)위에는 유기막층(211)을 제거하면서 추후 기둥 스페이서(218)가 형성될 위치에 남겨둔 돌기 패턴(302)이 위치하고 있다. 돌기 패턴(302)은 기둥 스페이서(218)가 충분한 높이를 가질 수 있도록 도와주는 역할을 한다. 도 2에 의하면, 주변 영역(a)의 컬러 필터(300), 돌기 패턴(302) 및 기둥 스페이서(218)는 순차적으로 형성되어 있다.
유기막층(211) 위에는 투명한 도전물질로 형성된 화소 전극(214), 보조 패드(215) 및 연결부재(216)가 형성되어 있다. 화소 전극(214)은 컬러 필터층(210) 및 유기막층(211)에 각각 형성된 접촉 구멍(208) 및 개구 패턴(212)을 통하여 노출된 드레인 전극(206)과 전기적 물리적으로 연결되어 있다. 보조 패드(215)는 게이트 절연막(203), 데이터 절연막(207) 및 유기막층(211)을 통하여 노출된 게이트 패드 패턴(202)과 전기적 물리적으로 연결되어 있다. 연결부재(216)는 게이트 절연막(203), 데이터 절연막(207) 및 컬러 필터층(210)을 통하여 노출된 게이트 메탈 패턴(201)과 전기적으로 연결되어 있으며, 도 2에서는 데이터 절연막(207)의 접촉 구멍(209)과 컬러 필터층(210)의 개구부(301)가 표시되어 있다.
그 후, 광차단층(217) 및 기둥 스페이서(218)를 형성한다. 광차단층(217) 및 기둥 스페이서(218)는 흑색 유기 물질로 형성되며, 광차단층(217)은 표시 영역(102)의 일부 및 주변 영역(a)에 걸쳐 형성되어 있다. 한편, 기둥 스페이서(218)는 주변 영역(a)에 형성되어 있으며, 주변 영역(a)의 광차단층(217)과 기둥 스페이서(218)는 서로 연결되어 있다. 기둥 스페이서(218)는 돌기 패턴에 대응하는 위치에 형성되며, 돌기 패턴으로 인하여 광차단층(217)에 비하여 높게 돌출되어 있으며, 셀갭을 일정하게 유지시키는 역할을 한다.
한편, 공통 전극 기판(101)은 절연 기판(221)의 일면에 공통 전극(220)이 형성되어 있다.
박막 트랜지스터 기판(100)과 공통 전극 기판(101)은 실런트(219)에 의하여 서로 접합되어 있으며, 그 사이에는 액정층이 주입되어 있다. 박막 트랜지스터 기판(100)과 공통 전극 기판(101) 사이의 셀갭은 기둥 스페이서(218)를 포함하는 스페이서에 의하여 일정하게 유지되며 그 셀갭은 3.8um 이하일 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 도 2와 같이 주변 영역(a)에 컬러 필터층(300)이 존재하며 주변 영역(a)의 컬러 필터층(300)에 형성된 개구부(301)와 데이터 절연막(207)의 접촉 구멍(209)의 위치가 동일하다. 또한 화면 표시 영역에서는 데이터 절연막(207)의 접촉 구멍(208)과 유기막층(211)의 개구 패턴(212)의 위치가 동일하다.
그러면, 이제 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법 중 일부에 대하여 도 3 내지 도 6을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 3 내지 도 7은 도 1 및 도 2의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법 중 일부를 순차적으로 나타낸 도면이다.
먼저 도 3은 주변 영역(a)에 컬러 필터(300)를 형성하는 단계를 도시하고 있다. 도 3에 이르기 전에는 다음과 같은 단계가 수행되었다. 절연 기판(200)위에 게이트 메탈로 게이트 패드 패턴(202)과 게이트 메탈 패턴(201)을 형성한다. 이후, 게이트 절연막(203)을 증착하고 그 위에 반도체 물질과 데이터 메탈을 순차적으로 증착하고 식각하여 반도체층(204), 데이터 배선(205)과 드레인 전극(206)을 형성한다. 그 후, 질화 규소(SiNx) 등의 무기 절연막으로 데이터 배선 등을 보호하는 데이터 절연막(207)을 증착하고, 데이터 절연막(207) 상부에 컬러 필터용 물질을 코팅, 노광, 현상하여 컬러 필터층 (210)을 형성한다.
그 후, 도 3에서 도시하고 있는 바와 같이 주변 영역(a)에 형성할 컬러 필터용 물질(310)을 증착한다. 증착된 컬러 필터용 물질(310)을 식각한 후의 상태는 도 4에서 도시하고 있다. 주변 영역(a)의 컬러 필터(300)에는 투명 화소 전극 메탈로 형성될 연결부재(216)와 게이트 메탈 패턴(201)이 접촉할 수 있도록 연결부재 접촉 개구부(301)가 형성되어 있다.
주변 영역(a)의 컬러 필터층(300)은 두께가 너무 두꺼우면 이후에 컬러필터층(300) 상부에 위치하게 되는 광차단층(217)의 두께를 두껍게 할 수 없으므로 주변 영역(a)의 컬러 필터층(300)의 두께는 1.0um 이내로 할 수 있다. 표시 영역 내의 컬러 필터층(210)의 두께는 1.5um 이상이므로, 주변 영역(a)의 컬러 필터층(300) 두께를 1.0um 이내로 낮추기 위해서는 도 3에서와 같이 컬러 필터층 노광 시 주변 영역(a)은 노광기 해상력 이하의 선폭과 간격을 가지는 슬릿 패턴이 형성된 반투과 마스크(400) 등을 사용하여 노광한다. 이때, 반투과 마스크(400)에서 형성되는 슬릿 패턴은 크롬(Cr)등으로 형성되는 슬릿(401)과 그 사이의 개구부(402)로 이루어 질 수 있다. 주변 영역(a)의 컬러 필터(300)는 마스크(400)의 슬릿 패턴에 대응하며, 개구부(301)는 감광 특성에 따라 노광되거나 노광되지 않아서 컬러 필터용 물질(310)이 제거된 영역이다. 도 3에 따르면, 본 실시예에서는 컬러 필터용 물질(310)이 노광되지 않아 개구부(301)가 형성된다.
이후, 도 5에서 도시하고 있는 바와 같이, 컬러 필터층(210)을 평탄화하기 위해 유기 물질을 코팅, 노광, 현상하여 유기막층(211)을 형성하고 드레인 전극 접촉 개구 패턴(212)을 형성한다. 이때 주변 영역(a)은 기둥 스페이서(218)가 형성되는 부분에 섬형으로 형성한 유기막 돌기 패턴(302)을 제외하고 나머지 유기 물질은 모두 제거한다.
이후 도 6에서 도시하고 있는 바와 같이, 유기막층(211)을 마스크로 하여 데이터 절연막(207)을 건식 식각한다. 이때 주변 영역(a)은 유기막층(211)대신 컬러 필터층(300)이 마스크 역할을 하여 데이터 절연막(207)이 식각이 되지 않도록 한다. 그리하여 주변 영역(a)의 데이터 절연막(207)에는, 컬러 필터층(300)에 형성된 연결부재 접촉용 개구부(301)와 동일 위치에 연결부재 접촉용 접촉 구멍(209)이 형성되며, 화면 표시 영역의 데이터 절연막(207)에는 유기막층(211)에 형성된 드레인 전극 개구 패턴(212)과 동일 위치에 드레인 전극 접촉 구멍(208)이 형성된다. 이 때 데이터 절연막(207)의 접촉 구멍(208)과 유기막층(211)의 개구 패턴(212)의 측면은 연속적일 수 있다.
이후 도 7에서 도시하고 있는 바와 같이, 유기막층(211)상부에는 투명 화소 전극(214)과 연결부재(216) 등을 형성한다. 그 후, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 투명 화소 전극(214)과 연결부재(216)위에, 흑색 유기 물질로, 셀갭을 지지하는 기둥 스페이서(218)와 광차단층(217)을 동시에 형성한다.
도2를 참고하면, 공통 전극 기판(101)은 기판(221) 위에 공통 전극(220)을 형성하여 구성한다. 이후 박막 트랜지스터 기판(100)과 공통 전극 기판(101)을 실런트(219) 등으로 접합하며, 이 때 두 기판 간의 셀갭은 3.8um 이하일 수 있다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.
박막 트랜지스터 기판(100) 공통 전극 기판(101)
표시 영역(102) 주변 영역(103)
절연 기판(200, 221)
게이트 메탈 패턴(201) 게이트 패드 패턴(202)
게이트 절연막(203) 반도체층(204)
데이터 배선(205) 드레인 전극(206)
데이터 절연막(207) 접촉 구멍(208, 209)
컬러 필터층(210, 300) 유기막층(211)
개구 패턴(212) 화소 전극(214)
보조 패드(215) 연결부재(216)
광차단층(217) 기둥 스페이서(218)
실런트(219)
공통 전극(220) 컬러 필터층(300)
연결부재 접촉용 개구부(301) 돌기 패턴(302)
컬러 필터용 물질(310) 마스크(400)
슬릿(401) 개구부(402)
주변 영역(a)

Claims (25)

  1. 화면 표시 영역과 상기 화면 표시 영역의 외측의 주변영역을 가지는 제1 절연 기판,
    상기 제1 절연 기판 위에 배치된 데이터 배선,
    상기 데이터 배선 위에 배치된 데이터 절연막,
    상기 데이터 절연막 위에 배치된 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 포함하며,
    상기 화면 표시 영역에는 상기 컬러 필터층, 상기 유기막층 및 상기 광차단층이 배치되고, 상기 컬러 필터층 위에 상기 유기막층이 위치하고, 상기 유기막층 위에 상기 광차단층이 위치하며,
    상기 주변 영역에는 상기 컬러 필터층 및 상기 광차단층이 배치되고, 상기 컬러 필터층과 상기 광차단층이 접촉하는 액정 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 화면 표시 영역은 상기 데이터 절연막의 접촉 구멍과 상기 유기막층의 개구 패턴의 위치가 동일하고,
    상기 주변 영역은 상기 데이터 절연막의 접촉 구멍과 상기 컬러 필터층의 개구부의 위치가 동일한 액정 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    제2 절연 기판, 및
    상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판간의 셀갭을 지지하는 기둥 스페이서를 더 포함하며,
    상기 광차단층은 상기 기둥 스페이서와 동일한 물질로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 주변 영역의 상기 컬러필터층의 두께는 1.0um 이하인 액정 표시 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  6. 제 3항에서,
    상기 셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  7. 제 2항에서,
    상기 주변 영역의 컬러필터층의 두께는 1.0um 이하인 액정 표시 장치.
  8. 제 7항에서,
    셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  9. 제 2항에서,
    셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  10. 제 1항에서,
    제2 절연 기판, 및
    상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판간의 셀갭을 지지하는 기둥 스페이서를 더 포함하며,
    상기 광차단층은 상기 기둥 스페이서와 동일한 물질로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
  11. 제 10항에서,
    상기 주변 영역의 상기 컬러필터층의 두께는 1.0um 이하인 액정 표시 장치.
  12. 제 11항에서,
    상기 셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  13. 제 10항에서,
    상기 셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  14. 제 1항에서,
    상기 주변 영역의 상기 컬러필터층의 두께는 1.0um 이하인 액정 표시 장치.
  15. 제 14항에서,
    셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  16. 제 1항에서,
    셀갭이 3.8um 이하인 액정 표시 장치.
  17. 제 2항에서,
    상기 데이터 절연막의 접촉 구멍과 상기 유기막층의 개구 패턴의 측면은 연속적인 액정 표시 장치.
  18. 제 1항에서,
    상기 주변 영역에 상기 유기막층과 동일한 물질로 형성된 돌기 패턴을 더 포함하는 액정 표시 장치.
  19. 제18항에서,
    상기 주변영역에 위치하는 광차단층은 상기 돌기 패턴에 대응하는 위치에 높게 돌출되어 있는 기둥 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치.
  20. 제19항에서,
    상기 돌기 패턴 및 상기 기둥 스페이서의 하부에 위치하는 상기 컬러 필터층은 청색 컬러 필터층인 액정 표시 장치.
  21. 주변 영역을 가지는 제1 절연 기판 위에 데이터 배선을 형성하는 단계,
    상기 데이터 배선 위에 데이터 절연막을 형성하는 단계, 및
    상기 데이터 절연막 위에 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계는 상기 주변 영역에서 상기 유기막층을 제거하고 상기 컬러 필터층을 마스크로 하여 상기 데이터 절연막을 식각하는 단계를 포함하고,
    상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계 중 상기 컬러 필터층을 형성하는 단계는, 상기 주변 영역에 대응하는 반투과 마스크를 사용하여 노광하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치 제조 방법.
  22. 제 21항에서,
    제2 절연 기판을 배치하는 단계를 더 포함하며,
    상기 컬러 필터층, 유기막층 및 광차단층을 형성하는 단계 중 상기 광차단층을 형성하는 단계는 상기 제1 절연 기판과 상기 제2 절연 기판 간의 셀갭을 지지하는 기둥 스페이서와 동시에 상기 광차단층을 형성하는 액정 표시 장치 제조 방법.
  23. 삭제
  24. 삭제
  25. 제 22항에서,
    상기 주변 영역에서 상기 유기막층을 제거할 때, 상기 기둥 스페이서에 대응하는 돌기 패턴을 남기고 상기 유기막층을 제거하는 액정 표시 장치 제조 방법.
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