KR20050083200A - Device and method for detecting broken edge of glass substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치는 유리기판이 이동할 예정인 위치의 하부 또는 상부에 배치되어 유리기판이 통과하는 동안에 유리기판을 인식하고 신호를 발생하는 적어도 2개의 센서와, 상기 적어도 2개의 센서와 전기적으로 연결되어 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 신호를 수신하고, 유리기판이 상기 적어도 2개의 센서 위 또는 아래를 통과하는 동안에 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 수신되는 신호를 판독하여 유리기판이 각각의 센서를 완전히 통과하는데 소요되는 각각의 시간을 결정하거나, 또는 유리기판이 상기 적어도 2개의 센서 위 또는 아래를 통과하는 동안에 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 수신되는 신호로부터 각각의 펄수의 개수를 카운트하며, 이러한 각각의 결정된 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교하여 유리기판의 파손여부를 판정하는 제어기를 포함한다. 본 발명은 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산라인을 이동하는 유리기판의 모서리 부분에서 쉽게 발생하는 파손을 유리기판이 이동하는 상태에서 최소한의 광센서를 이용하여 검출할 수 있고, 특히 유리기판이 각 공정간을 이동할 때 유리기판의 파손여부가 검출가능하여 별도의 측정을 위한 시간이 요구되지 않으며 2~3개의 센서만으로도 유리기판의 모든 모서리의 파손을 검출할 수 있다. Apparatus for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention is at least two sensors disposed on the bottom or top of the position where the glass substrate is to move to recognize the glass substrate and generate a signal during the passage of the glass substrate, and Is electrically connected to at least two sensors to receive signals from each of the at least two sensors, and read signals received from each of the at least two sensors while a glass substrate passes over or below the at least two sensors. To determine the respective time it takes for the glass substrate to pass completely through each sensor, or from the signals received from each of the at least two sensors while the glass substrate passes over or below the at least two sensors. Count the number of pearls, each of these determined times or each As it compared with the determined number of count peolsu advance a reference value and a controller for determining the damage of the glass substrate. The present invention can detect the breakage easily occurring at the edge portion of the glass substrate moving the production line of the flat panel display device using a minimum optical sensor in the state in which the glass substrate is moved, in particular the glass substrate between each process It is possible to detect the breakage of the glass substrate when moving it, so that no time for separate measurement is required, and the breakage of all edges of the glass substrate can be detected by only two or three sensors.
Description
본 발명은 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산라인을 이동하는 유리기판의 모서리(엣지) 부분에서 쉽게 발생하는 파손을 유리기판이 이동하는 상태에서 최소한의 광센서를 이용하여 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for detecting breakage of an edge portion of a glass substrate, and more particularly, to a glass substrate that is easily broken at an edge (edge) portion of a glass substrate that moves a production line of a flat panel display device. The present invention relates to an apparatus and a method for detecting using a minimum optical sensor in a moving state.
일반적으로 유리기판은 액정표시장치(LCD)나 플라즈마 패널 디스플레이(PDP)와 같은 플랫 패널 디스플레이 장치의 제조에 있어서 필수불가결한 구성부품이다. 액정표시장치 등의 플랫 패널 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는 유리기판에 세정공정, 막의 도포공정, 현상공정 등의 처리공정을 반복하여 실시하게 되는데, 액정표시장치 등의 생산라인은 이러한 처리공정을 수행하기 위해 복잡한 장치들로 이루어져 있게 된다. 최근에는 유리기판에 이러한 처리공정을 자동으로 수행하기 위한 자동화 생산 시스템으로서 인라인 생산 시스템과 클러스터 생산 시스템이 개발되어 사용되고 있는데, 이러한 생산시스템들의 각 처리단계에 있어서 유리기판의 이송 및 처리는 매우 중요하다. In general, glass substrates are indispensable components in the manufacture of flat panel display devices such as liquid crystal display (LCD) and plasma panel display (PDP). In order to manufacture a flat panel display device such as a liquid crystal display device, a glass substrate is repeatedly subjected to a treatment process such as a cleaning process, a film coating process, and a developing process. A production line such as a liquid crystal display device performs such a processing process. It is composed of complicated devices. Recently, in-line production systems and cluster production systems have been developed and used as automated production systems for automatically performing these processes on glass substrates. The transport and processing of glass substrates is very important in each processing step of these production systems. .
액정표시장치나 플라즈마 패널 디스플레이의 생산 시스템은 전술한 바와 같은 여러가지 반복되는 처리공정을 수행하기 위해 복잡한 다수의 장치들로 이루어져 있는데, 유리기판은 이러한 다수의 장치들간을 이동해야 하고 다수의 반복처리과정에 노출되기 때문에 파손에 취약할 수 밖에 없고 특히 유리기판의 모서리(엣지) 부분은 파손에 취약하다. 따라서, 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산라인에서 하나의 공정이 완료된 다음 유리기판을 다음 공정에 투입하기 전에는 반드시 공정실수에 의해 발생하거나 이송중 발생하는 유리기판의 파손, 특히 4개의 모서리 부분의 파손을 검출하여 유리기판의 이상여부를 확인할 필요가 있다. 만약, 이러한 유리기판의 파손을 확인하지 않고 파손된 유리기판이 클러스터 생산 시스템과 같은 자동화 시스템의 공정모듈에 투입될 경우 공정불량 뿐만아니라 예측하지 못한 시스템의 오작동 및 고장을 발생시킬 수 있다. The production system of a liquid crystal display or a plasma panel display is composed of a plurality of complex devices to perform various repetitive processing processes as described above. A glass substrate must move between these multiple devices, and a plurality of repetitive processing processes are required. Because it is exposed to, it is vulnerable to breakage, and the edge of the glass substrate is particularly vulnerable to breakage. Therefore, before a glass substrate is put into the next process after one process is completed in the production line of the flat panel display device, the breakage of the glass substrate caused by a process mistake or during transportation, in particular, the breakage of four corners is detected. Therefore, it is necessary to check whether the glass substrate is abnormal. If a broken glass substrate is put into a process module of an automated system such as a cluster production system without checking the damage of the glass substrate, it may cause not only a process defect but also an unexpected system malfunction and failure.
따라서, 본 발명이 속한 기술분야에서는 원활한 공정흐름과 파손된 유리기판의 유리조각으로 인한 시스템 장비의 손실을 최소화하기 위해 유리기판의 파손 여부를 공정모듈로의 투입 전에 실시하여 이상이 발견되면 경보를 발생시키는 등의 조치를 취하는 것이 일반적이었다. 즉, 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산 시스템과 같이 장시간의 공정처리를 하는 장비에서는 유리기판이 이송과정이나 각각의 복잡한 처리공정에서 파손될 우려가 있고 이러한 유리기판의 파손시에는 미세한 유리가루에 의해 공정불량 및 시스템 장비의 손실이 발생할 우려가 있기 때문에, 유리기판의 파손여부의 확인과정은 각 공정모듈로의 투입 전에 반드시 실시하여야 하는 과정인 것이다.Therefore, in the technical field to which the present invention belongs, if the abnormality is found by conducting the breakage of the glass substrate before inputting it into the process module in order to minimize the loss of system equipment due to the smooth process flow and the glass fragments of the broken glass substrate, It was common to take measures such as generating them. That is, in a long process process such as a production system of a flat panel display device, the glass substrate may be damaged during the transfer process or each complex processing process. Since there is a risk of loss of system equipment, the process of checking whether the glass substrate is damaged is a process that must be performed before input to each process module.
그러나, 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산 시스템에서 유리기판의 파손을 검출하는 종래의 방법은 유리기판을 각 처리공정에 투입하기 전에 유리기판을 정지시킨 상태에서 파손여부를 검출하는 방식이기 때문에 별도의 측정을 위한 시간이 요구되고 이로인해 각 공정 간의 흐름이 원활하지 못한 문제점이 있었다. 또한, 종래의 방법은 유리기판이 각 공정모듈로의 투입 전에 정지된 상태로 파손여부가 확인되어야 하는 문제점 외에 유리기판의 각 모서리에 대응하는 센서가 요구되기 때문에 센서가 많이 필요하고 제한된 범위 내에서만 측정이 가능한 문제점이 있었다. 특히, 플랫 패널 디스플레이 장치의 클러스터 생산 시스템은 유리기판을 적재하는 로드 락(load lock)과, 다수의 공정모듈(예를 들어 제1공정모듈부터 제6공정모듈)을 지원할 수 있는 패싯(facet)을 구비하는 트랜스포트 챔버 등으로 구성되는데, 이러한 클러스터 생산 시스템에서는 유리기판의 각 공정모듈로의 투입 전에 유리기판의 각각의 모서리의 파손여부가 유리기판이 적재되는 지지대 하부에 설치된 광센서에 의해 검출되도록 되어 있다. 그러나, 이러한 종래의 검출방식은 도 7에 도시된 바와 같이 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하기 위해 유리기판이 트랜스포트 챔버 내에 정지되어야 하고, 검출을 위한 광센서의 수가 공정모듈의 수에 비례하여 증가하므로(예를 들어, 6개의 공정모듈을 지원하는 클러스터 생산 시스템의 경우 14개의 센서요구), 광센서를 많이 요구하게 되는 문제점이 있었다. However, the conventional method of detecting the breakage of the glass substrate in the production system of the flat panel display apparatus is a method of detecting the breakage of the glass substrate in a stopped state before the glass substrate is put into each processing step. It required time for this, and there was a problem in that the flow between the processes was not smooth. In addition, the conventional method requires a sensor corresponding to each corner of the glass substrate, in addition to the problem that the glass substrate is stopped before being introduced into each process module, and thus requires a large number of sensors. There was a problem that can be measured. In particular, the cluster production system of a flat panel display device includes a load lock for loading a glass substrate and a facet capable of supporting a plurality of process modules (for example, the first to sixth process modules). In this cluster production system, the edge of each glass substrate is detected by an optical sensor installed in the lower part of the support on which the glass substrate is loaded before the glass substrate is introduced into each process module. It is supposed to be. However, in the conventional detection method, as shown in FIG. 7, the glass substrate must be stopped in the transport chamber to detect breakage of the edge portion of the glass substrate, and the number of optical sensors for detection is proportional to the number of process modules. As a result (for example, in the case of a cluster production system supporting six process modules, 14 sensors are required), there is a problem that a lot of optical sensors are required.
따라서, 본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산라인을 이동하는 유리기판의 모서리 부분에서 쉽게 발생하는 파손을 유리기판이 이동하는 상태에서 최소한의 광센서를 이용하여 검출하는 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention uses a minimum optical sensor in the state in which the glass substrate is moved in order to solve the problems of the prior art described above, the breakage easily occurring at the edge portion of the glass substrate for moving the production line of the flat panel display device. It is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for detecting the same.
또한, 본 발명은 유리기판이 각 공정모듈간을 이동할 때 유리기판의 파손여부가 검출가능하여 별도의 측정을 위한 시간이 요구되지 않으며 2~3개의 센서만으로도 유리기판의 모든 모서리의 파손을 검출할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. In addition, the present invention can detect the breakage of the glass substrate when the glass substrate is moved between each process module does not require time for a separate measurement and can detect the breakage of all the edges of the glass substrate with only two or three sensors. It is an object of the present invention to provide an apparatus and method which can be used.
본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치는,Apparatus for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention,
유리기판이 이동할 예정인 위치의 하부 또는 상부에 배치되어 유리기판이 통과하는 동안에 유리기판을 인식하고 신호를 발생하는 적어도 2개의 센서와,At least two sensors disposed below or above the position where the glass substrate is to be moved to recognize the glass substrate and generate a signal while the glass substrate is passing through;
상기 적어도 2개의 센서와 전기적으로 연결되어 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 신호를 수신하고, 유리기판이 상기 적어도 2개의 센서 위 또는 아래를 통과하는 동안에 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 수신되는 신호를 판독하여 유리기판이 각각의 센서를 완전히 통과하는데 소요되는 각각의 시간을 결정하거나, 또는 유리기판이 상기 적어도 2개의 센서 위 또는 아래를 통과하는 동안에 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 수신되는 신호로부터 각각의 펄수의 개수를 카운트하며, 이러한 각각의 결정된 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교하여 유리기판의 파손여부를 판정하는 제어기를 포함한다. Is electrically connected to the at least two sensors to receive signals from each of the at least two sensors, and receives signals from each of the at least two sensors while a glass substrate passes over or below the at least two sensors. Read out to determine each time it takes for the glass substrate to fully pass through each sensor, or from the signals received from each of the at least two sensors while the glass substrate passes over or below the at least two sensors, respectively. And a controller for counting the number of pearls, and determining whether the glass substrate is damaged by comparing each determined time or number of counted pearls with a predetermined reference value.
본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치에 있어서, 상기 제어기는 상기 각각의 결정된 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교하여 그 시간 또는 펄수의 개수가 미리 결정된 기준값 보다 작은 경우에는 유리기판의 파손이 있는 것으로 판정하고, 동일한 경우에는 유리기판의 파손이 없는 것으로 판정한다.In the apparatus for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention, the controller compares each determined time or the number of counted pearls with a predetermined reference value and the number of times or number of pearls is a predetermined reference value. If smaller, it is determined that there is a breakage of the glass substrate, and in the same case, it is determined that there is no breakage of the glass substrate.
한편, 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 적어도 2개의 센서는 유리기판의 좌우 엣지 부분이 이동할 예정인 위치의 하부 또는 상부에 좌우 한쌍으로 배치되어 유리기판이 통과하는 동안에 유리기판을 인식하고 신호를 발생하는 엣지 센서 및/또는 이들 엣지 센서의 사이에 위치한 기준센서를 포함한다. 이러한 기준센서는 각각의 엣지센서로부터 발생되는 신호에 대한 동기신호를 발생시키기 위한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에서 사용되는 센서들은 광센서로서 반사형 센서 보다는 투과형 센서를 사용한다. 통상, 반사형 센서는 반사각도에 따라 민감하게 반응하는데 유리기판의 휨에 따라서 감도차이가 많이 발생하게 된다. 따라서, 가장자리가 많이 휘는 유리기판의 특성을 감안하여 센서는 검출이 용이하도록 투과형을 사용하는 것이 바람직하다. 광센서로는 응답특성이 좋은 것이 사용되는데, 특히 센서응답시간이 200㎲이하의 것이 사용되는 것이 바람직하다.On the other hand, in a preferred embodiment of the device for detecting the breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention, the at least two sensors are arranged in a pair of left and right on the lower or upper portion of the position where the left and right edge portions of the glass substrate are to move An edge sensor that recognizes a glass substrate and generates a signal while the substrate passes, and / or a reference sensor positioned between these edge sensors. The reference sensor is for generating a synchronization signal with respect to the signal generated from each edge sensor. The sensors used in the preferred embodiment of the present invention use transmissive sensors rather than reflective sensors as optical sensors. In general, the reflective sensor responds sensitively to the angle of reflection, but a large sensitivity difference occurs due to the bending of the glass substrate. Therefore, in consideration of the characteristics of the glass substrate having a large curved edge, it is preferable that the sensor uses a transmissive type for easy detection. As the optical sensor, one having good response characteristics is used. Particularly, a sensor response time of less than 200 ms is preferably used.
또한, 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치에서 제어기로는 전용마이크로프로세서가 사용되는데, 이동되는 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하기 위해서는 그 스캔시간이 짧은 제어기가 사용되는 것이 바람직하다. 제어기는 전술한 바와 같은 엣지센서나 기준센서와 같은 광센서가 온(ON)되는 동안에 그 온되는 동안의 시간 또는 펄스의 개수를 결정한 후 미리 결정된 기준값과 비교하여 유리기판의 파손여부를 판정한다. In addition, a dedicated microprocessor is used as a controller in the apparatus for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention. In order to detect breakage of the edge portion of the glass substrate being moved, a controller having a short scan time is used. desirable. The controller determines whether the glass substrate is broken by comparing the predetermined time value or the number of pulses while the optical sensor such as the edge sensor or the reference sensor is turned on, and comparing the predetermined reference value.
한편, 이동하는 유리기판의 파손여부를 검출하는 분해능은 센서응답 시간, 제어기 스캔시간, 유리기판 이동속도에 의하여 결정되는데, 유리기판 이동속도를 1000mm/sec로 하고, 센서응답시간과 제어기 연산시간을 합쳐서 고려한 제어 샘플링 시간을 500㎲로 할 경우, 최소분해능은 0.5mm/펄스가 된다. 이러한 경우 이동하는 유리기판은 0.5mm의 정밀도로 파손여부가 측정될 수 있다. 또한, 최소검출간격은 작게 할수록 작은 파손부위를 검출할 수 있기 때문에 센서와 기구 구조가 허용되는 한 작게 세팅하는 것이 바람직하다. On the other hand, the resolution for detecting whether the moving glass substrate is damaged is determined by the sensor response time, the controller scan time, and the glass substrate movement speed. The glass substrate movement speed is 1000mm / sec, and the sensor response time and controller operation time are determined. In total, the control sampling time taken into consideration is 500 ms, and the minimum resolution is 0.5 mm / pulse. In this case, the moving glass substrate can be measured whether the breakage is accurate to 0.5mm. In addition, since the smallest detection interval can be detected as the minimum detection interval is smaller, it is preferable to set the sensor and mechanism as small as possible.
또한, 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치는 입출력 인터페이스에 의해 제어기와 전기적으로 연결된 메인콘트롤러를 더 포함할 수 있는데, 이 메인콘트롤러는 플랫 패널 디스플레이 장치의 인라인 생산 시스템 또는 클러스터 생산 시스템 전체를 제어하는 장치로서 본 발명의 제어기에서 유리기판의 파손을 판정하는 경우 경보장치를 제어하여 경보신호를 발생시키거나 또는 유리기판을 이송하는 이송장치를 제어하여 유리기판의 이동을 멈추게 한다. In addition, the apparatus for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention may further include a main controller electrically connected to the controller by the input and output interface, the main controller is in-line production system or cluster production of the flat panel display device When the controller of the present invention determines the breakage of the glass substrate as a device for controlling the whole system, the alarm device is controlled to generate an alarm signal or to control the transfer device for transferring the glass substrate to stop the movement of the glass substrate.
한편, 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 방법은,On the other hand, the method for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention,
유리기판이 이동할 예정인 위치의 하부 또는 상부에 배치된 적어도 2개의 센서에서 유리기판이 통과하는 동안에 유리기판을 인식하고 신호를 발생하는 단계와,Recognizing the glass substrate and generating a signal during the passage of the glass substrate in at least two sensors disposed below or above the position where the glass substrate is to be moved;
상기 적어도 2개의 센서와 전기적으로 연결되어 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 신호를 수신하는 제어기에서, 유리기판이 상기 적어도 2개의 센서 위 또는 아래를 통과하는 동안에 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 수신되는 신호를 판독하여 유리기판이 각각의 센서를 완전히 통과하는데 소요되는 각각의 시간을 결정하거나, 또는 유리기판이 상기 적어도 2개의 센서 위 또는 아래를 통과하는 동안에 상기 적어도 2개의 센서의 각각으로부터 수신되는 신호로부터 각각의 펄수의 개수를 카운트하는 단계와, A controller electrically connected to the at least two sensors to receive a signal from each of the at least two sensors, the glass substrate being received from each of the at least two sensors while passing over or below the at least two sensors Read the signal to determine each time it takes for the glass substrate to pass completely through each sensor, or the signal received from each of the at least two sensors while the glass substrate passes over or below the at least two sensors Counting the number of each pearl from
상기 제어기에서 상기 각각의 결정된 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교하여 유리기판의 파손여부를 판정하는 단계를 포함한다. And determining whether the glass substrate is damaged by comparing the determined time or the number of counted pearls with a predetermined reference value in the controller.
본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 방법에 있어서, 상기 유리기판의 파손여부를 판정하는 단계는 상기 각각의 결정된 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교하여 그 시간 또는 펄수의 개수가 미리 결정된 기준값 보다 작은 경우에는 유리기판의 파손이 있는 것으로 판정하고, 동일한 경우에는 유리기판의 파손이 없는 것으로 판정하는 것을 특징으로 한다.In the method for detecting the breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention, the step of determining whether the glass substrate is broken is determined by comparing each determined time or the number of counted pearls with a predetermined reference value. Or when the number of pearls is smaller than a predetermined reference value, it is determined that there is a breakage of the glass substrate, and in the same case, it is determined that there is no breakage of the glass substrate.
이하, 본 발명을 한정하지 아니하고 설명을 위한 예시로서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings as an example for description without limiting the present invention.
도 1은 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치의 개략적인 구성을 나타내고 있다. 본 발명의 장치는 유리기판(10)의 좌우 엣지 부분이 이동할 예정인 위치의 하부에 배치되어 유리기판이 통과하는 동안에 유리기판을 인식하고 신호를 발생하는 센서들(20)과, 이 센서들(20)과는 유리기판(10)을 사이에 두고 대향하여 위치하는 반사판(22)과, 이 센서들(20)과 전기적으로 연결되어 센서들(20)의 각각으로부터 신호를 수신하는 제어기(30)로 구성되어 있다. 본 발명의 장치의 제어기(30)는 유리기판(10)이 센서들(20)의 위를 통과하는 동안에 센서들(20)의 각각으로부터 수신되는 신호를 판독하여 유리기판(10)이 각각의 센서(20)를 완전히 통과하는데 소요되는 각각의 시간을 결정하거나, 또는 유리기판(10)이 센서들(20)의 위를 통과하는 동안에 센서들(20)의 각각으로부터 수신되는 신호로부터 각각의 펄수의 개수를 카운트한다. 제어기(30)에서는 각각의 결정된 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교하여 유리기판(10)의 파손여부를 판정하게 된다. 제어기(30)에서 유리기판(10)의 파손여부를 판정하는 구체적인 과정은 도 2 내지 도 4를 참조하여 후술하기로 한다. 한편, 본 발명의 장치는 외부장치 입출력 인터페이스에 의해 제어기(30)와 전기적으로 연결된 메인콘트롤러(40)를 추가로 구비할 수 있는데, 이 메인콘트롤러(40)는 제어기(30)에서 유리기판(10)의 파손을 판정하는 경우 경보장치(도시하지 않음)를 제어하여 경보신호를 발생시키거나 또는 유리기판(10)을 이송하는 이송장치(도시하지 않음)를 제어하여 유리기판(10)의 이동을 멈추게 한다. 1 shows a schematic configuration of an apparatus for detecting breakage of an edge portion of a glass substrate of the present invention. The apparatus of the present invention is arranged under the position where the left and right edge portions of the glass substrate 10 are to be moved, and the sensors 20 which recognize the glass substrate and generate a signal while the glass substrate passes, and the sensors 20 ) Is a reflection plate 22 facing each other with the glass substrate 10 interposed therebetween, and a controller 30 electrically connected to the sensors 20 to receive a signal from each of the sensors 20. Consists of. The controller 30 of the device of the present invention reads a signal received from each of the sensors 20 while the glass substrate 10 passes over the sensors 20 so that the glass substrate 10 can detect each sensor. Determine each time it takes to pass through 20 completely, or from the signal received from each of the sensors 20 while the glass substrate 10 passes over the sensors 20, Count the number. The controller 30 determines whether the glass substrate 10 is damaged by comparing each determined time or the number of counted pearls with a predetermined reference value. A detailed process of determining whether the glass substrate 10 is damaged by the controller 30 will be described later with reference to FIGS. 2 to 4. Meanwhile, the apparatus of the present invention may further include a main controller 40 electrically connected to the controller 30 by an external device input / output interface. The main controller 40 may include a glass substrate 10 at the controller 30. In the case of determining the breakage of the control panel, an alarm signal (not shown) is generated to generate an alarm signal, or a transfer device (not shown) that transfers the glass substrate 10 is controlled to move the glass substrate 10. To stop.
도 2에는 본 발명의 장치에서 정상적인 유리기판(10)이 하부에 위치한 엣지센서(20a, 20b) 및 기준센서(20c)를 통과할 때 정상적인 유리기판과 이들 센서의 위치관계를 나타내는 평면도가 도시되어 있다. 그리고, 도 2의 (a),(b) 및 (c)에는 정상적인 유리기판이 이동할 때 하부에 위치하는 엣지센서(20a), 엣지센서(20b) 및 기준센서(20c)로부터 각각 검출되는 신호의 파형이 시간축에 대해 도시되어 있다. 도 2의 (a)의 그래프를 살펴보면, 정상적인 유리기판(10)의 선단부가 엣지센서(20a)를 통과한 시점(t0)부터 유리기판(10)의 후단부가 엣지센서(20a)를 통과하는 시점(t3)까지 엣지센서(20a)는 유리기판(10)을 인식하여 일정한 크기의 신호를 발생시킴을 알 수 있고, 이 신호파형은 두 개의 엣지센서(20a, 20b) 사이에 위치한 기준센서(20c)에서 발생시킨 도 2의 (c)에 도시된 바와 같은 동기신호파형과 동일한 파형임을 알 수 있다. 또한, 도 2의 (b)의 그래프를 살펴보면, 정상적인 유리기판(10)의 선단부가 엣지센서(20b)를 통과한 시점(t0)부터 유리기판(10)의 후단부가 엣지센서(20b)를 통과하는 시점(t3)까지 엣지센서(20b)는 유리기판(10)을 인식하여 일정한 크기의 신호를 발생시킴을 알 수 있고, 이 신호파형은 두 개의 엣지센서(20a, 20b) 사이에 위치한 기준센서(20c)에서 발생시킨 도 2의 (c)에 도시된 바와 같은 동기신호파형과 동일한 파형임을 알 수 있다. 이러한 두 개의 엣지센서(20a, 20b)로부터의 신호파형이 기준센서(20c)에서 발생시킨 동기신호파형과 동일한 경우에는 유리기판(10)이 두 개의 엣지센서(20a, 20b)를 완전히 통과하는 동안에 소요되는 시간 또는 발생한 펄수의 개수가 미리 결정된 기준값과 일치하게 되어 결과적으로 제어기는 유리기판의 파손이 없는 것으로 판정하게 된다.FIG. 2 is a plan view showing the positional relationship between the normal glass substrate and these sensors when the normal glass substrate 10 passes through the edge sensors 20a and 20b and the reference sensor 20c positioned below in the apparatus of the present invention. have. 2 (a), 2 (b) and 2 (c) illustrate the signals detected from the edge sensor 20a, the edge sensor 20b and the reference sensor 20c respectively positioned below when the glass substrate is moved. The waveform is shown relative to the time axis. Referring to the graph of FIG. 2A, the rear end portion of the glass substrate 10 passes through the edge sensor 20a from the time point t 0 when the front end portion of the normal glass substrate 10 passes through the edge sensor 20a. It can be seen that the edge sensor 20a recognizes the glass substrate 10 until a point in time t 3 to generate a signal having a predetermined size, and the signal waveform is a reference sensor located between two edge sensors 20a and 20b. It can be seen that the waveform is the same as the synchronization signal waveform as shown in FIG. 2 (c) generated at 20c. Further, the rear end-edge sensor (20b) of the glass substrate 10 from the time (t 0), a distal end portion passes through the edge sensor (20b) of Looking at the graph of (b) of Figure 2, a normal glass substrate 10. Fig. It can be seen that the edge sensor 20b recognizes the glass substrate 10 to generate a signal having a predetermined size until the time t 3 passes, and the signal waveform is located between two edge sensors 20a and 20b. It can be seen that the waveform is the same as the synchronization signal waveform shown in (c) of FIG. 2 generated by the reference sensor 20c. When the signal waveforms from the two edge sensors 20a and 20b are the same as the synchronization signal waveform generated by the reference sensor 20c, the glass substrate 10 passes completely through the two edge sensors 20a and 20b. The time required or the number of generated pearls coincide with a predetermined reference value, and as a result, the controller determines that there is no breakage of the glass substrate.
도 3에는 본 발명의 장치에서 파손된 유리기판(10)이 하부에 위치한 엣지센서(20a, 20b) 및 기준센서(20c)를 통과할 때 파손된 유리기판과 이들 센서의 위치관계를 나타내는 평면도가 도시되어 있다. 그리고, 도 3의 (a),(b) 및 (c)에는 파손된 유리기판이 이동할 때 하부에 위치하는 엣지센서(20a), 엣지센서(20b) 및 기준센서(20c)로부터 각각 검출되는 신호의 파형이 시간축에 대해 도시되어 있다. 도 3의 (a)의 그래프를 살펴보면, 파손된 유리기판(10)의 선단부가 엣지센서(20a)를 통과한 시점(t1)부터 파손된 유리기판(10)의 후단부가 엣지센서(20a)를 통과하는 시점(t3)까지 엣지센서(20a)는 유리기판(10)을 인식하여 일정한 크기의 신호를 발생시킴을 알 수 있고, 이 신호파형은 두 개의 엣지센서(20a, 20b) 사이에 위치한 기준센서(20c)에서 발생시킨 도 3의 (c)에 도시된 바와 같은 동기신호파형과는 달리 to 부터 t1 구간에서 신호가 발생되지 않았음을 알 수 있다. 이러한 to 부터 t1 구간은 엣지센서(20a)를 통과하는 유리기판의 선단부의 엣지가 파손된 것이 검출되는 구간으로서 파손된 유리기판(10)이 엣지센서(20a)를 완전히 통과하는 동안에 소요되는 시간 또는 발생한 펄수의 개수가 미리 결정된 기준값 보다 작게 되어 결과적으로 제어기는 유리기판의 파손이 있는 것으로 판정하게 된다. 또한, 도 3의 (b)의 그래프를 살펴보면, 파손된 유리기판(10)의 선단부가 엣지센서(20b)를 통과한 시점(t0)부터 파손된 유리기판(10)의 후단부가 엣지센서(20b)를 통과하는 시점(t2)까지 엣지센서(20b)는 유리기판(10)을 인식하여 일정한 크기의 신호를 발생시킴을 알 수 있고, 이 신호파형은 두 개의 엣지센서(20a, 20b) 사이에 위치한 기준센서(20c)에서 발생시킨 도 3의 (c)에 도시된 바와 같은 동기신호파형과는 달리 t2 부터 t3 구간에서 신호가 발생되지 않았음을 알 수 있다. 이러한 t2 부터 t3 구간은 엣지센서(20b)를 통과하는 유리기판의 후단부의 엣지가 파손된 것이 검출되는 구간으로서 파손된 유리기판(10)이 엣지센서(20b)를 완전히 통과하는 동안에 소요되는 시간 또는 발생한 펄수의 개수가 미리 결정된 기준값 보다 작게 되어 결과적으로 제어기는 유리기판의 파손이 있는 것으로 판정하게 된다.3 is a plan view showing the positional relationship between the broken glass substrate and these sensors when the broken glass substrate 10 passes through the edge sensors 20a and 20b and the reference sensor 20c located at the bottom of the apparatus of the present invention. Is shown. And (a), (b) and (c) of Figure 3 is a signal detected from the edge sensor 20a, the edge sensor 20b and the reference sensor 20c located at the bottom when the broken glass substrate is moved The waveform of is plotted against the time axis. Looking at the graph of Figure 3 (a), the rear end of the broken glass substrate 10 from the time point (t 1 ) when the front end portion of the damaged glass substrate 10 passes through the edge sensor 20a, the edge sensor (20a) It can be seen that the edge sensor 20a generates a signal having a predetermined size by recognizing the glass substrate 10 until the time t 3 passes through the signal, and the signal waveform is between two edge sensors 20a and 20b. Unlike the synchronization signal waveform shown in (c) of FIG. 3 generated by the located reference sensor 20c, it can be seen that no signal is generated in the interval t o to t 1 . Such a section from t o to t 1 is a section in which the edge of the front end portion of the glass substrate passing through the edge sensor 20a is detected, which is required while the broken glass substrate 10 completely passes through the edge sensor 20a. The time or number of generated pearls is smaller than a predetermined reference value, and as a result, the controller determines that there is a breakage of the glass substrate. In addition, referring to the graph of FIG. 3B, the rear end portion of the broken glass substrate 10 from the time point t 0 when the front end portion of the damaged glass substrate 10 passes through the edge sensor 20b is edge sensor ( It can be seen that the edge sensor 20b generates a signal having a predetermined size by recognizing the glass substrate 10 until a time point t 2 passing through 20b), and the signal waveforms include two edge sensors 20a and 20b. Unlike the synchronization signal waveform shown in (c) of FIG. 3 generated by the reference sensor 20c located in between, it can be seen that no signal is generated in the period t 2 to t 3 . The section t 2 to t 3 is a section in which the edge of the rear end portion of the glass substrate passing through the edge sensor 20b is detected to be broken while the broken glass substrate 10 passes completely through the edge sensor 20b. The time or number of generated pearls is smaller than a predetermined reference value, and as a result, the controller determines that there is a breakage of the glass substrate.
도 4의 플로우챠트를 참조하여 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 방법을 설명하면 다음과 같다. Referring to the flowchart of Figure 4 will be described a method for detecting the breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention.
우선, 유리기판을 플랫패널 디스플레이 제조공정의 각 처리공정에 투입한 후 이동시킨다(S400). 다음으로, 유리기판이 하부에 배치된 센서들(예를 들어, 엣지센서)을 통과하는 동안에 이들 센서들로부터 신호를 검출한다(S410). First, the glass substrate is put into each processing step of the flat panel display manufacturing process and then moved (S400). Next, a signal is detected from these sensors while the glass substrate passes through the sensors (for example, edge sensors) disposed below (S410).
그 다음, 제어기에서는 이러한 검출된 신호를 판독하여 유리기판이 각각의 센서를 완전히 통과하는데 소요되는 각각의 시간을 결정하거나, 또는 이러한 검출된 신호로부터 각각의 펄수의 개수를 카운트하고(S420), 상기 각각의 시간 또는 각각의 카운트된 펄수의 개수를 미리 결정된 기준값과 비교한다(S430). 그리고 나서, 비교결과 각각의 센서로부터 판독된 각각의 시간 또는 각각의 펄수의 개수가 미리 결정된 기준값 보다 작은 경우에는 유리기판의 파손이 있는 것으로 판정하고, 동일한 경우에는 유리기판의 파손이 없는 것으로 판정한다(S440). 추가적으로 제어기는 외부장치 입출력 인터페이스를 통해 메인콘트롤러와 전기적으로 연결될 수 있는데, 이 경우 메인콘트롤러는 제어기에서 유리기판의 파손을 판정하면 경보장치를 제어하여 경보신호를 발생시키거나 유리기판을 이송하는 이송장치를 제어하여 유리기판의 이동을 멈추게 할 수 있다. The controller then reads this detected signal to determine each time it takes for the glass substrate to pass completely through each sensor, or counts the number of each pulse from this detected signal (S420). Each time or the number of counted pearls is compared with a predetermined reference value (S430). Then, if the comparison result shows that each time or number of pearls read from each sensor is smaller than a predetermined reference value, it is determined that there is a breakage of the glass substrate, and in the same case, there is no breakage of the glass substrate. (S440). In addition, the controller may be electrically connected to the main controller through an external device input / output interface. In this case, when the controller determines that the glass board is damaged, the controller controls the alarm device to generate an alarm signal or transfer the glass board. It can be controlled to stop the movement of the glass substrate.
도 5는 본 발명의 검출장치가 플랫 패널 디스플레이 장치의 인라인 생산시스템에 적용된 실시예의 평면도이다. 도 5를 살펴보면, 제1공정 모듈(PM1)에는 제1유리기판(10a)이 위치하여 공정처리되고, 이 제1공정모듈(PM1)에서 처리가 완료된 제2유리기판(10b)은 이송되어 제2공정모듈(PM2)로의 투입을 대기하고 있는 상태임을 알 수 있다. 또한, 제2공정모듈(PM2)에는 제3유리기판(10c)이 위치하여 제2공정처리 중임을 알 수 있다. 이 때 제1공정모듈(PM1)에서 처리가 완료되어 제2공정모듈(PM2)로 이송 중인 제2유리기판(10b)은 이송통로의 하부에 위치하는 본 발명의 검출장치의 엣지센서(20a, 20b) 및 기준센서(20c)와 제어기(도 5에는 도시하지 않음)에 의해 유리기판의 파손여부가 판정된다. 유리기판의 파손이 검출된 경우 제어기와 전기적으로 연결되어 있는 메인콘트롤러의 제어에 의해 이송장치가 멈추거나 경보장치에서 경보를 발생하여 제2유리기판(10b)의 제2공정모듈(PM2)로의 투입을 사전에 차단한다.5 is a plan view of an embodiment in which the detection device of the present invention is applied to an inline production system of a flat panel display device. Referring to FIG. 5, a first glass substrate 10a is positioned and processed in a first process module PM1, and a second glass substrate 10b having been processed in the first process module PM1 is transferred to a first process module PM1. It can be seen that the process is waiting for input to the process module PM2. In addition, it can be seen that the third glass substrate 10c is positioned in the second process module PM2 to perform the second process process. At this time, the second glass substrate 10b, which has been processed in the first process module PM1 and is being transferred to the second process module PM2, is positioned at the lower portion of the transfer path. 20b) and the reference sensor 20c and the controller (not shown in FIG. 5) determine whether the glass substrate is damaged. When the glass substrate is damaged, the transfer device is stopped or an alarm is generated by the control of the main controller electrically connected to the controller, and the second glass substrate 10b is introduced into the second process module PM2. Block in advance.
한편, 제1공정모듈(PM1)에서 처리가 완료되어 이송중인 제2유리기판(10b)이 이송통로의 하부에 위치하는 엣지센서(20a), 엣지센서(20b) 및 기준센서(20c)를 통과할 때 이들 센서로부터 검출되는 신호파형은 정상적인 유리기판의 경우는 도 2에 도시된 바와 같으며, 파손된 유리기판의 경우는 도 3에 도시된 바와 같다. 또한, 제어기에서 이러한 신호파형을 판독하여 유리기판의 파손여부를 판정하는 과정은 도 4에 도시된 흐름도의 과정을 통해 이루어지게 된다. 한편, 도 5의 실시예의 경우 제1공정모듈(PM1)과 제2공정모듈(PM2)만이 개시되어 있으나, 본 발명의 장치는 이러한 두개의 공정모듈에만 국한하여 적용되는 것이 아니라 추가적으로 다수의 공정모듈간에도 적용가능하며, 센서들의 위치 역시 유리기판의 각 공정모듈에서의 처리 전후의 이송과정에 따라 변형가능함은 당업자라면 이해할 수 있다.On the other hand, the second glass substrate 10b being processed after the process is completed in the first process module PM1 passes through the edge sensor 20a, the edge sensor 20b, and the reference sensor 20c positioned at the lower portion of the transfer passage. The signal waveforms detected by these sensors are as shown in FIG. 2 for a normal glass substrate and as shown in FIG. 3 for a broken glass substrate. In addition, the process of determining whether the glass substrate is damaged by reading the signal waveform in the controller is performed through the process of the flowchart shown in FIG. 4. Meanwhile, in the case of the embodiment of FIG. 5, only the first process module PM1 and the second process module PM2 are disclosed, but the apparatus of the present invention is not limited to only these two process modules, but additionally, a plurality of process modules. It is also applicable to the liver, and the position of the sensors can be modified according to the transfer process before and after treatment in each process module of the glass substrate can be understood by those skilled in the art.
도 6은 본 발명의 검출장치가 플랫 패널 디스플레이 장치의 클러스터 생산시스템에 적용된 실시예의 평면도이다. 도 6을 살펴보면, 제1공정 모듈(PM1),제2공정모듈(PM2) 및 제3공정모듈(PM3)에는 각각 제1유리기판(10a), 제2유리기판(10b) 및 제3유리기판(10c)이 위치하여 각각 공정처리 중이고, 이들 공정모듈에서 처리가 완료된 후 트랜스포트 챔버(50)로 이송된 제4유리기판(10d)은 로드 락(LL)으로의 투입을 대기하고 있는 상태임을 알 수 있다. 한편, 로드 락(LL)의 하부에는 공정모듈에서의 처리가 완료되어 트랜스포트 챔버(50)로부터 이송된 제5유리기판(10e)이 적재되어 위치하는데, 로드 락(LL)의 상부에는 각 공정모듈로의 투입을 위해 트랜스포트 챔버(50)로의 투입을 대기하는 유리기판(미도시)이 위치하게 된다. 6 is a plan view of an embodiment in which the detection device of the present invention is applied to a cluster production system of a flat panel display device. Referring to FIG. 6, each of the first process module PM1, the second process module PM2, and the third process module PM3 has a first glass substrate 10a, a second glass substrate 10b, and a third glass substrate, respectively. 10c is positioned and is in process, and the fourth glass substrate 10d transferred to the transport chamber 50 after the processing is completed in these process modules is waiting for input to the load lock LL. Able to know. On the other hand, the fifth glass substrate 10e transferred from the transport chamber 50 after the processing in the process module is completed is placed in the lower portion of the load lock LL. A glass substrate (not shown) waiting for input into the transport chamber 50 is placed for input into the module.
제1공정모듈(PM1)에서 처리가 완료된 제1유리기판(10a)은 트랜스포트 챔버(50)로 이송되는 과정 중 트랜스포트 챔버(50)의 입구부근의 하부에 위치하는 본 발명의 검출장치의 엣지센서(20a, 20b)와 제어기(도 6에는 도시하지 않음)에 의해 유리기판의 파손여부가 판정된다. 또한, 각각의 공정모듈에서 처리가 완료된 후 트랜스포트 챔버(50)로 이송된 제4유리기판(10d)은 로드 락(LL)의 하부로 이송되면서 로드 락의 입구부근의 하부에 위치하는 본 발명의 검출장치의 엣지센서(20a, 20b) 및 기준센서(20c)와 제어기(도 6에는 도시하지 않음)에 의해 유리기판의 파손여부가 판정된다. 만약, 제1유리기판(10a) 또는 제4유리기판(10d)의 파손이 검출되면 제어기와 전기적으로 연결되어 있는 메인콘트롤러의 제어에 의해 트랜스포트 챔버(50)로부터 추가의 공정모듈 또는 로드 락(LL)으로의 이송이 차단되거나 경보장치에서 경보를 발생시켜 유리기판의 추가의 공정모듈 또는 로드 락(LL)으로의 투입을 사전에 차단할 수 있다. The first glass substrate 10a, which has been processed in the first process module PM1, is positioned below the inlet of the transport chamber 50 during the process of being transferred to the transport chamber 50. Whether the glass substrate is broken is determined by the edge sensors 20a and 20b and the controller (not shown in FIG. 6). In addition, the fourth glass substrate (10d) transferred to the transport chamber 50 after the process is completed in each process module is transferred to the lower portion of the load lock (LL) while the present invention is located near the inlet of the load lock Whether the glass substrate is damaged is determined by the edge sensors 20a and 20b, the reference sensor 20c, and the controller (not shown in FIG. 6) of the detection apparatus of the apparatus. If a breakage of the first glass substrate 10a or the fourth glass substrate 10d is detected, additional process modules or load locks may be removed from the transport chamber 50 under the control of a main controller electrically connected to the controller. The transfer to the LL) can be interrupted or an alarm can be triggered to block the input of the glass substrate into the further process module or load lock (LL) in advance.
또한, 도시하지는 않았지만, 제1공정모듈(PM1)로부터 트랜스포트 챔버(50)로의 입구부근의 하부에는 본 발명의 검출장치의 엣지센서(20a, 20b)외에 기준센서(20c)가 추가로 제공될 수 있고, 제2공정모듈(PM2)로부터 트랜스포트 챔버(50)로의 입구부근과, 제3공정모듈(PM3)로부터 트랜스포트 챔버(50)로의 입구부근에도 엣지센서(20a, 20b)와 기준센서(20c)가 제공될 수 있다. In addition, although not shown, a reference sensor 20c may be additionally provided at the lower portion of the inlet portion from the first process module PM1 to the transport chamber 50 in addition to the edge sensors 20a and 20b of the detection apparatus of the present invention. The edge sensors 20a and 20b and the reference sensor may be located near the inlet from the second process module PM2 to the transport chamber 50 and from the third process module PM3 to the transport chamber 50. 20c may be provided.
제1공정모듈(PM1)에서 처리가 완료된 제1유리기판(10a)이 트랜스포트 챔버(50)의 입구부근의 하부에 위치하는 엣지센서(20a, 20b)를 통과할 때 이들 센서로부터 검출되는 신호파형은 정상적인 유리기판의 경우는 도 2의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같으며, 파손된 유리기판의 경우는 도 3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같다. 또한, 각각의 공정모듈에서 처리가 완료된 후 트랜스포트 챔버(50)로 이송된 제4유리기판(10d)이 로드 락(LL)의 입구부근의 하부에 위치하는 엣지센서(20a, 20b) 및 기준센서(20c)를 통과할 때 이들 센서로부터 검출되는 신호파형은 정상적인 유리기판의 경우는 도 2에 도시된 바와 같으며, 파손된 유리기판의 경우는 도 3에 도시된 바와 같다. 또한, 제어기에서 이러한 신호파형을 판독하여 유리기판의 파손여부를 판정하는 과정은 도 4에 도시된 흐름도의 과정을 통해 이루어지게 된다. 본 발명의 장치는 이러한 3개의 공정모듈을 지원하는 클러스터 생산 시스템에만 국한하여 적용되는 것이 아니라 추가적으로 다수의 공정모듈을 지원하는 클러스터 생산 시스템에도 적용가능하며, 센서들의 위치 역시 유리기판의 각 공정모듈에서의 처리 전후의 이송과정에 따라 변형가능함은 당업자라면 이해할 수 있다.Signals detected from these sensors when the first glass substrate 10a, which has been processed in the first process module PM1, passes through the edge sensors 20a and 20b positioned below the entrance of the transport chamber 50. The waveform is as shown in (a) and (b) of FIG. 2 for a normal glass substrate, and is shown in (a) and (b) of FIG. 3 for a broken glass substrate. In addition, the edge sensor (20a, 20b) and the reference that the fourth glass substrate (10d) transferred to the transport chamber 50 after the processing is completed in each process module is located below the inlet of the load lock (LL) Signal waveforms detected from these sensors when passing through the sensor 20c are as shown in FIG. 2 for a normal glass substrate, and as shown in FIG. 3 for a broken glass substrate. In addition, the process of determining whether the glass substrate is damaged by reading the signal waveform in the controller is performed through the process of the flowchart shown in FIG. 4. The apparatus of the present invention is not limited to only a cluster production system supporting these three process modules, but is also applicable to a cluster production system supporting a plurality of process modules, and the positions of the sensors are also applied to each process module of the glass substrate. It can be understood by those skilled in the art that the deformation is possible depending on the transfer process before and after the treatment of.
도 7에는 클러스터 생산 시스템에 있어서 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하기 위한 종래방식의 광센서의 배치가 도시되어 있다. 이러한 종래방식은 유리기판의 각 공정모듈로의 투입 전에 유리기판의 각각의 모서리의 파손여부가 유리기판이 적재되는 지지대 하부에 설치된 광센서(a∼n)에 의해 검출되는 방식이다. 그러나, 이러한 종래의 검출방식은 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하기 위해 유리기판이 트랜스포트 챔버 내에 정지되어야 하고, 6개의 공정모듈(PM1∼PM6)을 지원하는 클러스터 생산 시스템의 경우 검출을 위한 광센서가 모두 14개씩(a∼n)이나 요구됨을 알 수 있다.FIG. 7 shows a conventional arrangement of an optical sensor for detecting breakage of an edge portion of a glass substrate in a cluster production system. The conventional method is a method in which the edge of each glass substrate is detected by the optical sensors (a to n) installed under the support on which the glass substrate is loaded before the glass substrate is introduced into each process module. However, this conventional detection method requires that the glass substrate be stopped in the transport chamber in order to detect breakage of the edge portion of the glass substrate, and in the case of a cluster production system supporting six process modules (PM1 to PM6). It can be seen that 14 photosensors (a to n) are required.
이상 본 발명을 첨부된 도면에 따라 설명하였으나, 본 발명은 상기 도면에 개시된 실시예에 제한되는 것은 아니다. 당업자라면, 본 발명의 취지에 따라 수정 변경이 가능하며, 이러한 수정 변경 또한 본 발명의 범위에 속한다는 것을 이해할 수 있을 것이다.The present invention has been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the embodiments disclosed in the drawings. Those skilled in the art will appreciate that modifications can be made in accordance with the spirit of the invention, and such modifications also fall within the scope of the invention.
본 발명은 플랫 패널 디스플레이 장치의 생산라인을 이동하는 유리기판의 모서리 부분에서 쉽게 발생하는 파손을 유리기판이 이동하는 상태에서 최소한의 광센서를 이용하여 검출할 수 있고, 특히 유리기판이 각 공정간을 이동할 때 유리기판의 파손여부가 검출가능하여 별도의 측정을 위한 시간이 요구되지 않으며 2~3개의 센서만으로도 유리기판의 모든 모서리의 파손을 검출할 수 있다. The present invention can detect the breakage easily occurring at the edge portion of the glass substrate moving the production line of the flat panel display device using a minimum optical sensor in the state in which the glass substrate is moved, in particular the glass substrate between each process It is possible to detect the breakage of the glass substrate when moving it, so that no time for separate measurement is required, and the breakage of all edges of the glass substrate can be detected by only two or three sensors.
도 1은 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of an apparatus for detecting breakage of an edge portion of a glass substrate of the present invention.
도 2는 본 발명의 검출장치의 광센서를 정상적인 유리기판이 통과할 때, 광센서와 정상적인 유리기판의 위치관계를 나타내는 평면도, 및 정상적인 유리기판의 하부에 위치하는 각각의 광센서로부터 검출되는 신호의 파형을 시간축에 대해 나타낸 그래프이다.2 is a plan view showing the positional relationship between the optical sensor and the normal glass substrate when the normal glass substrate passes through the optical sensor of the detection device of the present invention, and the signal detected from each optical sensor located below the normal glass substrate; Is a graph showing the waveform of the time axis.
도 3은 본 발명의 검출장치의 광센서를 파손된 유리기판이 통과할 때, 광센서와 파손된 유리기판의 위치관계를 나타내는 평면도, 및 파손된 유리기판의 하부에 위치하는 각각의 광센서로부터 검출되는 신호의 파형을 시간축에 대해 나타낸 그래프이다.Figure 3 is a plan view showing the positional relationship between the optical sensor and the broken glass substrate when the broken glass substrate passes through the optical sensor of the detection device of the present invention, and from each of the optical sensors located below the broken glass substrate The waveform of the detected signal is shown on the time axis.
도 4는 본 발명의 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하는 방법을 상세히 설명하는 플로우챠트이다.4 is a flowchart illustrating a method for detecting breakage of the edge portion of the glass substrate of the present invention in detail.
도 5는 본 발명의 검출장치가 플랫 패널 디스플레이 장치의 인라인 생산시스템에 적용된 실시예의 평면도이다.5 is a plan view of an embodiment in which the detection device of the present invention is applied to an inline production system of a flat panel display device.
도 6은 본 발명의 검출장치가 플랫 패널 디스플레이 장치의 클러스터 생산시스템에 적용된 또 다른 실시예의 평면도이다.6 is a plan view of another embodiment in which the detection device of the present invention is applied to a cluster production system of a flat panel display device.
도 7은 클러스터 생산시스템에 있어서, 유리기판의 엣지 부분의 파손을 검출하기 위한 종래 방식의 광센서의 배치를 나타내는 도면이다.7 is a view showing the arrangement of a conventional optical sensor for detecting breakage of an edge portion of a glass substrate in a cluster production system.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10: 유리기판10: glass substrate
10a, 10b, 10c, 10d, 10e: 제1유리기판, 제2유리기판, 제3유리기판, 제4유리기판, 제5유리기판10a, 10b, 10c, 10d, 10e: first glass substrate, second glass substrate, third glass substrate, fourth glass substrate, fifth glass substrate
20: 센서 22: 반사판20: sensor 22: reflector
20a, 20b: 엣지센서 20c: 기준센서20a, 20b: edge sensor 20c: reference sensor
30: 제어기 40: 메인콘트롤러30: controller 40: main controller
50: 트랜스포트 챔버(transport chamber)50: transport chamber
LL: 로드 락(load lock)LL: load lock
PM1, PM2, PM3, PM4, PM5, PM6: 제1공정모듈, 제2공정모듈, 제3공정모듈, 제4공정모듈, 제5공정모듈, 제6공정모듈PM1, PM2, PM3, PM4, PM5, PM6: first process module, second process module, third process module, fourth process module, fifth process module, sixth process module
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