KR100775024B1 - Device for testing edge of glass substrate and method thereof - Google Patents

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KR100775024B1
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백운영
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

An apparatus for testing an edge of a glass substrate and a method thereof are provided to remarkably enhance the yield rate of a test by promptly and accurately testing a defect of the edge of the glass substrate. An apparatus for testing an edge of a glass substrate includes a transfer section(100), a fixed scan module(200), a movable scan module(300), and a control section. The transfer section transfers the glass substrate in one direction. The fixed scan module is separated from both sides of one surface of the glass substrate by a focus distance to scan both edges of the glass substrate that is being transferred. The movable scan module is linearly and reciprocally moved along a front section of the glass substrate. The movable scan module scans the front edge of the glass substrate and scans the rear edge of the glass substrate. The control section collects the scanned image in the scan modules to determine a defect of the edge of the glass substrate.

Description

유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지 검사방법{Device for testing edge of glass substrate and method thereof}Device for testing edge of glass substrate and method for testing edge of glass substrate using same

도 1은 종래 유리기판 에지 검사장치의 일실시예에 따른 사시도이다.1 is a perspective view according to an embodiment of a conventional glass substrate edge inspection apparatus.

도 2는 종래 유리기판 에지 검사장치의 다른 실시예에 따른 사시도이다.Figure 2 is a perspective view according to another embodiment of a conventional glass substrate edge inspection apparatus.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view showing a glass substrate edge inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 측면도이다.Figure 4 is a side view showing a glass substrate edge inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치의 구성도이다.5 is a block diagram of a glass substrate edge inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 이용한 에지 검사방법을 설명하기 위한 작동상태도이다.6a to 6e is an operation state diagram for explaining the edge inspection method using a glass substrate edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 이송부 110 : 지지기재100: transfer unit 110: support substrate

200 : 고정식 스캔모듈 201 : 촬상기재200: fixed scan module 201: imaging device

202 : 조명기재 300 : 이동식 스캔모듈202: lighting substrate 300: mobile scan module

301 : 촬상기재 302 : 조명기재301: Imaging base material 302: Lighting base material

310 : 연결기재 320 : 주행기재310: connection substrate 320: driving equipment

330 : 회전기재 340 : 승강기재330: rotating substrate 340: lifting substrate

400 : 제어부 500 : 언로딩부400: control unit 500: unloading unit

본 발명은 유리기판 에지 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate edge inspection apparatus, and more particularly, to a glass substrate edge inspection apparatus for inspecting the defect of the glass substrate edge and a method using the same.

일반적으로, 유리기판(glass substrate)은 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)를 제조하기 위한 피처리기판의 일종으로서 융용 제조공정을 거쳐 제조된다. In general, a glass substrate is a kind of substrate to be processed for manufacturing a flat panel display (FPD) and is manufactured through a melting manufacturing process.

이와 같은 유리기판의 제조공정은 여러 가공과정 및 검사과정을 포함하는데, 특히 공정 중에 결함이 발생된 유리기판이 후공정으로 투입되는 것을 방지하여 원가절감과 양품률이 향상되도록 유리기판의 결함여부를 검사하는 검사과정을 포함한다.The manufacturing process of such glass substrates includes a number of processing and inspection processes. In particular, glass substrates with defects during the process are prevented from being introduced into the post process to reduce cost and yield of the glass substrate. This includes the inspection process.

일례로, 유리기판의 가공과정 중에는 유리기판을 평판 디스플레이의 규격에 맞는 크기로 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 유리기판 에지(edge)를 연마하게 된다. For example, during processing of the glass substrate, the glass substrate is cut to a size that meets the standard of the flat panel display, and the edges of the glass substrate sharpened by the cutting are polished.

이러한 가공과정을 거치다 보면 특히 유리기판 에지에 여러 결함이 발생할 수 있고, 이러한 결함들은 평판 디스플레이의 품질에 심대한 영향을 미치므로 유리기판 에지의 결함여부를 검사하여 결함이 발생한 것으로 판단된 유리기판은 후공정으로 투입되지 않도록 한다.Through this process, various defects may occur especially at the edge of the glass substrate, and these defects have a profound effect on the quality of the flat panel display. Do not enter the process.

도 1은 종래 유리기판 에지 검사장치의 일실시예에 따른 사시도이다.1 is a perspective view according to an embodiment of a conventional glass substrate edge inspection apparatus.

도 1을 참조하면, 종래 유리기판 에지 검사장치는 이송방향을 기준으로 유리기판(S; glass substrate)의 전단부 에지(FE)와 양측 에지(SE)와 후단부 에지(BE)를 따라 순회하며 스캔하는 스캔모듈(10)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a conventional glass substrate edge inspection apparatus circulates along a front edge FE, both sides SE and a rear edge BE of a glass substrate based on a conveying direction. It includes a scan module 10 for scanning.

상기 스캔모듈(10)은 유리기판(S)의 이송경로상에 설치되어 정지된 상태의 유리기판(S) 또는 별도의 공정존 예컨데 검사존 등에 지지된 상태의 유리기판(S)에 대하여 에지를 따라 순회하며 스캔작업을 수행한다.The scan module 10 is provided on the transport path of the glass substrate (S) to the edge of the glass substrate (S) in the stopped state or the glass substrate (S) in a separate process zone, for example, the state supported by the inspection zone. Follow the scan and perform the scan.

이러한 스캔모듈(10)은 촬상기재(11)와, 유리기판(S)을 투과하여 상기 촬상기재(11)에 조명을 부여하는 조명기재(12)를 포함하고, 라인스캔캐방식으로 유리기판(S)의 각 에지를 따라 이동하며 스캔된 이미지를 별도의 제어부(미도시)로 송출한다.The scan module 10 includes an imaging substrate 11 and an illumination substrate 12 that penetrates the glass substrate S to illuminate the imaging substrate 11, and includes a glass substrate (eg, a line scan scan method). Moving along each edge of S) transmits the scanned image to a separate control unit (not shown).

따라서, 상기 제어부는 스캔된 이미지를 수집하고, 기프로그램된 로직에 의해 유리기판(S) 에지의 결함여부를 판단하게 된다.Therefore, the controller collects the scanned image and determines whether the edge of the glass substrate S is defective by preprogrammed logic.

그러나, 상기한 종래 유리기판 에지 검사장치는 단일 스캔모듈이 유리기판의 전체 에지를 순회하며 스캔하므로, 스캔경로가 길어져 텍트타임(tact time)을 증대시킨다는 문제점이 있었다.However, the conventional glass substrate edge inspection apparatus has a problem that since a single scan module scans the entire edge of the glass substrate while scanning, the scan path is increased to increase the tact time.

더욱이, 전자소재 제조기술의 발달에 따라 유리기판의 크기도 갈수록 대형화되고, 이에 대응하여 이러한 대면적 유리기판을 처리하는 각종 처리장치도 갈수록 대형화되고 있다. 따라서, 상기 종래기술에 의한 유리기판 에지 검사장치는 유리기판의 결함여부 검사에 소요되는 텍트타임을 더욱 증가시키는 단점이 있었다.In addition, as the size of glass substrates increases with the development of electronic material manufacturing technology, various processing apparatuses for processing such large-area glass substrates also increase in size. Therefore, the glass substrate edge inspection apparatus according to the prior art has a disadvantage of further increasing the text time required to inspect the defect of the glass substrate.

도 2는 종래 유리기판 에지 검사장치의 다른 실시예에 따른 사시도이다.Figure 2 is a perspective view according to another embodiment of a conventional glass substrate edge inspection apparatus.

도 2를 참조하면, 종래 유리기판 에지 검사장치는 유리기판(S)의 이송방향을 따라 순차설치되는 제1스캔모듈(20)과 제2스캔모듈(30)을 포함하고, 상기 제1스캔모듈(20)과 제2스캔모듈(30)은 상술한 종래 스캔모듈(10)과 촬상기재와 조명기재를 각각 포함한다.Referring to FIG. 2, the conventional glass substrate edge inspection apparatus includes a first scan module 20 and a second scan module 30 sequentially installed along the transport direction of the glass substrate S, and the first scan module 20 and the second scan module 30 include the above-described conventional scan module 10, an imaging device and an illumination device, respectively.

상기 제1스캔모듈(20)은 고정타입으로 유리기판(S)의 이송시 유리기판(S)의 양측 에지(SE)에 대하여 라인스캔을 수행하는 구성부품이고, 상기 제2스캔모듈(30)은 고정타입으로 유리기판(S)이 상기 제1스캔모듈(20)에 의해 스캔완료 후 이송경로상에서 90도 회전되어 이송시 유리기판(S)의 전단부 에지(FE)와 후단부 에지(BE)에 대하여 라인스캔을 수행하는 구성부품이다.The first scan module 20 is a fixed type component that performs line scan on both edges SE of the glass substrate S when the glass substrate S is transferred, and the second scan module 30. Is a fixed type glass substrate (S) is rotated 90 degrees on the transport path after the scan is completed by the first scan module 20, the front edge (FE) and the rear edge (BE) of the glass substrate (S) during transport This is a component that performs line scan for.

그러나, 상기한 종래 유리기판 에지 검사장치는 복수의 스캔모듈과 유리기판을 회전시키기 위한 장치가 더 구비되어야 하므로 장치의 복잡성을 초래하는 문제점과, 설치공간을 더 많이 차지하게 된다는 단점이 있었다.However, the conventional glass substrate edge inspection apparatus has a disadvantage in that it requires a plurality of scan modules and a device for rotating the glass substrate, thereby causing the complexity of the apparatus and occupying more installation space.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 단순하게 구성되면서도 신속/정확 하게 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.In view of the above problems, the present invention has a purpose to provide a glass substrate edge inspection apparatus for inspecting whether the glass substrate edge defects quickly and accurately while being simply configured.

본 발명의 또 다른 목적은, 스캔모듈의 스캔경로를 최소화하며 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사방법을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a glass substrate edge inspection method for minimizing a scan path of a scan module and inspecting whether a glass substrate edge is defective.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유리기판을 일방향으로 이송하는 이송부와, 유리기판의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈과, 유리기판의 이송방향 전단(前段)부를 따라 직선왕복주행하여, 최초 주행시 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 스캔하고, 복귀 주행시 정지상태의 유리기판 후단(後段)부를 따라 직선왕복주행하여 유리기판 후단부 에지를 스캔하는 이동식 스캔모듈과, 상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판 에지의 결함여부를 판단하는 제어부를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the transfer unit for transporting the glass substrate in one direction, a fixed scan module for scanning both edges of the glass substrate in the transport state is installed at a distance apart from the both sides of the glass substrate by the focal length, glass Straight reciprocates along the front end of the substrate in the transport direction, scans the edges of the glass substrate in the stopped state during the first run, and runs reciprocally along the trailing edge of the glass substrate in the stop state during the return run. A mobile scan module for scanning an edge, and a control unit for determining whether the edge of the glass substrate is defective by collecting the image scanned by each scan module.

또한 본 발명은, 유리기판 에지를 라인스캔하여 획득된 이미지를 판단하여 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사방법에 있어서, (a) 유리기판 전단부 에지를 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 단계와, (b) 상기 이동식 스캔모듈이 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 따라 주행하며 스캔하는 단계와, (c) 유리기판 전단부 에지가 스캔완료된 후 유리기판 후단부 에지를 상기 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 동시에 고정식 스캔모듈에 의해 이동되는 유리기판 양측 에지를 스캔하는 단계와, (d) 유리기판 양측 에지가 스캔완료된 후 상기 이동식 스캔모듈이 유리기판 후단부 에지를 따 라 복귀주행하며 스캔하는 단계를 포함한다.In another aspect, the present invention, in the glass substrate edge inspection method for determining whether the glass substrate edge defect by determining the image obtained by the line scan the glass substrate edge, (a) the driving path of the glass substrate front edge edge of the movable scanning module (B) the mobile scanning module is driven along the edge of the glass substrate front end in the stationary state and scanned; and (c) the glass substrate rear end after the glass substrate front edge is scanned. Scanning the edges of both sides of the glass substrate moved by the fixed scan module while simultaneously transferring the edges to coincide with the traveling paths of the movable scanning module, and (d) after the edges of both sides of the glass substrate are scanned, the movable scanning module is made of glass. Scanning along the trailing edge of the substrate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It is not. In the drawings, like reference numerals refer to like elements.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 사시도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 측면도이다. 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치의 구성도이다.3 is a perspective view showing a glass substrate edge inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is a side view showing a glass substrate edge inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. 5 is a block diagram of a glass substrate edge inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 유리기판 에지 검사장치의 일실시예는 유리기판(S)을 일방향으로 이송하는 이송부(100)와, 유리기판(S)의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판(S) 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈(200)과, 유리기판(S)의 이송방향 전단부를 따라 직선왕복주행하여 최초 주행시 정지상태의 유리기판(S) 전단부 에지를 따라 스캔하고 복귀 주행시 정지상태의 유리기판(S) 후단부 에지를 따라 스캔하는 이동식 스캔모듈(300)과, 상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판(S) 에지의 결함여부를 판단하는 제어부(400)를 포함한다.3 to 5, an embodiment of the glass substrate edge inspection apparatus according to the present invention is a focal length at both sides of the transfer unit 100 and the glass substrate (S) for transferring the glass substrate (S) in one direction The fixed scan module 200 scanning both edges of the glass substrate S in a transport state and a straight reciprocating line along the transport direction front end portion of the glass substrate S, and the glass substrate S in the stopped state at the first run. The mobile scan module 300 scans along the front edge and scans along the rear edge of the glass substrate S in the stop state when the vehicle is returned, and collects the images scanned by each of the scan modules. It includes a control unit 400 for determining whether there is a defect.

본 발명의 일실시예에서는 유리기판(S)이 이송부(100)에 의해 일방향으로 이 송 및 언로딩부(500)에 언로딩되는 과정에서 에지 결함여부를 검사하는 것을 예시한다.In an embodiment of the present invention, the glass substrate S is exemplified by inspecting edge defects in the process of being unloaded to the transfer and unloading part 500 in one direction by the transfer part 100.

즉, 본 발명의 일실시예는 유리기판(S)이 별도의 검사존 등으로 투입되어 에지 결함여부에 대한 검사과정을 거치 후 다시 반출될 필요없이 통상적인 유리기판(S)의 반송과정에서 에지 결함여부가 검사될 수 있다는 장점이 있다. That is, one embodiment of the present invention is the glass substrate (S) is put into a separate inspection zone, etc. edges in the conveyance process of the conventional glass substrate (S) without having to be carried out again after the inspection process for the edge defects There is an advantage that defects can be inspected.

상기 이송부(100)는 유리기판(S)을 지지기재(110)의 상면에 지지하여 수평하게 일방향으로 이송하고 언로딩부(500)에 언로딩하는 구성부품이다.The transfer unit 100 is a component that supports the glass substrate (S) on the upper surface of the support base 110 to be transported in one direction horizontally and unloaded to the unloading unit (500).

이와 같이 유리기판(S)은 이송부(100)에 의해 이송되는 과정중에 고정식 스캔모듈(200)의 의해 양측 에지가 스캔된다.As described above, the glass substrate S is scanned at both edges by the fixed scan module 200 during the process of being transferred by the transfer part 100.

상기 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)의 이송경로상에 설치되되, 유리기판(S)의 일면 양측에서 촬상기재(201)의 초점거리만큼 이격설치된다.The fixed scan module 200 is installed on the transport path of the glass substrate S, and is spaced apart by the focal length of the imaging substrate 201 from both sides of one surface of the glass substrate S.

구체적으로, 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)의 일면에서 초점거리만큼 이격설치되는 촬상기재(201)와, 유리기판(S)의 타면에서 소정간격 이격되어 상기 촬상기재(201)와 대면하게 설치되는 조명기재(202)를 포함한다.In detail, the fixed scan module 200 may be spaced apart from one surface of the glass substrate S by a focal length, and spaced apart from the other surface of the glass substrate S by a predetermined distance. It includes an illumination substrate 202 is installed facing.

일례로, 상기 촬상기재(201)는 외부 본체(341)을 형성하는 경통과, 상기 경통 내에 설치되는 렌즈와, 상기 렌즈를 통하여 입사된 이미지를 전기적신호로 전환하여 상기 제어부(400)로 송출하는 CCD센서(charge coupled device; 고체촬상소자)를 포함한다.For example, the imaging substrate 201 converts an image of the barrel that forms the outer body 341, a lens installed in the barrel, and an image incident through the lens into an electrical signal and transmits the electrical signal to the controller 400. And a charge coupled device (CCD).

일례로, 상기 조명기재(202)는 형광램프나 수은램프 등이 사용될 수 있고, 상기 촬상기재(201)에 의해 유리기판(S) 에지가 스캔될 시에 조명원의 역할을 하는 구성부품으로, 촬상기재(201)의 상기 렌즈 및 상기 CCD센서를 연결하는 일직선상에 위치시켜 유리기판(S)을 투사한 빛이 촬상기재(201)의 상기 렌즈에 입사되도록 한다.For example, the lighting substrate 202 may be a fluorescent lamp, a mercury lamp, or the like, and is a component that serves as an illumination source when the edge of the glass substrate S is scanned by the imaging substrate 201, It is positioned on a straight line connecting the lens of the imaging substrate 201 and the CCD sensor so that light projected from the glass substrate S is incident on the lens of the imaging substrate 201.

이와 같은 구성에 의해, 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)이 이송되는 과정중에 유리기판(S) 에지에 대하여 스캔작업을 수행한다.By such a configuration, the fixed scan module 200 performs a scan operation on the edge of the glass substrate (S) during the process of transporting the glass substrate (S).

그리고, 유리기판(S)은 그의 이송속도가 고정식 스캔모듈(200)의 스캔속도에 대응하여 가감될 수 있다.And, the glass substrate (S) may be added or decreased in correspondence with the scanning speed of the fixed scan module 200.

상기 제어부(400)는 고정식 스캔모듈(200) 및 이동식 스캔모듈(300)이 유리기판(S) 에지를 스캔하여 획득한 스캔이미지를 수집하고, 획득된 스캔이미지를 기프로그램된 로직에 의해 판단하여 유리기판(S) 에지의 결함여부를 판단한다.The control unit 400 collects a scan image obtained by scanning the edge of the glass substrate S by the fixed scan module 200 and the mobile scan module 300, and determines the acquired scan image by pre-programmed logic. It is determined whether the edge of the glass substrate S is defective.

또한, 제어부(400)는 획득된 스캔이미지 및 판단결과를 디스플레이하는 출력부(410)를 더 구비할 수도 있다.In addition, the controller 400 may further include an output unit 410 for displaying the acquired scan image and the determination result.

이러한, 제어부(400)는 원활한 스캔작업이 수행되도록 이송부(100)의 구동 및 이동식 스캔모듈(300)의 구동을 제어하게 된다.The control unit 400 controls the driving of the transfer unit 100 and the driving of the mobile scan module 300 so as to perform a smooth scan operation.

즉, 제어부(400)는 이동식 스캔모듈(300)에 의해 유리기판(S)의 전단부 에지 및 후단부 에지가 스캔되도록 후술할 이동식 스캔모듈(300)의 주행기재(320)와 회전기재(330)와 승강기재(340)의 구동을 제어한다.That is, the control unit 400 is the traveling substrate 320 and the rotary substrate 330 of the mobile scan module 300 to be described later so that the front edge and the rear edge of the glass substrate (S) by the mobile scan module 300 is scanned. And the driving of the lifting substrate 340.

도 4를 참조하면, 상기 이동식 스캔모듈(300)은 상술한 고정식 스캔모듈(200)과 같은 촬상기재(301) 및 조명기재(302)와, 상기 촬상기재(301)와 조명기재(302)를 연결설치하는 연결기재(310)와, 상기 연결기재(310)를 유리기판(S)의 이송방향 전단부 에지를 따라 직선왕복주행시키는 주행기재(320)와, 상기 연결기재(310)와 결합하되 상기 촬상기재(301)와 상기 조명기재(302)를 직선연결하는 가상선(X)을 회전축으로 하여 상기 연결기재(310)를 회전시키는 회전기재(330)와, 상기 주행기재(320)와 상기 회전기재(330) 사이에 설치되어 상기 회전기재(330)를 상기 가상선(X)을 따라 승강시키는 승강기재(340)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the mobile scan module 300 includes an imaging substrate 301 and an illumination substrate 302, such as the fixed scan module 200 described above, and the imaging substrate 301 and an illumination substrate 302. It is coupled to the connection substrate 310 to be connected to the installation, the traveling substrate 320 for linearly reciprocating along the edge of the front end portion of the glass substrate (S) in the conveying direction of the glass substrate (S), A rotating substrate 330 for rotating the connecting substrate 310 by using a virtual line (X) for linearly connecting the image pickup substrate 301 and the illumination substrate 302, the traveling substrate 320 and the It is installed between the rotary base 330 includes a lifting base 340 for lifting the rotary base 330 along the virtual line (X).

이러한 이동식 스캔모듈(300)은 고정식 스캔모듈(200)이 유리기판(S) 이송경로상에 고정설치되어 이송상태의 유리기판(S)에 대하여 스캔을 수행하는 것임에 반하여, 정지상태의 유리기판(S) 이송방향 전단부를 따라 직선왕복주행하며 스캔을 수행하는 구성부품이다.The mobile scanning module 300 is fixed glass module 200 is fixed on the glass substrate (S) transfer path to perform a scan for the glass substrate (S) in the transport state, the glass substrate in the stationary state (S) A component that performs a straight reciprocating scan along the front end of the feed direction.

상기 연결기재(310)는 대체로 'ㄷ'자형으로 형성되어 상부에 촬상기재(301)가 설치되고 대향하는 하부에 조명기재(302)가 설치되며, 상기 촬상기재(301)와 조명기재(302)가 유리기판(S)의 표면과 소정간격을 유지하도록 개구된 측으로 유리기판(S) 전단부 에지 또는 후단부 에지가 진입된다.The connection substrate 310 is formed in a generally 'c' shape, and an imaging substrate 301 is installed at an upper portion thereof, and an illumination substrate 302 is installed at an opposing lower portion, and the imaging substrate 301 and the illumination substrate 302 are provided. The front edge or the rear edge of the glass substrate S enters the open side to maintain the predetermined distance from the surface of the glass substrate S.

이처럼, 이동식 스캔모듈(300)의 촬상기재(301)와 조명기재(302)는 연결기재(310)에 의해 연결되어 일체되고, 연결기재(310)는 상기 주행기재(320)에 의해 유리기판(S) 전단부 에지와 후단부 에지를 따라 주행하며 스캔을 수행하고, 스캔된 이미지는 상기 제어부(400)로 송출한다.As such, the imaging substrate 301 and the illumination substrate 302 of the mobile scan module 300 are connected and integrated by the connection substrate 310, and the connection substrate 310 is formed of a glass substrate (eg, by the traveling substrate 320). S) A scan is performed while traveling along the front edge and the rear edge, and the scanned image is sent to the controller 400.

상기 주행기재(320)는 유리기판(S)의 이송방향에 대하여 직교하는 방향으로 설치되는 가이드(321)와, 상기 가이드(321)를 따라 직선왕복주행되는 슬라이 더(322)를 포함한다.The traveling substrate 320 includes a guide 321 installed in a direction orthogonal to the conveying direction of the glass substrate S, and a slider 322 linearly reciprocating along the guide 321.

상기 가이드(321)는 이동식 스캔모듈(300)이 유리기판(S)의 너비 전체에 대하여 주행하며 스캔작업이 이루어지도록 그 길이가 유리기판(S)의 너비이상으로 형성되는 것이 바람직하다.The guide 321 may be formed such that its length is greater than the width of the glass substrate S so that the mobile scan module 300 travels about the entire width of the glass substrate S and the scan operation is performed.

상기 슬라이더(322)는 구동원(323)의 전원인가 및 전류흐름전환에 의해 상기 가이드(321)에 가이드(321)되어 직선왕복주행하는 구성부품이다.The slider 322 is a component that is linearly reciprocated by the guide 321 to the guide 321 by applying power to the driving source 323 and switching the current flow.

상기 회전기재(330)는 그의 회전축(332)이 연결기재(310)의 상단부에 수직하게 결합되어 촬상기재(301)와 조명기재(302)를 직선연결하는 가상선(X)을 회전축으로 하여 연결기재(310)를 회전시킨다.The rotary base 330 is connected to the rotation axis 332 is vertically coupled to the upper end of the connecting base 310 vertically connected to the imaginary line (X) connecting the image pickup base 301 and the illumination base 302 as a rotary axis. The substrate 310 is rotated.

상기 승강기재(340)는 상기 회전기재(330)의 하우징(331)과 결합되어 상기 가상선(X)을 따라 승강되는 이동체(342)와, 상기 이동체(342)를 가이드(321)하여 승강시키고 상기 주행기재(320)의 슬라이더(322)와 결합하여 직선왕복주행되는 본체(341)를 포함한다.The lifting base 340 is coupled to the housing 331 of the rotating base 330 to move up and down along the imaginary line (X) and the moving body 342 by lifting the guide 321 up and down A main body 341 which is coupled to the slider 322 of the traveling substrate 320 and travels in a straight line.

상기한 바와 같이, 이동식 스캔모듈(300)은 회전기재(330)가 연결기재(310)의 상측으로 결합되고, 승강기재(340)가 회전기재(330)의 하우징(331)에 결합되며, 주행기재(320)가 승강기재(340)의 본체(341)에 결합되는 바 다수의 구동장치가 최적의 상태로 유기적인 구성관계를 가지며 결합되므로 장치의 구성을 간소화하면서도 유리기판(S) 전단부 에지와 후단부 에지를 따라 원활하게 스캔한다는 장점이 있다.As described above, the movable scanning module 300 is coupled to the rotary base 330 to the upper side of the connection base 310, the lifting base 340 is coupled to the housing 331 of the rotary base 330, Since the substrate 320 is coupled to the main body 341 of the elevating substrate 340, the plurality of driving apparatuses are organically coupled in an optimal state and are combined, thereby simplifying the configuration of the apparatus and leading to the edge of the glass substrate S. The advantage is that it scans smoothly along the trailing edge.

이하에서, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 이용한 에지 검사방벙을 설명한다.Hereinafter, an edge inspection method using a glass substrate edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 이용한 에지 검사방법을 설명하기 위한 작동상태도이다.6a to 6e is an operation state diagram for explaining the edge inspection method using a glass substrate edge inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6a를 참조하면, 유리기판(S)은 이송부(100)에 의해 언로딩부(500)측으로 이송되는 도중에 그의 전단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하면 정지시킨다.Referring to FIG. 6A, when the glass substrate S reaches the position where the front edge thereof coincides with the traveling path of the mobile scan module 300 while being transferred to the unloading part 500 by the transfer part 100. Stop it.

이때, 연결기재(310)는 그의 개구된 부위가 유리기판(S)의 진입방향측으로 회전된 상태를 유지하여야 하며, 이에 유리기판(S) 전단부 에지가 개구된 부위로 진입된 상태에서 유리기판(S)을 정지시킨다.At this time, the connection substrate 310 must maintain the state in which the opened portion thereof is rotated toward the entrance direction side of the glass substrate S, and the glass substrate S in the state where the front edge of the glass substrate S enters the opened portion. (S) is stopped.

도 6b를 참조하면, 이동식 스캔모듈(300)은 주행기재(320)의 슬라이더(322)가 가이드(321)를 따라 주행하므로 함께 주행하여 정지상태의 유리기판(S) 전단부 에지를 스캔하고, 촬상기재(301)에 획득된 스캔이미지는 제어부(400)로 송출한다.Referring to FIG. 6B, since the slider 322 of the traveling substrate 320 travels along the guide 321, the movable scanning module 300 scans the edges of the front end of the glass substrate S in a stationary state by driving together. The scanned image acquired by the imaging substrate 301 is sent to the controller 400.

이때, 연결기재(310)는 유리기판(S) 전단부 에지를 스캔완료한 후에 유리기판(S)의 전진이송시 유리기판(S)과 간섭되지 않을만큼 회피된 위치에서 정지되는 것이 바람직하다.At this time, the connection substrate 310 is preferably stopped at the position avoided so as not to interfere with the glass substrate (S) during the forward transfer of the glass substrate (S) after the scan of the front edge of the glass substrate (S).

도 6c를 참조하면, 유리기판(S)은 이송부(100)에 의해 언로딩부(500)측으로 이송되는 도중에 그의 후단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하면 정지시킨다.Referring to FIG. 6C, when the glass substrate S reaches a position where the rear end edge thereof coincides with the traveling path of the mobile scan module 300 while being transferred to the unloading part 500 by the transfer part 100. Stop it.

이때, 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)의 이송경로상에 고정설치되어 있 으므로 유리기판(S) 양측 에지를 스캔하고, 촬상기재(301)에 획득된 스캔이미지는 제어부(400)로 송출한다.At this time, since the fixed scan module 200 is fixedly installed on the transport path of the glass substrate S, the edges of both sides of the glass substrate S are scanned, and the scanned image obtained by the imaging substrate 301 is controlled by the controller 400. Send it out.

도 6d를 참조하면, 이동식 스캔모듈(300)은 주행기재(320)의 슬라이더(322)가 가이드(321)를 따라 복귀주행하므로 함께 복귀주행하여 정지상태의 유리기판(S) 후단부 에지를 스캔하고, 촬상기재(301)에 획득된 스캔이미지는 제어부(400)로 송출한다.Referring to FIG. 6D, since the slider 322 of the traveling substrate 320 travels back along the guide 321, the movable scanning module 300 scans the rear end edge of the glass substrate S in a stationary state by traveling back together. The scanned image acquired by the imaging substrate 301 is sent to the controller 400.

이때, 이동식 스캔모듈(300)은 연결기재(310)의 개구된 측으로 유리기판(S)의 후단부 에지를 진입시켜야 간섭을 회피할 수 있으므로, 회전기재(330)의 회전구동에 의해 연결기재(310)를 180도 회전시킨 후 유리기판(S)의 후단부 에지를 따라 복귀주행시킨다.At this time, since the mobile scan module 300 has to enter the rear end edge of the glass substrate S into the open side of the connection substrate 310 to avoid interference, the connection substrate (rotation drive of the rotation substrate 330) The 310 is rotated 180 degrees and then returned along the trailing edge of the glass substrate S. FIG.

일례로, 유리기판(S)은 그의 후단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하면 도 4에 도시된 바와같이 언로딩부(500)에서 상향돌출하는 지지핀(510)에 지지된다. For example, the glass substrate S has a support pin protruding upward from the unloading part 500 as shown in FIG. 4 when its rear end edge reaches a position coinciding with the traveling path of the movable scan module 300. 510 is supported.

이에 유리기판(S)은 지지핀(510)에 지지되고, 이송부(100)의 지지기재(110)는 후속하는 유리기판(S)을 이송하기 위해 후퇴되며, 지지핀(510)에 지지된 유리기판(S)은 지지핀(510)이 하향복귀하여 언로딩부(500)의 평면상에 지지되므로 이송부(100)에 의해 이송될 시의 높이보다 하강된다. The glass substrate (S) is supported on the support pins 510, the support substrate 110 of the transfer unit 100 is retracted to transfer the subsequent glass substrate (S), the glass supported on the support pins (510) The substrate S is lower than the height when the support pin 510 is returned downward and is supported on the plane of the unloading part 500.

이와 같은 이송조건 하에서 이동식 스캔모듈은(300)은 연결기재(310)가 승강기재(340)의 구동에 의해 유리기판(S)의 하강된 높이만큼 하강되어야만 언로딩 상태의 유리기판(S) 후단부 에지를 초점변화없이 정상스캔할 수 있다.Under such a transfer condition, the mobile scan module 300 has to be lowered by the lowered height of the glass substrate S by the driving of the lifting substrate 340 after the glass substrate S in the unloading state. The end edge can be scanned normally without changing the focus.

즉, 이동식 스캔모듈(300)은 유리기판(S)이 언로딩부(500)에 언로딩되어 이송시 높이보다 하강되어도 초점거리의 변화에 대응하여 스캔을 수행할 수 있다는 장점이 있다.That is, the mobile scan module 300 has an advantage that the glass substrate S can be unloaded in the unloading unit 500 to perform scanning in response to a change in focal length even if the glass substrate S is lower than the height during transportation.

한편, 이동식 스캔모듈(300)은 촬상기재(301)에 초점을 가변하여 조정할 수 있는 줌렌즈방식을 적용하여 승강기재(340)를 생략하는 것도 고려해 볼 수 있다.On the other hand, the movable scan module 300 may be omitted by applying the zoom lens method that can be adjusted by varying the focus on the imaging substrate 301.

일례로, 이동식 스캔모듈(300)은 유리기판(S)이 그의 후단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하는 한편 언로딩부(500)에 하강지지되기 전 예컨데, 지지기재(110)에 지지된 상태에서 후단부 에지를 스캔하는 것도 고려해 볼 수 있다. 즉, 지지기재(110)는 연결기재(310)가 복귀주행하는 구간을 절곡형성하여 연결기재(310)의 복귀주행시 간섭을 회피하도록 구성할 수도 있다.For example, the movable scan module 300 is before the glass substrate S is lowered and supported by the unloading part 500 while the rear end edge reaches a position corresponding to the traveling path of the movable scan module 300. For example, it may be considered to scan the rear end edge while being supported by the support base 110. That is, the support base 110 may be formed to bend the section in which the connection base 310 returns to run to avoid interference during the return drive of the connection base 310.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.Although the present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the concept of the present invention. Various changes and modifications are possible by the user.

상기한 바와 같이 본 발명은, 단일의 이동식 스캔모듈과 한쌍의 고정식 스캔모듈로 이루어지는 비교적 단순한 구성의 조합으로 유리기판 에지 결함여부를 신속하고 정확하게 검사하여 검사수율을 대폭 향상시키는 효과가 있다.As described above, the present invention is a combination of a relatively simple configuration consisting of a single mobile scan module and a pair of fixed scan modules has the effect of inspecting the glass substrate edge defects quickly and accurately to significantly improve the inspection yield.

또한 본 발명은, 이동식 스캔모듈을 주행, 회동 및 승강시키는 각 구성부품이 상호 유기적으로 연결되어 장치구성을 간소화하므로 경제적일 뿐만 아니라 다양한 이송조건하의 유리기판에 대하여 원활하게 적용할 수 있다는 효과가 있다.In addition, the present invention, the components of driving, rotating and lifting the mobile scan module is connected to each other organically to simplify the configuration of the device is economical and can be applied smoothly to glass substrates under various transfer conditions. .

또한 본 발명은, 유리기판의 반송로상에 별도의 구조변경 없이 모듈화된 이동식 스캔모듈을 설치하여 유리기판 에지 결함여부를 검사하므로 경제적이라는 효과가 있다.In addition, the present invention, by installing a modular portable scan module on the conveyance path of the glass substrate without inspecting the glass substrate edge defects there is an economical effect.

또한 본 발명은, 이동식 스캔모듈이 유리기판 전단부 에지와 후단부 에지를 교번하여 스캔하므로 스캔경로를 최소화할 뿐만 아니라 유리기판의 정지시간도 최소화하므로 검사에 소요되는 전체 텍트타임도 대폭 단축하는 효과가 있다.In addition, the present invention, since the mobile scanning module alternately scans the front and rear edges of the glass substrate, not only minimizes the scan path but also minimizes the stop time of the glass substrate, thereby significantly reducing the overall text time required for inspection. There is.

Claims (8)

유리기판을 일방향으로 이송하는 이송부;Transfer unit for transferring the glass substrate in one direction; 유리기판의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈;A fixed scan module installed at both sides of one surface of the glass substrate by a focal length to scan both edges of the glass substrate in a transport state; 유리기판의 이송방향 전단(前段)부를 따라 직선왕복주행하여, 최초 주행시 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 스캔하고, 복귀 주행시 정지상태의 유리기판 후단(後段)부를 따라 직선왕복주행하여 유리기판 후단부 에지를 스캔하는 이동식 스캔모듈; 및After a straight reciprocating run along the front end of the glass substrate in the transport direction, scan the edge of the front end of the glass substrate in the stop state at the first driving, and run a straight reciprocation along the rear end of the glass substrate in the stop state when returning. A movable scan module for scanning end edges; And 상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판 에지의 결함여부를 판단하는 제어부를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.Glass substrate edge inspection device including a control unit for determining whether the defect of the glass substrate edge by collecting the image scanned by each scan module. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동식 스캔모듈은,The mobile scan module, 유리기판의 일면에서 초점거리만큼 이격설치되는 촬상기재와, 유리기판의 타면에서 소정간격 이격되어 상기 촬상기재와 대면하게 설치되는 조명기재를 연결설치하는 연결기재;A connection substrate connecting and connecting the imaging substrates spaced apart from each other by a focal length on one surface of the glass substrate and the illumination substrate spaced apart from the other surface of the glass substrate by a predetermined distance; 상기 연결기재를 유리기판의 이송방향 전단부 에지를 따라 직선왕복주행시키는 주행기재; 및A traveling base material for linearly reciprocating the connecting base material along the edge of the front end portion of the glass substrate in the conveying direction; And 상기 연결기재와 결합하되, 상기 촬상기재와 상기 조명기재를 직선연결하는 가상선을 회전축으로 하여 상기 연결기재를 회전시키는 회전기재를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.Glass substrate edge inspection apparatus coupled to the connecting substrate, the rotation substrate for rotating the connecting substrate by using a virtual axis for connecting the image pickup substrate and the illumination substrate as a rotation axis. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 이동식 스캔모듈은,The mobile scan module, 상기 주행기재와 상기 회전기재 사이에 설치되어 상기 회전기재를 상기 가상선을 따라 승강시키는 승강기재를 더 포함하는 유리기판 에지 검사장치.The glass substrate edge inspection apparatus further comprises a lifting substrate which is installed between the driving substrate and the rotating substrate to raise and lower the rotating substrate along the imaginary line. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 승강기재는,The lifting substrate, 상기 회전기재와 결합되어 상기 가상선을 따라 승강되는 이동체; 및A moving body coupled to the rotating substrate to move along the virtual line; And 상기 이동체를 가이드하여 승강시키고, 상기 주행기재와 결합하여 유리기판 전단부 에지를 따라 직선왕복주행되는 본체를 포함하는 유리기판 에지 검사장치. The glass substrate edge inspection apparatus including a main body to guide the elevating the moving body, the main body is coupled to the traveling substrate and reciprocating linearly along the edge of the glass substrate front end. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 주행기재는,The traveling base material, 유리기판의 이송방향에 대하여 직교하는 방향으로 설치되는 가이드; 및A guide installed in a direction orthogonal to the conveying direction of the glass substrate; And 상기 승강기재의 본체와 결합되어 상기 가이드를 따라 직선왕복주행되는 슬라이더를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.Glass substrate edge inspection device is coupled to the main body of the lifting substrate including a slider that is linear reciprocating along the guide. 유리기판 에지를 라인스캔하여 획득된 이미지를 판단하여 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사방법에 있어서:In the glass substrate edge inspection method for inspecting the defect of the glass substrate edge by judging the image obtained by line scanning the glass substrate edge: (a) 유리기판 전단부 에지를 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 단계;(a) transferring the glass substrate front end edge to match the traveling path of the mobile scan module; (b) 상기 이동식 스캔모듈이 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 따라 주행하며 스캔하는 단계;(b) the mobile scanning module traveling and scanning along the edge of the glass substrate front end in the stationary state; (c) 유리기판 전단부 에지가 스캔완료된 후 유리기판 후단부 에지를 상기 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 동시에 고정식 스캔모듈에 의해 이동되는 유리기판 양측 에지를 스캔하는 단계; 및(c) scanning both edges of the glass substrate moved by the fixed scan module while transferring the glass substrate rear edge to match the traveling path of the movable scan module after the glass substrate front edge is scanned; And (d) 유리기판 양측 에지가 스캔완료된 후 상기 이동식 스캔모듈이 유리기판 후단부 에지를 따라 복귀주행하며 스캔하는 단계를 포함하는 제1항의 유리기판 에지 검사장치를 이용한 유리기판 에지 검사방법.(d) A glass substrate edge inspection method using the glass substrate edge inspection apparatus according to claim 1, wherein the movable scanning module scans along the rear edge of the glass substrate after the edges of the glass substrate are scanned. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 (d)단계는,In step (d), 상기 이동식 스캔모듈이 유리기판 후단부 에지와 간섭되지 않도록 180도 회전 후 복귀주행하는 것을 특징으로 하는 제1항의 유리기판 에지 검사장치를 이용한 유리기판 에지 검사방법.A glass substrate edge inspection method using the glass substrate edge inspection apparatus of claim 1, wherein the movable scan module is rotated 180 degrees so as not to interfere with the rear edge of the glass substrate. 제6항 또는 제7항에 있어서,The method according to claim 6 or 7, 상기 (d)단계는,In step (d), 상기 이동식 스캔모듈이 상기 유리기판의 언로딩 높이에 대응하여 승강 후 복귀주행하는 것을 특징으로 하는 제1항의 유리기판 에지 검사장치를 이용한 유리기판 에지 검사방법.A glass substrate edge inspection method using the glass substrate edge inspection apparatus according to claim 1, wherein the movable scanning module moves back and forth after lifting in accordance with the unloading height of the glass substrate.
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