KR20050074257A - 반송대차 시스템 - Google Patents

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KR20050074257A
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무라타 기카이 가부시키가이샤
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Abstract

스테이션의 바로 앞측에, 스테이션으로의 정지위치, 이송시의 이동량 등의 제어데이터를 기술한 ID태그를 설치한다. 이것을 천정주행차로 판독하고, 정지와 이송에 사용한다.
스테이션마다의 정지나 이송의 제어데이터를 천정주행차가 기억할 필요가 없고, 또한 제어데이터를, 천정주행차의 기억을 갱신하지 않고 변경할 수 있다.

Description

반송대차 시스템{TRANSPORT CARRIAGE SYSTEM}
본 발명은 천정주행차나 유궤도대차, 스태커 크레인 등의 반송대차 시스템에 관한 것이며, 특히 정지위치나 이송 등의 제어데이터의 교시에 관한 것이다. 또한 본 명세서에서는, 스테이션에서의 정지위치의 데이터를 정지용 제어데이터라고 하고, 스테이션과의 사이의 이송에서의 이송장치 각 부의 이동량 등의 데이터를 이송용 제어데이터라고 한다. 지상측은 반송대차측과 대비하기 위한 용어이고, 스테이션(정지위치)이나 주행 레일 등과 반송대차 시스템의 지상 컨트롤러 등을 의미한다.
특허문헌 1은, 천정주행차 시스템에서의 천정주행차나 스테이션의 캘리브레이션을 개시하고 있다. 대규모 시스템에서는 천정주행차의 수도 100대 이상에 달하고, 스테이션 (정지위치)의 수도 수백에 달한다. 개별의 천정주행차와 스테이션의 조합마다 정지나 이송의 제어데이터를 캘리브레이션하면 부담이 크기 때문에, 1대의 기준이 되는 천정주행차를 이용하여 캘리브레이션한다. 그리고 다른 천정주행차에서는, 캘리브레이션에 사용한 기준의 천정주행차로부터의 시프트(편차)를 기억해서, 캘리브레이션 데이터를 보정한다.
그런데 각 천정주행차가, 수백의 스테이션에 대한 정지나 이송의 제어데이터를 기억하면, 이들의 기억에 상당한 기억용량이 필요하게 된다. 또한 스테이션의 배치 등을 변경할 때 마다, 다수의 천정주행차의 기억을 갱신할 필요가 있고, 스테이션의 배치의 변경이나 증설, 삭제가 번거롭게 된다.
이와는 별도로 공작기계 등에 이용하는 위치센서의 예로서, 특허문헌 2~4는, 자성체나 반자성체 등의 자기적 마크와 코일의 자기적인 결합을 이용한, 리니어 센서를 개시하고 있다. 복수의 검출 코일을 직렬로 접속하여 교류를 가하면, 자기적 마크와 검출 코일과의 위치에 의해, 각 검출 코일의 전압이 변화한다. 이 전압의 변화로부터, 자기적 마크에 대한 검출 코일의 위치의 위상을 θ, 검출 코일을 흐르는 교류의 각속도를 ω라고 하여, sinθㆍsinωt 와 cosθㆍcosωt에 비례하는 신호를 얻는 것이 가능하다.
[특허문헌 1] 일본 특허3367389호 공보
[특허문헌 2] 일본 특허공개2001-174206호 공보
[특허문헌 3] 일본 특허공개2003-139563호 공보
[특허문헌 4] 일본 특허공개2003-156364호 공보
본 발명의 과제는, 정지용의 제어데이터를, 정지위치 마다 반송대차가 기억할 필요를 없애는데 있다. 또한 정지위치의 추가와 변경 등을 용이하게 하는데 있다. 청구항 2의 발명에서의 추가 과제는, 반송대차가 필요할 때에 그 장소에서, 또한 일일이 통신하지 않고, 정지용의 제어데이터를 얻을 수 있도록 하는데 있다. 청구항 3의 발명에서의 추가 과제는, 반송대차의 위치센서를 티칭없이 교환 할 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 반송대차 시스템은, 소정의 정지위치의 사이를 반송대차가 주행하여 물품을 반송하는 시스템에 있어서, 지상측에, 각 정지위치에서의 반송대차의 정지용 제어데이터를 기억하기 위한 기억수단을 설치함과 아울러, 반송대차에, 상기 기억수단으로부터 정지용 제어데이터를 수신 또는 판독하기 위한 수단과, 그 제어데이터를 이용하여 반송대차를 정지위치에 정지시키기 위한 주행제어수단을 설치한 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 정지위치의 바로 앞측에, 또한 반송대차에서 판독 가능하게, 상기 제어데이터의 기억수단을 설치한다. 특히 바람직하게는, 기억수단에는 정지제어용 데이터와 이송제어용 데이터의 쌍방을 기억한다. 또한 바람직하게는 기억수단을 정지위치 마다에 설치하여, 각 기억수단에는, 그 후측의 1개의 정지위치의, 정지제어용 데이터와 이송제어용 데이터를 기억한다.
또한 바람직하게는, 상기 반송대차에 위치센서를 설치하여, 그 위치센서의 보정 데이터를 기억하기 위한 수단을 상기 위치센서내에 설치한다. 위치센서는 바람직하게는 자기적 마크과 검출용 코일간의 자기적 결합을 이용한 리니어 센서로 한다. 특히 바람직하게는, 리니어 센서의, 검출 코일 등의 센서 헤드와, 센서 헤드로부터의 신호를 위치로 변환하는 변환부를 별체로 하고, 센서 헤드에 기억수단을 설치하여 그 센서 헤드의 보정 데이터를 기억한다.
이하에 본발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.
[실시예]
도1~도5에 실시예를 나타낸다. 실시예는 천정주행차를 예로 하지만, 다른 반송대차라도 좋다. 도 1에 천정주행차 시스템(2)의 레이아웃을 나타낸다. 천정주행차(8)의 주행 루트에는, 예를 들면 인터베이 루트(4)와 인트라베이 루트(6)가 있다. 루트(4, 6)를 따라서 반도체 처리장치의 로드 포트 등의 스테이션(10)이 설치된다. 도면부호 12는 ID태그이고, 바코드 등을 이용하여, 후술의 피검출용 마크(14)를 기준으로 하는 정지용 제어데이터와, 이송용 제어데이터를 기술한다. 또한 피검출용 마크(14)는, 스테이션(10)의 바로 앞측으로부터 정지위치에 걸쳐서 설치한다. 천정주행차(8)에는 바코드 리더(16)를 설치하고, ID태그(12)의 정지용이나 이송용의 제어데이터를 판독한다. 또한 천정주행차(8)에는 리니어 센서(18)를 설치하고, 마크(14)에 대한 자기의 절대위치를 검출한다. 또한 도면부호 20은 지상측 컨트롤러이다.
루트(4, 6)를 따라서, 클린룸의 천정 등의 높은 곳을 따라, 천정주행차(8)의 주행 레일이 부설된다. 천정주행차(8)는 이 레일로부터 급전을 받음과 아울러, 지상측 컨트롤러(20)나 다른 천정주행차 등과 통신한다. 태그(12)와 마크(14)는 주행 레일을 따라서 설치되어 있다. 천정주행차(8)는 루트(4, 6)를 예를 들면 일방통행으로 주행한다. 본 명세서에서는 스테이션(10)의 상류측을 바로 앞이라고 부른다. 스테이션(10)에 대하여 바로 앞측으로부터 ID태그(12), 마크(14)의 순으로 배치되어 있다. 또한 ID태그(12)의 바로 앞측에, ID태그(12)가 나타나는 것을 예고하기 위한 도그 등을 배치해도 좋다.
마크(14)는, 스테이션(10)의 바로 앞으로부터 정지위치 자체에 걸쳐서 판독이 가능하게 배치된다. 마크(14)는, 정지위치와 정지위치의 사이에는 설치할 필요는 없다. 천정주행차(8)는 정지 제어를 위한 마크(14)를 기준으로 하는 정지위치의 데이터(정지용 제어데이터)가 필요하다. 또한 스테이션(10)에서의 승강대의 횡이동 (래터럴이동), 척부의 회동, 승강동작 등을 위해 이송용 제어데이터(예를 들면 이들의 이동량 데이터)가 필요하다. ID태그(12)에는 스테이션(10)마다의 이들 제어데이터를, 이상적인 대차(이상대차)에 대한 데이터로 하여, 바코드로 제어데이터 기억부(22)에 광학적 또는 자기적으로 기억한다.
천정주행차(8)의 좌우양측 또는 일측에, 바코드 리더(16) 및 리니어 센서(18)를 설치한다. 리니어 센서(18)를 대신해서 광학 센서를 이용하고, 스테이션(10)의 바로 앞측으로부터 정지위치에 걸쳐서 배치한 빗모양 형상 등의 광학적 마크를 판독하고, 그 마크에 대한 절대위치를 구해도 좋다. 그리고 천정주행차(8)는, 바코드 리더(16)에 의해 ID태그(12)로부터 제어데이터를 판독하고, 이 데이터에 따라서, 리니어 센서(18)로 마크(14)에 대한 절대위치를 검출하고, 크리프 주행없이 정지한다. 또 제어데이터에 따라, 스테이션(10)과의 이송을 행한다.
천정주행차(8)에는, 천정주행차 보정데이터 기억부(24)를 설치하여, 이상대차에 대한 자기 보정데이터(Tm)를 기억한다. 보정데이터(Tm)에는 승강이나 회동, 래터럴 동작 등의 이송제어용의 데이터가 포함되어 있다. 또한 리니어 센서(18)에는 리니어 센서 보정데이터 기억부(26)를 설치하고, 리니어 센서(18)의 센서 헤드의 보정 데이터를 기억한다. 또한 루트(4, 6)중 어느 하나를 따라서 유지ㆍ보수 구역(28)을 설치하고, 천정주행차(8)의 이송 등에 관한 캘리브레이션을 행할 수 있도록 한다. 그리고 유지ㆍ보수 구역(28)에 대하여, 보정량 0으로 이송할 수 있는 천정주행차가 이상대차이다. 또한 유지ㆍ보수 구역(28)에서의 캘리브레이션은, 이송용 제어데이터 이외에, 정지용의 제어데이터를 포함해도 좋다. 지상측 컨트롤러(20)에는 백업데이터 기억부(30, 31)를 설치한다. 기억부(30)에서는 천정주행차(8)의 보정데이터(Tm)를 기억한다. 백업데이터 기억부(31)에서는 스테이션(10) 마다의 정지용과 이송용 제어데이터(Dn)를 기억한다.
도 2에 천정주행차(8)의 구성을 나타낸다. 통신부(40)는 루트(4, 6) 등을 따라서 부설된 급전선 겸용의 통신선을 이용하여, 다른 천정주행차나 지상측 컨트롤러(20) 등과 통신한다. 천정주행차 보정데이터 기억부(24)는 이상대차에 대한 이송용 제어데이터의 보정량(Tm)을 기억한다. 리니어 센서(18)는 보정 데이터를 기억완료하고, 보정후의 데이터를 출력한다. 따라서, Tm중의 정지 제어데이터는 (1, 1, 1…) 등으로 되어 있다. 보정 연산부(42)는, 보정데이터(Tm)와 바코드 리더(16)로 판독한 스테이션 마다의 제어데이터(Dn)를 이용하여, 정지 및 이송용의 실제의 제어데이터를 산출한다. 예를 들면, 데이터(Tm, Dn)가 행렬 형식으로 기재되어 있는 것으로서, 실제 제어데이터는 TmㆍDn으로 나타내어진다. 리니어 센서(18)는 상기와 같이 마크(14)를 검출하고, 마크(14)에 대한 절대위치를 구한다. 바코드 리더(16)는, 마크(14)의 바로 앞측에 배치된 ID태그(12)로부터 제어데이터(Dn)를 판독한다.
천정주행차(8)의 기구계로서, 주행 구동부(44)와 래터럴 구동부(46) 및 승강 구동부(48), 회동부(50), 척부(52)가 있다. 이들에 대한 제어량은, TmㆍDn 의 형태로 공급되고, 주행 구동부(44)는 스테이션(10)에 대하여 크리프 주행 없이 소정 위치에 정지할 수 있도록 정지 제어한다. 래터럴 구동부(46)는 루트(4, 6)로부터 소정 방향 횡측으로 승강 구동부(48)를 좌우로 이동시킨다. 승강 구동부(48)는 척부(52)를 데이터(TmㆍDn)에 따라 소정량만큼 승강시킨다. 회동부(50)는 같은 방식으로 데이터(TmㆍDn)에 따라, 척부(52)를 소정 각도 회동시킨다.
도 3에, 리니어 센서(18)의 구성을 나타낸다. 센서 헤드(54)에서는 복수의 검출 코일(56)이 일렬로 배열되고, 자성체 등의 커버로 덮여져 있다. 검출 코일(56)에는 교류전원(58)으로부터 교류전류가 가해지고, 예를 들면 각 검출 코일로의 전압이 출력으로서 변환부(64)에 공급된다. 상기 마크(14)는 강철 등의 자성체와, 동이나 알루미늄 등의 반자성체로 구성되어 있다. 마크(14)가 커버내에 진입하여 검출 코일(56)에 대면한 위치에 나타나면, 그 위치에 의해 검출 코일(56)과 마크(14)의 자기적인 결합이 변화하기 때문에, 마크(14)를 기준으로 하는 리니어 센서(18)의 절대위치를 구할 수 있다. 도면부호 60은 EEPROM이나 FlashROM 등을 이용한 불휘발 메모리이다. 상기 리니어 센서 보정데이터 기억부(26)와, 이 이외에 이력 기억부(62)를 설치하여, 리니어 센서(18)의 사용개시 시기나 연장 사용시간, 에러 등의 트러블이 생겼을 때의 에러 등의 종류 (에러 코드) 및 에러 등의 발생시기 등을 기억한다. 그리고 리니어 센서 보정데이터 기억부(26)는, 센서 헤드(54) 마다의 보정 데이터를 변환부(64)에 입력하기 전에 기억하고 있다.
변환부(64)에서는, 예를 들어 AD 컨버터(66)에 의해 각 검출 코일(56)의 전압을 AD 변환한다. 그리고 디지털 시그널 프로세서 등을 이용한 CPU(68)등에 의해, 마크(14)에 대한 리니어 센서(18)의 절대위치 등을 구한다. 예를 들면 교류전원(58)의 각주파수를ω, 마크(14)에 대한 검출 코일(56)의 위상을 θ라고 하면, 특허문헌 2~4 등의 기재된 바와 같이 sinθㆍsinωt 와 cosθㆍcosωt 의 신호를 얻을 수 있다. 그리고, 이들로부터 위상 θ를 구할 수 있다. 리니어 센서 보정데이터 기억부(26)의 데이터량을 작게 하기 위해서, 리니어 센서 보정데이터 기억부(26)에서는, 수점~10점 정도의 비교적 소수의 점에 대하여, 검출 코일(56)로부터 얻어진 위상과 실제 위상의 보정표를 기억한다. 그리고, 전원 투입시 등에 이 데이터를 CPU(68) 에서 처리하여 보간하고, 보간완료의 보정 데이터를 RAM(70) 등에 기억하여 이용한다. 또한 CPU(68)는, 트러블 등의 발생 때마다, 에러 코드와 발생 시기 등을 RAM(70)에 기억하고, RAM(70)으로부터 도시하지 않은 인터페이스 등을 개재하여, 이력 기억부(62)에 입력한다.
도4에, 천정주행차 시스템의 시스템 전체 캘리브레이션을 나타낸다. 또한 천정주행차만을 캘리브레이션할 경우, 그 부분의 처리만을 행하면 된다. 또 스테이션을 추가할 경우, 추가한 스테이션에 대한 캘리브레이션만을 행하면 된다. 천정주행차의 호기번호를 m으로 나타내고, 스테이션 번호를 n으로 나타내는 것으로 한다. 실제 제어데이터는 천정주행차와 스테이션의 조합으로 정해진다. 실제의 제어데이터를 Dnm으로 하면, 상기와 같이 Dnm = TmㆍDn의 관계가 있다.
각 천정주행차를 유지ㆍ보수 구역에서 캘리브레이션한다. 캘리브레이션은 적어도 이송용 제어데이터에 대하여 행한다. 또한, 이것 외에 정지용 제어데이터도 캘리브레이션해도 좋다. 그리고 이상적인 천정주행차의 경우, 보정 데이터가 0, 즉 행렬(Tm)이 0행렬로 되는 것으로 하고, 이것으로부터의 편차를 행렬(Tm)로 각 천정주행차 마다 기억한다. 다수의 천정주행차로부터 적절히 1대를 골라, 각 스테이션을 캘리브레이션한다. 각 스테이션에 대하여 천정주행차가 정확히 정지하고, 정확히 이송을 행하기 위한 제어데이터를 구하고, 이 데이터는 천정주행차와 스테이션의 조합에 의한 제어데이터이므로, 예를 들어, 행렬(Dnm)로 나타내어진다. 이상대차로부터의 천정주행차의 편차를 나타내는 행렬(Tm)의 역행렬(Tm-1)을 이용함으로써, 이상대차에 대한 각 스테이션의 제어데이터((Dn) (Dn = Tm-1ㆍDnm))가 얻어지고, 이것을 ID태그에 기억한다. 제어데이터(Dn)는 캘리브레이션에 이용된 천정주행차에 의존하지 않는 데이터이다. 백업용에 지상측 컨트롤러에도 천정주행차마다의 보정데이터(Tm)와 스테이션 마다 제어데이터(Dn)를 기억한다.
스테이션으로부터 스테이션으로의 반송 알고리즘을 도 5에 나타낸다. 반송지령을 수신하면, 천정주행차는, 목적의 스테이션까지의 주행거리를 도시하지 않는 맵 등으로부터 산출한다. 그리고, 주행차륜의 회전수와 주행용 서보모터의 회전수등을 인코더로 감시하고, 남은 주행거리를 구하면서 추측주행한다. ID태그를 검출하면, 스테이션 마다의 제어데이터(Dn)를 읽어 내고, 이상대차에 대한 자기 보정용의 행렬(Tm)을 이용하여, 데이터(TmㆍDn)를 산출한다. 데이터(Dn)로부터 구한 정지위치(마크를 기준으로 하는 정지위치)와 리니어 센서의 신호를 이용하여, 크리프 주행 없이 정지한다. 리니어 센서(18)의 경우, 크리프 주행 없이 예를 들어 ±1mm 정도의 정밀도로 정지할 수 있고, 크리프 주행에 필요한 5초 정도의 시간을 단축할 수 있다. 데이터(TmㆍDn)에 의해 이송을 제어하고, 승강 구동부의 래터럴 이동(횡이동), 척부의 승강 및 회동을 제어하여 이송을 행한다. 이송을 행하면, 래터럴 이동과 승강동작, 회동동작의 이동량분 만큼, 방향을 반전하여 복귀하고, 반송을 종료한다.
실시예는 천정주행차에 대해서 나타내었지만, 지상주행의 유궤도대차나 스태커 크레인 등이라도 좋고, 또 무궤도의 무인반송차등이라도 좋다. 또한 천정주행차는 이송장치를 구비한 것으로 했기 때문에, 각 ID태그에 정지용 제어데이터와 이송용 제어데이터를 기억시켰으나, 이송장치가 없는 반송대차의 경우는 정지용 제어데이터만을 기억하면 된다. 또한 제어데이터는, 지상측 컨트롤러에 천정주행차로부터 조회하여 수신하도록 해도 좋다.
실시예에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다. (1) 정지용 제어데이터와 이송용 제어데이터를, ID태그에 기억하여 스테이션 마다 천정주행차로 판독한다. 이 때문에, 이들 데이터를 천정주행차에서 기억할 필요가 없다. 또한 천정주행차의 기억을 의식하지 않고 이들 데이터를 변경할 수 있고, 또한 정지 전에 지상측 컨트롤러에 제어데이터를 조회할 필요가 없다. (2) ID태그에는 이상대차에 대한 제어데이터를 기억하고, 천정주행차는 이상대차에 대한 자기의 보정 데이터를 기억한다. 이 때문에 스테이션과 천정주행차 마다의 조합에 대해서, 제어데이터를 기억할 필요가 없다. 이상대차에 대한 제어데이터는, 개개의 천정주행차로부터 독립한 데이터이다. 따라서, 예를 들면 캘리브레이션에 이용된 천정주행차를 폐기하여도, 이상대차에 대한 제어데이터는 계속해서 유효하다. (3) 리니어 센서의 센서 헤드만을 변환부와 별도로 변환할 수 있고, 또한 센서 헤드를 교환했을 때에. 천정주행차를 시험주행 시켜 보정용 데이터를 새로 고칠 필요가 없다. (4) 리니어 센서 등의 위치센서를 이용하여, 스테이션 부근에 설치한 마크에 대한 절대위치를 검출하면서 정지 제어한다. 이 때문에 크리프 주행 없이 정지할 수 있고, 1회의 주행시간을 예를 들면 수초 정도 단축할 수 있다. (5) 리니어 센서에 의해 예를 들면 1mm 정도의 정밀도로 정지할 수 있고, 또한 리니어 센서로부터 속도의 신호도 얻을 수 있기 때문에, 인코더로부터의 저정밀도의 속도신호에 의지할 필요가 없다. (6) 마크는 정지위치의 바로 앞으로부터 정지위치 자체에 걸쳐서 설치하면 되고, 주행 루트의 전체 길이에 걸쳐서 설치할 필요가 없다. 또한 마크와 마크 사이에서는, 인코더에 의한 추측제어로 충분한 주행제어를 할 수 있다. (7) 마크는 정지위치의 바로 앞으로부터 정지위치 자체에 걸쳐서 배치되어 있기 때문에, 천정주행차는 마크의 부근을 저속으로 주행하고, 정확히 마크를 판독하는 것이 가능하다. (8) ID태그는 마크를 기준으로 하는 정지용 제어데이터를 기억하기 때문에, 마크의 설치 위치의 정밀도는 정지용 제어데이터에 영향을 미치지 않는다. 이 때문에 마크의 설치가 용이하게 된다.
본 발명에서는, 지상측에 각 정지위치에서의 반송대차의 정지용 제어데이터를 기억하기 때문에, 반송대차에서 이들 데이터를 기억할 필요가 없다. 이로 인해 반송대차의 기억용량을 절감할 수 있음과 아울러, 반송대차의 기억을 의식하지 않고, 스테이션의 배치 등을 변경할 수 있다.
청구항 2의 발명에서는 또한, 정지위치의 바로 앞측에 제어데이터의 기억수단을 설치하여 반송대차에서 판독하기 때문에, 그 곳에서 또한 지상측 컨트롤러 등과 교신하지 않고, 정지위치를 찾는 것이 가능하다.
청구항 3의 발명에서는 또, 위치센서의 보정데이터를 위치센서 내에 기억하기 때문에, 위치센서를 교환할 때마다 캘리브레이션을 행할 필요가 없다.
도1은 실시예의 반송대차 시스템의 레이 아웃을 모식적으로 나타내는 도이다.
도2는 실시예에서 이용한 반송대차의 블록도이다.
도3은 실시예에서 이용한 리니어 센서의 블록도이다.
도4는 천정주행차 시스템을 캘리브레이션할 때의 알고리즘을 나타내는 플로차트이다.
도5는 스테이션간의 주행제어 알고리즘을 나타내는 플로차트이다.
[부호의 설명]
2:천정주행차 시스템 4:인터베이 루트 6:인트라베이 루트
8:천정주행차 10:스테이션 12:ID태그
14:마크 16:바코드 리더 18:리니어 센서
20:지상측 컨트롤러 22:제어데이터 기억부
24:천정주행차 보정데이터 기억부
26:리니어 센서 보정데이터 기억부
28:유지ㆍ보수 구역 30,31:백업 데이터 기억부 40:통신부
42:보정 연산부 44:주행 구동부 46:래터럴 구동부
48:승강 구동부 50:회동부 52:척부
54:센서 헤드 56:검출 코일 58:교류 전원
60:불휘발 메모리 62:이력 기억부 64:변환부
66:AD 컨버터 68:CPU 70:RAM

Claims (3)

  1. 소정의 정지위치의 사이를 반송대차가 주행하여 물품을 반송하는 시스템에 있어서, 지상측에, 각 정지위치에서의 반송대차의 정지용 제어데이터를 기억하기 위한 기억수단을 설치함과 아울러, 반송대차에, 상기 기억수단으로부터 정지용 제어데이터를 수신 또는 판독하기 위한 수단과, 그 제어데이터를 이용하여 반송대차를 정지위치에 정지시키기 위한 주행 제어수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송대차 시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 정지위치의 바로 앞측에, 또한 반송대차에서 판독 가능하게, 상기 제어데이터의 기억수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송대차 시스템.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 반송대차에 위치센서를 설치하고, 그 위치센서의 보정 데이터를 기억하기 위한 수단을 상기 위치센서 내에 설치한 것을 특징으로 하는 반송대차 시스템.
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