KR20050027019A - 위치결정 스테이지용 지지유닛 및 그 설치구조 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따르면, 원주방향으로 간격을 두고 마련한 상하로 관통하는 복수의 볼 수용 구멍(8a)을 가진 리테이너(8)와, 상기 리테이너(8)의 각 볼 수용 구멍(8a)에 각각 수용된 볼(7)과, 상기 리테이너(8)의 상하에 배치되어 상기 복수의 볼(7)에 상하에서 각각 접촉하는 하판(6) 및 상판(11)과, 상기 상판(11)과 일체로 마련되어 적재물을 받치는 상부 플레이트(12)와, 무부하시에 상기 상부 플레이트(12)을 센터 포지션에 복귀시키기 위한 스프링(10)과, 상기 하판(6)을 받치는 하부 플레이트(2)와, 이 하부 플레이트(2)위에 고정되어 상기 상부 플레이트(12) 이외 부분을 둘러싸는 케이싱(5)을 구비한 위치결정 스테이지용 지지유닛이 제공된다.

Description

위치결정 스테이지용 지지유닛 및 그 설치구조{Supporting unit for positioning stage and mounting structure therefor}

본 발명은 적재물의 수평면 내에서의 고정밀도 위치결정이 가능하도록 적재물을 수평면 내에서 원활하고 흔들림 없이 이동시킬 수 있도록 지지하는 위치결정 스테이지에 사용하는 위치결정 스테이지용 지지유닛에 관한 것이다.

본원은 2003년 9월 12일에 일본출원된 일본특허출원 제2003-321032호, 및 2004년 8월 4일에 일본출원된 일본특허출원 제2004-227682호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 채용한다.

예를 들어, 액정 디스플레이 제조 공정에서는, 제조 공정 전반적으로 각각의 공정에 있어서의 처리장치에 복수의 액정용 글래스를 상하로 간격을 두고 격납하는 액정용 글래스 격납대를 위치결정하여 세팅하는 경우나, 각 처리 종료 후에 로봇 핸드로 액정용 글래스 격납대를 다음 공정용 장치로 이동시키기 위해 들어올리는 경우 등에 있어서, 로봇 핸드가 들어올리기 쉽도록 액정용 글래스 격납대를 로봇에 대한 소정 위치에 정확히 위치결정하는 것이 필요하다. 이를 위해 액정용 글래스 격납대(이하 경우에 따라 '격납대'라고 한다)를 고정밀도로 위치시킬 수 있도록 격납대를 수평면 내에서 원활하고 흔들림 없이 이동시킬 수 있도록 지지하는 위치결정 스테이지가 사용되고 있다.

격납대를 받치는 종래의 위치결정 스테이지는 케이싱 내에 상부가 노출되도록 수용한 큰 볼을 그 하면쪽에 배열한 복수의 작은 볼로 모든 방향으로 회전할 수 있도록 유지한 구조의 볼 베어링을 이용하고 있으며, 이 볼 베어링과 특정 경도 및 평면도를 갖는 강판을 점접촉시키고, 한쪽을 스프링으로 끌어당기고, 무부하시(격납대가 놓여져 있지 않아 하중이 작용하지 않을 때)에는 센터 포지션으로 되돌리도록 구성한 기구가 대부분이다.

액정 디스플레이 제조공정 전반의 각 공정에서는 글래스 표면에 여러가치 처리를 하는데, 그에 따라 격납대에 글래스를 수납하고 다음 공정으로 반송하는 행위가 많이 존재한다. 마더 글래스(mother glass)가 커짐에 따라, 각 처리장치 자체도 처리 효율이나 소형화를 요구받고 있으며, 위치결정을 행하기 위한 위치결정 스테이지를 설치할 공간에 대해서도 종래와 같은 공간의 확보는 어려워지고 있다. 또한 처리를 행하는 글래스의 대형화로 인해 큰 하중에 견딜 수 있고, 위치결정 스테이지 자체도 지금보다 높은 정밀도가 요구되고 있다. 단, 이 위치결정 스테이지는 저가격화가 강하게 요구되고 있는 제품을 제조하는 공정에서 이용하는 장치이기 때문에, 또한 수량적으로도 많은 수량이 필요한 것이기 때문에, 일정한 성능을 확보하면서 저렴한 가격으로 제공할 수 있는 것이 요구되고 있다.

그러나, 볼 베어링은 구조가 복잡하고, 여러 곳의 정밀도의 누적으로 전체 정밀도가 결정되므로, 고정밀도의 볼 베어링을 제작하는 것은 간단하지 않고 비용이 높아진다. 위치결정 스테이지로는 적어도 세 개 이상 배치할 필요가 있는데, 고정밀도의 볼 베어링을 이용하지 않으면, 가지런하지 않게 되며, 격납대를 움직일 때에 격납대가 흔들리게 된다. 볼 베어링 방식으로 높은 하중을 견디기 위해서는 크기가 커지므로 반드시 충분한 정밀도를 낼 수는 없다. 또한 위치결정 스테이지는 정밀도가 요구되므로, 청결하게 유지하는 것이 요구되는데, 종래의 위치결정 스테이지는 어떤 단위 영역을 커버로 덮을 생각이었기 때문에, 장치 자체도 커질 수밖에 없었다. 또한 격납대를 종래의 볼 베어링 방식으로 위치결정할 경우, 상판의 움직임이 부드럽다고 하더라도, 대형으로 된 격납대 사이즈에 대해서는 문제가 되고 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 구조가 간단하고 구성부품이 적어서, 저렴하면서도 고정밀도를 쉽게 실현할 수 있을 뿐만 아니라 설치에 필요한 공간을 줄일 수 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛을 제공함에 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 구조가 간단하고 구성부품이 적어서, 저렴하면서도 고정밀도를 쉽게 실현할 수 있을 뿐만 아니라 설치에 필요한 공간을 줄일 수 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛의 설치구조를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 원주 방향으로 간격을 두고 마련한 상하로 관통하는 복수의 볼 수용 구멍을 가진 리테이너와, 상기 리테이너의 각 볼 수용 구멍에 각각 수용된 볼과, 상기 리테이너의 상하에 배치되어 상기 복수개의 볼에 상하에서 각각 접촉하는 하판 및 상판과, 상기 상판과 일체로 마련되어 적재물을 받치는 상부 플레이트와, 무부하시에 상기 상부 플레이트를 센터 포지션에 복귀시키기 위한 스프링과, 상기 하판을 받치는 하부 플레이트와, 이 하부 플레이트 위에 고정되어 상기 상부 플레이트 이외의 부분을 둘러싸는 케이싱을 구비한 위치결정 스테이지용 지지유닛을 제공한다.

상기 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서, 리테이너가 원판 모양을 이루고, 이 원판 모양의 리테이너에 상기 스프링을 수용하기 위한 반경 방향으로 연장된 스프링 수용홈이 마련되어 있는 것이 바람직하다.

상기 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서, 케이싱에서의 상판과 상부 플레이트 사이의 덮개판 부분에 상판을 아래쪽으로 눌러붙여서 상판과 일체의 상부 플레이트의 이동을 구속하기 위한 상부 플레이트 고정기구가 마련되어 있는 것이 바람직하다.

상기 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서는, 상기 상부 플레이트 고정기구가 덮개판의 하면에 둘레홈을 형성하고, 또한 이 둘레홈에 바깥쪽으로부터 통하는 공기도입 통로를 형성하며, 상기 둘레홈에 가동 링을 상하로 슬라이딩 가능하게 수용한 구성인 것이 바람직하다.

상기 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서, 리테이너의 볼 수용 부분으로서 볼 수용 구멍을 대신하여 리테이너의 외주면으로 개구된 일부 결손 원형 모양의 볼 수용 노치부를 형성해도 된다.

상기 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서, 하부 플레이트가 하판을 겸하고 있는 것이 바람직하다.

본 발명은 또한 상기 위치결정 스테이지용 지지유닛을 위치결정 스테이지에 설치하는 위치결정 스테이지용 지지유닛의 설치구조를 제공한다.

이 설치구조에 있어서는 위치결정 스테이지의 베이스에 형성한 케이싱 결합 구멍에 위치결정 스테이지용 지지유닛의 케이싱부를 스테이지 베이스 상면과 케이싱 상면이 동일 평면이 되도록 결합시키고, 스테이지 베이스에 형성한 볼트머리수용용 직경확대부붙이 설치구멍에서 하부 플레이트에 형성한 설치구멍으로 관통시킨 볼트에 의해 스테이지 베이스와 하부 플레이트를 일체로 고정함으로써 위치결정 스테이지용 지지유닛이 스테이지 베이스에 설치된다.

본 발명의 위치결정 스테이지용 지지유닛에 의하면, 종래의 볼 베어링 방식과 비교하여 구조가 간단하고 구성부품이 적으며, 전체적인 정밀도에 관여하는 부위가 적으므로, 고정밀도를 쉽게 실현할 수 있다. 따라서, 복수의 지지유닛을 배치하여 위치결정 스테이지를 구성할 때에 위치결정 스테이지로서 고정밀도를 쉽게 실현할 수 있다.

또한 구조가 간단하므로 높은 하중을 견디는 것을 쉽게 제작할 수 있고, 또한 저렴한 가격으로 제작할 수 있다.

또한 지지유닛 자체가 센터 포지션 복귀용 스프링을 내장하고 있으므로, 위치결정 스테이지로서 설치에 필요한 공간을 줄일 수 있다.

마찬가지로 지지유닛 자체가 센터 포지션 복귀용 스프링을 내장하고 있으므로, 유닛 단위로 커버하는 것이 쉬우므로, 개별적인 청정화 대응이 가능하다.

또한 상판의 움직임도 매우 부드러우며, 수평면 내에서 움직일 때 평면도에 관해서는 종래 방식과 비교하여 약 10배 정도의 고정밀도를 실현하는 것이 가능하다.

리테이너를 원판 모양으로 하고, 이 원판 모양의 리테이너에 스프링 수용홈을 마련한 구성으로 함으로써 상기한 바와 같은 효과를 갖는 위치결정 스테이지용 지지유닛의 기구를 적절히 실현할 수 있다.

상부 플레이트의 이동을 구속하는 상부 플레이트 고정기구를 마련하면, 상부 플레이트를 일정한 위치에서 임의로 이동되지 않도록 구속하고 싶은 경우에 효과적이다.

또한 그와 같은 상부 플레이트 고정기구로서 공기압을 이용하여 상판을 아래쪽으로 눌러붙임으로써 상부 플레이트의 이동을 구속하는 기구는 적절하다.

리테이너의 볼 수용 부분으로서 구멍을 대신하여 노치부로 하면, 리테이너의 사이즈를 크게 하지 않고도 볼의 위치를 리테이너 반경 방향의 바깥쪽에 배치할 수 있고, 하중에 대한 상부 플레이트의 안정성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 설치구조에 의하면, 위치결정 스테이지에 설치한 위치결정 스테이지용 지지유닛은 적재물을 받치는 상부 플레이트만이 스테이지 베이스에서 돌출될 뿐, 케이싱은 스테이지 베이스로부터 돌출되지 않으므로, 쓸데없는 돌출부가 없는 양호한 위치결정 스테이지를 구성할 수 있다. 또한 상부 플레이트의 높이 위치를 낮게 설정하는 것이 용이하다.

이하, 본 발명을 실시한 위치결정 스테이지용 지지유닛 및 그 설치구조에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

(실시예 1)

도 1은 본 발명의 일 실시예의 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)의 사시도이고, 도 2a는 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)의 상세를 나타낸 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 단면도이다. 도 3은 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)의 내부기구를 설명하기 위한 도면으로, 하부 플레이트를 떼어낸 상태의 저면도이다.

부호 2는 위치결정 스테이지용 지지유닛(이하, 지지유닛이라고 함)(1)의 하부 플레이트다. 하부 플레이트(2)는 사각형 모양을 이루며, 그 네 귀퉁이에 설치 구멍(2a)이 형성되어 있다. 지지유닛(1)은 후술하는 위치결정 스테이지의 베이스(스테이지 베이스)(16)에 상기 설치 구멍(2a)으로 통하는 볼트(9)로 고정된다. 이 하부 플레이트(2)에 내부기구를 둘러싸는 케이싱(5)의 측벽부를 구성하는 거의 원통 모양의 측벽틀(3)이 예를 들어 4개의 볼트(4)로 고정되어 있다. 측벽틀(3) 내에 고정밀도로 마무리한 원판 모양의 강판제 하판(6)이 배치되고, 이 하판(6) 위에 볼(7)을 보유지지하는 리테이너(8)가 배치되어 있다.

리테이너(8)는 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 중앙에 원통 중공부(8c)를 형성한 두께가 두꺼운 원판 모양을 이루고, 둘레 방향으로 간격을 둔 상하로 관통하는 6개의 볼 수용 구멍(8a)을 구비하고, 또한 3방향으로 연장된 스프링 수용홈(8b)을 마련하고 있다. 상기 6개의 볼 수용 구멍(8a)에 각각 볼(7)이 수용되고, 3개의 스프링 수용홈(8b)에는 후술하는 바와 같이 스프링(10)이 수용되어 있다. 리테이너(8)의 상부에는 상기 하판(6)과 마찬가지로 높은 정밀도로 마무리된 원판형의 강판제의 상판(11)이 배치되고, 하판(6)과 상판(11)이 리테이너(8)의 각 볼 수용 구멍(8a) 내에 수용된 각 볼(7)에 상하에서 각각 접촉하고 있다.

상기 상판(11)의 상면 중심부에, 원판 모양을 이루고 하면쪽에 축부(12a)를 가진 상부 플레이트(12)가 배치되고, 또한 상판(11)의 하면 중심부에 축부(13a)와 원판부(13b)를 일체로 가진 스프링 고정부재(13)가 배치됨과 아울러, 상기 상부 플레이트(12)와 스프링 고정부재(13)가 상부 플레이트(12)의 축(12a) 내의 나사 구멍에 체결되는 볼트(19)로 상판(11)의 상하에 고정되어 있다. 상기 상부 플레이트(12)가 액정용 글래스용 격납대를 받친다. 상기 스프링 고정부재(13)의 원판부(13b)에 스프링(10)의 일단이 걸리고, 스프링(10)의 타단이 측벽틀(3)의 내면쪽에 마련된 스프링 고정부(3a)에 걸려 있다.

또한 측벽틀(3)의 상면부에는 상부 플레이트(12)의 축(12a)을 통하는 중심 구멍(15a)을 형성한 덮개판(15)이 압입에 의해 고정되어 있다. 측벽틀(3)과 덮개판(15)은 케이싱(5)을 구성한다. 덮개판(15)의 중심 구멍(15a)은 상부 플레이트(12)의 이동가능 범위를 규정한다.

각 부의 재질의 일예를 설명하면, 볼(7), 상판(11) 및 하판(6)은 SUS440C, 상부 플레이트(12)는 SUS304이다. 하부 플레이트(2)는 알루마이트 처리한 알루미늄판이다. 측벽틀(3)은 예를 들어 POM(폴리 아세탈)이다. 상판(11) 및 하판(6)은 강성 및 내마모성이 요구되고 고정밀도의 면가공이 필요하므로 SUS440C는 적절하다.

또한 하부 플레이트(2) 자체를 하판으로서 이용하는 것도 가능하다. 그러나, 하부 플레이트(2)에는 상판이나 하판과 같은 강성이나 내마모성이나 고정밀도 가공을 요하지 않으므로, 비용이나 가공 정밀도 면에서 실시예와 같이 알루미늄판 등에 의한 별도의 부재로 하는 것이 적절하다. 그러나, 재질은 이것에 제한되지 않고, 적당히 선정할 수 있다.

도 7에 도시한 바와 같이, 4개의 상기 지지유닛(1)을 스테이지 베이스(16) 위에 설치하여 액정용 글래스 격납대(17)를 수평면내에서 원활하게 움직일 수 있도록 지지하는 위치결정 스테이지(18)를 구성한다. 도시한 예에서는 지지유닛(31)의 하부 플레이트(2)를 상술한 바와 같이 설치 구멍(2a)을 통한 볼트(9)로 스테이지 베이스(16)의 상면에 고정하고 있다.

이 위치결정 스테이지(18)에 인접하는 로봇이 격납대(17)에 액정용 글래스를 수납하거나, 격납대(17)로부터 액정용 글래스를 들어올리거나 한다. 도시하지는 않았지만, 격납대(17)를 로봇에 대응하는 소정 위치로 이동시키는 에어실린더 등의 구동 기기를 포함하는 위치결정 구동기구가 이 위치결정 스테이지(18)에 인접하여 마련된다.

(실시예 2)

도 6에 본 발명의 다른 실시예를 나타낸다. 이 실시예의 위치결정 스테이지용 지지유닛(21)은 상부 플레이트(12)가 움직이지 않도록 구속하고 싶은 경우에 상부 플레이트(12)를 고정하는 상부 플레이트 고정기구(23)을 마련한 것이다. 이 상부 플레이트 고정기구(23)는 덮개판(25)의 하면에 둘레홈(25a)을 형성하고, 이 둘레홈(25a)에 가동 링(26)을 상하로 슬라이딩 가능하게 수용하고, 둘레홈(25a)에 통하는 공기도입 통로(25b)를 마련한 구성이다. 상기 가동 링(26)의 내주면 및 외주면에 각각 형성된 둘레홈에 오링(O-Ring; 27, 28)을 수용하고 있다. 또한 가동 링(26)의 상면에는 그 외주측 부분을 낮게 하여 주방향의 오목부(26a)를 형성하고, 이 오목부(26a)에 압축 공기가 도입되어 가동 링(26)에 하향 공기압이 작용하도록 하고 있다.

또한 상부 플레이트(12)는 칼라(29)를 개재시켜 상판(11)에 고정되어 있다. 도 2와 공통된 부분에는 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.

예를 들어, 격납대(17)가 소정 위치에 위치결정되었을 때 그 위치에서 움직이지 않도록 하고 싶을 경우, 격납대(17)를 얹은 상부 플레이트(12)를 움직이지 않도록 구속한다. 이 경우, 공기 도입 통로(25b)에 접속한 공기 노즐(도시하지 않음)로부터 압축공기를 공기 도입 통로(25b)를 거쳐 둘레홈(25a)으로 보내면, 그 때 압축공기는 가동 링(26)의 상면의 주방향의 오목부(26a)에 들어가고, 가동 링(26)을 아래쪽으로 눌러붙여 상판(11)을 아래쪽으로 눌러붙이고, 그 눌러붙임에 의한 마찰력으로 상판(11) 및 그것과 일체의 상부 플레이트(12)를 고정한다.

(실시예 3)

도 8 내지 도 10에 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)을 위치결정 스테이지(18)의 베이스(스테이지 베이스)(16)에 설치하는 설치구조의 다른 실시예를 나타낸다.

이 실시예에서는 스테이지 베이스(16)에 케이싱 결합 구멍(16a)을 형성하고, 이 케이싱 결합 구멍(16a)의 주위 4곳에, 하부 플레이트(2)의 4곳의 설치 구멍(2a)(도 1 참조)에 대응시켜, 볼트머리의 수용을 위한 직경확대부(16b)를 가지는 설치 구멍(16c)을 만든다. 지지유닛(1)의 케이싱(5)을 스테이지 베이스(16)의 케이싱 결합 구멍(16a)에 결합시키고, 스테이지 베이스(16)의 설치 구멍(16c)으로부터 볼트(32)를 삽입하고, 칼라(collar)(31)를 통해 하부 플레이트(2)의 설치 구멍(2a)에 관통시키고, 너트(33)를 체결한다. 칼라(31)는 스테이지 베이스(16)의 상면과 케이싱(5)의 상면(덮개판(15)의 상면)이 동일 평면이 되는 높이 치수로 설정하고 있다. 따라서, 볼트(32)로 지지유닛(1)을 스테이지 베이스(16)에 설치했을 때, 적재물을 받치는 상부 플레이트(12)만이 스테이지 베이스(16)로부터 돌출될 뿐, 케이싱(5)은 스테이지 베이스(16)로부터 돌출되지 않는다. 이와 같이 쓸데없는 돌출부가 없는 양호한 위치결정 스테이지를 구성할 수 있다. 또한 상부 플레이트(12)가 스테이지 베이스(16)에서 너무 높이 돌출되지 않도록 할 수 있다.

(실시예 4)

도 11a 및 도 11b에 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서의 리테이너의 다른 실시예를 나타낸다. 이 실시예의 리테이너(8')는 볼(7)을 수용하는 부분으로서 구멍(볼 수용 구멍(8a))을 대신하여 리테이너의 외주면으로 개구된 일부 결손 원형 모양의 노치부(볼 수용 노치부(8'a))를 마련한 것이다. 이 볼 수용 노치부(8'a)의 단면 형상은, 볼(7)이 볼 수용 노치부(8'a)로부터 벗어나지 않도록 적어도 반원형보다 큰 일부 결손 원형 모양으로 한다.

이 실시예의 리테이터(8')에 의하면, 리테이너의 크기를 크게 하지 않고, 볼(7)의 위치를 리테이너 반경 방향의 바깥쪽에 배치할 수 있다. 따라서, 하중을 지지하는 볼(7)의 위치가 상부 플레이트(12)의 중심에서 멀어져서, 하중을 받은 상부 플레이트(12)가 불안정해지는 것을 방지할 수 있다. 즉, 위치결정 스테이지용 지지유닛을 소형화한 상태에서 하중에 대한 상부 플레이트(12)의 안정성을 향상시킬 수 있다.

(실시예 5)

상술한 각 실시예에서는 케이싱(5)을 구성하는 측벽틀(3)과 덮개판(15)이 별도의 부재인데, 측벽틀(3)과 덮개판(15)을 일체로 형성해도 된다. 또한 측벽틀(3)을 하부 플레이트(2)와 일체로 형성하는 것도 가능하다. 이 경우 덮개판은 별도의 부재로 한다.

또한 상술한 각 실시예에서는 액정용 글래스용 격납대를 위치결정하는 액정용 글래스용 격납대 위치결정 장치의 위치결정 스테이지에 적용하는 경우에 대해 설명하는데, 적재물은 임의이다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명했는데, 본 발명은 이들 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 구성의 부가, 생략, 치환 및 그 밖의 변형이 가능하다. 본 발명은 상술한 설명에 의해 한정되는 것이 아니라 특허청구의 범위에 의해서만 한정된다.

본 발명에 따르면, 구조가 간단하고 구성부품이 적어서, 저렴하면서도 고정밀도를 쉽게 실현할 수 있을 뿐만 아니라 설치에 필요한 공간을 줄일 수 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛 및 그 설치구조가 제공된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 위치결정 스테이지용 지지유닛의 사시도이다.

도 2a는 도 1의 위치결정 스테이지용 지지유닛의 상세를 나타낸 평면도이며, 도 2b는 도 2a의 단면도이다.

도 3은 상기 위치결정 스테이지용 지지유닛의 내부기구를 설명하기 위한 도면으로, 하부 플레이트를 떼어낸 상태의 저면도이다.

도 4a는 상기 위치결정 스테이지용 지지유닛에 있어서의 리테이너를 나타내는 저면도이고, 도 4b는 도 4a에 있어서의 A-A단면도이다.

도 5는 도 4의 리테이너의 사시도이다.

도 6a는 위치결정 스테이지용 지지유닛의 다른 실시예를 나타내는 평면도이며, 도 6b는 도 6a의 단면도이다.

도 7은 상기 위치결정 스테이지용 지지유닛을 이용하여 구성하는 위치결정 스테이지를 설명하는 사시도이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예의 위치결정 스테이지용 지지유닛을 스테이지 베이스에 설치한 상태에서 나타낸 평면도이다.

도 9는 도 8의 일부를 절제하여 나타낸 정면도이다.

도 10은 도 8의 화살표 B방향에서 본 일부 절제 도면이다.

도 11a는 리테이너에 대한 다른 실시예를 나타내는 저면도이고, 도 11b는 도 11a에 있어서의 B-B단면도이다.

Claims (7)

1. 원주방향으로 간격을 두고 마련한 상하로 관통하는 복수의 볼 수용 구멍(8a)을 가진 리테이너(8)와, 상기 리테이너(8)의 각 볼 수용 구멍(8a)에 각각 수용된 볼(7)과, 상기 리테이너(8)의 상하에 배치되어 상기 복수의 볼(7)에 상하에서 각각 접촉하는 하판(6) 및 상판(11)과, 상기 상판(11)과 일체로 마련되어 적재물을 받치는 상부 플레이트(12)와, 무부하시에 상기 상부 플레이트(12)를 센터포지션에 복귀시키기 위한 스프링(10)과, 상기 하판(6)을 받치는 하부 플레이트(2)와, 이 하부 플레이트(2)위에 고정되어 상기 상부 플레이트(12) 이외 부분을 둘러싸는 케이싱(5)을 구비한 위치결정 스테이지용 지지유닛.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 리테이너(8)가 원판 모양을 이루고, 이 원판 모양의 리테이너(8)에 상기 스프링(10)을 수용하기 위한 반경 방향으로 연장된 스프링 수용홈(8b)이 마련되어 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 케이싱(5)에 있어서의 상기 상판(11)과 상기 상부 플레이트(12) 사이의 덮개판(15) 부분에 상기 상판(11)을 아래쪽으로 눌러붙여서 상기 상판(11)과 일체의 상기 상부 플레이트(12)의 이동을 구속하기 위한 상부 플레이트 고정기구(23)가 마련되어 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 상부 플레이트 고정기구(23)는 상기 덮개판(15)의 하면에 둘레홈(25a)을 형성하고, 또한 이 둘레홈(25a)에 바깥쪽으로 통하는 공기 도입 통로(25b)를 형성하고, 상기 둘레홈(25a)에 가동 링(26)을 상하로 슬라이딩 가능하게 수용한 구성으로 되어 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 리테이너(8)의 볼 수용 부분으로서, 상기 볼 수용 구멍(8a)을 대신하여 상기 리테이너(8)의 외주면으로 개구된 일부 결손 원형 모양의 볼 수용 노치부(8'a)가 형성되어 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 하부 플레이트(2)가 상기 하판(6)을 겸하고 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛.
7. 제 1 항에 기재된 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)을 위치결정 스테이지에 설치하는 위치결정 스테이지용 지지유닛의 설치구조로,

   위치결정 스테이지의 베이스(16)에 형성한 케이싱 결합 구멍(16a)에 상기 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)의 케이싱부(5)를 스테이지 베이스(16)의 상면과 케이싱(5)의 상면이 동일 평면이 되도록 결합시키고, 스테이지 베이스(16)에 형성한 볼트머리수용용 직경확대부붙이 설치구멍(16a)으로부터 하부 플레이트(2)에 형성한 설치구멍(16c)로 관통시킨 볼트(32)에 의해 스테이지 베이스(16)와 하부 플레이트(2)를 일체로 고정함으로써 위치결정 스테이지용 지지유닛(1)이 스테이지 베이스에 설치되어 있는 위치결정 스테이지용 지지유닛의 설치구조.