KR100823235B1 - 위치결정 스테이지 시스템 및 위치결정 스테이지용지지유닛 - Google Patents

위치결정 스테이지 시스템 및 위치결정 스테이지용지지유닛 Download PDF

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KR100823235B1
KR100823235B1 KR1020070087522A KR20070087522A KR100823235B1 KR 100823235 B1 KR100823235 B1 KR 100823235B1 KR 1020070087522 A KR1020070087522 A KR 1020070087522A KR 20070087522 A KR20070087522 A KR 20070087522A KR 100823235 B1 KR100823235 B1 KR 100823235B1
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positioning stage
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KR1020070087522A
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이상기
강찬식
장기홍
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브이앤씨테크 주식회사
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Abstract

본 발명은 하나 이상의 지지유닛(220)과 상기 지지유닛(220) 상부로 안착되는 격납대(210)로 이루어지며, 상기 격납대(210)는 하부에 하나 이상의 하부돌기(212)를 구비하고, 상기 지지유닛(220)은 고정 설치되는 하부체(221)와, 상기 하부체(221)에 슬라이드 가능하게 설치되며 상부로 상기 하부돌기(212)에 대응하는 안내경사홈(252)이 형성되는 상부체(250)와, 상기 하부체(221)에 일체로 고정되며 상기 상부체(250)를 센터링하는 하나 이상의 플런저(235)를 구비하는 케이싱(230)을 포함하여 구성되는 위치결정 스테이지 시스템(200) 및 상기 위치결정 스테이지 시스템(200)에 사용되는 지지유닛(220)에 관한 것으로; 지지유닛(220)에 안내경사홈(252)을 형성하고 격납대(210)에 하부돌기(212)를 구비하여 격납대(210)가 지지유닛(220)에 안착한 후에는 작업 중에 서로 미끄럼이 발생할 염려가 없으며, 격납대(210) 안착시 자동조심(Self-Aligning)이 되고, 센서를 구비하지 않는 경우에도 중심을 맞추기가 용이하며, 중심을 맞추기 위하여 센서로 격납대(210)의 위치를 감지하고 감지 결과에 따라 실린더의 스트로크를 조절할 필요가 없으므로 중심을 맞추는 시간이 대폭 단축되는 효과가 있다.
위치결정, 스테이지, 지지유닛

Description

위치결정 스테이지 시스템 및 위치결정 스테이지용 지지유닛{Positioning Stage System and Supporting Unit for the Positioning Stage System}
도 1은 종래 기술에 의한 위치결정 스테이지 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 위치결정 스테이지 시스템에 구비되는 지지유닛을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시한 지지유닛의 단면도이다.
도 4는 도 2에 도시한 지지유닛의 내부 기구를 설명하기 위한 도면으로, 하부 플레이트를 떼어낸 상태의 저면도이다.
도 5는 지지유닛에 구비되는 리테이너의 사시도이다.
도 6은 종래 기술에 의한 위치결정 스테이지 시스템의 위치결정 과정을 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 위치결정 스테이지 시스템을 도시한 개략적인 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시한 본 발명의 위치결정 스테이지 시스템에 구비되는 지지유닛을 도시한 사시도이다.
도 9는 도 8의 A-A선에 따르는 개략적인 단면도이다.
도 10은 본 발명의 지지유닛의 작동을 설명하기 위한 도 9의 A-A선에 따르는 개략적인 단면도이다.
도 11은 본 발명 위치결정 스테이지 시스템의 위치결정 과정을 도시한 것이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
200 : 위치결정 스테이지 시스템 210 : 격납대
212 : 하부돌기 220 : 지지유닛
221 : 하부체 230 : 케이싱
235 : 플런저 238 : 지지체
241 : 하부플레이트 243 : 상부플레이트
250 : 상부체 252 : 안내경사홈
254 : 안내홈 260 : 리테이너
270 : 볼 290 : 배관부
본 발명은 적재물이 적재된 격납대를 고정밀도로 위치 결정할 수 있는 위치결정 스테이지 시스템 및 상기 위치결정 스테이지 시스템에 사용되는 지지유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 격납대 하부에 하부돌기를 구비하여 지지유닛의 상부에 상기 하부돌기에 대응하는 안내경사홈을 구비하여 위치결정 후 미끄럼이 발생할 염려가 없고, 격납대 안착시 자동조심이 이루어지며, 위치결정 시간을 대폭 단축하여 간단하게 위치결정을 할 수 있는 위치결정 스테이지 시스템 및 위치결정 스테이지 시스템에 사용되는 지지유닛에 관한 것이다.
정밀 부품의 이송하고 가공하는 과정에 있어서, 정밀 부품의 위치를 정확하에 유지하는 것은 매우 중요하다. 예를 들면, 액정 디스플레이 제조 공정에 있어서는, 각 공정에 있어서의 처리 장치에 복수의 액정용 글라스 패널을 상하 간격으로 간격을 두고 격납하는 액정용 글라스 패널 격납대를 위치 결정하는 경우나, 각 처리 종료 후에 로봇팔로 상기 격납대를 다음 공정으로 이송하기 위하여 들어올리는 경우 등에 있어서, 로봇팔로 들어올리기 쉽게 격납대를 로봇에 대한 소정의 위치에 정확하게 위치 결정하는 것이 필요하다. 이를 위하여 격납대를 고정밀도로 위치시킬 수 있는 위치결정 스테이지 시스템을 사용하고 있다.
도 1은 종래 기술(출원번호 10-2004-0071058)에 의한 위치결정 스테이지 시스템을 도시한 개략적인 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시한 종래 위치결정 스테이지 시스템에 구비되는 지지유닛을 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시한 지지유닛의 단면도이며, 도 4는 도 2에 도시한 지지유닛의 내부 기구를 설명하기 위한 것으로 하부 플레이트를 떼어낸 상태의 저면도이며, 도 5는 지지유닛에 구비되는 리테이너의 사시도이다.
도 1은 종래 기술에 의한 위치결정 스테이지 시스템(100)으로서 4개의 지지 유닛(120)을 베이스에 설치하고, 상기 지지유닛(120)에 격납대(110)를 안착시켜 액정 글라스가 격납되는 격납대(110)를 수평면으로 원활하게 움직일 수 있도록 하고 있다.
상기 지지유닛(120)은 설치구멍(123)이 형성되어 하부플레이트(121)를 베이스(101)에 볼트(도시하지 않음)로 고정한다. 상기 하부플레이트(121) 내부 기구를 둘러싸는 케이싱(130)의 축벽부를 구성하는 원통모양의 측벽틀(133)은 볼트(122)를 통하여 상기 하부플레이트(121)에 고정 설치된다. 측벽틀(133) 내에 고정밀도로 마무리한 원판 모양의 강판제 하판(141)이 배치되고, 상기 하판(141) 위에 볼(170)을 보유하는 리테이너(160)가 배치되어 있다.
리테이너(160)는 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이 중앙에 원통중공부(165)를 형성한 두께가 두꺼운 원판 모양을 이루고, 둘레 방향으로 간격을 둔 상하로 관통하는 6개의 볼수용부(161)를 구비하고, 또한 3방향으로 연장된 스프링수용홈(163)을 마련하고 있다. 상기 6개의 볼수용부(161)에 각각 볼(170)이 수용되고, 3개의 스프링수용홈(163)에는 후술하는 바와 같이 스프링(180)이 수용되어 있다. 상기 리테이너(160) 상부에는 상기 하판(141)과 마찬가지로 높은 정밀도로 마무리된 원판형의 강판제의 상판(143)이 배치되고, 하판(141)과 상판(143)이 리테이너(160)의 볼수용부(161)에 수용된 볼(170)에 상하에서 각각 접촉하고 있다.
상기 상판(143)의 상면 중심부에 원판 모양을 이루고 하면쪽에 축부(156)를 가진 상부플레이트(150)가 배치되고, 또한 상판(143)의 하면 중심부에 축부(155)와 원판부(157)를 일체로 가진 스프링 고정부재가 배치되며, 상기 상부플레이트(150) 와 스프링 고정부재가 상부플레이트(150)의 축(156) 내의 나사 구멍에 체결되는 볼트(153)로 상판(143)의 상하에 고정되어 있다. 상기 상부플레이트(150)가 격납대를 바친다. 상기 스프링 고정부재의 원판부(157)에 스프링(180)의 일단이 걸리고, 스프링(180)의 타단이 측벽틀(133)의 내면쪽에 마련된 스프링 고정부(도시하지 않음)에 걸려있다.
또한, 측벽틀(133)의 상면부에는 상부플레이트(150)의 축(156)을 통하는 중심구멍(131a)을 형성한 덮개판(131)이 압입에 의해 고정되어 있다. 측벽틀(133)과 덮개판(131)은 케이싱(130)을 구성한다. 상기 덮개판(131)의 중심구멍(131a)은 상부플레이트(150)의 이동 가능 범위를 규정한다.
도 6을 참조하여 종래 기술에 의한 위치결정 스테이지 시스템(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 베이스에 고정 설치되는 지지유닛(120) 상부로 격납대(110)를 이송하여(ST100), 지지유닛(120)의 상부플레이트(150) 상부에 격납대(110)를 안착시킨다. 안착 후 로봇팔(1000)이 격납대(110)로부터 분리되며 안착한 격납대(110)의 위치를 격납대(110)의 주위에 설치되는 센서(도시하지 않음)로 감지한다(ST120). 그리고 감지 결과를 통하여 격납대(110) 주위로 설치되는 에어실린더(도시하지 않음)와 같은 장치로 격납대(110)를 소정 위치로 수평이동시킨다(위치결정, ST130). 그리고 위치가 결정된 상태에서 격납대(110)에 격납된 액정 글라스를 차례로 인출하고 작업을 진행하고 완료한 후 격납대(110)를 다음 공정의 지지유닛(120)으로 이송한다. 격납대(110)가 이송된 후 에어실린더로부터 에어를 배출시키면, 지지유닛(120)에 구비되는 스프링(180)의 복원력으로 상부플레이트(150)는 원래의 중심 위치로 되돌아온다(ST140).
그러나 상기와 같은 종래 기술에 의한 위치결정 스테이지 시스템(100)은 상부플레이트(150) 위에서 격납대(110)가 미끄러질 수 있는 구조이므로 작업 중 격납대(110)의 위치가 변하게 될 위험이 있으며, 격납대(110)를 상부플레이트(150)에 안착시킬 때 자동조심(Self-Aligning)이 이루어지지 않고, 따라서 격납대(110)의 위치를 센싱하고 센싱된 결과에 따라 위치를 조정하여야 하므로 위치를 결정하는데 소요되는 시간이 길어지고, 정확하게 위치를 결정할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 위와 같은 종래의 위치결정 스테이지 시스템이 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 격납대 안착 후 격납대에 미끄럼이 발생할 염려가 없어 작업이 안정되며, 격납대 안착 과정에서 자동조심이 이루어지므로 위치결정이 용이하고, 위치 결정에 소요되는 시간이 대폭 단축되는 위치결정 스테이지 시스템 및 상기 위치결정 스테이지 시스템에 사용되는 지지유닛을 제공하는데 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 위치결정 스테이지 시스템은 하나 이상의 지지유닛과 상기 지지유닛 상부로 안착되는 격납대로 이루어지며; 상기 격납대는 하부에 하나 이상의 하부돌기를 구비하고; 상기 지지유닛은 고정 설치되는 하부체와, 상기 하부체에 슬라이드 가능하게 설치되며 상부로 상기 하부돌기에 대응하는 안내경사홈이 형성되는 상부체와, 상기 하부체에 일체로 고정되며 상기 상부체를 센터링하는 하나 이상의 플런저를 구비하는 케이싱을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 위치결정 스테이지 시스템에 사용되는 지지유닛은 고정 설치되는 하부체와, 상기 하부체에 슬라이드 가능하게 설치되며 상부에 안내경사홈이 형성되는 상부체와, 상기 하부체에 일체로 고정되며 상기 상부체를 센터링하는 하나 이상의 플런저를 구비하는 케이싱을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 상부체와 하부체 사이에는 하나 이상의 볼수용부가 형성된 리테이너와, 상기 리테이너의 볼수용부에 회전 가능하게 수용되는 볼을 구비하고, 상기 볼은 상부체와 하부체에 구름 접촉하여, 상기 상부체는 하부체에 대하여 슬라이딩 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이싱에는 상기 플런저가 왕복 운동하는 가이드홈이 하나 이상 형성되고, 상기 플런저는 가이드홈에서 왕복 운동 가능하게 설치되어 상부체를 반경 방향으로 가압하여 상부체를 센터링하는 것을 특징으로 한다.
상기에 있어서, 하부체에는 상방향으로 하부플레이트가 설치되고, 상기 상부체에는 하방향으로 상부플레이트가 설치되어, 상기 볼은 상기 하부플레이트 및 상부플레이트와 구름 접촉하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 플런저 선단에는 상부체를 향하여 만곡진 면을 구비하는 푸싱 아암이 설치되는 것을 특징으로 한다.
이하에서, 본 발명에 따르는 위치결정 스테이지 시스템 및 위치결정 스테이지에 사용되는 지지유닛의 바람직한 실시 예를 첨부 도면을 참조로 상세하게 설명한다. 상세한 설명에 있어서 종래 기술과 동등한 작용을 하는 구성에 대해서는 동일한 명칭을 사용한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 위치결정 스테이지 시스템을 도시한 개략적인 사시도이며, 도 8은 도 7에 도시한 본 발명의 위치결정 스테이지 시스템에 구비되는 지지유닛을 도시한 사시도이며, 도 9는 도 8의 A-A선에 따르는 개략적인 단면도이며, 도 10은 본 발명의 지지유닛의 작동을 설명하기 위한 도 9의 A-A선에 따르는 개략적인 단면도이다. 그리고 도 11은 본 발명 위치결정 스테이지 시스템의 위치결정 과정을 도시한 것이다.
도 7에 도시한 바와 같이 본 발명에 따르는 위치결정 스테이지 시스템(200)은 로봇팔에 의하여 지지유닛(220)에 안착되도록 이송되는 격납대(210)와, 상기 격납대(210)가 안착하며 위치 결정이 이루어지는 지지유닛(220)으로 이루어진다. 상기 지지유닛(220)은 종래 기술에서와 같이 베이스에 하나 이상 설치되며, 도 7은 4개의 지지유닛(220)이 설치된 상태를 도시한 것이다.
도 8 내지 도 10에 도시한 바와 같이 베이스(도시하지 않음)에 고정 설치되는 하부체(221)와, 상기 하부체(221)에 슬라이드 가능하게 설치되며 상부로 상기 하부돌기(212)에 대응하는 안내경사홈(252)이 형성되는 상부체(250)와, 상기 하부체(221)에 일체로 고정되며 상기 상부체(250)를 센터링하는 하나 이상의 플런 저(235)를 구비하는 케이싱(230)을 포함하여 구성된다.
상기 상부체(250)와 하부체(221) 사이에는 복수의 볼수용부(260a)가 형성된 리테이너(260)와, 상기 리테이너(260)의 볼수용부(260a)에 구비되는 볼(270)이 설치되며, 상기 볼(270)은 상부체(250)와 하부체(221)에 구름 접촉하도록 설치된다. 그리고 상기 하부체(221)의 상부로 종래 기술의 하판(141)과 같은 작용을 하는 하부플레이트(241)를 고정 설치하고, 상기 상부체(250)의 하부로 종래 기술의 상판(143)과 같은 작용을 하는 상부플레이트(243)를 고정 설치하여, 상기 볼(270)을 하부플레이트(241)와 상부플레이트(243)에 구름 접촉하도록 설치할 수도 있다. 도 9에서 도면부호 256은 상부체(250)에 형성되어 상부플레이트(243)가 삽입되는 삽입돌기를 도시한 것이다.
그리고 상기 상부플레이트(243)의 중심과 하부플레이트(241)의 중심에 서로 인력이 작용하도록 제1 자성체(283)와 제2 자성체(281)를 설치하여 하부플레이트(241)의 중심 쪽으로 상부플레이트(243)에 인력이 작용하도록 할 수 있다.
상기 하부체(221)에 고정 설치되는 케이싱(230)에는 반경 방향으로 복수의 가이드홈(234)을 형성하고 상기 가이드홈(234)에 플런저(235)를 미끄럼 가능하게 설치한다. 그리고 상기 플런저(235)의 후방으로 유체(공기, 오일)로 유입시켜 플런저(235)를 전진시키고, 유출시켜 플런저(235)가 후방으로 이동 가능하게 조절한다. 도면부호 290은 상기 플런저(235) 후방으로 유체를 유입 유출시키는 배관부를 도시한 것이다. 케이싱(230)에 복수로 형성되는 상기 가이드홈(234)들은 서로 연통되도록 형성하여 하나의 배관부(290)를 통하여 유체를 유입 유출시킬 수도 있고, 각 가이드홈(234) 마다 배관부(290)를 구비하도록 할 수 있다. 상기 플런저(235)의 전방으로는 만곡진 형태로 형성되어 상부체(250)를 가압하는 푸싱아암(238)을 구비하는 것이 바람직하다. 도 9에서 237은 후방으로 유입되는 유체가 플런저(235)를 넘어 푸싱아암(238) 쪽으로 유체가 누설되지 않도록 하는 오링을 도시한 것이다.
상기 케이싱(230)에는 푸싱아암(238)이 전 후진 작동하는 공간을 형성하는 제2 내경부(231)와, 상기 제2 내경부(231)보다 큰 지름을 가지도록 형성되는 제1 내경부(232)를 구비한다. 상기 제1 내경부(232)에서는 상부플레이트(243)가 수평 운동을 한다.
상기 하부체(221)에 대하여 미끄럼 운동 가능하게 설치되는 상부체(250)는 상기 푸싱아암(238)이 접촉하는 부분인 축부(251)를 구비하며, 상부로 소정의 각도(θ)를 안내경사홈(252)이 형성되고, 상기 안내경사홈(252)의 하부로 안내홈(254)이 연장 형성된다. 상기 안내경사홈(252)의 각도(θ)는 하부돌기(212)가 삽입될 때 상부체(250)에 반경 방향으로 하중이 발생하도록 하고, 하부돌기(212)가 용이하게 삽입되도록 하는 작용을 하는 것으로, 상기 각도(θ)는 1°∼89°범위로 형성할 수 있으며, 바람직하게는 10°∼45°범위로 형성하는 것이 바람직하다.
상기 격납대(210)의 하부(211)에는 상기 안내경사홈(252)에 대응하는 하부돌기(212)를 구비하며, 상기 하부돌기(212)의 끝단은 원호로 형성되어, 안내경사홈(252)에 접할 때 손상을 방지하고, 반경 방향으로 하중이 발생하도록 한다.
도 11을 참조하여 본 발명에 따르는 위치결정 스테이지 시스템(200)의 위치 결정 과정을 설명한다.
먼저, 베이스에 고정 설치되는 지지유닛(220) 상부로 격납대(210)를 이송하여(ST200), 지지유닛(220)의 상부플레이트(250) 상부에 격납대(210)를 안착시킨다. 이 과정에서 격납대(210)의 하부돌기(212)가 경사안내홈(252)의 중심과 일치하지 않는 경우 경사안내홈(252)의 사면에 접하면서(ST210), 상부체(250)에는 반경 방향의 하중이 발생하여 상부체(250)가 하중 발생 방향으로 미끄러지면서(ST220) 하부돌기(212)에 대하여 상부체(250)는 자동조심(Self-Aligning)이 된다(ST230). 상기와 같은 상태에서 배관부(290)를 통하여 유체가 플런저(235) 후방으로 유입되면 각 플런저(235)는 전진하게 되고, 플런저(235) 선단에 구비되는 푸싱아암(238)이 상부체(250)의 도 10과 같은 상태로 축부(252)를 밀게 되어 상부체(250)는 다시 중심으로 원위치 되어 위치가 결정된다(ST240). 그리고 작업이 완료되어 지지유닛(220)으로부터 격납대(210)를 분리하여 이송한 경우 플런저(235) 후방으로 유입된 유체는 배관부(290)를 통하여 유출되어 지지유닛(220)은 다시 자동조심(Self-Aligning)이 가능한 상태로 된다(ST250). 도 11에서 미설명 부호 1000은 격납대(110)를 이송하는 로봇팔을 도시한 것이다.
이상에서 본 발명의 실시 예를 도면을 참조하여 설명하였지만 본 발명의 보호 범위는 이에 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 실시 예로부터 당업자가 용이하게 실시할 수 있는 범위까지 본 발명의 보호 범위로 인정하여야 할 것이다.
이상과 같이, 본 발명에 따르는 위치결정 스테이지 시스템(200) 및 지지유닛(220)을 사용하는 경우, 지지유닛(220)에 안내경사홈(252)을 형성하고 격납대(210)에 하부돌기(212)를 구비하여 지지유닛(220)에 안착한 후 작업 중에 서로 미끄럼이 발생할 염려가 없으며, 격납대(210) 안착시 자동조심(Self-Aligning)이 되고, 센서를 구비하지 않는 경우에도 중심을 맞추기가 용이하며, 중심을 맞추기 위하여 센서로 격납대(210)의 위치를 감지하고 감지 결과에 따라 실린더의 스트로크를 조절할 필요가 없으므로 중심을 맞추는 시간이 대폭 단축되는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 하나 이상의 지지유닛(220)과 상기 지지유닛(220) 상부로 안착되는 격납대(210)로 이루어지는 위치결정 스테이지 시스템(200)에 있어서, 상기 격납대(210)는 하부에 하나 이상의 하부돌기(212)를 구비하고; 상기 지지유닛(220)은 고정설치되는 하부체(221)와, 상기 하부체(221)에 슬라이드 가능하게 설치되며 상부로 상기 하부돌기(212)에 대응하는 안내경사홈(252)이 형성되는 상부체(250)와, 상기 하부체(221)에 일체로 고정되며 상기 상부체(250)를 센터링하는 하나 이상의 플런저(235)를 구비하는 케이싱(230)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 위치결정 스테이지 시스템(200).
  2. 위치결정 스테이지 시스템(200)에 사용되는 지지유닛(220)에 있어서, 고정 설치되는 하부체(221)와, 상기 하부체(221)에 슬라이드 가능하게 설치되며 상부에 안내경사홈(252)이 형성되는 상부체(250)와, 상기 하부체(221)에 일체로 고정되며 상기 상부체(250)를 센터링하는 하나 이상의 플런저(235)를 구비하는 케이싱(230)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 위치결정 스테이지 시스템(200)에 사용되는 지지유닛(220).
  3. 제1 항에 있어서, 상기 상부체(250)와 하부체(221) 사이에는 하나 이상의 볼수용부(260a)가 형성된 리테이너(260)와, 상기 리테이너(260)의 볼수용부(260a)에 회전 가능하게 수용되는 볼(270)을 구비하고, 상기 볼(270)은 상부체(250)와 하부체(221)에 구름 접촉하여, 상기 상부체(250)는 하부체(221)에 대하여 슬라이딩 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 위치결정 스테이지 시스템(200).
  4. 제1 항에 있어서, 상기 케이싱(230)에는 상기 플런저(235)가 왕복 운동하는 가이드홈(234)이 하나 이상 형성되고, 상기 플런저(235)는 가이드홈(234)에서 왕복 운동 가능하게 설치되어 상부체(250)를 반경 방향으로 가압하여 상부체(250)를 센터링하는 것을 특징으로 하는 위치결정 스테이지 시스템(200).
  5. 제3 항에 있어서, 상기 하부체(221)에는 상방향으로 하부플레이트(241)가 설치되고, 상기 상부체(250)에는 하방향으로 상부플레이트(243)가 설치되어, 상기 볼(270)은 상기 하부플레이트(241) 및 상부플레이트(243)와 구름 접촉하는 것을 특징으로 하는 위치결정 스테이지 시스템(200).
  6. 제4 항에 있어서, 상기 플런저(235) 선단에는 상부체(250)를 향하여 만곡진 면을 구비하는 푸싱아암(238)이 설치되는 것을 특징으로 하는 위치결정 스테이지 시스템(200).
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KR20050027019A (ko) * 2003-09-12 2005-03-17 가부시키가이샤 이구치키코 세이사쿠쇼 위치결정 스테이지용 지지유닛 및 그 설치구조

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