JP6999427B2 - チャックテーブル載置治具 - Google Patents
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Description
11 :回転駆動部
13 :ネジ孔
20 :チャックテーブル
21 :吸引部
22 :外枠部
24 :保持面(チャックテーブルの上面)
25 :載置面
26 :外周部
27 :段差面
28 :貫通孔
28a :大径部
28b :小径部
30 :固定ネジ
40 :最下段保持部材(チャックテーブル載置治具)
41 :台座部
42 :接地部
43 :載置面
44 :ネジ孔
45 :固定ネジ
50 :中間保持部材(チャックテーブル載置治具)
51 :小径部
52 :大径部
53 :棒状部
54 :弾性体
G :支持面
W :被加工物
Claims (2)
- 被加工物を上面に吸引保持する吸引部と該吸引部を囲繞する外枠部とから構成される円板形状のチャックテーブルを複数枚上下に重ねて載置するためのチャックテーブル載置治具であって、
チャックテーブルの外枠部には、加工装置のチャックテーブルベースにネジ固定するための貫通孔が3つ以上形成され、
下に載置されるチャックテーブルの該外枠部の該貫通孔に挿入すると共に上に載置されるチャックテーブルの該外枠部に下方から当接して上下のチャックテーブル間を離間させて保持する少なくとも3つの中間保持部材を備え、
最下段のチャックテーブルの上部には該中間保持部材を介して複数のチャックテーブルを載置することを特徴とする、チャックテーブル載置治具。 - 最下段の該チャックテーブルの該外枠部を下方から当接して載置場所に載置する少なくとも3つの最下段保持部材を更に備え、
該最下段保持部材に保持された最下段のチャックテーブルの上部には該中間保持部材を介して複数のチャックテーブルを載置する、請求項1記載のチャックテーブル載置治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018000353A JP6999427B2 (ja) | 2018-01-05 | 2018-01-05 | チャックテーブル載置治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018000353A JP6999427B2 (ja) | 2018-01-05 | 2018-01-05 | チャックテーブル載置治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019119002A JP2019119002A (ja) | 2019-07-22 |
JP6999427B2 true JP6999427B2 (ja) | 2022-01-18 |
Family
ID=67307013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018000353A Active JP6999427B2 (ja) | 2018-01-05 | 2018-01-05 | チャックテーブル載置治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6999427B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112676891A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-20 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种高精度加工的分体式调心装置及其调心方法 |
CN112605659B (zh) * | 2020-12-22 | 2024-04-12 | 中车资阳机车有限公司 | 一种采用螺钉代替垫片进行调整的工装及其调整方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002251784A (ja) | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク基板及び光ディスク |
JP2011173181A (ja) | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Disco Corp | 加工装置のチャックテーブルシール機構 |
WO2013157462A1 (ja) | 2012-04-16 | 2013-10-24 | ローツェ株式会社 | 収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685287U (ja) * | 1993-05-18 | 1994-12-06 | 吉秋 飯田 | ディスク収納ケース |
JP5773841B2 (ja) * | 2011-10-27 | 2015-09-02 | 株式会社ディスコ | ユニット搬出入装置 |
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2018
- 2018-01-05 JP JP2018000353A patent/JP6999427B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002251784A (ja) | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク基板及び光ディスク |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019119002A (ja) | 2019-07-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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