JP2016010823A - 研削装置 - Google Patents
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
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Abstract
【課題】誤った研削工具の装着を防止できる研削装置を提供する。
【解決手段】工具マウント(40a,40b)には、周方向に間隔をおいて複数のネジ挿通穴(H1a,H1b)が形成されており、研削工具(42a,42b)の環状基台(48a,48b)には、工具マウントの複数のネジ挿通穴に対応する複数の雌ネジ穴(H2a,H2b)が形成されており、第1の研削手段(34a)が備える工具マウントに形成された複数のネジ挿通穴及び第1の研削手段の工具マウントに装着される研削工具の環状基台に形成された複数の雌ネジ穴の大きさと、第2の研削手段(34b)が備える工具マウントに形成された複数のネジ挿通穴及び第2の研削手段の工具マウントに装着される研削工具の環状基台に形成された複数の雌ネジ穴の大きさと、は異なり、第1の研削手段及び第2の研削手段の工具マウントには、それぞれ、異なる大きさの締結ネジ(52a,52b)によって研削工具が装着される構成とした。
【選択図】図1
【解決手段】工具マウント(40a,40b)には、周方向に間隔をおいて複数のネジ挿通穴(H1a,H1b)が形成されており、研削工具(42a,42b)の環状基台(48a,48b)には、工具マウントの複数のネジ挿通穴に対応する複数の雌ネジ穴(H2a,H2b)が形成されており、第1の研削手段(34a)が備える工具マウントに形成された複数のネジ挿通穴及び第1の研削手段の工具マウントに装着される研削工具の環状基台に形成された複数の雌ネジ穴の大きさと、第2の研削手段(34b)が備える工具マウントに形成された複数のネジ挿通穴及び第2の研削手段の工具マウントに装着される研削工具の環状基台に形成された複数の雌ネジ穴の大きさと、は異なり、第1の研削手段及び第2の研削手段の工具マウントには、それぞれ、異なる大きさの締結ネジ(52a,52b)によって研削工具が装着される構成とした。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウェーハ等の板状の被加工物を研削する研削装置に関する。
分割予定ラインで区画された表面の各領域にそれぞれIC等のデバイスが形成された半導体ウェーハは、例えば、裏面側を研削された後に、各デバイスに対応する複数のデバイスチップへと分割される。このように、半導体ウェーハを研削によって薄く加工することで、小型軽量なデバイスチップを実現できる。
半導体ウェーハのような被加工物を研削する際には、それぞれ異なる研削工具を装着した複数の研削ユニットを備える研削装置を使用することがある(例えば、特許文献1参照)。このような研削装置を使用することで、被加工物の加工効率及び加工品質をともに高めることができる。
ところで、上述した研削装置では、各研削ユニットに装着すべき研削工具が異なっているので、各研削ユニットに対して誤った研削工具を装着してしまうと、適切な加工品質を得られなくなり、場合によっては被加工物が破損する。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、誤った研削工具の装着を防止できる研削装置を提供することである。
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物の上面を研削する第1の研削手段及び第2の研削手段と、を備える研削装置であって、該第1の研削手段及び該第2の研削手段は、それぞれ、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの先端部に形成された工具マウントと、該工具マウントに装着される環状基台及び該環状基台の自由端部において環状に配設される研削砥石を備えた研削工具と、を有し、該工具マウントには、周方向に間隔をおいて複数のネジ挿通穴が形成されており、該研削工具の該環状基台には、該工具マウントの複数の該ネジ挿通穴に対応する複数の雌ネジ穴が形成されており、該第1の研削手段が備える該工具マウントに形成された複数の該ネジ挿通穴及び第1の研削手段の該工具マウントに装着される該研削工具の該環状基台に形成された複数の該雌ネジ穴の大きさと、該第2の研削手段が備える該工具マウントに形成された複数の該ネジ挿通穴及び第2の研削手段の該工具マウントに装着される該研削工具の該環状基台に形成された複数の該雌ネジ穴の大きさと、は異なり、該第1の研削手段及び該第2の研削手段の該工具マウントには、それぞれ、異なる大きさの締結ネジによって該研削工具が装着されることを特徴とする研削装置が提供される。
本発明の研削装置は、第1の研削手段が備える工具マウントのネジ挿通穴及び第1の研削手段に装着される研削工具の雌ネジ穴の大きさと、第2の研削手段が備える工具マウントのネジ挿通穴及び第2の研削手段に装着される研削工具の雌ネジ穴の大きさと、が異なっており、第1の研削手段及び第2の研削手段の工具マウントには、それぞれ、異なる大きさの締結ネジによって研削工具が装着される。
そのため、第1の研削手段の工具マウントに第2の研削手段用の研削工具を装着し、また、第2の研削手段の工具マウントに第1の研削手段用の研削工具を装着してしまうことはない。このように、本発明によれば、誤った研削工具の装着を防止できる研削装置を提供できる。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る研削装置2を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、研削装置2は、各構成を支持する基台4を備えている。
基台4の上面前端側には、開口4aが形成されており、この開口4a内には、被加工物を搬送する搬送ユニット6が設けられている。また、開口4aのさらに前方の領域には、それぞれ、複数の被加工物を収容可能なカセット8a,8bを載置する載置台10a,10bが形成されている。
図2(A)は、本実施形態に係る研削装置2で研削される被加工物の例を模式的に示す斜視図である。図2(A)に示すように、被加工物11は、例えば、シリコン等の半導体材料で形成された略円形の板状物(ウェーハ)であり、表面11aは、中央のデバイス領域13と、デバイス領域13を囲む外周余剰領域15とに分けられている。
デバイス領域13は、格子状に配列されたストリート(分割予定ライン)17でさらに複数の領域に区画されており、各領域にはIC等のデバイス19が形成されている。被加工物11の外周11cは面取り加工されており、僅かに丸みを帯びている。
この被加工物11の表面11a側には、デバイス19を保護するための保護部材が貼着される。図2(B)は、被加工物11に保護部材が貼着される様子を模式的に示す斜視図である。
図2(B)に示すように、保護部材21は、被加工物11と略同径の円盤状に形成されており、表面21a側には、接着層が設けられている。保護部材21としては、例えば、粘着テープ、樹脂基板、被加工物11と同じ板状物(ウェーハ)等を用いることができる。
この保護部材21の表面21a側を、被加工物11の表面11a側に対面させて、保護部材21と被加工物11とを重ね合せる。これにより、被加工物11の表面11a側に保護部材21を貼着できる。
開口4aの斜め後方には、被加工物11の位置合わせを行うアライメント機構12が設けられている。このアライメント機構12は、例えば、カセット8aから搬送ユニット6で搬送され、裏面11b側が上方に露出するように仮置きされた被加工物11の中心を位置合わせする。
アライメント機構12と隣接する位置には、被加工物11を吸引保持して旋回する搬入機構14が配置されている。この搬入機構14は、アライメント機構12で位置合わせされた被加工物11を吸引保持して後方に搬送する。
アライメント機構12及び搬入機構14の後方には、開口4bが形成されている。この開口4b内には、鉛直軸の周りに回転する円盤状のターンテーブル16が配置されている。ターンテーブル16の上面には、被加工物11を吸引保持する4個のチャックテーブル18が略等角度間隔に設置されている。
搬入機構14で吸引保持された被加工物11は、搬入位置Aに位置付けられたチャックテーブル18へと搬入される。ターンテーブル16は、図示する回転方向Rの向きに回転し、チャックテーブル18を、搬入位置A、粗研削位置B、仕上げ研削位置C、搬出位置Dの順に位置付ける。
各チャックテーブル18は、モータ等の回転駆動源(不図示)と連結されており、鉛直軸の周りに回転する。各チャックテーブル18の上面は、被加工物11を吸引保持する保持面となっている。
この保持面は、チャックテーブル18の内部に形成された流路(不図示)を通じて吸引源(不図示)と接続されている。チャックテーブル18に搬入された被加工物11は、保持面に作用する吸引源の負圧で表面11a側(保護部材21の裏面21b側)を吸引される。
ターンテーブル16の後方には、壁状の支持構造20が立設されている。支持構造20の前面には、2組の昇降ユニット22が設けられている。各昇降ユニット22は、鉛直方向(Z軸方向)に伸びる2本の昇降ガイドレール24を備えており、この昇降ガイドレール24には、昇降テーブル26がスライド可能に設置されている。
昇降テーブル26の後面側(裏面側)には、ナット部(不図示)が固定されており、このナット部には、昇降ガイドレール24と平行な昇降ボールネジ28が螺合されている。昇降ボールネジ28の一端部には、昇降パルスモータ30が連結されている。
昇降パルスモータ30で昇降ボールネジ28を回転させることにより、昇降テーブル26は昇降ガイドレール24に沿って上下に移動する。各昇降テーブル26の前面(表面)には、固定具32が設けられている。
粗研削位置Bの上方に位置付けられた昇降テーブル26の固定具32には、被加工物11を粗研削する第1の研削ユニット(第1の研削手段)34aが固定されている。一方、仕上げ研削位置Cの上方に位置付けられた昇降テーブル26の固定具32には、被加工物11を仕上げ研削する第2の研削ユニット(第2の研削手段)34bが固定されている。
第1の研削ユニット34a及び第2の研削ユニット34bのスピンドルハウジング36a,36bには、それぞれ、回転軸を構成するスピンドル38a,38bが収容されている。スピンドル38a,38bの下端部(先端部)には、それぞれ、円盤状のホイールマウント(工具マウント)40a,40bが固定されている。
第1の研削ユニット34aのホイールマウント40aの下面には、粗研削用の研削ホイール(研削工具)42aが装着されており、第2の研削ユニット34bのホイールマウント40bの下面には、仕上げ研削用の研削ホイール(研削工具)42bが装着されている。
スピンドル38a,38bの上端側には、それぞれ、モータ等の回転駆動源(不図示)が連結されており、研削ホイール42a,42bは、回転駆動源から伝達される回転力で回転する。
チャックテーブル18及びスピンドル38a,38bを回転させつつ、研削ホイール42a,42bを下降させ、純水等の研削液を供給しながら被加工物11の裏面11b側に接触させることで、被加工物11を粗研削又は仕上げ研削できる。
搬入機構14と隣接する位置には、研削後の被加工物11を吸引保持して旋回する搬出機構44が設けられている。搬出機構44の側方には、搬出機構44で搬出された研削後の被加工物11を洗浄する洗浄機構46が配置されている。洗浄機構46で洗浄された被加工物11は、搬送ユニット6で搬送され、カセット8bに収容される。
図3は、第1の研削ユニット34aのホイールマウント40a及び研削ホイール42aを拡大した斜視図である。図3に示すように、研削ホイール42aは、アルミニウム等の金属材料で形成された環状のホイール基台(環状基台)48aを備えている。ホイール基台48aの下面(自由端部)には、粗研削用の複数の研削砥石50aが環状に配設されている。
ホイールマウント40aには、上下に貫通する複数のネジ挿通穴H1aが、周方向に所定の間隔をおいて形成されている。一方、ホイール基台48aには、ホイールマウント40aの複数のネジ挿通穴H1aに対応する複数の雌ネジ穴H2aが形成されている。ネジ挿通穴H1a及び雌ネジ穴H2aに対応した締結ネジ52aを、ネジ挿通穴H1aを通じて雌ネジ穴H2aに締め込むことで、研削ホイール42aをホイールマウント40aに固定できる。
第2の研削ユニット34bのホイールマウント40b及び研削ホイール42bの構造は、第1の研削ユニット34aのホイールマウント40a及び研削ホイール42aの構造と同様である。図4は、第2の研削ユニット34bのホイールマウント40b及び研削ホイール42bを拡大して示す斜視図である。
図4に示すように、研削ホイール42bは、アルミニウム等の金属材料で形成された環状のホイール基台(環状基台)48bを備えている。ホイール基台48bの下面(自由端部)には、仕上げ研削用の複数の研削砥石50bが環状に配設されている。
ホイールマウント40bには、上下に貫通する複数のネジ挿通穴H1bが、周方向に所定の間隔をおいて形成されている。一方、ホイール基台48bには、ホイールマウント40bの複数のネジ挿通穴H1bに対応する複数の雌ネジ穴H2bが形成されている。ネジ挿通穴H1b及び雌ネジ穴H2bに対応した締結ネジ52bを、ネジ挿通穴H1bを通じて雌ネジ穴H2bに締め込むことで、研削ホイール42bをホイールマウント40bに固定できる。
本実施形態の研削装置2では、第1の研削ユニット34aのネジ挿通穴H1a及び雌ネジ穴H2aの径(大きさ)と、第2の研削ユニット34bのネジ挿通穴H1b及び雌ネジ穴H2bの径(大きさ)とを異ならせている。具体的には、ネジ挿通穴H1a及び雌ネジ穴H2aの径を、ネジ挿通穴H1b及び雌ネジ穴H2bの径より大きくしている。
そのため、例えば、第1の研削ユニット34aのホイールマウント40aに対して仕上げ研削用の研削ホイール42bを装着しようとしても、ネジ挿通穴H1a及び雌ネジ穴H2aに対応した大径の締結ネジ52aを、研削ホイール42bの小径の雌ネジ穴H2bに締め込むことはできない。
また、例えば、第2の研削ユニット34bのホイールマウント40bに対して粗研削用の研削ホイール42aを装着しようとしても、ネジ挿通穴H1b及び雌ネジ穴H2bに対応した小径の締結ネジ52bを、研削ホイール42aの大径の雌ネジ穴H2aに締め込むことはできない。つまり、第1の研削ユニット34a及び第2の研削ユニット34bに対して、誤った研削ホイール42a,42bを装着してしまうことはない。
以上のように、本発明の研削装置2は、第1の研削ユニット(第1の研削手段)34aが備えるホイールマウント(工具マウント)40aのネジ挿通穴H1a及び第1の研削ユニット34aに装着される研削ホイール(研削工具)42aの雌ネジ穴H2aの大きさと、第2の研削ユニット(第2の研削手段)34bが備えるホイールマウント(工具マウント)40bのネジ挿通穴H1b及び第2の研削ユニット34bに装着される研削ホイール(研削工具)42bの雌ネジ穴H2bの大きさと、が異なっており、第1の研削ユニット34a及び第2の研削ユニット34bのホイールマウント40a,40bには、それぞれ、異なる大きさの締結ネジ52a,52bによって研削ホイール42a,42bが装着される。
そのため、第1の研削ユニット34aのホイールマウント40aに第2の研削ユニット34b用の研削ホイール42bを装着し、また、第2の研削ユニット34bのホイールマウント40bに第1の研削ユニット34a用の研削ホイール42aを装着してしまうことはない。このように、本実施形態によれば、誤った研削ホイール42a,42bの装着を防止できる研削装置2を提供できる。
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施できる。例えば、上記実施形態では、ネジ挿通穴H1a及び雌ネジ穴H2aの径を、ネジ挿通穴H1b及び雌ネジ穴H2bの径より大きくしているが、ネジ挿通穴H1a及び雌ネジ穴H2aの径を、ネジ挿通穴H1b及び雌ネジ穴H2bの径より小さくしても良い。
また、上記実施形態では、2組の研削ユニットを備える研削装置2を例示しているが、本発明の研削装置は、3組以上の研削ユニットを備えても良い。この場合にも、ネジ挿通穴及び雌ネジ穴の径を異ならせることで、誤った研削ホイールの装着を防止できる。
また、各研削ユニットで使用する締結ネジの規格(ネジ山、ネジ溝のピッチ等)を異ならせても良い。この場合、誤った研削ホイールの装着をより適切に防止できる。その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 加工装置
4 基台
4a,4b 開口
6 搬送ユニット
8a,8b カセット
10a,10b 載置台
12 アライメント機構
14 搬入機構
16 ターンテーブル
18 チャックテーブル
20 支持構造
22 昇降ユニット
24 昇降ガイドレール
26 昇降テーブル
28 昇降ボールネジ
30 昇降パルスモータ
32 固定具
34a 第1の研削ユニット(第1の研削手段)
34b 第2の研削ユニット(第2の研削手段)
36a,36b スピンドルハウジング
38a,38b スピンドル
40a,40b ホイールマウント(工具マウント)
42a,42b 研削ホイール(研削工具)
44 搬出機構
46 洗浄ユニット
48a,48b ホイール基台(環状基台)
50a,50b 研削砥石
52a,52b 締結ネジ
H1a,H1b ネジ挿通穴
H2a,H2b 雌ネジ穴
R 回転方向
A 搬入位置
B 粗研削位置
C 仕上げ研削位置
D 搬出位置
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
11c 外周
13 デバイス領域
15 外周余剰領域
17 ストリート(分割予定ライン)
19 デバイス
21 保護部材
21a 表面
21b 裏面
4 基台
4a,4b 開口
6 搬送ユニット
8a,8b カセット
10a,10b 載置台
12 アライメント機構
14 搬入機構
16 ターンテーブル
18 チャックテーブル
20 支持構造
22 昇降ユニット
24 昇降ガイドレール
26 昇降テーブル
28 昇降ボールネジ
30 昇降パルスモータ
32 固定具
34a 第1の研削ユニット(第1の研削手段)
34b 第2の研削ユニット(第2の研削手段)
36a,36b スピンドルハウジング
38a,38b スピンドル
40a,40b ホイールマウント(工具マウント)
42a,42b 研削ホイール(研削工具)
44 搬出機構
46 洗浄ユニット
48a,48b ホイール基台(環状基台)
50a,50b 研削砥石
52a,52b 締結ネジ
H1a,H1b ネジ挿通穴
H2a,H2b 雌ネジ穴
R 回転方向
A 搬入位置
B 粗研削位置
C 仕上げ研削位置
D 搬出位置
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
11c 外周
13 デバイス領域
15 外周余剰領域
17 ストリート(分割予定ライン)
19 デバイス
21 保護部材
21a 表面
21b 裏面
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物の上面を研削する第1の研削手段及び第2の研削手段と、を備える研削装置であって、
該第1の研削手段及び該第2の研削手段は、それぞれ、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの先端部に形成された工具マウントと、該工具マウントに装着される環状基台及び該環状基台の自由端部において環状に配設される研削砥石を備えた研削工具と、を有し、
該工具マウントには、周方向に間隔をおいて複数のネジ挿通穴が形成されており、
該研削工具の該環状基台には、該工具マウントの複数の該ネジ挿通穴に対応する複数の雌ネジ穴が形成されており、
該第1の研削手段が備える該工具マウントに形成された複数の該ネジ挿通穴及び第1の研削手段の該工具マウントに装着される該研削工具の該環状基台に形成された複数の該雌ネジ穴の大きさと、該第2の研削手段が備える該工具マウントに形成された複数の該ネジ挿通穴及び第2の研削手段の該工具マウントに装着される該研削工具の該環状基台に形成された複数の該雌ネジ穴の大きさと、は異なり、
該第1の研削手段及び該第2の研削手段の該工具マウントには、それぞれ、異なる大きさの締結ネジによって該研削工具が装着されることを特徴とする研削装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014132281A JP2016010823A (ja) | 2014-06-27 | 2014-06-27 | 研削装置 |
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JP2014132281A JP2016010823A (ja) | 2014-06-27 | 2014-06-27 | 研削装置 |
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