JP2021186935A - 研削装置、及び矩形板状物仮置治具 - Google Patents

Abstract

【課題】円形、矩形の板状物を同じ装置で加工できる研削装置、及び矩形板状物仮置治具を提供する。【解決手段】チャックテーブルに保持された板状物を研削する研削手段と、板状物の中心を調整する仮置きテーブル１３と、仮置きテーブルからチャックテーブルまで板状物を搬送する搬送手段と、備えた研削装置であって、仮置きテーブルは、円形板状物仮置きテーブル１３１と、円形板状物仮置きテーブルに載置されて矩形板状物を仮置きする矩形板状物仮置治具１３２と、を備え、円形板状物仮置きテーブルは、小径の支持テーブル１３１ａと、円形板状物の外周を押圧する複数の爪部１３１ｄと、を備え、矩形板状物仮置治具は、支持テーブルに係合し支持面１３１ｂを露出させる貫通孔１３３ａが中央に形成されたベース部と、ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部１３５ａ、１３６ａと、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、板状物を研削する研削装置、及び研削装置に装着される矩形板状物仮置治具に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、ウエーハを仮置きし、ウエーハの中心を調整する仮置きテーブルと、該仮置きテーブルから該チャックテーブルまでウエーハを搬送する搬送手段と、を少なくとも備え、ウエーハを所望の厚みに形成することができる（例えば特許文献１を参照）。

特開２００５−１５０５２８号公報

しかし、上記特許文献１に記載の研削装置は、円形のウエーハを研削するように構成されていて、例えば、太陽電池に使用される矩形板状物を研削するのに適した構成とはなっていない。したがって、該矩形板状物を研削するためには、別途研削装置を用意しなければならず、そのための設置場所も必要となって不経済であるという問題がある。

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、円形板状物を研削する研削装置においても矩形板状物を研削できるようにすることで、矩形の板状物を研削するための研削装置を別途用意しなければならず、そのための設置場所も必要となって不経済であるという問題を解消することができる研削装置、及び矩形板状物仮置治具を提供することである。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を研削する研削手段と、板状物を仮置きし板状物の中心を調整する仮置きテーブルと、該仮置きテーブルから該チャックテーブルまで板状物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた研削装置であって、該仮置きテーブルは、円形板状物仮置きテーブルと、該円形板状物仮置きテーブルに載置されて矩形板状物を仮置きする矩形板状物仮置治具と、を備え、円形板状物仮置きテーブルは、円形板状物の中央を支持する支持面を備えた小径の支持テーブルと、該支持テーブルを囲繞し径方向に進退し円形板状物の外周を中央に向けて押圧する複数の爪部と、を備え、該矩形板状物仮置治具は、該支持テーブルに係合し該支持面を露出させる貫通孔が中央に形成されたベース部と、該貫通孔を挟んで該ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部と、を備え、該押圧部には、該爪部が作用する爪作用部が形成されている研削装置が提供される。

また、本発明によれば、研削装置に配設された円形板状物仮置きテーブルに載置される矩形板状物仮置治具であって、該矩形板状物仮置治具は、円形板状物仮置きテーブルに配設された支持テーブルの支持面を露出させる貫通孔が中央に形成されたベース部と、該貫通孔を挟んで該ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部と、を備え、該押圧部には、該支持テーブルを囲繞して径方向に進退する複数の爪部が作用する爪作用部が形成されている矩形板状物仮置治具が提供される。

本発明の研削装置は、板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を研削する研削手段と、板状物を仮置きし板状物の中心を調整する仮置きテーブルと、該仮置きテーブルから該チャックテーブルまで板状物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた研削装置であって、該仮置きテーブルは、円形板状物仮置きテーブルと、該円形板状物仮置きテーブルに載置されて矩形板状物を仮置きする矩形板状物仮置治具と、を備え、円形板状物仮置きテーブルは、円形板状物の中央を支持する支持面を備えた小径の支持テーブルと、該支持テーブルを囲繞し径方向に進退し円形板状物の外周を中央に向けて押圧する複数の爪部と、を備え、該矩形板状物仮置治具は、該支持テーブルに係合し該支持面を露出させる貫通孔が中央に形成されたベース部と、該貫通孔を挟んで該ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部と、を備え、該押圧部には、該爪部が作用する爪作用部が形成されていることから、円形板状物を研削すべく構成された研削装置に、上記した矩形板状物仮置治具を装着して仮置きテーブルを構成し、矩形板状物を研削できる研削装置とすることができ、矩形板状物を研削する研削装置を別途用意しなければならないと共に、設置場所も必要となって不経済であるという問題が解消する。

また、本発明の矩形板状物仮置治具は、円形板状物仮置きテーブルに配設された支持テーブルの支持面を露出させる貫通孔が中央に形成されたベース部と、該貫通孔を挟んで該ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部と、を備え、該押圧部には、該支持テーブルを囲繞して径方向に進退する複数の爪部が作用する爪作用部が形成されていることから、円形板状物を研削すべく構成された研削装置に対して本発明の矩形板状物仮置治具を装着して仮置きテーブルを構成して、矩形板状物を研削できる研削装置とすることができ、矩形板状物を研削する研削装置を別途用意しなければならないと共に、設置場所も必要となって不経済であるという問題が解消する。

研削装置の全体斜視図である。 図１の研削装置に装着される矩形板状物仮置治具の分解斜視図、及び組み立て後の斜視図である。 矩形板状物仮置治具を円形板状物仮置きテーブルに載置して仮置きテーブルを構成する態様を示す斜視図である。 （ａ）仮置テーブルに矩形板状物を載置した状態を示す平面図、（ｂ）矩形板状物の中心位置を矩形板状物仮置治具により調整する態様を示す平面図である。

以下、本発明に基づいて構成される研削装置、及び研削装置に装着される矩形板状物仮置治具に係る実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。

図１には、本実施形態の研削装置１の全体斜視図が示されている。図１に示す研削装置１は、装置ハウジング２を備えている。装置ハウジング２は、略直方体形状の本体部２１と、本体部２１の後端部（図１において右上端）に設けられ上下方向に立設された直立壁２２とを有している。直立壁２２の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール２２１、２２１が設けられている。

直立壁２２の前面には、研削手段３が配設されている。研削手段３は、移動基台３１と移動基台３１に装着されたスピンドルユニット３２を備えている。移動基台３１は、後面側で該一対の案内レール２２１、２２１と係合し、案内レール２２１、２２１に対して上下方向に摺動可能に装着されている。

スピンドルユニット３２は、支持部３１３に装着されたスピンドルハウジング３２１と、スピンドルハウジング３２１に回転自在に配設された回転スピンドル３２２と、回転スピンドル３２２を回転駆動するための回転駆動手段としてのサーボモータ３２３と、を備えている。回転スピンドル３２２の下端部は、スピンドルハウジング３２１の下端側に突出しており、その下端にはマウンター３２４が設けられている。マウンター３２４の下面に研削ホイール３２５が装着され、研削ホイール３２５の下面には、複数の研削砥石３２６が環状に配設されている。

図１に示す研削装置１は、上記した研削手段３を上記一対の案内レール２２１、２２１に沿って上下方向（後述するチャックテーブルの保持面と垂直な方向）に移動させる研削送り手段４を備えている。この研削送り手段４は、直立壁２２の前面側に配設され上下方向に延びる雄ねじロッド４１を備えている。この雄ねじロッド４１は、その上端部及び下端部が直立壁２２に回転自在に支持されている。雄ねじロッド４１の上側端部には雄ねじロッド４１を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ４４が配設されており、このパルスモータ４４の出力軸が雄ねじロッド４１に連結されている。移動基台３１の後面には、ねじ連結部（図示は省略する）が形成されており、該連結部には上下方向に延びる雌ねじ穴が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド４１が螺合させられる。このようなねじ機構からなる研削送り手段４は、パルスモータ４４を正転させて移動基台３１と共に研削手段３を下降させ、パルスモータ４４を逆転させて移動基台３１と共に研削手段３を上昇させる。

さらに、図１を参照して説明を続けると、ハウジング２の本体部２１には被加工物である板状物を保持するチャックテーブル機構５が配設されている。チャックテーブル機構５は、移動基台５１と移動基台５１に配設されたチャックテーブル５２と、移動基台５１において、矢印Ｘで示すＸ軸方向で両側に接続された蛇腹手段６１、６２を備えている。本体部２１の内部には、移動基台５１を、図中矢印Ｘで示す方向に移動させる移動手段（図示は省略する）が収容されている。該移動手段を作動させることにより、蛇腹手６１、６２を伸縮、伸長させると共に、チャックテーブル５２を、被加工物である未加工の板状物をチャックテーブル５２上に載置する図中手前側の搬出入領域と、研削手段３の直下で加工が施される図中奥側の加工領域との間で移動させることができる。

チャックテーブル５２は、移動基台５１に回転可能に支持されており、チャックテーブル５２に連結された回転駆動手段（図示は省略する）によって回転させられる。チャックテーブル５２の上面は、被加工物である板状物を吸引する保持面５３を備えている。図に示すチャックテーブル５２の保持面５３は、通気性を有する素材で形成され、中心側に形成され矩形板状物を保持する矩形板状物保持部５３ａと、矩形板状物保持部５３ａを囲繞するように形成された円形板状物を保持する円形板状物保持部５３ｂと、を備えている。矩形板状物保持部５３ａ、及び円形板状物保持部５３ｂは、それぞれが図示しない吸引手段に接続されている。該吸引手段による吸引を矩形板状物保持部５３ａと円形板状物保持部５３ｂとで選択的に作用させることにより、保持面５３上に矩形板状物と円形板状物とを吸引保持することができる。なお、本発明は、上記したチャックテーブル５２を備えることに限定されず、矩形板状物を保持して研削加工する場合と、円形状板状物を保持して研削加工する場合とで、それぞれの形状に対応したチャックテーブルに適宜交換するようにしてもよい。

図１に基づいて説明を続けると、装置ハウジング２の本体部２１における手前側には、第１のカセット１１と、第２のカセット１２と、板状物を仮置きし板状物の中心を調整する仮置きテーブル１３と、洗浄手段１４と、第１のカセット１１と仮置きテーブル１３との間、及び洗浄手段１４と第２のカセット１２との間で板状物を吸引して移動させるロボットアーム１５と、仮置きテーブル１３から前記した搬出入領域に位置付けられたチャックテーブル５２に板状物を搬送する搬送手段１６と、搬出入領域に位置付けられたチャックテーブル５２から洗浄手段１４に板状物を搬出する板状物搬出手段１７と、が配設されている。第１のカセット１１は研削加工前の複数の板状物を収容し、第２のカセット１２は、研削加工後の複数の板状物を収容する。

仮置きテーブル１３は、第１のカセット１１とチャックテーブル５２が位置付けられる該搬出入領域との間に配設され、研削加工前の板状物を仮置きするものであり、図に示すように、それのみで円形の板状物の中心の位置合わせを行うことができるように構成された円形板状物仮置きテーブル１３１と、円形板状物仮置きテーブル１３１に載置して矩形の板状物を仮置きして中心の位置合わせを行うべく使用される矩形板状物仮置治具１３２と、を備えている。

円形板状物仮置きテーブル１３１は、円形の板状物の中央を支持する支持面１３１ｂを備え円筒状に形成された小径の支持テーブル１３１ａと、支持テーブル１３１ａを囲繞し径方向に形成され均等間隔で複数配設された長孔１３１ｃに沿って進退し、仮に円形の板状物が載置された場合に、円形の板状物の外周を中央に向けて押圧するように形成された爪部１３１ｄ（図示の実施形態では６個）と、を備えている（図３も併せて参照）。さらに、図３に示すように、支持テーブル１３１ａの支持面１３１ｂ上には、支持面１３１ｂに載置された板状物を吸引するための吸引孔１３１ｅが複数形成され、吸引孔１３１ｅには支持テーブル１３１ａを介して吸引源（図示は省略する）に接続されている。また、支持テーブル１３１ａの近傍には、円形板状物仮置きテーブル１３１に対する矩形板状物仮置治具１３２の載置方向を位置決めする位置決めピン１３１ｆと、仮置きテーブル１３に板状物が載置されたか否かを判定するための近接センサ１３４と、が配設されている。なお、本実施形態の円形板状物仮置きテーブル１３１は、実際に円形の板状物を載置して中心の位置合わせを行い、その後、上記した研削手段３によって研削加工を施すことを要件とするものではなく、上記したように、円形の板状物の中心の位置合わせを行うのに好適な構成であれば足りる。また、本実施形態では、複数の爪部１３１ｄが６個である例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、４個であってもよい。

次いで、図２を参照しながら、本実施形態の矩形板状物仮置治具１３２についてより具体的に説明する。図２の上方には矩形板状物仮置治具１３２を分解した状態で示す分解斜視図が示され、下方には上方に示した各構成を組み立てた状態の矩形板状物仮置治具１３２が示されている。矩形板状物仮置治具１３２は、前記した円形板状物仮置きテーブル１３１の支持テーブル１３１ａに係合し支持テーブル１３１ａの支持面１３１ｂを露出させる貫通孔１３３ａが中央に形成されたベース部１３３と、貫通孔１３３ａを挟んでベース部１３３に配設され図中Ｘ軸方向に沿う方向に配設された第１の押圧機構１３５、１３５と、該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に配設された第二の押圧機構１３６、１３６と、を備えている。また、ベース部１３３には、上記した円形板状物仮置きテーブル１３１の位置決めピン１３１ｆが挿入される位置決め孔１３３ｂ、及び円形板状物仮置きテーブル１３１上に配設された近接センサ１３４を上方に露出させる開口部１３３ｃが形成されている。なお、本実施形態において、貫通孔１３３ａを挟んで向かい合う位置に配設された一方の第１の押圧機構１３５及び１３５、並びに他方の第二の押圧機構１３６及び１３６は、それぞれ同一の構成を備えている。

図２の上方に示す分解斜視図を参照することにより理解されるように、第１の押圧機構１３５は、第１の押圧部１３５ａと、第１の押圧部１３５ａを支持する押圧部支持基台１３５ｂと、を備えている。第１の押圧部１３５ａには図に示すスプリングＢの一方の端部を連結する一対のピン１３５ｃ、１３５ｃと、上下に貫通し該Ｘ軸方向に沿う方向に形成された長孔１３５ｄと、第１の押圧部１３５ａの下面において該Ｘ軸方向に沿う方向に形成された凸形状をなすガイド部１３５ｅと、爪作用部１３７ａと、押圧面１３７ｂとが形成されている。また、押圧部支持基台１３５ｂは、上面に形成され第１の押圧部１３５ａのガイド部１３５ｅを該Ｘ軸方向でガイドするガイド溝１３５ｆと、上記した２つのスプリングＢの他方の端部を連結する一対のピン１３５ｇ、１３５ｇと、円形板状物仮置きテーブル１３１の爪部１３１ｄが進入可能に形成された凹部１３５ｈと、を備えている。第１の押圧機構１３５は、上記したような構成を備え、図示のねじＳを使用して押圧部支持基台１３５ｂをベース部１３３に締結し、第１の押圧部１３５ａを、ねじＳを使用して長孔１３５ｄを介して押圧部支持基台１３５ｂに対して支持させ、一対のスプリングＢ、Ｂを、一方の一対のピン１３５ｃ、１３５ｃと、他方の一対のピン１３５ｇ、１３５ｇとに連結させて、第１の押圧部１３５ａを押圧部支持部材１３５ｂのガイド溝１３５ｆに沿ってスライド可能に支持する。爪作用部１３７ａに円形板状物仮置きテーブル１３１の爪部１３１ｄが作用して第１の押圧部１３５ａがベース部１３３の貫通孔１３３ａ側に押されると、スプリングＢ、Ｂは、引張コイルばねとして機能し、第１の押圧部１３５ａには、該貫通孔１３３ａから離反する方向に引っ張り力が作用する。

また、第２の押圧機構１３６は、第２の押圧部１３６ａと、押圧部支持基台１３６ｂと、を備えている。第２の押圧部１３６ａには図に示すスプリングＢの一方の端部を連結するピン１３６ｃと、上下に貫通し図中Ｙ軸方向に沿う方向に形成された長孔１３６ｄと、第２の押圧部１３６ａの下面において該Ｙ軸方向に沿う方向に形成された凸形状をなすガイド部１３６ｅと、を備えると共に、ピン１３６ｃを挟んで２ヶ所に形成された爪作用部１３８ａ、１３８ａと、押圧面１３８ｂとが形成されている。また、押圧部支持基台１３６ｂは、上面に形成され第２の押圧部１３６ａのガイド部１３６ｅをＹ軸方向でガイドするガイド溝１３６ｆと、上記したスプリングＢの他方の端部を連結するピン１３６ｇと、を備えている。上記したような構成により、図示のねじＳを使用して押圧部支持基台１３６ｂをベース部１３３に締結し、第２の押圧部１３６ａを、ねじＳを使用して押圧部支持基台１３６ｂに対して長孔１３６ｄを介して支持させ、スプリングＢを使用して、一方のピン１３６ｃと、他方のピン１３６ｇとを連結して、第２の押圧部１３６ａを押圧部支持部材１３６ｂのガイド溝１３６ｆに沿ってスライド可能に支持する。この際、スプリングＢは、引張コイルばねとして機能するものであり、第２の押圧部１３６ａがベース部１３３に形成された貫通孔１３３ａ側に移動させられると、第２の押圧部１３６ａには、該貫通孔１３３ａから離反する方向に引っ張り力が作用する。

本実施形態の仮置きテーブル１３は概ね上記したとおりの構成を備えており、図１に示す研削装置１において矩形板状物に対して研削加工を実施する際には、仮置きテーブル１３を図３の下方に示す状態とする。次に、図１、図３に加え、図４を参照しながら、矩形板状物Ｗに対して研削加工を実施する際の仮置きテーブル１３の作用について、以下に説明する。

本実施形態で被加工物となるのは、図４に示す矩形板状物Ｗであり、例えば、太陽電池パネルを構成する基板である。矩形板状物Ｗは、表面に図示を省略する保護テープが貼着され、第１のカセット１１内に、研削される裏面側を上方に向けて複数収容されている。

第１のカセット１１に収容された研削加工前の矩形板状物Ｗは、ロボットアーム１５の上下動作、及び進退動作により搬出され、図４（ａ）に示すように、上記した仮置きテーブル１３の支持テーブル１３１ａ上に、所定の方向になるように載置される。なお、この際、吸引孔１３１ｅからの吸引は解除されている。ここで、図４（ａ）から理解されるように、矩形板状物Ｗが仮置きテーブル１３上に載置される際に、必ずしもその方向、及び中心位置が精密に位置決めされず、矩形板状物Ｗの方向、及び中心位置がずれた状態となる。そこで、図４（ｂ）に示すように、円形板状物仮置きテーブル１３１の各爪部１３１ｄを作動し、長孔１３１ｃに沿って矢印Ｒ１で示す方向、すなわち支持テーブル１３１ａの中心に向けて移動させる。

図中Ｘ軸方向に沿って作動する一対の爪部１３１ｄは、支持テーブル１３１ａの中心に向けて移動されることにより、第１の押圧部１３５ａの凹部１３５ｈに進入し、第１の押圧部１３５ａの爪作用部１３７ａを押圧する。そして、爪部１３１ｄによって押圧された一対の第１の押圧部１３５ａ、１３５ａは、矢印Ｒ２に示す方向に移動し、押圧面１３７ｂが該Ｘ軸方向において矩形板状物Ｗの向かい合う２辺を押圧して、該Ｘ軸方向における矩形板状物Ｗの中心位置を支持テーブル１３１ａの中心に合わせる。

また、二つの第２の押圧機構１３６には、図中Ｙ軸方向に配設された４つの爪部１３１ｄがそれぞれに２つずつ作用する。より具体的には、図４（ｂ）中の上方に配設された２つの爪部１３１ｄが支持テーブル１３１ａの中心に向けて移動されることにより、第２の押圧部１３６ａの２つの爪作用部１３８ａに作用し、第２の押圧部１３６ａは、矢印Ｒ３で示す方向、すなわち、支持テーブル１３１ａの中心に向けて移動させられる。これと同時に、図中下方に配置された第２の押圧部１３６ａの２つの爪作用部１３８ａにも２つの爪部１３１ｄが作用し、下方側の第２の押圧部１３６ａも矢印Ｒ３で示す方向、すなわち、支持テーブル１３１ａの中心に向けて移動させられる。この二つの第２の押圧部１３６ａが支持テーブル１３１ａの中心に向けて移動させられることにより、二つの第２の押圧部１３６ａの押圧面１３８ｂが、該Ｙ軸方向において矩形板状物Ｗの向かい合う２辺を押圧して、Ｙ軸方向における矩形板状物Ｗの中心位置を支持テーブル１３１ａの中心に一致させる。上記した一対の第１の押圧機構１３５、及び一対の第２の押圧機構１３６の作用により、矩形板状物Ｗの中心位置が、支持テーブル１３１ａの中心位置に一致させられたならば、支持テーブル１３１ａの支持面１３１ｂ上の吸引孔１３１ｅで矩形板状物Ｗが吸引保持されてその位置が固定される。

上記したように、仮置きテーブル１３上の矩形板状物Ｗの中心位置及び方向を調整して吸引保持したならば、図１に示す搬送手段１６を作動し、支持テーブル１３１ａの吸引孔１３１ｅによる吸引を解除すると共に矩形板状物Ｗを仮置きテーブル１３から搬出して、図１中手前側の搬出入領域に位置付けられたチャックテーブル５２に搬送し載置する。これにより、チャックテーブル５２の保持面５３の矩形板状物保持部５３ａの中心位置及び方向と、矩形板状物Ｗの中心位置、及び方向が一致させられる。矩形板状物保持部５３ａに矩形板状物Ｗが載置されたならば、図示しない吸引手段を作動して、チャックテーブル５２に矩形板状物Ｗを吸引保持する。

次いで、図示を省略する移動手段を作動して、チャックテーブル５２をＸ軸方向で移動して、研削手段３の直下の加工領域に位置付ける。次に、チャックテーブル５２を回転させる図示しない回転駆動手段を作動してチャックテーブル５２を例えば３００ｒｐｍで回転させるとともに、上記サーボモータ３２３を駆動し回転スピンドル３２２を回転して研削ホイール３２５を例えば６０００ｒｐｍで回転させつつ、上記研削送り手段４のパルスモータ４４を正転駆動して研削手段３を図１において矢印Ｚ１で示す方向（下方向）に所定の研削送り速度で研削送りする。

研削ホイール３２５、及び環状に配設された研削砥石３２６を矢印Ｚ１で示す方向（下方向）に研削送りし、研削面に研削水を供給しながら研削砥石３２６の下面である研削面をチャックテーブル５２に保持された矩形板状物Ｗの裏面に接触させる。この結果、研削手段３の研削砥石３２６によって矩形板状物Ｗの裏面が研削されて、所定の厚みに形成される。なお、図示しない厚み検出手段を配設して、矩形板状物Ｗの厚みを検出しながら研削加工を実施するようにしてもよい。

上記した研削加工が施されたならば、チャックテーブル５２を図１中手前側の搬出入領域に移動して、板状物搬出手段１７を作動し、チャックテーブル５２から矩形板状物Ｗを搬出して、洗浄手段１４に搬送する。洗浄手段１４によって矩形板状物Ｗの裏面を洗浄、乾燥したならば、ロボットアーム１５によって洗浄手段１４から搬出して、第２のカセット１２の所定の位置に収容する。上記した研削加工を第１のカセット１１に収容されたすべての矩形板状物Ｗに対して実施して、第２のカセット１２に収容したならば、研削加工が完了し、第２のカセット１２を後の工程に適宜搬送する。

上記した実施形態によれば、円形板状物を研削すべく構成された研削装置に、矩形板状物仮置治具１３２を装着して仮置きテーブル１３を構成することで、矩形板状物Ｗを研削できる研削装置１とすることができ、矩形板状物Ｗを研削する研削装置を別途用意しなければならないと共に、新たに設置場所も必要となって不経済であるという問題が解消する。

なお、上記した実施形態では、円形板状物仮置きテーブル１３１の爪部１３１ｄを、支持テーブル１３１ａを囲むように均等に６個配設し、１つの第１の押圧機構１３５に対して１つの爪部１３１ｄを作用させてＸ軸方向で押圧し、１つの第２の押圧機構１３６に対して２つの爪部１３１ｄを作用させて該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向で押圧するように構成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、円形板状物仮置きテーブル１３１の爪部１３１ｄが支持テーブル１３１ａを囲むように均等間隔で４個配設されたものである場合は、上記した第２の押圧機構１３６に替えて第１の押圧機構１３５を配設することで合計４つの第１の押圧機構１３５を配設し、爪部１３１ｄを４つの第１の押圧部１３５ａそれぞれに作用させて、矩形板状物Ｗの４辺を押圧して中央位置を調整するようにしてもよい。

１：研削装置
２：ハウジング
２１：本体部
２２：直立壁
２２１：案内レール
３：研削手段
３１：移動基台
３２：スピンドルユニット
３２５：研削ホイール
３２６：研削砥石
４：研削送り手段
４１：雄ねじロッド
４４：パルスモータ
５：チャックテーブル機構
５１：移動基台
５２：チャックテーブル
５３：保持面
５３ａ：矩形板状物保持部
５３ｂ：円形板状物保持部
１１：第１のカセット
１２：第２のカセット
１３：仮置きテーブル
１３１：円形板状物仮置きテーブル
１３１ａ：支持テーブル
１３１ｂ：支持面
１３１ｃ：長孔
１３１ｄ：爪部
１３２：矩形板状物仮置治具
１３３：ベース部
１３３ａ：貫通孔
１３４：近接センサ
１３５：第１の押圧機構
１３５ａ：第１の押圧部
１３５ｂ：押圧部支持基台
１３５ｃ：ピン
１３５ｄ：長孔
１３５ｅ：ガイド部
１３５ｆ：ガイド溝
１３５ｇ：ピン
１３５ｈ：凹部
１３６：第２の押圧機構
１３６ａ：第２の押圧部
１３６ｂ：押圧部支持基台
１３６ｃ：ピン
１３６ｄ：長孔
１３６ｅ：ガイド部
１３６ｆ：ガイド溝
１３７ａ：爪作用部
１３７ｂ：押圧面
１３８ａ：爪作用部
１３８ｂ：押圧面
１４：洗浄手段
１６：搬送手段
１７：板状物搬出手段
Ｗ：矩形板状物

Claims (2)

1. 板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を研削する研削手段と、板状物を仮置きし板状物の中心を調整する仮置きテーブルと、該仮置きテーブルから該チャックテーブルまで板状物を搬送する搬送手段と、を少なくとも備えた研削装置であって、
   該仮置きテーブルは、円形板状物仮置きテーブルと、該円形板状物仮置きテーブルに載置されて矩形板状物を仮置きする矩形板状物仮置治具と、を備え、
   円形板状物仮置きテーブルは、円形板状物の中央を支持する支持面を備えた小径の支持テーブルと、該支持テーブルを囲繞し径方向に進退し円形板状物の外周を中央に向けて押圧する複数の爪部と、を備え、
   該矩形板状物仮置治具は、該支持テーブルに係合し該支持面を露出させる貫通孔が中央に形成されたベース部と、該貫通孔を挟んで該ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部と、を備え、
   該押圧部には、該爪部が作用する爪作用部が形成されている研削装置。
2. 研削装置に配設された円形板状物仮置きテーブルに載置される矩形板状物仮置治具であって、
   該矩形板状物仮置治具は、円形板状物仮置きテーブルに配設された支持テーブルの支持面を露出させる貫通孔が中央に形成されたベース部と、該貫通孔を挟んで該ベース部に配設され矩形板状物の各辺を押圧する４つの押圧部と、を備え、
   該押圧部には、該支持テーブルを囲繞して径方向に進退する複数の爪部が作用する爪作用部が形成されている矩形板状物仮置治具。

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