KR20050005708A - 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

점유 공간이 작고 구성도 단순하며 저가로 실현할 수 있는 표시 패널의 검사 장치와 그 검사 방법을 제공한다.
회전대(700)는 표시 패널을 배치하는 제 1 면과 제 2 면을, 전방부(대면부)와 상부로 전환하여 배향할 수 있다. 고정대(600)는 회전대(700)를 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지한다. Z축 구동 기구(500)는 고정대(600)를 전방부(대면부)를 향하는 전방과 전방부(대면부)로부터 후퇴하는 후방으로 이동시킨다. 고정대가 상기 Z축 구동 기구에 의해 상기 전방의 소정 위치로 이동될 때, 프로브 유닛(300)이 표시 패널에 접속된다.

Description

표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법{DISPLAY PANEL INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD}
본 발명은 액정 소자, 유기 EL(전기 냉광) 소자, 플라즈마 디스플레이 소자, FED(전계 방출 장치) 등과 같은 박형 표시 패널을 검사하는 표시 패널의 검사 장치와 그 검사 방법에 관한 것이다.
액정 패널 등의 검사 장치에서는 검사 장치에 대하여 액정 패널을 검사대에 장전하는 시간, 장전한 후에 프로브 유닛에 대한 액정 패널의 위치를 일치시키고 검사를 실시하는 시간, 또한 검사 완료된 액정 패널을 검사대로부터 취출하는 시간이 필요하다. 이 때문에 종래의 검사 장치는 대규모가 되어 고비용이 든다.
상기 종래의 검사 장치는 대규모이고, 고가이기 때문에, 검사 장치의 소형화, 저가격화가 요망되고 있다. 이 검사 장치의 저가격화에 의해 액정 패널 자체의 제품 비용 저감의 영향을 기대할 수 있다.
그래서 본 발명은 점유 공간이 작고, 구성도 단순하며, 저가격으로 실현할 수 있는 표시 패널의 검사 장치와 그 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 표시 패널을 배치할 수 있는 제 1 면과 제 2 면을, 전방부(대면부)와 상부로 전환하여 배향할 수 있도록 회전축을 수평 방향으로부터 경사지도록 설정한 회전대와, 상기 회전축을 회전 구동하는 구동부를 갖고, 상기 회전대를 상기 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지하는 고정대와, 상기 고정대를 상기 전방부(대면부)를 향하는 전방과 상기 전방부(대면부)로부터 후퇴하는 후방으로 이동시키는 Z축 구동 기구와, 상기 고정대가 상기 Z축 구동 기구에 의해 상기 전방의 소정 위치로 이동될 때, 상기 전방부(대면부)를 향하고 있는 상기 회전대의 면에 대향하는 프로브 유닛을 구비하는 것을 기본으로 하는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 장치를 나타내는 구성 설명도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 동작 상태를 나타내는 설명도,
도 3은 도 1의 팔레트 장치의 구성예를 나타내는 도면,
도 4는 도 1의 스테이지 장치와 프로브 유닛의 구성예를 설명하기 위해서 나타낸 도면,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 동작 상태를 나타내는 설명도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 장치를 전방 패널을 제외하고 나타내는 설명도,
도 7은 본 발명의 다른 실시예의 장치를 나타내는 설명도,
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예의 장치를 나타내는 설명도,
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예의 장치를 나타내는 설명도,
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예의 장치를 나타내는 설명도,
도 11은 본 발명의 장치의 기본적인 동작을 설명하는 흐름도,
도 12는 본 발명의 장치에서 사용되는 팔레트 장치의 다른 구성예를 나타내는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 베이스 110 : 전방 패널
300 : 프로브 유닛 500 : Z축 구동 기구
600 : 고정대 700 : 회전대
1001, 1002 : 팔레트 장치
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 또한, 본 명세서에서는 각 도면에 걸쳐 공통 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 장치의 기본 구성을 측부에서 내타내고 있다. 참조부호(100)는 장치를 지지하는 평판형 베이스이다. 베이스(100)의 전방의 에지로부터 전방 패널(110)이 직립하고 경사각(θ1)을 갖고 상방으로 연장되어 있다. 이 전방 패널(110)에는 창(111)이 형성되어 있다. 이 창(111)을 둘러싸도록 그 테두리에는 스테이지 장치(200)가 부착되어 있다. 이 스테이지 장치(200)도 창(111)에 대응하는 창(211)을 갖고, 이 창(211)을 둘러싸도록 창(211)의 테두리에는 프로브 유닛(300)이 부착되어 있다. 이 프로브 유닛(300)도 창(111, 211)에 대응하는 창(311)을 갖는다. 이 때문에 전방 패널(111)의 내부를 외부로부터 창(311, 211, 111)을 통해 엿볼 수 있다. 상기와 같이 이 시스템에서는 스테이지 장치(200), 및 프로브 유닛(300)은 예컨대 프레임 형상이다. 이 프로브 유닛(300)은 프레임 형상일 필요는 없고, 각기둥 형상일 수도 있고, 스테이지 장치(200)에 부착되어 있다.
또한 창(311, 211, 111)을 통해 위치설정용(정렬용) 비디오 카메라(411, 412)가 부착되어 있다. 비디오 카메라(411, 412) 2대가 도시되어 있지만, 대수는 이에 한정되지 않는다. 또한 카메라 지지부는 프로브 유닛(300)에 부착될 필요는 없고, 전방 패널일 수도 있다.
상기 스테이지 장치(200)는 X축 방향, Y축 방향, 및 θ(회전) 방향으로 프로브 유닛(300)의 위치 조정을 실시할 수 있다. X, Y축은 직교 관계이다. X, Y축에 직교하는 Z축이 있지만, 이에 대해서는 후술한다. θ는 Z축을 회전축으로 하는 회전 방향이다.
베이스(100)의 상면에는 지지대(120)가 고정되고, 지지대(120)의 상면은 수평면에 대하여 각도(θ2= θ1)(대략 동일한 상태에 있어도 본 발명의 개념임)로 경사져 있다. 이 지지대(120)의 상면에는 스테이지 장치로서의 Z축 구동 기구(500)가 부착되어 있고, 이 Z축 구동 기구(500)는 고정대(600)를 지지하여, 이 고정대(600)를 전후 방향(Z축방향)으로 이동 제어할 수 있다. 이 고정대(600)는회전대(700)를 회전 가능(또는 180° 왕복 회전 가능)하게 지지하고 있다.
회전대(700)는 표시 패널을 배치할 수 있는 제 1 면(701)과 제 2 면(702)을, 전방부(대면부)와 상부로 전환하여 배향할 수 있도록 회전축을 수평 방향에서 경사지도록 설정하고 있다. 도면의 상태는 제 2 면(702)이 전방부(대면측)를 향하고, 제 1 면(701)이 상부(패널 교환측)을 향하고 있는 상태이다. 전방부는 대면측일 수도 있다. 이것은 창을 통해 외부에 대면할 수 있기 때문이다. 또한 상부는 패널 교환측일 수도 있다. 이것은 후술한 바와 같이 상부에 위치하는 표시 패널을 로봇에 의해 교환할 수 있기 때문이다.
회전대(700)는 측면으로부터 본 단면 형상이 제 1, 제 2 및 제 3 변을 갖는 거의 삼각형이다. 제 1 변과 제 2 변은 표시 패널을 배치하기 위한 제 1 면과 제 2 면(701, 702)의 변이고, 제 3 변이 회전면이 되는 제 3 면(703)의 변이다. 회전축(800)은 제 3 면(703)에 수직하며 또한 제 3 면(703)의 대략 중심에 설정되어 있다.
고정대(600)는 상기 제 3 면(703)에 대응한 대향면(601)을 갖고, 이 대향면을 갖는 벽에 구동 수단으로서의 모터(900)가 부착되어 있다. 이 모터(900)는 도시하지 않는 제어 유닛의 제어 하에서 회전 또는 왕복 회전한다. 모터(900)는 회전축(800)을 통해 회전대(700)를 회전 구동한다.
제 1 면과 제 2 면(701, 702)에는 팔레트 장치(1001, 1002)가 부착되어 있다. 이 팔레트 장치(1001, 1002)는 표시 패널을 흡착하여 유지할 수 있다.
도 1은 고정대(600)가 Z축 구동 기구(500)에 의해 구동되어 후퇴한 모양을나타내고 있다. 또한 도 2는 고정대(600)가 Z축 구동 기구(500)에 의해 구동되어 전진한 모양을 나타내고 있다. 고정대(600)가 전방의 소정 위치로 이동될 때에는 프로브 유닛(300)이 회전대(700)의 한편의 면에 근접하여 대향하게 된다. 이 때문에, 이 때는 프로브 유닛(300)의 프로브가 팔레트 장치(1002)의 상면에 탑재되어 있는 표시 패널의 단자 전극에 접촉한다. 이 때는 프로브 유닛(300)에 의해 표시 패널에 전원, 신호, 검사용 전압, 검사용 전류 등을 공급하고, 표시 패널이 정상인지 여부의 검사를 실시할 수 있다.
프로브 유닛(300)의 프로브가 표시 패널의 단자 전극에 대하여 정확히 접촉하기 위해서는 스테이지 장치(200) 및 비디오 카메라(411, 412)가 중요한 역할을 한다. 즉, Z축 구동 기구(500)에 의해 고정대(600) 및 회전대(700)가 전방으로 이동되어, 소정 위치의 앞까지 이동했을 때, 비디오 카메라(411, 412)로부터의 촬상 정보는 도시하지 않는 제어부에 포착되어 표시 패널의 마크가 미리 설정된 소정 영역에 합치하는지 여부가 판정된다. 표시 패널의 마크가 소정 영역에 없을 때에는 마크가 소정 영역에 합치하도록 스테이지 장치(200)가 제어된다. 여기서 재차 Z축 구동 기구(500)가 제어되어, 표시 패널이 전방으로 이동된다. 그렇게 하면 표시 패널의 복수의 단자 전극과, 이 복수 단자 전극에 대응하는 프로브 유닛(300)의 복수의 프로브가 정밀하게 접촉하여 전기적인 접속 상태가 얻어진다. 이 상태로 표시 패널에 대한 각종의 테스트를 실시할 수 있다. 또한 표시 패널의 마크가 비디오 카메라로 검출할 수 없을 때에는 제어부는 표시 패널이 탑재되어 있지 않은 것으로서 경고 표시 및 또는 경고 음성을 출력한다.
도 3은 팔레트 장치(1001)의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 팔레트 장치(1002)도 동일 구성이므로 하나를 대표로 설명한다. 기판(1101)의 상면에서 코너에는 복수의 지지축(1102, 1103)이 직립하고 있다. 상면에 중앙에는 백라이트 유닛(1104)이 부착되어 있다. 지지축(1102, 1103)에 의해 예컨대 투명 플라스틱판에 의한 팔레트(1105)가 지지된다. 이 팔레트(1105)도 프레임 형상이며, 그 중앙의 창에는 표시 패널(2001)을 배치할 수 있다. 도면에서는 알기 쉽게 하기 위해서, 팔레트(1105)가 지지축(1102, 1103)으로부터 분리된 상태를 나타내고 있다. 장치의 사용시에는 팔레트(1105)가 지지축(1102, 1103)에 부착된다. 표시 패널(2001)의 외주부는 팔레트(1105)의 프레임 내주부에 형성된 L자형의 절결 부분에 결합할 수 있다. 이 절결 부분에는 홈이 형성되고, 이 홈에 진공 튜브(1106)가 연통되어 있다. 이 팔레트 구조는 상기와 같은 구조에 한정되지 않고, 여러가지 변형이 가능하다. 이에 관해서 후술한다.
이에 따라, 표시 패널(2001)의 외주부는 팔레트(1105)의 프레임 내주부의 흡착부에 흡인되고, 결과적으로 표시 패널(2001)이 유지되게 된다.
상기 설명에서는 팔레트 장치에 백라이트가 있는 것으로서 설명하고 있지만, 검사 대상의 표시 패널이 자기 발광 타입의 것[유기 EL(전기 냉광)소자, 플라즈마 디스플레이 소자, FED(전계 방출 장치) 등]이면, 백라이트를 사용할 필요가 없는 것은 당연하다.
도 4에는 스테이지 장치(200)와 프로브 유닛(300)의 기본 구성을 나타내고 있다. 프로브 유닛(300)은 스테이지 장치(200)의 상면에 고정된다. 스테이지 장치(200)는 X축 방향과 Y축 방향(도면의 화살표 참조)으로 프로브 유닛(300)을 미세 조정할 수 있고, 또한 θ(도면의 화살표 참조)로도 조정할 수 있다. 스테이지 장치(200)는 각종 실시예가 가능하다. 이 실시예에서는 복수 개 중첩하여 배치된 복수의 스테이지판의 코너의 하부에 소형 모터가 부착되어 있다. 예컨대 첫번째와 두번째 스테이지판(2a, 2b) 사이에 X축, Y축 구동 모터가 배치되어 있고, 상부의 스테이지판(2a)가 X, Y축 방향으로 미세 조정할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고 θ 방향은, 예컨대 스테이지판(2b)을 코너부에서 지지하고 있는, 예컨대 4개 코너의 지지판(2c1 내지 2c4)에 소형 모터가 부착되어 있고, 스테이지판(2b)을 θ방향으로 구동할 수 있도록 구성되어 있다.
본 발명의 장치는 상기와 같이 고정대(600)와 회전대(700)를 갖고, 회전대(700)를 회전시켜 검사 대상이 되는 표시 패널을 프로브 유닛(300)에 대면시킬 수 있는 구조에 그 특징이 있다. 검사 대상이 되는 표시 패널을 프로브 유닛(300)이 검사하고 있는 동안에, 상부에 위치하는 표시 패널은 다음 검사 대상이 되는 표시 패널과 교환된다.
도 5는 회전대(700)가 회전하고 있는 도중 모양을 나타내고 있다. 도 6은 회전대(700)가 회전을 끝낸 모양을 나타내고 있다. 이와 같이 본 발명은 회전대(700)를 회전시켜 검사 대상이 되는 표시 패널을 프로브 유닛(300)에 대면시킬 수 있다. 이 구조에 의하면, 종래의 장치에 비해 점유 공간이 지극히 작다. 또한, 장치의 구조 자체도 단순하다. 그 결과, 가격도 저렴하게 실현할 수 있어서 표시 패널의 제품 비용 절감에도 효과적이다.
도 7을 참조하여 본 발명의 장치에 설치되어 있는 기능 및 장치를 추가로 설명한다. 회전대(700)와 고정대(600)가 대향하는 면 사이에는 회전대(700)의 회전을 원활하고 안정적으로 하기 위해서 볼 베어링(611, 612)을 설치할 수도 있다. 또한 회전대(700)측에는 팔레트 장치(1001, 1002)가 설치되어 있다. 이 부분에서는 흡착 기구, 백라이트 등을 동작시킬 필요가 있다. 그래서, 회전대(700)와 고정대(600)의 대향면 사이를 전기적으로 접속할 수 있는 슬립 링 기구(620)를 설치하는 것이다. 슬립 링 기구(620)는 도시하지 않았지만, 커넥터(621)를 통해 시스템 제어부에 접속되어 있다. 슬립 링 기구(620)는 전원 라인 및 제어 신호 라인을 갖고, 전력 공급 및 동작 제어를 실시할 수 있다. 도면에서는 3계통의 슬립 링을 나타내고 있지만, 흡착 제어 및 백라이트 제어 외에 추가로 많은 계통을 설치할 수도 있다.
팔레트 장치(1001)는 전방을 향할 때 백라이트가 점등한다. 그러나 창(311, 211, 111)을 통해 작업을 실시하고 있는 작업자에게는 눈이 부신 경우가 있다. 그래서, 회전대(700)가 정상 위치에 올 때까지는 셔터 기구(130)에 의해 창(111)을 폐쇄하도록 할 수도 있다.
이 발명의 장치는 정렬 스테이지 장치를 분할한 점에도 특징이 있다. 즉, 위치 결정을 실시하는 스테이지 장치로서는 통상 X, Y, θ 방향으로의 조정 기구와, Z축 방향으로의 조정 기구가 필요하다. 본 발명의 장치는 Z축 방향으로의 조정 기구(500)가 독립적으로 고정대(600)를 구동한다. 그리고 X, Y축 방향으로의 조정 기구와, θ 방향으로의 조정 기구는 전방 패널(110)측에 장착되어 있다. 이에 따라, 전방 패널측의 기구를 간단하게 할 수 있다. 또한, 돌출되는 높이도 낮아진다. 특히 전방 패널측은 검사하는 사람이 대면하기 때문에, 전방 패널측이 Z축 방향으로 이동하는 것은 피하는 편이 바람직하다. 또한, 전방 패널(110)측에 설치하는 스테이지 장치(200)는 Z축 방향으로의 조정 기구가 불필요하다. 이 때문에 스테이지 장치(200)의 두께 자체도 얇게 할 수 있다. 이것은 팔레트 장치(1001, 1002)의 높이(L)(도 1 참조)도 얇게 할 수 있다는 것을 의미한다. 즉, Z축 방향으로 고정대가 이동하기 때문에, 스테이지 장치(200)의 두께를 얇게 할 수 있고, 이에 따라 팔레트 장치의 높이를 낮게 할 수 있다. 이러한 점은 Z축 방향으로의 스트로크를 적게 할 수 있다는 것으로도 이어진다. 또한, 팔레트 장치를 낮게 할 수 있다는 것은 백라이트와 패널과의 거리를 단축할 수 있다는 것이다. 이러한 점은 백라이트의 밝기를 효과적으로 활용할 수 있다는 것이다.
또한 본 발명 장치의 특징은 회전대(700)가 회전된 소정의 자세(검사 및 표시 패널 교환시의 자세)에서는 회전대(700)의 상부면이 수평이 되고, 전방을 향한 면이 경사지는 자세를 취하는 것도 포함된다. 이는 상부면이 수평인 것이 표시 패널을 교환하는 경우에 편리하기 때문이다. 또한 전방부의 표시 패널은 경사 상태에 있지만, 이는 검사를 실시하는 사람이 보기 편하기 때문이다.
또한 회전대(700)는 표시 패널을 교환하는 경우, 일정 방향으로 회전하는 방식일 수도 있지만, 180° 왕복 회전을 실시하는 방식일 수도 있다. 180° 왕복 회전을 실시하는 형태이면, 고정대(600)측과 회전대(700)측을 전기적으로 접속하는 케이블을 사용할 수도 있다. 회전대(700)가 일정 방향으로 회전하는 방식이면 슬립 링이 필요하다.
또한 본 발명의 장치에서는 도 1에 도시한 바와 같이 Z축 구동 기구가 수평면에 대하여 가지는 각도(θ2)는 검사용 엿봄 창의 각도(θ1)와 대략 동일하다. 이 설정은 회전대(700)의 상측의 면을 수평 상태로 하는 것에도 기여하고 있다.
도 8에는 팔레트 장치(1001, 1002)에 대하여 교대로 표시 패널을 공급하는 패널 공급 장치(2001)의 개요를 나타내고 있다. 패널 공급 장치(2001)는 표시 패널(2002)을 슬라이드 암(2003)으로 반송할 수 있다. 슬라이드 암(2003)은 회전 구동 장치(2004)에 의해 수평 회전된다. 도면의 상태와는 다른 개소에서 표시 패널(2002)을 수취, 회전시킨다. 그리고 표시 패널(2002)을 팔레트 장치(1001)측에 활주시켜 반송한다. 표시 패널(2002)이 팔레트 장치(1001)의 측부의 소정 위치에 오면, 압출 핀으로 표시 패널(2002)을 압출하고, 패널 장치(1001)에 탑재한다. 이 상태에서 패널 장치(1001)는 표시 패널을 흡착 수단에 의해 흡착한다.
팔레트 장치(1001)상의 검사 완료된 표시 팔레트는 도시하지 않는 흡착 장치에 의해 흡착되어 분별 기구로 반송되도록 이루어져 있다.
도 9에는 추가로 다른 실시예를 나타내고 있다. 표시 패널을 활주시키지 않고 반송하는 장치이다. 레일(2111)의 하부에는 반송 이동 유닛(2112)이 부착되어 있다. 이 반송 이동 유닛(2112)은 흡착 레그(2113, 2114)를 갖고, 이 흡착 레그(2113, 2114)의 선단부에서 표시 패널(2002)을 흡착하여 들어 올릴 수 있다. 표시 패널을 팔레트 장치(1001)의 상부에 반송한 상태로 미세하게 하강시켜 흡착 상태를 개방한다. 이에 따라 표시 패널을 팔레트 장치에 장착할 수 있다.
도 10에는 콘베이어 장치(3001)로 운반되는 표시 패널을, 흡착 방식의 공급 장치(도 9에서 설명)에 의해 공급하도록 한 예이다.
도 11은 본 발명 장치의 기본적인 동작을 설명하는 흐름도이다. 표시 패널의 검사가 실시되는 동안(단계 S1, 단계 S3)에, 회전대 상면의 표시 패널의 교환이 실시된다(단계 S2). 검사가 종료하면, 고정대(600)가 Z축 구동 장치에 의해 후퇴되고, 그 공간에서 회전대가 안전하게 회전할 수 있게 된다(단계 S4). 다음으로 회전대(700)가 회전되고 소정의 자세로 설정된다(단계 S5). 다음으로 고정대(600)가 Z축 구동 장치에 의해 전진된다. 즉, X, Y축, θ의 미세 조정이 실시되어 프로브 유닛과 표시 패널의 단자가 정밀하게 위치설정된다. 계속해서 Z축이 구동되고, 실제 전기적 접촉(단계 S8)이 완료된다. 다음으로 단계(S1)로 이행한다.
도 12는 팔레트 장치(1001)에서 사용되는 팔레트의 다른 예를 나타내는 도면이다. 이 팔레트(1305)는 금속 또는 수지의 프레임(51)과, 이 프레임(51)의 개구에 끼워맞춰진 투명 수지판(52), 이 투명 수지판(52)의 상면에 중첩하여 배치된 확산판(유백색판)(53)을 갖는다. 또한, 프레임(51)에는 그 상면과 측면을 연결하도록 L자형의 흡착용 공동(54)이 복수 형성되어 있다. 이에 따라, 본 팔레트(1305)의 상면에는 패널을 흡착하는 것이 가능하다.
상기와 같이 본 발명은 점유 공간이 작고, 구성도 단순하며 저가로 실현할 수 있다.

Claims (7)

  1. 표시 패널을 배치할 수 있는 제 1 면과 제 2 면을, 전방부(대면부)와 상부로 전환하여 배향할 수 있도록 회전축을 수평 방향으로부터 경사지도록 설정한 회전대와,
    상기 회전축을 회전 구동하는 구동부를 갖고, 상기 회전대를 상기 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지하는 고정대와,
    상기 고정대를 상기 전방부(대면부)를 향하는 전방과 상기 전방부(대면부)로부터 후퇴하는 후방으로 이동시키는 Z축 구동 기구와,
    상기 고정대가 상기 Z축 구동 기구에 의해 상기 전방의 소정 위치로 이동될 때, 상기 전방부(대면부)를 향하고 있는 상기 회전대의 면에 대향하는 프로브 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 면과 제 2 면에는 각각 백라이트를 갖는 팔레트 장치가 부착되어 있고, 이 팔레트 장치에 의해 상기 표시 패널이 유지되는 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 유닛은 상기 전방부에 배치된 전방 패널의 창의 주변에 부착된 스테이지 장치에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 장치.
  4. 측면에서 본 단면 형상이 제 1, 제 2 및 제 3 변을 갖는 대략 삼각형이고, 상기 제 1 변과 제 2 변이 표시 패널을 배치하기 위한 제 1 면과 제 2 면의 변이며, 상기 제 3 변이 회전면이 되는 제 3 면의 변이고, 회전축은 상기 제 3 면에 수직하며 또한 제 3 면의 대략 중심에 설정되어 있는 회전대와,
    상기 회전축을 회전 구동하는 구동부를 갖고, 상기 제 3 면과 대향하는 대향면을 갖고, 상기 회전대를 상기 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지하는 고정대와,
    상기 고정대를 지지하고, 이 고정대를 상기 회전대측으로 향하는 일정 방향으로 전후 이동시키는 Z축 구동 기구와,
    상기 고정대가 상기 Z축 구동 기구에 의해 상기 전방의 소정 위치로 이동될 때, 상기 회전대의 한쪽 면에 근접하여 대향하는 프로브 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 회전대는 상기 제 1 면이 수평 상태에 있을 때는 제 2 면이 상기 프로브 유닛에 대향하고, 상기 제 2 면이 수평 상태에 있을 때는 제 1 면이 상기 프로브 유닛에 대향하는 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 장치.
  6. 표시 패널을 배치할 수 있는 제 1 면과 제 2 면을, 전방부(대면부)와 상부로 전환하여 배향할 수 있도록 회전축을 수평 방향으로부터 경사지도록 설정한 회전대와, 상기 회전축을 회전 구동하는 구동부를 갖고, 상기 회전대를 상기 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지하는 고정대와, 상기 고정대를 상기 전방부(대면부)를 향하는 전방과 상기 전방부(대면부)로부터 후퇴하는 후방으로 이동시키는 Z축 구동 기구와,
    상기 고정대가 상기 Z축 구동 기구에 의해 상기 전방의 소정 위치로 이동될 때, 상기 전방부(대면부)를 향하고 있는 상기 회전대의 면에 대향하는 프로브 유닛을 갖는 장치를 사용하며,
    상기 회전대의 상기 대면부에 탑재되어 있는 제 1 표시 패널이 상기 프로브 유닛으로 검사하고 있는 동안에,
    상기 회전대의 상부에 탑재되어 있는 검사 완료된 표시 패널을, 다음 미검사의 제 2 표시 패널로 교환하고,
    상기 제 1 표시 패널의 검사가 종료하면, 상기 Z축 구동 기구에 의해 상기 고정대를 후퇴시키고,
    상기 제 2 표시 패널을 검사하기 위해서, 상기 회전대를 회전시키도록 한 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 방법.
  7. 표시 패널을 배치할 수 있는 제 1 면과 제 2 면을, 전방부(대면부)와 상부로 전환하여 배향할 수 있도록 회전축을 수평 방향으로부터 경사지도록 설정한 회전대와,
    상기 회전축을 회전 구동하는 구동부를 갖고, 상기 회전대를 상기 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지하는 고정대와,
    상기 전방부(대면부)를 향하고 있는 상기 회전대의 면에 배치되어 있는 검사 대상 표시 패널을 검사하는 프로브 유닛과,
    상기 프로브 유닛과, 상기 검사 대상 표시 패널과의 위치를 일치시키기 위해서, 상기 프로브 유닛을 X, Y, θ 조정 스테이지 장치에 의해 위치 제어하고, 상기 고정대를 Z축 구동 기구에 의해 위치 제어하도록 한 것을 특징으로 하는
    표시 패널의 검사 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100784274B1 (ko) * 2004-11-08 2007-12-11 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시용 패널의 검사장치
KR100788714B1 (ko) * 2007-02-27 2007-12-26 (주)에이원메카 2개의 디스플레이 표시모듈을 탑재한 팔레트

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4241421B2 (ja) * 2004-02-17 2009-03-18 株式会社島津製作所 液晶基板検査装置
TWI310832B (en) * 2004-02-20 2009-06-11 Innolux Display Corp Inspecting apparatus for lcd module
KR100733276B1 (ko) * 2005-07-29 2007-06-28 주식회사 파이컴 디스플레이 패널의 검사 장비와 이를 이용한 디스플레이패널 검사 방법
KR101166839B1 (ko) * 2005-12-29 2012-07-19 엘지디스플레이 주식회사 액정패널 검사 장치
KR101232157B1 (ko) * 2006-06-09 2013-02-12 엘지디스플레이 주식회사 Ｌｃｄ 검사 장비
JP2008008779A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd ディスプレイパネルの点灯検査装置
CN100578578C (zh) * 2006-09-19 2010-01-06 威光自动化科技股份有限公司 显示器面板用量测载具的检测模块
CN100578579C (zh) * 2006-09-19 2010-01-06 威光自动化科技股份有限公司 一种显示器面板用测量载具的检测模块
JP4808135B2 (ja) * 2006-11-09 2011-11-02 株式会社日本マイクロニクス プローブ位置合わせ方法及び可動式プローブユニット機構並びに検査装置
CN101601128B (zh) * 2007-03-28 2011-09-28 富士通半导体股份有限公司 半导体装置的检测装置
CN101169528B (zh) * 2007-11-28 2010-06-09 庄添财 液晶显示屏的在线检测方法及其制程设备
KR100870152B1 (ko) * 2008-04-07 2008-11-24 (주)유비프리시젼 Ｌｃｄ 검사 장비용 프로브 유니트의 자동 변경 장치
KR101496792B1 (ko) * 2008-08-08 2015-02-27 삼성디스플레이 주식회사 표시패널 검사용 지그, 이를 이용하는 표시패널 검사 시스템 및 방법
KR100965249B1 (ko) * 2008-12-04 2010-06-22 삼성모바일디스플레이주식회사 디스플레이 모듈 에이징 검사 장치
CN102033336B (zh) * 2009-09-24 2012-09-05 北京京东方光电科技有限公司 液晶显示装置的检测设备和检测方法
US8816714B2 (en) * 2009-09-24 2014-08-26 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Testing apparatus and testing method for LCD
US8432540B2 (en) * 2010-03-31 2013-04-30 Cooper S.K. Kuo Support mechanism for inspection systems
CN103672335B (zh) * 2013-09-25 2016-02-03 青岛海信电器股份有限公司 电视机
CN104764959A (zh) * 2015-04-15 2015-07-08 京东方科技集团股份有限公司 点灯治具
TWI632098B (zh) * 2016-07-13 2018-08-11 萬潤科技股份有限公司 翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置
CN106200048B (zh) * 2016-08-30 2023-08-22 京东方科技集团股份有限公司 一种用于显示模组检测的治具
CN106597704A (zh) * 2016-12-22 2017-04-26 武汉精测电子技术股份有限公司 旋转装置及显示面板检测装置
CN206523497U (zh) * 2017-03-14 2017-09-26 京东方科技集团股份有限公司 治具
KR102111095B1 (ko) * 2018-11-09 2020-05-15 (주)에이앤아이 전력전달유닛을 포함하는 무선 로터리 검사장치
CN110189669B (zh) * 2019-06-12 2022-07-12 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种点灯测试治具及测试方法
CN110596577A (zh) * 2019-10-29 2019-12-20 伟创力电子技术(苏州)有限公司 一种自动测试机
CN111649914A (zh) * 2020-03-28 2020-09-11 武汉精毅通电子技术有限公司 一种手动旋转多角度定点检测装置和面板检测设备
CN111679137A (zh) * 2020-05-26 2020-09-18 江西源盛泰电子科技有限公司 一种背光屏检测治具
CN113311602B (zh) * 2021-04-15 2022-09-20 昆山精讯电子技术有限公司 一种兼容人检及自动化检的双工位检测设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5691764A (en) * 1994-08-05 1997-11-25 Tokyo Electron Limited Apparatus for examining target objects such as LCD panels
JP3375223B2 (ja) 1995-01-11 2003-02-10 東京電子工業株式会社 液晶板の検査装置
JPH09186220A (ja) * 1995-11-27 1997-07-15 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及び搬送方法
JP3860293B2 (ja) * 1997-06-23 2006-12-20 株式会社日本マイクロニクス 液晶パネルの検査装置
JP3999863B2 (ja) 1997-12-22 2007-10-31 株式会社日本マイクロニクス 被測定基板の検査装置
JP3897469B2 (ja) * 1998-11-17 2007-03-22 株式会社日本マイクロニクス 平板状被検査体の検査装置及び検査方法
JP2000321545A (ja) * 1999-03-05 2000-11-24 Ricoh Co Ltd 液晶パネル検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100784274B1 (ko) * 2004-11-08 2007-12-11 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시용 패널의 검사장치
KR100788714B1 (ko) * 2007-02-27 2007-12-26 (주)에이원메카 2개의 디스플레이 표시모듈을 탑재한 팔레트

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Publication number Publication date
TW200500613A (en) 2005-01-01
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CN1576867A (zh) 2005-02-09
TWI249619B (en) 2006-02-21

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